JP2000328286A - 錫−銀系合金電気めっき浴 - Google Patents
錫−銀系合金電気めっき浴Info
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- QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N [Ag].[Sn] Chemical compound [Ag].[Sn] QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 51
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 42
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 title claims abstract description 39
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 48
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 28
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229940100890 silver compound Drugs 0.000 claims abstract description 8
- 150000003379 silver compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 37
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 150000001622 bismuth compounds Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 claims description 5
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 86
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 18
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 18
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 abstract description 16
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 14
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 abstract description 14
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 13
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 13
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 229910002058 ternary alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- GSJBKPNSLRKRNR-UHFFFAOYSA-N $l^{2}-stannanylidenetin Chemical compound [Sn].[Sn] GSJBKPNSLRKRNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- -1 silver ions Chemical class 0.000 description 16
- AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N Methanesulfonic acid Chemical compound CS(O)(=O)=O AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 12
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N aminothiocarboxamide Natural products NC(N)=S UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 7
- 229940098779 methanesulfonic acid Drugs 0.000 description 7
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 7
- JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 2-naphthol Chemical compound C1=CC=CC2=CC(O)=CC=C21 JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 235000006708 antioxidants Nutrition 0.000 description 6
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 6
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 6
- XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N Cyanide Chemical compound N#[C-] XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Natural products NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 5
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 5
- KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1 KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYKLZUPYJFFNRR-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypiperidin-2-one Chemical compound OC1CCCNC1=O RYKLZUPYJFFNRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 4
- JALQQBGHJJURDQ-UHFFFAOYSA-L bis(methylsulfonyloxy)tin Chemical compound [Sn+2].CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O JALQQBGHJJURDQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 4
- SUMDYPCJJOFFON-UHFFFAOYSA-N isethionic acid Chemical compound OCCS(O)(=O)=O SUMDYPCJJOFFON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PDHFSBXFZGYBIP-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-hydroxyethylsulfanyl)ethylsulfanyl]ethanol Chemical compound OCCSCCSCCO PDHFSBXFZGYBIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical group C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QKAJPFXKNNXMIZ-UHFFFAOYSA-N [Bi].[Ag].[Sn] Chemical compound [Bi].[Ag].[Sn] QKAJPFXKNNXMIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 3
- 229910001174 tin-lead alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- JFODQDKKGQHJBB-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-aminoethylsulfanyl)ethylsulfanyl]ethanamine Chemical compound NCCSCCSCCN JFODQDKKGQHJBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexan-1-ol Chemical compound CCCCC(CC)CO YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 2
- RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-N D-gluconic acid Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-N 0.000 description 2
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PQIJHIWFHSVPMH-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Ag].[Sn] Chemical compound [Cu].[Ag].[Sn] PQIJHIWFHSVPMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 2
- XXROGKLTLUQVRX-UHFFFAOYSA-N allyl alcohol Chemical compound OCC=C XXROGKLTLUQVRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 235000019864 coconut oil Nutrition 0.000 description 2
- 239000003240 coconut oil Substances 0.000 description 2
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- BSXVKCJAIJZTAV-UHFFFAOYSA-L copper;methanesulfonate Chemical compound [Cu+2].CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O BSXVKCJAIJZTAV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N dodecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCC(O)=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940093915 gynecological organic acid Drugs 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N n'-hydroxy-2-propan-2-ylsulfonylethanimidamide Chemical compound CC(C)S(=O)(=O)CC(N)=NO LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 2
- JMANVNJQNLATNU-UHFFFAOYSA-N oxalonitrile Chemical compound N#CC#N JMANVNJQNLATNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMQUZDBALVYZAC-UHFFFAOYSA-N salicylaldehyde Chemical compound OC1=CC=CC=C1C=O SMQUZDBALVYZAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 150000004671 saturated fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical compound [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910001432 tin ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000969 tin-silver-copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000021122 unsaturated fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- 150000004670 unsaturated fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- TXUICONDJPYNPY-UHFFFAOYSA-N (1,10,13-trimethyl-3-oxo-4,5,6,7,8,9,11,12,14,15,16,17-dodecahydrocyclopenta[a]phenanthren-17-yl) heptanoate Chemical compound C1CC2CC(=O)C=C(C)C2(C)C2C1C1CCC(OC(=O)CCCCCC)C1(C)CC2 TXUICONDJPYNPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHOZNOZYMBRCBL-OUKQBFOZSA-N (2E)-2-Tetradecenal Chemical compound CCCCCCCCCCC\C=C\C=O WHOZNOZYMBRCBL-OUKQBFOZSA-N 0.000 description 1
- CKUJRAYMVVJDMG-IYEMJOQQSA-L (2r,3s,4r,5r)-2,3,4,5,6-pentahydroxyhexanoate;tin(2+) Chemical compound [Sn+2].OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O.OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O CKUJRAYMVVJDMG-IYEMJOQQSA-L 0.000 description 1
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAEZSIYNWDWMMN-UHFFFAOYSA-N 1,1,3-trimethylthiourea Chemical compound CNC(=S)N(C)C JAEZSIYNWDWMMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCXZBEZHTYZNRE-UHFFFAOYSA-N 1-chloropropane-1-sulfonic acid Chemical compound CCC(Cl)S(O)(=O)=O MCXZBEZHTYZNRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 2-Methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKMOSYLWYLMHAL-UHFFFAOYSA-N 2-bromo-6-nitroaniline Chemical compound NC1=C(Br)C=CC=C1[N+]([O-])=O KKMOSYLWYLMHAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBGKAOURNYRYBT-UHFFFAOYSA-N 2-sulfopropanoic acid Chemical compound OC(=O)C(C)S(O)(=O)=O WBGKAOURNYRYBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USYAMXSCYLGBPT-UHFFFAOYSA-L 3-carboxy-3-hydroxypentanedioate;tin(2+) Chemical compound [Sn+2].OC(=O)CC(O)(C([O-])=O)CC([O-])=O USYAMXSCYLGBPT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BZOVBIIWPDQIHF-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxy-2-methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=C(O)C=CC=C1S(O)(=O)=O BZOVBIIWPDQIHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWHOZHOGCMHOBV-UHFFFAOYSA-N Benzalacetone Natural products CC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 BWHOZHOGCMHOBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001152 Bi alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCUCCJIRFHNWBP-IYEMJOQQSA-L Copper gluconate Chemical compound [Cu+2].OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O.OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O OCUCCJIRFHNWBP-IYEMJOQQSA-L 0.000 description 1
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- XZMCDFZZKTWFGF-UHFFFAOYSA-N Cyanamide Chemical compound NC#N XZMCDFZZKTWFGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N 0.000 description 1
- RGHNJXZEOKUKBD-UHFFFAOYSA-N D-gluconic acid Natural products OCC(O)C(O)C(O)C(O)C(O)=O RGHNJXZEOKUKBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000790917 Dioxys <bee> Species 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002211 L-ascorbic acid Substances 0.000 description 1
- 235000000069 L-ascorbic acid Nutrition 0.000 description 1
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N Lactic Acid Natural products CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005639 Lauric acid Substances 0.000 description 1
- KQJQICVXLJTWQD-UHFFFAOYSA-N N-Methylthiourea Chemical group CNC(N)=S KQJQICVXLJTWQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- IGFHQQFPSIBGKE-UHFFFAOYSA-N Nonylphenol Natural products CCCCCCCCCC1=CC=C(O)C=C1 IGFHQQFPSIBGKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- REYJJPSVUYRZGE-UHFFFAOYSA-N Octadecylamine Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCN REYJJPSVUYRZGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N Phosphorous acid Chemical compound OP(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N Silver ion Chemical compound [Ag+] FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-N Sulfobutanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)S(O)(=O)=O ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACIAHEMYLLBZOI-ZZXKWVIFSA-N Unsaturated alcohol Chemical compound CC\C(CO)=C/C ACIAHEMYLLBZOI-ZZXKWVIFSA-N 0.000 description 1
- MFIHOCAEOJNSOL-UHFFFAOYSA-N [Ag]C#N Chemical compound [Ag]C#N MFIHOCAEOJNSOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NEIHULKJZQTQKJ-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Ag] Chemical compound [Cu].[Ag] NEIHULKJZQTQKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000011260 aqueous acid Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 description 1
- 229960005070 ascorbic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000001479 atomic absorption spectroscopy Methods 0.000 description 1
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 125000003785 benzimidazolyl group Chemical class N1=C(NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- JHXKRIRFYBPWGE-UHFFFAOYSA-K bismuth chloride Chemical compound Cl[Bi](Cl)Cl JHXKRIRFYBPWGE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910000380 bismuth sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- RMPWRUZQAKINCP-OPDGVEILSA-K bismuth;(2r,3s,4r,5r)-2,3,4,5,6-pentahydroxyhexanoate Chemical compound [Bi+3].OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O.OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O.OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O RMPWRUZQAKINCP-OPDGVEILSA-K 0.000 description 1
- MNMKEULGSNUTIA-UHFFFAOYSA-K bismuth;methanesulfonate Chemical compound [Bi+3].CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O MNMKEULGSNUTIA-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical class C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N butane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCS(O)(=O)=O QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKVNPHBNOWQYFE-UHFFFAOYSA-N carbamodithioic acid Chemical class NC(S)=S DKVNPHBNOWQYFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229940108925 copper gluconate Drugs 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960000355 copper sulfate Drugs 0.000 description 1
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229960003280 cupric chloride Drugs 0.000 description 1
- 229940045803 cuprous chloride Drugs 0.000 description 1
- 210000001787 dendrite Anatomy 0.000 description 1
- BEQZMQXCOWIHRY-UHFFFAOYSA-H dibismuth;trisulfate Chemical compound [Bi+3].[Bi+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O BEQZMQXCOWIHRY-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- FWBOFUGDKHMVPI-UHFFFAOYSA-K dicopper;2-oxidopropane-1,2,3-tricarboxylate Chemical compound [Cu+2].[Cu+2].[O-]C(=O)CC([O-])(C([O-])=O)CC([O-])=O FWBOFUGDKHMVPI-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical class OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- JRBPAEWTRLWTQC-UHFFFAOYSA-N dodecylamine Chemical compound CCCCCCCCCCCCN JRBPAEWTRLWTQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-M ethanesulfonate Chemical compound CCS([O-])(=O)=O CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000174 gluconic acid Substances 0.000 description 1
- 235000012208 gluconic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000003895 groundwater pollution Methods 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229960004337 hydroquinone Drugs 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 229940045996 isethionic acid Drugs 0.000 description 1
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000002611 lead compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- SNQQPOLDUKLAAF-UHFFFAOYSA-N nonylphenol Chemical compound CCCCCCCCCC1=CC=CC=C1O SNQQPOLDUKLAAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- JYVLIDXNZAXMDK-UHFFFAOYSA-N pentan-2-ol Chemical compound CCCC(C)O JYVLIDXNZAXMDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N pentanal Chemical compound CCCCC=O HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJQRCOMHVBLQIH-UHFFFAOYSA-M pentane-1-sulfonate Chemical compound CCCCCS([O-])(=O)=O RJQRCOMHVBLQIH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940044654 phenolsulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- KCXFHTAICRTXLI-UHFFFAOYSA-N propane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCS(O)(=O)=O KCXFHTAICRTXLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 description 1
- 238000006479 redox reaction Methods 0.000 description 1
- 229960001755 resorcinol Drugs 0.000 description 1
- 235000003441 saturated fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- YPNVIBVEFVRZPJ-UHFFFAOYSA-L silver sulfate Chemical compound [Ag+].[Ag+].[O-]S([O-])(=O)=O YPNVIBVEFVRZPJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000367 silver sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- NEMJXQHXQWLYDM-JJKGCWMISA-M silver;(2r,3s,4r,5r)-2,3,4,5,6-pentahydroxyhexanoate Chemical compound [Ag+].OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O NEMJXQHXQWLYDM-JJKGCWMISA-M 0.000 description 1
- LMEWRZSPCQHBOB-UHFFFAOYSA-M silver;2-hydroxypropanoate Chemical compound [Ag+].CC(O)C([O-])=O LMEWRZSPCQHBOB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 1
- 229960002920 sorbitol Drugs 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 229940071182 stannate Drugs 0.000 description 1
- 239000001119 stannous chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 description 1
- RCIVOBGSMSSVTR-UHFFFAOYSA-L stannous sulfate Chemical compound [SnH2+2].[O-]S([O-])(=O)=O RCIVOBGSMSSVTR-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- QAZLUNIWYYOJPC-UHFFFAOYSA-M sulfenamide Chemical class [Cl-].COC1=C(C)C=[N+]2C3=NC4=CC=C(OC)C=C4N3SCC2=C1C QAZLUNIWYYOJPC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- AGGIJOLULBJGTQ-UHFFFAOYSA-N sulfoacetic acid Chemical compound OC(=O)CS(O)(=O)=O AGGIJOLULBJGTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000003871 sulfonates Chemical class 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 150000003557 thiazoles Chemical class 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 150000003585 thioureas Chemical class 0.000 description 1
- KUAZQDVKQLNFPE-UHFFFAOYSA-N thiram Chemical class CN(C)C(=S)SSC(=S)N(C)C KUAZQDVKQLNFPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUTCEZPPWBHGIX-UHFFFAOYSA-N tin(2+) Chemical compound [Sn+2] IUTCEZPPWBHGIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000375 tin(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005028 tinplate Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- BWHOZHOGCMHOBV-BQYQJAHWSA-N trans-benzylideneacetone Chemical compound CC(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 BWHOZHOGCMHOBV-BQYQJAHWSA-N 0.000 description 1
- KOECRLKKXSXCPB-UHFFFAOYSA-K triiodobismuthane Chemical compound I[Bi](I)I KOECRLKKXSXCPB-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- MWOOGOJBHIARFG-UHFFFAOYSA-N vanillin Chemical compound COC1=CC(C=O)=CC=C1O MWOOGOJBHIARFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012141 vanillin Nutrition 0.000 description 1
- FGQOOHJZONJGDT-UHFFFAOYSA-N vanillin Natural products COC1=CC(O)=CC(C=O)=C1 FGQOOHJZONJGDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 1
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Abstract
剤 (好ましくは非イオン界面活性剤) 、酸化防止剤を含
有する酸性の錫−銀系合金電気めっき浴において、硫酸
を用いて建浴した場合にも安定に長期保存でき、Biまた
はCuを含有する三元合金めっき皮膜の形成も可能な錫−
銀系合金電気めっき浴を得る。 【解決手段】 キレート剤として、一般式: R1-S(CH2C
H2S)n-R2 (式中、R1およびR2は同じでも異なっていても
よく、それぞれ−CH2OH 、−C2H4OH、−C3H6OH、−CH2N
H2、−C2H4NH2 、−C3H6NH2 から選ばれ、nは1〜3の
整数である) で示されるチオエタン化合物を使用する。
Description
の代わりに使用可能な錫−銀系合金めっき皮膜を形成す
るための錫−銀系合金電気めっき浴に関し、シアン化合
物を使用しなくても、浴中の金属の析出を防止して浴を
安定に保持でき、かつ硫酸を用いて建浴できる、酸性の
錫−銀系合金電気めっき浴に関する。
となり、鉛含有製品に対する規制が強化されつつある。
そのため、従来より各種製品においてハンダ付けに使用
されてきた錫−鉛合金 (ハンダ合金) を無鉛ハンダに変
更する動きが強まっている。無鉛ハンダとしては、融点
が比較的低く、かつ耐熱疲労特性のよい錫−銀系合金が
主流となっている。低融点化の目的で錫−銀合金にビス
マスまたは銅といった第三元素を添加した錫−銀系三元
合金も知られている。
おいては、良好なハンダ付け性を保持するためにハンダ
付け部位にハンダめっきを施すことがあり、高温にさら
すことができない場合には電気めっきが利用される。こ
のハンダめっきも、従来は錫−鉛合金めっきが主に利用
されてきたが、鉛化合物を含有する電気めっき浴を使用
することから、ハンダめっきについても無鉛めっきに切
り換えることが望まれるようになってきた。
合金と同様に、錫−銀系合金めっきが有望であり、特に
ハンダ付けを銀−錫系合金で行う場合には、ハンダめっ
きも同じ合金とすることが好ましい。銀−錫系合金電気
めっきは、ハンダ付け用以外に、電気接点などの用途に
も利用されている。
ン酸−シアン浴、シアン−アンモニア浴等のシアン浴を
用いて一般に行われてきた。これは、銀イオン (Ag+ )
にシアン化物イオン (CN- ) を配位させてシアノ銀錯体
[Ag(CN)]- を形成し、銀イオンを浴中で安定化させて、
銀と錫を一緒に共析させるためである。浴中の銀イオン
を安定化させておかないと、めっき浴中でAgイオンとSn
イオン (Sn2+) との間の酸化還元反応が起こり、Agが析
出すると共に、Snイオンは不安定なSn+4イオンになって
沈殿し易くなるため、めっき浴の安定性が著しく損なわ
れる。また、銀と錫は析出電位が著しく異なるため、Ag
イオンが安定化していないと、銀が優先的に最初に析出
し、銀と錫を一緒に共析させることができない。
毒であるので、シアン浴を用いない銀−錫系合金電気め
っき浴が望まれており、非シアン浴に関してこれまでに
多くの提案がなされている。例えば、ピロリン酸−ヨウ
素型のめっき浴が特開平9−296274号、同10−36995
号、同10−102277号、および同10−102283号各公報に提
案されている。
よび/または銅を含有する錫−銀系合金めっき用のピロ
リン酸−ヨウ素型のめっき浴が開示されている。しか
し、ピロリン酸−ヨウ素型の電気めっき浴は、一般に浴
管理が難しく、生産性が低いという問題点がある。
化合物、チアゾール系化合物、スルフェンアミド系化合
物、チウラム系化合物、ジチオカルバミン酸系化合物、
ビスフェノール系化合物、ベンゾイミダゾール系化合
物、有機チオ酸系化合物から選んだ含イオウ化合物をAg
+ イオンの置換防止剤として配合し、アルカンスルホン
酸もしくはアルカノールスルホン酸で浴を酸性にした、
シアン化物を含有しない銀または銀合金の酸性電気めっ
き浴が開示されている。
化合物 (チオ尿素化合物) およびチオール化合物から選
ばれた含イオウ化合物を含有し、アルカンスルホン酸お
よび/またはスルファミン酸で酸性にした、シアン化物
を含有しない錫−銀合金酸性めっき浴が開示され、特開
平10−204675号公報には、芳香族チオール化合物および
芳香族スルフィド化合物から選ばれた含イオウ化合物を
含有する同様の酸性めっき浴が開示されている。
酸、ホスホン酸、ヒドロキシカルボン酸、アルカンスル
ホン酸およびアルカノールスルホン酸から選ばれた酸
と、チオ尿素と、非イオン界面活性剤と、メルカプト基
含有芳香族化合物、ジオキシ芳香族化合物および不飽和
カルボン酸から選ばれた添加剤とを含有する、銀−錫合
金電気めっき浴が開示されている。
オンを安定化させた錫−銀合金酸性めっき浴では、前述
したピロリン酸−ヨウ素型めっき浴に伴う問題点は解消
されるが、従来のこの種のめっき浴にはなお次のような
問題点が残っていた。
は酸性浴であって、pH調整用の酸を含有する。酸として
は、アルカンスルホン酸、アルカノールスルホン酸、ス
ルファミン酸等の有機酸が使用されている。特開平10−
204676号公報には、酸として硫酸も挙げられているが、
酸が硫酸単独である実施例はなく、硫酸を有機酸(例、
グルコン酸)と併用して建浴した実施例しかない。この
種の浴において酸は非常に多量に使用される(例、有機
酸の場合 100〜500 g/L)ため、硫酸に比べて高価で、か
つ酸性度の低い (使用量が多くなる) 有機酸を使用する
と、めっき浴のコストがかなり高くなる。
硫酸を用いて建浴されている。錫−銀合金電気めっき用
の酸性めっき浴も、同様に硫酸を用いて建浴できれば、
めっき浴コストがかなり低下する。しかし、従来の錫−
銀合金酸性めっき浴は、硫酸を用いて建浴すると浴が不
安定になるため、アルカンスルホン酸等の有機酸を使用
せざるを得ず、コスト高になっていた。
錫−銀合金めっき浴については、ビスマスまたは銅を含
有するめっき浴を用いて、三元合金化しためっき皮膜を
形成することが知られている (特開平9−296289号公
報) 。錫−銀合金めっきに少量のビスマスまたは銅を添
加して三元合金めっきにすると、錫−銀二元合金よりも
融点が下がり、ハンダ付け性が向上する。しかし、含イ
オウ化合物を含有する錫−銀合金めっき浴については、
このような三元合金化が可能な錫−銀系合金めっき浴は
これまで知られていなかった。
めっき浴が安定で、浴管理が容易であり、かつビスマス
または銅といった第三金属を含有する銀−錫系三元合金
めっき皮膜の形成も可能な、錫−銀系合金めっき浴を提
供することを課題とするものである。
(1)〜(4) を含有し、好ましくはさらに下記(5) および
(6) も含有する錫−銀系合金電気めっき浴により、上記
課題が解決される。
合物、(3) 一般式: R1-S(CH2CH2S)n-R2 (式中、R1およ
びR2は同じでも異なっていてもよく、それぞれ−CH2OH
、−C2H4OH、−C3H6OH、−CH2NH2、−C2H4NH2 、−C3H
6NH2 から選ばれ、nは1〜3の整数である) で示され
るチオエタン化合物、(4) 硫酸およびスルホン酸から選
ばれた少なくとも1種の酸、(5) 非イオン界面活性剤、
(6) 酸化防止剤。
たは可溶性ビスマス化合物を含有させることができ、そ
れにより錫と銀に加え、銅またはビスマスを含有する三
元合金のめっき皮膜を形成することができる。
浴は、安定性に優れ、少なくとも一ヶ月は金属成分の沈
殿を生ずることなく保存できる。このめっき浴を用いて
電気めっきを行うと、銀の優先析出を生ずることなく、
錫−銀系合金めっき皮膜が形成され、めっき皮膜の合金
組成はめっき浴中の錫イオンと銀イオンにより制御する
ことができる。また、めっき皮膜は、針状、樹枝状、粉
状、粒状等の析出物、ヤケ、コゲ等のない、緻密で白色
無光沢の好ましい外観を有する。
錫化合物、可溶性銀化合物、チオエタン化合物、ならび
に硫酸およびスルホン酸から選ばれた少なくとも1種の
酸を含有し、好ましくはさらに非イオン界面活性剤や酸
化防止剤を含有する。チオエタン化合物は、Agイオンと
錫イオンを安定化させるキレート剤として作用する。ま
た、めっき皮膜を三元合金化する場合には、ビスマス化
合物または銅化合物を含有させる。
ついては、従来の錫−銀合金めっき浴、または錫めっき
浴もしくは銀めっき浴において使用されてきたものでよ
い。いずれの成分も、1種または2種以上の化合物を使
用することができる。以下に、これらの成分についても
簡単に説明するが、この説明で例示した化合物に限られ
るものではない。
硫酸および/またはスルホン酸の水溶液中に溶解するも
のであればよい。第一錫化合物の例としては、メタンス
ルホン酸第一錫等のスルホン酸塩、硫酸第一錫、塩化第
一錫等の無機酸塩、グルコン酸第一錫、クエン酸第一
錫、乳酸第一錫等の有機酸塩が挙げられる。可溶性銀化
合物は通常は第一銀化合物であり、具体例としては、酸
化第一銀、メタンスルホン酸銀などのスルホン酸塩、硫
酸銀、塩化銀等の無機酸塩、グルコン酸銀、クエン酸
銀、乳酸銀等の有機酸塩が挙げられる。
めっき浴に含有させる場合も、上記の酸水溶液に溶解す
る化合物であれば特に制限されない。使用できるビスマ
ス化合物の例は、塩化ビスマス、ヨウ化ビスマス、硫酸
ビスマス、クエン酸ビスマス、グルコン酸ビスマス、メ
タンスルホン酸ビスマス等が挙げられる。銅化合物の例
としては、塩化第一銅、塩化第二銅、硫酸銅、メタンス
ルホン酸銅、クエン酸銅、グルコン酸銅等が挙げられ
る。
として用いるチオエタン化合物は、一般式: R1-S(CH2C
H2S)n-R2で示される化合物である。式中、R1およびR2は
同じでも異なっていてもよく、それぞれ−CH2OH 、−C2
H4OH、−C3H6OH、−CH2NH2、−C2H4NH2 、−C3H6NH2 か
ら選ばれ、nは1〜3の整数である。
酸を使用する。即ち、硫酸だけを使用して建浴も、安定
なめっき浴が得られる。スルホン酸としては、アルカン
スルホン酸やアルカノールスルホン酸が好ましいが、ベ
ンゼンスルホン酸類 (例、トルエンスルホン酸) やフェ
ノールスルホン酸類 (例、クレゾールスルホン酸) も使
用できる。アルカンスルホン酸およびアルカノールスル
ホン酸は非置換でも適当な置換基で置換されたものでも
よい。これらのスルホン酸の例としては、メタンスルホ
ン酸、エタンスルホン酸、イセチオン酸、プロパンスル
ホン酸、ブタンスルホン酸、ペンタンスルホン酸、クロ
ロプロパンスルホン酸、2−ヒドロキシエタン−1−ス
ルホン酸、2−ヒドロキシペンタンスルホン酸、2−ス
ルホ酢酸、2−スルホプロピオン酸、スルホコハク酸な
どが例示される。
である: ・第1錫化合物:Sn濃度として1〜100 g/L 、特に10〜
60 g/L; ・銀化合物:Ag濃度として0.01〜80 g/L、特に 0.1〜10
g/L; ・銅またはビスマス化合物 (使用する場合) :Cuまたは
Bi濃度として0.01〜50 g/L、特に 0.1〜10 g/L; ・全金属濃度:5〜100 g/L 、特に10〜80 g/L; ・キレート剤 (チオエタン化合物) : 0.1〜200 g/L 、
特に 0.5〜80 g/L; ・酸 (硫酸および/またはスルホン酸) :50〜400 g/L
、特に80〜300 g/L 。
強酸性である。酸が硫酸である場合には、スルホン酸を
使用する場合に比べて、酸濃度が低くてよい。例えば、
スルホン酸を使用する場合の濃度の60〜80%程度の濃度
で十分である。酸濃度またはキレート剤の濃度が低すぎ
ると、浴が不安定となって、沈殿が発生し易くなる。キ
レート剤濃度が高すぎると、析出めっき皮膜の外観が悪
化することがある。
金電気めっき浴、或いは銀電気めっき浴もしくは錫電気
めっき浴に添加されてきた各種添加剤の1種もしくは2
種以上を所望により添加することができる。この種の添
加剤の例として、光沢剤、酸化防止剤等がある。
の光沢剤として使用されてきたものが使用できる。例え
ば、非イオン界面活性剤、アニオン界面活性剤、水溶性
高分子 (例、ポリエチレングリコール、ポリビニルアル
コール、ポリビニルピロリドン等) 、ケトン類 (例、ベ
ンザールアセトン、アセトフェノン) 、アルデヒド類
(例、ホルマリン、バレルアルデヒド、サリチルアルデ
ヒド、バニリン等) 等が挙げられる。
る。非イオン界面活性剤としては次のものが例示され
る: 一般式:R−O−(A)n−H (式中、Rはアルキル基
もしくはアルケニル基、Aは-CH2CH2O- (=エチレンオ
キシ基) 、-CH2-CH(CH3)O- (=プロピレンオキシ基) 、
およびそれらの組合わせ、nは1〜40の整数) で示され
る、飽和もしくは不飽和アルコールのアルキレンオキサ
イド付加物; 一般式:R'−Ar−O−(A)n−H (式中、R'は水素ま
たはアルキルもしくはアルケニル基、Arはフェニル、ナ
フチル等の芳香族炭化水素基、Aおよびnは上記と同
じ) で示される、フェノールもしくはナフトールまたは
アルキルもしくはアルケニルフェノールもしくはナフト
ールのアルキレンオキサイド付加物; 一般式:R−COO−(A)n−H (式中、R、Aおよ
びnは上記と同じ) で示される、飽和もしくは不飽和脂
肪酸のアルキレンオキサイド付加物; 一般式:R−N[(A)n−H]2 (式中、R、Aおよびn
は上記と同じ) で示される、飽和もしくは不飽和脂肪族
アミンのアルキレンオキサイド付加物。
示すると次の通りである: メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノ
ール、ヘキサノール、2−エチルヘキサノール、アリル
アルコール等の飽和または不飽和アルコールのエチレン
オキサイド (EO) 付加物またはエチレンオキサイド/
プロピレンオキサイド (EO/PO) 付加物; オクチルフェノール、ノニルフェノール、α−ナフト
ール、β−ナフトール等のEO付加物またはEO/PO
付加物; オレイン酸、ラウリル酸、ステアリン酸などの飽和ま
たは不飽和脂肪酸のポリオキシエチレンエステル; ラウリルアミン、ステアリルアミン、ヤシ油アミン等
の飽和もしくは不飽和脂肪族アミンのEO付加物または
EO/PO付加物。
浴中の濃度は従来と同様でよく、好ましくは 0.1〜50 g
/L、特に1〜30 g/Lである。
化を防止するため、錫めっき浴に一般に添加される酸化
防止剤を本発明のめっき浴にも含有させることが好まし
い。このような酸化防止剤の例としては、フェノール、
カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、ピロガロ
ール等のヒドロキシ芳香族化合物や、L−アスコルビン
酸、ソルビトール等が挙げられる。酸化防止剤の浴中濃
度は一般に 0.5〜10 g/L程度である。
明の錫−銀系合金電気めっき浴のめっき条件は特に制限
されないが、好ましいめっき条件は次の通りである。
金、白金めっきチタン材、カーボン等の不溶性陽極。
を有するものであれば、特に制限はない。絶縁性の基体
の場合には、例えば、無電解めっき等により表面を金属
で被覆して導電性を付与することにより、電気めっきを
施すことができる。本発明のめっき浴は、特にチップ部
品、フープ材、リードフレーム、半導体パッケージ、バ
ンプ、プリント基板等のハンダ付けを要求される電子部
品の錫−銀系合金めっきに好適である。
よく、またフープ、噴流等による高速めっき法を採用し
てもよい。陰極電流密度は、めっき方法に応じて上記範
囲内で適宜設定することが好ましい。
電気めっき浴を示す。いずれのめっき浴もpHは1未満で
あった。なお、以下に示すめっき浴組成において、硫酸
は98%硫酸を使用し、その添加量をH2SO4 濃度に換算し
て示す。
気めっき浴を調製した。このめっき浴にキレート剤とし
て使用した 3,6−ジチアオクタン−1,8 −ジオールは、
上記一般式においてR1=R2=−C2H4OH、n=1の化合物
である。
気めっき浴を調製した。
気めっき浴を調製した。本例では、酸としてメタンスル
ホン酸を使用したため、酸の濃度が実施例1、2より高
い。このめっき浴にキレート剤として使用した 3,6−ジ
チアオクタン−1,8 −ジアミンは、上記一般式において
R1=R2=−C2H4NH2、n=1の化合物である。
マス合金電気めっき浴を調製した。
金電気めっき浴を調製した。
オール) を添加しなかった以外は実施例1と同じであ
る、下記組成 (残部は水) の酸性錫−銀合金電気めっき
浴を調製した。
尿素に変更した以外は実施例2と同じである、下記組成
の酸性錫−銀合金電気めっき浴 (残部は水) を調製し
た。
した以外は実施例3と同じである、下記組成の酸性錫−
銀合金電気めっき浴 (残部は水) を調製した。
ラスビンに入れて室温で静置し、1時間、1週間および
1カ月後の沈殿の有無を目視で判断した。結果(○:沈
殿なし、×:沈殿あり) を次の表9に示す。
チオエタン化合物を用いた本発明の錫−銀系合金酸性め
っき浴は、硫酸を用いて建浴しても、メタンスルホン酸
を使用した場合と同様に優れた安定性を示し、沈殿を生
ずることなく1カ月以上保存することができた。これに
対し、キレート剤が存在しない比較例1では、1時間以
内に沈殿が生成した。キレート剤がメチルチオ尿素で、
硫酸を使用して建浴した比較例2では1カ月で沈殿を生
じ、めっき浴が使用不能になった。キレート剤がチオ尿
素である比較例3では、メタンスルホン酸を使用して建
浴しても、1週間でめっき浴に沈殿が発生した。
銅板または42アロイ(42%Ni−Fe合金) 板に錫−銀系
合金電気めっきを下記条件で行った。
系合金めっき皮膜の各金属の析出比率を原子吸光光度法
により分析した結果を次の表10に示す (残部は錫) 。い
ずれのめっき皮膜も、ハルセルパターンの白色無光沢部
分では緻密で良好な外観を示すものであった。
合金めっき浴により、錫−銀二元合金めっき皮膜のみな
らず、錫−銀−銅または錫−銀−ビスマス三元合金めっ
き皮膜も形成することができ、めっき皮膜中の合金元素
の含有量をめっき浴中の組成によって制御することがで
きる。
合にも安定で、沈殿を生ずることなく長期保存が可能
で、浴管理が容易な酸性の錫−銀系合金電気めっき浴が
実現できる。それにより、錫−銀系合金電気めっきコス
トの低下が可能となる。本発明の電気めっき浴は、銀の
優先析出を押さえて、錫−銀二元合金のみならず、錫−
銀−銅または錫−銀−ビスマスといった三元合金のめっ
き皮膜も形成することができ、形成されためっき皮膜は
緻密な白色無光沢の好ましい外観を呈する。
Claims (3)
- 【請求項1】 (1) 可溶性第一錫化合物、(2) 可溶性銀
化合物、(3) 一般式: R1-S(CH2CH2S)n-R2 (式中、R1
およびR2は同じでも異なっていてもよく、それぞれ−CH
2OH 、−C2H4OH、−C3H6OH、−CH2NH2、−C2H4NH2 、−
C3H6NH2 から選ばれ、nは1〜3の整数である) で示さ
れるチオエタン化合物、ならびに(4)硫酸およびスルホ
ン酸から選ばれた少なくとも1種の酸、を含有すること
を特徴とする、錫−銀系合金電気めっき浴。 - 【請求項2】 さらに、(5) 非イオン界面活性剤と、
(6) 酸化防止剤、を含有する、請求項1記載の錫−銀系
合金電気めっき浴。 - 【請求項3】 さらに可溶性銅化合物または可溶性ビス
マス化合物を含有する、請求項1または2記載の錫−銀
系合金電気めっき浴。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13890399A JP3632499B2 (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | 錫−銀系合金電気めっき浴 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13890399A JP3632499B2 (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | 錫−銀系合金電気めっき浴 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000328286A true JP2000328286A (ja) | 2000-11-28 |
| JP3632499B2 JP3632499B2 (ja) | 2005-03-23 |
Family
ID=15232834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13890399A Expired - Lifetime JP3632499B2 (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | 錫−銀系合金電気めっき浴 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3632499B2 (ja) |
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| TWI920190B (zh) | 2021-01-13 | 2026-04-01 | 日商三菱綜合材料股份有限公司 | 錫合金鍍液 |
Families Citing this family (1)
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| US8888984B2 (en) | 2012-02-09 | 2014-11-18 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Plating bath and method |
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| KR101076819B1 (ko) | 2002-12-26 | 2011-10-25 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 납프리 범프 및 그 형성방법 및 납프리 범프 형성용 도금장치 |
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| JP2023515833A (ja) * | 2020-02-28 | 2023-04-14 | クノル-ブレムゼ ジステーメ フューア ヌッツファールツォイゲ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | コンタクト箇所を備えたプリント基板 |
| US12597750B2 (en) | 2020-02-28 | 2026-04-07 | Knorr-Bremse Systeme Fuer Nutzfahrzeuge Gmbh | Printed circuit board with a contact point |
| WO2022153740A1 (ja) * | 2021-01-13 | 2022-07-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 錫合金めっき液 |
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| JP7686981B2 (ja) | 2021-01-13 | 2025-06-03 | 三菱マテリアル株式会社 | 錫合金めっき液 |
| TWI920190B (zh) | 2021-01-13 | 2026-04-01 | 日商三菱綜合材料股份有限公司 | 錫合金鍍液 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3632499B2 (ja) | 2005-03-23 |
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Legal Events
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| A02 | Decision of refusal |
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| A521 | Written amendment |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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