JP2000329785A - 圧電型加速度センサを備えた加速度検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ０．１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を
正確に検出できる圧電型加速度センサを備えた加速度検
出装置を提供する。 【解決手段】 圧電セラミックス基板４ａの表面上に１
以上の検出用電極４ｂを有し且つ裏面上に検出用電極４
ａと対向する１以上の対向電極４ｃを有し、加速度の作
用により圧電セラミックス基板４ａが撓んだ際に検出用
電極４ｂに自発分極電荷が発生する圧電型加速度センサ
４の出力をオフセット電圧を中心にして電圧増幅回路２
で増幅する。電圧増幅回路２の信号入力端子とアースと
の間に超高抵抗体Ｒ８を並列接続する。超高抵抗体Ｒ８
の抵抗値を、圧電型加速度センサ４が０．１Ｈｚ以下の
周波数で振動する加速度を検出しているときに、圧電型
加速度センサ４から出力される電流を電圧に変換する電
流−電圧変換回路を構成し得る値に定める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電セラミックス
基板を利用した圧電型加速度センサを備えた加速度検出
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】圧電型加速度センサは、圧電セラミック
ス基板の表面上に１以上の検出用電極を有し且つ裏面上
に検出用電極と対向する１以上の対向電極を有し、加速
度の作用により圧電セラミックス基板が撓んだ際に前記
検出用電極に自発分極電荷が発生する。この種の圧電型
加速度センサは、１方向の加速度を検出できる一軸加速
度センサ、三次元方向の加速度を検出できる三軸加速度
センサ等であり、その基本原理及び基本構造は、国際公
開ＷＯ９３／０２３４２（ＰＣＴ／ＪＰ９２／００８８
２号）等に詳しく開示されている。

【０００３】そして従来の圧電型加速度センサを備えた
加速度検出装置は、圧電型加速度センサの出力電圧を予
め定めたオフセット電圧を中心にして増幅して電圧信号
として出力する増幅回路と、オフセット電圧の基準とな
るオフセット基準電圧を発生するオフセット基準電圧発
生回路とを備えている。圧電型加速度センサの出力は正
負の極性を持っているが、信号処理を容易にするため
に、オフセット電圧により増幅回路の増幅の基準電圧を
０Ｖから一方の極性（一般的には正極性）側に変位また
は移動させている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の圧電型加速度セ
ンサを備えた加速度検出装置を用いて加速度を検出する
場合に、振動または加速度が０．１Ｈｚ以下の超低周波
になると、振動または加速度を検出できないことが分か
った。

【０００５】本発明の目的は、０．１Ｈｚ以下の周波数
で振動する加速度を正確に検出できる圧電型加速度セン
サを備えた加速度検出装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】振動または加速度が１Ｈ
ｚ以下の超低周波になったときに、従来の加速度検出装
置で振動または加速度を正確に検出できなくなる原因に
は複数の原因が考えられる。一つの原因は、出願人の先
願である特願平１０−２０３４９９号において詳しく説
明したように、圧電型加速度センサの特性の変化にあ
る。すなわち検出用電極と対向電極との間に誘電体（圧
電セラミックス基板）が配置された圧電型加速度センサ
の基本構造は、コンデンサと同じである。例えばある形
状の圧電型加速度センサの静電容量Ｃは１ｎＦ程度あ
る。そして圧電型加速度センサのインピーダンスＺはＺ
＝１／２πｆＣである。したがって圧電型加速度センサ
のインピーダンスＺは、周波数が下がるほど大きくな
り、例えば０．１Ｈｚの周波数では約１．６ＧΩとな
る。このように圧電型加速度センサのインピーダンスの
値が大きくなると、圧電型加速度センサの出力がインピ
ーダンスの低いオフセット基準電圧発生回路側へ流れ込
むようになり、このことが振動または加速度が１Ｈｚ以
下の超低周波になったときに、振動または加速度を正確
に検出できない原因となっている。

【０００７】この原因を解消するために、特願平１０−
２０３４９９号に記載の発明では、オフセット基準電圧
発生回路の出力点と増幅回路の信号入力端子との間に超
高抵抗体を配置し、超高抵抗体の抵抗値を圧電型加速度
センサが１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を検出し
ているときの圧電型加速度センサのインピーダンスより
も大きくする。このようにすると１Ｈｚ以下の周波数で
振動する加速度を検出する場合でも、超高抵抗体の抵抗
値が圧電型加速度センサのインピーダンスよりも大きい
ために、圧電型加速度センサの出力がオフセット基準電
圧発生回路側に流れ込むのを阻止することができる。そ
のため１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を正確に検
出できる圧電型加速度センサを備えた加速度検出装置を
得ることができる。

【０００８】しかしながら上記の構成を採用しても、振
動または加速度が０．１Ｈｚ以下になると、増幅回路の
出力が不安定または不定になって、加速度の検出精度が
悪くなったり、加速度の測定が不能になることが分かっ
た。研究の結果、振動または加速度が０．１Ｈｚ以下に
なると、加速度センサの出力電圧が小さくなり過ぎ（ま
たは出力電流が小さくなる過ぎ）るのが、原因であるこ
とがわかってきた。そこで本発明では、圧電セラミック
ス基板の表面上に１以上の検出用電極を有し且つ裏面上
に検出用電極と対向する１以上の対向電極を有し、加速
度の作用により圧電セラミックス基板が撓んだ際に検出
用電極に自発分極電荷が発生する圧電型加速度センサ
と、オフセット電圧の基準となるオフセット基準電圧を
発生するオフセット基準電圧発生回路と、圧電型加速度
センサの検出用電極の出力とオフセット電圧が信号入力
端子に入力されて、オフセット電圧を中心にして圧電型
加速度センサの出力を増幅して電圧信号として出力する
電圧増幅回路とを具備する圧電型加速度センサを備えた
加速度検出装置を改良の対象として、次の構成を採用す
ることにした。

【０００９】まず本発明では、電圧増幅回路の信号入力
端子とアースとの間に超高抵抗回路を電気的に並列接続
する。そしてこの超高抵抗回路の抵抗値を、圧電型加速
度センサが０．１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を
検出しているときに、圧電型加速度センサから出力され
る電流を電圧に変換する電流−電圧変換回路を構成し得
る値に定める。このような超高抵抗回路は、周波数が高
いときには、圧電型加速度センサの出力電圧の増幅動作
には何も影響を与えない。したがって周波数が高いとき
には、従来と同様の動作をする。圧電型加速度センサが
０．１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を検出するよ
うになると、圧電型加速度センサの出力電圧及び出力電
流は非常に小さくなり、その電圧をそのまま増幅するこ
とができなくなる。ちなみにこのような状態における圧
電型加速度センサの出力電流は、ピコないしはフェムト
アンペアのオーダの微小電流になっている。このような
状態になったときに、電圧増幅回路の信号入力端子とア
ースとの間に並列接続された超高抵抗回路は、この微小
電流を電圧に変換する電流−電圧変換回路として機能し
て、電圧増幅回路の信号入力端子に入力される電圧を増
大させる。ちなみにこの超高抵抗回路の抵抗値を１０Ｇ
Ω〜１００ＧΩとし、また電圧増幅回路の入力インピー
ダンスを超高抵抗回路の抵抗値の１０００倍以上の値に
すると、０．１Ｈｚ〜０．００１Ｈｚの超低周波の振動
または加速度まで検出することが可能である。なお超高
抵抗回路をチップ状態の超高抵抗体によって構成すれ
ば、部品点数が少なくなるだけでなく、回路構成が簡単
になる。

【００１０】なお本発明の技術的思想は、オフセット電
圧を基準して圧電型加速度センサの出力を増幅せずに、
加速度センサの出力をそのまま出力する場合にも当然に
して適用できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。図１は、本発明に係る圧
電型加速度センサを備えた加速度検出装置の一つの実施
の形態の主要な構成を示す回路図である。図１におい
て、圧電型加速度センサ４は圧電セラミックス基板の表
面上にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸方向の加速度を検出する
検出用電極が設けられ、裏面上に対向電極が設けられて
なり、加速度の作用により圧電セラミックス基板が撓ん
だ際に各検出用電極に発生する自発分極電荷に応じて加
速度の大きさ及び方向を検出する三軸型である。なお図
１においては、一軸の検出用電極に対する回路のみを示
しており、残りの二軸の検出用電極に対する回路は省略
してある。

【００１２】この加速度検出装置では、バッテリ等の直
流電源から電源電圧Ｖccが各部に印加されている。図１
において、１は抵抗Ｒ１及びＲ２とバッファ回路を形成
するオペアンプＯＰ１とからなる低インピーダンスの基
準定電圧回路であり、また２は抵抗Ｒ３及びＲ４とオペ
アンプＯＰ２とからなる電圧増幅回路（差動増幅回路）
である。さらに３は、抵抗Ｒ５及びＲ６から構成され
て、オフセット電圧の基準となるオフセット基準電圧を
発生するオフセット基準電圧発生回路であり、４は圧電
型加速度センサである。そしてＲ７がオフセット基準電
圧発生回路３の出力点と電圧増幅回路２の信号入力端子
（非反転入力端子）との間に接続された超高抵抗体であ
る。またＲ８は電圧増幅回路２の信号入力端子とアース
との間に電気的に並列接続された超高抵抗回路を構成す
るチップ状の超高抵抗体である。

【００１３】圧電型加速度センサ４は、圧電セラミック
ス基板４ａの表面上に１以上の検出用電極４ｂを有し且
つ裏面上に検出用電極４ｂと対向する１以上の対向電極
４ｃを有している。圧電型加速度センサ４では、加速度
の作用により圧電セラミックス基板４ａが撓んだ際に検
出用電極４ｂに自発分極電荷が発生し、これが電流値と
して出力される。電圧増幅回路２の非反転入力端子（信
号入力端子）には、圧電型加速度センサ４の検出用電極
４ｂの出力が入力される。そして、電圧増幅回路２は、
オフセット基準電圧発生回路３の出力点（抵抗Ｒ５とＲ
６の接続点）に現れるオフセット基準電圧に基いて定ま
るオフセット電圧（例えば１．１Ｖ）を中心にして圧電
型加速度センサ４の出力を増幅し、電圧信号（加速度検
出信号）として出力する。電圧増幅回路２の増幅度は、
第１及び第２のゲイン設定用抵抗体Ｒ３及びＲ４の比に
よって定まる。

【００１４】この例では、オフセット基準電圧発生回路
３の出力点と電圧増幅回路２の非反転入力端子（信号入
力端子）または圧電型加速度センサ４の検出用電極４ｂ
との間に、２ＧΩの超高抵抗体からなる抵抗体Ｒ７が配
置されている。具体的には、抵抗体Ｒ７として、北陸電
気工業株式会社が製造販売する２．０ｍｍ×１．２５ｍ
ｍの寸法の２ＧΩの超高抵抗チップ抵抗器を用いること
ができる。なおこの抵抗体Ｒ７の抵抗値は、圧電型加速
度センサ４が１Ｈｚ以下の周波数（超低周波数）で振動
する加速度を検出しているときの圧電型加速度センサ４
のインピーダンス（例えば０．１Ｈｚで約１．６ＧΩ）
よりも大きければよい。抵抗体Ｒ７の抵抗値が超低周波
数における圧電型加速度センサ４のインピーダンスより
も十分に大きいため、オフセット基準電圧発生回路３を
構成する抵抗体Ｒ５及びＲ６の抵抗値は低くても問題が
ない。そのためオフセット基準電圧を調整する場合の抵
抗値の選択または調整（例えばトリマブルチップ抵抗器
のトリミングによる調整）が容易であり、またオフセッ
ト基準電圧発生回路３を安価に構成できる。なおオフセ
ット基準電圧の大きさは、圧電型加速度センサ１の感度
と測定対象となる加速度の予想される最大ピーク値とを
考慮して決定される。

【００１５】抵抗体Ｒ８は、１０ＧΩの超高抵抗体によ
って構成されている。具体的には、抵抗体Ｒ８として、
北陸電気工業株式会社が製造販売する２．０ｍｍ×１．
２５ｍｍの寸法の１０ＧΩの超高抵抗チップ抵抗器を用
いることができる。そしてオペアンプＯＰ２は、初段入
力部にＭＯＳＦＥＴを使用した入力インピーダンスが非
常に高いＭＯＳ型のオペアンプである。このオペアンプ
ＯＰ２の入力インピーダンスは、抵抗体Ｒ８の抵抗値の
１０００倍以上であることが望ましく、１×１０¹⁵Ω以
上の値を有している。

【００１６】本例では、０．１Ｈｚ以下の周波数で振動
する加速度を検出する場合でも、超高抵抗体からなる抵
抗体Ｒ７の抵抗値が圧電型加速度センサ４のインピーダ
ンスよりも大きいために、圧電型加速度センサ４の出力
がオフセット基準電圧発生回路３側に流れ込むのを阻止
することができる。そしてコンデンサを含むブートスト
ラップ回路等の複雑なインピーダンス調整回路を用いる
ことなく、超高抵抗体からなる抵抗体Ｒ７を用いている
ため、少ない部品点数で０．１Ｈｚ以下の超低周波の周
波数で振動する加速度を正確に検出できる。その上、
０．１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を検出する場
合に、抵抗体Ｒ８が電流−電圧変換回路となって、加速
度センサ４から出力される微小電流を電圧に変換して電
圧増幅回路２に供給するため、０．１Ｈｚ以下の周波数
で振動する加速度を正確に測定することができる。なお
現在入手可能な最も抵抗値の大きなチップ状の超高抵抗
体としては、日本ヒドラジン株式会社が製造販売する１
００ＧΩの超高抵抗体がある。１００ＧΩの超高抵抗体
を抵抗体Ｒ８として使用した場合には、０．００１Ｈｚ
の周波数で振動する加速度も測定可能であることが分か
っている。今後さらに抵抗値の大きな超高抵抗体が開発
されれば、検出可能な周波数が更に低下することは当業
者には明らかであろう。

【００１７】上記例では、電圧増幅回路２としてオペア
ンプＯＰ２を用いた差動増幅器を用いたが、図２に示す
ように増幅度が非常に大きい反転増幅器としてのインバ
ータＩＶを電圧増幅回路（リニアアンプ）２´として用
いてもよい。インバータＩＶを用いる場合でも、圧電型
加速度センサ４の検出用電極４ｂは、インバータＩＶの
信号入力端子に接続され、オフセット基準電圧発生回路
３の出力点とインバータＩＶの信号入力端子との間に２
ＧΩの超高抵抗体からなる抵抗体Ｒ７を配置し、インバ
ータＩＶの信号入力端子とアースとの間に１０ＧΩの超
高抵抗体からなる抵抗体Ｒ８を配置する点は変わらな
い。この例によれば、部品点数が少なくなるため、加速
度検出装置をモジュール化した場合に小型化が可能であ
る。またこの例でも図１の例と同様に、抵抗体Ｒ７の抵
抗値が超低周波数における圧電型加速度センサ４のイン
ピーダンスよりも十分に大きいため、オフセット基準電
圧発生回路３を構成する抵抗Ｒ５及びＲ６の抵抗値は低
くても問題がなく、オフセット基準電圧発生回路３を安
価に構成できる。また０．１Ｈｚ以下の周波数で振動す
る加速度を検出する場合に、抵抗体Ｒ８が電流−電圧変
換回路となって、加速度センサ４から出力される微小電
流を電圧に変換して電圧増幅回路２´に供給するため、
０．１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を正確に測定
することができる。

【００１８】インバータＩＶにおける消費電力を少なく
するためには、図３に示すように、抵抗体Ｒ８及びＲ９
を外部接続すればよい。ちなみに株式会社東芝がＴＣ７
ＳＬＵ０４ＦＵの製品番号で販売するインバータを用い
る場合に、外部接続する抵抗体Ｒ９及びＲ１０の抵抗値
を３．３ＭΩとすると、回路の平均消費電流を１μＡ以
下とすることができる。そのため電源として乾電池を用
いるガスメータの感震器にこの種の加速度検出装置を用
いることも十分に可能になる。

【００１９】図４は、本発明の他の実施の形態の一例の
回路図である。図１の例と異なるのは、オフセット基準
電圧発生回路３´の出力点が電圧増幅回路４の非反転入
力端子（信号入力端子）に接続されている点と、オフセ
ット基準電圧発生回路３´が２つの超高抵抗体Ｒ´５及
びＲ´６からなる分圧回路によって構成されている点
と、２つの超高抵抗体Ｒ´５及びＲ´６の抵抗値を、圧
電型加速度センサ４が１Ｈｚ以下の周波数で振動する加
速度を検出しているときの圧電型加速度センサ４のイン
ピーダンスよりも高く、しかも圧電型加速度センサ４が
０．１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を検出してい
るときに、超高抵抗体Ｒ´６が圧電型加速度センサ４か
ら出力される電流を電圧に変換する電流−電圧変換回路
を構成し得るような値に定めた点である。その他の点
は、実質的に図１の例と同じであるため、説明は省略す
る。この例では、具体的には、２つの超高抵抗体Ｒ´５
及びＲ´６の抵抗値を１０ＧΩ以上としている。このよ
うな構成でも、図１乃至図３の例と同様に、０．１Ｈｚ
以下の周波数で振動する加速度を正確に検出できる。な
おこの例では、オフセット基準電圧発生回路３´を２つ
の超高抵抗体Ｒ´５及びＲ´６により構成しているた
め、オフセット基準電圧の調整をすることが図１の例と
比べて容易ではないが、実用上は特に問題とならない。

【００２０】上記各例において、得られる効果を以下に
列挙する。

【００２１】加速度センサの端子間インピーダンスが
超高抵抗体Ｒ８の抵抗値を上限として安定する。

【００２２】図１及び図４の例では、超高抵抗体Ｒ８
を介してオペアンプＯＰ２の非反転入力端子がアースま
たはグランドに接続されているため、端子電圧がアース
またはフランドレベルになる。そのため一般的なＩＣ増
幅器であっても問題なく使用できる。

【００２３】周波数が高いときには、基本的に電圧入
力になっていて、超高抵抗体Ｒ８はアースレベルまたは
グランドレベルを保証するために機能しているので、超
高抵抗体Ｒ８には電流はほとんど流れない。そのため抵
抗値がばらついていても加速度の測定に影響が現れ難
い。

【００２４】オフセット電圧が安定する。

【００２５】超低周波数の振動及び加速度を検出する
際に、外乱ノイズが混入してきても、超高抵抗体Ｒ８で
Ｉ／Ｖ変換されるため、通常の電圧増幅アンプに比べ
て、耐ノイズ性に優れている。

【００２６】超低周波数レベル（ＤＣレベル）まで感
度がほとんど一定である。

【００２７】超高抵抗体Ｒ８の抵抗値が経時変化によ
り変化しても、抵抗値が大きいため、その影響を受け難
い。

【００２８】雷サージが加速度センサ装置に入って
も、超高抵抗体Ｒ８がＩ／Ｖ変換してくれるため、保護
回路として機能する。

【００２９】これらの効果があるため、チョッピング等
の回路技法を用いなくては測定できなかった圧電型加速
度センサの自発分極電荷を安価なＩＣアンプを用いて効
率的に測定することが可能になる。また電圧増幅回路２
をバイポーラＩＣで構成しても、前段にＮＭＯＳ等のペ
アトランジスタを差動配置し、接続することで同様の機
能を達成することができる。更に図１及び図４の例で
は、非反転増幅器を用いるため、信号処理も簡単であ
り、増幅率等のパラメータはセンサの固定差を埋める程
度の処理で十分に実用信号レベルが得られ、精度も格段
に向上する。

【００３０】

【発明の効果】本発明によれば、０．１Ｈｚ以下の周波
数で振動する加速度を検出することできる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る圧電型加速度センサを備えた加速
度検出装置の一つの実施の形態の主要な構成を示す回路
図である。

【図２】本発明に係る圧電型加速度センサを備えた加速
度検出装置の他の実施の形態の主要な構成を示す回路図
である。

【図３】本発明に係る圧電型加速度センサを備えた加速
度検出装置の他の実施の形態の主要な構成を示す回路図
である。

【図４】本発明に係る圧電型加速度センサを備えた加速
度検出装置の他の実施の形態の主要な構成を示す回路図
である。

【符号の説明】

１ 基準定電圧回路 ２ 電圧増幅回路 ３ オフセット基準電圧発生回路 ４ 圧電型加速度センサ Ｒ７ 抵抗体（超高抵抗体） Ｒ８ 抵抗体（超高抵抗体） Ｒ´５，Ｒ´６ 超高抵抗体

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電セラミックス基板の表面上に１以上
   の検出用電極を有し且つ裏面上に前記検出用電極と対向
   する１以上の対向電極を有し、加速度の作用により前記
   圧電セラミックス基板が撓んだ際に前記検出用電極に自
   発分極電荷が発生する圧電型加速度センサと、 オフセット電圧の基準となるオフセット基準電圧を発生
   するオフセット基準電圧発生回路と、 前記圧電型加速度センサの前記検出用電極の出力と前記
   オフセット電圧が信号入力端子に入力されて、前記オフ
   セット電圧を中心にして前記圧電型加速度センサの出力
   を増幅して電圧信号として出力する電圧増幅回路とを具
   備する圧電型加速度センサを備えた加速度検出装置であ
   って、 前記電圧増幅回路の前記信号入力端子とアースとの間に
   超高抵抗回路が電気的に並列接続され、 前記超高抵抗回路の抵抗値を、前記圧電型加速度センサ
   が０．１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を検出して
   いるときに、前記圧電型加速度センサから出力される電
   流を電圧に変換する電流−電圧変換回路を構成し得る値
   に定めたことを特徴とする圧電型加速度センサを備えた
   加速度検出装置。
2. 【請求項２】 前記超高抵抗回路はチップ状の超高抵抗
   体からなり、前記超高抵抗体は１０ＧΩ以上の抵抗値を
   有していることを特徴とする請求項１に記載の圧電型加
   速度センサを備えた加速度検出装置。
3. 【請求項３】 前記超高抵抗体の抵抗値は１０ＧΩ〜１
   ００ＧΩの値であり、前記電圧増幅回路の入力インピー
   ダンスが前記超高抵抗体の抵抗値の１０００倍以上の値
   であることを特徴とする請求項１に記載の圧電型加速度
   センサを備えた加速度検出装置。
4. 【請求項４】 圧電セラミックス基板の表面上に１以上
   の検出用電極を有し且つ裏面上に前記検出用電極と対向
   する１以上の対向電極を有し、加速度の作用により前記
   圧電セラミックス基板が撓んだ際に前記検出用電極に自
   発分極電荷が発生する圧電型加速度センサと、 前記オフセット電圧の基準となるオフセット基準電圧を
   発生するオフセット基準電圧発生回路と、 前記圧電型加速度センサの前記検出用電極の出力及び前
   記オフセット電圧が非反転入力端子に入力され、反転入
   力端子とアース間との間に第１の抵抗体が接続され、前
   記反転入力端子と出力端子との間に第２の抵抗体とが接
   続されて、前記非反転入力端子に印加されて前記オフセ
   ット電圧を中心にして前記圧電型加速度センサの出力を
   増幅して電圧信号として出力する差動増幅回路とを具備
   する圧電型加速度センサを備えた加速度検出装置であっ
   て、 前記差動増幅回路の前記信号入力端子とアース間との間
   に、前記圧電型加速度センサが０．１Ｈｚ以下の周波数
   で振動する加速度を検出しているときに、前記圧電型加
   速度センサから出力される電流を電圧に変換する電流−
   電圧変換回路を構成し得る非常に高い抵抗値を有する超
   高抵抗体が電気的に並列接続されていることを特徴とす
   る圧電型加速度センサを備えた加速度検出装置。
5. 【請求項５】 圧電セラミックス基板の表面上に１以上
   の検出用電極を有し且つ裏面上に前記検出用電極と対向
   する１以上の対向電極を有し、加速度の作用により前記
   圧電セラミックス基板が撓んだ際に前記検出用電極に自
   発分極電荷が発生する圧電型加速度センサと、 オフセット電圧の基準となるオフセット基準電圧を発生
   するオフセット基準電圧発生回路と、 前記圧電型加速度センサの前記検出用電極の出力と前記
   オフセット電圧とが信号入力端子に入力されて、前記オ
   フセット電圧を中心にして前記圧電型加速度センサの出
   力を増幅して電圧信号として出力する電圧増幅回路とを
   具備する圧電型加速度センサを備えた加速度検出装置で
   あって、 前記オフセット基準電圧発生回路の出力点が前記電圧増
   幅回路の前記信号入力端子に接続され、 前記オフセット基準電圧発生回路が２つの超高抵抗体か
   らなる分圧回路によって構成され、 前記２つの超高抵抗体の抵抗値を、前記圧電型加速度セ
   ンサが０．１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を検出
   しているときに、前記圧電型加速度センサから出力され
   る電流を電圧に変換する電流−電圧変換回路を構成し得
   る値に定めたことを特徴とする圧電型加速度センサを備
   えた加速度検出装置。
6. 【請求項６】 前記２つの超高抵抗体の抵抗値が１０Ｇ
   Ω以上である請求項５に記載の圧電型加速度センサを備
   えた加速度検出装置。
7. 【請求項７】 圧電セラミックス基板の表面上に１以上
   の検出用電極を有し且つ裏面上に前記検出用電極と対向
   する１以上の対向電極を有し、加速度の作用により前記
   圧電セラミックス基板が撓んだ際に前記検出用電極に自
   発分極電荷が発生する圧電型加速度センサと、 前記圧電型加速度センサの前記検出用電極の出力が信号
   入力端子に入力されて、前記圧電型加速度センサの出力
   を増幅して電圧信号として出力する電圧増幅回路とを具
   備する圧電型加速度センサを備えた加速度検出装置であ
   って、 前記電圧増幅回路の前記信号入力端子とアースとの間に
   超高抵抗回路が電気的に並列接続され、 前記超高抵抗回路の抵抗値を、前記圧電型加速度センサ
   が０．１Ｈｚ以下の周波数で振動する加速度を検出して
   いるときに、前記圧電型加速度センサから出力される電
   流を電圧に変換する電流−電圧変換回路を構成し得る値
   に定めたことを特徴とする圧電型加速度センサを備えた
   加速度検出装置。