JP2000332097A - ウェーハ収納キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法 - Google Patents
ウェーハ収納キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法Info
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- JP2000332097A JP2000332097A JP11135955A JP13595599A JP2000332097A JP 2000332097 A JP2000332097 A JP 2000332097A JP 11135955 A JP11135955 A JP 11135955A JP 13595599 A JP13595599 A JP 13595599A JP 2000332097 A JP2000332097 A JP 2000332097A
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/14—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3402—Mechanical parts of transfer devices
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は背面研削されることによりウェーハ厚
が薄くなったウェーハを収納或いは搬送するウェーハ収
納キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法
に関し、ウェーハが自重で反ることにより、ウェーハに
クラックや割れが発生することを防止することを課題と
する。 【解決手段】背面研削されることによりウェーハ厚が薄
くなったウェーハ１２が収納されるウェーハ収納部１３
がキャリア本体部１１内に設けられると共に、ウェーハ
搬送アーム２２がキャリア本体部１１内に装着脱される
ことによりウェーハ１２をウェーハ収納部１３に装着脱
する構成とされたウェーハ収納キャリアにおいて、ウェ
ーハ収納部１３を、ウェーハ１２の少なくとも外周位置
を支持する第１の支持部１５と、ウェーハ１２の少なく
とも中央部分を支持する第２の支持部１６とにより構成
する。
が薄くなったウェーハを収納或いは搬送するウェーハ収
納キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法
に関し、ウェーハが自重で反ることにより、ウェーハに
クラックや割れが発生することを防止することを課題と
する。 【解決手段】背面研削されることによりウェーハ厚が薄
くなったウェーハ１２が収納されるウェーハ収納部１３
がキャリア本体部１１内に設けられると共に、ウェーハ
搬送アーム２２がキャリア本体部１１内に装着脱される
ことによりウェーハ１２をウェーハ収納部１３に装着脱
する構成とされたウェーハ収納キャリアにおいて、ウェ
ーハ収納部１３を、ウェーハ１２の少なくとも外周位置
を支持する第１の支持部１５と、ウェーハ１２の少なく
とも中央部分を支持する第２の支持部１６とにより構成
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ収納キャリ
ア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法に係り、
特に背面研削されることによりウェーハ厚が薄くなった
ウェーハを収納或いは搬送するウェーハ収納キャリア及
びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法に関する。
ア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法に係り、
特に背面研削されることによりウェーハ厚が薄くなった
ウェーハを収納或いは搬送するウェーハ収納キャリア及
びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法に関する。
【０００２】周知のように、半導体装置はウェーハに対
して各種処理工程を実施することにより製造される。従
って、ウェーハを各種処理を行なう半導体製造装置に搬
送する必要がある。このウェーハの搬送にはウェーハ収
納キャリアが用いられており、複数のウェーハを内部に
収納しうる構成とされている。一方、近年では、半導体
装置の小型薄型化が急速に進んでおり、これに伴いウェ
ーハは薄型化する傾向にある。よって、薄型化されたウ
ェーハでも確実に収納しうるウェーハ収納キャリアが望
まれている。
して各種処理工程を実施することにより製造される。従
って、ウェーハを各種処理を行なう半導体製造装置に搬
送する必要がある。このウェーハの搬送にはウェーハ収
納キャリアが用いられており、複数のウェーハを内部に
収納しうる構成とされている。一方、近年では、半導体
装置の小型薄型化が急速に進んでおり、これに伴いウェ
ーハは薄型化する傾向にある。よって、薄型化されたウ
ェーハでも確実に収納しうるウェーハ収納キャリアが望
まれている。
【０００３】
【従来の技術】図１は、従来のウェーハ収納キャリア４
０の要部を拡大して示す図である。同図に示すように、
ウェーハ収納キャリア４０は、ウェーハ１２Ａを装着す
る部位の両側部に、ウェーハ１２Ａの外周部所定範囲と
係合してこれを支持する支持部４２が設けられている。
この支持部４２は、上下方向に複数個形成されており、
よってウェーハ収納キャリア４０は複数のウェーハ１２
Ａを内部に装着しうる構成となっている。
０の要部を拡大して示す図である。同図に示すように、
ウェーハ収納キャリア４０は、ウェーハ１２Ａを装着す
る部位の両側部に、ウェーハ１２Ａの外周部所定範囲と
係合してこれを支持する支持部４２が設けられている。
この支持部４２は、上下方向に複数個形成されており、
よってウェーハ収納キャリア４０は複数のウェーハ１２
Ａを内部に装着しうる構成となっている。
【０００４】従来のウェーハ収納キャリア４０は、半導
体製造工程によって使い分けるようなことはされておら
ず、よって例えばウェーハ１２Ａに対し回路形成を行う
薄膜形成工程、ドーピング工程で用いるウェーハ収納キ
ャリアも、またウェーハ１２Ａを薄型化するために実施
される背面研削を行った後のウェーハ１２Ａを収納する
ウェーハ収納キャリアも同一のものが用いられていた。
体製造工程によって使い分けるようなことはされておら
ず、よって例えばウェーハ１２Ａに対し回路形成を行う
薄膜形成工程、ドーピング工程で用いるウェーハ収納キ
ャリアも、またウェーハ１２Ａを薄型化するために実施
される背面研削を行った後のウェーハ１２Ａを収納する
ウェーハ収納キャリアも同一のものが用いられていた。
【０００５】また、上記した薄膜形成工程やドーピング
工程等の微細加工においては、ウェーハ１２Ａに塵埃が
付着するのを嫌うため、ウェーハ１２Ａをウェーハ収納
キャリア４０に装着した際、支持部４１とウェーハ１２
Ａとの接触面積がなるべく小さくするよう構成されてい
る。そして、これにより支持部４１に付着している塵埃
がウェーハ１２Ａに移ることを防止していた。
工程等の微細加工においては、ウェーハ１２Ａに塵埃が
付着するのを嫌うため、ウェーハ１２Ａをウェーハ収納
キャリア４０に装着した際、支持部４１とウェーハ１２
Ａとの接触面積がなるべく小さくするよう構成されてい
る。そして、これにより支持部４１に付着している塵埃
がウェーハ１２Ａに移ることを防止していた。
【０００６】具体的には、図１に示すように、支持部４
１の上面及び下面を傾斜面４２とし、これにより支持部
４１がウェーハ１２Ａに対し線接触となるようにし（即
ち、支持部４１とウェーハ１２Ａの接触面積を小さく
し）、これにより支持部４１に付着している塵埃がウェ
ーハ１２Ａに移ることを防止していた。ところで、ウェ
ーハ１２Ａの厚さは半導体装置のパッケージの大きさに
よって決められており、従来では薄いものでも３００μ
ｍ程度と比較的厚い寸法とされていた。このため、従来
のウェーハ１２Ａの機械的強度も強く、よって従来のウ
ェーハ収納キャリア４０のようにウェーハ１２Ａの外周
部分を支持部４１で支持する構成としても、発生するウ
ェーハ１２Ａの反り量もキャリア内で１〜２ｍｍ程度で
あった。
１の上面及び下面を傾斜面４２とし、これにより支持部
４１がウェーハ１２Ａに対し線接触となるようにし（即
ち、支持部４１とウェーハ１２Ａの接触面積を小さく
し）、これにより支持部４１に付着している塵埃がウェ
ーハ１２Ａに移ることを防止していた。ところで、ウェ
ーハ１２Ａの厚さは半導体装置のパッケージの大きさに
よって決められており、従来では薄いものでも３００μ
ｍ程度と比較的厚い寸法とされていた。このため、従来
のウェーハ１２Ａの機械的強度も強く、よって従来のウ
ェーハ収納キャリア４０のようにウェーハ１２Ａの外周
部分を支持部４１で支持する構成としても、発生するウ
ェーハ１２Ａの反り量もキャリア内で１〜２ｍｍ程度で
あった。
【０００７】この程度のウェーハ１２Ａのたわみ（反
り）量であれば、特にウェーハ収納キャリア４０の構成
及びウェーハ１２Ａをウェーハ収納キャリア４０から装
着脱する搬送装置についても、ウェーハ１２Ａの外周の
みを支持する構成で、ウェーハ１２Ａにウェーハ割れや
クラックなどが発生する問題は生じなかった。
り）量であれば、特にウェーハ収納キャリア４０の構成
及びウェーハ１２Ａをウェーハ収納キャリア４０から装
着脱する搬送装置についても、ウェーハ１２Ａの外周の
みを支持する構成で、ウェーハ１２Ａにウェーハ割れや
クラックなどが発生する問題は生じなかった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年ではＩＣ
カードや複数の半導体チップをパッケージ内に積層配設
するスタックドＩＣ等の半導体装置が要求するウェーハ
厚は、８インチウェーハで２００μｍ、６インチウェー
ハで５０〜１５０μｍと非常に薄い。このため、半導体
製造工程のバックグラインダー工程（ＢＧ工程）では、
ウェーハの背面を上記した厚さとなるよう背面研削を行
う。
カードや複数の半導体チップをパッケージ内に積層配設
するスタックドＩＣ等の半導体装置が要求するウェーハ
厚は、８インチウェーハで２００μｍ、６インチウェー
ハで５０〜１５０μｍと非常に薄い。このため、半導体
製造工程のバックグラインダー工程（ＢＧ工程）では、
ウェーハの背面を上記した厚さとなるよう背面研削を行
う。
【０００９】図２は、このように薄く加工されたウェー
ハ１２を従来のウェーハ収納キャリア４０に装着した状
態を示す図である。また、図３及び図４は、６インチウ
ェーハ及び８インチウェーハを両端支持した場合におけ
るウェーハ厚と反り量との関係を示している。図３に示
すように、６インチウェーハを両端支持するとウェーハ
厚が５０〜１５０μｍの場合には５ｍｍ〜９ｍｍ程度反
り、また８インチウェーハの場合には６ｍｍ〜１４ｍｍ
程度反ってしまう（図２に、反り量を矢印Ｈで示す）。
このようにウェーハ１２に大きな反りが発生すると、ウ
ェーハ１２にクラックが入ったり、割れたりするおそれ
があった。また、図２に示すように、ウェーハ収納キャ
リア４０内に反ったウェーハ１２がある場合、搬送装置
によりウェーハ１２をウェーハ収納キャリア４０から取
り出すことができないという問題点があった。
ハ１２を従来のウェーハ収納キャリア４０に装着した状
態を示す図である。また、図３及び図４は、６インチウ
ェーハ及び８インチウェーハを両端支持した場合におけ
るウェーハ厚と反り量との関係を示している。図３に示
すように、６インチウェーハを両端支持するとウェーハ
厚が５０〜１５０μｍの場合には５ｍｍ〜９ｍｍ程度反
り、また８インチウェーハの場合には６ｍｍ〜１４ｍｍ
程度反ってしまう（図２に、反り量を矢印Ｈで示す）。
このようにウェーハ１２に大きな反りが発生すると、ウ
ェーハ１２にクラックが入ったり、割れたりするおそれ
があった。また、図２に示すように、ウェーハ収納キャ
リア４０内に反ったウェーハ１２がある場合、搬送装置
によりウェーハ１２をウェーハ収納キャリア４０から取
り出すことができないという問題点があった。
【００１０】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、ウェーハが自重で反ることにより、ウェーハにク
ラックや割れが発生することを防止しうるウェーハ収納
キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法を
提供することを目的とする。
あり、ウェーハが自重で反ることにより、ウェーハにク
ラックや割れが発生することを防止しうるウェーハ収納
キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法を
提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴と
するものである。請求項１記載の発明は、背面研削され
ることによりウェーハ厚が薄くなったウェーハが収納さ
れるウェーハ収納部がキャリア本体内に設けられると共
に、ウェーハ搬送機構が前記キャリア本体内に装着脱さ
れることにより前記ウェーハを前記ウェーハ収納部に装
着脱する構成とされたウェーハ収納キャリアにおいて、
前記ウェーハ収納部を、少なくとも前記ウェーハの外周
位置を支持する第１の支持部と、少なくとも前記ウェー
ハの中央部分を支持する第２の支持部とにより構成した
ことを特徴とするものである。
に本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴と
するものである。請求項１記載の発明は、背面研削され
ることによりウェーハ厚が薄くなったウェーハが収納さ
れるウェーハ収納部がキャリア本体内に設けられると共
に、ウェーハ搬送機構が前記キャリア本体内に装着脱さ
れることにより前記ウェーハを前記ウェーハ収納部に装
着脱する構成とされたウェーハ収納キャリアにおいて、
前記ウェーハ収納部を、少なくとも前記ウェーハの外周
位置を支持する第１の支持部と、少なくとも前記ウェー
ハの中央部分を支持する第２の支持部とにより構成した
ことを特徴とするものである。
【００１２】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載のウェーハ収納キャリアにおいて、前記第１の支持部
と前記第２の支持部との間に前記ウェーハ搬送機構が挿
入される挿入部を形成したことを特徴とするものであ
る。また、請求項３記載の発明は、請求項１または２記
載のウェーハ収納キャリアにおいて、前記第２の支持部
は、前記キャリア本体に対し取外し可能な構成であるこ
とを特徴とするものである。
載のウェーハ収納キャリアにおいて、前記第１の支持部
と前記第２の支持部との間に前記ウェーハ搬送機構が挿
入される挿入部を形成したことを特徴とするものであ
る。また、請求項３記載の発明は、請求項１または２記
載のウェーハ収納キャリアにおいて、前記第２の支持部
は、前記キャリア本体に対し取外し可能な構成であるこ
とを特徴とするものである。
【００１３】また、請求項４記載の発明は、請求項１乃
至３のいずれかに記載のウェーハ収納キャリアにおい
て、前記第１の支持部を前記ウェーハの下面を支持する
第１の鍔部と、前記ウェーハの上面と対向する第２の鍔
部とにより構成し、前記第１の鍔部と前記第２の鍔部と
の離間距離を、前記ウェーハが前記ウェーハ搬送機構に
より支持されることにより前記ウェーハに発生する変形
量よりも大きな距離に設定したことを特徴とするもので
ある。
至３のいずれかに記載のウェーハ収納キャリアにおい
て、前記第１の支持部を前記ウェーハの下面を支持する
第１の鍔部と、前記ウェーハの上面と対向する第２の鍔
部とにより構成し、前記第１の鍔部と前記第２の鍔部と
の離間距離を、前記ウェーハが前記ウェーハ搬送機構に
より支持されることにより前記ウェーハに発生する変形
量よりも大きな距離に設定したことを特徴とするもので
ある。
【００１４】また、請求項５記載の発明は、請求項１乃
至４のいずれかに記載のウェーハ収納キャリアにおい
て、前記第１の支持部を前記ウェーハの下面を支持する
第１の鍔部と、前記ウェーハの上面と対向する第２の鍔
部とにより構成し、かつ、前記第２の鍔部に傾斜面を形
成することにより、前記キャリア本体の中央位置に向か
うに連れて前記第１の鍔部と前記第２の鍔部との離間距
離が漸次広くなるよう構成したことを特徴とするもので
ある。
至４のいずれかに記載のウェーハ収納キャリアにおい
て、前記第１の支持部を前記ウェーハの下面を支持する
第１の鍔部と、前記ウェーハの上面と対向する第２の鍔
部とにより構成し、かつ、前記第２の鍔部に傾斜面を形
成することにより、前記キャリア本体の中央位置に向か
うに連れて前記第１の鍔部と前記第２の鍔部との離間距
離が漸次広くなるよう構成したことを特徴とするもので
ある。
【００１５】また、請求項６記載の発明は、請求項１乃
至５のいずれかに記載のウェーハ収納キャリアに設けら
れた前記ウェーハ収納部に対し、前記ウェーハを装着脱
するウェーハ搬送機構が設けられたウェーハ搬送装置に
おいて、前記ウェーハ搬送機構を搬送ベルトにより構成
したことを特徴とするものである。
至５のいずれかに記載のウェーハ収納キャリアに設けら
れた前記ウェーハ収納部に対し、前記ウェーハを装着脱
するウェーハ搬送機構が設けられたウェーハ搬送装置に
おいて、前記ウェーハ搬送機構を搬送ベルトにより構成
したことを特徴とするものである。
【００１６】また、請求項７記載の発明は、背面研削さ
れることによりウェーハ厚が薄くなったウェーハを搬送
するウェーハ搬送方法において、請求項１乃至５のいず
れかに記載のウェーハ収納キャリアに前記ウェーハ厚が
薄くなったウェーハを装着して搬送を行うことを特徴と
するものである。
れることによりウェーハ厚が薄くなったウェーハを搬送
するウェーハ搬送方法において、請求項１乃至５のいず
れかに記載のウェーハ収納キャリアに前記ウェーハ厚が
薄くなったウェーハを装着して搬送を行うことを特徴と
するものである。
【００１７】上記した各手段は、次のように作用する。
請求項１及び請求項７記載の発明によれば、ウェーハ
は、ウェーハ収納キャリアに収納された状態において、
少なくともウェーハ外周位置を第１の支持部により支持
されると共に、ウェーハ中央部分を第２の支持部により
支持される。これにより、第１及び第２の支持部により
ウェーハは広い面積で支持されるため、背面研削される
ことによりウェーハ厚が薄くなったウェーハであっても
反りが発生することを防止することができ、よってウェ
ーハに割れやクラックが発生することを防止できる。
請求項１及び請求項７記載の発明によれば、ウェーハ
は、ウェーハ収納キャリアに収納された状態において、
少なくともウェーハ外周位置を第１の支持部により支持
されると共に、ウェーハ中央部分を第２の支持部により
支持される。これにより、第１及び第２の支持部により
ウェーハは広い面積で支持されるため、背面研削される
ことによりウェーハ厚が薄くなったウェーハであっても
反りが発生することを防止することができ、よってウェ
ーハに割れやクラックが発生することを防止できる。
【００１８】また、請求項２記載の発明によれば、第１
の支持部と第２の支持部との間にウェーハ搬送機構が挿
入される挿入部を形成したことにより、ウェーハの支持
面積を広く保ちつつ、ウェーハ搬送機構によるウェーハ
収納キャリアに対するウェーハの装着脱を確実に行うこ
とが可能となる。
の支持部と第２の支持部との間にウェーハ搬送機構が挿
入される挿入部を形成したことにより、ウェーハの支持
面積を広く保ちつつ、ウェーハ搬送機構によるウェーハ
収納キャリアに対するウェーハの装着脱を確実に行うこ
とが可能となる。
【００１９】また、請求項３記載の発明によれば、第２
の支持部をキャリア本体に対し取外し可能な構成とした
ことにより、第２の支持部をキャリア本体から取り外す
ことにより、背面研削される前のウェーハを収納するウ
ェーハ収納キャリアとしても用いることが可能となる。
また、請求項４記載の発明によれば、ウェーハの下面を
支持する第１の鍔部とウェーハの上面と対向する第２の
鍔部との離間距離を、ウェーハがウェーハ搬送機構によ
り支持されることによりウェーハに発生する変形量より
も大きな距離に設定したことにより、ウェーハの装着脱
時にウェーハの上面（回路が形成されている面）が第２
の鍔部と接触することに起因して、塵埃がウェーハに付
着することを防止することができる。
の支持部をキャリア本体に対し取外し可能な構成とした
ことにより、第２の支持部をキャリア本体から取り外す
ことにより、背面研削される前のウェーハを収納するウ
ェーハ収納キャリアとしても用いることが可能となる。
また、請求項４記載の発明によれば、ウェーハの下面を
支持する第１の鍔部とウェーハの上面と対向する第２の
鍔部との離間距離を、ウェーハがウェーハ搬送機構によ
り支持されることによりウェーハに発生する変形量より
も大きな距離に設定したことにより、ウェーハの装着脱
時にウェーハの上面（回路が形成されている面）が第２
の鍔部と接触することに起因して、塵埃がウェーハに付
着することを防止することができる。
【００２０】また、請求項５記載の発明によれば、ウェ
ーハの上面と対向する第２の鍔部に傾斜面を形成し、キ
ャリア本体の中央位置に向かうに連れてウェーハの下面
を支持する第１の鍔部と前記第２の鍔部との離間距離が
漸次広くなるよう構成したことにより、例えばウェーハ
搬送中にウェーハ収納キャリアに振動が与えられたり、
或いはウェーハをウェーハ収納キャリアに装着脱する際
にウェーハが第２の鍔部と接触しても、第２の鍔部は傾
斜面となっているために、ウェーハと第２の鍔部との接
触は点接触或いは線接触となる。よって、ウェーハと第
２の鍔部との接触面積は小さくなり、ウェーハが第２の
鍔部と接触することに起因して、ウェーハに塵埃が付着
することを防止することができる。
ーハの上面と対向する第２の鍔部に傾斜面を形成し、キ
ャリア本体の中央位置に向かうに連れてウェーハの下面
を支持する第１の鍔部と前記第２の鍔部との離間距離が
漸次広くなるよう構成したことにより、例えばウェーハ
搬送中にウェーハ収納キャリアに振動が与えられたり、
或いはウェーハをウェーハ収納キャリアに装着脱する際
にウェーハが第２の鍔部と接触しても、第２の鍔部は傾
斜面となっているために、ウェーハと第２の鍔部との接
触は点接触或いは線接触となる。よって、ウェーハと第
２の鍔部との接触面積は小さくなり、ウェーハが第２の
鍔部と接触することに起因して、ウェーハに塵埃が付着
することを防止することができる。
【００２１】また、請求項６記載の発明によれば、ウェ
ーハ収納キャリアのウェーハ収納部に対し、ウェーハを
装着脱するウェーハ搬送機構を搬送ベルトで構成したこ
とにより、搬送ベルトはその幅寸法を比較的幅広にと
れ、よってウェーハとの接触面積も広くなるため、背面
研削されることによりウェーハ厚が薄くなったウェーハ
であっても、確実に支持して搬送することができる。
ーハ収納キャリアのウェーハ収納部に対し、ウェーハを
装着脱するウェーハ搬送機構を搬送ベルトで構成したこ
とにより、搬送ベルトはその幅寸法を比較的幅広にと
れ、よってウェーハとの接触面積も広くなるため、背面
研削されることによりウェーハ厚が薄くなったウェーハ
であっても、確実に支持して搬送することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図５乃至図７は、本発明の一実
施例であるウェーハ収納キャリア１０を示す図である。
図５はウェーハ収納キャリア１０の斜視図であり、ウェ
ーハ収納キャリア１０に対しウェーハ１２を装着脱する
ウェーハ搬送アーム２２と共に示している。また、図６
はウェーハ収納キャリア１０の横断面図であり、また図
７はウェーハ収納キャリア１０のウェーハ１２が収納さ
れるウェーハ収納部１３を拡大して示す正面図である。
て図面と共に説明する。図５乃至図７は、本発明の一実
施例であるウェーハ収納キャリア１０を示す図である。
図５はウェーハ収納キャリア１０の斜視図であり、ウェ
ーハ収納キャリア１０に対しウェーハ１２を装着脱する
ウェーハ搬送アーム２２と共に示している。また、図６
はウェーハ収納キャリア１０の横断面図であり、また図
７はウェーハ収納キャリア１０のウェーハ１２が収納さ
れるウェーハ収納部１３を拡大して示す正面図である。
【００２３】本実施例に係るウェーハ収納キャリア１０
は、背面研削工程（ＢＧ工程）が実施されることにより
ウェーハ厚が薄くなったウェーハ１２が収納され、ＢＧ
工程後に実施される各製造工程においてウェーハ１２を
搬送或いは製造装置に装着するのに用いられるものであ
る。図１０は、ＢＧ工程後に実施されるテープリムーブ
工程において使用するテープリムーバ３０にウェーハ収
納キャリア１０を装着した例を示している。このテープ
リムーバ３０は、ＢＧ工程を実施する前にウェーハ１２
の回路形成面に保護テープを貼付すると共にＢＧ工程の
終了後に保護テープを剥離する装置である。
は、背面研削工程（ＢＧ工程）が実施されることにより
ウェーハ厚が薄くなったウェーハ１２が収納され、ＢＧ
工程後に実施される各製造工程においてウェーハ１２を
搬送或いは製造装置に装着するのに用いられるものであ
る。図１０は、ＢＧ工程後に実施されるテープリムーブ
工程において使用するテープリムーバ３０にウェーハ収
納キャリア１０を装着した例を示している。このテープ
リムーバ３０は、ＢＧ工程を実施する前にウェーハ１２
の回路形成面に保護テープを貼付すると共にＢＧ工程の
終了後に保護テープを剥離する装置である。
【００２４】同図は、ＢＧ工程の終了後に、ステージ３
３上に装着されたウェーハ１２から保護テープ３５を剥
離する様子を示している。以下、テープリムーバ３０に
より、保護テープ３５をウェーハ１２から剥離する手順
について簡単に説明する。ＢＧ工程が終了したウェーハ
１２は、供給側キャリア用テーブル３２に載置されたウ
ェーハ収納キャリア１０Ａに収納されている。また、テ
ープリムーバ３０には、ウェーハ１２を搬送するウェー
ハ搬送アーム２２を有した搬送ロボット３４が設けてい
る。
３上に装着されたウェーハ１２から保護テープ３５を剥
離する様子を示している。以下、テープリムーバ３０に
より、保護テープ３５をウェーハ１２から剥離する手順
について簡単に説明する。ＢＧ工程が終了したウェーハ
１２は、供給側キャリア用テーブル３２に載置されたウ
ェーハ収納キャリア１０Ａに収納されている。また、テ
ープリムーバ３０には、ウェーハ１２を搬送するウェー
ハ搬送アーム２２を有した搬送ロボット３４が設けてい
る。
【００２５】このウェーハ搬送アーム２２は、搬送ロボ
ット３４に駆動されることにより供給側のウェーハ収納
キャリア１０Ａ内に挿入され、ウェーハ収納キャリア１
０Ａかららウェーハ１２を取り出す。ウェーハ搬送アー
ム２２には吸着孔２４（図５参照）が設けられており、
よって取り出されたウェーハ１２はウェーハ搬送アーム
２２に吸着保持される。
ット３４に駆動されることにより供給側のウェーハ収納
キャリア１０Ａ内に挿入され、ウェーハ収納キャリア１
０Ａかららウェーハ１２を取り出す。ウェーハ搬送アー
ム２２には吸着孔２４（図５参照）が設けられており、
よって取り出されたウェーハ１２はウェーハ搬送アーム
２２に吸着保持される。
【００２６】そして、ウェーハ搬送アーム２２は、搬送
ロボット３４に駆動されることにより、ウェーハ１２を
ステージ３３上に載置する。この状態において、テープ
リムーバ３０に設けられてるテープ剥離機構３６によ
り、ウェーハ１２から保護テープ３５を剥離する。ウェ
ーハ１２から保護テープ３５が剥離されると、再びウェ
ーハ搬送アーム２２はウェーハ１２を吸着保持し、この
ウェーハ１２を格納側キャリア用テーブル３２に載置さ
れたウェーハ収納キャリア１０Ｂに収納する。このよう
に、ウェーハ収納キャリア１０（１０Ａ，１０Ｂ）は、
ＢＧ工程後に実施される各製造工程においてウェーハ１
２を搬送或いは製造装置に装着するのに用いられる。ま
た、ＢＧ工程後であるため、ウェーハ収納キャリア１０
（１０Ａ，１０Ｂ）に収納されるウェーハ１２のウェー
ハ厚は薄くなっている（具体的には、８インチウェーハ
で２００μｍ程度，６インチウェーハで５０〜１５０μ
ｍ程度）。
ロボット３４に駆動されることにより、ウェーハ１２を
ステージ３３上に載置する。この状態において、テープ
リムーバ３０に設けられてるテープ剥離機構３６によ
り、ウェーハ１２から保護テープ３５を剥離する。ウェ
ーハ１２から保護テープ３５が剥離されると、再びウェ
ーハ搬送アーム２２はウェーハ１２を吸着保持し、この
ウェーハ１２を格納側キャリア用テーブル３２に載置さ
れたウェーハ収納キャリア１０Ｂに収納する。このよう
に、ウェーハ収納キャリア１０（１０Ａ，１０Ｂ）は、
ＢＧ工程後に実施される各製造工程においてウェーハ１
２を搬送或いは製造装置に装着するのに用いられる。ま
た、ＢＧ工程後であるため、ウェーハ収納キャリア１０
（１０Ａ，１０Ｂ）に収納されるウェーハ１２のウェー
ハ厚は薄くなっている（具体的には、８インチウェーハ
で２００μｍ程度，６インチウェーハで５０〜１５０μ
ｍ程度）。
【００２７】続いて、図５乃至図７を用い、上記のよう
に使用されるウェーハ収納キャリア１０の詳細について
説明する。ウェーハ収納キャリア１０は、大略するとキ
ャリア本体部１１，ウェーハ収納部１３，第１の支持部
１５，及び第２の支持部１６等により構成されている。
図５に示すように、キャリア本体部１１は例えば箱型形
状を有しており、本実施例ではその内部に６つのウェー
ハ収納部１３が形成されている。即ち、本実施例に係る
ウェーハ収納キャリア１０は、その内部に６枚のウェー
ハ１２を収納することが可能である。しかるに、ウェー
ハ１２の収納枚数はこれに限定されるものではない。
に使用されるウェーハ収納キャリア１０の詳細について
説明する。ウェーハ収納キャリア１０は、大略するとキ
ャリア本体部１１，ウェーハ収納部１３，第１の支持部
１５，及び第２の支持部１６等により構成されている。
図５に示すように、キャリア本体部１１は例えば箱型形
状を有しており、本実施例ではその内部に６つのウェー
ハ収納部１３が形成されている。即ち、本実施例に係る
ウェーハ収納キャリア１０は、その内部に６枚のウェー
ハ１２を収納することが可能である。しかるに、ウェー
ハ１２の収納枚数はこれに限定されるものではない。
【００２８】個々のウェーハ収納部１３は、第１の支持
部１５と第２の支持部１６とにより構成されている。こ
の第１の支持部１５は、キャリア本体部１１を構成する
側部１１ａ，１１ｂに対向するよう形成されており、ウ
ェーハ１２の少なくとも外周位置を支持するよう構成さ
れている。この第１の支持部１５は、ウェーハ１２がウ
ェーハ装着部１３に装着された状態においてウェーハ１
２の下面を支持する第１の鍔部１８と、ウェーハ１２の
上面と対向する第２の鍔部１９とを形成した構成とされ
ている。また、第１の鍔部１８と第２の鍔部１９との離
間距離（図７に矢印Ｐで示す）は、後述するように、ウ
ェーハ搬送アーム２２により支持された際、ウェーハ１
２に発生する変形量よりも大きな距離に設定されてい
る。
部１５と第２の支持部１６とにより構成されている。こ
の第１の支持部１５は、キャリア本体部１１を構成する
側部１１ａ，１１ｂに対向するよう形成されており、ウ
ェーハ１２の少なくとも外周位置を支持するよう構成さ
れている。この第１の支持部１５は、ウェーハ１２がウ
ェーハ装着部１３に装着された状態においてウェーハ１
２の下面を支持する第１の鍔部１８と、ウェーハ１２の
上面と対向する第２の鍔部１９とを形成した構成とされ
ている。また、第１の鍔部１８と第２の鍔部１９との離
間距離（図７に矢印Ｐで示す）は、後述するように、ウ
ェーハ搬送アーム２２により支持された際、ウェーハ１
２に発生する変形量よりも大きな距離に設定されてい
る。
【００２９】更に、第１の支持部１５を構成する第２の
鍔部には傾斜面が形成されており、この傾斜面はキャリ
ア本体部１１の中央位置に向かうに連れて（即ち、第２
の支持部１６に近づくにつれて）、第１の鍔部１８と第
２の鍔部１９との離間距離が漸次広くなるよう構成され
ている。尚、第１の鍔部１８は、水平面を有した構成と
されている。
鍔部には傾斜面が形成されており、この傾斜面はキャリ
ア本体部１１の中央位置に向かうに連れて（即ち、第２
の支持部１６に近づくにつれて）、第１の鍔部１８と第
２の鍔部１９との離間距離が漸次広くなるよう構成され
ている。尚、第１の鍔部１８は、水平面を有した構成と
されている。
【００３０】一方、第２の支持部１６は舌片状の形状を
有しており、対向配設された一対の第１の支持部１５間
に位置するよう配設されている。この第２の支持部１６
は、ウェーハ１２の少なくとも中央部分を支持するよう
構成されている。また、第２の支持部１６の上面と、第
１の支持部１５を構成する第１の鍔部１８の上面とは、
面一となるよう構成されている。
有しており、対向配設された一対の第１の支持部１５間
に位置するよう配設されている。この第２の支持部１６
は、ウェーハ１２の少なくとも中央部分を支持するよう
構成されている。また、第２の支持部１６の上面と、第
１の支持部１５を構成する第１の鍔部１８の上面とは、
面一となるよう構成されている。
【００３１】また、第２の支持部１６は、キャリア本体
部１１の奥部に配設されたホルダ２０に着脱可能に装着
されている。よって、第２の支持部１６をキャリア本体
部１１から取り外すことにより、背面研削される前（Ｂ
Ｇ前）のウェーハ１２（即ち、ウェーハ厚の大きいウェ
ーハ）を収納するウェーハ収納キャリアとしても用いる
ことが可能となる。
部１１の奥部に配設されたホルダ２０に着脱可能に装着
されている。よって、第２の支持部１６をキャリア本体
部１１から取り外すことにより、背面研削される前（Ｂ
Ｇ前）のウェーハ１２（即ち、ウェーハ厚の大きいウェ
ーハ）を収納するウェーハ収納キャリアとしても用いる
ことが可能となる。
【００３２】一方、上記構成とされた第１の支持部１５
と第２の支持部１６との間には、図６に示すように、平
面視した状態で略Ｕ字状の挿入部１７が形成されてい
る。この挿入部１７は、ウェーハ収納部１３に対しウェ
ーハ１２の装着脱を行うウェーハ搬送アーム２２が挿入
される部位である。よって、ウェーハ搬送アーム２２の
形状は、図５及び図８に示すように一対の延出部２３を
有した略Ｕ字形状、即ち挿入部１７の形状に対応した形
状とされている。
と第２の支持部１６との間には、図６に示すように、平
面視した状態で略Ｕ字状の挿入部１７が形成されてい
る。この挿入部１７は、ウェーハ収納部１３に対しウェ
ーハ１２の装着脱を行うウェーハ搬送アーム２２が挿入
される部位である。よって、ウェーハ搬送アーム２２の
形状は、図５及び図８に示すように一対の延出部２３を
有した略Ｕ字形状、即ち挿入部１７の形状に対応した形
状とされている。
【００３３】より詳しく言えば、挿入部１７の形状及び
大きさは、ウェーハ搬送アーム２２が挿入可能な範囲で
最小の大きさに設定されている。これにより、ウェーハ
搬送アーム２２を挿入部１７に装着した状態において、
ウェーハ搬送アーム２２と第１及び第２の支持部１５，
１６との間には、ウェーハ搬送アーム２２の移動可能な
範囲において最小限の間隙が形成される。
大きさは、ウェーハ搬送アーム２２が挿入可能な範囲で
最小の大きさに設定されている。これにより、ウェーハ
搬送アーム２２を挿入部１７に装着した状態において、
ウェーハ搬送アーム２２と第１及び第２の支持部１５，
１６との間には、ウェーハ搬送アーム２２の移動可能な
範囲において最小限の間隙が形成される。
【００３４】図６及び図７は、ウェーハ１２をウェーハ
収納キャリア１０に装着した状態を示している（図６で
は、ウェーハ１２を一点鎖線で示している）。ウェーハ
装着部１３に装着された状態で、ウェーハ１２はウェー
ハ外周位置を第１の支持部１６により支持されると共
に、ウェーハ中央部分を第２の支持部１６により支持さ
れる。
収納キャリア１０に装着した状態を示している（図６で
は、ウェーハ１２を一点鎖線で示している）。ウェーハ
装着部１３に装着された状態で、ウェーハ１２はウェー
ハ外周位置を第１の支持部１６により支持されると共
に、ウェーハ中央部分を第２の支持部１６により支持さ
れる。
【００３５】よって、本実施例ではウェーハ中央部分も
第２の支持部１６で支持されることとなり、ウェーハ１
２は広い面積で支持されることとなる。これにより、背
面研削（ＢＧ）されることによりウェーハ厚が上記のよ
うに薄くなったウェーハ１２であっても、図７に示され
るように、ウェーハ装着部１３内でウェーハ１２に反り
が発生することを防止することができ、よってウェーハ
１２に割れやクラックが発生することを防止できる。
第２の支持部１６で支持されることとなり、ウェーハ１
２は広い面積で支持されることとなる。これにより、背
面研削（ＢＧ）されることによりウェーハ厚が上記のよ
うに薄くなったウェーハ１２であっても、図７に示され
るように、ウェーハ装着部１３内でウェーハ１２に反り
が発生することを防止することができ、よってウェーハ
１２に割れやクラックが発生することを防止できる。
【００３６】また、第１の支持部１５と第２の支持部１
６との間にウェーハ搬送アーム２２が挿入される挿入部
１７を形成したことにより、ウェーハ１２の支持面積を
広く保ちつつ、ウェーハ搬送アーム２２によるウェーハ
収納キャリア１０に対するウェーハ１２の装着脱を確実
に行うことが可能となる。また、前記のように挿入部１
７の大きさは、ウェーハ搬送アーム２２が挿入可能な範
囲で最小の大きさに設定されている。よって、第１及び
第２の支持部１５，１６によるウェーハ１２の支持面積
を最大限とすることができ、より有効にウェーハ１２の
支持を行うことができる。
６との間にウェーハ搬送アーム２２が挿入される挿入部
１７を形成したことにより、ウェーハ１２の支持面積を
広く保ちつつ、ウェーハ搬送アーム２２によるウェーハ
収納キャリア１０に対するウェーハ１２の装着脱を確実
に行うことが可能となる。また、前記のように挿入部１
７の大きさは、ウェーハ搬送アーム２２が挿入可能な範
囲で最小の大きさに設定されている。よって、第１及び
第２の支持部１５，１６によるウェーハ１２の支持面積
を最大限とすることができ、より有効にウェーハ１２の
支持を行うことができる。
【００３７】一方、上記のように本実施例では、ウェー
ハ１２の下面を支持する第１の鍔部１８とウェーハの上
面と対向する第２の鍔部１９との離間距離を、ウェーハ
１２がウェーハ搬送アーム２２により支持されることに
よりウェーハ１２に発生する変形量よりも大きな距離Ｐ
（図７に矢印で示す）に設定している。図９は、ウェー
ハ１２がウェーハ搬送アーム２２により支持さた状態を
示している。
ハ１２の下面を支持する第１の鍔部１８とウェーハの上
面と対向する第２の鍔部１９との離間距離を、ウェーハ
１２がウェーハ搬送アーム２２により支持されることに
よりウェーハ１２に発生する変形量よりも大きな距離Ｐ
（図７に矢印で示す）に設定している。図９は、ウェー
ハ１２がウェーハ搬送アーム２２により支持さた状態を
示している。
【００３８】同図に示されるように、ウェーハ厚が薄い
とウェーハ搬送アーム２２によりウェーハ１２を支持し
た際に、必然的にある程度の反りが発生してしまう。し
かるに、第１の鍔部１８と第２の鍔部１９との離間距離
を大きく設定することにより、ウェーハ装着脱時にウェ
ーハ１２の上面（回路が形成されている面）が第２の鍔
部１９と接触することを防止でき、第２の鍔部１９に付
着している塵埃がウェーハ１２に付着することを防止す
ることができる。
とウェーハ搬送アーム２２によりウェーハ１２を支持し
た際に、必然的にある程度の反りが発生してしまう。し
かるに、第１の鍔部１８と第２の鍔部１９との離間距離
を大きく設定することにより、ウェーハ装着脱時にウェ
ーハ１２の上面（回路が形成されている面）が第２の鍔
部１９と接触することを防止でき、第２の鍔部１９に付
着している塵埃がウェーハ１２に付着することを防止す
ることができる。
【００３９】更に本実施例では、上記のようにウェーハ
１２の上面と対向する第２の鍔部１９に傾斜面を形成
し、その傾斜面の傾きが中央位置に向かうに連れて第１
の鍔部１８と第２の鍔部１９との離間距離が漸次広くな
るよう構成している。この構成とすることにより、例え
ばウェーハ搬送中にウェーハ収納キャリア１０に振動が
与えられたり、或いはウェーハ１２をウェーハ収納キャ
リア１０に装着脱する際にウェーハ１２が第２の鍔部１
９と接触しても、ウェーハ１２に塵埃が付着することを
防止することができる。
１２の上面と対向する第２の鍔部１９に傾斜面を形成
し、その傾斜面の傾きが中央位置に向かうに連れて第１
の鍔部１８と第２の鍔部１９との離間距離が漸次広くな
るよう構成している。この構成とすることにより、例え
ばウェーハ搬送中にウェーハ収納キャリア１０に振動が
与えられたり、或いはウェーハ１２をウェーハ収納キャ
リア１０に装着脱する際にウェーハ１２が第２の鍔部１
９と接触しても、ウェーハ１２に塵埃が付着することを
防止することができる。
【００４０】即ち、第２の鍔部１９は傾斜面となってい
るために、ウェーハ１２と第２の鍔部１９とが接触して
も、図９に示されるように、その接触は点接触或いは線
接触となる。よって、ウェーハ１２と第２の鍔部１９と
の接触面積は小さくなり、ウェーハ１２が第２の鍔部１
９に接触しても、第２の鍔部１９からウェーハ１２に塵
埃が付着することを防止することができる。
るために、ウェーハ１２と第２の鍔部１９とが接触して
も、図９に示されるように、その接触は点接触或いは線
接触となる。よって、ウェーハ１２と第２の鍔部１９と
の接触面積は小さくなり、ウェーハ１２が第２の鍔部１
９に接触しても、第２の鍔部１９からウェーハ１２に塵
埃が付着することを防止することができる。
【００４１】図１１は、ウェーハ収納キャリア１０に設
けられたウェーハ収納部１３からウェーハ１２を装着脱
するウェーハ搬送装置として、ウェーハ搬送ベルト３５
を用いた構成を示している。先に図５及び図６では、ウ
ェーハ収納部１３からウェーハ１２を装着脱する手段と
して吸着孔２４を有したウェーハ搬送アーム２２を用い
た例を示した。しかるに、ウェーハ１２を装着脱する機
構はウェーハ搬送アーム２２に限定されるものではな
く、同図に示すようにウェーハ搬送ベルト３５を用いる
ことも可能である。
けられたウェーハ収納部１３からウェーハ１２を装着脱
するウェーハ搬送装置として、ウェーハ搬送ベルト３５
を用いた構成を示している。先に図５及び図６では、ウ
ェーハ収納部１３からウェーハ１２を装着脱する手段と
して吸着孔２４を有したウェーハ搬送アーム２２を用い
た例を示した。しかるに、ウェーハ１２を装着脱する機
構はウェーハ搬送アーム２２に限定されるものではな
く、同図に示すようにウェーハ搬送ベルト３５を用いる
ことも可能である。
【００４２】図１１に示すように、ウェーハ１２を装着
脱するウェーハ搬送機構をウェーハ搬送ベルト３５で構
成したことにより、ウェーハ搬送ベルト３５はその幅寸
法が比較的幅広にとれるため、ウェーハ１２を載置した
場合にウェーハ１２とベルトとの接触面積が広くなる。
このため、背面研削されることによりウェーハ厚が薄く
なったウェーハ１２であっても、確実に支持して搬送す
ることができる。
脱するウェーハ搬送機構をウェーハ搬送ベルト３５で構
成したことにより、ウェーハ搬送ベルト３５はその幅寸
法が比較的幅広にとれるため、ウェーハ１２を載置した
場合にウェーハ１２とベルトとの接触面積が広くなる。
このため、背面研削されることによりウェーハ厚が薄く
なったウェーハ１２であっても、確実に支持して搬送す
ることができる。
【００４３】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、次に述べる
種々の効果を実現することができる。請求項１及び請求
項７記載の発明によれば、第１及び第２の支持部により
ウェーハは広い面積で支持されるため、背面研削される
ことによりウェーハ厚が薄くなったウェーハであっても
反りが発生することを防止することができ、よってウェ
ーハに割れやクラックが発生することを防止できる。
種々の効果を実現することができる。請求項１及び請求
項７記載の発明によれば、第１及び第２の支持部により
ウェーハは広い面積で支持されるため、背面研削される
ことによりウェーハ厚が薄くなったウェーハであっても
反りが発生することを防止することができ、よってウェ
ーハに割れやクラックが発生することを防止できる。
【００４４】また、請求項２記載の発明によれば、ウェ
ーハの支持面積を広く保ちつつ、ウェーハ搬送機構によ
るウェーハ収納キャリアに対するウェーハの装着脱を確
実に行うことが可能となる。また、請求項３記載の発明
によれば、第２の支持部をキャリア本体から取り外すこ
とにより、背面研削される前のウェーハを収納するウェ
ーハ収納キャリアとしても用いることが可能となる。
ーハの支持面積を広く保ちつつ、ウェーハ搬送機構によ
るウェーハ収納キャリアに対するウェーハの装着脱を確
実に行うことが可能となる。また、請求項３記載の発明
によれば、第２の支持部をキャリア本体から取り外すこ
とにより、背面研削される前のウェーハを収納するウェ
ーハ収納キャリアとしても用いることが可能となる。
【００４５】また、請求項４及び請求項５記載の発明に
よれば、ウェーハの装着脱時等にウェーハの上面が第２
の鍔部と接触することに起因して、塵埃がウェーハに付
着することを防止することができる。また、請求項６記
載の発明によれば、搬送ベルトはその幅寸法を比較的幅
広にとれ、よってウェーハとの接触面積も広くなるた
め、背面研削されることによりウェーハ厚が薄くなった
ウェーハであっても、確実に支持して搬送することがで
きる。
よれば、ウェーハの装着脱時等にウェーハの上面が第２
の鍔部と接触することに起因して、塵埃がウェーハに付
着することを防止することができる。また、請求項６記
載の発明によれば、搬送ベルトはその幅寸法を比較的幅
広にとれ、よってウェーハとの接触面積も広くなるた
め、背面研削されることによりウェーハ厚が薄くなった
ウェーハであっても、確実に支持して搬送することがで
きる。
【図１】従来のウェーハ収納キャリアの一例を説明する
ための図である。
ための図である。
【図２】従来の問題点を説明するための図である。
【図３】６インチウェーハにおけるウェーハ厚と反り量
との関係を示す図である。
との関係を示す図である。
【図４】８インチウェーハにおけるウェーハ厚と反り量
との関係を示す図である。
との関係を示す図である。
【図５】本発明の一実施例であるウェーハ収納キャリア
を説明するための斜視図である。
を説明するための斜視図である。
【図６】本発明の一実施例であるウェーハ収納キャリア
の横断面図である。
の横断面図である。
【図７】ウェーハ収納部を拡大して示す正面図である。
【図８】本発明の一実施例であるウェーハ収納キャリア
の横断面図であり、ウェーハ搬送アームが挿入された状
態を示す図である。
の横断面図であり、ウェーハ搬送アームが挿入された状
態を示す図である。
【図９】ウェーハ搬送アームによりウェーハが取り出さ
れる状態を示す図である。
れる状態を示す図である。
【図１０】本発明の一実施例であるウェーハ収納キャリ
アをテープリムーバに適用した例を示す斜視図である。
アをテープリムーバに適用した例を示す斜視図である。
【図１１】ウェーハ搬送装置としてウェーハ搬送ベルト
を用いた例を示す斜視図である。
を用いた例を示す斜視図である。
１０ ウェーハ収納キャリア １１ キャリア本体部 １２ ウェーハ １３ ウェーハ収納部 １５ 第１の支持部 １６ 第２の支持部 １７ 挿入部 １８ 第１の鍔部 １９ 第２の鍔部 ２０ ホルダ ２２ ウェーハ搬送アーム ２４ 吸着孔 ３０ テープリムーバー ３５ ウェーハ搬送ベルト ２６ 昇降テーブル
Claims (7)
- 【請求項１】 背面研削されることによりウェーハ厚が
薄くなったウェーハが収納されるウェーハ収納部がキャ
リア本体内に設けられると共に、ウェーハ搬送機構が前
記キャリア本体内に装着脱されることにより前記ウェー
ハを前記ウェーハ収納部に装着脱する構成とされたウェ
ーハ収納キャリアにおいて、 前記ウェーハ収納部を、 少なくとも前記ウェーハの外周位置を支持する第１の支
持部と、 少なくとも前記ウェーハの中央部分を支持する第２の支
持部とにより構成したことを特徴とするウェーハ収納キ
ャリア。 - 【請求項２】 請求項１記載のウェーハ収納キャリアに
おいて、 前記第１の支持部と前記第２の支持部との間に前記ウェ
ーハ搬送機構が挿入される挿入部を形成したことを特徴
とするウェーハ収納キャリア。 - 【請求項３】 請求項１または２記載のウェーハ収納キ
ャリアにおいて、 前記第２の支持部は、前記キャリア本体に対し取外し可
能な構成であることを特徴とするウェーハ収納キャリ
ア。 - 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載のウェ
ーハ収納キャリアにおいて、 前記第１の支持部を前記ウェーハの下面を支持する第１
の鍔部と、前記ウェーハの上面と対向する第２の鍔部と
により構成し、 前記第１の鍔部と前記第２の鍔部との離間距離を、前記
ウェーハが前記ウェーハ搬送機構により支持されること
により前記ウェーハに発生する変形量よりも大きな距離
に設定したことを特徴とするウェーハ収納キャリア。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載のウェ
ーハ収納キャリアにおいて、 前記第１の支持部を前記ウェーハの下面を支持する第１
の鍔部と、前記ウェーハの上面と対向する第２の鍔部と
により構成し、 かつ、前記第２の鍔部に傾斜面を形成することにより、
前記キャリア本体の中央位置に向かうに連れて前記第１
の鍔部と前記第２の鍔部との離間距離が漸次広くなるよ
う構成したことを特徴とするウェーハ収納キャリア。 - 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載のウェ
ーハ収納キャリアに設けられた前記ウェーハ収納部に対
し、前記ウェーハを装着脱するウェーハ搬送機構が設け
られたウェーハ搬送装置において、 前記ウェーハ搬送機構を搬送ベルトにより構成したこと
を特徴とするウェーハ搬送装置。 - 【請求項７】 背面研削されることによりウェーハ厚が
薄くなったウェーハを搬送するウェーハ搬送方法におい
て、 請求項１乃至５のいずれかに記載のウェーハ収納キャリ
アに前記ウェーハ厚が薄くなったウェーハを装着して搬
送を行うことを特徴とするウェーハ搬送方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11135955A JP2000332097A (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | ウェーハ収納キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法 |
| TW089103165A TW475233B (en) | 1999-05-17 | 2000-02-23 | Wafer accommodation carrier and transferring device |
| KR1020000009116A KR20000076724A (ko) | 1999-05-17 | 2000-02-24 | 웨이퍼 수납 캐리어 및 웨이퍼 반송 장치 및 웨이퍼 반송방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11135955A JP2000332097A (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | ウェーハ収納キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000332097A true JP2000332097A (ja) | 2000-11-30 |
Family
ID=15163758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11135955A Pending JP2000332097A (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | ウェーハ収納キャリア及びウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000332097A (ja) |
| KR (1) | KR20000076724A (ja) |
| TW (1) | TW475233B (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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