JP2000332173A - 温度制御装置 - Google Patents

温度制御装置

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JP2000332173A
JP2000332173A JP11141309A JP14130999A JP2000332173A JP 2000332173 A JP2000332173 A JP 2000332173A JP 11141309 A JP11141309 A JP 11141309A JP 14130999 A JP14130999 A JP 14130999A JP 2000332173 A JP2000332173 A JP 2000332173A
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voltage
temperature control
current
transistor
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JP11141309A
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Hiroaki Yasuda
裕昭 安田
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Fuji Photo Film Co Ltd
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2321/00Details of machines, plants or systems, using electric or magnetic effects
    • F25B2321/02Details of machines, plants or systems, using electric or magnetic effects using Peltier effects; using Nernst-Ettinghausen effects
    • F25B2321/021Control thereof
    • F25B2321/0212Control thereof of electric power, current or voltage

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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子冷却素子を使用する温度制御装置におい
て、電源異常が生じたときに、電子冷却素子への電流供
給を停止させる。 【解決手段】 抵抗41,42の接続点Cの電圧が、正
電源+Vの電圧が低下したときには−VBE以下となるよ
うに設定された電圧監視回路43と、コレクタが電流出
力アンプ20の入力と、エミッタがグランドと、ベース
が電圧監視回路43の接続点Cとそれぞれ接続されたト
ランジスタ52とを設ける。正電源+Vの電圧が低下し
たとき、トランジスタ52のベースが順バイアスされて
オンし、電流出力アンプ20の入力電圧が略0Vとな
り、電流出力アンプ20からペルチェ素子30への電流
供給が停止する。電圧監視回路43とトランジスタ52
とを極性反転した電圧監視回路46とトランジスタ54
とを設ける。負電源−Vの電圧が上昇したとき、トラン
ジスタ54がオンし、ペルチェ素子30への電流供給が
停止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ペルチェ素子等の
電子冷却素子を利用して、該電子冷却素子上に載置され
た物体の温度を一定に保つ温度制御装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】例えば特開昭62−189783号に示
されるように、ネオジウム等の希土類が添加された固体
レーザ結晶を、レーザダイオードから発せられた光によ
って励起するレーザダイオード励起固体レーザ(以下単
にレーザという)が公知となっている。このレーザにお
いては、より短波長のレーザビームを得るために、その
共振器内に非線形光学結晶を配置して、固体レーザビー
ムを第2高調波や和周波等に波長変換することも広く行
なわれており、例えば第2高調波を取り出すものはSH
Gレーザといわれている。
【0003】そして、この種のレーザ(上述のように波
長変換するものも含む。以下同様である。)は、高出力
の光出力を得るにも適することから、高出力レーザとし
ての利用が広がっており、例えば、放射線画像読取装置
において、このレーザの高出力性に着目し、当該装置の
励起光源としてこのレーザが使用されている。尚、放射
線画像読取装置とは、放射線画像情報が蓄積記録された
蓄積性蛍光体シートに励起光を照射する励起光照射手段
と、上記蓄積性蛍光体シートに蓄積記録された上記放射
線画像情報に応じて輝尽発光する輝尽発光光を検出して
放射線画像情報を読み取る読取手段とを有するものであ
る(例えば、特公平3−79695号、特開平7−19
1421号等)。
【0004】また、このレーザにおいては、励起源であ
るレーザダイオードの光出力および発振波長の変動を抑
えるため、さらに上述の波長変換を行なう場合は非線形
光学結晶において所定の位相整合状態を維持するため
に、レーザダイオード、固体レーザ結晶および共振器の
部分が所定温度となるように温度調節するのが一般的で
ある。
【0005】この温度調節を行うための装置(以下温度
制御装置という)としては、例えば、温度制御回路と該
温度制御回路の出力電流を増幅し、この増幅された電流
をペルチェ素子(発熱吸熱素子)等の電子冷却素子に供
給する電流出力アンプとを備えたものが知られている。
この温度制御装置において前述の温度調節を行う場合、
上記の各部分を電子冷却素子の冷却面上に載置すると共
に、レーザダイオードや共振器内の温度を検出し、その
検出温度に基づいて電子冷却素子の駆動を最終目的温度
値に保つようにフィードバック制御する。
【0006】なお、この温度制御装置は、上述したレー
ザだけでなく、その他の物体の温度を一定に保つための
装置としても利用される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の温度制御装置における温度制御回路や電流出力アン
プとして、正電源および負電源と接続された構成のもの
がある。この場合、何れか一方の電源が何らかの原因で
停止したり、或いは断線等によって一部の回路部分へ電
源供給が停止する等、電源異常が生じると、前述の温度
調節作用が正しく行われなくなり(制御不能状態)、際
限なく加熱若しくは冷却作用が働き、不具合を生じる。
【0008】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、正負の両電源と接続された構成の温度制御回路や
電流出力アンプを有する温度制御装置において、何れか
一方の電源に異常が生じても、不具合を生じないように
することができる温度制御装置を提供することを目的と
するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明による温度制御装
置は、電源異常時には、電流出力アンプから電子冷却素
子に供給される電流を停止させるようにしたことを特徴
とするものである。すなわち、本発明による温度制御装
置は、共に正電源および負電源と接続された、温度制御
回路と、該温度制御回路の出力電流を増幅し電子冷却素
子に電流を供給する電流出力アンプとを備え、電子冷却
素子上に載置されたレーザダイオード励起固体レーザ等
の物体の温度を一定に保つ温度制御装置であって、正電
源および負電源の電圧を監視する電圧監視手段と、電圧
監視手段に接続され、該電圧監視手段の、正電源および
負電源の何れか一方が所定の電圧範囲外となったことを
示す出力に応じて、電子冷却素子への電流供給を停止さ
せる停止手段とを備えたことを特徴とするものである。
【0010】具体的には、第1の構成として、正電源の
異常時に電子冷却素子への電流供給が停止されるよう
に、停止手段を、コレクタが電流出力アンプの入力と接
続され、エミッタがグランドと接続され、ベースが電圧
監視手段と接続されたNPNトランジスタを有するもの
とし、電圧監視手段を、正電源が所定の電圧範囲内のと
きにはNPNトランジスタをオフさせ、該所定の電圧範
囲外のときにはNPNトランジスタをオンさせる電圧
を、ベースに向けて出力するものとするのが望ましい。
【0011】また、第2の構成として、負電源の異常時
に電子冷却素子への電流供給が停止されるように、停止
手段を、コレクタが電流出力アンプの入力と接続され、
エミッタがグランドと接続され、ベースが電圧監視手段
と接続されたPNPトランジスタを有するものとし、電
圧監視手段を、負電源が所定の電圧範囲内のときにはP
NPトランジスタをオフさせ、該所定の電圧範囲外のと
きにはPNPトランジスタをオンさせる電圧を、ベース
に向けて出力するものとするのが望ましい。
【0012】上記第1および第2の構成の両方を備えた
ものとし、正電源および負電源の異常時に電子冷却素子
への電流供給が停止されるようにすればより望ましい。
【0013】
【発明の効果】本発明による温度制御装置によれば、正
負の両電源の電圧を監視すると共に、何れか一方の電源
に異常が生じたときには、電流出力アンプから電子冷却
素子への電流供給を停止させるように構成したので、何
れか一方の電源が何らかの原因で停止する等異常が生じ
ても、際限なく加熱若しくは冷却作用が働くという問題
は生じない。
【0014】また、停止手段として、コレクタが電流出
力アンプの入力と、エミッタがグランドと、ベースが電
圧監視手段と、それぞれ接続されたNPNトランジスタ
を設けると共に、電圧監視手段として、正電源に異常が
生じたときにNPNトランジスタをオンさせる電圧をベ
ースに出力するものとすれば、簡易な構成且つ小パワー
のNPNトランジスタを使用して、正電源異常時に前記
電流供給を停止させることができる。
【0015】同様に、停止手段として、コレクタが電流
出力アンプの入力と、エミッタがグランドと、ベースが
電圧監視手段と、それぞれ接続されたPNPトランジス
タを設けると共に、電圧監視手段として、負電源に異常
が生じたときにPNPトランジスタをオンさせる電圧を
ベースに出力するものとすれば、簡易な構成且つ小パワ
ーのPNPトランジスタを使用して、負電源異常時に前
記電流供給を停止させることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について詳細に説明する。
【0017】図1は本発明の実施の形態による温度制御
装置の構成を示すブロック図、図2はその詳細を示した
回路図である。
【0018】この温度制御装置1は、例えばSHGレー
ザ等のレーザダイオード励起固体レーザの温度を一定に
保持するために利用することができるものであり、図1
に示すように、温度制御回路10と温度制御回路10の
出力電流を増幅し、この増幅した電流を電子冷却素子と
してのペルチェ素子30に供給する電流出力アンプ20
とを備えている。温度制御回路10と電流出力アンプ2
0とは、共に正電源+Vおよび負電源−Vに接続されて
いる。ペルチェ素子30には不図示のSHGレーザ等が
載置される。
【0019】また、この温度制御装置1には、正電源+
Vおよび負電源−Vの電圧を監視する電圧監視手段40
と、入力が電圧監視手段40に接続されると共に出力が
温度制御回路10と電流出力アンプ20との接続点Aに
接続され、正電源+Vおよび負電源−Vのいずれか一方
が所定の電圧範囲外となったことを示す電圧監視手段4
0からの出力信号に応じて、電流出力アンプ20からペ
ルチェ素子30への電流供給を停止させる停止手段50
とが設けられている。
【0020】温度制御回路10は、図2に示すように、
ペルチェ素子30上に載置されたSHGレーザ等の近傍
に固定されると共に、一端がペルチェ素子30の出力端
子30bに接続され他端がグランドに接続された温度検
出用のサーミスタ11と、ペルチェ素子30の出力端子
30bに接続された抵抗12およびコンデンサ13から
なる並列回路と、反転入力端子(−)が前記並列回路の
他方と接続され非反転入力端子(+)がグランドと接続
されたオペアンプ14と、オペアンプ14の出力に接続
された抵抗15とからなる。オペアンプ14の正電源端
子V+ は正電源+Vに接続され、負電源端子V- は負電
源−Vに接続されている。サーミスタ11としては、温
度上昇に伴って抵抗値が増加するPTCサーミスタを使
用している。
【0021】電流出力アンプ20は、図2に示すよう
に、正電源+Vと接続された抵抗21、負電源−Vと接
続された抵抗22、抵抗21,22の間に順方向接続さ
れた2つのダイオード23,24、抵抗21とダイオー
ド23のアノードとの接続点にベースが接続され、コレ
クタが正電源+Vに接続されたPNPトランジスタ2
5、抵抗22とダイオード24のカソードとの接続点に
ベースが接続され、コレクタが負電源−Vに接続された
NPNトランジスタ26、両トランジスタ25,26の
エミッタの間に直列接続された2つの抵抗27,28、
抵抗27,28の接続点Bとペルチェ素子30の入力端
子30aとの間に接続された抵抗29とからなる。
【0022】電圧監視手段40は、図2に示すように、
正電源+Vに接続された抵抗41および負電源−Vに接
続された抵抗42の直列回路からなり、正電源+Vの電
圧が所定の電圧範囲内にあるか否かを監視する電圧監視
回路43と、正電源+Vに接続された抵抗44および負
電源−Vに接続された抵抗45の直列回路からなり、負
電源−Vの電圧が所定の電圧範囲内にあるか否かを監視
する電圧監視回路46とからなる。
【0023】正電源+Vに接続された抵抗41と負電源
−Vに接続された抵抗42の定数は、両抵抗41,42
の接続点Cの電圧が、両電源+V,−Vの電圧が正常状
態のときには略−VBE以上(VBEは後述するトランジス
タ52のベースエミッタ間電圧)となり、また正電源+
Vにのみ異常(本例においては電圧低下)が生じて正電
源+Vの電圧値が所定の電圧範囲外となったときには−
BE以下となるように設定する。例えば両電源+V,−
Vの電圧値が正常状態のときに同じ値であるもののとき
には、正電源+Vに接続された抵抗41の抵抗値をR4
1、負電源−Vに接続された抵抗42の抵抗値をR42
としたとき、R42>R41で且つR42≒R41とな
るように設定する。
【0024】また、正電源+Vに接続された抵抗44と
負電源−Vに接続された抵抗45の定数は、両抵抗4
4,45の接続点Dの電圧が、両電源+V,−Vの電圧
が正常状態のときには略+VBE以下(VBEは後述するト
ランジスタ54のベースエミッタ間電圧)となり、また
負電源−Vにのみ異常(本例においては電圧上昇)が生
じて負電源−Vの電圧値が所定の電圧範囲外となったと
きには+VBE以上となるように設定する。例えば両電源
+V,−Vの電圧値が正常状態のときに同じ値であるも
ののときには、正電源+Vに接続された抵抗44の抵抗
値をR44、負電源−Vに接続された抵抗45の抵抗値
をR45としたとき、R44>R45で且つR44≒R
45となるように設定する。
【0025】停止手段50は、コレクタが温度制御回路
10と電流出力アンプ20との接続点Aと接続され、エ
ミッタがグランドと接続され、ベースが電圧監視回路4
3の抵抗41,42の接続点Cに抵抗51を介して接続
されたNPNトランジスタ52と、コレクタが前記接続
点Aと接続され、エミッタがグランドと接続され、ベー
スが電圧監視回路46の抵抗44,45の接続点Dに抵
抗53を介して接続されたPNPトランジスタ54とか
らなる。
【0026】以下、上記構成の温度制御装置1の作用に
ついて説明する。
【0027】サーミスタ11には、ペルチェ素子30に
流れる電流の一部が供給されており、この電流値とサー
ミスタ11の抵抗値とで決定される電圧が抵抗12およ
びコンデンサ13を介してオペアンプ14に帰還され
る。サーミスタ11としてPTCサーミスタを使用して
いるので、温度制御回路10は、ネガティブフィードバ
ック型の温度制御回路として作用し、サーミスタ11に
よって検知した温度と不図示のコントローラから入力さ
れる基準信号VREF とに基づいてペルチェ素子30を駆
動制御することにより、SHGレーザ等を基準温度に維
持する。
【0028】電圧監視回路43は、両抵抗41,42の
接続点Cの電圧が、両電源+V,−Vの電圧が正常状態
のときには−VBE以上となり、正電源+Vに異常(本例
においては電圧低下)が生じて所定電圧範囲外となった
ときには−VBE以下となるように設定されている。した
がって、正電源+Vに異常がなければ、NPNトランジ
スタ52のベースを逆バイアスするように−VBE以上の
電圧が抵抗51を介して該ベースに入力され、NPNト
ランジスタ52はオフ状態となる。一方、正電源+Vに
異常が生じて電圧が低下して0Vに近づいたときには、
NPNトランジスタ52のベースを順バイアスするよう
に−VBE以下の電圧が抵抗51を介して入力され、NP
Nトランジスタ52はオン状態、すなわちコレクタとエ
ミッタがショートされた状態となり、電流出力アンプ2
0の入力電圧を略0Vにする。これにより、温度制御回
路10の出力電圧の如何に拘わらず、電流出力アンプ2
0の抵抗27,28の接続点Bの電圧が0Vとなり、結
果として、電流出力アンプ20からペルチェ素子30へ
の電流供給が停止する。すなわち、電圧監視回路43
は、負電源−Vが正常で且つ正電源+Vに異常が生じて
電圧が低下したときに、この異常状態を示す電圧信号を
NPNトランジスタ52のベースに入力するものとして
作用し、NPNトランジスタ52は、この電圧信号に基
づいてペルチェ素子30への電流供給を停止させるもの
として作用する。
【0029】なお、このように電圧監視回路43とトラ
ンジスタ52とを設けなければ、正電源+Vに異常が生
じて正電源+Vの電圧値が低下したときには、温度制御
回路10の出力電圧が常に0V以下の異常値を示すよう
になり、この異常電圧が電流出力アンプ20に入力され
ると、常にペルチェ素子30側から電流出力アンプ20
のトランジスタ26に向けて電流が流れ、常に吸熱状態
となって温度制御が不能となる。
【0030】電圧監視回路46およびトランジスタ54
は、上述した電圧監視回路43およびトランジスタ52
を極性反転した構成をなしている。すなわち、電圧監視
回路46は、両抵抗44,45の接続点Dの電圧が、両
電源+V,−Vの電圧が正常状態のときには+VBE以下
となり、負電源−Vに異常(本例においては電圧上昇)
が生じて所定電圧範囲外となったときには+VBE以上と
なるように設定されている。したがって、負電源−Vに
異常がなければ、PNPトランジスタ54のベースを逆
バイアスするように+VBE以下の電圧が抵抗53を介し
て入力され、PNPトランジスタ54はオフ状態とな
る。一方、負電源−Vに異常が生じて電圧が上昇して0
Vに近づいたときには、PNPトランジスタ54のベー
スを順バイアスするように+VBE以上の電圧が抵抗53
を介して該ベースに入力され、PNPトランジスタ54
はオン状態、すなわちコレクタとエミッタがショートさ
れた状態となり、電流出力アンプ20の入力電圧を略0
Vにする。これにより、温度制御回路10の出力電圧の
如何に拘わらず、電流出力アンプ20の抵抗27,28
の接続点Bの電圧が0Vとなり、結果として、電流出力
アンプ20からペルチェ素子30への電流供給が停止す
る。すなわち、電圧監視回路46は、正電源+Vが正常
で且つ負電源−Vに異常が生じて電圧が上昇(→0V)
したときに、この異常状態を示す電圧信号をPNPトラ
ンジスタ54のベースに入力するものとして作用し、P
NPトランジスタ54は、この電圧信号に基づいてペル
チェ素子30への電流供給を停止させるものとして作用
する。
【0031】なお、このように電圧監視回路46とトラ
ンジスタ54とを設けなければ、負電源−Vに異常が生
じて負電源−Vの電圧が上昇したときには、温度制御回
路10の出力電圧が常に0V以上の異常値を示すように
なり、この異常電圧が電流出力アンプ20に入力される
と、常に電流出力アンプ20のトランジスタ25からペ
ルチェ素子30側に向けて電流が流れ、常に発熱状態と
なって温度制御が不能となる。
【0032】なお、本実施の形態においては、電源異常
時に、温度制御回路10の出力である微小電流が電流出
力アンプ20に流れ込まないようにすることによって、
結果的に電流出力アンプ20からペルチェ素子30に電
流が流れ込まないようにするものであるので、NPNト
ランジスタ52やPNPトランジスタ54として、小パ
ワーの素子を使用することができる。
【0033】以上説明したように、本発明による温度制
御装置によれば、正電源+Vおよび負電源−Vの電圧を
監視して、いずれか一方の電源電圧が所定の電圧範囲外
となったときには、電子冷却素子への電流供給を停止さ
せるようにしたので、電源異常が生じても、電子冷却素
子が常に発熱状態若しくは吸熱状態となることを防止す
ることができる。
【0034】なお、本発明による温度制御装置は上述し
た態様のものに限定されるものではない。例えば、上記
説明による電圧監視手段は、両電源間に接続された2つ
の抵抗からなる直列回路を電圧監視回路として設けたも
のであるが、例えば図3(A)に示すように、電圧監視
回路43の代わりに、抵抗61およびツェナーダイオー
ド62(抵抗61が負電源−V側)の直列回路からなる
電圧監視回路63を設け、両者の接続点Eを上述の抵抗
51を介してトランジスタ52のベースに接続すると共
に、接続点Eの電圧が、両電源+V,−Vの電圧が正常
状態のときには−VBE以上となり、また正電源+Vにの
み異常が生じ電圧が低下して0Vに近づいたときには−
BE以下となるように、ツェナー電圧を設定するとよ
い。
【0035】同様に、図3(B)に示すように、電圧監
視回路46の代わりに、抵抗64とツェナーダイオード
65(抵抗64が正電源+V側)の直列回路からなる電
圧監視回路66を設け、両者の接続点Fを上述の抵抗5
3を介してトランジスタ54のベースに接続すると共
に、接続点Fの電圧が、両電源+V,−Vの電圧が正常
状態のときには+VBE以下となり、また負電源−Vにの
み異常が生じ電圧が上昇して0Vに近づいたときには+
BE以上となるように、ツェナー電圧を設定するとよ
い。
【0036】また、上述の電圧監視回路43,63は、
何れも、正電源の電圧が低下したときにNPNトランジ
スタをオンさせる電圧を出力するものであり、同様に電
圧監視回路46,66は、何れも、負電源の電圧が上昇
したときにPNPトランジスタをオンさせる電圧を出力
するものであるが、これに限らず、正電源の電圧が上昇
したときにNPNトランジスタをオンさせる電圧を出力
するもの、若しくは負電源の電圧が低下したときにPN
Pトランジスタをオンさせる電圧を出力するものとする
こともできる。また、このようなものと、上述した実施
の形態のものとを組み合わせることにより、正電源の電
圧が所定電圧範囲外となったときに、NPNトランジス
タをオンさせて、正電源異常時に、電圧電流出力アンプ
20からペルチェ素子30への電流供給を停止させるよ
うに構成することができる。同様に、負電源の電圧が所
定電圧範囲外となったときに、PNPトランジスタをオ
ンさせて、負電源異常時に、電圧電流出力アンプ20か
らペルチェ素子30への電流供給を停止させるように構
成することができる。
【0037】更に、上述の装置1は、停止手段50の出
力を温度制御回路10と電流出力アンプ20との接続点
Aに接続したものであるが、これに限らず、電流出力ア
ンプ20の出力側、例えば接続点B若しくはペルチェ素
子30の入力端子30aに接続してもよい。但し、この
場合には、電流出力アンプ20によって増幅された大電
流がペルチェ素子30に流れないように、その大電流を
停止手段50側に流さなければならないので、停止手段
50としてパワーの大きな素子(パワートランジスタ
等)を使用しなければならない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による温度制御装置の構成
を示すブロック図
【図2】上記温度制御装置のの詳細を示した回路図
【図3】電圧監視手段の変更態様を示した図
【符号の説明】
10 温度制御回路 20 電流出力アンプ 30 ペルチェ素子 40 電圧監視手段 50 停止手段

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 共に正電源および負電源と接続された、
    温度制御回路と、該温度制御回路の出力電流を増幅し電
    子冷却素子に電流を供給する電流出力アンプとを備え、
    前記電子冷却素子上に載置された物体の温度を一定に保
    つ温度制御装置において、 前記正電源および負電源の電圧を監視する電圧監視手段
    と、 該電圧監視手段に接続され、該電圧監視手段の、前記正
    電源および負電源の何れか一方が所定の電圧範囲外とな
    ったことを示す出力に応じて、前記電子冷却素子への電
    流供給を停止させる停止手段とを備えたことを特徴とす
    る温度制御装置。
  2. 【請求項2】 前記停止手段が、コレクタが前記電流出
    力アンプの入力と接続され、エミッタがグランドと接続
    され、ベースが前記電圧監視手段と接続されたNPNト
    ランジスタを有するものであり、 前記電圧監視手段が、前記正電源が所定の電圧範囲内の
    ときには前記NPNトランジスタをオフさせ、該所定の
    電圧範囲外のときには該NPNトランジスタをオンさせ
    る電圧を、前記ベースに向けて出力するものであること
    を特徴とする請求項1記載の温度制御装置。
  3. 【請求項3】 前記停止手段が、コレクタが前記電流出
    力アンプの入力と接続され、エミッタがグランドと接続
    され、ベースが前記電圧監視手段と接続されたPNPト
    ランジスタを有するものであり、 前記電圧監視手段が、前記負電源が所定の電圧範囲内の
    ときには前記PNPトランジスタをオフさせ、該所定の
    電圧範囲外のときには該PNPトランジスタをオンさせ
    る電圧を、前記ベースに向けて出力するものであること
    を特徴とする請求項1または2記載の温度制御装置。
  4. 【請求項4】 前記物体がレーザダイオード励起固体レ
    ーザであることを特徴とする請求項1から3いずれか1
    項記載の温度制御装置。
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