JP2000339601A - 磁気ヘッドのトラックピッチの測定方法と検査方法および測定装置と検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、磁気記録装置に組み込んでピーク
ジッターやデータ信号のエラーレートなどの計測を行う
事なく磁気ヘッド単体で検査可能な方法と装置を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 本発明は、一対の第１のノイズトラック
２１と第１のデータトラック２３と一対の第１の消去ト
ラック２５、２６とを利用し、第１の消去トラックの位
置毎の全トラックのＮ／Ｓカーブから第１のオフトラッ
ク特性値を求めるとともに、第２のデータトラックと一
対の第２のノイズトラックを利用し、第２のノイズトラ
ックの位置毎の全トラックのＮ／Ｓカーブから第２のオ
フトラック特性値を求め、これらのオフトラック特性値
の交差する部分の位置からトラックピッチを求める方法
を実施することができ、このトラックピッチから磁気ヘ
ッドの良不良を判別することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は書込ヘッドと読出ヘ
ッドが別構成で設けられた複合型の磁気ヘッド等に適用
することができる磁気ヘッドのトラックピッチの測定方
法および磁気ヘッドの検査方法と検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、書込ヘッドと読出ヘッドが別個に
設けられた複合型の磁気ヘッドの一例として、図３４に
示すように板状のスライダ５０の一部に薄膜磁気コア５
１を備えてなる薄膜磁気ヘッド５２が知られている。こ
の薄膜磁気ヘッド５２はハードディスク等の磁気記録媒
体に対して浮上走行して磁気情報の読み書きを行うもの
で、図３４の５０Ａで示す側が磁気記録媒体の移動方向
上流側に向くリーディング側であり、５０Ｂで示す側が
下流側に向くトレーリング側とされている。前記スライ
ダ５０において磁気記録媒体に対向する側の底面側には
ＡＢＳ面（エアーベアリング面）を構成するレール部５
０ａ、５０ｂ、５０ｃが溝型のエアーグルーブ５１ｄ、
５１ｅとともに形成され、スライダ５０のトレーリング
側５０Ｂの端面５０ｆに薄膜磁気コア５１が積層形成さ
れている。

【０００３】この例で示す薄膜磁気ヘッド５２は、図３
５に断面構造を示すような複合型の磁気ヘッドであり、
スライダ５１の端面５０ｆ上にＧＭＲ素子（巨大磁気抵
抗効果を利用した薄膜素子）等からなる読出ヘッド６１
とインダクティブヘッド（書込ヘッド）６２とが順に積
層されて構成されている。この例の読出ヘッド６１は、
磁気抵抗効果を利用して磁気記録媒体からの漏れ磁界を
検出し、磁気信号を読み取るものであり、図３５に示す
ようにスライダ５０のトレーリング側の端部に形成され
た下部シールド層５３上に、アルミナなどの非磁性材料
により形成された絶縁層５４に囲まれた状態で磁気抵抗
効果多層膜５５が設けられ、更にその上に上部シールド
層５６が設けられ、この上部シールド層５６上にコイル
層５７と上部コア層５８とが絶縁層５９に囲まれた状態
で設けられている。なお、この例において上部シールド
層５６は、書込ヘッド６２の下部コア層を兼ねた構造と
されている。そして、スライダ５０のレール面５０ｃ側
から見ると、図３６に示すように上部コア層５８の先端
のポール部先端５８ａと上部シールド層（下部コア層）
５６とが書込用の磁気ギャップＧを形成するように絶縁
層５９を介して対向されている。

【０００４】ところで、図３４〜図３６に示す構造の薄
膜磁気ヘッド５２にあっては、年々記録密度の高密度化
に応じて狭トラック化が進められ、トラック幅がミクロ
ンオーダー、更にはサブミクロンオーダーを目指して微
細化されてきているので、書込ヘッド６２のポール部先
端５８ａの幅が極めて狭く形成されると同時に、読出ヘ
ッド６１の巨大磁気抵抗効果多層膜５５の幅も極めて狭
く形成される傾向にある。ところが、図３４〜図３６に
示す構造の磁気ヘッドを設計通りに製造しても、実際に
どの程度の書込幅になるのか、読出幅になるのかは、個
々の磁気ヘッドをドライブ装置に組み込んで実測してみ
ないと判定できない状況にあった。

【０００５】また、ポール部先端５８ａの幅が小さくな
ってくると、ポール部先端５８ａの両サイド部分から図
３６の矢印に示すように外側に向かって磁束が漏れ出す
サイドフリンジングの影響が大きくなるので、実用的な
書込幅の特定が一層難しくなる状況にあった。特に、書
込トラックとは、一般に、このフリンジングの幅を見込
んで図３６に示すようにポール部先端５８ａの幅Ｔ₁よ
りも若干幅広に設定されている。即ち、ポール部先端５
８ａの幅Ｔ₁よりも若干広い書込幅Ｔ₂を有する部分を書
込部６４に設定し、更にその両側に幅Ｔ₃で示されるフ
リンジングを見込んだイレースバンド６５、６５を備え
た幅Ｔ₄を有するものが、磁気記録媒体のトラック６６
と考えられている。

【０００６】次に、図３７は同じ仕様で製造した６種類
の巨大磁気抵抗効果多層膜を備えた薄膜磁気ヘッドの感
度分布を示すが、巨大磁気抵抗効果多層膜にあっては、
同じ仕様で製造しても感度が微妙に異なるものであり、
この感度差によって読出幅の違いを生じるおそれがある
ので、巨大磁気抵抗効果多層膜を用いた薄膜磁気ヘッド
にあっては、個々の磁気ヘッドの書込幅と読出幅を正確
に把握できることが要求されている。

【０００７】そこで従来、製造した薄膜磁気ヘッドが磁
気記録媒体に対して実際に磁気記録する場合のトラック
幅と読出幅を計測する種々の手段が提供されていた。第
１の手段として広く用いられているのは、書込ヘッドに
より図３８に示すようにトラック６６に磁気記録を行っ
た場合、トラック６６の左側のイレースバンド６５から
右側のイレースバンド６５に至るようにトラック６６の
幅方向に読出ヘッドＨ1をＹ1方向に移動させながら出力
を得た場合に、トラック６６の中心部で得られる最大出
力に対する５０％の出力位置を２カ所求め、２カ所の５
０％出力位置の間の幅を書込トラック幅であると想定す
る手段である。

【０００８】第２の手段として知られているのは、７４
７テストと称されている計測手段であり、円盤型の磁気
ディスク（磁気記録媒体）と回転駆動装置と薄膜磁気ヘ
ッドと磁気ヘッドを磁気ディスクの所望の位置に移動可
能なアクチュエータを備えて構成されるハードディスク
装置を用い、磁気ディスクの磁気記録面に計測対象の薄
膜磁気ヘッドを用いてランダムデータが記録される第１
のオールド情報トラック２００と、この第１のオールド
情報トラック２００に一部を重複させて隣接させて第２
のオールド情報トラック２０１を書き込み、これらのオ
ールド情報トラック２００、２０１の重複部分に更に重
複させてデータトラック２０２を書き込むとともに、デ
ータトラック２０２の側方に位置調整トラック２０３を
位置を変えつつ書き込み、位置調整トラック２０３の書
込位置に応じて読出ヘッド２０５を走査してエラーレー
トを計測する方法である。ここで位置調整トラック２０
３はデータトラック２０２の隣接データトラックを想定
しているものである。従って、データトラック２０２と
位置調整トラック２０３は同じ書込トラック幅Ｔを有し
ている。

【０００９】ここで計測対象の薄膜磁気ヘッド２０５
は、図３４〜図３６を基に先に説明した磁気抵抗効果素
子の読出ヘッドとインダクティブヘッドの書込ヘッドを
備えたものと同等の構成であり、トラック幅が極めて小
さいので、書込ヘッドの先端部から発生されるフリンジ
ングの影響と磁気抵抗効果素子の感度のばらつき等によ
り、イレースバンドの幅を含むトラック幅が設計値どう
りに形成されているか否かを計測しようとする目的のも
のである。

【００１０】第２の手段においては、図３９Ａに示すよ
うに、第１に、第２のオールド情報トラック２０１の右
側に第２のオールド情報トラック２０１と離間し、デー
タトラック２０２の中心と距離Ｓだけ離れた中心を有す
る第１の位置に位置調整トラック２０３を書き込み、こ
の状態で読出ヘッド２０５を図３９Ａに示すようにトラ
ック幅方向に走査して各位置毎のノイズとデータ信号か
らエラーレート曲線を計測する。この場合のエラーレー
ト曲線は図３９Ｂに示すようになり、横軸に読出ヘッド
２０５の中心がデータトラック２０２の中心と一致した
状態を”０”として、読出ヘッドを走査した距離Ｍに対
して縦軸にエラーレートを示したものである。ただし、
ノイズ信号とはデータトラック２０２とイレーズバンド
以外のトラックからの信号、データ信号はデータトラッ
ク２０２からの信号である。次に、位置調整トラック２
０３を図３９において第１の位置よりも左側、例えば、
第２のオールド情報トラック２０１に一部重複する第２
の位置に書き込み、この状態で読出ヘッド２０５を図３
９に示すようにトラック幅方向に走査して各位置毎のノ
イズとデータ信号からエラーレートを計測する。

【００１１】次に、位置調整トラック２０３を図３９に
おいて第２の位置よりも左側、例えば、データトラック
２０２の右側のイレースバンドと重なる第３の位置に書
き込み、この状態で読出ヘッド２０５を図３９に示すよ
うにトラック幅方向に走査して各位置毎のノイズとデー
タ信号から エラーレートを計測する。次に、位置調節
トラック２０３を図３９において第３の位置よりも左
側、例えば、データトラック２０２の右側のイレースバ
ンドを越えるデータトラック２０２の内側よりの第４の
位置に書き込み、この状態で読出ヘッド２０５を図３９
に示すようにトラック幅方向に走査して各位置毎のノイ
ズとデータ信号からエラーレート曲線を計測する。次
に、位置調節トラック２０３を図３９において第４の位
置よりも左側、例えば、データトラック２０２の右側の
イレースバンドを越えるデータトラック２０２の更に内
側よりの第５の位置に書き込み、この状態で読出ヘッド
２０５を図３９に示すようにトラック幅方向に走査して
各位置毎のノイズとデータ信号からエラーレートを計測
する。

【００１２】以上のように第１の位置から第５の位置ま
での位置毎のエラーレート曲線を基にデータトラックと
して検出可能であり、トラックの検出時に誤動作を発生
しないように設定した一定のエラーレート以下で読出ヘ
ッド２０５が移動できる距離Ｍ、つまり、データトラッ
クの中心と読出ヘッド２０５の中心を一致させた場合に
読出ヘッドの端部からデータトラック端部までの余裕距
離、オフトラック性能値Ｆを求め、例えば図４０に示す
ように位置調整トラック２０３の移動位置Ｓ毎のオフト
ラック性能値Ｆを図表にプロットすることで、エラーレ
ートの値の変化割合から磁気ヘッドのトラック幅および
トラックピッチを求めることができる。即ち、位置調節
トラック２０３が第３の位置に到達した状態の位置調節
トラックＳが最適トラックピッチまたはトラック幅であ
り、Ａ点で示されるなお、上記ではデータトラック２０
２の左側のみについて計測したが、同様に右側について
も行なうものである。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】図３８を基に先に説明
した方法で書込トラック幅を求める従来方法は、書込ト
ラック幅のみを近似的に計測する方法であるので、正確
なトラック幅の計測には対応できない問題がある。図３
９と図４０を基に先に説明した従来方法では、ある程度
正確な計測が可能であるが、書込データ信号とノイズデ
ータ信号を読み出すために読出ヘッドを別途必要とする
上に、エラーレート、即ち、信号とノイズの比を測定す
るための回路、およびピークジッターを測定するための
専用回路が必要な問題があった。即ち、図３９と図４０
を基に先に説明した従来方法では、磁気ヘッドをドライ
ブ装置に実装し、実際に信号の書き込みと読み込みを行
いながら信号とノイズを計測する必要があるので、磁気
ヘッド単体では計測することができず、磁気ヘッドをド
ライブ装置に搭載してから計測する必要があり、磁気ヘ
ッド単体の状態で良品であるか不良品であるかを検出す
ることができない問題があった。

【００１４】本発明は前記の事情に鑑みてなされたもの
で、エラーレートやピークジッター等を測定することな
く、信号の強さと雑音の強さ測定のみで書込トラック幅
の検出が可能であり、また、その検出に特別な専用回路
を要することがなく容易に実施できるとともに、磁気ヘ
ッドをドライブ装置に組み上げることなく、磁気ヘッド
単体としての評価が可能な磁気ヘッドのトラックピッチ
の測定方法と検査方法と試験方法および測定装置と検査
装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明のトラックピッチの測定方法は、書込ヘッドと
読出ヘッドを備えた磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体上
に相互に離間して隣接する一対の第１のノイズトラック
を形成し、これらの第１のノイズトラック上に幅方向両
端部を重複させるように第１のデータトラックを書き込
み、更にこの第１のデータトラックの幅方向両側に前記
第１のデータトラックと所定間隔離間させて一対の第１
の消去トラックを形成するとともに、これら全てのトラ
ックの幅方向に沿って前記磁気ヘッドを用いて所定位置
毎の信号の強さとノイズの強さを測定し、それらの比を
算出して（ノイズ／信号）比を示すＮ／Ｓカーブを求
め、前記磁気ヘッドに要求される（ノイズ／信号）比に
対する前記Ｎ／Ｓカーブの接点から第１のオフトラック
特性値を求めるとともに、前記第１のデータトラックに
対して形成する前記一対の第１の消去トラックの形成位
置を前記第１のデータトラックに徐々に接近させて第１
の消去トラックの位置毎の第１のオフトラック特性値を
求める一方、前記磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体に第
２のデータトラックを形成し、この第２のデータトラッ
クの両側に一対の第２の消去トラックを形成した後に前
記第２のデータトラックの信号を測定し、次いで前記一
対の第２の消去トラック上に各々ノイズを書き込んで第
２のノイズトラックを形成するとともに、これら全ての
トラックの幅方向に沿って前記磁気ヘッドを用いて所定
位置毎の信号の強さとノイズの強さを測定し、それらの
比を算出して（ノイズ／信号）比を示すＮ／Ｓカーブを
求め、磁気ヘッドに要求される（ノイズ／信号）比に対
する前記Ｎ／Ｓカーブの接点から第２のオフトラック特
性値を求めるとともに、前記第２のデータトラックに対
して形成する前記一対の第２の消去トラックの形成位置
を前記第２のデータトラックに徐々に接近させて第２の
消去トラックの位置毎の第２のオフトラック特性値を求
め、先に求めた前記第１のオフトラック特性値の第１の
消去トラック位置毎の特性と、前記第２のオフトラック
特性値の第２の消去トラック位置毎の特性を比較して両
オフトラック特性値が一致する点の消去トラック位置か
らトラックピッチを決定することを特徴とする。

【００１６】次に本発明のトラックピッチの測定方法
は、前記第１のデータトラックと前記一対の第１の消去
トラックとの間隔を徐々に接近させて第１の消去トラッ
ク位置毎の第１のオフトラック特性値を求める場合、第
１の消去トラックの形成位置を第１のノイズトラックの
外側位置から、第１のデータトラックに重複する位置ま
で徐々に移動させて移動位置毎に第１のオフトラック特
性値を求めることを特徴する。

【００１７】更に本発明のトラックピッチの測定方法
は、前記第２のデータトラックと前記一対の第２の消去
トラックとの間隔を徐々に接近させて第２の消去トラッ
ク位置毎の第２のオフトラック特性値を求める場合、第
２のデータトラックと離間する位置から第２のデータト
ラックに重複する位置まで徐々に第２の消去トラックを
移動させることを特徴とする。

【００１８】前記全てのトラックの幅方向に沿って前記
磁気ヘッドを用いて所定位置毎の信号の強さとノイズの
強さを測定し、それらの比を算出して（ノイズ／信号）
比を示すＮ／Ｓカーブを求める場合、信号の強さとノイ
ズの強さを別個に測定してからそれらの値を基にＮ／Ｓ
カーブを求めることが好ましい。

【００１９】本発明の磁気ヘッドの検査方法は、先のト
ラックピッチの測定方法を利用し、先のいずれかに記載
のトラックピッチの測定方法で測定したトラックピッチ
を基に磁気ヘッドの良、不良を判定することを特徴とす
る。

【００２０】本発明の磁気ヘッドの検査装置は、円盤状
の磁気記録媒体を支持して回転駆動するための駆動装置
と、磁気記録媒体の記録面の任意の位置に対して検査用
の磁気ヘッドを位置決めする位置決め装置と、前記検査
用の磁気ヘッドに設けられる書込ヘッドと読出ヘッドに
通電制御して前記磁気記録媒体の記録面の任意の位置に
データトラックと消去トラックとノイズトラックを記録
可能とするとともに前記データトラックの信号とノイズ
トラックのノイズを読出可能とするための記録再生制御
部とを具備してなり、これら駆動装置と位置決め装置と
記録再生制御部とを利用して先のいすれかに記載のトラ
ックピッチの測定方法を実施して検査用の磁気ヘッドの
トラックピッチを算出する演算部を具備してなることを
特徴とする。

【００２１】本発明の磁気ヘッドの検査装置は、先に記
載の磁気ヘッドの検査装置の構成を備え、更に、前記演
算部の算出したトラックピッチを基に検査用の磁気ヘッ
ドの良、不良を判別する判定部を備えたことを特徴とす
る。

【００２２】本発明のトラックピッチの測定方法は、書
込ヘッドと読出ヘッドを備えた磁気ヘッドを用いて磁気
記録媒体上に相互に離間して隣接する一対の基準ノイズ
トラックを形成し、これらの基準ノイズトラック上に幅
方向両端部を重複させるように基準データトラックを書
き込み、更にこの基準データトラックの幅方向両側に前
記基準データトラックと所定間隔離間させて一対の調整
ノイズトラックを形成するとともに、前記基準データト
ラックの内側からトラック幅方向に沿って前記基準デー
タトラックの外側に向けて前記磁気ヘッドを走査して前
記磁気ヘッドの読み出す信号の強さとノイズの強さを計
測し、前記磁気ヘッドに予め決められた（ノイズ／信
号）比になるまでの前記磁気ヘッドの移動量を求め、前
記基準データトラックに対して形成する前記調整ノイズ
トラックの形成位置を前記基準データトラックに徐々に
接近させて前記調整ノイズトラックの形成位置毎の前記
磁気ヘッドの移動量を求め、前記調整ノイズトラックの
位置毎の前記磁気ヘッドの移動量の変化状態から、磁気
ヘッドのトラックピッチを求めることを特徴とする。

【００２３】本発明は、前記調整ノイズトラックを形成
する位置として、前記基準データトラックのトラック幅
方向に前記基準データトラックから離れた位置から、前
記基準データトラックに重複する位置までに設定するこ
とを特徴とする。本発明の検査方法は、先のいずれかに
記載の方法で測定したトラックピッチを基に磁気ヘッド
の良、不良を判定することを特徴とする。

【００２４】本発明のトラックピッチの測定装置は、円
盤状の磁気記録媒体を支持して回転駆動するための駆動
装置と、磁気記録媒体の記録面の任意の位置に対して検
査用の磁気ヘッドを位置決めする位置決め装置と、前記
検査用の磁気ヘッドに設けられる書込ヘッドと読出ヘッ
ドに通電制御して前記磁気記録媒体にデータトラックと
消去トラックとノイズトラックを記録可能とするととも
に前記データトラックの信号とノイズトラックのノイズ
を読出可能とするための記録再生制御部とを具備してな
り、これら駆動装置と位置決め装置と記録再生制御部と
を利用して請求項８または９のいすれかに記載のトラッ
クピッチの測定方法を実施して検査用の磁気ヘッドのト
ラックピッチを算出する演算部を具備してなることを特
徴とする。

【００２５】本発明の磁気ヘッドの検査装置は、前記構
成を備え、更に、前記演算部の算出したトラックピッチ
を基に検査用の磁気ヘッドの良、不良を判別する判定部
を備えたことを特徴とする。

【００２６】本発明の磁気ヘッドの検査方法は、書込ヘ
ッドと読出ヘッドを備えた磁気ヘッドを用いて磁気記録
媒体上に第１の基準簡易データトラックを書き込み、更
にこの第１の基準簡易データトラックのトラック幅方向
両側に前記第１の基準簡易データトラックと所定間隔離
間させて一対の第１の簡易消去トラックを形成し、前記
第１の基準簡易データトラックのトラック幅方向に沿っ
て前記磁気ヘッドを走査して走査位置毎の信号の強さを
計測するとともに、前記磁気ヘッドを用いて磁気記録媒
体上に相互に離間して隣接する一対の第１の基準簡易ノ
イズトラックを形成し、これら第１の基準簡易ノイズト
ラック上に幅方向両端部を重複させるように第１の基準
簡易消去トラックを書き込み、更にこの第１の基準簡易
消去トラックの幅方向両側に前記第１の基準簡易ノイズ
トラックと所定間隔離間させて一対の第１の調整簡易ノ
イズトラックを形成し、前記第１の調整簡易ノイズトラ
ックのトラック幅方向に前記磁気ヘッドを走査して走査
位置毎のノイズの強さを計測し、前記別々に測定した走
査位置毎のノイズの強さと信号の強さの比を測定位置毎
に求める一方、前記薄膜磁気ヘッドを用いて磁気記録媒
体上に第２の基準簡易データトラックを書き込み、更に
この第２の基準簡易データトラックの両側に該第２の簡
易基準データトラックと一部重複させて第２の簡易消去
トラックを形成し、前記第２の基準簡易消去トラックの
トラック幅方向に沿って前記磁気ヘッドを走査して走査
位置毎の信号の強さを計測するとともに、前記磁気ヘッ
ドを用いて磁気記録媒体上に相互に離間して隣接する一
対の第２の基準簡易ノイズトラックを形成し、これら第
２の基準簡易ノイズトラック上に幅方向両端部を重複さ
せるように第２の基準簡易消去トラックを書き込み、更
にこの第２の基準簡易消去トラックの幅方向両側に前記
第２の基準簡易消去トラックと一部を重複させた一対の
第２の調整簡易ノイズトラックを形成し、前記第２の調
整簡易ノイズトラックのトラック幅方向に前記磁気ヘッ
ドを走査して走査位置毎のノイズの強さを計測し、前記
別々に測定した走査位置毎のノイズの強さと信号の強さ
の比を測定位置毎に求め、先に求めた走査位置毎のノイ
ズの強さと信号の強さの比、並びに、後で求めた走査位
置毎のノイズの強さと信号の強さの比がいずれも磁気ヘ
ッドに要求されるノイズの強さと信号の強さの比よりも
高ければ磁気ヘッドを良品と判定し、低ければ不良品と
判定することを特徴とする。

【００２７】本発明の検査装置は、円盤状の磁気記録媒
体を支持して回転駆動するための駆動装置と、磁気記録
媒体の記録面の任意の位置に対して検査用の磁気ヘッド
を位置決めする位置決め装置と、前記検査用の磁気ヘッ
ドに設けられる書込ヘッドと読出ヘッドに通電制御して
前記磁気記録媒体にデータトラックと消去トラックとノ
イズトラックを記録可能とするとともに前記データトラ
ックの信号とノイズトラックのノイズを読出可能とする
ための記録再生制御部とを具備してなり、これら駆動装
置と位置決め装置と記録再生制御部とを利用して先に記
載の方法を実施し、求めたノイズの強さと信号の強さの
比から、検査用の磁気ヘッドの良、不良を判別する判定
部を備えたことを特徴とする。

【００２８】本発明の検査方法は、書込ヘッドと読出ヘ
ッドを備えた磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体上に簡易
基準データトラックを書き込み、更にこの簡易基準デー
タトラックのトラック幅方向両側に前記簡易基準データ
トラックと所定間隔離間させて一対の消去簡易トラック
を形成し、前記簡易基準データトラックのトラック幅方
向に沿って前記磁気ヘッドを走査して走査位置毎の信号
の強さを計測するとともに、前記磁気ヘッドを用いて磁
気記録媒体上に相互に離間して隣接する一対の簡易基準
ノイズトラックを形成し、これら簡易基準ノイズトラッ
ク上に幅方向両端部を重複させるように簡易基準消去ト
ラックを書き込み、更にこの簡易基準消去トラックの幅
方向両側に前記簡易基準ノイズトラックと所定間隔離間
させ、前記簡易基準ノイズトラックと一部重複させて簡
易ノイズトラックを形成し、前記各トラックのトラック
幅方向に前記磁気ヘッドを走査して走査位置毎のノイズ
の強さを計測し、前記別々に測定した走査位置毎のノイ
ズの強さと信号の強さの比を測定位置毎に求め、ノイズ
の強さと信号の強さの比が磁気ヘッドに要求されるノイ
ズの強さと信号の強さの比よりも高ければ磁気ヘッドを
良品と判定し、低ければ不良品と判定することを特徴と
する。

【００２９】本発明の検査装置は、円盤状の磁気記録媒
体を支持して回転駆動するための駆動装置と、磁気記録
媒体の記録面の任意の位置に対して検査用の磁気ヘッド
を位置決めする位置決め装置と、前記検査用の磁気ヘッ
ドに設けられる書込ヘッドと読出ヘッドに通電制御して
前記磁気記録媒体にデータトラックと消去トラックとノ
イズトラックを記録可能とするとともに前記データトラ
ックの信号とノイズトラックのノイズを読出可能とする
ための記録再生制御部とを具備してなり、これら駆動装
置と位置決め装置と記録再生制御部とを利用して先に記
載の方法を実施し、求めたノイズの強さと信号の強さの
比から、検査用の磁気ヘッドの良、不良を判別する判定
部を備えたことを特徴とする。

【００３０】

【発明の実施の形態】「第１実施形態」以下に本発明の
磁気ヘッドのトラックピッチの測定方法と磁気ヘッドの
検査方法および測定装置と検査装置の各実施形態につい
て図面に基づいて説明する。図１は、本発明の第１実施
形態の測定装置と検査装置の構成図であり、この形態の
検査装置１は、円盤状の磁気ディスク２を回転自在に支
持するための駆動装置３と、この駆動装置３の回転制御
を行う回転制御部４と、トラックピッチを測定しようと
する薄膜磁気ヘッド５２を前記磁気ディスク２の磁気記
録面（図１では表面）に対向させて支持可能な支持装置
５と、この支持装置５を介して薄膜磁気ヘッド５２を移
動させて磁気ディスク２の磁気記録面の任意の位置に移
動自在とする位置決め装置６と、前記支持装置５に支持
させた薄膜磁気ヘッド５２の記録信号と再生信号を増幅
するための記録再生アンプ７と、この記録再生アンプ７
に接続されて前記薄膜磁気ヘッド５２の記録と再生を制
御するための記録再生制御部８と、前記記録再生アンプ
７からの信号を検出する出力検出部１０と、前記位置決
め装置６を作動させて薄膜磁気ヘッド５２の位置決め制
御を行う位置決め制御部１１と、薄膜磁気ヘッド５２の
位置を検出する位置検出部１２と、前記出力検出部１０
から検出された信号とノイズの値に応じて後述するＮ／
Ｓカーブを算出し、オフトラック特性を計算する演算部
１３と、この演算部１３の演算結果に基づいて薄膜磁気
ヘッド５２の良否を判定する判定部１４を主体として構
成されている。

【００３１】なお、前記検査装置１の構成において判定
部１４を除いた部分の構成により、即ち、駆動装置３と
回転制御部４と支持装置５と位置決め装置６と記録再生
アンプ７と記録再生制御部８と出力検出部１０と位置決
め制御部１１と位置検出部１２と演算部１３により、ト
ラックピッチの測定装置１５が構成されている。

【００３２】次に、前記構成の検査装置１と測定装置１
５を用いて薄膜磁気ヘッド５２のトラックピッチを測定
し、その良否を判定する方法の第１実施形態について説
明する。図２〜図１２は、本発明に係る磁気ヘッドのト
ラックピッチの測定方法の第１実施形態を説明するため
のもので、この第１実施形態においては、例えば、図３
４〜図３６に示した構造のようにＧＭＲ素子などの磁気
抵抗効果素子を読出素子として有する読出ヘッド６１
と、書込ヘッド（インダクティブヘッド）６２とが複合
一体化された構造の薄膜磁気ヘッド５２を用い、円盤状
の磁気記録媒体２の記録面に記録されたデータ信号と試
験トラック周辺に記録されたノイズ信号の比を測定する
ことでトラックピッチを測定する方法である。

【００３３】（第１のオフトラック特性値の測定）第１
の実施形態においては最初に、試験しようとする薄膜磁
気ヘッド５２を用いて磁気記録媒体２の磁気記録面に図
２に示すように２つの第１のノイズトラック２１、２２
を左右に隣接させて相互に所定間隔離間して書き込む。
これらの第１のノイズトラック２１、２２を書き込むに
は、駆動装置３により磁気記録媒体２を回転駆動すると
ともに、位置決め装置６により薄膜磁気ヘッド５２を磁
気記録媒体２のフォーマット済みの磁気記録面の任意の
位置に対向させ、記録再生制御部８から薄膜磁気ヘッド
５２の書込ヘッド６２に通電制御して所望のノイズ信号
を磁気記録面に記録して第１のノイズトラック２１を形
成し、その後に位置決め装置６により薄膜磁気ヘッド５
２を磁気記録媒体２の直径方向に所定距離だけ移動させ
た後に、先のものと同じノイズ信号を書込ヘッド６２か
ら磁気記録面に書き込むことで第２のノイズトラック２
１を形成することができる。なお、これらのノイズトラ
ック２１、２２と後述する種々のトラックについては、
磁気記録媒体２の全周に形成する必要はなく、所定の長
さ、例えば、１セクタ、あるいは複数のセクタの区画に
形成すれば良い。

【００３４】前記第１のノイズトラック２１、２２の間
隔は、試験しようとする薄膜磁気ヘッド５２のトラック
幅よりも明らかに小さい幅、トラック幅の数分の１程度
の間隔に設定する。なお、試験用の薄膜磁気ヘッド５２
において、形状的に正確なトラック幅は製造時のばらつ
き等があり、正確な計測を行わなくては不明であり、書
込ヘッドからの磁束漏れによるフリンジングを加味した
磁気的なトラック幅とトラックピッチは不明であるが、
ここで用いる第１のノイズトラック２１、２２の間隔
は、薄膜磁気ヘッド５２の製造時に決定されていた薄膜
磁気ヘッド５２の設計値のトラック幅の数分の１程度
（例えば１／２等）の間隔とすれば良い。

【００３５】次に、これら第１のノイズトラック２１、
２２を形成した磁気記録媒体２の磁気記録面の中心部、
即ち第１のノイズトラック２１、２２間の間隔の中心部
ｌ₁を中心に、第１のノイズトラック２１、２２にまた
がるように第１のデータトラック２３を書き込む。そし
て、このような第１のデータトラック２３に対し、トラ
ックの幅方向に試験しようとする薄膜磁気ヘッド５２を
図１の矢印ａ方向に走査してトラック幅方向の位置毎の
信号の強さを測定する。この第１のデータトラック２３
の信号の測定結果を図４に符合２３ａで示す三角山形の
図形で示す。

【００３６】次に、第１のデータトラック２３の左右両
側に所定間隔Ｓだけ離れた位置であって、第１のノイズ
トラック２１、２２に一部重複するように試験しようと
する薄膜磁気ヘッド５２を用いて信号を消去した第１の
消去トラック２５、２６を図２に示すように形成する。
図２にこれら各トラックの平面配置状態を示し、図３に
各トラックの断面位置関係の略図を示すが、第１のノイ
ズトラック２１において第１の消去トラック２５と第１
のデータトラック２３とに挟まれた領域が一部消去後の
第１のノイズトラック２１Ａを示し、第２のノイズトラ
ック２２においてデータトラック２３と消去トラック２
６により挟まれた領域が一部消去後の第２のノイズトラ
ック２２Ａを示す。そして、このような図２〜図４に示
す各トラックに対し、トラックの幅方向に試験しようと
する薄膜磁気ヘッド５２を図２の矢印ａ方向に走査して
各トラック幅方向の位置毎のノイズの強さを測定する。

【００３７】また、各トラックの信号記録状態にあって
は、薄膜磁気ヘッド５２が磁気記録媒体２の磁気記録面
に磁界を作用させて信号記録を行うので、各トラックの
中心部が最も記録信号の強い部分になり、中心部から端
部に向かうにつれて記録信号が徐々に弱くなり、記録信
号が規定の強さを下回った領域に達する部分がトラック
の幅方向の端部を意味する。しかし、ここでトラックの
端部よりも更に外側には、規定強さよりも弱い信号が記
録されているが、この外側部分の信号は記録信号とは判
断されない信号となる。図４に以上の状態を加味した各
トラックに対応する信号の強さの分布を示した。

【００３８】図４において中央部の符合２３ａで示す三
角形の信号領域が第１のデータトラック２３の信号を測
定した結果に相当するが、この第１のデータトラック２
３の信号領域において、左右両側の信号の弱い領域では
規定の信号出力よりも弱い信号しか記録されていないの
で、この領域は第１のデータトラック２３には相当しな
い領域と判別される。そしてこの領域には先に記録され
ていた第１のノイズトラック２１、２２のノイズ信号が
存在する。なお、これら第１のノイズトラック２１、２
２のノイズは第１の消去トラック２５、２６により一部
消去されているので、第１のデータトラック２３の両側
に位置するのは一部消去後の第１のノイズトラック２１
Ａからのノイズが測定された符合２１ａで示す三角形状
のノイズ分布と、一部消去後の第２のノイズトラック２
２Ａから測定された符合２２ａで示される三角形状のノ
イズ分布となる。また、消去トラック２５、２６の形成
前には一部消去前の第１のノイズトラック２１、２２の
ノイズが存在していたので、これらの一部消去前のノイ
ズトラック２１、２２のノイズの分布を図４に符合２１
ａ’で示す鎖線と符合２２ａ’で示す鎖線で参考的に示
した。

【００３９】次に、図４に示す横軸（トラック幅方向）
の各位置毎のノイズ（Ｎ）と信号（Ｓ）との比、即ち、
Ｎ／Ｓの値を求め、図５に示すようなＮ／Ｓカーブを求
める。ここで信号の強さの測定とノイズの強さの測定に
関し、薄膜磁気ヘッド５２では、信号をデータとして扱
うわけではなく、信号の強さとノイズの強さとしてのみ
計測すれば良いので、磁気ヘッド５２をハードディスク
ドライブ装置に組み込む必要はなく、ピークジッターや
エラーレートを含めた信号として測定する必要もないの
で、薄膜磁気ヘッド５２の単体で計測が可能である。そ
して、薄膜磁気ヘッド５２の仕様から、あるいは、薄膜
磁気ヘッド５２の目的の性能から要求されるデータトラ
ックとしての検出可能であり、トラック検出時に誤動作
を発生しないように設定した、Ｎ／Ｓ比の値を図５の鎖
線ｂで示すようにＮ／Ｓカーブに対して重複記載し、Ｎ
／Ｓカーブと交差した２点ｂ₁、ｂ₂間の半分の間隔を第
１のオフトラック特性値（ＯＴＣ値）として計算で求め
る。この計算は、図１に示す装置構成において出力検出
部１０の検出結果に基づき、演算部１３で行うことがで
きる。

【００４０】次に、第１のノイズトラック２１、２２を
磁気記録媒体２のフォーマット済みの未使用、あるいは
記録を消去した磁気記録面の任意の位置に、図２に示す
場合と同様に書き込み、第１のデータトラック２３を図
２の場合と同様に書き込むとともに、第１のデータトラ
ック２３の左右両側に先の場合よりも第１のデータトラ
ック２３に接近させて第１のノイズトラック２１、２２
に一部重複するように第１の消去トラック２５、２６を
形成する。そして先の場合と同様に薄膜磁気ヘッド５２
により走査して図５を基に先に説明した場合と同様のＮ
／Ｓカーブを求め、このＮ／Ｓカーブから第１のオフト
ラック特性値（ＯＴＣ値）を計算で求める。

【００４１】以上の操作において第１の消去トラック２
５、２６と第１のデータトラック２３との間隔を規定量
変更しつつ繰り返し測定して第１の消去トラック２５、
２６の位置Ｓ毎の第１のオフトラック特性値を求め、そ
の結果を図６に示すグラフ上にプロットする。ここで変
更する間隔は、数μインチ、例えば２μインチ（＝０.
０５μｍ）などの微細な間隔とする。これにより図５の
符合９で示すような第１の消去トラック位置毎のＯＴＣ
値を示す第１のオフトラック特性曲線を得ることができ
る。先の図５に示すグラフおいて横軸は薄膜磁気ヘッド
５２による走査位置を示すので、単位はμインチあるい
はμｍなどの長さを示し、縦軸は比率を示す数値を示
す。また、図６において横軸は、第１の消去トラックの
位置を示すので単位はμインチあるいはμｍなどの長さ
を示す。ここで、消去トラック位置Ｓとは、第１データ
トラックの中心から、各々の第１の消去トラックの中心
までの距離である。

【００４２】なお、図２〜図４に示す各トラックの位置
は、１つの例であり、第１の消去トラック２５、２６を
第１のデータトラック２３の両側において第１のデータ
トラック２３に向けて徐々に接近させながら各位置にお
いて第１のオフトラック特性値を計算するのは前述した
通りであるが、第１の消去トラック２５、２６を接近さ
せる場合、第１のノイズトラック２１、２２に第１の消
去トラック２５、２６が接触しない位置から徐々に第１
のデータトラック２３に接近させても良いのは勿論であ
る。また、第１の消去トラック２５、２６が第１のデー
タトラック２３に完全に重なるまで移動させて第１のオ
フトラック特性を計測することが望ましい。更に、第１
のノイズトラック２１、２２の間の間隔は、第１のデー
タトラック２３の幅よりも小さければ良いので、図１に
示す間隔よりも多少広い間隔であっても良いのは勿論で
ある。

【００４３】（第２のオフトラック特性値の測定）次
に、図７に示すように磁気記録媒体２のフォーマット済
みの他の未使用の磁気記録面あるは消去済みの磁気記録
面に対し、試験用の薄膜磁気ヘッド５２を用いて中央ｌ
₄に沿って第２のデータトラック３０を形成し、その両
側に所定間隔Ｓだけ離間した隣接データ位置を消去して
第２の消去トラック３１、３２を線ｌ ₅、ｌ₆に沿って形
成し、隣接データ位置消去後の第２のデータトラック３
０の信号を先の説明の場合と同様に薄膜磁気ヘッド５２
をトラック幅方向に走査して走査位置毎の信号の強さを
測定する。図７に示す状態は、第２のデータトラック３
０の両端部側に所定幅で第２の消去トラック３１、３２
が重複された状態を示している。続いて図８に示すよう
に先の第２の消去トラック３１、３２の位置に薄膜磁気
ヘッド５２によりそのままノイズ信号を上書きして第２
のノイズトラック３３、３４を形成する。図９にこれら
の記録信号の位置を示す。そして、薄膜磁気ヘッド５２
を図８の矢印ｃ方向に走査して第２のノイズトラック３
３、３４の走査位置毎のノイズの強さを測定する。

【００４４】図１０にこれら信号の測定結果とノイズの
測定結果を示す。図１０において中央部の符合３０ａで
示す三角形が第２のデータトラック３０の信号測定結果
を示し、その両側の符合３３ａで示す三角形が第２のノ
イズトラック３３のノイズ測定結果を示し、符合３４ａ
で示す三角形が第２のノイズトラック３４のノイズ測定
結果を示す。なお、第２のデータトラック３０の測定信
号分布において、左右両側の信号の弱い領域では規定の
信号出力よりも弱い信号しか記録されていないので、こ
の領域は第２のデータトラック３０には相当しない領域
と判別される。そして図１０においてこの領域には第２
のノイズトラック３３、３４の測定ノイズが存在する。
なお、第２のデータトラック３０の信号はその両側に先
に消去トラック３１、３２が形成されたことによって一
部消去されているので、消去前の信号を図１０の三角形
状の鎖線３０’で模式的に示した。

【００４５】そして、先に図５と図６を基に説明した場
合と同様に、図１０のトラック幅方向に薄膜磁気ヘッド
５２を走査して各位置毎のノイズ（Ｎ）の強さと信号
（Ｓ）の強さとの比、即ちＮ／Ｓの値を求め、図１１に
示すようなＮ／Ｓカーブを求める。そして、検査用の薄
膜磁気ヘッド５２の仕様から、あるいは、薄膜磁気ヘッ
ド５２の目的の性能から要求される前述したＮ／Ｓ比の
値を図１１の鎖線ｄで示すようにＮ／Ｓカーブに対して
重複記入し、Ｎ／Ｓカーブと交差した２点ｄ₁、ｄ₂間の
半分の間隔を第２のオフトラック特性値（ＯＴＣ値）と
して計算で求める。この計算は、図１に示す構成におい
て出力検出部１０の検出結果に基づき、演算部１３で行
うことができる。

【００４６】以上の処理において第２のノイズトラック
３３、３４と第２のデータトラック３０との間隔を規定
量変更しつつ繰り返し測定して第２のノイズトラック３
３、３４の位置Ｓ毎の第２のオフトラック特性値を求
め、その結果を図１２に示すようにグラフにプロットす
る。これにより、図１２の符合１５で示すような第２の
消去トラック位置Ｓ毎のオフトラック特性値（ＯＴＣ
値）を示す第２のオフトラック特性曲線を得ることがで
きる。そして先に図６に示すように求めたＯＴＣ値を示
す第１のオフトラック特性曲線９を図１２のグラフ上に
描くことで、第２のオフトラック特性曲線１５との交点
ｅ₁が求められるので、この交点ｅ₁の位置での消去トラ
ック位置を薄膜磁気ヘッド５２のトラックピッチｅとし
て検出できたことになる。

【００４７】以上のような方法でトラックピッチｅを求
めるならば、薄膜磁気ヘッド５２を用いて信号の強さと
ノイズの強さの計測を別個に行い、それら別個の測定結
果を基に計算で第１と第２のオフトラック特性値を求
め、更にこれら第１と第２のオフトラック特性値からト
ラックピッチｅを求めることができる。また、以上説明
した方法において、別個に行う信号の強さの計測と、ノ
イズの強さの計測は、薄膜磁気ヘッド５２の単体で計測
できる一般的な信号雑音測定であるので、薄膜磁気ヘッ
ド５２をハードディスクドライブ装置に搭載して実際の
記録信号、ピークジッターなどを記録することなく、薄
膜磁気ヘッド５２単体で計測可能であるので、薄膜磁気
ヘッド５２のトラックピッチｅの測定をハードディスク
ドライブ装置に実装する前に行うことができる。

【００４８】更に、薄膜磁気ヘッド５２のトラックピッ
チｅをハードディスクドライブ装置に実装する前に計測
できるので、薄膜磁気ヘッド５２のトラックピッチｅを
計測した場合にその計測値が仕様や設計値の許容範囲内
にあればその薄膜磁気ヘッド５２を良品として判別する
ことができ、逆にトラックピッチｅの計測地が、仕様や
設計値の許容範囲から外れていた場合は、その検査した
薄膜磁気ヘッド５２を不良品として判断することができ
る。この判別は、図１に示す構成において、判定部１４
に予め薄膜磁気ヘッド５２の仕様や設計値から得られる
許容範囲を入力しておき、演算部１３が計測したトラッ
クピッチｅの値を基に、判定部１４で判別することで容
易に実施することができる。従って図１に示す構成を用
いて先に説明した方法によりトラックピッチｅを測定し
てトラックピッチｅの値を判定部１４で判別すること
で、薄膜磁気ヘッド５２をハードディスクドライブ装置
に実装する前に検査することができる。

【００４９】なお、図７〜図１０に示す各トラックの位
置は、１つの例であり、第２のノイズトラック３３、３
４を第２のデータトラック３０の両側において第２のデ
ータトラック３０に向けて徐々に接近させながら各位置
において第２のオフトラック特性値を計算するのは前述
した通りであるが、第２のノイズトラック３３、３４
（換言すると第２の消去トラック３１、３２）を第２の
データトラック３０に接近させる場合、第２のノイズト
ラック３３、３４を第２のデータトラック３０に接触し
ない位置から徐々に第２のデータトラック３０に接近さ
せても良いのは勿論である。また、第２の消去トラック
３３、３４が第２のデータトラック３０に完全に重なる
まで移動させて第２のオフトラック特性を計測しても良
い。

【００５０】「第２実施形態」以下に本発明の磁気ヘッ
ドのトラックピッチの測定方法と磁気ヘッドの検査方法
および測定装置と検査装置の第２実施形態について図面
に基づいて説明する。図１３は本発明の第２実施形態の
トラックピッチの測定装置と薄膜磁気ヘッドの検査装置
の構成図であり、この形態の検査装置４５は、円盤状の
磁気ディスク２を回転自在に支持するための駆動装置３
と、この駆動装置３の回転制御を行う回転制御部４と、
トラックピッチを測定しようとする薄膜磁気ヘッド５２
を前記磁気ディスク２の磁気記録面（表面）に対向させ
て支持可能な支持装置５と、この支持装置５を介して薄
膜磁気ヘッド５２を移動させて磁気ディスク２の磁気記
録面の任意の位置に移動自在とする位置決め装置６と、
前記支持装置５に支持させた薄膜磁気ヘッド５２の記録
信号と再生信号を増幅するための記録再生アンプ７と、
この記録再生アンプ７に接続されて前記薄膜磁気ヘッド
５２の記録再生を制御する記録再生制御部８と、前記記
録再生アンプ７からの信号を検出する出力検出部１０
と、前記位置決め装置６を作動させて薄膜磁気ヘッド５
２の位置決め制御を行う位置決め制御部４１と、薄膜磁
気ヘッド５２の位置を検出する位置検出部４２と、前記
出力検出部１０から検出された信号とノイズの値に応じ
て後述するＮ／Ｓカーブを算出し、オフトラック特性を
計算する演算部４３と、この演算部４３の演算結果に基
づいて薄膜磁気ヘッド５２の良否を判定する判定部４４
を主体として構成されている。

【００５１】なお、前記検査装置４５の構成において、
判定部４４を除いた部分の構成により、即ち、駆動装置
３と回転制御部４と支持装置５と位置決め装置６と記録
再生アンプ７と記録再生制御部８と出力検出部１０と位
置決め制御部４１と位置検出部４２と演算部４３によ
り、トラックピッチの測定装置４６が構成されている。

【００５２】次に、前記構成の測定装置４６を用いて薄
膜磁気ヘッド５２のトラックピッチを測定する方法につ
いて説明する。図１４〜図１９は、本発明に係る磁気ヘ
ッドのトラックピッチの測定方法の第２実施形態を説明
するためのもので、この第２実施形態においては、例え
ば、図３４〜図３６に示した構造のようにＧＭＲ素子な
どの磁気抵抗効果素子を読出素子として有する読出ヘッ
ドと６１、書込ヘッド（インダクティブヘッド）６２と
が複合一体化された構造の薄膜磁気ヘッド５２を用い、
円盤状の磁気記録媒体２の磁気記録面の試験トラックに
記録されたデータ信号と試験トラック周辺に記録された
ノイズ信号の比を測定することでトラックピッチを測定
する方法である。

【００５３】この第２実施形態においては、まず、図１
４に示すように読出ヘッドのコア幅（リードトラック
幅）をＴ₁と設定し、書込幅Ｔ₂を有する書込部６４を設
定し、イレースバンド６５、６５を書込部６４の両側に
備えたものをトラック６６と規定する。このようなトラ
ック６６を利用した複数のノイズトラックとデータトラ
ックを図１５〜図１９を基に以下に説明するように利用
して磁気トラックを計測する方法である。

【００５４】まず、試験しようとする薄膜磁気ヘッド５
２を用いて図１５に示すように２つの基準ノイズトラッ
ク８０、８１を左右に隣接させて所定間隔離間して磁気
記録媒体２のフォーマット済みの未使用、あるいは消去
済みの磁気記録面上に書き込む。これらの基準ノイズト
ラック８０、８１を書き込むには、先の第１の実施形態
の場合と同様に、駆動装置３により磁気記録媒体２を回
転駆動し、位置決め装置６により薄膜磁気ヘッド５２を
磁気記録媒体２の磁気記録面の任意の位置に対向させ、
記録再生制御部８から薄膜磁気ヘッド５２の書込ヘッド
６２に通電制御して所望のノイズ信号を磁気記録面に記
録して第１のノイズトラック８０を形成するとともに、
その後に位置決め装置６により薄膜磁気ヘッド５２を磁
気記録媒体２の直径方向に所定距離だけ移動させた後
に、先のものと同じノイズ信号を書込ヘッド６２から磁
気記録面に書き込むことで基準ノイズトラック８１を形
成することができる。なお、これらの基準ノイズトラッ
ク８０、８１と後述する種々のトラックについては、磁
気記録媒体２の記録面の全周に形成する必要はなく、所
定の長さ、例えば、１セクタ、あるいは複数のセクタの
区画に形成すれば良い。

【００５５】次に、基準ノイズトラック８０、８１を形
成した領域の中心部に基準ノイズトラック８０、８１に
またがるように基準データトラック８５を書き込み、続
いて基準ノイズトラック８０、８１の外側位置に調整ノ
イズトラック８２、８３を書き込む。なお、ノイズトラ
ック８０、８１、８２、８３、８５の両側にはそれぞれ
イレースバンド８０ａ、８１ａ、８２ａ、８３ａ、８５
ａが形成されるものとする。

【００５６】図１５において薄膜磁気ヘッド５２の磁気
抵抗効果多層膜からなる読出ヘッド６１を基準データト
ラック８５の内側の中央位置からトラックの幅方向に走
査して所定のノイズ／信号比（Ｎ／Ｓ比）になるまでの
薄膜磁気ヘッド５２の移動量Ｔ１を計測する。ここで仮
に、Ｎ／Ｓ比を１：５に設定したならば、読出ヘッド６
１が検出するノイズと信号の比において１：５になるま
で薄膜磁気ヘッド５２を走査するものとする。この比率
は１：５でも１：１０でも任意の比率で良い。

【００５７】次に、図１５〜図１８に示すように調整ノ
イズトラック８２、８３を徐々に基準データトラック８
５に接近させる方向に移動させて書き込み、所定位置毎
に読出ヘッド６１の前記走査を繰り返す。その結果を図
１９に示す。

【００５８】ここでまず、基準データトラック８５の両
側に位置する調整ノイズトラック８２、８３が基準デー
タトラック８５から十分に離れている場合の読出ヘッド
６１の走査について図１５を基に説明する。基準データ
トラック８５から信号の強さを読み出している状態にお
いて、信号とノイズの比から見て信号が最も強くノイズ
が少ない位置がデータトラック８５の中心であるので、
この中心位置から読出ヘッド６１（具体的には磁気抵抗
効果多層膜５５）を図１５の右側に移動させて走査す
る。そして、ノイズ（Ｎ）と信号（Ｓ）の比、Ｎ：Ｓが
例えば１：５の場合になるまで走査すると規定すると、
読出ヘッド６１が図１５の右側に矢印のように移動して
図１５の符合８６ａに示す位置でＮ：Ｓが１：５になっ
たとすると、その地点で走査を終了し、この際の移動距
離をＴ1とする。前記読出ヘッド６１がノイズを初めて
拾うのは、読出ヘッド６１の端部がデータトラック８５
のイレースバンド８５ａを乗り越えて基準ノイズトラッ
ク８１の位置に到達した場合である。

【００５９】前記移動距離Ｔ１は基準データトラック８
５に対して調整ノイズトラック８３が接近して図１６に
示すように基準データトラック８５のイレースバンド８
５ａと基準ノイズトラック８３のイレースバンド８３ａ
とが接触し、基準ノイズトラック８１のノイズを隠すよ
うになるまで一定値を維持する。従って、図１９におい
てＡ点が位置されている読出ヘッド移動量が一定値の場
合の領域を意味し、例えばＡ点における基準データトラ
ック８５と調整ノイズトラック８３の距離はＰ１とな
る。

【００６０】次に、調整ノイズトラック８２、８３と基
準データトラック８５の距離が小さくなって図１６に示
すように基準データトラック８５のイレースバンド８５
ａ、８５ａの端部と調整ノイズトラック８２、８３のイ
レースバンド８２ａ、８３ａの端部が一致するようにな
ると、読出ヘッド６１は調整ノイズトラック８３のイレ
ースバンド８３ａを越えて調整ノイズトラック８３に到
達して初めて調整ノイズトラック８３のノイズを検出し
始め、Ｎ：Ｓが１：５になる図１６の符合８６ｂの位置
まで移動するので、この位置８６ｂの場合の読出ヘッド
８６の移動量Ｔ２は最大となる。この移動量Ｔ２の場合
が図１９におけるＢ点に相当し、この場合の調整データ
トラック８５と調整ノイズトラック８３の距離はＰ２と
なる。

【００６１】続いて調整ノイズトラック８２、８３を更
に互いに接近する方向に更に移動させて記録すると、調
整ノイズトラック８２、８３のイレースバンド８２ａ、
８３ａが図１７に示すように基準データトラック８５の
イレースバンド８５ａ、８５ａに完全に重なるようにな
る。この時点で読出ヘッド６１を走査してＮ：Ｓが１：
５になる地点まで移動させると、読出ヘッド６１は図１
７に符合８６ｃで示す位置まで移動量Ｔ３を示す。この
移動量Ｔ３の場合が図１９のＣ点に相当し、この場合の
基準データラック８５と調整ノイズトラック８３の間隔
はＰ３となる。

【００６２】更に、調整ノイズトラック８２、８３を相
互に接近させる方向に移動させると調整ノイズトラック
８２、８３は図１８に示すように基準データトラック８
５の上に重なって位置するようになり、この時点で読出
ヘッド８６を走査すると、読出ヘッド８６がＮ：Ｓ＝
１：５になるまで移動する距離はＴ４で示される距離と
なり、その状態では図１９においてＤ点に相当し、この
場合の基準データトラック８５と調整ノイズトラック８
３の距離はＰ４となる。調整ノイズトラック８２、８３
の相互距離が短くなると、読出ヘッド６１の移動量は徐
々に減少するので、図１９のように読出ヘッドの移動量
は０に向かうようになる。

【００６３】以上のように読出ヘッド６１の移動量を縦
軸にとり、基準データトラック８５と調整ノイズトラッ
ク８３との距離を横軸にとると、図１９に示す関係とな
り、図１９に示す線図においてピークを示すＢ点におけ
る基準データトラック８５と基準ノイズトラック８３の
距離Ｐ３が、イレースバンド８５ａ、８５ａを含めた基
準データトラック８５のトラック幅の半分の値を意味す
るので、このＰ３値を２倍にすることでトラックピッチ
を求めることができる。

【００６４】以上説明の方法で薄膜磁気ヘッド５２のト
ラックピッチを求めるならば、薄膜磁気ヘッド５２を用
いて基準データトラック８５の内部から走査して得られ
る信号の強さとノイズの強さの比を基に一定の比率にな
るまでの読出ヘッド６１の移動量の推移からトラックピ
ッチを求めることができる。そしてこの方法では、読出
ヘッド６１の移動量を決めるために信号とノイズの比を
求めるのみで良く、これらの測定は薄膜磁気ヘッド５２
の単体で計測できる一般的な信号雑音測定であり、薄膜
磁気ヘッド５２をハードディスクドライブ装置に搭載し
て実際の記録信号、ピークジッターなどを記録すること
なく、薄膜磁気ヘッド５２単体で計測可能であるので、
薄膜磁気ヘッド５２のトラックピッチの測定をハードデ
ィスクドライブ装置に実装する前に行うことができる。

【００６５】更に、薄膜磁気ヘッド５２のトラックピッ
チをハードディスクドライブ装置に実装する前に計測で
きるので、薄膜磁気ヘッド５２のトラックピッチを計測
した場合にその計測値が仕様や設計値の許容範囲内にあ
ればその薄膜磁気ヘッド５２を良品として判別すること
ができ、逆にトラックピッチｅの計測地が、仕様や設計
値の許容範囲から外れていた場合は、その検査した薄膜
磁気ヘッド５２を不良品として判断することができる。
この判別は、図１３に示す構成において、判定部４４に
予め薄膜磁気ヘッド５２の仕様や設計値から得られる許
容範囲を入力しておき、演算部４３が計測したトラック
ピッチの値を基に、判定部４４で判別することで容易に
判定することができる。従って図１３に示す構成を用い
て先に説明した方法によりトラックピッチを測定してト
ラックピッチの値を判定部４４で判別することで、薄膜
磁気ヘッド５２をハードディスクドライブ装置に実装す
る前に検査することができる。

【００６６】「第３実施形態」以下に本発明の磁気ヘッ
ドの検査方法と検査装置の第３実施形態について図面に
基づいて説明する。図２０は本発明の第３実施形態の薄
膜磁気ヘッドの検査装置の構成図であり、この形態の検
査装置９５は、円盤状の磁気ディスク２を回転自在に支
持するための駆動装置３と、この駆動装置３の回転制御
を行う回転制御部４と、トラックピッチを測定しようと
する薄膜磁気ヘッド５２を前記磁気ディスク２の磁気記
録面（表面）に対向させて支持可能な支持装置５と、こ
の支持装置５を介して薄膜磁気ヘッド５２を移動させて
磁気ディスク２の磁気記録面の任意の位置に移動自在と
する位置決め装置６と、前記支持装置５に支持させた薄
膜磁気ヘッド５２の記録信号と再生信号とを増幅するた
めの記録再生アンプ７と、この記録再生アンプ７に接続
されて前記薄膜磁気ヘッド５２の記録再生を制御する記
録再生制御部８と、前記記録再生アンプ７からの信号を
検出する出力検出部１０と、前記位置決め装置６を作動
させて薄膜磁気ヘッド５２の位置決め制御を行う位置決
め制御部９１と、薄膜磁気ヘッド５２の位置を検出する
位置検出部９２と、前記出力検出部１０から検出された
信号とノイズの値に応じて後述するＮ／Ｓカーブを算出
する演算部９３と、この演算部９３の演算結果に基づい
て薄膜磁気ヘッド５２の良否を判定する判定部９４とを
主体として構成されている。

【００６７】次に、前記構成の検査装置９５を用いて薄
膜磁気ヘッド５２を検査する方法について説明する。図
２１〜図２６は、本発明の第３実施形態を説明するため
のもので、この第３実施形態においては、例えば、図３
４〜図３６に示した構造のようにＧＭＲ素子などの磁気
抵抗効果素子を読出素子として有する読出ヘッド６１
と、書込ヘッド（インダクティブヘッド）６２とが複合
一体化された構造の薄膜磁気ヘッド５２を用い、円盤状
の磁気記録媒体２の磁気記録面の試験トラックに記録さ
れたデータ信号とその試験トラック周辺に記録されたノ
イズ信号、および、試験トラックに形成されたノイズト
ラックとそのノイズトラックの一部に離間されるか重複
されて形成された消去トラックと周辺トラックに形成さ
れたノイズトラックを測定することで磁気ヘッド５２を
検査する方法である。

【００６８】この第３実施形態においては、以下に説明
する第１ステップの検査と後述する第２ステップの検査
により、測定しようとする薄膜磁気ヘッド５２の検査を
行うようになっている。 「第１ステップの検査」まず、試験しようとする薄膜磁
気ヘッド５２を用いて図２１に示すように第１の基準簡
易データトラック１１０とその両側に第１の簡易消去ト
ラック１１１をそれらを相互に離間させて磁気記録媒体
２のフォーマット済みの未使用、あるいは消去済みの磁
気記録面上に書き込む。なお、この形態においても先の
形態と同様に各トラック１１０、１１１の両側にはイレ
ースバンド１１０ａ、１１１ａが形成されている。この
第１の基準簡易データトラック１１０と第１の簡易消去
トラック１１１、１１１を書き込むには、先の第１の実
施形態の場合と同様に、駆動装置３により磁気記録媒体
２を回転駆動し、位置決め装置６により薄膜磁気ヘッド
５２を磁気記録媒体２の磁気記録面の任意の位置に対向
させ、記録再生制御部８から薄膜磁気ヘッド５２の書込
ヘッド６２に通電制御して所望の信号を磁気記録面に記
録して第１の基準簡易データトラック１１０を形成する
とともに、その後に位置決め装置６により薄膜磁気ヘッ
ド５２を磁気記録媒体２の直径方向に所定距離だけ移動
させた後に、書込ヘッド６２で磁気記録面の信号を消去
することで第１の簡易消去トラック１１１、１１１を形
成することができる。なお、これらの第１の基準簡易デ
ータトラック１１０と消去トラック１１１、１１１と後
述する種々のトラックについては、磁気記録媒体２の記
録面の全周に形成する必要はなく、所定の長さ、例え
ば、１セクタ、あるいは複数のセクタの区画に形成すれ
ば良い。また、基準簡易ノイズトラック１１３の両側に
もイレースバンド１１３ａが形成されている点は先の形
態の各ノイズトラックの場合と同様である。

【００６９】そして、これら第１の基準簡易トラック１
１０と一対の第１の簡易消去トラック１１１を形成した
磁気記録媒体２の磁気記録面に対し、各トラック１１
１、１１０、１１１の幅方向に試験しようとする薄膜磁
気ヘッド５２を図２１の矢印ｆ方向に走査してトラック
幅方向の位置毎の信号の強さを測定する。この信号測定
結果を図２１に符合１１２で示す三角図形で示す。

【００７０】次に、薄膜磁気ヘッド５２を用いて磁気記
録媒体２の磁気記録面の他の位置に図２２に示すように
２つの基準簡易ノイズトラック１１３を左右に隣接させ
て相互に所定間隔離間して書き込む。これらの基準簡易
ノイズトラック１１３、１１３を書き込むには、図２０
に示す駆動装置３により磁気記録媒体２を回転駆動する
とともに、位置決め装置６により薄膜磁気ヘッド５２を
磁気記録媒体２のフォーマット済みの磁気記録面の任意
の位置に対向させ、記録再生制御部８から薄膜磁気ヘッ
ド５２の書込ヘッド６２に通電制御して所望のノイズ信
号を磁気記録面に記録して一方の基準簡易ノイズトラッ
ク１１３を形成し、その後に位置決め装置６により薄膜
磁気ヘッド５２を磁気記録媒体２の直径方向に所定距離
だけ移動させた後に、先のものと同じノイズ信号を書込
ヘッド６２から磁気記録面に書き込むことで２つめの基
準簡易トラック１１３を形成することができる。なお、
これらの基準簡易ノイズトラック１１３と後述する種々
のトラックについては、磁気記録媒体２の全周に形成す
る必要はなく、所定の長さ、例えば、１セクタ、あるい
は複数のセクタの区画に形成すれば良い。

【００７１】前記基準簡易ノイズトラック１１３、１１
３の間隔は、試験しようとする薄膜磁気ヘッド５２のト
ラック幅よりも明らかに小さい幅、例えばトラック幅の
数分の１程度の間隔に設定する。なお、試験用の薄膜磁
気ヘッド５２において、形状的に正確なトラック幅は製
造時のばらつき等があり、正確な計測を行わなくては不
明であり、書込ヘッドからの磁束漏れによるフリンジン
グを加味した磁気的なトラック幅とトラックピッチは不
明であるが、ここで用いる基準簡易ノイズトラック１１
３、１１３の間隔は、薄膜磁気ヘッド５２の製造時に決
定されていた薄膜磁気ヘッド５２の設計値のトラック幅
の数分の１程度（例えば１／２等）の間隔とすれば良
い。

【００７２】次に、これら基準簡易ノイズトラック１１
３、１１３を形成した磁気記録媒体２の磁気記録面の中
心部、即ち基準簡易ノイズトラック１１３、１１３間の
間隔の中心部を中心に、基準簡易ノイズトラック１１
３、１１３にまたがるように基準簡易消去トラック１１
５を薄膜磁気ヘッド５２で書き込む。続いて、基準簡易
ノイズトラック１１３、１１３の左右両側に所定間隔離
れた位置に試験しようとする薄膜磁気ヘッド５２を用い
てノイズ信号を書き込んで調整簡易ノイズトラック１１
６、１１６を図２２に示すように形成する。以上のよう
に形成した各トラック１１３、１１５、１１６にはそれ
ぞれ先の実施形態の場合と同様のイレースバンド１１３
ａ、１１５ａ、１１６ａが形成される。そして、このよ
うな図２２に示す各トラックに対し、トラックの幅方向
に試験しようとする薄膜磁気ヘッド５２を図２２の矢印
ｇ方向に走査して各トラック幅方向の位置毎のノイズの
強さを測定する。

【００７３】また、各トラックの信号記録状態にあって
は、薄膜磁気ヘッド５２が磁気記録媒体２の磁気記録面
に磁界を作用させて信号記録を行うので、各トラックの
中心部が最も記録信号の強い部分になり、中心部から端
部に向かうにつれて記録信号が徐々に弱くなり、記録信
号が規定の強さを下回った領域に達する部分がトラック
の幅方向の端部を意味する。しかし、ここでトラックの
端部よりも更に外側には、規定強さよりも弱い信号が記
録されているが、この外側部分の信号は記録信号とは判
断されない信号となる。図２２に以上の状態を加味した
各トラックに対応する信号の強さの分布を示した。

【００７４】図２２において中央部の符合１１７で示す
領域が基準簡易消去トラック１１５により信号が消去さ
れた領域に相当するが、この領域の両側の基準簡易ノイ
ズトラック１１３、１１３の信号領域においては、基準
簡易ノイズトラック１１３、１１３の信号の一部が基準
簡易消去トラック１１５により消去された状態であるの
で、一部消去後の基準簡易ノイズトラック１１３、１１
３のノイズの強さの分布が符合１１８、１１８で示す三
角形状のノイズ強さとなる。図２２においては、基準簡
易消去トラック１１５を形成する以前の基準簡易トラッ
ク１１３のノイズの強さを符合１１９で示す鎖線で示し
た。また、調整簡易ノイズトラック１１６のノイズの強
さは符合１２０で示す三角型の分布となる。更に、図２
２に示す横方向、即ちトラック幅方向に薄膜磁気ヘッド
５２を走査して各トラック位置毎のノイズの強さを測定
する。

【００７５】次に、先の図２２を基に説明したノイズ測
定の際に得られた測定位置毎のノイズ（Ｎ）と、先の図
２１を基に説明した信号測定の際に得られた測定位置毎
の信号（Ｓ）との比、即ち、Ｎ／Ｓ比の値を求め、図２
３に示すようなＮ／Ｓカーブを求める。ここで先に説明
した信号の強さの測定とノイズの強さの測定に関し、薄
膜磁気ヘッド５２では、信号をデータとして扱うわけで
はなく、信号の強さとノイズの強さとしてのみ計測すれ
ば良いので、磁気ヘッド５２をハードディスクドライブ
装置に組み込む必要はなく、ピークジッターやエラーレ
ートを含めた信号として測定する必要もないので、薄膜
磁気ヘッド５２の単体で計測が可能である。

【００７６】そして、薄膜磁気ヘッド５２の仕様から、
あるいは、薄膜磁気ヘッド５２の目的の性能から要求さ
れるＮ／Ｓ比の値を図２３のＮ／Ｓカーブに対して記載
し、このＮ／Ｓ比の場合のＮ／Ｓカーブの幅に相当する
間隔１２１をトラックピッチとして見ると、このトラッ
クピッチの値が、薄膜磁気ヘッド５２に求められる仕様
の範囲に入っているならば、その薄膜磁気ヘッド５２を
１次検査合格品とし、仕様の範囲から外れたトラックピ
ッチであるならば、その薄膜磁気ヘッド５２を不良と判
定する。これらのＮ／Ｓカーブの算出と仕様からの良
品、不良品の判定は、演算部９３と判定部９４とで行う
ことができる。

【００７７】「第２のステップ」次に、試験しようとす
る薄膜磁気ヘッド５２を用いて図２４に示すように第２
の基準簡易データトラック１２３を磁気記録媒体２のフ
ォーマット済みの未使用あるいは消去済みの磁気記録面
上に書き込み、次いで、その両側に第２の簡易消去トラ
ック１２４を書き込む。これらの第２の基準簡易消去ト
ラック１２４の書き込みにおいては、第２の簡易消去ト
ラック１２４の一側端部と前記第２の基準簡易データト
ラック１２３の一側端部とが重なるように、換言する
と、第２の基準簡易データトラック１２３のイレースバ
ンド１２３ａと前記第２の簡易消去トラック１２４のイ
レースバンド１２４ａとが一部重なるように記録する。

【００７８】これらの第２の基準簡易データトラック１
２３と第２の簡易消去トラック１２４、１２４を書き込
むには、先の第１の実施形態の場合と同様に、駆動装置
３により磁気記録媒体２を回転駆動し、位置決め装置６
により薄膜磁気ヘッド５２を磁気記録媒体２の磁気記録
面の任意の位置に対向させ、記録再生制御部８から薄膜
磁気ヘッド５２の書込ヘッド６２に通電制御して所望の
信号を磁気記録面に記録して第２の基準簡易データトラ
ック１２３を形成するとともに、その後に位置決め装置
６により薄膜磁気ヘッド５２を磁気記録媒体２の直径方
向に所定距離だけ移動させた後に、書込ヘッド６２で第
２の基準簡易トラック１２３のイレースバンド１２３ａ
と第２の簡易消去トラック１２４のイレースバンド１２
４ａとが一部重複するように書き込みを行えば良い。こ
こでイレースバンド１２３ａ、１２４ａの正確な幅は不
明であるが、イレースバンド１２３ａ、１２４ａが互い
に一部重複するように第２の基準簡易データトラック１
２３と第２の簡易消去トラック１２４を記録することは
容易に実施できる。

【００７９】なお、これらの第２の基準簡易データトラ
ック１２３と第２の簡易消去トラック１２４と後述する
種々のトラックについては、磁気記録媒体２の記録面の
全周に形成する必要はなく、所定の長さ、例えば、１セ
クタ、あるいは複数のセクタの区画に形成すれば良い。

【００８０】次に、薄膜磁気ヘッド５２を用いて磁気記
録媒体２の磁気記録面の他の位置に図２５に示すように
２つの第２の基準簡易ノイズトラック１３０を左右に隣
接させて相互に所定間隔離間して書き込む。これらの第
２の基準簡易ノイズトラック１３０、１３０を書き込む
には、図２０に示す駆動装置３により磁気記録媒体２を
回転駆動するとともに、位置決め装置６により薄膜磁気
ヘッド５２を磁気記録媒体２のフォーマット済みの磁気
記録面の任意の位置に対向させ、記録再生制御部８から
薄膜磁気ヘッド５２の書込ヘッド６２に通電制御して所
望のノイズ信号を磁気記録面に記録して一方の第２の基
準簡易ノイズトラック１３０を形成し、その後に位置決
め装置６により薄膜磁気ヘッド５２を磁気記録媒体２の
直径方向に所定距離だけ移動させた後に、先のものと同
じノイズ信号を書込ヘッド６２から磁気記録面に書き込
むことで２つめの第２の基準簡易ノイズトラック１３０
を形成することができる。なお、これらの第２の基準簡
易ノイズトラック１３０と後述する種々のトラックにつ
いては、磁気記録媒体２の全周に形成する必要はなく、
所定の長さ、例えば、１セクタ、あるいは複数のセクタ
の区画に形成すれば良い。

【００８１】前記基準簡易ノイズトラック１３０、１３
０の間隔は、試験しようとする薄膜磁気ヘッド５２のト
ラック幅よりも明らかに小さい幅、例えばトラック幅の
数分の１程度の間隔に設定する。なお、試験用の薄膜磁
気ヘッド５２において、形状的に正確なトラック幅は製
造時のばらつき等があり、正確な計測を行わなくては不
明であり、書込ヘッドからの磁束漏れによるフリンジン
グを加味した磁気的なトラック幅とトラックピッチは不
明であるが、ここで用いる第２の基準簡易ノイズトラッ
ク１３０、１３０の間隔は、薄膜磁気ヘッド５２の製造
時に決定されていた薄膜磁気ヘッド５２の設計値のトラ
ック幅の数分の１程度（例えば１／２等）の間隔とすれ
ば良い。

【００８２】次に、これら第２の基準簡易ノイズトラッ
ク１３０、１３０を形成した磁気記録媒体２の磁気記録
面の中心部、即ち第２の基準簡易ノイズトラック１３
０、１３０間の間隔の中心部を中心に、第２の基準簡易
ノイズトラック１３０、１３０にまたがるように第２の
基準簡易消去トラック１３１を書き込む。続いて、第２
の基準簡易ノイズトラック１３１の左右両側に薄膜磁気
ヘッド５２を用いてノイズ信号を書き込んで第２の調整
簡易ノイズトラック１３３、１３３を図２５に示すよう
に形成する。そして、このような図２５に示す各トラッ
クに対し、トラックの幅方向に試験しようとする薄膜磁
気ヘッド５２を図２５の矢印ｉ方向に走査して各トラッ
ク幅方向の位置毎のノイズの強さを測定する。

【００８３】また、各トラックのノイズ信号記録状態に
あっては、薄膜磁気ヘッド５２が磁気記録媒体２の磁気
記録面に磁界を作用させて信号記録を行うので、各トラ
ックの中心部が最も記録信号の強い部分になり、中心部
から端部に向かうにつれて記録信号が徐々に弱くなり、
記録信号が規定の強さを下回った領域に達する部分がト
ラックの幅方向の端部を意味する。しかし、ここでトラ
ックの端部よりも更に外側には、規定強さよりも弱いノ
イズ信号が記録されているが、この外側部分のノイズ信
号は記録信号とは判断されない信号となる。図２５に以
上の状態を加味した各トラックに対応するノイズ信号の
強さの分布を示した。

【００８４】図２５において左右の符合１３５で示す三
角型のノイズ信号分布領域が第２の調整簡易ノイズトラ
ック１３３、１３３から得られたものとなる。続いて、
図２５に示す横方向、即ちトラック幅方向に矢印ｉに示
すように薄膜磁気ヘッド５２を走査して各トラック位置
毎のノイズの強さを測定する。

【００８５】次に、先の図２５を基に説明したノイズ測
定の際に得られた測定位置毎のノイズ（Ｎ）と、先の図
２４を基に説明した信号測定の際に得られた測定位置毎
の信号（Ｓ）との比、即ち、Ｎ／Ｓ比の値を求め、図２
６に示すようなＮ／Ｓカーブを求める。ここで先に説明
した信号の強さの測定とノイズの強さの測定に関し、薄
膜磁気ヘッド５２では、信号をデータとして扱うわけで
はなく、信号の強さとノイズの強さとしてのみ計測すれ
ば良いので、磁気ヘッド５２をハードディスクドライブ
装置に組み込む必要はなく、ピークジッターやエラーレ
ートを含めた信号として測定する必要もないので、薄膜
磁気ヘッド５２の単体で計測が可能である。

【００８６】そして、薄膜磁気ヘッド５２の仕様から、
あるいは、薄膜磁気ヘッド５２の目的の性能から要求さ
れるＮ／Ｓ比の値を図２６のＮ／Ｓカーブに対して記載
し、このＮ／Ｓ比の場合のＮ／Ｓカーブの幅に相当する
間隔１３６をトラックピッチとして見ると、このトラッ
クピッチの値が、薄膜磁気ヘッド５２に求められる仕様
の範囲に入っているならば、その薄膜磁気ヘッド５２を
２次検査合格品とし、仕様の範囲から外れたトラックピ
ッチであるならば、その薄膜磁気ヘッド５２を不良と判
定する。これらのＮ／Ｓカーブの算出と仕様からの良
品、不良品の判定は、演算部９３と判定部９４とで行う
ことができる。

【００８７】以上説明のごとく第１のステップと第２の
ステップにおいてそれぞれ求めたＮ／Ｓカーブのトラッ
クピッチに相当する間隔がいずれも仕様の範囲内となっ
ていれば測定に使用した薄膜磁気ヘッド５２を良品とし
て判定部９４が判定し、検査を終了する。また、前記第
１のステップと第２のステップのいずれか一方において
仕様で許容される範囲からはずれたトラックピッチを有
する場合は測定に使用した薄膜磁気ヘッド５２を不良品
として判定部９４が判定する。以上の第１ステップと第
２ステップにおいて測定するのはいずれも信号の強さと
ノイズ信号の強さであって、薄膜磁気ヘッド５２の単体
で行い得る通常の信号ノイズ測定である。即ち、この第
３実施形態の検査方法において薄膜磁気ヘッドの検査を
行うために、信号をデータとして扱うわけではなく、信
号の強さとノイズの強さとしてのみ計測すれば良いの
で、磁気ヘッド５２をハードディスクドライブ装置に組
み込む必要はなく、ピークジッターやエラーレートを含
めた信号として測定する必要はないので、薄膜磁気ヘッ
ド５２の単体で計測が可能な特徴がある。

【００８８】「第４実施形態」以下に本発明の磁気ヘッ
ドの検査方法と検査装置の第４実施形態について図面に
基づいて説明する。図２７は本発明の第４実施形態の薄
膜磁気ヘッドの検査装置の構成図であり、この形態の検
査装置１０５は、円盤状の磁気ディスク２を回転自在に
支持するための駆動装置３と、この駆動装置３の回転制
御を行う回転制御部４と、トラックピッチを測定しよう
とする薄膜磁気ヘッド５２を前記磁気ディスク２の磁気
記録面（表面）に対向させて支持可能な支持装置５と、
この支持装置５を介して薄膜磁気ヘッド５２を移動させ
て磁気ディスク２の磁気記録面の任意の位置に移動自在
とする位置決め装置６と、前記支持装置５に支持させた
薄膜磁気ヘッド５２の記録信号と再生信号とを増幅する
ための記録再生アンプ７と、この記録再生アンプ７に接
続されて前記薄膜磁気ヘッド５２の記録再生を制御する
記録再生制御部８と、前記記録再生アンプ７からの信号
を検出する出力検出部１０と、前記位置決め装置６を作
動させて薄膜磁気ヘッド５２の位置決め制御を行う位置
決め制御部１０１と、薄膜磁気ヘッド５２の位置を検出
する位置検出部１０２と、前記出力検出部１０から検出
された信号とノイズの値に応じて後述するＮ／Ｓカーブ
を算出する演算部１０３と、この演算部１０３の演算結
果に基づいて薄膜磁気ヘッド５２の良否を判定する判定
部１０４とを主体として構成されている。

【００８９】次に、前記構成の検査装置１０５を用いて
薄膜磁気ヘッド５２を検査する方法について説明する。
図２８〜図３０は、本発明の第４実施形態を説明するた
めのもので、この第４実施形態においては、例えば、図
３４〜図３６に示した構造のようにＧＭＲ素子などの磁
気抵抗効果素子を読出素子として有する読出ヘッド６１
と、書込ヘッド（インダクティブヘッド）６２とが複合
一体化された構造の薄膜磁気ヘッド５２を用い、円盤状
の磁気記録媒体２の磁気記録面の試験トラックに記録さ
れたデータ信号とその試験トラック周辺に記録されたノ
イズ信号、および、試験トラックに形成されたノイズト
ラックとそのノイズトラックの一部重複されて形成され
た消去トラックと周辺トラックに形成されたノイズトラ
ックにおいて位置毎のノイズを測定することで磁気ヘッ
ド５２を検査する方法である。

【００９０】まず、試験しようとする薄膜磁気ヘッド５
２を用いて図２８に示すように簡易基準データトラック
１４０とその両側に消去簡易トラック１４１をそれらを
相互に離間させて磁気記録媒体２のフォーマット済みの
未使用、あるいは消去済みの磁気記録面上に書き込む。
この簡易基準データトラック１４０と消去簡易トラック
１４１、１４１を書き込むには、先の第１の実施形態の
場合と同様に、駆動装置３により磁気記録媒体２を回転
駆動し、位置決め装置６により薄膜磁気ヘッド５２を磁
気記録媒体２の磁気記録面の任意の位置に対向させ、記
録再生制御部８から薄膜磁気ヘッド５２の書込ヘッド６
２に通電制御して所望の信号を磁気記録面に記録して簡
易基準データトラック１４０を形成するとともに、その
後に位置決め装置６により薄膜磁気ヘッド５２を磁気記
録媒体２の直径方向に所定距離だけ移動させた後に、書
込ヘッド６２で磁気記録面の信号を消去することで消去
基準トラック１４１、１４１を形成することができる。
なお、これらの簡易基準データトラック１４０と消去簡
易トラック１４１、１４１と後述する種々のトラックに
ついては、磁気記録媒体２の記録面の全周に形成する必
要はなく、所定の長さ、例えば、１セクタ、あるいは複
数のセクタの区画に形成すれば良い。

【００９１】そして、これら簡易基準データトラック１
４０と一対の消去簡易トラック１４１を形成した磁気記
録媒体２の磁気記録面に対し、各トラック１４１、１４
０、１４１の幅方向に試験しようとする薄膜磁気ヘッド
５２を図２８の矢印ｊ方向に走査してトラック幅方向の
位置毎の信号の強さを測定する。この信号測定結果を図
２８に符合１４２で示す三角図形で示す。

【００９２】次に、薄膜磁気ヘッド５２を用いて磁気記
録媒体２の磁気記録面の他の位置に図２９に示すように
２つの簡易基準ノイズトラック１４３を左右に隣接させ
て相互に所定間隔離間して書き込む。これらの基準簡易
ノイズトラック１４３、１４３を書き込むには、図２７
に示す駆動装置３により磁気記録媒体２を回転駆動する
とともに、位置決め装置６により薄膜磁気ヘッド５２を
磁気記録媒体２のフォーマット済みの磁気記録面の任意
の位置に対向させ、記録再生制御部８から薄膜磁気ヘッ
ド５２の書込ヘッド６２に通電制御して所望のノイズ信
号を磁気記録面に記録して一方の簡易基準ノイズトラッ
ク１４３を形成し、その後に位置決め装置６により薄膜
磁気ヘッド５２を磁気記録媒体２の直径方向に所定距離
だけ移動させた後に、先のものと同じノイズ信号を書込
ヘッド６２から磁気記録面に書き込むことで２つめの簡
易基準トラック１４３を形成することができる。なお、
これらの簡易基準ノイズトラック１４３と後述する種々
のトラックについては、磁気記録媒体２の全周に形成す
る必要はなく、所定の長さ、例えば、１セクタ、あるい
は複数のセクタの区画に形成すれば良い。

【００９３】前記簡易基準ノイズトラック１４３、１４
３の間隔は、試験しようとする薄膜磁気ヘッド５２のト
ラック幅よりも明らかに小さい幅、例えばトラック幅の
数分の１程度の間隔に設定する。なお、試験用の薄膜磁
気ヘッド５２において、形状的に正確なトラック幅は製
造時のばらつき等があり、正確な計測を行わなくては不
明であり、書込ヘッドからの磁束漏れによるフリンジン
グを加味した磁気的なトラック幅とトラックピッチは不
明であるが、ここで用いる簡易基準ノイズトラック１４
３、１４３の間隔は、薄膜磁気ヘッド５２の製造時に決
定されていた薄膜磁気ヘッド５２の設計値のトラック幅
の数分の１程度（例えば１／２等）の間隔とすれば良
い。

【００９４】次に、これら簡易基準ノイズトラック１４
３、１４３を形成した磁気記録媒体２の磁気記録面の中
心部、即ち簡易基準ノイズトラック１４３、１４３間の
間隔の中心部を中心に、簡易基準ノイズトラック１４
３、１４３にまたがるように簡易基準消去トラック１４
５を書き込む。続いて、簡易基準ノイズトラック１４
３、１４３の左右両側に所定間隔離れた位置に試験しよ
うとする薄膜磁気ヘッド５２を用いてノイズ信号を書き
込んで簡易調整ノイズトラック１４６、１４６を図２９
に示すように形成する。そして、このような図２９に示
す各トラックに対し、トラックの幅方向に試験しようと
する薄膜磁気ヘッド５２を図２９の矢印ｋ方向に走査し
て各トラック幅方向の位置毎のノイズの強さを測定す
る。

【００９５】また、各トラックの信号記録状態にあって
は、薄膜磁気ヘッド５２が磁気記録媒体２の磁気記録面
に磁界を作用させて信号記録を行うので、各トラックの
中心部が最も記録信号の強い部分になり、中心部から端
部に向かうにつれて記録信号が徐々に弱くなり、記録信
号が規定の強さを下回った領域に達する部分がトラック
の幅方向の端部を意味する。しかし、ここでトラックの
端部よりも更に外側には、規定強さよりも弱い信号が記
録されているが、この外側部分の信号は記録信号とは判
断されない信号となる。図２９に以上の状態を加味した
各トラックに対応する信号の強さの分布を示した。

【００９６】図２９において中央部の符合１４７で示す
領域が簡易基準消去トラック１４５により信号が消去さ
れた領域に相当するが、この領域の両側の簡易基準ノイ
ズトラック１４３、１４３の信号領域においては、簡易
基準ノイズトラック１４３、１４３の信号の一部が簡易
基準消去トラック１４５により消去された状態であるの
で、一部消去後の簡易基準ノイズトラック１４３、１４
３のノイズの強さの分布が符合１４８、１４８で示す三
角形状のノイズ強さ分布となる。図２９においては、簡
易基準消去トラック１４５を形成する以前の簡易基準ト
ラック１４３のノイズの強さを符合１４９で示す鎖線で
示した。また、簡易調整ノイズトラック１４６のノイズ
の強さは符合１５０で示す三角型の分布となる。更に、
図２９に示す横方向、即ちトラック幅方向に薄膜磁気ヘ
ッド５２を走査して各トラック位置毎のノイズの強さを
測定する。

【００９７】次に、先の図２９を基に説明したノイズ測
定の際に得られた測定位置毎のノイズ（Ｎ）と、先の図
２８を基に説明した信号測定の際に得られた測定位置毎
の信号（Ｓ）との比、即ち、Ｎ／Ｓ比の値を求め、図３
０に示すようなＮ／Ｓカーブを求める。ここで先に説明
した信号の強さの測定とノイズの強さの測定に関し、薄
膜磁気ヘッド５２では、信号をデータとして扱うわけで
はなく、信号の強さとノイズの強さとしてのみ計測すれ
ば良いので、磁気ヘッド５２をハードディスクドライブ
装置に組み込む必要はなく、ピークジッターやエラーレ
ートを含めた信号として測定する必要もないので、薄膜
磁気ヘッド５２の単体で計測が可能である。

【００９８】そして、薄膜磁気ヘッド５２の仕様から、
あるいは、薄膜磁気ヘッド５２の目的の性能から要求さ
れるＮ／Ｓ比の値を図３０のＮ／Ｓカーブに対して記載
し、このＮ／Ｓ比の場合のＮ／Ｓカーブの幅に相当する
間隔１５１をトラックピッチとして見ると、このトラッ
クピッチの値が、薄膜磁気ヘッド５２に求められる仕様
の範囲に入っているならば、その薄膜磁気ヘッド５２を
検査合格品とし、仕様の範囲から外れたトラックピッチ
であるならば、その薄膜磁気ヘッド５２を不良と判定す
る。これらのＮ／Ｓカーブの算出と仕様からの良品、不
良品の判定は、図２７に示す構成において演算部１０３
と判定部１０４とで行うことができるように構成されて
いる。

【００９９】以上の処理において測定するのは、いずれ
も信号の強さとノイズ信号の強さであって、薄膜磁気ヘ
ッド５２の単体で行い得る通常の信号ノイズ測定であ
る。即ち、この第４実施形態の検査方法において薄膜磁
気ヘッドの検査を行うために、信号をデータとして扱う
わけではなく、信号の強さとノイズの強さとしてのみ計
測すれば良いので、磁気ヘッド５２をハードディスクド
ライブ装置に組み込む必要はなく、ピークジッターやエ
ラーレートを含めた信号として測定する必要はないの
で、薄膜磁気ヘッド５２の単体で計測が可能な特徴があ
る。

【０１００】

【実施例】書込ヘッドのトラック幅１.８μｍ、読出ヘ
ッドのトラック幅１.３μｍで設計製造した図３４〜図
３６に示す構造の薄膜磁気ヘッドを用い、円盤状の磁気
記録媒体を５４００ｒｐｍで回転駆動しながら記録再生
試験を行った。図２に示す左右に設ける一対の第１のノ
イズトラックの間の間隔は１.０μｍに設定し、第１の
消去トラックは第１のノイズトラックから離れた位置か
ら徐々に接近させ、第１のデータトラックに接近する領
域で５μインチ（０.１２５μｍ）毎に位置を変えつつ
オフトラックマージン（ＯＴＣ値）を計測し、その結果
を図３１に符合Ｍで示す曲線で示す。続いて図７に示す
場合と同様に第２のデータトラックに対して第２の消去
トラックを左右に離間した位置から書き込み始め、位置
毎の第２のオフトラックマージン（ＯＴＣ値）を計測
し、その結果を図３１に符合Ｎで示す曲線で示した。こ
こで、図３１の横軸である隣接トラック位置は、第１の
データトラックの中心から第１の消去トラックの中心ま
での距離である。 なお、図３２に図３１の第１のオフ
トラックマージン（ＯＴＣ値）のＭ曲線の隣接トラック
位置が１２０μインチ（３μｍ）の場合の信号（Ｓ）と
ノイズ（Ｎ）とＮ／Ｓ比の測定データの一例を記載す
る。なお、図３１のオフトラックマージン（ＯＴＣ値）
を求めるためのＮ／Ｓ比の値は０.２で行なった。

【０１０１】図３１から明らかなように、この例では符
合Ｍで示す曲線と符合Ｎで示す曲線とが交差した点の位
置がトラックピッチ（８５μインチ：２.１２５μｍ）
であると判定できる。

【０１０２】図２〜図１２を基に説明した方法を上記の
ように実施して薄膜磁気ヘッドのトラックピッチを図３
１に示すオフトラックマージンから求めたが、図２〜図
１２を基に先に説明した方法よりも更に正確に求める場
合は、図１４〜図１９を基に先に説明した方法を実施し
てトラックピッチを求める。具体的には、書込ヘッドの
トラック幅１.８μｍ、読出ヘッドのトラック幅１.３μ
ｍで設計製造した図３４〜図３６に示す構造の薄膜磁気
ヘッドを用い、円盤状の磁気記録媒体を５４００ｒｐｍ
で回転駆動しながら、磁気記録媒体表面の記録面に信号
とノイズを書き込み、記録再生試験を行った。

【０１０３】図１５に示す基準ノイズトラックの間隔は
１.０μｍに設定し、調整ノイズトラックは基準ノイズ
トラックの左右に離れた位置から基準データトラックに
徐々に接近させ、各調整ノイズトラックの位置毎に基準
データトラックの中心部から読出ヘッドを一方の調整ノ
イズトラック側に走査し、Ｎ／Ｓ比が５：１になるまで
移動させた場合の移動量を計測した。

【０１０４】図３３に実施例の結果の一例を〇印で示
す。実施例の結果として〇印で示すデータを参照するこ
とで、この試験に用いた薄膜磁気ヘッドにあっては、基
準データトラックとノイズトラックとの間隔が１００〜
１５０μインチの範囲において読出ヘッドの移動量が１
４μインチ前後で安定し（Ａ点）、基準データトラック
とノイズトラックとの間隔が８０μインチの際に読出ヘ
ッドの移動量が最大値（Ｂ点）を示し、基準データトラ
ックとノイズトラックとの間隔が更に小さくなると読出
ヘッドの移動量も減少するので、図３３のＣ点で読出ヘ
ッドの移動量が先のＡ点値と一致し、その後に基準デー
タトラックとノイズトラックとの間隔が小さくなるにつ
れて読出ヘッドの移動量が減少してゆく。この図から、
イレースバンドを含めたトラックピッチはＣ点における
基準データトラックとノイズトラックとの間隔、即ち、
約１.８μｍ（７２μインチ）前後と判断できる。

【０１０５】なお、図３３に、図３９と図４０で示した
従来のトラックピッチの測定方法の実測値も併記した。
図３３に示す７４７-inと７４７-outとは、図３９を基
に先に説明した測定手法を左右対象に実施した結果を示
す。つまり、図３９を７４７-inの結果とすると、図３
９に示す関係を左右対称にして別途測定すると、７４７
-outの結果を得ることができる。このように７４７テス
トとは、ある任意（通常１０^-4.5）のエラーレートが指
定され、エラーレートとなる基準データトラックとノイ
ズトラックとの間隔と、読出ヘッドの移動量の関係をプ
ロットしたものと見ることができる。 例えば、第１の
位置（２０３）が図３３のＡ点で、そのときの２０５の
移動量がＴ₁＝Ｔ₃となる。これが右側の例とすれば、左
右対称の場合の左側の例も測定するものとし、図３９の
第１の位置が左側にある場合となる。ここで書込ヘッド
のトラック幅は、１.８μｍ、読出ヘッドのトラック幅
は１.３μｍ、磁気記録媒体の回転数は５４００ｒｐ
ｍ、エラーレートは１０^-4.5、一対のノイズトラックの
間隔は１.０μｍの条件で先の図３９と図４０を基に説
明した方法で測定したものである。なお、７４７テスト
のうち、７４７-inのデータはデータトラックの磁気デ
ィスク中心側のデータトラック端部のデータ、７２７-o
utのデータは磁気ディスクの円周側のデータトラック端
部のデータを示す。この７４７-inと７４７-outが、本
実施例の測定結果と全く同じ結果となったので、本実施
例の試験結果が正確であることが明らかになった。

【０１０６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、書
込ヘッドと読出ヘッドを備えた磁気ヘッドを用いて磁気
記録媒体に磁気記録と再生を行う場合に、書込ヘッドか
らの磁束漏れで生じるフリンジングの幅を加味したトラ
ックピッチを磁気ヘッドを磁気記録装置に装着する前に
磁気ヘッド単体で計測することができる特徴がある。即
ち、本発明方法は、トラック幅が微細化されてフリンジ
ングによりトラック幅に影響が及ぶような微細トラック
を有する薄膜磁気ヘッドのトラックピッチを計測する場
合において特に有効であり、信号の強さとノイズの強さ
の測定しかできない磁気ヘッド単体であっても、支障な
く計測ができるので、磁気記録装置に組み込んでピーク
ジッターやデータ信号のエラーレートなどの計測を行う
必要がなくなり、磁気ヘッド単体での検査や測定が可能
になる特徴がある。

【０１０７】具体的な第１の計測方法として、一対の第
１のノイズトラックと第１のデータトラックと一対の第
１の消去トラックとを利用し、第１の消去トラックの位
置毎の全トラックのＮ／Ｓカーブから第１のオフトラッ
ク特性値を求めるとともに、第２のデータトラックと一
対の第２のノイズトラックを利用し、第２のノイズトラ
ックの位置毎の全トラックのＮ／Ｓカーブから第２のオ
フトラック特性値を求め、これらのオフトラック特性値
の交差する部分の位置からトラックピッチを求める方法
を実施でき、このトラックピッチから磁気ヘッドの良不
良を判別することができる。

【０１０８】第２の計測方法として、一対の基準ノイズ
トラックと基準データトラックと調整ノイズトラックを
利用し、調整ノイズトラックの位置毎の読出ヘッド移動
量を測定し、基準データトラックとノイズトラックとの
間隔と読出ヘッドの移動量の関係からトラックピッチを
求めることができ、このトラックピッチから磁気ヘッド
の良不良を判別することができる。

【０１０９】第３の計測方法として、第１の基準簡易デ
ータトラックと一対の第１の簡易消去トラックの位置関
係から信号を求め、一対の基準簡易トラックと基準簡易
消去トラックに対する一対の調整トラックの位置関係か
らノイズを求め、前記ノイズと信号の比からＮ／Ｓカー
ブを求めるとともに、第２の基準簡易データトラックと
第２の簡易消去トラックから信号を求め、一対の第２の
基準簡易ノイズトラックと第２の基準簡易消去トラック
に対する一対の第２の調整簡易トラックの位置関係から
ノイズを求め、前記ノイズと信号の比からＮ／Ｓカーブ
を求め、両Ｎ／Ｓカーブの幅が規定の仕様の幅を超えて
いれば測定に使用した磁気ヘッドを良品として、使用の
幅を下回っていれば測定に使用した磁気ヘッドを不良品
として判別することができる。

【０１１０】第４の計測方法として、簡易基準データト
ラックと消去簡易トラックとの位置関係からノイズを求
め、一対の簡易基準ノイズトラックと簡易基準消去トラ
ックに対する一対の簡易調整ノイズトラックの位置から
ノイズを求め、前記ノイズと信号の比から求めたＮ／Ｓ
カーブの幅が規定の使用の幅を超えていれば測定に使用
した磁気ヘッドを良品として、使用の幅を下回っていれ
ば測定に使用した磁気ヘッドを不良品として判別するこ
とができる。

【０１１１】次に、本発明の装置は、前述の各方法を実
施する場合に、磁気記録媒体の回転駆動装置と、磁気ヘ
ッドの位置決め装置と、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒
体に信号を読み書きする記録再生制御部を備え、先に記
載の方法で各トラックのＮ／Ｓカーブを求めてトラック
ピッチを計測することができる。よって、このように計
測したトラックピッチの値から、磁気ヘッドのトラック
ピッチが規定の範囲内に納まっているか否かを判断する
ことで、磁気ヘッドの良不良を判別することができる装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る磁気ヘッドのトラックピッチの
測定装置と磁気ヘッドの検査装置の第１実施形態を示す
構成図。

【図２】 本発明の第１実施形態の方法を実施する場合
に磁気記録媒体に記録した第１のノイズトラックと第１
のデータトラックと第１の消去トラックの位置関係を示
す平面図。

【図３】 図２に示す第１のノイズトラックと第１のデ
ータトラックと第１の消去トラックの相互位置関係を断
面視的に示す略図。

【図４】 図２に示す第１のノイズトラックと第１のデ
ータトラックと第１の消去トラックの信号あるいはノイ
ズの強度分布を示す図。

【図５】 図２に示す第１のノイズトラックと第１のデ
ータトラックと第１の消去トラックの信号とノイズから
求めた測定位置毎のＮ／Ｓカーブと薄膜磁気ヘッドのＮ
／Ｓ比の性能要求値の関係を示す図。

【図６】 図５に示すＮ／Ｓカーブと性能要求値から求
めた第１のオフトラック特性値を図２に示す第１の消去
トラック位置毎にプロットした図。

【図７】 本発明の第１実施形態の方法を実施する場合
に磁気記録媒体に記録した第２のデータトラックと第２
の消去トラックの位置関係を示す平面図。

【図８】 本発明の第１実施形態の方法を実施する場合
に磁気記録媒体に記録した第２のノイズトラックと第２
のデータトラックの位置関係を示す平面図。

【図９】 図８に示す第２のノイズトラックと第２のデ
ータトラックを断面視的に示す略図。

【図１０】 図８に示す第２のデータトラックと第２の
ノイズトラックの信号またはノイズの強度分布を示す
図。

【図１１】 図８に示す第２のデータトラックと第２の
ノイズトラックの信号とノイズから求めたＮ／Ｓカーブ
と薄膜磁気ヘッドの性能要求値の関係を示す図。

【図１２】 図１１に示すＮ／Ｓカーブから求めた位置
毎の第２のオフトラック特性値と図６に示す第１のオフ
トラック特性値を両方比較してプロットした図。

【図１３】 本発明に係る磁気ヘッドのトラックピッチ
の測定装置と磁気ヘッドの検査装置の第２実施形態を示
す構成図。

【図１４】 本発明で計測しようとする磁気ヘッドが磁
気記録媒体の磁気記録面に書き込むトラックとイレース
バンドの関係を示す平面図。

【図１５】 基準ノイズトラックと基準データトラック
と調整ノイズトラックを磁気記録面に形成した状態を示
す平面図。

【図１６】 基準データトラックに対して調整ノイズト
ラックを近接させた状態を示す平面図。

【図１７】 基準データトラックの両側のイレースバン
ドに調整ノイズトラックのイレースバンドを重ねた位置
を示す平面図。

【図１８】 基準データトラックの両側に調整ノイズト
ラックを重ねた状態を示す平面図。

【図１９】 図１４〜図１８で得られた測定結果をプロ
ットした図。

【図２０】 本発明の検査装置の第３実施形態を示す構
成図。

【図２１】 本発明の検査方法の第３実施形態を説明す
るためのもので、第１の基準簡易トラックの両側に第１
の簡易消去トラックを形成した状態を示す平面図。

【図２２】 本発明の検査方法の第３実施形態を説明す
るためのもので、一対の基準簡易ノイズトラックとそれ
らの間に形成された基準簡易消去トラックと前記基準簡
易トラックの両側に形成された調整簡易トラックの位置
関係を示す平面図。

【図２３】 本発明の検査方法の第３実施形態を説明す
るためのもので、図２１と図２２に示す各トラックから
得られた信号とノイズの比を示すＮ／Ｓカーブを示す
図。

【図２４】 本発明の検査方法の第３実施形態を説明す
るためのもので、第２の基準簡易データトラックの両側
に第２の簡易消去トラックを形成した状態を示す平面
図。

【図２５】 本発明の検査方法の第３実施形態を説明す
るためのもので、一対の第２の基準簡易トラックの間に
第２の基準簡易トラックを形成し、第２の基準簡易トラ
ックの両側に第２の調整簡易ノイズトラックを形成した
状態を示す平面図。

【図２６】 本発明の検査方法の第３実施形態を説明す
るためのもので、図２４に示す信号と図２５で示すノイ
ズから位置毎のノイズ／信号比を求めた結果を示す図。

【図２７】 本発明の検査装置の第４実施形態を示す構
成図。

【図２８】 本発明の検査方法の第４実施形態を説明す
るためのもので、簡易基準データトラックの両側に消去
簡易トラックを形成した状態を示す平面図。

【図２９】 本発明の検査方法の第４実施形態を説明す
るためのもので、一対の簡易基準ノイズトラックと、そ
れらに重複させて形成した簡易基準消去トラックと、簡
易基準消去トラックに隣接させて形成した簡易ノイズト
ラックの位置関係を示す平面図。

【図３０】 図２８と図２９に示す各トラックから得ら
れたノイズと信号の比をプロットした図。

【図３１】 実施例で得られた第１のオフトラック特性
と第２のオフトラック特性を１つのグラフにプロットし
た図。

【図３２】 実施例で得られた信号とノイズの値からノ
イズ／信号比を求めた結果を示す図。

【図３３】 実施例において図１４〜図１８を基に説明
した方法により得られたカーブを示す図。

【図３４】 一般的な薄膜磁気ヘッドをスライダに搭載
したものの一例を示す斜視図。

【図３５】 図３４に示す薄膜磁気ヘッドスライダの断
面図。

【図３６】 図３４に示す薄膜磁気ヘッドスライダの書
込ヘッドと読出ヘッド部分を拡大して示す図。

【図３７】 一般的な薄膜磁気ヘッドに用いられる磁気
抵抗効果多層膜の感度のばらつきを示す図。

【図３８】 データトラックにおける位置毎の規格化出
力を示す図。

【図３９】 薄膜磁気ヘッドのトラックピッチを測定す
るための従来方法の一例を示す図。

【図４０】 図３９で説明される薄膜磁気ヘッドのトラ
ックピッチの測定方法により得られた調整トラック位置
毎のオフトラック特性値を示す図。

【符号の説明】

１、４５、９５、１０５・・・検査装置、２・・・磁気記録媒
体、３・・・駆動装置、６・・・位置決め装置、８・・・記録再
生制御部、１１、４１、９１、１０１・・・位置決め制御
部、１３、４３、９３、１０３・・・演算部、１４、４
４、９４、１０４・・・判定部、２１、２２・・・第１のノイ
ズトラック、２３・・・第１のデータトラック、２５、２
６・・・第１の消去トラック、３０・・・第２のデータトラッ
ク、３１、３２・・・第２の消去トラック、３３、３４・・・
第２のノイズトラック、５２・・・薄膜磁気ヘッド、８
０、８１・・・基準ノイズトラック、８２、８３・・・調整ノ
イズトラック、８５・・・基準データトラック、１１０・・・
第１の基準簡易データトラック、１１１・・・第１の簡易
消去トラック、１１３・・・基準簡易ノイズトラック、１
１５・・・基準簡易消去トラック、１１６・・・調整簡易ノイ
ズトラック、１２３・・・第２の基準簡易データトラッ
ク、１２４・・・第２の簡易消去トラック、１３０・・・第２
の基準簡易ノイズトラック、１３１・・・第２の基準簡易
消去トラック、１３３・・・第２の調整簡易ノイズトラッ
ク、１４０・・・簡易基準データトラック、１４１・・・消去
簡易トラック、１４３・・・簡易基準ノイズトラック、１
４５・・・簡易基準消去トラック、１４６・・・簡易調整ノイ
ズトラック。

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 書込ヘッドと読出ヘッドを備えた磁気ヘ
   ッドを用いて磁気記録媒体上に相互に離間して隣接する
   一対の第１のノイズトラックを形成し、これらの第１の
   ノイズトラック上に幅方向両端部を重複させるように第
   １のデータトラックを書き込み、更にこの第１のデータ
   トラックの幅方向両側に前記第１のデータトラックと所
   定間隔離間させて一対の第１の消去トラックを形成する
   とともに、これら全てのトラックの幅方向に沿って前記
   磁気ヘッドを用いて所定位置毎の信号の強さとノイズの
   強さを測定し、それらの比を算出して（ノイズ／信号）
   比を示すＮ／Ｓカーブを求め、前記磁気ヘッドに要求さ
   れる（ノイズ／信号）比に対する前記Ｎ／Ｓカーブの接
   点から第１のオフトラック特性値を求めるとともに、 前記第１のデータトラックに対して形成する前記一対の
   第１の消去トラックの形成位置を前記第１のデータトラ
   ックに徐々に接近または離間させて第１の消去トラック
   の位置毎の第１のオフトラック特性値を求める一方、 前記磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体に第２のデータト
   ラックを形成し、この第２のデータトラックの両側に一
   対の第２の消去トラックを形成した後に前記第２のデー
   タトラックの信号を測定し、次いで前記一対の第２の消
   去トラック上に各々ノイズを書き込んで第２のノイズト
   ラックを形成するとともに、これら全てのトラックの幅
   方向に沿って前記磁気ヘッドを用いて所定位置毎の信号
   の強さとノイズの強さを測定し、それらの比を算出して
   （ノイズ／信号）比を示すＮ／Ｓカーブを求め、磁気ヘ
   ッドに要求される（ノイズ／信号）比に対する前記Ｎ／
   Ｓカーブの接点から第２のオフトラック特性値を求める
   とともに、 前記第２のデータトラックに対して形成する前記一対の
   第２の消去トラックの形成位置を前記第２のデータトラ
   ックに徐々に接近または離間させて第２の消去トラック
   の位置毎の第２のオフトラック特性値を求め、 先に求めた前記第１のオフトラック特性値の第１の消去
   トラック位置毎の特性と、前記第２のオフトラック特性
   値の第２の消去トラック位置毎の特性を比較して両オフ
   トラック特性値が一致する点の消去トラック位置からト
   ラックピッチを決定することを特徴とする磁気ヘッドの
   トラックピッチの測定方法。
2. 【請求項２】 前記第１のデータトラックと前記一対の
   第１の消去トラックとの間隔を徐々に接近させて第１の
   消去トラック位置毎の第１のオフトラック特性値を求め
   る場合、第１の消去トラックの形成位置を第１のノイズ
   トラックの外側位置から、第１のデータトラックに重複
   する位置まで徐々に移動させて移動位置毎に第１のオフ
   トラック特性値を求めることを特徴する請求項１に記載
   の磁気ヘッドのトラックピッチの測定方法。
3. 【請求項３】 前記第２のデータトラックと前記一対の
   第２の消去トラックとの間隔を徐々に接近させて第２の
   消去トラック位置毎の第２のオフトラック特性値を求め
   る場合、第２のデータトラックと離間する位置から第２
   のデータトラックに重複する位置まで徐々に第２の消去
   トラックを移動させて移動位置毎に第２のオフトラック
   特性値を求めることを特徴とする請求項１または２に記
   載のトラックピッチの測定方法。
4. 【請求項４】 前記全てのトラックの幅方向に沿って前
   記磁気ヘッドを用いて所定位置毎の信号の強さとノイズ
   の強さを測定し、それらの比を算出して（ノイズ／信
   号）比を示すＮ／Ｓカーブを求める場合、信号の強さと
   ノイズの強さを別個に測定してからそれらの値を基にＮ
   ／Ｓカーブを求めることを特徴とする請求項１ないし３
   のいずれかに記載のトラックピッチの測定方法。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載の方
   法で測定したトラックピッチを基に磁気ヘッドの良、不
   良を判定することを特徴とする磁気ヘッドの検査方法。
6. 【請求項６】 円盤状の磁気記録媒体を支持して回転駆
   動するための駆動装置と、磁気記録媒体の記録面の任意
   の位置に対して検査用の磁気ヘッドを位置決めする位置
   決め装置と、前記検査用の磁気ヘッドに設けられる書込
   ヘッドと読出ヘッドに通電制御して前記磁気記録媒体の
   記録面の任意の位置にデータトラックと消去トラックと
   ノイズトラックを記録可能とするとともに前記データト
   ラックの信号とノイズトラックのノイズを読出可能とす
   るための記録再生制御部とを具備してなり、 これら駆動装置と位置決め装置と記録再生制御部とを利
   用して請求項１ないし４のいすれかに記載のトラックピ
   ッチの測定方法を実施して検査用の磁気ヘッドのトラッ
   クピッチを算出する演算部を具備してなることを特徴と
   するトラックピッチの測定装置。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の構成を備え、更に、前
   記演算部の算出したトラックピッチを基に検査用の磁気
   ヘッドの良、不良を判別する判定部を備えたことを特徴
   とする磁気ヘッドの検査装置。
8. 【請求項８】 書込ヘッドと読出ヘッドを備えた磁気ヘ
   ッドを用いて磁気記録媒体上に相互に離間して隣接する
   一対の基準ノイズトラックを形成し、これらの基準ノイ
   ズトラック上に幅方向両端部を重複させるように基準デ
   ータトラックを書き込み、更にこの基準データトラック
   の幅方向両側に前記基準データトラックと所定間隔離間
   させて一対の調整ノイズトラックを形成するとともに、
   前記基準データトラックの内側からトラック幅方向に沿
   って前記基準データトラックの外側に向けて前記磁気ヘ
   ッドを走査して前記磁気ヘッドの読み出す信号の強さと
   ノイズの強さを計測し、前記磁気ヘッドに予め決められ
   た（ノイズ／信号）比になるまでの前記磁気ヘッドの移
   動量を求め、 前記基準データトラックに対して形成する前記調整ノイ
   ズトラックの形成位置を前記基準データトラックに徐々
   に接近または離間させて前記調整ノイズトラックの形成
   位置毎の前記磁気ヘッドの移動量を求め、前記調整ノイ
   ズトラックの位置毎の前記磁気ヘッドの移動量の変化状
   態から、磁気ヘッドのトラックピッチを求めることを特
   徴とするトラックピッチの測定方法。
9. 【請求項９】 前記調整ノイズトラックを形成する位置
   として、前記基準データトラックのトラック幅方向に前
   記基準データトラックから離れた位置から、前記基準デ
   ータトラックに重複する位置までに設定することを特徴
   とする請求項８記載のトラックピッチの測定方法。
10. 【請求項１０】 請求項８または９のいずれかに記載の
    方法で測定したトラックピッチを基に磁気ヘッドの良、
    不良を判定することを特徴とする磁気ヘッドの検査方
    法。
11. 【請求項１１】 円盤状の磁気記録媒体を支持して回転
    駆動するための駆動装置と、磁気記録媒体の記録面の任
    意の位置に対して検査用の磁気ヘッドを位置決めする位
    置決め装置と、前記検査用の磁気ヘッドに設けられる書
    込ヘッドと読出ヘッドに通電制御して前記磁気記録媒体
    にデータトラックと消去トラックとノイズトラックを記
    録可能とするとともに前記データトラックの信号とノイ
    ズトラックのノイズを読出可能とするための記録再生制
    御部とを具備してなり、 これら駆動装置と位置決め装置と記録再生制御部とを利
    用して請求項８または９のいすれかに記載のトラックピ
    ッチの測定方法を実施して検査用の磁気ヘッドのトラッ
    クピッチを算出する演算部を具備してなることを特徴と
    するトラックピッチの測定装置。
12. 【請求項１２】 請求項１１に記載の構成を備え、更
    に、前記演算部の算出したトラックピッチを基に検査用
    の磁気ヘッドの良、不良を判別する判定部を備えたこと
    を特徴とする磁気ヘッドの検査装置。
13. 【請求項１３】 書込ヘッドと読出ヘッドを備えた磁気
    ヘッドを用いて磁気記録媒体上に第１の基準簡易データ
    トラックを書き込み、更にこの第１の基準簡易データト
    ラックのトラック幅方向両側に前記第１の基準簡易デー
    タトラックと所定間隔離間させて一対の第１の簡易消去
    トラックを形成し、前記第１の基準簡易データトラック
    のトラック幅方向に沿って前記磁気ヘッドを走査して走
    査位置毎の信号の強さを計測するとともに、 前記磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体上に相互に離間し
    て隣接する一対の第１の基準簡易ノイズトラックを形成
    し、これら第１の基準簡易ノイズトラック上に幅方向両
    端部を重複させるように第１の基準簡易消去トラックを
    書き込み、更にこの第１の基準簡易消去トラックの幅方
    向両側に前記第１の基準簡易ノイズトラックと所定間隔
    離間させて一対の第１の調整簡易ノイズトラックを形成
    し、前記第１の調整簡易ノイズトラックのトラック幅方
    向に前記磁気ヘッドを走査して走査位置毎のノイズの強
    さを計測し、 前記別々に測定した走査位置毎のノイズの強さと信号の
    強さの比を測定位置毎に求める一方、 前記薄膜磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体上に第２の基
    準簡易データトラックを書き込み、更にこの第２の基準
    簡易データトラックの両側に該第２の簡易基準データト
    ラックと一部重複させて第２の簡易消去トラックを形成
    し、前記第２の基準簡易消去トラックのトラック幅方向
    に沿って前記磁気ヘッドを走査して走査位置毎の信号の
    強さを計測するとともに、 前記磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体上に相互に離間し
    て隣接する一対の第２の基準簡易ノイズトラックを形成
    し、これら第２の基準簡易ノイズトラック上に幅方向両
    端部を重複させるように第２の基準簡易消去トラックを
    書き込み、更にこの第２の基準簡易消去トラックの幅方
    向両側に前記第２の基準簡易消去トラックと一部を重複
    させた一対の第２の調整簡易ノイズトラックを形成し、
    前記第２の調整簡易ノイズトラックのトラック幅方向に
    前記磁気ヘッドを走査して走査位置毎のノイズの強さを
    計測し、 前記別々に測定した走査位置毎のノイズの強さと信号の
    強さの比を測定位置毎に求め、 先に求めた走査位置毎のノイズの強さと信号の強さの
    比、並びに、後で求めた走査位置毎のノイズの強さと信
    号の強さの比がいずれも磁気ヘッドに要求されるノイズ
    の強さと信号の強さの比よりも高ければ磁気ヘッドを良
    品と判定し、低ければ不良品と判定することを特徴とす
    る磁気ヘッドの検査方法。
14. 【請求項１４】 円盤状の磁気記録媒体を支持して回転
    駆動するための駆動装置と、磁気記録媒体の記録面の任
    意の位置に対して検査用の磁気ヘッドを位置決めする位
    置決め装置と、前記検査用の磁気ヘッドに設けられる書
    込ヘッドと読出ヘッドに通電制御して前記磁気記録媒体
    にデータトラックと消去トラックとノイズトラックを記
    録可能とするとともに前記データトラックの信号とノイ
    ズトラックのノイズを読出可能とするための記録再生制
    御部とを具備してなり、 これら駆動装置と位置決め装置と記録再生制御部とを利
    用して請求項１３に記載の方法を実施し、求めたノイズ
    の強さと信号の強さの比から、検査用の磁気ヘッドの
    良、不良を判別する判定部を備えたことを特徴とする磁
    気ヘッドの検査装置。
15. 【請求項１５】 書込ヘッドと読出ヘッドを備えた磁気
    ヘッドを用いて磁気記録媒体上に簡易基準データトラッ
    クを書き込み、更にこの簡易基準データトラックのトラ
    ック幅方向両側に前記簡易基準データトラックと所定間
    隔離間させて一対の消去簡易トラックを形成し、前記簡
    易基準データトラックのトラック幅方向に沿って前記磁
    気ヘッドを走査して走査位置毎の信号の強さを計測する
    とともに、 前記磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体上に相互に離間し
    て隣接する一対の簡易基準ノイズトラックを形成し、こ
    れら簡易基準ノイズトラック上に幅方向両端部を重複さ
    せるように簡易基準消去トラックを書き込み、更にこの
    簡易基準消去トラックの幅方向両側に前記簡易基準ノイ
    ズトラックと所定間隔離間させ、前記簡易基準ノイズト
    ラックと一部重複させて簡易ノイズトラックを形成し、
    前記各トラックのトラック幅方向に前記磁気ヘッドを走
    査して走査位置毎のノイズの強さを計測し、 前記別々に測定した走査位置毎のノイズの強さと信号の
    強さの比を測定位置毎に求め、ノイズの強さと信号の強
    さの比が磁気ヘッドに要求されるノイズの強さと信号の
    強さの比よりも高ければ磁気ヘッドを良品と判定し、低
    ければ不良品と判定することを特徴とする磁気ヘッドの
    検査方法。
16. 【請求項１６】 円盤状の磁気記録媒体を支持して回転
    駆動するための駆動装置と、磁気記録媒体の記録面の任
    意の位置に対して検査用の磁気ヘッドを位置決めする位
    置決め装置と、前記検査用の磁気ヘッドに設けられる書
    込ヘッドと読出ヘッドに通電制御して前記磁気記録媒体
    にデータトラックと消去トラックとノイズトラックを記
    録可能とするとともに前記データトラックの信号とノイ
    ズトラックのノイズを読出可能とするための記録再生制
    御部とを具備してなり、 これら駆動装置と位置決め装置と記録再生制御部とを利
    用して請求項１５に記載の方法を実施し、求めたノイズ
    の強さと信号の強さの比から、検査用の磁気ヘッドの
    良、不良を判別する判定部を備えたことを特徴とする磁
    気ヘッドの検査装置。