JP2000340642A - 基板収納ケース及びこれを用いる露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板収納ケースおよびこれを用いた露光装置
において、側面がドアとして分離する構造でも収納され
る基板をケース内で保持すること。 【解決手段】 内部に基板Ｒを保持して収納する基板収
納ケースＣ１であって、着脱可能な側板９を有するケー
ス本体１２と、該ケース本体内に設けられ前記基板を保
持する保持機構１３とを備え、保持機構が、側板をケー
ス本体に押し付けて取り付けた際に側板の押圧力で基板
をケース本体に押し付けて保持する押圧部１４を備えて
いるので、側板をケース本体に着脱するだけで収納基板
の保持およびその解放を容易に行うことが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば露光装置に
使用されるレチクル等を収納・保持する基板収納ケース
およびこれを用いた露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造に用いる露光装置のレチクル
（原版）において、半導体ウエハへの転写不良の原因と
なるパーティクルの付着を防止する必要がある。近年、
クリーンルームの設備投資、維持コストを抑えるため、
装置内若しくは限られた装置周辺のみ高いクリーン度と
し、その他のエリアは低いクリーン度とするクリーンル
ームの方式が考えられている。この場合、レチクル、マ
スクや半導体ウエハ等の基板を収納するケースは、クリ
ーン度の低いエリアでの使用も考慮する必要がある。

【０００３】これに対し、密閉式のミニエンバイロメン
ト方式のケース、すなわち超清浄な環境を実現するケー
スが考えられている。この方式のケースは、底面がドア
として分離する方式、いわゆるＳＭＩＦ方式(Standard
Mechanical Interface)や側面(前面)がドアとして分離
する方式、いわゆるＦＯＵＰ方式(Front Opening Unifi
ed Pod:フロントオープニングユニファインドポッド)等
が考えられている。

【０００４】前者の方式は、図２０に示すように、底面
２にレチクルＲのレチクル支持部３があり、不図示の機
構により駆動するラッチ４が上カバー１の溝５に入るこ
とにより、図２０の（ｂ）に示すように、上カバー１と
底面２とが固定される。後者の方式は、図２１に示すよ
うに、ケース本体７にレチクルＲのレチクル支持部８が
あるとともに、側面ドア９に不図示の機構により駆動す
るラッチ１０が内蔵されており、ケース本体７の溝１１
に入ることにより、図２１の（ｂ）に示すように、ケー
ス本体７と側面ドア９とが固定される。なお、符号Ｐ
は、ペリクルである。

【０００５】ところで、オペレータによる上記ケースの
取扱い、持ち運び若しくは自動搬送の際に、ケースが振
動することが考えられ、この振動により中のレチクルＲ
が振動し、ケース内でケース部品と繰り返し分離接触す
ることはケース内部での発塵の原因となり好ましくな
い。このため、ケース内でレチクルを固定・保持するこ
とが望ましい。

【０００６】前者の方式では、上カバー１の内側に弾性
体で構成されたレチクル押さえ部品６を設けており、底
面２と上カバー１とをラッチ４で固定した際に、レチク
ルＲを押さえることが可能である。また、前扉がヒンジ
方式であるケースでは、前扉とレチクル押さえ部品がバ
ネで接続されていて、連動することによりバネ力でレチ
クルを押さえる機構のものが考えられている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方式のケースでは、次のような課題が残されてい
る。すなわち、上記後者の方式（ＦＯＵＰ方式）では上
記前者と異なる面（前面等の側面）が分離するため、前
者と同様の構成を採用することができず、また、側面が
ドアとして分離してしまうのでヒンジ方式のようにバネ
とドアとを接続することができない不都合がある。一
方、これらの密閉式ケースは、ケースを構成する樹脂部
品から揮発した脱ガスが内部の収納物（レチクル、マス
ク、半導体ウエハ等）に影響するとの懸念がある。特
に、レチクルを収納する場合は、ペリクルの脱ガスの吸
収により透過率が低下してしまい、また半導体ウエハを
収納する場合は、脱ガスによって内部のウエハやレジス
トに悪影響を及ぼすおそれがある。

【０００８】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
ので、側面がドアとして分離する構造でも収納される基
板をケース内で保持することができ、また樹脂部品から
揮発した脱ガスによる収納基板への影響を低減させるこ
とができる基板収納ケースおよびこれを用いた露光装置
を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成を採用した。すなわち、図１か
ら図９とに対応づけて説明すると、請求項１記載の基板
収納ケースでは、内部に基板（Ｒ）を保持して収納する
基板収納ケース（Ｃ１、Ｃ２）であって、着脱可能な側
板（９、２２）を有するケース本体（１２、２４）と、
該ケース本体内に設けられ前記基板を保持する保持機構
（１３、２１）とを備え、該保持機構は、前記側板を前
記ケース本体に押し付けて取り付けた際に側板の押圧力
で前記基板をケース本体に押し付けて保持する押圧部
（１４、２３）を備えている技術が採用される。

【００１０】この基板収納ケースでは、保持機構（１
３、２１）が、側板（９、２２）をケース本体（１２、
２４）に押し付けて取り付けた際に側板の押圧力で基板
をケース本体に押し付けて保持する押圧部（１４、２
３）を備えているので、側板をケース本体に着脱するだ
けで収納基板の保持およびその解放を容易に行うことが
可能となる。

【００１１】請求項７記載の基板収納ケースでは、内部
に基板（Ｒ）を保持して収納する基板収納ケース（Ｃ
３）であって、着脱可能な側板（９）を有するケース本
体（３１）と、該ケース本体内に設けられ前記基板を保
持する保持機構（１３）とを備え、前記ケース本体を構
成する少なくとも一面には、通気性を有した防塵フィル
ター材（３２）でカバーされた開口部（３１ａ）が設け
られている技術が採用される。

【００１２】この基板収納ケースでは、ケース本体（３
１）を構成する少なくとも一面には、通気性を有した防
塵フィルター材（３２）でカバーされた開口部（３１
ａ）が設けられているので、ケース本体内で脱ガスが発
生しても、該脱ガスは防塵フィルターを介して開口部か
ら外部に排出され内部に密閉されることがない。また、
防塵フィルターによって外部のパーティクルが入り込む
ことも防止される。

【００１３】請求項９記載の露光装置では、基板を内部
に搬送する基板搬送系を備えた露光装置において、前記
基板搬送系（１２０）は、請求項１から８のいずれかに
記載の基板収納ケース（Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３）を保持可能
なケース保持機構（１１０）を備えている技術が採用さ
れる。

【００１４】この露光装置では、基板搬送系（１２０）
が、請求項１から８のいずれかに記載の基板収納ケース
（Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３）を保持可能なケース保持機構（１
１０）を備えているので、ＦＯＵＰ方式の基板収納ケー
ス単位で基板の搬送・収納ができ、ミニエンバイロメン
ト方式による搬送系を実現することができる。

【００１５】請求項１１記載の基板収納ケースでは、マ
ーク（Ｂ）が設けられた基板（Ｒ）をケース本体（４
１）の内部に保持して収納する基板収納ケース（Ｃ４、
Ｃ５）であって、前記ケース本体には、収納された前記
基板のマークを外部から読み取り可能にする透明な窓部
（４２、５２）が設けられている技術が採用される。

【００１６】この基板収納ケース（Ｃ４、Ｃ５）では、
収納された基板（Ｒ）のマーク（Ｂ）を外部から読み取
り可能にする透明な窓部（４２、５２）が設けられてい
るので、たとえ非透明または半透明なケース本体でも少
なくとも窓部は透明であるので、該窓部を介してバーコ
ード等のマークを外部から容易に読み取ることができ
る。

【００１７】請求項１３記載の露光装置では、請求項１
１または１２に記載の基板収納ケースを搬送するケース
搬送系（１３０）と、該ケース搬送系で搬送される前記
基板収納ケース（Ｃ４、Ｃ５）の外部から前記窓部（４
２、５２）を介して前記基板（Ｒ）のマーク（Ｂ）を読
み取るマーク検出機構（１３１）とを備えている技術が
採用される。

【００１８】この露光装置では、ケース搬送系で搬送さ
れる請求項１１または１２に記載の基板収納ケース（Ｃ
４、Ｃ５）の外部から前記窓部（４２、５２）を介して
前記基板（Ｒ）のマーク（Ｂ）を読み取るマーク検出機
構（１３１）を備えているので、基板収納ケースを搬送
する際に、マーク検出機構によって基板を取り出さずに
マークを確実に読み取ることができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る基板収納ケー
スの第１実施形態を、図１から図３を参照しながら説明
する。

【００２０】図１から図３は、本実施形態のレチクル収
納ケース（基板収納ケース）Ｃ１を示し、これらの図に
おいて、該レチクル収納ケースＣ１は、内部に露光装置
用のレチクル（基板）Ｒを保持して収納するＦＯＵＰ方
式の樹脂製ケースであって、着脱可能な前扉として側面
ドア（側板）９を有するケース本体１２と、該ケース本
体１２内に設けられレチクルＲを保持する保持機構１３
とを備えている。

【００２１】該保持機構１３は、ケース本体１２の内側
下面に立設されレチクルＲを載置するレチクル支持部８
と、側面ドア９をケース本体１２に押し付けて取り付け
た際に側面ドア９の押圧力でレチクルＲをレチクル支持
部８に押し付けて保持する棒状のレチクル押さえ支持部
材（押圧部）１４と、取付状態の側面ドア９の内面に当
接可能に配され側面ドア９の着脱方向に移動可能な棒状
のドア接触部材（当接部）１５とを備えている。

【００２２】前記レチクル押さえ支持部材１４と前記ド
ア接触部材１５とは、互いの基端部が連結固定されて全
体として略Ｌ字状とされているとともに、ケース本体１
２内部の左右に回転中心軸１４ａを中心に回転可能に取
り付けられている。また、レチクル押さえ支持部材１４
とドア接触部材１５との基端部には、回転中心軸１４ａ
を中心にねじりバネ１４ｂが取り付けられ、図１の
（ｂ）中の時計回り方向にレチクル押さえ支持部材１４
およびドア接触部材１５を付勢している。

【００２３】レチクル押さえ支持部材１４の先端部は、
ケース本体１２の上面かつ側面ドア９に沿った方向に屈
曲して収納状態のレチクルＲ上方に延び、先端に収納状
態のレチクルＲの表面に沿って回転可能なベアリング等
のレチクル側回転体１４ｃが取り付けられている。ま
た、ドア接触部材１５の先端には、側面ドア９とのこす
れを防止するために側面ドア９の内面に沿って回転可能
なベアリング等のドア側回転体１５ａが取り付けてあ
る。なお、レチクル押さえ支持部材１４は、全体が有る
程度の弾性を有した樹脂等の弾性体で形成されている。

【００２４】前記レチクル側回転体１４ｃおよび前記ド
ア側回転体１５ａは、それぞれの外周が摩擦性に優れて
いて摩擦係数の低い樹脂であるポリアセタール等で形成
されている。ケース本体１２の内側下面には、ドア側回
転体１５ａの下方にストッパ１６が立設され、側面ドア
９が外されている場合に、ストッパ１６にドア側回転体
１５ａが当接して、レチクル側回転体１４ｃが収納状態
のレチクルＲより上側に上がっているとともにケース本
体１２の内側上面に接触しない位置に設定されている。

【００２５】前記側面ドア９には、ラッチ１０を備えた
不図示のロック機構が内蔵され、前面側に形成されたラ
ッチ解除穴１０ａに不図示のキーを入れて該キーを回転
させることにより、ラッチ１０が側面ドア９から進退可
能に設定されている。すなわち、側面ドア９をケース本
体１２に押し付けて合体させた状態で、キーを回転して
ラッチ１０を突出状態にすると、ケース本体１２内の溝
１１にラッチ１０がはめ込まれ、側面ドア９をケース本
体１２に固定することができる。

【００２６】次に、レチクル収納ケースＣ１によるレチ
クルＲの収納方法について、図１から図３を参照して説
明する。

【００２７】まず、図２に示すように、側面ドア９が取
り外されたケース本体１２内に、側面開口部１２ａから
搬送用のアーム１２２上に載置したレチクルＲを挿入
し、レチクル支持部８上に載置する。この状態で、図１
に示すように、側面ドア９をケース本体１２の側面開口
部１２ａにはめ込むとともに押さえ込む。この際、ドア
接触部材１５は、ドア側回転体１５ａが側面ドア９の内
面に押されて図１の（ｂ）中の反時計回りに回転する。

【００２８】このとき、図３に示すように、ドア接触部
材１５に連結されたレチクル押さえ支持部材１４も同様
に回転し、その先端のレチクル側回転体１４ｃがレチク
ルＲの上面に当接するとともにレチクルＲをレチクル支
持部８に押圧して保持する。そして、ラッチ解除穴１０
ａに差し込んだキーを回転させることによって、ラッチ
１０を突出させて側面ドア９をケース本体１２に固定す
る。この状態で、レチクルＲは、レチクル収納ケースＣ
１内に密閉状態で保持・収納される。

【００２９】逆に、収納されているレチクルＲを取り出
す場合には、上記手順と逆に側面ドア９のラッチ１０に
よる固定を解除し、側面ドア９をケース本体１２から分
離させると、側面ドア９に押されていたドア接触部材１
５が、レチクル押さえ支持部材１４とともにねじりバネ
１４ｂの付勢力によって図２の（ｂ）中の時計回りに回
転する。このとき、レチクルＲを押圧していたレチクル
側回転体１４ｃがレチクルＲから離れ、レチクルＲが解
放される。この状態で、レチクルＲはケース本体１２か
ら搬出可能となる。

【００３０】すなわち、本実施形態のレチクル収納ケー
スＣ１では、保持機構１３が、側面ドア９をケース本体
１２に押し付けて取り付けた際に側面ドア９の押圧力で
レチクルＲをケース本体１２に押し付けて保持するレチ
クル押さえ支持部材１４およびドア接触部材１５を備え
ているので、側面ドア９をケース本体１２に着脱するだ
けでレチクルＲの保持およびその解放を容易に行うこと
が可能となる。

【００３１】また、レチクル押さえ支持部材１４の先端
にレチクル側回転体１４ｃを設けたので、摩擦によるダ
メージをレチクルＲに与え難いとともにパーティクルの
発生も防ぐことができる。さらに、レチクル側回転体１
４ｃは、その外周が樹脂材料で形成されているので、さ
らにレチクルＲへのダメージおよびパーティクルの発生
を低減することができる。なお、レチクル押さえ支持部
材１４は、全体が樹脂等の弾性体で形成されているの
で、そのたわみにより発生する力もレチクルＲを押圧す
る力となっている。

【００３２】次に、本発明に係る基板収納ケースの第２
実施形態を、図４および図５を参照しながら説明する。

【００３３】第２実施形態と第１実施形態との異なる点
は、第１実施形態の保持機構１３がねじりバネ１４ｂで
付勢されたドア接触部材１５およびレチクル押さえ支持
部材１４でレチクルＲを保持していたのに対し、第２実
施形態のレチクル収納ケースＣ２では、図４および図５
に示すように、保持機構２１として、側面ドア２２の内
面に設けられ先端にレチクル押さえ部材２３ａを有して
着脱方向に付勢可能なドア側押さえバネ（付勢部材）２
３を備えている点である。

【００３４】前記ドア側押さえバネ２３は、側面ドア２
２を取り付けた状態でレチクルＲの周縁部にレチクル押
さえ部材２３ａを当接させ、レチクルＲを側面ドア２２
の取付方向に付勢するものである。また、前記レチクル
押さえ部材２３ａは、ゴム又は樹脂製の弾性体で形成さ
れている。

【００３５】なお、ケース本体２４内の側面ドア２２に
対向した内側面にも、本体側押さえバネ２４ａが取り付
けられ、該本体側押さえバネ２４ａは、ドア側押さえバ
ネ２３で押圧されたレチクルＲを内側面側で反対方向に
付勢して支持するものである。また、本体側押さえバネ
２４ａの先端にも、レチクル押さえ部材２３ａと同様の
材質で形成された押さえ部材２４ｃが取り付けてある。

【００３６】すなわち、本実施形態のレチクル収納ケー
スＣ２では、レチクルＲをケース本体２４内のレチクル
支持部８に載置した後、側面ドア２２を側面開口部２４
ｂにはめ込んで押し付けることにより、ドア側押さえバ
ネ２３のレチクル押さえ部材２３ａがレチクルＲの周縁
部に当接して押圧するとともに、対向位置の本体側押さ
えバネ２４ａとの間で挟持して保持することができる。
したがって、本実施形態では、簡易な構成で実現でき、
レチクルＲの上面に接触することなく周縁部に接触して
保持状態を得ることができる。

【００３７】なお、ドア側押さえバネ２３がなくて弾性
体のレチクル押さえ部材２３ａだけでもよい。また、本
体側押さえバネ２４ａがなくて弾性体の押さえ部材２４
ｃだけでもよい。さらに、押さえ部材２４ｃ、押さえ部
材２４ｃ若しくはドア側押さえバネ２３、レチクル押さ
え部材２３ａのどちらか一方で弾性体としてレチクルＲ
を押さえてもよい。

【００３８】次に、本発明に係る基板収納ケースの第３
実施形態を、図６および図７を参照しながら説明する。

【００３９】第３実施形態と第１実施形態との異なる点
は、第１実施形態のレチクル収納ケースＣ１は、側面ド
ア９が固定された状態では外気との通気が遮断された完
全密閉状態となるのに対し、第３実施形態のレチクル収
納ケースＣ３では、ケース本体３１を構成する一面に、
通気性を有した防塵フィルター材３２でカバーされた開
口部３１ａが設けられ内外の通気性が確保されている点
である。

【００４０】前記防塵フィルター材３２は、ケース本体
３１の側面に形成された矩形状の開口部３１ａにはめ込
まれた状態で枠部材３３で押さえられ該枠部材３３上か
らねじ３４で止められて交換可能とされている。また、
この防塵フィルター材３２は、空気は通すものの塵埃は
通さないものが使用され、メンブランタイプのものが好
適である。例えば、日本ミリポア・リミテッド社により
輸入・販売されているＭＦミリポアフィルター（商品
名）、等が使用される。これらのうち、ＭＦミリポアフ
ィルターは、セルロール混合エステルを材料として通気
性のあるフィルターに形成したものである。なお、防塵
フィルター材３２は、交換可能に取り付けられているの
で、その使用状況に応じて適宜交換される。

【００４１】次に、本発明に係る基板収納ケースの第４
実施形態を、図８から図１１を参照しながら説明する。

【００４２】第４実施形態と第２実施形態との異なる点
は、第２実施形態のレチクル収納ケースＣ２ではケース
本体２４が非透明または半透明な樹脂材料で形成されて
いるのに対し、図８に示すように、第４実施形態のレチ
クル収納ケースＣ４では、ケース本体４１を構成する底
面に、レチクルＲに設けられたバーコード（マーク）Ｂ
を読み取り可能にする透明な窓部材（窓部）４２が設け
られている点である。また、該窓部材４２は、ビス４３
によって着脱可能に取り付けられている。なお、窓部材
４２とケース本体４１との間には、弾性体であるパッキ
ン４４が配されて密封性が確保されている。

【００４３】本実施形態の構造を採用した理由を以下に
説明すると、例えば、レチクルに種々の情報（ＩＤ等）
をバーコードや二次元コード等のマークによって表示す
る場合があり、収納ケース内に収納されたレチクルにつ
いて、レチクルパターン面（下面）に設けられたバーコ
ード等を読み取る必要が生じる場合がある。この場合、
ケース本体が非透明または半透明な材質であると、外部
から読み取りを行うことが困難なため、レチクルを収納
ケースから取り出して読み取りを行わなければならず取
出や収納の手間がかかってしまう。

【００４４】また、レチクル収納ケースＣ２を透明な樹
脂材料で構成した場合、図９に示すように、レチクル収
納ケースＣ２に収納されたレチクルＲのバーコードＢを
外部からリーダＲＥによって読み取ることが可能である
が、当初は透明であっても、使用の過程で他の収納ケー
ス等のユニットとの接触によって、読み取りに必要な部
分表面に大小の傷が付いたり、洗浄の際の溶剤などで曇
ったりして透明度が低下し、読み取りができなくなる場
合がある。

【００４５】さらに、読み取りに必要な部分に傷が生じ
ることをある程度防止するために、図１０に示すよう
に、レチクル収納ケースＣ２の下面で読み取りに必要な
部分を窪ませて凹部２４ｄとすることもできるが、レチ
クル収納ケースＣ２を常に平らな面に置くとは限らず、
意図せずにケース外のものにぶつけることもあり、また
洗浄時に擦られたり、溶剤で透明度が徐々に落ちること
も避けられないことから、あまり効果的な対策とはなら
ない。

【００４６】また、一般に、レチクル等を収納するケー
スは、重量、製造性、コスト等の理由で樹脂材質で一体
構成されることが多く、ケース本体の読み取りに必要な
部分が他の構成部品と一体になっている場合、読み取り
に必要な部分の透明度が落ちると、高価なケースを廃棄
するか、若しくは部品の交換や調整等の手間が必要にな
って、コストアップにつながってしまう不都合があっ
た。

【００４７】そこで、本実施形態では、収納したレチク
ルＲのバーコードＢを外部から読み取ることができ、さ
らに読み取りに必要な部分の透明度の低下にも低コスト
で対応することを目的として、交換可能で透明な窓部材
４２（樹脂製）をケース本体４１に設けることとした。
すなわち、ケース本体４１の外部から窓部材４２を介し
て収納状態のレチクルＲのバーコードＢを読み取ること
ができ、さらに繰り返しの使用等によって窓部材４２の
透明度が落ち、読み取りができなくなった場合でも、ビ
ス４３を外して窓部材４２を新しい窓部材４２に交換す
ればよく、高価なケース全体を交換しなくても済む。

【００４８】したがって、高価なケースの使用可能期間
を延ばすことができるとともに、窓部材４２の交換時間
が短時間で済み、ＩＣ生産上の設備、人件費等のコスト
ダウンに貢献することができる。また、ケース全体の色
を中の収納物の判別のために異なる色で作る必要がある
場合も、バーコードＢの読み取りに必要な部分である窓
部材４２のみが透明であるので、ＩＣ生産上の効率化が
可能である。なお、本実施形態の他の例として、図１１
に示すように、窓部材４２の下面を窪ませて凹部４２ａ
を形成し、傷が付き難くしてもよい。

【００４９】次に、本発明に係る基板収納ケースの第５
実施形態を、図１２を参照しながら説明する。

【００５０】第５実施形態と第４実施形態との異なる点
は、第４実施形態のレチクル収納ケースＣ４ではケース
本体４１および窓部材４２が樹脂材料で形成されている
のに対し、第５実施形態のレチクル収納ケースＣ５で
は、窓部材５２の中央部（読み取りに必要な部分）がガ
ラスやクオーツ等の耐久性、透明度に優れた高硬度透明
材料５２ａで構成されている点で異なる。すなわち、本
実施形態では、窓部材５２において読み取りが必要な部
分にのみガラス等の高硬度透明材料５２ａが用いられて
いるので、重量、製造性、コスト等の増加を最低限に抑
えて耐久性の向上および読み取りの信頼度を格段に向上
させ、ＩＣ生産装置の稼働率アップが可能となる。

【００５１】次に、上記各実施形態のレチクル収納ケー
スＣ１〜Ｃ５のいずれかを用いた露光装置の一実施形態
について、図１３および図１４を参照して説明する。

【００５２】露光装置本体４０は、図１３に示すよう
に、ステップ・アンド・スキャン方式でマスクとしてレ
チクルＲのパターンを半導体ウエハＷ上に転写するもの
である。この露光装置本体４０は、露光光源を含む照明
系６０、レチクルＲを保持するレチクルステージＲＳ
Ｔ、投影光学系ＰＬ、半導体ウエハＷが搭載されるウエ
ハステージＷＳＴ等を備えている。

【００５３】前記照明系６０は、露光光源と照明光学系
（いずれも図示せず）とから構成される。照明光学系
は、コリメータレンズ、フライアイレンズ又はロッド型
インテグレータ等のオプティカルインテグレータ等から
なる照度均一化光学系、リレーレンズ、可変ＮＤフィル
タ、レチクルブラインド、リレーレンズ等を含んで構成
され、レチクルＲ上のスリット状照明領域ＩＡＲを照明
光ＩＬにより均一な照度で照明する。ここで、照明系内
の上記各駆動部、すなわち、可変ＮＤフィルタ、レチク
ルブラインド等は、主制御装置７０からの指示に応じ照
明制御装置６２によって制御される。

【００５４】前記レチクルステージＲＳＴは、レチクル
ベース盤６４上に配置され、その上面にはレチクルＲ
が、例えば真空吸着により固定される。レチクルステー
ジＲＳＴは、ここでは、磁気浮上型の２次元リニアアク
チュエータからなる不図示のレチクルステージ駆動部に
よって、レチクルＲの位置決めのため、照明光学系の光
軸に垂直な平面内（ＸＹ平面内）で２次元的に微小駆動
可能であるとともに、所定の走査方向（ここでは、Ｙ方
向）に指定された走査速度で駆動可能となっている。

【００５５】レチクルステージＲＳＴの位置は、レチク
ルレーザ干渉計６６によって、例えば０．５〜１ｎｍ程
度の分解能で常時検出される。この干渉計６６からのレ
チクルステージＲＳＴの位置情報は、ステージ制御装置
６９およびこれを介して主制御装置７０に送られ、ステ
ージ制御装置６９では主制御装置７０からの指示に応
じ、レチクルステージＲＳＴの位置情報に基づいてレチ
クルステージ駆動部（図示略）を介してレチクルステー
ジＲＳＴを駆動する。

【００５６】前記投影光学系ＰＬは、レチクルステージ
ＲＳＴの下方に配置され、その光軸ＡＸの方向がＺ軸方
向とされ、ここでは両側テレセントリックな所定の投影
倍率、例えば１／５（あるいは１／４）を有する縮小光
学系が用いられている。このため、照明系６０からの照
明光ＩＬによってレチクルＲの照明領域ＩＡＲが照明さ
れると、このレチクルＲを通過した照明光ＩＬにより、
投影光学系ＰＬを介して照明領域ＩＡＲ部分のレチクル
Ｒの回路パターンの縮小像が表面にレジストが塗布され
た半導体ウエハＷ上の露光領域ＩＡに形成される。

【００５７】前記ウエハステージＷＳＴは、投影光学系
ＰＬの下方に配置されたウエハベース盤６７上に配置さ
れ、このウエハステージＷＳＴ上には、ウエハホルダ６
８が載置されている。このウエハホルダ６８上には半導
体ウエハＷが不図示のバキュームチャックを介して真空
吸着されている。ウエハホルダ６８は不図示の駆動部に
より、投影光学系ＰＬの最良結像面に対し、任意方向に
傾斜可能で、かつ投影光学系ＰＬの光軸ＡＸ方向（Ｚ方
向）に微動できるように構成されている。また、このウ
エハホルダ６８はＺ軸回りの回転動作も可能になってい
る。

【００５８】ウエハステージＷＳＴは、ここでは、磁気
浮上型の２次元リニアアクチュエータからなるウエハ駆
動装置７２によりＸ軸およびＹ軸の２次元方向に駆動さ
れる。すなわち、ウエハステージＷＳＴは走査方向（Ｙ
方向）の移動のみならず、半導体ウエハＷ上の複数のシ
ョット領域を照明領域ＩＡＲと共役な露光領域ＩＡに位
置させることができるように、走査方向に垂直な非走査
方向（Ｘ方向）にも移動可能に構成されており、半導体
ウエハＷ上の各ショット領域を走査（スキャン）露光す
る動作と、次のショットの露光のための走査開始位置ま
で移動する動作とを繰り返すステップ・アンド・スキャ
ン動作を行う。

【００５９】このウエハステージＷＳＴの位置は、ウエ
ハレーザ干渉計７４によって、例えば０．５〜１ｎｍ程
度の分解能で常時検出される。干渉計７４の計測値は、
ステージ制御装置６９及びこれを介して主制御装置７０
に送られており、ステージ制御装置６９では、主制御装
置７０からの指示に応じ、ウエハステージＷＳＴの位置
情報に基づいてウエハ駆動装置７２を介してウエハステ
ージＷＳＴを駆動する。また、ウエハステージＷＳＴ上
には、ベースライン計測用基準マークその他の基準マー
クが形成された基準プレートＦＰが配置されている。

【００６０】なお、走査露光の際の照明系６０、レチク
ルステージＲＳＴ、ウエハステージＷＳＴ等の各部の動
作は、主制御装置７０によって照明制御装置６２、ステ
ージ制御装置６９等を介して管理される。さらに、露光
装置本体４０では、投影光学系ＰＬの側面に、半導体ウ
エハＷ上の各ショット領域に付設されたアライメントマ
ーク（ウエハマーク）の位置を検出するためのオフ・ア
クシス方式のアライメント顕微鏡ＡＬＧが設けられ、そ
のアライメント顕微鏡ＡＬＧの計測結果が主制御装置７
０に供給されるようになっている。

【００６１】また、この露光装置本体４０では、複数の
スリット像を形成するための結像光束（検出ビームＦ
Ｂ）を光軸ＡＸ方向に対して斜め方向より供給する照射
光学系ＡＦ１と、その結像光束の半導体ウエハＷの表面
での各反射光束をそれぞれスリットを介して受光する受
光光学系ＡＦ２とからなる斜入射方式の多点焦点位置検
出系が、投影光学系ＰＬを支える不図示の保持部材に固
定されている。この多点焦点位置検出系からのウエハ位
置情報は、主制御装置７０を介してステージ制御装置６
９に送られる。ステージ制御装置６９はこのウエハ位置
情報に基づいてウエハホルダ６８をＺ方向および傾斜方
向に駆動する。

【００６２】上述した露光装置本体４０を構成するレチ
クルベース盤６４、ウエハベース盤６７、投影光学系Ｐ
Ｌ等の主要構成部分は、同一の本体フレームに保持さ
れ、該本体フレームが不図示の防振パッドを介して水平
に保持されている。

【００６３】本実施形態の露光装置には、図１４に示す
ように、上記各実施形態のレチクル収納ケースＣ１〜Ｃ
５のいずれか（以下、本実施形態では、レチクル収納ケ
ースＣ１とする）を複数保持可能なレチクルライブラリ
（ケース保持機構）１１０と、該レチクルライブラリ１
１０から一枚のレチクルＲを選択してレチクルステージ
ＲＳＴ上に搬送するレチクル搬送系（基板搬送系）１２
０とを備えている。前記レチクル搬送系１２０は、レチ
クルライブラリ１１０で保持されたレチクル収納ケース
Ｃ１の側面ドア９を着脱する着脱機構１２１を備えてい
る。

【００６４】レチクルライブラリ１１０は、レチクル収
納ケースＣ１を側面ドア９が同一方向に揃うように積み
重ねて保持するもので、各レチクル収納ケースＣ１は、
支柱部１１０ａで上下方向には移動不能に保持されてい
る。ただし、着脱のため横方向には移動可能となってい
る。レチクル搬送系１２０は、レチクル収納ケースＣ１
内のレチクルＲを載置して取出又は収納するためのフォ
ーク状のアーム１２２と、該アーム１２２を水平方向に
進退させるとともに上下動させる進退上下動装置１２３
と、着脱機構１２１を水平方向に進退させるとともに上
下動も行う着脱機構移動装置１２４とを備えている。前
記着脱機構１２１は、先端部にレチクル収納ケースＣ１
のラッチ解除穴１０ａに差し込まれるキーとして回転可
能な操作部１２１ａが一対設けられている。

【００６５】次に、レチクル搬送系１２０の動作を説明
する。まず、レチクル収納ケースＣ１の側面ドア９を開
けるときは、着脱機構１２１を着脱機構移動装置１２４
で所定のレチクル収納ケースＣ１の位置まで水平移動お
よび上下動させ、位置合わせした状態でラッチ解除穴１
０ａに操作部１２１ａを挿入する。さらに、操作部１２
１ａを回転させてラッチを解除した後、操作部１２１ａ
で側面ドア９を掴んだ状態で、着脱機構移動装置１２４
により着脱機構１２１を後退させ側面ドア９をケース本
体１２から分離させる。

【００６６】側面ドア９および着脱機構１２１をレチク
ルＲの搬送の邪魔にならない位置まで待避させたのち、
進退上下動装置１２３によってアーム１２２をケース本
体１２内に収納されているレチクルＲの下に差し込み、
所定量上昇させてレチクルＲを載置する。この状態で、
アーム１２２を後退させてケース本体１２からレチクル
Ｒを取り出すとともに、レチクルステージＲＳＴ上にま
で移送して載置する。

【００６７】したがって、本実施形態の露光装置では、
レチクル搬送系１２０がレチクル収納ケースＣ１を保持
可能なレチクルライブラリ１１０を備え、さらにレチク
ルライブラリ１１０で保持されたレチクル収納ケースＣ
１の側板ドア９を着脱する着脱機構１２１を備えている
ので、ＦＯＵＰ方式のレチクル収納ケース単位でレチク
ルＲの搬送・収納ができ、ミニエンバイロメント方式に
よる搬送系を実現することができる。

【００６８】なお、本実施形態の露光装置は、図１５に
示すように、レチクルライブラリ１１０または外部から
のケース装填位置等からレチクル収納ケースＣ１〜Ｃ５
を搬送するケース搬送系１３０を備えている。該ケース
搬送系１３０は、例えば、レチクル収納ケースＣ４、Ｃ
５を用いて収納状態のレチクルＲのＩＤを読み取る場
合、図１５に示すように、レチクル収納ケースＣ４、Ｃ
５をレチクルライブラリ１１０または外部からのケース
装填位置からＩＤ読み取りポジションに搬送する。この
際、レチクル収納ケースＣ４、Ｃ５は、ケース搬送系１
３０のケース搬送アーム１３０ａ上に搭載された状態と
される（なお、レチクル収納ケースＣ４、Ｃ５を、別の
支持部品で保持してもよい）。そして、ＩＤ読み取りポ
ジションにおいて、バーコード検出機構（マーク検出機
構）１３１によって内部のレチクルＲに設けられたバー
コードＢが検出されてＩＤが読み取られる。

【００６９】前記バーコード検出機構１３１は、レチク
ル収納ケースＣ４、Ｃ５の下側に配置され窓部材４２、
５２を介して収納状態のレチクルＲのバーコードＢを読
み取るＩＤリーダ１３２と、該ＩＤリーダ１３２で読み
取ったバーコードＢからＩＤを解析するデコーダ１３３
とを備えている。なお、バーコードＢをレチクル収納ケ
ースＣ４、Ｃ５の上側から読み取る場合には、ＩＤリー
ダ１３２をレチクル収納ケースＣ４、Ｃ５の上側に配置
する。

【００７０】前記ＩＤリーダ１３２としては、例えば、
図１６に示すように、レーザ光を走査させて反射光を検
出するレーザスキャン方式ＩＤリーダ１３２Ａが採用さ
れる。なお、この場合、ＩＤリーダ１３２Ａの反対側に
白色系の拡散反射面を形成すれば、より検出し易くな
る。例えば、ケース本体４１の内面上部４１ｅを白色と
したり、レチクル収納ケースＣ４、Ｃ５の上側に白色の
拡散反射板１３４を配置しても構わない。

【００７１】また、図１７に示すように、発光部１３５
側と受光部１３６側とに別れたＬＥＤ方式ＩＤリーダ１
３２Ｂを採用しても構わない。すなわち、レチクル収納
ケースＣ４、Ｃ５の上側に配した発光部１３５から光を
内部のレチクルＲに照射し、その透過光をレチクル収納
ケースＣ４、Ｃ５の下側で窓部材４２、５２の直下に配
した受光部１３６で受光してバーコードＢを読み取って
も構わない。

【００７２】さらに、図１８に示すように、ＣＣＤカメ
ラ１３２Ｃを採用しても構わない。この場合、ＣＣＤ読
み取り可能な明るさがバーコードＢの周辺部に必要であ
り、装置内の明るさがＣＣＤ読み取りに不足している場
合は、レチクル収納ケースＣ４、Ｃ５の上側から内部の
レチクルＲを照明する発光体１３７を用いても構わな
い。そして、ＣＣＤカメラ１３２Ｃとは反対側に白色系
の背景が必要であれば、図１９に示すように、レーザス
キャン方式と同様に、ケース本体４１の内面上部４１ｅ
を白色としたり、レチクル収納ケースＣ４、Ｃ５の上側
に白色の拡散反射板１３４を配置しても構わない。その
際に、さらに明るさが必要であれば、周囲を照らす発光
体１３７をＣＣＤカメラ１３２Ｃ側に設置してもよい。

【００７３】なお、本発明は、次のような実施形態をも
含むものである。 （１）上記各実施形態では、レチクルＲを収納するケー
スおよびこれを用いた露光装置として本発明を適用した
が、他の基板、例えば、半導体ウエハ、マスク等を収納
する基板収納ケース（ウエハケース等）およびこれを用
いた露光装置に採用しても構わない。なお、第４実施形
態および第５実施形態では、ＦＯＵＰ方式の基板収納ケ
ースＣ４、Ｃ５に適用したが、他の方式、例えばＳＭＩ
Ｆ方式やヒンジ方式に適用しても構わない。

【００７４】（２）第２実施形態の別の例として、本体
側押さえバネ２４ａを除いたものでも構わないが、この
場合、側面ドア９と対向する内側面に直接レチクルＲの
周縁部が接触するため、レチクルＲの上下移動によって
擦れが生じてしまいパーティクルが発生するおそれもあ
り、本体側押さえバネを備えることが好ましい。 （３）第３実施形態では、開口部３１ａをケース本体３
１の一側面に形成したが、他の面に形成してもよく、２
以上の面に設けても構わない。この場合、通気性が向上
することは言うまでもない。

【００７５】（４）上記実施形態の露光装置として、投
影光学系を用いることなくレチクルの代わりにマスクと
基板とを密接させてマスクのパターンを露光するプロキ
シミティ露光装置にも適用することができる。 （５）露光装置の用途としては半導体製造用の露光装置
に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレート
に液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置
や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置にも広く
適用できる。

【００７６】（６）本実施形態の露光装置の光源は、ｇ
線（４３６ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、ＫｒＦエキシ
マレーザ（２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（１９
３ｎｍ）、Ｆ２レーザ（１５７ｎｍ）のみならず、Ｘ線
や電子線などの荷電粒子線を用いることができる。例え
ば、電子線を用いる場合には電子銃として熱電子放射型
のランタンヘキサボライト（LaB６）、タンタル（Ta）
を用いることができる。 （７）投影光学系の倍率は縮小系のみならず等倍および
拡大系のいずれでもいい。

【００７７】（８）投影光学系としては、エキシマレー
ザなどの遠紫外線を用いる場合は硝材として石英や蛍石
などの遠紫外線を透過する材料を用い、Ｆ２レーザやＸ
線を用いる場合は反射屈折系または屈折系の光学系にし
（レチクルも反射型タイプのものを用いる）、また、電
子線を用いる場合には光学系として電子レンズおよび偏
向器からなる電子光学系を用いればいい。なお、電子線
が通過する光路は真空状態にすることはいうまでもな
い。

【００７８】（９）ウエハステージやレチクルステージ
にリニアモータ（USP5,623,853またはUSP5,528,118参
照）を用いる場合は、エアベアリングを用いたエア浮上
型およびローレンツ力またはリアクタンス力を用いた磁
気浮上型のどちらを用いてもいい。また、ステージは、
ガイドに沿って移動するタイプでもいいし、ガイドを設
けないガイドレスタイプでもいい。

【００７９】（１０）ウエハステージの移動により発生
する反力は、（USP5,528,118に記載されているよう
に、）フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃が
してもいい。 （１１）レチクルステージの移動により発生する反力
は、（US S/N 416558に記載されているように、）フレ
ーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃がしてもい
い。

【００８０】（１２）複数のレンズから構成される照明
光学系、投影光学系を露光装置本体に組み込み光学調整
をするとともに、多数の機械部品からなるレチクルステ
ージやウエハステージを露光装置本体に取り付けて配線
や配管を接続し、更に総合調整（電気調整、動作確認
等）をすることにより本実施形態の露光装置を製造する
ことができる。なお、露光装置の製造は温度およびクリ
ーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ま
しい。

【００８１】（１３）半導体デバイスは、デバイスの機
能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づ
いたレチクルを製作するステップ、シリコン材料からウ
エハを製作するステップ、前述した実施形態の露光装置
によりレチクルのパターンをウエハに露光するステッ
プ、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボン
ディング工程、パッケージ工程を含む）、検査ステップ
等を経て製造される。

【００８２】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果を奏する。 （１）請求項１記載の基板収納ケースによれば、保持機
構が、側板をケース本体に押し付けて取り付けた際に側
板の押圧力で基板をケース本体に押し付けて保持する押
圧部を備えているので、ＦＯＵＰ方式でも側板をケース
本体に着脱するだけで収納基板の保持およびその解放を
容易に行うことができる。

【００８３】（２）請求項２記載の基板収納ケースによ
れば、保持機構が、取付状態の側板の内面に当接可能に
配され側板の着脱方向に移動可能な当接部を備え、押圧
部が、当接部の移動に連動して基板の厚さ方向に移動可
能に当接部に接続され側板を取り付けた状態で基板の上
面を押さえつけるので、側板を取り付けるだけで容易に
基板をその上面から押さえることができ、ケース内に載
置した状態のまま確実に保持することができる。

【００８４】（３）請求項３記載の基板収納ケースによ
れば、押圧部の基板に接触する部分が樹脂材料で形成さ
れているので、基板を保持する際に基板に損傷を与え難
くすることができる。

【００８５】（４）請求項４記載の基板収納ケースによ
れば、押圧部の基板に接触する部分が基板の表面に沿っ
て回転可能な回転体で形成されているので、基板を保持
する際に回転体が回転することにより基板表面が擦られ
ることがなくなり、損傷をさらに低減することができる
とともにパーティクルの発生を抑えることができる。

【００８６】（５）請求項５記載の基板収納ケースによ
れば、押圧部の全体が弾性体で形成されているので、基
板を保持する際に、押圧部全体が撓んでこの弾力性をも
って基板を押さえることができる。

【００８７】（６）請求項６記載の基板収納ケースによ
れば、保持機構が、側板の内面に設けられ先端に押圧部
を有して着脱方向に付勢可能な付勢部材を備え、該付勢
部材が、側板を取り付けた状態で基板の周縁部に押圧部
を当接させ、基板を側板の取付方向に付勢するので、基
板を押さえる方向と側板を取り付ける方向とが同じにな
り、より簡易な構成で実現可能になるとともに、基板表
面に触れることなく基板を保持することができる。

【００８８】（７）請求項７記載の基板収納ケースによ
れば、ケース本体を構成する少なくとも一面には、通気
性を有した防塵フィルター材でカバーされた開口部が設
けられているので、クリーン度の悪い周囲環境のパーテ
ィクルが内部に侵入することを防止できるとともにケー
ス本体内で発生した脱ガスを、防塵フィルターを介して
開口部から外部に排出させることができ、収納基板への
脱ガスの影響を低減することができる。

【００８９】（８）請求項８記載の基板収納ケースによ
れば、防塵フィルター材が交換可能に取り付けられてい
るので、フィルター材の状態に応じて適宜交換すれば、
良好な通気性および防塵性を常に得ることができる。

【００９０】（９）請求項９記載の露光装置によれば、
基板搬送系が、請求項１から８のいずれかに記載の基板
収納ケースを保持可能なケース保持機構を備えているの
で、基板収納ケース単位で基板の搬送・収納ができ、ミ
ニエンバイロメント方式による搬送系を実現することが
できる。

【００９１】（１０）請求項１０記載の露光装置によれ
ば、基板搬送系が、ケース保持機構で保持された基板収
納ケースの側板を着脱する着脱機構を備えているので、
ＦＯＵＰ方式の基板収納ケースの取扱いが容易になり、
基板の搬送・収納の自動化が可能となる。

【００９２】（１１）請求項１１記載の基板収納ケース
によれば、収納された基板のマークを外部から読み取り
可能にする透明な窓部が設けられているので、たとえ非
透明または半透明なケース本体でも少なくとも窓部は透
明であるので、該窓部を介してバーコード等のマークを
外部から容易に読み取ることができる。

【００９３】（１２）請求項１２記載の基板収納ケース
によれば、前記窓部が着脱可能であるので、使用によっ
て透明度が低下して読み取りができなくなっても、窓部
のみを容易に交換できて読み取り可能にできるため、高
価なケースの使用可能期間を延ばすことができるととも
に、設備、人件費等のコストダウンに貢献することがで
きる。

【００９４】（１３）請求項１３記載の露光装置によれ
ば、ケース搬送系で搬送される請求項１１または１２に
記載の基板収納ケースの外部から窓部を介して基板のマ
ークを読み取るマーク検出機構を備えているので、基板
収納ケースを搬送する際に、マーク検出機構によって基
板を取り出さずにマークを確実に読み取ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る基板収納ケースの第１実施形態
を示す側面図およびそのＡ−Ａ線矢視断面図である。

【図２】 本発明に係る基板収納ケースの第１実施形態
において、側面ドアの取付後の状態を示す断面図および
側面図である。

【図３】 本発明に係る基板収納ケースの第１実施形態
において、側面ドアの取付前の状態を示す断面図および
側面図である。

【図４】 本発明に係る基板収納ケースの第２実施形態
において、側面ドアの取付前の状態を示す断面図であ
る。

【図５】 本発明に係る基板収納ケースの第２実施形態
において、側面ドアの取付後の状態を示す断面図であ
る。

【図６】 本発明に係る基板収納ケースの第３実施形態
を示す斜視図である。

【図７】 図６のＢ−Ｂ線矢視断面図である。

【図８】 本発明に係る基板収納ケースの第４実施形態
を示す断面図である。

【図９】 本発明に係る基板収納ケースの第２実施形態
を用いた場合において、ＩＤ読み取り手段を示す断面図
である。

【図１０】 本発明に係る基板収納ケースの第２実施形
態を用いた場合において、ＩＤ読み取り手段の他の例を
示す断面図である。

【図１１】 本発明に係る基板収納ケースの第４実施形
態における他の例を示す断面図である。

【図１２】 本発明に係る基板収納ケースの第４実施形
態を示す要部の断面図である。

【図１３】 本発明に係る基板収納ケースを用いた露光
装置の一実施形態を示す全体構成図である。

【図１４】 本発明に係る基板収納ケースを用いた露光
装置の一実施形態におけるレチクルライブラリおよびレ
チクル搬送系を示す要部の斜視図である。

【図１５】 本発明に係る基板収納ケースの第４および
第５実施形態において、ＩＤ読み取り手段を示す断面図
である。

【図１６】 本発明に係る基板収納ケースの第４および
第５実施形態において、レーザスキャン方式のＩＤ読み
取り手段を示す断面図である。

【図１７】 本発明に係る基板収納ケースの第４および
第５実施形態において、ＬＥＤ方式のＩＤ読み取り手段
を示す断面図である。

【図１８】 本発明に係る基板収納ケースの第４および
第５実施形態において、ＣＣＤ方式のＩＤ読み取り手段
を示す断面図である。

【図１９】 本発明に係る基板収納ケースの第４および
第５実施形態において、ＣＣＤ方式のＩＤ読み取り手段
における他の例を示す断面図である。

【図２０】 本発明に係る基板収納ケースの従来例にお
いて、レチクル保持前後の状態を示す断面図である。

【図２１】 本発明に係る基板収納ケースの従来例にお
いて、レチクル保持前後の状態を示す断面図である。

【符号の説明】

９、２２ 側面ドア（側板） １２、２４、３１、４１ ケース本体 １３、２１ 保持機構 １４ レチクル押さえ支持部材（押圧部） １４ｃ レチクル側回転体（回転体） １５ ドア接触部材（当接部） ２３ ドア側押さえバネ（押圧部、付勢部材） ３２ 防塵フィルター材 ３１ａ 開口部 ４２、５２ 窓部材（窓部） １１０ レチクルライブラリ（ケース保持機構） １２０ レチクル搬送系（基板搬送系） １２１ 着脱機構 １３１ バーコード検出機構（マーク検出機構） Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５ レチクル収納ケース Ｂ バーコード（マーク） Ｒ レチクル（基板）

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に基板を保持して収納する基板収納
   ケースであって、 着脱可能な側板を有するケース本体と、 該ケース本体内に設けられ前記基板を保持する保持機構
   とを備え、 該保持機構は、前記側板を前記ケース本体に押し付けて
   取り付けた際に側板の押圧力で前記基板をケース本体に
   押し付けて保持する押圧部を備えていることを特徴とす
   る基板収納ケース。
2. 【請求項２】 前記保持機構は、取付状態の前記側板の
   内面に当接可能に配され側板の着脱方向に移動可能な当
   接部を備え、 前記押圧部は、前記当接部の移動に連動して前記基板の
   厚さ方向に移動可能に当接部に接続され、側板を取り付
   けた状態で基板の上面を押さえつけることを特徴とする
   請求項１記載の基板収納ケース。
3. 【請求項３】 前記押圧部は、前記基板に接触する部分
   が樹脂材料で形成されていることを特徴とする請求項２
   記載の基板収納ケース。
4. 【請求項４】 前記押圧部は、前記基板に接触する部分
   が基板の表面に沿って回転可能な回転体で形成されてい
   ることを特徴とする請求項２または３記載の基板収納ケ
   ース。
5. 【請求項５】 前記押圧部は、全体が弾性体で形成され
   ていることを特徴とする請求項２から４のいずれかに記
   載の基板収納ケース。
6. 【請求項６】 前記保持機構は、前記側板の内面に設け
   られ先端に前記押圧部を有して着脱方向に付勢可能な付
   勢部材を備え、 該付勢部材は、前記側板を取り付けた状態で前記基板の
   周縁部に前記押圧部を当接させ、基板を側板の取付方向
   に付勢することを特徴とする請求項１記載の基板収納ケ
   ース。
7. 【請求項７】 内部に基板を保持して収納する基板収納
   ケースであって、 着脱可能な側板を有するケース本体と、 該ケース本体内に設けられ前記基板を保持する保持機構
   とを備え、 前記ケース本体を構成する少なくとも一面には、通気性
   を有した防塵フィルター材でカバーされた開口部が設け
   られていることを特徴とする基板収納ケース。
8. 【請求項８】 前記防塵フィルター材は、交換可能に取
   り付けられていることを特徴とする請求項７記載の基板
   収納ケース。
9. 【請求項９】 基板を内部に搬送する基板搬送系を備え
   た露光装置において、 前記基板搬送系は、請求項１から８のいずれかに記載の
   基板収納ケースを保持可能なケース保持機構を備えてい
   ることを特徴とする露光装置。
10. 【請求項１０】 前記基板搬送系は、前記ケース保持機
    構で保持された前記基板収納ケースの側板を着脱する着
    脱機構を備えていることを特徴とする請求項９記載の露
    光装置。
11. 【請求項１１】 マークが設けられた基板をケース本体
    の内部に保持して収納する基板収納ケースであって、 前記ケース本体には、収納された前記基板のマークを外
    部から読み取り可能にする透明な窓部が設けられている
    ことを特徴とする基板収納ケース。
12. 【請求項１２】 前記窓部は、着脱可能であることを特
    徴とする請求項１１記載の基板収納ケース。
13. 【請求項１３】 請求項１１または１２に記載の基板収
    納ケースを搬送するケース搬送系と、 該ケース搬送系で搬送される前記基板収納ケースの外部
    から前記窓部を介して前記基板のマークを読み取るマー
    ク検出機構とを備えていることを特徴とする露光装置。