JP2000347002A5 - - Google Patents
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Description
【発明の名称】反射防止膜および光学部品
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学部品に施される反射防止膜であって、特に、波長４００〜７００ｎｍの可視域用の反射防止膜および光学部品に関するものである。
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学部品に施される反射防止膜であって、特に、波長４００〜７００ｎｍの可視域用の反射防止膜および光学部品に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光学部品に用いられる光学用基板の表面と入射媒質の界面における入射角度が０〜１０°の入射光は、例えば、特開平１０−２０１０２号公報で提案されているような一般的な光学ガラス基板を用いた反射防止膜の場合は、３〜４％程度の反射にとどまるが、基板の屈折率が例えば２．０以上と高くなると、１５〜２０％程度も反射するという現象が生じる。従って、この基板を光が透過すると、表面側と裏面側で３０〜４０％の光量損失となり、しかもその枚数が増加すると、光量損失は相乗的に増加する。
【従来の技術】
光学部品に用いられる光学用基板の表面と入射媒質の界面における入射角度が０〜１０°の入射光は、例えば、特開平１０−２０１０２号公報で提案されているような一般的な光学ガラス基板を用いた反射防止膜の場合は、３〜４％程度の反射にとどまるが、基板の屈折率が例えば２．０以上と高くなると、１５〜２０％程度も反射するという現象が生じる。従って、この基板を光が透過すると、表面側と裏面側で３０〜４０％の光量損失となり、しかもその枚数が増加すると、光量損失は相乗的に増加する。
【０００５】
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、高屈折率の基板に対応できる可視域用広帯域の反射防止膜および光学部品を提供することを目的とするものである。
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、高屈折率の基板に対応できる可視域用広帯域の反射防止膜および光学部品を提供することを目的とするものである。
【０００８】
また、第１ないし第６層のそれぞれの光学的膜厚ｎｄ1 、ｎｄ2 、ｎｄ3 、ｎｄ4 、ｎｄ5 、ｎｄ6 が以下の式で表わされる範囲であるとよい。
０．２９λ0 ≦ｎｄ1 ≦０．３３λ0
０．０１λ0 ≦ｎｄ2 ≦０．０６λ0
０．４０λ0 ≦ｎｄ3 ≦０．４５λ0
０．０１５λ0 ≦ｎｄ4 ≦０．０５λ0
０．０４λ0 ≦ｎｄ5 ≦０．１３λ0
０．２２λ0 ≦ｎｄ6 ≦０．２５λ0
ここで、λ0 ＝５５０ｎｍ
本発明の光学部品は、上記の反射防止膜を形成した表面を有することを特徴とする。
また、第１ないし第６層のそれぞれの光学的膜厚ｎｄ1 、ｎｄ2 、ｎｄ3 、ｎｄ4 、ｎｄ5 、ｎｄ6 が以下の式で表わされる範囲であるとよい。
０．２９λ0 ≦ｎｄ1 ≦０．３３λ0
０．０１λ0 ≦ｎｄ2 ≦０．０６λ0
０．４０λ0 ≦ｎｄ3 ≦０．４５λ0
０．０１５λ0 ≦ｎｄ4 ≦０．０５λ0
０．０４λ0 ≦ｎｄ5 ≦０．１３λ0
０．２２λ0 ≦ｎｄ6 ≦０．２５λ0
ここで、λ0 ＝５５０ｎｍ
本発明の光学部品は、上記の反射防止膜を形成した表面を有することを特徴とする。
【０００９】
【作用】
光学用基板が高屈折率の基板であっても、該基板より屈折率の低い成膜材料を用いて上記の膜構成にすることにより、可視域全域の波長４００〜７００ｎｍにおける反射率０．５％以下の反射防止膜を実現できる。
【作用】
光学用基板が高屈折率の基板であっても、該基板より屈折率の低い成膜材料を用いて上記の膜構成にすることにより、可視域全域の波長４００〜７００ｎｍにおける反射率０．５％以下の反射防止膜を実現できる。
Claims (5)
- 高屈折率の基板に積層された６層の薄膜からなる交互多層膜を有し、該交互多層膜の前記基板側から第１層と第３層と第５層が前記基板より屈折率の低い高屈折率層であり、第２層および第４層がそれぞれ中屈折率層または低屈折率層であり、第６層が低屈折率層であることを特徴とする反射防止膜。
- 第１層と第３層と第５層の高屈折率層の屈折率が１．８５以上であり、第２層および第４層の屈折率が１．３５〜１．８９であり、第６層の低屈折率層の屈折率が１．４０以下であることを特徴とする請求項１記載の反射防止膜。
- 第１ないし第６層のそれぞれの光学的膜厚ｎｄ1 、ｎｄ2 、ｎｄ3 、ｎｄ4 、ｎｄ5 、ｎｄ6 が以下の式で表わされる範囲であることを特徴とする請求項２記載の反射防止膜。
０．２９λ0 ≦ｎｄ1 ≦０．３３λ0
０．０１λ0 ≦ｎｄ2 ≦０．０６λ0
０．４０λ0 ≦ｎｄ3 ≦０．４５λ0
０．０１５λ0 ≦ｎｄ4 ≦０．０５λ0
０．０４λ0 ≦ｎｄ5 ≦０．１３λ0
０．２２λ0 ≦ｎｄ6 ≦０．２５λ0
ここで、λ0 ＝５５０ｎｍ - 入射角度０〜１０°における分光反射率が、測定波長４００〜７００ｎｍの範囲内において、０．５％以下であることを特徴とする請求項３記載の反射防止膜。
- 請求項１ないし４いずれか１項記載の反射防止膜を形成した表面を有することを特徴とする光学部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11161819A JP2000347002A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11161819A JP2000347002A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000347002A JP2000347002A (ja) | 2000-12-15 |
| JP2000347002A5 true JP2000347002A5 (ja) | 2004-11-11 |
Family
ID=15742521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11161819A Pending JP2000347002A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000347002A (ja) |
Families Citing this family (8)
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| DE102010048089B4 (de) * | 2010-10-01 | 2016-09-01 | Carl Zeiss Vision International Gmbh | Verfahren zur Erzeugung einer mehrere Schichten aufweisenden antistatischen Beschichtung für ein Linsenelement |
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-
1999
- 1999-06-09 JP JP11161819A patent/JP2000347002A/ja active Pending
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