JP2000348301A - 光磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高記録密度化に伴って、光磁気記憶装置では
記録動作の際により強い磁界を必要とする。磁界を集中
させるべく小型化を図ると、センターコアからディスク
に印加する磁界の強さが低下する。そこで小さな起磁力
でも強い磁界をディスクに印加できる高効率の光磁気ヘ
ッドを提供する。 【解決手段】 コ字状のコアと、前記コアの側面に設け
た軟磁性膜を備え、前記軟磁性膜とコアの間にガラス膜
を有し、前記コアの先端部にステップを設け、前記ステ
ップが曲面を含み、該曲面の曲率半径ｒは１５≦ｒ≦５
０［μｍ］の範囲内である光磁気ヘッドを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光磁気記憶装置に搭
載する光磁気ヘッドに関し、特に記録性能を向上させた
磁気コアを有する光磁気ヘッドに係わる。

【０００２】

【従来の技術】光磁気記憶装置は、光磁気媒体（ディス
ク）と、前記光磁気媒体に磁界を印加する磁界発生手段
と、前記磁界を印加した箇所にレーザー光を照射する光
照射手段とを有し、光変調あるいは磁気変調により光磁
気媒体に信号を記録する。以下、光磁気媒体をディスク
と称する。本明細書において、光磁気ヘッドの用語は、
次のタイプを含む広義の意味で用いている。１つ目のタ
イプは、ディスクに印加する磁界発生手段のみを備えた
タイプの光磁気ヘッドである。２つ目のタイプは、磁界
発生手段と光照射手段を共に備えたタイプの光磁気ヘッ
ドである。このタイプはレンズを通してレーザー光をデ
ィスクに照射する手段と、磁界発生手段であるコイルや
永久磁石等を備えている。両手段はともに、平行移動型
キャリッジあるいはサスペンション付きのスライダーに
搭載される。

【０００３】１つ目のタイプは磁界発生手段を設けた光
磁気ヘッドと、光照射手段が別の部品として光磁気記憶
装置に備えられている。磁界発生手段はスライダーに搭
載されていることが多い。スライダーはサスペンション
に支持されてディスク上に配置される。ディスクが回転
すると、ディスク上に生じた空気流による浮力でスライ
ダーは浮上し、磁界発生手段とディスクは一定の間隔
（浮上量）で対向する。磁界発生手段はディスクに磁界
を印加する。一般的な光磁気記憶装置では、ディスクの
表面で前記スライダーを浮上させて、ディスクの裏面か
ら光照射手段によってレーザー光を照射させる。これら
従来の磁界発生手段には、例えば、巻線コイルを設けた
コ字状の磁気コアや、コイルボビンを設けたＥ字型の磁
気コアが用いられている。磁気コアは非磁性セラミック
基板からなるスライダーの後端部に接合されるタイプが
ある。通常、磁気コアを構成する要素である一つのコア
ブロックが磁界を印加する磁気回路の主磁極となり、他
のコアブロックが磁気回路のリターンパスとなり、磁気
コアに巻かれたコイルに電流が供給されると、ディスク
に対して垂直磁界を印加する。以下、磁気コアの構成要
素となるコアブロックをコアと称する。

【０００４】光磁気記憶装置の記録・再生動作の一例を
説明する。記録する場合、予めディスクが磁化された方
向と反対方向の磁界をコイルから印加しつつレーザー光
を照射すると、ビットの磁化の向きが反転する。この作
用を用いてビット毎の反転を制御して情報を記録するこ
とができる。再生する場合、磁化されたビットにレーザ
ー光を照射して、反射してきたレーザー光の偏光面の回
転方向を検出して、記録された情報を再生する。この偏
光面の回転はカー効果を利用している。消去する場合、
予めディスクが磁化された方向に対して同方向の磁界を
コイルから印加しつつレーザー光を照射すると、ビット
に記録された情報は消去される。このような記録・再生
に用いるディスクには、ＴｂＦｅＣｏ層の記録膜やＧｄ
ＦｅＣｏの再生膜等を有する多層膜を基板上に積層した
ものが用いられている。基板にはポリカーボネイトやガ
ラス等が用いられている。

【０００５】光磁気記録あるいは光磁気ヘッドの分野で
は、磁気コア形状に係る技術として次のものが挙げられ
る。特開平８−４５１２９号公報には、主磁極と補助磁
極とがＥ字状に一体成形されたコアを取り付けたスライ
ダの光磁気記録用磁気ヘッドが開示されている。特開平
６−１３１６０８号公報には、コ字型ヨークを用いた光
磁気ディスクドライブ装置が開示されている。また、他
の磁気コアには、フェライトなどの材料で構成され、磁
束密度を向上させるためにセンターコアあるいは主磁極
（主コア）の先端を鋭角に加工するタイプ等がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】高記録密度化に伴う記
録周波数の増加のために、磁気コアに周回させたコイル
に電流が流れにくくなり、記録動作に必要な磁界を得る
ことが困難になりつつある。また無理にコイルに大電流
を流すと、発熱により装置やディスクを加熱して歪みを
生じること、あるいは大電流を発生させる回路を光磁気
記憶装置に組み込むため、装置の小型化に反すること等
が問題となった。一方、インダクタンスを下げるため
に、コイルの巻数を減らしたり、あるいはコアを小型化
すると、ディスクに印加する磁界の強さ自体が低下す
る。そこで本発明の目的は、コイルに流す電流が小さく
ても、あるいはコイルの巻数を減らしても、強い磁界が
得られる高効率の光磁気ヘッドを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の光磁気ヘッド
は、センターコアと、センターコアの長手方向に沿って
設けた軟磁性膜と、前記センターコアの先端に設けたス
テップと、前記センターコアに巻いたコイルとを備える
ことを特徴とする。センターコアの少なくとも一方の側
には対向してサイドコアが設けられている。前記センタ
ーコアとサイドコアはバックコアで磁気的に接続され、
磁気回路を構成する。前記センターコアとバックコアと
サイドコアは同一磁性材料で一体に形成されていること
が望ましい。軟磁性膜がセンターコアの長手方向に平行
に配置されるとき、軟磁性膜の長手方向は媒体の表面に
対して直交する関係にある。また、センターコアは軟磁
性膜の両側の面に、ガラス膜を介してセラミックスのコ
アを設けた積層構造とすることが好ましい。

【０００８】本発明の他の光磁気ヘッドは、軟磁性膜を
介して接合した少なくとも二つ以上のコアを有し、前記
軟磁性膜に沿った部材をセンターコアとし、前記センタ
ーコアの先端部にステップを設けることを特徴とする。
また、本発明の他の光磁気ヘッドは、コ字状のコアと、
前記コアの側面に設けた軟磁性膜を備え、前記軟磁性膜
とコアの間にガラス膜を有し、前記コアの先端部にステ
ップを設けたことを特徴とする。前記ステップは、前記
コアの軟磁性膜を設けた側と反対の側に設けることが望
ましい。

【０００９】磁気コアを次のようにする。コ字状のコア
と軟磁性膜ともう１つのコ字状のコアを合わせ、前記軟
磁性膜とコアの間にガラス膜を有し、前記コアの軟磁性
膜に近接する側の先端部にステップを設けたことを特徴
とする。この構成によって、センターコアの中心軸と重
なるように軟磁性膜を配置した。

【００１０】前記センターコアにおいて、軟磁性膜を設
けた面と反対側の面にステップを設ける。このステップ
によって、センターコアの先端部の幅を絞り、軟磁性膜
に効果的に磁束を集中させることができる。前記ステッ
プは、その面が、複数の面からなる面、平面と曲面を組
み合わせた面、平面と平面を連結した面、平面と曲面を
連結した面、１つの曲面、複数の曲面を連結した面、平
面と曲面と平面を順に連結した面のいずれかとすること
ができる。しかしながら、平面と平面の交差する角（す
なわち稜線）の部分は磁界の絞り込みを妨げるか、ある
いは磁界の漏洩の原因となる。そこで、望ましくはステ
ップ部分を曲面で構成して、磁界を効率よく絞り込む。
ステップの曲面の曲率半径ｒは、１５〜５０［μｍ］の
範囲とすることできるが、望ましくは２０≦ｒ≦４０
［μｍ］とする。なお、上記ステップはセンターコアの
先端の両側面に設けることが好ましい。ステップと軟磁
性膜の双方の付加によって、小型のセンターコアの先端
部で十分に磁束を絞って、高密度記録用のディスク上に
高周波でかつ高飽和磁束密度の磁界を印加することがで
きる。

【００１１】上記光磁気ヘッドにおいて磁気コア形状
は、Ｅ字型磁気コア、コ字状コアあるいはＵ字状コアを
用いることができるが、ディスクから戻ってくる磁束を
分散させるためには、Ｅ字型の形状とすることが望まし
い。垂直磁気記録用のディスクを用いる場合、センター
コアからディスクに印加する磁界の磁束密度は高くする
とともに、ディスクからサイドコアに戻ってくる磁界の
磁束密度は低くするとノイズを抑制できるというメリッ
トがある。

【００１２】上記磁気コアにおいて、軟磁性膜には飽和
磁束密度の高い磁性膜を用いる。例えば、ＦｅＴａＮ、
ＦｅＴａＮＣｒ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＴａＣ等の磁性膜
を用いることができ、その膜厚は２〜６［μｍ］程度と
する。上記光磁気ヘッドに用いる磁気コアのコア間隔
は、２００〜５００［μｍ］の範囲で作製するが、狭く
するほうが磁気コアの小型化に寄与できるため、２００
≦コア間隔≦３００［μｍ］とすることが好ましい。な
お、コア間隔はセンターコア先端部とサイドコア先端部
の距離に相当し、ギャップともいう。

【００１３】センターコアが、軟磁性膜の両面にガラス
膜を介して軟磁性ブロックを接合させた構造を有する。
センターコアの後ろ側は磁性ブロックのバックコアを介
して磁性ブロックの２つのサイドコアと一体に構成され
いる。サイドコアはセンターコアからディスクに印加さ
れた磁界が戻ってくるバックパスとして機能する。巻線
は、ステップを設けたコアあるいはセンターコアに巻き
付ける。従って、磁気回路は、センターコア／ディスク
／サイドコア／バックコアを通りセンターコアに戻る経
路となる。磁性ブロックには、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、
Ｎｉ−Ｚｎフェライトなどの磁性材料を用いることが望
ましい。

【００１４】本発明では、Ｅ字型コアにおいて軟磁性膜
の両側に対象な構成を接合する。すると、センターコア
内での応力分布が左右対称となり打ち消し合って、軟磁
性膜／ガラス膜／コアという異なる材質を接合しても、
応力歪みによる磁気特性の劣化が抑制される。上記磁気
コアでは、センターコアの中心線上に薄い軟磁性膜を配
置しているため、センターコアの中心近傍で磁束密度が
最大である。一見するとセンターコアとディスク上で位
置制御することが難しいように思える。しかしながら、
ＶＣＭによって駆動したサスペンション／スライダーと
本願の磁気コアを組み合わせることで、高精度な位置決
めで高飽和磁束密度の磁界をディスクに印加する光磁気
記録が可能になる。

【００１５】望ましくは、本発明の光磁気ヘッドのスラ
イダーをＶＣＭ（ボイス コイルモーター）で駆動する
サスペンションに設けるとともに、ＶＣＭの駆動軸（回
転軸）とスライダーの間に少なくとも１以上のアクチュ
エータを設けることで、より精密な位置制御で光磁気ヘ
ッドをディスク上に配置できる。このアクチュエータと
しては次のタイプが挙げられる。１つ目のタイプはサス
ペンションの途中に関節を設け、この関節を小型の磁石
あるいはＶＣＭで駆動するタイプである。２つ目のタイ
プはスライダーとサスペンションの間に静電力あるいは
磁力で駆動するマイクロアクチュエータを設けるタイプ
である。３つ目のタイプは、スライダー自体が位置ズレ
を補正するアクチュエータとなって変形するタイプであ
る。これらの内、駆動周波数のマッチングを考慮すると
２つ目のタイプと上記光磁気ヘッドを組み合わせること
で、高い駆動周波数に対応できる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明に係る
光磁気ヘッドを説明する。図１から図３の各々は本発明
の光磁気ヘッドが有する磁気コアの一実施形態に係る断
面図である。図４は、起磁力と磁界強度の関係を説明す
るグラフである。図５と図６は、これらの磁気コアを設
けたスライダーの概略図である。図７は本発明の光磁気
ヘッドに係る磁気コアの一実施形態に係る断面図であ
る。図８は本発明の光磁気ヘッドに係るサスペンション
の平面図である。図９は、図８のサスペンション付き光
磁気ヘッドをディスク上で浮上させた様子を説明する断
面図である。図１０は、本発明に係る磁気コアの製造方
法を説明する工程図である。図１１は、本発明に係る磁
気コアのステップ形状を説明する概略図である。

【００１７】まず、図１において磁気コアの一実施形態
を説明する。この磁気コアは、２個のコ字状コア１をつ
き合わせて接合させたＥ字型の磁気コア１０である。コ
ア１同士のつき合わせ面の間には、ガラス膜３と軟磁性
膜４とガラス膜３からなる３層膜を設けた。ガラス膜３
は軟磁性膜４とコア１を固定する接着膜として機能させ
た。Ｅ字型磁気コアのセンターコアは磁気コア１／ガラ
ス膜３／軟磁性膜４／ガラス膜３／磁気コア１の積層構
造体で構成させた。このセンターコアの媒体に対向する
先端部の両側には、ステップ６を形成した。コ字状のコ
ア１のセンターコア側と対向する側はサイドコアであ
り、サイドコアとセンターコアを結ぶ部分はバックコア
である。センターコアとサイドコアの間には強度を保持
するためのガラス部材５が構成することがあるが、この
ガラス部材５は磁気コア１０をスライダーに固定する際
に付加するものであり、磁気コア自体にガラス部材５を
付けることは必要に応じて選択的に行なえる。センター
コアの周囲に巻線コイル２を巻くことで磁気コア１０は
磁界発生手段として機能する。なお、コア１の材質はニ
ッケル亜鉛フェライトとした。軟磁性膜の材質はＦｅＴ
ａＮＣｒとした。

【００１８】図２に、本発明に係る磁気コアの他の一実
施形態を説明する。この磁気コアは、Ｌ字型のコアにＩ
字状（角棒状）のコアをつき合わせたコ字型のコア１で
ある。角Ｉ字状のコアのつき合わせ面側にはガラス膜３
と軟磁性膜４からなる２層膜を設けた。ガラス膜３は軟
磁性膜４とコア１を固定する接着膜として機能させた。
センターコアはＩ字状コア／ガラス膜３／軟磁性膜４の
積層構造体で構成させた。このセンターコアの媒体に対
向する先端部の片側には、ステップ６を形成した。Ｌ字
型のコアはサイドコアとバックコアからなる。センター
コアとサイドコアの間には強度を保持するためのガラス
部材５を設けた。なお、他の実施形態として、コ字型の
コアブロックの側面に軟磁性膜を設けた構造を用いる場
合、ガラス部材５を設けていない。

【００１９】図３に、本発明に係る磁気コアの他の一実
施形態を説明する。この磁気コア１は図１の磁気コアに
おいて、サイドコアの先端部に突出部を設けた構造であ
る。センターコアに向いた突出部を設けることによっ
て、センターコアとサイドコアの間の距離（ギャップ間
隔）を小さくすると共に、巻線コイル２をセンターコア
に巻き付ける空間を広く確保しておくことができる。突
出部を設けずに磁気コアの寸法を小さくしていくと、自
動コイル巻き装置を用いてセンターコアに巻線コイルを
巻き付けることが難しくなる。手作業で巻くことになる
と、製造工程に時間がかかりすぎる。

【００２０】上記図１、図２および図３に係る磁気コア
について、コア間隔が２００、２５０、３００、３５
０、４００、４５０、５００［μｍ］であるサンプルを
作製した。これらの寸法において、ステップと軟磁性膜
を設けていない磁気コア（比較例）と、本発明の磁気コ
ア比較した。図４に電流値によって変化させた起磁力と
磁界強度の関係を示す。図４の横軸は電流による起磁力
［ＡＴ］示し、縦軸は磁気コアの先端から３０μｍ下に
離れた位置で測定した磁界強度Ｈを示す。ここで下と
は、磁気コアの先端からみてディスクに向かう方向をい
う。本発明に係るＥ字型の磁気コアは、比較例の磁気コ
アにくらべて低い起電力でも十分な磁界が得られること
が判った。従って、高周波化しても電流を上げることな
く十分な磁界が得られる。また、この余裕を使ってコイ
ル巻き数を少なくすることができ、高周波でも動作する
磁気ヘッドを得ることもできる。

【００２１】図５に、本発明に係る磁気コアを設けたス
ライダーの概略３面図を示す。図５の（ａ）はスライダ
ーを浮上面からみた平面図である、図５の（ｂ）はスラ
イダーをＡ−Ａ断面でみた断面図である。図５の（ｃ）
はスライダーをトレーリング側からみた側面図である。
トレーリング側とは、スライダー１２から見て回転する
ディスクが出ていく側を指す。この光磁気ヘッドスライ
ダーは、セラミックの基板に２カ所の切り欠きを設け
た。１カ所目の切り欠きはスライダーの裏面（反浮上面
側の面）を壁面１３に沿ってトレーリング側に開口する
ように切り欠いて設けた凹み１４であり、スライダーに
磁気コア１０を設ける際に生じる歪みを緩和する機能を
有する。２カ所目の切り欠きはスライダーの浮上面１５
から前記凹み１４に貫通するスリットであり、固定用ガ
ラス１１ｂを介して本発明の磁気コアを固定する箇所で
ある。磁気コアはセンターコアのステップで絞った先端
部９の面が浮上面１５と一致するように固定した。

【００２２】図６に、本発明の他の実施形態に係るスラ
イダーの概略３面図を示す。図６の（ａ）はスライダー
を浮上面からみた平面図である、図６の（ｂ）はスライ
ダーの側面図である。図６の（ｃ）はスライダーをトレ
ーリング側からみた側面図である。この光磁気ヘッドス
ライダーは、セラミックの基板に４カ所の切り欠きを設
けた。１カ所目の切り欠きはスライダーの裏面（反浮上
面側の面）を壁面１３に沿ってトレーリング側に開口す
るように切り欠いて設けた凹み１４である。他の３カ所
の切り欠きは、図６の磁気コアの２つのサイドコア１ａ
と１つのセンターコア１ｃを、スライダーに固定用ガラ
ス１１ｂを介して接合する固定用溝である。磁気コア１
０ａはセンターコアのステップで絞った先端部９の面が
浮上面１５と一致するように固定した。図６のスライダ
ーに設けるタイプの磁気コアを図７に示す。図７の
（ａ）磁気コア１０ａは、スライダー１２の固定用溝１
２に挿入しやすいように、センターコアとサイドコアの
間が離隔されている。右側の図７（ｂ）の磁気コアはバ
ックコアがサイドコアと一体に形成されている。センタ
ーコアには巻線コイル１６を巻いた。

【００２３】図８に、サスペンションを設けた図６のス
ライダーを浮上面側から見た平面図を示す。サスペンシ
ョン１８とスライダー１２に間には、ピボットと呼ばれ
る凸部を有するジンバル１７が配置され、このジンバル
の撓みによって図中Ｘ軸やＹ軸に沿ったスライダーの傾
きに自由度を持たせてある。浮上面に露出した磁気コア
に係る寸法は次のようにした。すなわち、センターコア
と一方にサイドコアの距離ｇ１と、センターコアと他方
のサイドコアの距離ｇ２の各々は、３００［μｍ］とし
た。スライダーの寸法は、幅ｄｓが１．６［ｍｍ］、長
さは２．０［ｍｍ］とした。浮上面は、磁気コアの露出
面と固定用ガラスの面と一体となって１の面を構成して
いるが、図８中Ｙ軸の向きに沿ってクラウンを付けてあ
る。クラウンは浮上面のトレーリング側とその反対側の
端に比べて、浮上面の中心が厚くなっている面のことを
いう。

【００２４】図９は、図８のサスペンションをディスク
上で浮上させた様子を説明する断面図である。実際のデ
ィスクは基板上の多層膜を積層したものであるが、図９
では説明し易くするため、層の区別はせず、記録ビット
に相当するセルの断面を模式的に記載した。ｄｍは一つ
の記録ビットの幅に相当する。磁気コアのセンターコア
から発生させた磁界はレーザー光を照射したビットを中
心にディスクに印加される。このビットを突き抜けた磁
界は分散して、ディスクを通って二つのサイドコアの各
々に戻り、バックコアを通してセンターコアに戻る磁気
回路を構成する。

【００２５】記録動作は、ディスク１９上を浮上する光
磁気ヘッドスライダー１２において、巻線コイルに電流
を流して磁気コアから記録磁界を発生させた。これと同
時に、記録磁界を印加したセルに対して、ディスクの反
対側から集光レンズ２０で導かれたレーザー光を照射さ
せてビット磁化の向きを変えて信号の記録を行った。な
お、図９では記載を省略したが、ディスク１９はＹ方向
とは逆方向に高速で回転されており、その中心軸には軸
受けやスピンドルモーター等が連結されている。光磁気
記憶装置にはレーザー光発生装置や、それとレンズ２０
の間に設ける光路切替・導入部材なども搭載されてい
る。実施するパラメータは次のようにした。記録磁界の
周波数ｆ＝２０［ＭＨｚ］、媒体に印加する記録磁界は
１６［ｋＡ／ｍ］程度とした。また、ディスク装置のパ
ラメータは、記録密度が６．０ＧＢ／直径１２０ｍｍで
あり、トラックピッチ＝０．６［μｍ］、レーザー波長
＝６５０［ｎｍ］、光学系のＮＡが０．６であり、ディ
スク厚さ０．６または１．２［ｍｍ］、データ転送レー
ト＝１５．３〜３５．９［Ｍｂｐｓ］とした。

【００２６】データに合わせた記録磁界変調と、データ
クロックに合わせたレーザーパルス照射とを行うレーザ
ーパルス磁界変調方式（ＭＦＭ：Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｆ
ｉｅｌｄ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）で記録した。詳細に
いうと、レーザースポットをずらしながら重ね書きする
エクリプスレコーディングで高密度の書き込みを行っ
た。再生には、センターアパーチャ方式の磁気超解技術
を用いた。ここで使用したディスク（光磁気媒体）の記
録密度は、１．２〜６［ＧＢ／ｄｉｓｋ］程度の範囲の
ものを用いたが、６．０［ＧＢ］より記録密度が高く、
記録周波数２０［ＭＨｚ］以上のものについても有効で
ある。本発明の磁気コアを有する光磁気ヘッドを用いる
ことで、前記の光磁気媒体中の狭いビットに、小さく絞
った強い磁界を高周波で印加することができた。

【００２７】図１０の工程図で本発明の磁気コアの製造
方法を説明する。まず、長い角柱状のフェライトブロッ
クを準備し、このフェライトブロックにダイシングカッ
ターによる切削で溝を形成する。次に、スパッタリング
によって、このフェライトブロックの側面にガラス膜を
成膜し、そのガラス膜の上に軟磁性膜としてＦｅＴａＮ
Ｃｒ膜を成膜して、第１のフェライトブロックとした。
ガラス膜のときのスパッタ装置内の雰囲気はアルゴンと
したが、ＦｅＴａＮＣｒ膜のときの雰囲気はアルゴンと
窒素を混合したものとした（ステップｓ１）。なお、同
様の手法で溝を設けたフェライトブロックの側面にガラ
ス膜のみを設けた第２フェライトブロックも作製した。

【００２８】次に、第１のフェライトブロックのＦｅＴ
ａＮＣｒ膜の面と、第２のフェライトブロックのガラス
膜の面とをつき合わせて、治具で固定した。つき合わせ
の際にはフェライトブロックの溝を設けてない側の面を
同一平面上に一致させた。このようにして治具固定した
２個のフェライトブロックを加熱装置内に導入して熱処
理した。この熱処理によりガラス膜は軟化状態を経て、
熱処理終了に伴う冷却で再硬化し、フェライトブロック
と軟磁性膜を一体となって固着できた。以上の工程でＥ
字型のフェライトブロックを得た（ステップｓ２）。

【００２９】次に、Ｅ字型フェライトブロックの中央に
あるセンターコアについて、先端部の両側を切削加工し
てステップを設けた。この切削は、Ｅ字型フェライトブ
ロックの長手方向に平行な向きに沿ってセンターコアの
一方に端面にマイクログラインダーを当てて行った。続
けて他方の端面にも同様にステップを切削で形成した
（ステップｓ３）。次に、Ｅ字型フェライトブロックの
両方の溝にガラス部材５を設けて、熱処理でこれを固定
した（ステップｓ４）。続けて、Ｅ字型のフェライトブ
ロックを、その長手方向に直交する面に沿ってワイヤー
ソーで切断し、Ｅ字型の磁気コア１０を得た（ステップ
ｓ５）。なお、ガラス部材５を要しないタイプの磁気コ
アを作製する場合には、ステップｓ４を省略して、ステ
ップｓ３からステップｓ５に直行した。

【００３０】図１１に、本発明に係る磁気コアに設けた
ステップ形状を示す。図１１（ａ）はセンターコアのフ
ェライトの先端部を拡大した斜視図である。この薄くさ
れた先端部６には、平面６ａと曲面６ｂと平面６ｃから
なるステップが設けられた。平面６ａは先端部のステッ
プを設けない側の面に平行な面（ＸＺ平面）とした。図
１１（ｂ）は（ａ）の先端部のＹＺ平面でみた断面図で
ある。平面６ａと平面６ｃが成す角度θは９０°≦θ＜
１５０°とすることが望ましい。図１１（ｃ）は異なる
形状のステップを設けた先端部を説明する断面図であ
る。磁気コアの先端部から生じる磁界をさらに絞るため
には、ステップの構造を次のように規定する。

【００３１】ステップの縦横寸法は、縦方向がステップ
深さ５０〜１５０［μｍ］の範囲内に相当し、横方向が
磁気コア先端部の厚さ５０〜１００［μｍ］の範囲内に
相当するように加工した。磁気コアの元の幅を削って磁
気コア先端部のステップを形成する削り幅は２０〜３０
［μｍ］程度とした。これらの寸法範囲において、セン
ターコア内における磁束の流れを効率的に絞り、高周波
磁界に対応するために次の構成も付加した。すなわち、
図１１（ｂ）のタイプについては、θが１００、１１
５、１２０、１３０［°］のサンプルを作製して、良好
な特性を得た。図１１（ｃ）のタイプについては、サン
プル（１）やサンプル（２）について、ｒ＝１５、２
０、３０、４０、５０［μｍ］のものを作製し良好な特
性を得た。サンプル（３）、サンプル（４）あるいはサ
ンプル（５）については屈曲面の箇所に沿ってコア内に
磁壁が生じて、センターコアから磁界を発生させる際の
効率が低下した。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明の構成を用い
ることにより、小さな起磁力でも強い磁界をディスクに
印加できる高効率の光磁気ヘッドを得た。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光磁気ヘッドが有する磁気コアの一実
施形態に係る断面図である。

【図２】本発明の光磁気ヘッドが有する磁気コアの一実
施形態に係る断面図である。

【図３】本発明の光磁気ヘッドが有する磁気コアの一実
施形態に係る断面図である。

【図４】光磁気ヘッドにおける起磁力と磁界強度の関係
を説明するグラフである。

【図５】本発明に係る磁気コアを設けたスライダーの概
略図である。

【図６】本発明に係る磁気コアを設けたスライダーの概
略図である。

【図７】本発明の光磁気ヘッドが備える磁気コアの一実
施形態に係る断面図である。

【図８】本発明の光磁気ヘッドに係るサスペンションの
平面図である。

【図９】図８のサスペンションをディスク上で浮上させ
た様子を説明する断面図である。

【図１０】本発明に係る磁気コアの製造方法を説明する
工程図である。

【図１１】本発明に係る磁気コアのステップ形状を説明
する概略図である。

【符号の説明】

１ コア、 ２ 巻線コイル、 ３ ガラス膜、 ４
軟磁性膜、５ ガラス部材、６ ステップ、６ａ 平
面、６ｂ 曲面、６ｃ 平面、９ 先端部、１０ 磁気
コア、１１ スリット、１１ｂ 固定用ガラス、 １２
スライダー、 １３ 壁面、１４ 凹み、 １５ 浮
上面、 １６ 巻線コイル、 １７ ジンバル、１８
サスペンション、 １９ 光磁気媒体、 ２０ 集光レ
ンズ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D075 AA03 BB04 CC04 CF03 5D091 AA08 CC20 CC24 HH20 5D093 AA03 AD05 BA15 BE15

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 センターコアと、センターコアの長手方
   向に沿って設けた軟磁性膜と、前記センターコアの先端
   に設けたステップと、前記センターコアに巻いたコイル
   とを備えることを特徴とする光磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 コ字状のコアと、前記コアの側面に設け
   た軟磁性膜を備え、前記軟磁性膜とコアの間にガラス膜
   を有し、前記コアの先端部にステップを設けたことを特
   徴とする光磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 前記ステップが曲面を含み、該曲面の曲
   率半径ｒは１５≦ｒ≦５０［μｍ］の範囲とすることを
   特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の光磁気
   ヘッド。