JP2000348664A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料をプラズマ化してイオンを生成するイオン源と、
該イオン源から生成したイオンを取り込むイオン取込み部と、
該イオン取込み部から取り込まれたイオンを引き出して収束する収束レンズ部と、
該収束レンズ部で収束されたイオンを偏向レンズにより偏向して質量分析部に導入するイオン偏向部とからなり、
前記イオン取込み部と収束レンズ部との間にゲートバルブが設けられた質量分析装置において、
制御装置と表示装置と記憶装置とを備えた画像処理装置を有し、
前記制御装置は、前記表示装置の表示画面に前記イオン源と前記イオン取込み部と前記ゲートバルブと前記収束レンズ部と前記イオン偏向部とを備えた装置構成の画像を表示し、
イオン取り込みが行われ、かつ前記ゲートバルブが閉鎖されているときには、取り込まれたイオンを表示するイオン子を前記ゲートバルブまでの通路で躍動せしめる表示を前記装置構成の画像に行い、
前記ゲートバルブが開放され、前記質量分析部への通路が閉鎖されているときには、イオン子を前記イオン偏向部までの通路で躍動せしめてる表示を前記装置構成の画像に行う
ことを特徴とする質量分析装置。
【請求項２】
前記請求項１記載の質量分析装置において、
前記質量分析部における分析が行われているときには、イオン子を前記質量分析部まで躍動せしめる表示を前記装置構成の画像に行う
ことを特徴とする質量分析装置。
【請求項３】
前記請求項１記載の質量分析装置において、
前記質量分析装置は、前記イオン取込み部の入口に小孔を有するスキマーを備え、前記イオン源にアルゴン（Ａｒ）ガスが、そして質量分析部にヘリウム（Ｈｅ）ガスが導入されるようにされる質量分析装置であって、
前記制御装置は、前記表示装置の表示画面に前記装置構成の画像を表示し、
該装置構成の画像にアルゴンガスおよびヘリウムガスの導入が行なわれていることを表示し、
かつ該表示が行なわれていることを前提として前記装置構成の画像の前記イオン源に該イオン源から前記スキマーの小孔にその先端部が達するプラズマ画を模擬燃焼表示する
ことを特徴とする質量分析装置。
【請求項４】
前記請求項３記載の質量分析装置において、
前記制御装置は、アルゴンガスのためのアルゴンガスボンベを前記装置構成の画像に表示し、該アルゴンガスボンベをアルゴンガス導入時、欠乏時および消費時に分けて識別表示することを特徴とする質量分析装置。
【請求項５】
前記請求項１から４記載のいずれかの質量分析装置において、
前記制御装置は、前記装置構成の画像に隣接して、各種検知状態、イオン引き出し状態、イオンシールド状態、イオン源に使用するトーチの使用状態および試料投入のためのペリスタポンプ状態を表示する
ことを特徴とする質量分析装置。