JP2000348896A - プラズマ発生方法、プラズマ発生装置及びプラズマ反応によるガス処理方法 - Google Patents

プラズマ発生方法、プラズマ発生装置及びプラズマ反応によるガス処理方法

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JP2000348896A
JP2000348896A JP2000015675A JP2000015675A JP2000348896A JP 2000348896 A JP2000348896 A JP 2000348896A JP 2000015675 A JP2000015675 A JP 2000015675A JP 2000015675 A JP2000015675 A JP 2000015675A JP 2000348896 A JP2000348896 A JP 2000348896A
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plasma
gas
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Ikuo Nakajima
生朗 中嶋
Toshimoto Nishiguchi
敏司 西口
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 大気圧下において、安定かつ均一なグロー放
電を極めて小さい印加電圧で発生させる。 【解決手段】 交流電源に接続される電極４と接地電極
５とからなる電極対を有するプラズマ発生装置におい
て、前記電極対の間にチタン酸バリウムを有する無機誘
電体８が充填されており、前記電極対の間に交流電界を
印加することにより大気圧下でグロー放電を発生させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ発生装置
及びプラズマ発生方法に関し、さらに詳しくは、大気圧
下で空気中においても安定かつ均一なグロー放電を発生
することができるプラズマ発生装置及びそれを用いたプ
ラズマ発生方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】大気圧下において放電を発生させる方法
は数多く開発されており、その放電方法は、無声放電、
沿面放電、パルスコロナ放電等に大別される。無声放電
は、オゾン発生器として知られいる。沿面放電は、セラ
ミックス等の無機物表面とその内部に電極を形成し、そ
の電極間に交流電界を印加することによりセラミックス
の表面に放電を発生させるものである。パルスコロナ放
電は、電極におけるプラズマの立ち上がり時間が１０ｎ
ｓｅｃから５０ｎｓｅｃと速く、半値幅５０ｎｓｅｃか
ら５００ｎｓｅｃの極短パルス高電圧を印加することに
よりストリーマコロナを電極空間に発生させるものであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の放電装置及び放電方法には、以下のような問題
が生ずる場合があった。
【０００４】無声放電は、放電装置の電極間距離が数ｍ
ｍ程度と非常に狭いことから、大量のガス中において安
定した放電を得るためには多くの反応器を用意する必要
がある場合があった。
【０００５】また、沿面放電は、その放電が極めて部分
的である。
【０００６】また、パルスコロナ放電は、その放電装置
に使用される電源、電極等が高価である。
【０００７】また、放電装置の電極の工夫により大気圧
下において安定したグロー放電を発生させる方法も提案
されているが、ヘリウムあるいはアルゴンといった高価
なガスを必要としたり、大気圧下におけるグロー放電の
安定な放電部分が狭かった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点に
鑑みてなされたものである。
【０００９】すなわち、本発明は、安定したプラズマ放
電を安価に発生することのできる装置又は方法、さらに
はプラズマ反応によるガス処理方法を提供することを目
的としている。また、ヘリウムあるいはアルゴンといっ
た高価なガスを用いることなく、大気圧下において安定
したプラズマ放電を発生することのできる装置又は方
法、さらには分解困難な有機化合物等を安価かつ容易に
分解できるプラズマ反応によるガス処理方法を提供する
ことを目的としている。
【００１０】このため、本発明のプラズマ発生装置は、
交流電源に接続される電極と接地電極とからなる電極対
の間に、チタン酸バリウムを主成分とする無機誘電体が
充填されていることを特徴とする。
【００１１】また、本発明のプラズマ発生装置は、交流
電源に接続される電極と接地電極とからなる電極対の間
に、誘電率が１０００から１００００である無機誘電体
が充填されていることを特徴とする。
【００１２】また、本発明のプラズマ発生方法は、交流
電源に接続される電極と接地電極とからなる電極対の間
にチタン酸バリウムを主成分とする無機誘電体を充填
し、前記電極対の間にガスを導入し、前記電極対の間に
前記交流電源により交流電界を印加して大気圧下でグロ
ー放電を発生させることを特徴とする。前記ガスは空気
を主成分とすることが好ましく、有機化合物若しくは塩
素系有機化合物を含有していてもよい。
【００１３】さらに、本発明のプラズマ発生方法は、交
流電源に接続される電極と接地電極とからなる電極対の
間に誘電率が１０００から１００００である無機誘電体
を充填し、前記電極対の間にガスを導入し、前記電極対
の間に前記交流電源により交流電界を印加して大気圧下
でグロー放電を発生させることを特徴とする。前記ガス
は空気を主成分とすることが好ましく、有機化合物若し
くは塩素系有機化合物を含有していてもよい。
【００１４】また、本発明のプラズマ反応によるガス処
理方法は、交流電源に接続される電極と接地電極とから
なる電極対の間にチタン酸バリウムを主成分とする無機
誘電体を充填し、前記電極対の間に有機化合物を含有す
るガスを導入し、前記電極対の間に前記交流電源により
交流電界を印加して大気圧下でグロー放電を発生させる
ことにより、前記有機化合物を分解することを特徴とす
る。前記ガスは空気を主成分とすることが好ましい。ま
た、前記有機化合物は塩素系有機化合物であってもよ
い。
【００１５】さらに、本発明のプラズマ反応によるガス
処理方法は、交流電源に接続される電極と接地電極とか
らなる電極対の間に誘電率が１０００から１００００で
ある無機誘電体を充填し、前記電極対の間に有機化合物
を含有するガスを導入し、前記電極対の間に前記交流電
源により交流電界を印加して大気圧下でグロー放電を発
生させることにより、前記有機化合物を分解することを
特徴とする。前記ガスは空気を主成分とすることが好ま
しい。また、前記有機化合物は塩素系有機化合物であっ
てもよい。
【００１６】上記本発明のプラズマ発生装置、プラズマ
発生方法、若しくはプラズマ反応によるガス処理方法に
おいて、前記無機誘電体は、粒状体であることが好まし
い。
【００１７】前記粒状体の形状は、球状、ペレット状、
角状、不安定形状であることが好ましい。
【００１８】前記交流電源に接続される電極と接地電極
のいずれか一方が円筒状であることが好ましい。
【００１９】上記のように、本発明のプラズマ発生装置
及び発生方法、そしてプラズマ反応によるガス処理方法
は、電極対間に上記無機誘電体を充填することから、大
気圧下においてもグロー放電を発生させることができ
る。
【００２０】また、粒状体の無機誘電体を用いることに
より、隣り合う粒状体間に空隙ができ、この空隙が非常
に小さいために酸素、窒素等の放電開放電圧が大きいガ
ス中であっても、極めて小さい印加電力で安定かつ均一
なグロー放電を発生させることができる。ヘリウムやア
ルゴンといった高価なガスは不要である。
【００２１】さらに、放電は部分的ではなく、粒状体間
の空隙各々において放電が発生する。また、多数の反応
器を用意する必要がない。さらに、５０Ｈｚの商用周波
数の交流電源でも放電を発生させることができることか
ら、安価に装置を構成できる。また、通常のガス処理方
法では分解困難な有機化合物等のガスを、上記プラズマ
反応によって、安価かつ容易に、より安全性の高いそし
て処分の容易な物質に分解することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明を詳細
に説明する。
【００２３】図１は、本発明に係るプラズマ発生装置の
一例を示す回路図である。反応器１の電極対１０のうち
接地電極５は接地されており、他方の電極１１は交流電
源３に接続されている。電流計２は、反応器１内での放
電の発生を確認するために反応器１と交流電源３の間に
接続されている。放電に必要な交流電源３の周波数とし
ては所望の放電を発生させることができれば特に制限は
ないが、例えば、５０Ｈｚ、６０Ｈｚの商用周波数が使
用でき、あるいは、ＭＨｚオーダーなどの高周波（例え
ばＲＦ周波数１３．５６ＭＨｚ）の範囲でも使用でき
る。
【００２４】図２は、本発明に係るプラズマ発生装置を
構成する反応器の一例を示す斜視図である。反応器１の
反応管電極４は、電極対のうちの一方の電極であり、交
流電源（不図示）に接続されている。電極対の他方の電
極である接地電極は反応器１内に設けられ、接地されて
いる。ガスパイプ１２はガスを反応器１の内部に導入又
は外部に導出させるためのパイプである。図中の矢印は
ガスの流通経路を示している。
【００２５】アウターフランジ６は、反応管電極４とで
反応器１を形成し、反応管電極４からのガスの漏れがな
いように反応管電極４に密着される。アウターフランジ
６の中心部にはガスパイプ１２が通るような孔が形成さ
れている。
【００２６】反応管電極４は導電体若しくは反応器１の
内面側に導電体を有するものであり、その材料としては
ＳＵＳ、銅、真鍮、鉄、アルミニウム、タングステン、
ニッケル等が好適である。また、アウターフランジ６は
絶縁体であり、その材料としてはナイロン、塩化ビニ
ル、テフロン、ポリエチレン、ＰＥＴ、ポリイミド、ポ
リサルフォン、エポキシ等の有機物やガラス、セラミッ
クス等の無機物が好適である。
【００２７】図３は、図２に示される反応器のＸ−Ｘ'
における概略断面図である。インナーフランジ７は、反
応器１の中に配置されている。インナーフランジ７の中
心部にはガスパイプ１２が通るような孔が形成されてい
る。インナーフランジ７は絶縁体であり、その材料とし
てはナイロン、塩化ビニル、テフロン、ポリエチレン、
ＰＥＴ、ポリイミド、ポリサルフォン、エポキシ等の有
機物やガラス、セラミックス等の無機物が好適である。
【００２８】無機誘電体８は粒状体が好適であり、２つ
のインナーフランジ７と反応管電極４と接地電極５の間
に充填されている。無機誘電体８は密に充填されること
が好ましい。密に充填することにより、放電の安定化を
図ることができる。無機誘電体８としては誘電率１００
０から１００００の無機誘電体が好適であり、チタン酸
バリウムを主成分とする無機誘電体がより好ましい。チ
タン酸バリウムを主成分とする無機誘電体としては、チ
タン酸バリウム、又はチタン酸バリウムＢａＴｉＯ3に
ＴｉＯ2，ＳｉＯ2，Ａｌ2Ｏ3，Ｂｉ2Ｏ3等といった成分
のいずれか若しくはこれらの成分の組み合せを添加した
ものがあげられる。無機誘電体８の大きさは用途により
異なるが、粒状体の重心を通る軸線の長さが０．１ｍｍ
から数十ｍｍ程度の範囲の大きさのものが好適であり、
０．１ｍｍから５０ｍｍ程度の範囲の大きさのものがよ
り好ましい。また、その形状は球状、ペレット状、角
状、不安定形状のいずれでもよい。
【００２９】反応管電極４と接地電極５の間に交流電界
を印加した際に生じる現像のメカニズムは定かではない
が、本発明らは各無機誘電体８間で分極が起こり、ｎｓ
ｅｃオーダーのパルス状マイクロディスチャージが発生
すると推定している。このマイクロディスチャージによ
り隣り合う粒状体の無機誘電体８により形成される空隙
に存在するガスがプラズマ化すると考えられる。また、
この空隙は非常に小さいため、酸素、窒素等の放電開始
電圧が大きいガス中においても、極めて小さい印加電力
で安定かつ均一なグロー放電を大気圧下で発生させるこ
とができる。
【００３０】無機誘電体８と接触する部分のインナーフ
ランジ７には、ガスが流通できるように１ｍｍから２ｍ
ｍ程度の孔が多数形成されている。
【００３１】接地電極５は導電体であり、その材料とし
てはＳＵＳ、銅、真鍮、鉄、アルミニウム、タングステ
ン、ニッケル等が好適である。接地電極５の両端にガス
パイプ１２が溶接等の方法により接続されている。ガス
パイプ１２の材料としては導電体及び絶縁体を用いるこ
とができ、特にＳＵＳ、銅、真鍮、鉄、アルミニウム、
タングステン、ニッケル等の導電体を用いた場合には、
接地電極５とガスパイプ１２は導通することから、接地
電極５とガスパイプ１２とを一体化することができる。
この場合は、ガスパイプ１２を接地することにより接地
電極５を接地することができる。
【００３２】なお、接地電極５に交流電源を接続し、反
応管電極４を接地してもよい。これにより交流電源とし
て高周波を用いる場合には、接地された反応管電極４に
より電磁波の漏れを防止することができる。この際、ガ
スパイプ１２としては、電磁波の漏れの防止のため、絶
縁体が好適である。
【００３３】ガスパイプ１２のうち、アウターフランジ
６とインナーフランジ７の間の部分には、ガスの経路と
して１ｍｍから２ｍｍ程度の孔が形成されている。
【００３４】ガスは一方のガスパイプ１２を通って反応
器１内に流入する。次に、ガスパイプ１２の孔及びイン
ナーフランジ７の孔を通って無機誘電体８が充填された
部分に流入する。そして、無機誘電体８を通過して他方
のインナーフランジ７の孔及び他方のガスパイプ１２の
孔を通って、反応器１から流出する。
【００３５】ガスが隣り合う無機誘電体８により形成さ
れる空間部分に滞留している間に、反応管電極４と接地
電極５の間に交流電界が印加されると、該空間部分でグ
ロー放電が生起される。ここで生起されたグロー放電に
よってガスに含まれる有機化合物等を分解することがで
き、例えば排ガス処理等を行うことができる。なお、有
機化合物は塩素系有機化合物であってもよい。
【００３６】図４は、図１に示される反応器のＹ−Ｙ'
における概略断面図である。図４に示されるようにその
構成は円筒の中心部から外側に接地電極５、無機誘電体
８、反応管電極４の順となっている。
【００３７】
【実施例】以下、実施例を示すことにより本発明をさら
に詳しく説明するが、本発明は以下の実施例によって限
定されるものではない。
【００３８】（実施例１）図１から図４を用いて説明し
たプラズマ発生装置において、ＳＵＳ製の内径８０ｍｍ
φ、長さ３００ｍｍの反応管電極４、ＳＵＳ製の外径４
０ｍｍφの接地電極５、ＳＵＳ製のガスパイプ１２、テ
フロン製のアウターフランジ６、テフロン製のインナー
フランジ７を使用した。無機誘電体８としては、誘電率
５０００で直径２ｍｍφの粒状体のチタン酸バリウムペ
レットを使用し、約２００ｇを充填した。ガスとしては
乾燥空気を用い、５００ｍｌ／分の流量で流通させた。
反応管電極４と接地電極５の間に５０Ｈｚ、４ｋＶの交
流電界を印加すると放電が起こり、電流計２は５０ｍＡ
を示した。本実施例により、空気のような放電開始電圧
の大きいガス中においてもプラズマが発生したことが分
かった。
【００３９】（比較例１）無機誘電体８を反応器１に充
填しないこと以外は実施例１と同様にして交流電界を印
加したが、電流計２には電流が流れず、放電は起こらな
かった。
【００４０】（比較例２）無機誘電体８として、誘電率
１０で直径２ｍｍφの粒状体の酸化アルミニウム（Al2O
3）ペレットを用いる以外は実施例１と同様にして、交
流電界を印加したが、電流計２には電流が流れず、放電
は起こらなかった。
【００４１】（実施例２）無機誘電体８として誘電率１
００００のチタン酸バリウムを用いる以外は実施例１と
同様にして交流電界を印加したところ、放電が起こり、
電流計２は１５０ｍＡを示した。
【００４２】（実施例３）無機誘電体８として誘電率１
０００のチタン酸バリウムを用いる以外は実施例１と同
様にして交流電界を印加したところ、放電が起こり、電
流計２は３０ｍＡを示した。
【００４３】（実施例４）無機誘電体８として誘電率３
０００のチタン酸バリウムを用いる以外は実施例１と同
様にして交流電界を印加したところ、放電が起こり、電
流計２は４０ｍＡを示した。
【００４４】実施例１から実施例４及び比較例1及び比
較例２の結果を表１にまとめる。
【００４５】実施例１から実施例４においては、いずれ
も無機誘電体８としてチタン酸バリウムを用いており、
いずれの場合も放電が確認された。しかし、比較例１に
おいては、無機誘電体８を反応器１に充填しておらず、
放電は起こらなかった。また、比較例２においては、無
機誘電体８として誘電率１０の酸化アルミニウムを用い
ており、放電は起こらなかった。
【００４６】（実施例５）無機誘電体８として誘電率１
０００、３０００、５０００、１００００のチタン酸バ
リウムを用いて、印加電圧を２ｋＶから８ｋＶの範囲で
印加し、実施例１と同様に放電を生起させた。本実施例
により得られた誘電率、印加電圧及び電流計の示した電
流値の関係を表２及び図５に示す。図５より、誘電率が
大きいほど、同じ印加電圧に対して流れる電流が増大す
る傾向があることが分かった。このことから、誘電率が
大きいほど、同じ印加電圧に対してエネルギーの高いプ
ラズマが生起されているものと考えられる。特に、誘電
率５０００以上においては、同じ印加電圧に対して流れ
る電流の増大の割合が大きくなった。
【００４７】（実施例６）ガスとしてメタノール３００
ｍｇ／ｌを含有する空気を、５リットル／分の流量で反
応器１に流通させる以外は実施例１と同様にして交流電
界を印加したところ、放電が起こり、プラズマが発生し
た。反応器１の出口から流出するガスの種類及び濃度を
ガスクロマトグラフ質量分析計により測定したところ、
メタノールの濃度が５ｍｇ／ｌに減少していた。メタノ
ール以外には、酸素、窒素、二酸化炭素がそれぞれ検出
された。本実施例により、プラズマの発生によってメタ
ノールが分解されたことが分かった。
【００４８】（実施例７）ガスとしてジクロロメタン５
０ｍｇ／ｌを含有する空気を、１リットル／分の流量で
反応器１に流通させる以外は実施例１と同様にして交流
電界を印加したところ、放電が起こり、プラズマが発生
した。反応器１の出口から流出するガスの種類及び濃度
をガスクロマトグラフ質量分析計により測定したとこ
ろ、ジクロロメタンは検出されず、塩化水素、酸素、窒
素、二酸化炭素がそれぞれ検出された。本実施例によ
り、プラズマの発生によってジクロロメタンが分解され
たことが分かった。
【００４９】（実施例８）ガスとしてテトラクロロエチ
レン５０ｍｇ／ｌを含有する空気を、１リットル／分の
流量で反応器１に流通させる以外は実施例１と同様にし
て交流電界を印加したところ、放電が起こり、プラズマ
が発生した。反応器１の出口から流出するガスの種類及
び濃度をガスクロマトグラフ質量分析計により測定した
ところ、テトラクロロエチレンは検出されず、塩化水
素、酸素、窒素、二酸化炭素がそれぞれ検出された。本
実施例により、プラズマの発生によってテトラクロロエ
チレンが分解されたことが分かった。
【００５０】実施例６、７、８において、通常の方法で
は分解が困難、若しくは分解コストが高いような有機化
合物を、安価かつ確実に、酸素、窒素等の処分が容易な
そしてより安全性の高い物質へと分解することができ
た。
【００５１】
【表１】
【００５２】
【表２】
【００５３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
大気圧下において安定かつ均一のグロー放電を極めて小
さい印加電圧で安価に発生させることが可能である。ま
た、空気を主成分とするガス中においても放電の発生が
可能である。さらに、空気中に含有される有機溶剤や塩
素系有機溶剤を安価かつ容易に酸素、窒素、塩化水素等
の処分容易な物質へと分解することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプラズマ発生装置の一例を示す回
路図である。
【図２】本発明に係るプラズマ発生装置を構成する反応
器の一例を示す斜視図である。
【図３】図１に示される反応器のＸ−Ｘ'における概略
断面図である。
【図４】図１に示される反応器のＹ−Ｙ'における概略
断面図である。
【図５】誘電率による電流・電圧特性を示す図である。
【符号の説明】
１ 反応器 ２ 電流計 ３ 交流電源 ４ 反応管電極 ５ 接地電極 ６ アウターフランジ ７ インナーフランジ ８ 無機誘電体 ９ 孔 １０ 電極対 １１ 電極 １２ ガスパイプ

Claims (37)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 交流電源に接続される電極と接地電極と
    からなる電極対を有するプラズマ発生装置において、前
    記電極対の間にチタン酸バリウムを主成分とする無機誘
    電体が充填されていることを特徴とするプラズマ発生装
    置。
  2. 【請求項２】 前記無機誘電体の誘電率が１０００から
    １００００であることを特徴とする請求項１に記載のプ
    ラズマ発生装置。
  3. 【請求項３】 前記無機誘電体が粒状体であることを特
    徴とする請求項１又は２に記載のプラズマ発生装置。
  4. 【請求項４】 前記粒状体の形状が球状、ペレット状、
    角状、不安定形状であることを特徴とする請求項３に記
    載のプラズマ発生装置。
  5. 【請求項５】 前記交流電源に接続される電極と接地電
    極のいずれか一方が円筒状であることを特徴とする請求
    項１乃至４に記載のプラズマ発生装置。
  6. 【請求項６】 交流電源に接続される電極と接地電極と
    からなる電極対を有するプラズマ発生装置において、前
    記電極対の間に誘電率が１０００から１００００である
    無機誘電体が充填されていることを特徴とするプラズマ
    発生装置。
  7. 【請求項７】 前記無機誘電体が粒状体であることを特
    徴とする請求項６に記載のプラズマ発生装置。
  8. 【請求項８】 前記粒状体の形状が球状、ペレット状、
    角状、不安定形状であることを特徴とする請求項７に記
    載のプラズマ発生装置。
  9. 【請求項９】 前記交流電源に接続される電極と接地電
    極のいずれか一方が円筒状であることを特徴とする請求
    項６乃至８に記載のプラズマ発生装置。
  10. 【請求項１０】 交流電源に接続される電極と接地電極
    とからなる電極対の間にチタン酸バリウムを主成分とす
    る無機誘電体を充填し、前記電極対の間にガスを導入
    し、前記電極対の間に前記交流電源により交流電界を印
    加して大気圧下でグロー放電を発生させることを特徴と
    するプラズマ発生方法。
  11. 【請求項１１】 前記ガスが空気を主成分とすることを
    特徴とする請求項１０に記載のプラズマ発生方法。
  12. 【請求項１２】 前記ガスが有機化合物を含有すること
    を特徴とする請求項１０又は１１に記載のプラズマ発生
    方法。
  13. 【請求項１３】 前記ガスが塩素系有機化合物を含有す
    ることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のプラズ
    マ発生方法。
  14. 【請求項１４】 前記無機誘電体の誘電率が１０００か
    ら１００００であることを特徴とする請求項１０乃至１
    ３に記載のプラズマ発生方法。
  15. 【請求項１５】 前記無機誘電体が粒状体であることを
    特徴とする請求項１０乃至１４に記載のプラズマ発生方
    法。
  16. 【請求項１６】 前記粒状体の形状が球状、ペレット
    状、角状、不安定形状であることを特徴とする請求項１
    ５に記載のプラズマ発生方法。
  17. 【請求項１７】 前記交流電源に接続される電極と接地
    電極のいずれか一方が円筒状であることを特徴とする請
    求項１０乃至１６に記載のプラズマ発生方法。
  18. 【請求項１８】 交流電源に接続される電極と接地電極
    とからなる電極対の間に誘電率が１０００から１０００
    ０である無機誘電体を充填し、前記電極対の間にガスを
    導入し、前記電極対の間に前記交流電源により交流電界
    を印加して大気圧下でグロー放電を発生させることを特
    徴とするプラズマ発生方法。
  19. 【請求項１９】 前記ガスが空気を主成分とすることを
    特徴とする請求項１８に記載のプラズマ発生方法。
  20. 【請求項２０】 前記ガスが有機化合物を含有すること
    を特徴とする請求項１８又は１９に記載のプラズマ発生
    方法。
  21. 【請求項２１】 前記ガスが塩素系有機化合物を含有す
    ることを特徴とする請求項１８又は１９に記載のプラズ
    マ発生方法。
  22. 【請求項２２】 前記無機誘電体が粒状体であることを
    特徴とする請求項１８乃至２１に記載のプラズマ発生方
    法。
  23. 【請求項２３】 前記粒状体の形状が球状、ペレット
    状、角状、不安定形状であることを特徴とする請求項２
    ２に記載のプラズマ発生方法。
  24. 【請求項２４】 前記交流電源に接続される電極と接地
    電極のいずれか一方が円筒状であることを特徴とする請
    求項１８乃至２３に記載のプラズマ発生方法。
  25. 【請求項２５】 交流電源に接続される電極と接地電極
    とからなる電極対の間にチタン酸バリウムを主成分とす
    る無機誘電体を充填し、前記電極対の間に有機化合物を
    含有するガスを導入し、前記電極対の間に前記交流電源
    により交流電界を印加して大気圧下でグロー放電を発生
    させることにより、前記有機化合物を分解することを特
    徴とするプラズマ反応によるガス処理方法。
  26. 【請求項２６】 前記ガスが空気を主成分とすることを
    特徴とする請求項２５に記載のプラズマ反応によるガス
    処理方法。
  27. 【請求項２７】 前記有機化合物が塩素系有機化合物で
    あることを特徴とする請求項２５又は２６に記載のプラ
    ズマ反応によるガス処理方法。
  28. 【請求項２８】 前記無機誘電体の誘電率が１０００か
    ら１００００であることを特徴とする請求項２５乃至２
    ７に記載のプラズマ反応によるガス処理方法。
  29. 【請求項２９】 前記無機誘電体が粒状体であることを
    特徴とする請求項２５乃至２８に記載のプラズマ反応に
    よるガス処理方法。
  30. 【請求項３０】 前記粒状体の形状が球状、ペレット
    状、角状、不安定形状であることを特徴とする請求項２
    ９に記載のプラズマ反応によるガス処理方法。
  31. 【請求項３１】 前記交流電源に接続される電極と接地
    電極のいずれか一方が円筒状であることを特徴とする請
    求項２５乃至３０に記載のプラズマ反応によるガス処理
    方法。
  32. 【請求項３２】 交流電源に接続される電極と接地電極
    とからなる電極対の間に誘電率が１０００から１０００
    ０である無機誘電体を充填し、前記電極対の間に有機化
    合物を含有するガスを導入し、前記電極対の間に前記交
    流電源により交流電界を印加して大気圧下でグロー放電
    を発生させることにより、前記有機化合物を分解するこ
    とを特徴とするプラズマ反応によるガス処理方法。
  33. 【請求項３３】 前記ガスが空気を主成分とすることを
    特徴とする請求項３２に記載のプラズマ反応によるガス
    処理方法。
  34. 【請求項３４】 前記有機化合物が塩素系有機化合物で
    あることを特徴とする請求項３２又は３３に記載のプラ
    ズマ反応によるガス処理方法。
  35. 【請求項３５】 前記無機誘電体が粒状体であることを
    特徴とする請求項３２乃至３４に記載のプラズマ反応に
    よるガス処理方法。
  36. 【請求項３６】 前記粒状体の形状が球状、ペレット
    状、角状、不安定形状であることを特徴とする請求項３
    ５に記載のプラズマ反応によるガス処理方法。
  37. 【請求項３７】 前記交流電源に接続される電極と接地
    電極のいずれか一方が円筒状であることを特徴とする請
    求項３２乃至３６に記載のプラズマ反応によるガス処理
    方法。
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