JP2000349103A - 熱処理装置 - Google Patents
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/0198—Manufacture or treatment batch processes
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/731—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
- H10W90/736—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
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- Tunnel Furnaces (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 全ての被熱処理品に対し一定の条件でキュア
を行い、また、被熱処理物のキュア時に発生するガスの
影響を抑える熱処理装置を提供すること。 【解決手段】 筐体１内に上面及び底面を有する円筒の
形状をした円筒状恒温槽２を有し、円筒状恒温槽２内の
気体を槽外へ排出する手段を有することで、円筒状恒温
槽２内のキュア時の発生ガスを含んだ内部雰囲気を停滞
することなくスムーズに槽外に流れ出るようにし、被熱
処理物への発生ガスの影響を抑えることができ、また、
槽内の熱分布を均等に改善し、均一なキュア条件を保つ
ことができるようにした。さらに、円筒状恒温槽２内の
気体を槽外へ排出する手段は、円筒状恒温槽２の側面に
排気口７ａ〜７ｄを有することが好適である。
を行い、また、被熱処理物のキュア時に発生するガスの
影響を抑える熱処理装置を提供すること。 【解決手段】 筐体１内に上面及び底面を有する円筒の
形状をした円筒状恒温槽２を有し、円筒状恒温槽２内の
気体を槽外へ排出する手段を有することで、円筒状恒温
槽２内のキュア時の発生ガスを含んだ内部雰囲気を停滞
することなくスムーズに槽外に流れ出るようにし、被熱
処理物への発生ガスの影響を抑えることができ、また、
槽内の熱分布を均等に改善し、均一なキュア条件を保つ
ことができるようにした。さらに、円筒状恒温槽２内の
気体を槽外へ排出する手段は、円筒状恒温槽２の側面に
排気口７ａ〜７ｄを有することが好適である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理装置に関
し、特に、半導体装置の製造に用いられる熱処理装置に
関する。
し、特に、半導体装置の製造に用いられる熱処理装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置の製造工程における、
ＩＣチップのリードフレームへの樹脂ペーストによるダ
イ・ボンディング工程では、図３に示されるリードフレ
ーム１２のダイ・パッド部１２ａに樹脂ペースト１４を
滴下し、その上にＩＣチップ１３を接着させ、ＩＣチッ
プ１３の搭載を完了したリードフレーム１２を、図４に
示すように、マガジンケース１１に収納した後、図示し
ないキュア用恒温槽に入れ、樹脂ペースト１４の溶剤を
揮発させたり、硬化の促進を行っている。
ＩＣチップのリードフレームへの樹脂ペーストによるダ
イ・ボンディング工程では、図３に示されるリードフレ
ーム１２のダイ・パッド部１２ａに樹脂ペースト１４を
滴下し、その上にＩＣチップ１３を接着させ、ＩＣチッ
プ１３の搭載を完了したリードフレーム１２を、図４に
示すように、マガジンケース１１に収納した後、図示し
ないキュア用恒温槽に入れ、樹脂ペースト１４の溶剤を
揮発させたり、硬化の促進を行っている。
【０００３】図４に示したマガジンケース１１は、樹脂
ペースト１４（図３）にてダイ・ボンディングを完了し
たリードフレーム１２を、一定の空間を開けながら段積
みに収納するものであって、短辺方向の両端が開口とな
っており、そこからリードフレーム１２の抜き差しを行
う。
ペースト１４（図３）にてダイ・ボンディングを完了し
たリードフレーム１２を、一定の空間を開けながら段積
みに収納するものであって、短辺方向の両端が開口とな
っており、そこからリードフレーム１２の抜き差しを行
う。
【０００４】ここで、このキュア用恒温槽では、前後の
生産ライン（ダイ・ボンディング工程とワイヤ・ボンデ
ィング工程）の能力のバランスをとる目的で、処理品を
小ロットずつ恒温槽内に供給し、キュア済み品から順
次、次工程へ搬出することに重点を置いた装置構成が必
要とされている。
生産ライン（ダイ・ボンディング工程とワイヤ・ボンデ
ィング工程）の能力のバランスをとる目的で、処理品を
小ロットずつ恒温槽内に供給し、キュア済み品から順
次、次工程へ搬出することに重点を置いた装置構成が必
要とされている。
【０００５】上記の点を考慮して、実開平４−４６５５
４号公報において、図５に示された恒温槽の提案がなさ
れている。
４号公報において、図５に示された恒温槽の提案がなさ
れている。
【０００６】図５において、筐体２３の内部の恒温槽２
２内には、ターンテーブル２７と搬入口２２ａと、開閉
扉２８Ａと、搬出口２２ｂと、開閉扉２８Ｂとが設けら
れ、搬入口２２ａにはマガジンケース搬入ユニット２
４、搬出口２２ｂにはマガジンケース搬出ユニット２６
が各々設置されている。
２内には、ターンテーブル２７と搬入口２２ａと、開閉
扉２８Ａと、搬出口２２ｂと、開閉扉２８Ｂとが設けら
れ、搬入口２２ａにはマガジンケース搬入ユニット２
４、搬出口２２ｂにはマガジンケース搬出ユニット２６
が各々設置されている。
【０００７】そして、小ロット構成の被熱処理品（リー
ドフレーム）を収納したマガジンケース１１を、１つず
つマガジンケース搬入ユニット２４を介して、搬入口２
２ａから供給し、供給される度に１サイクル角回転し、
順次先頭のキュア済みマガジンケ―ス１１からマガジン
ケース搬出ユニット２６を介して搬出口２２ｂより搬出
する。
ドフレーム）を収納したマガジンケース１１を、１つず
つマガジンケース搬入ユニット２４を介して、搬入口２
２ａから供給し、供給される度に１サイクル角回転し、
順次先頭のキュア済みマガジンケ―ス１１からマガジン
ケース搬出ユニット２６を介して搬出口２２ｂより搬出
する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記実開平４
−４６５５４号公報に記載の恒温槽２２では、槽内に設
けられたファン２５でもって槽内雰囲気を循環させる
が、ファン２５による一方向からのみの対流では、恒温
槽２２内のコーナー部に雰囲気が停滞しやすい。
−４６５５４号公報に記載の恒温槽２２では、槽内に設
けられたファン２５でもって槽内雰囲気を循環させる
が、ファン２５による一方向からのみの対流では、恒温
槽２２内のコーナー部に雰囲気が停滞しやすい。
【０００９】しかも、ターンテーブル２７が常時回転す
るのではなく、マガジンケース１１の搬入時、またはキ
ュア済みマガジンケース１１の搬出時にのみ回転するた
め、各々のマガジンケース１１の付近の雰囲気は、恒温
槽２２内の不均一な雰囲気状態に影響され、マガジンケ
ース１１の各位置ごとの温度差が無視できない程度にな
る。そのため、全ての被熱処理品に対し一定の条件でキ
ュアするのが困難であるという問題があった。
るのではなく、マガジンケース１１の搬入時、またはキ
ュア済みマガジンケース１１の搬出時にのみ回転するた
め、各々のマガジンケース１１の付近の雰囲気は、恒温
槽２２内の不均一な雰囲気状態に影響され、マガジンケ
ース１１の各位置ごとの温度差が無視できない程度にな
る。そのため、全ての被熱処理品に対し一定の条件でキ
ュアするのが困難であるという問題があった。
【００１０】また、図６は、雰囲気の流動の少ないキュ
ア状態でのリードフレーム１２を示したものであるが、
樹脂ペーストのキュア時に発生するガスには、ペースト
の溶剤成分だけでなく、基材に含まれる含有物等も微量
ながら含まれる。
ア状態でのリードフレーム１２を示したものであるが、
樹脂ペーストのキュア時に発生するガスには、ペースト
の溶剤成分だけでなく、基材に含まれる含有物等も微量
ながら含まれる。
【００１１】そのため、被熱処理物であるリードフレー
ム１２上のダイ・ボンディング用樹脂ペースト１４中の
溶剤成分等が揮発し、その発生ガスが恒温槽２２のコー
ナー部等に留まり、槽内より排気されないで、そのまま
ＩＣチップ１３の表面上に残留していると、溶剤成分と
ともに含まれる微量含有物が再固結して付着物１５とな
り、ＩＣチップ１３上の配線のショートの原因となるお
それがある。
ム１２上のダイ・ボンディング用樹脂ペースト１４中の
溶剤成分等が揮発し、その発生ガスが恒温槽２２のコー
ナー部等に留まり、槽内より排気されないで、そのまま
ＩＣチップ１３の表面上に残留していると、溶剤成分と
ともに含まれる微量含有物が再固結して付着物１５とな
り、ＩＣチップ１３上の配線のショートの原因となるお
それがある。
【００１２】そこで、本発明は上記従来のキュア用恒温
槽における問題点に鑑みてなされたものであって、全て
の被熱処理品に対して一定の条件でキュアを行うととも
に、被熱処理物のキュア時に発生するガスの影響をなく
すことにより配線のショート等を引き起こすことのない
熱処理装置を提供することを目的とする。
槽における問題点に鑑みてなされたものであって、全て
の被熱処理品に対して一定の条件でキュアを行うととも
に、被熱処理物のキュア時に発生するガスの影響をなく
すことにより配線のショート等を引き起こすことのない
熱処理装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、筐体内に熱処理空間を有す
る熱処理装置であって、前記熱処理空間は、上面及び底
面を有する円筒の形状をした円筒状恒温槽であって、該
円筒状恒温槽内の気体を槽外へ排出する手段を有するこ
とを特徴とする。
め、請求項１記載の発明は、筐体内に熱処理空間を有す
る熱処理装置であって、前記熱処理空間は、上面及び底
面を有する円筒の形状をした円筒状恒温槽であって、該
円筒状恒温槽内の気体を槽外へ排出する手段を有するこ
とを特徴とする。
【００１４】請求項２記載の発明は、前記円筒状恒温槽
内の気体を槽外へ排出する手段は、前記円筒状恒温槽の
側面に排気口を有することを特徴とする。
内の気体を槽外へ排出する手段は、前記円筒状恒温槽の
側面に排気口を有することを特徴とする。
【００１５】請求項３記載の発明は、さらに、前記円筒
状恒温槽の内部の中央部に配置され、前記円筒状恒温槽
の上面方向に気体を供給する給気口を有する円筒状給気
部と、前記円筒状恒温槽の上面の中心部に、該円筒状恒
温槽の内部に向かって突出する球状凸部を有することを
特徴とする。
状恒温槽の内部の中央部に配置され、前記円筒状恒温槽
の上面方向に気体を供給する給気口を有する円筒状給気
部と、前記円筒状恒温槽の上面の中心部に、該円筒状恒
温槽の内部に向かって突出する球状凸部を有することを
特徴とする。
【００１６】請求項４記載の発明は、さらに、前記円筒
状給気部の側面に第２の給気口を有することを特徴とす
る。
状給気部の側面に第２の給気口を有することを特徴とす
る。
【００１７】請求項５記載の発明は、前記筐体は、前記
円筒状恒温槽の外周に接する直方体状に形成され、前記
筐体と前記円筒状恒温槽との間にできるコーナー部の空
間に面する前記円筒状恒温槽の側面に前記排気部が配置
されることを特徴とする。
円筒状恒温槽の外周に接する直方体状に形成され、前記
筐体と前記円筒状恒温槽との間にできるコーナー部の空
間に面する前記円筒状恒温槽の側面に前記排気部が配置
されることを特徴とする。
【００１８】そして、請求項１記載の発明によれば、熱
処理空間が、上面及び底面を有する円筒の形状をした円
筒状恒温槽であって、該円筒状恒温槽内の気体を槽外へ
排出する手段を有するため、前記円筒状恒温槽内のキュ
ア時の発生ガスを含んだ内部雰囲気を槽内に停滞させる
ことなくスムーズに槽外に流出させ、被熱処理物への発
生ガスの影響を抑えることができ、また、槽内の熱分布
を均等に改善し、均一なキュア条件を保つことができ
る。
処理空間が、上面及び底面を有する円筒の形状をした円
筒状恒温槽であって、該円筒状恒温槽内の気体を槽外へ
排出する手段を有するため、前記円筒状恒温槽内のキュ
ア時の発生ガスを含んだ内部雰囲気を槽内に停滞させる
ことなくスムーズに槽外に流出させ、被熱処理物への発
生ガスの影響を抑えることができ、また、槽内の熱分布
を均等に改善し、均一なキュア条件を保つことができ
る。
【００１９】請求項２記載の発明によれば、前記円筒状
恒温槽内の気体を槽外へ排出する手段は、前記円筒状恒
温槽の側面に排気口を有するため、槽内の気体は、側面
の排気口からスムーズに槽外に流出され、被熱処理物へ
の発生ガスの影響を抑えることができ、また、槽内の熱
分布を均等に改善し、均一なキュア条件を保つことがで
きる。
恒温槽内の気体を槽外へ排出する手段は、前記円筒状恒
温槽の側面に排気口を有するため、槽内の気体は、側面
の排気口からスムーズに槽外に流出され、被熱処理物へ
の発生ガスの影響を抑えることができ、また、槽内の熱
分布を均等に改善し、均一なキュア条件を保つことがで
きる。
【００２０】請求項３記載の発明によれば、さらに、前
記円筒状恒温槽の内部の中央部に配置され、前記円筒状
恒温槽の上面方向に気体を供給する給気口を有する円筒
状給気部と、前記円筒状恒温槽の上面の中心部に、該円
筒状恒温槽の内部に向かって突出する球状凸部を有する
ため、円筒状給気部の給気口から供給された空気は、球
状凸部に当たって恒温槽の側面方向に向って全体的に広
がり、より強制的に内部雰囲気を給排気して、槽内の熱
分布を改善し、均一なキュア条件を保つことができる。
記円筒状恒温槽の内部の中央部に配置され、前記円筒状
恒温槽の上面方向に気体を供給する給気口を有する円筒
状給気部と、前記円筒状恒温槽の上面の中心部に、該円
筒状恒温槽の内部に向かって突出する球状凸部を有する
ため、円筒状給気部の給気口から供給された空気は、球
状凸部に当たって恒温槽の側面方向に向って全体的に広
がり、より強制的に内部雰囲気を給排気して、槽内の熱
分布を改善し、均一なキュア条件を保つことができる。
【００２１】請求項４記載の発明によれば、さらに、前
記円筒状給気部の側面に第２の給気口を有するため、被
熱処理物の周囲の雰囲気の流動を増大させ、槽内の熱分
布のより良い改善と、均一なキュア条件を保つことがで
きる。
記円筒状給気部の側面に第２の給気口を有するため、被
熱処理物の周囲の雰囲気の流動を増大させ、槽内の熱分
布のより良い改善と、均一なキュア条件を保つことがで
きる。
【００２２】請求項５記載の発明によれば、前記筐体
は、前記円筒状恒温槽の外周に接する直方体状に形成さ
れ、前記筐体と前記円筒状恒温槽との間にできるコーナ
ー部の空間に面する前記円筒状恒温槽の側面に前記排気
部が配置されるため、装置を小型にすることができ、省
スペースを実現することができる。
は、前記円筒状恒温槽の外周に接する直方体状に形成さ
れ、前記筐体と前記円筒状恒温槽との間にできるコーナ
ー部の空間に面する前記円筒状恒温槽の側面に前記排気
部が配置されるため、装置を小型にすることができ、省
スペースを実現することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる熱処理装置
の実施の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
の実施の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
【００２４】図１及び図２は、本発明にかかる熱処理装
置の一実施例を示す平面透視図と断面図である。
置の一実施例を示す平面透視図と断面図である。
【００２５】この熱処理装置は、筐体１の内部に円筒状
恒温槽２が設置され、円筒状恒温槽２の上面には球状凸
部３が備えられ、筐体１と円筒状恒温槽２の隙間である
コーナー部には、排気管８Ａ〜８Ｄが設けられ、このコ
ーナー部に面する円筒状恒温槽２の側面には、排気口７
ａ〜７ｄが設けられている。
恒温槽２が設置され、円筒状恒温槽２の上面には球状凸
部３が備えられ、筐体１と円筒状恒温槽２の隙間である
コーナー部には、排気管８Ａ〜８Ｄが設けられ、このコ
ーナー部に面する円筒状恒温槽２の側面には、排気口７
ａ〜７ｄが設けられている。
【００２６】円筒状恒温槽２の内部には、マガジンケー
ス１１を搭載する複数の回転アーム９が円筒状恒温槽２
の中心より放射状に配置され、マガジンケース１１が円
筒状恒温槽２の内周に沿って一定速度で移動するように
構成されている。
ス１１を搭載する複数の回転アーム９が円筒状恒温槽２
の中心より放射状に配置され、マガジンケース１１が円
筒状恒温槽２の内周に沿って一定速度で移動するように
構成されている。
【００２７】次に、上記構成を有する熱処理装置の動作
を図１、図２を参照しながら説明する。
を図１、図２を参照しながら説明する。
【００２８】図１（ａ）に示すように、まず、マガジン
ケース搬入／搬出口５のシャッタ６を開き、回転アーム
９のマガジンケース１１の搭載位置に、マガジンケース
１１を搭載する。
ケース搬入／搬出口５のシャッタ６を開き、回転アーム
９のマガジンケース１１の搭載位置に、マガジンケース
１１を搭載する。
【００２９】次に、回転アーム９を順次回転させて、上
記と同様の要領で、マガジンケース搬入／搬出口５から
マガジンケース１１を回転アーム９に順次搭載して、最
後にシャッタ６を閉めてキュアを行う。尚、キュアの実
施中は、回転アーム９は常時低速で回転する。
記と同様の要領で、マガジンケース搬入／搬出口５から
マガジンケース１１を回転アーム９に順次搭載して、最
後にシャッタ６を閉めてキュアを行う。尚、キュアの実
施中は、回転アーム９は常時低速で回転する。
【００３０】図１（ｂ）及び図２中の白抜き矢印は、キ
ュア実施中の円筒状恒温槽２内の雰囲気の流動方向を示
したものである。円筒状給気部４の上部給気口４ａから
供給された空気は、球状凸部３に当たって円筒状恒温槽
２の側面方向に向って全体的に広がっていく。
ュア実施中の円筒状恒温槽２内の雰囲気の流動方向を示
したものである。円筒状給気部４の上部給気口４ａから
供給された空気は、球状凸部３に当たって円筒状恒温槽
２の側面方向に向って全体的に広がっていく。
【００３１】また、円筒状給気口４の側面給気口４ｂか
ら送られた空気は、マガジンケース１１内を通り抜け、
槽中央部から周囲排気口７ａ〜７ｄへと流動していき、
上部給気口４ａからの空気の流れと合流して、周囲排気
口７ａ〜７ｄから排気管８Ａ〜８Ｄへと排気する。
ら送られた空気は、マガジンケース１１内を通り抜け、
槽中央部から周囲排気口７ａ〜７ｄへと流動していき、
上部給気口４ａからの空気の流れと合流して、周囲排気
口７ａ〜７ｄから排気管８Ａ〜８Ｄへと排気する。
【００３２】以上のようにして槽内雰囲気の流動及び熱
の拡散が行われ、キュア時の発生ガスをマガジンケース
１１内のＩＣチップ１３上に留めることなく確実に排気
する。そして、キュア終了後は、回転アーム９に沿って
マガジンケース搬入／搬出口５よりマガジンケース１１
を搬出し、回転アーム９の回転により以下、同様に順次
搬出を行う。
の拡散が行われ、キュア時の発生ガスをマガジンケース
１１内のＩＣチップ１３上に留めることなく確実に排気
する。そして、キュア終了後は、回転アーム９に沿って
マガジンケース搬入／搬出口５よりマガジンケース１１
を搬出し、回転アーム９の回転により以下、同様に順次
搬出を行う。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１または２
記載の発明によれば、被熱処理物のキュア時に発生する
ガスが、停滞することなくスムーズに排気口より排出さ
れ、被熱処理物への前記発生ガスの影響を抑えることが
でき、また、槽内の熱分布を改善し、均一なキュア条件
を保つことができる。
記載の発明によれば、被熱処理物のキュア時に発生する
ガスが、停滞することなくスムーズに排気口より排出さ
れ、被熱処理物への前記発生ガスの影響を抑えることが
でき、また、槽内の熱分布を改善し、均一なキュア条件
を保つことができる。
【００３４】また、請求項３または４記載の発明では、
より強制的に内部雰囲気の給排気を行って、槽内雰囲気
の停滞を防ぎ、また、槽内の熱分布を改善し、均一なキ
ュア条件を槽内に保つことができる。
より強制的に内部雰囲気の給排気を行って、槽内雰囲気
の停滞を防ぎ、また、槽内の熱分布を改善し、均一なキ
ュア条件を槽内に保つことができる。
【００３５】さらに、請求項５記載の発明では、筐体と
円筒槽との間に生じる空きスペースを利用し、排気部を
設けることにより、従来装置と比べ小型化でき、省スペ
ースを確保することができる。
円筒槽との間に生じる空きスペースを利用し、排気部を
設けることにより、従来装置と比べ小型化でき、省スペ
ースを確保することができる。
【図１】本発明にかかる熱処理装置の一実施例を示す図
であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線
断面図である。
であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線
断面図である。
【図２】図１の熱処理装置の円筒状恒温槽内での気体の
流動状態を示す上面図である。
流動状態を示す上面図である。
【図３】従来使用されているリードフレームの斜視図で
ある。
ある。
【図４】従来使用されているリードフレーム及びマガジ
ンケースの斜視図である。
ンケースの斜視図である。
【図５】従来の熱処理装置の一例を示す上面図である。
【図６】キュア時の被熱処理物（リードフレーム）の状
態図である。
態図である。
１ 筐体 ２ 円筒状恒温槽 ３ 球状凸部 ４ 円筒状給気部 ４ａ 上部給気口 ４ｂ 側面給気口 ５ マガジンケース搬入／搬出口 ６ シャッタ ７ａ〜７ｄ 排気口 ８Ａ〜８Ｄ 排気管 ９ 回転アーム １１ マガジンケース １２ リードフレーム １３ ＩＣチップ １４ 樹脂ペースト １５ 付着物
Claims (5)
- 【請求項１】 筐体内に熱処理空間を有する熱処理装置
であって、 前記熱処理空間は、上面及び底面を有する円筒の形状を
した円筒状恒温槽であって、該円筒状恒温槽内の気体を
槽外へ排出する手段を有することを特徴とする熱処理装
置。 - 【請求項２】 前記円筒状恒温槽内の気体を槽外へ排出
する手段は、前記円筒状恒温槽の側面に排気口を有する
ことを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。 - 【請求項３】 さらに、前記円筒状恒温槽の内部の中央
部に配置され、前記円筒状恒温槽の上面方向に気体を供
給する給気口を有する円筒状給気部と、 前記円筒状恒温槽の上面の中心部に、該円筒状恒温槽の
内部に向かって突出する球状凸部を有することを特徴と
する請求項１または２記載の熱処理装置。 - 【請求項４】 さらに、前記円筒状給気部の側面に第２
の給気口を有することを特徴とする請求項１乃至３記載
の熱処理装置。 - 【請求項５】 前記筐体は、前記円筒状恒温槽の外周に
接する直方体状に形成され、前記筐体と前記円筒状恒温
槽との間にできるコーナー部の空間に面する前記円筒状
恒温槽の側面に前記排気部が配置されることを特徴とす
る請求項１乃至４記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15833799A JP3533634B2 (ja) | 1999-06-04 | 1999-06-04 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15833799A JP3533634B2 (ja) | 1999-06-04 | 1999-06-04 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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