JP2000350902A - Deaeration method - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 排気量の大きな真空ポンプを使用して
も、運転コストが小さくて済む脱気方法を提供する。
【解決手段】 膜脱気ユニット１には、供給管２が連結
されるとともに排出管３が連結されている。膜脱気ユニ
ット１は気液分離膜１１が内部に設けられ、通液部１２
と減圧部１３とに分割されている。減圧部１３には真空
ポンプ５が連結されている。減圧部１３と真空ポンプ５
との間には、減圧部１３側からバッファータンク６及び
制御バルブ７が設けられ、バッファータンク６にはバッ
ファタンク６内の圧力を検出する圧力計８が設けられて
いる。制御装置９は圧力計８から入力した圧力の値によ
り、制御バルブ７の開閉及び真空ポンプ５の運転を制御
する。制御バルブ７の開閉を制御装置９で制御すること
によって脱気処理運用中でも真空ポンプ５を停止するこ
とを可能としている。
(57) [Problem] To provide a deaeration method that requires a small operating cost even if a vacuum pump having a large displacement is used. A supply pipe (2) and a discharge pipe (3) are connected to a membrane deaeration unit (1). The membrane degassing unit 1 has a gas-liquid separation membrane 11 provided therein,
And a pressure reducing unit 13. The vacuum pump 5 is connected to the pressure reducing unit 13. Decompression unit 13 and vacuum pump 5
A buffer tank 6 and a control valve 7 are provided from the pressure reducing unit 13 side, and a pressure gauge 8 for detecting the pressure in the buffer tank 6 is provided in the buffer tank 6. The control device 9 controls the opening and closing of the control valve 7 and the operation of the vacuum pump 5 based on the pressure value input from the pressure gauge 8. The opening and closing of the control valve 7 is controlled by the control device 9 so that the vacuum pump 5 can be stopped even during the deaeration operation.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、感光性塗布液等の
液体から溶存空気を除去する脱気方法に関するものであ
る。The present invention relates to a deaeration method for removing dissolved air from a liquid such as a photosensitive coating solution.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、ある種の液体は、塗布に際して
液体中に溶存する空気及び含有される気泡を除去するこ
とが必要である。例えば、感光材料用の感光性塗布液
は、溶存空気及び気泡が含有されたまま塗布されると、
塗布装置によっては感光性塗布液中の溶存空気の析出
や、通常の場合には感光性塗布液に含まれる気泡によっ
て、縦すじ、ピンホール等の故障が塗布面に生じ、基材
に均一な感光膜を形成することができないものである。
そこで、基材に塗布される前に、感光性塗布液中に溶存
する空気及び気泡を除去することが必要である。2. Description of the Related Art Generally, it is necessary to remove air and bubbles contained in a certain liquid when the liquid is applied. For example, when a photosensitive coating solution for a photosensitive material is applied while containing dissolved air and bubbles,
Depending on the coating device, the deposition of dissolved air in the photosensitive coating solution or, in the normal case, bubbles contained in the photosensitive coating solution may cause vertical streaks, pinholes, etc. A photosensitive film cannot be formed.
Therefore, it is necessary to remove air and bubbles dissolved in the photosensitive coating solution before coating on the substrate.
【０００３】従来、液体中の溶存気体を除去する脱気技
術として各種技術が提案されており、特開平９−２２５
２０６号公報においては、テトラフルオロエチレン−ヘ
キサフルオロプロピレン共重合体の薄膜をスパイラル状
あるいはプリーツ状に重ねてモジュール化した膜脱気ユ
ニットが提案されている。Conventionally, various techniques have been proposed as degassing techniques for removing dissolved gas in a liquid.
No. 206 proposes a membrane deaeration unit in which thin films of a tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer are stacked in a spiral or pleated shape to form a module.
【０００４】また、特開平１０−１５６１０４号公報に
おいては、脱気膜モジュールと真空ポンプとの間に制御
バルブと真空ポンプにエアーを供給する手段とを設け、
真空ポンプに供給するエアーが脱気膜モジュールに逆流
しないようにした膜脱気装置が提案されている。この膜
脱気装置において、真空ポンプの停止時に制御バルブを
閉じており、これは真空ポンプに供給するエアーを脱気
膜モジュールに逆流させないためである。In Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-156104, a control valve and a means for supplying air to the vacuum pump are provided between the degassing membrane module and the vacuum pump.
There has been proposed a membrane deaerator in which air supplied to a vacuum pump is prevented from flowing back to a deaeration membrane module. In this membrane deaerator, the control valve is closed when the vacuum pump is stopped, so that air supplied to the vacuum pump does not flow back to the degassing membrane module.
【０００５】以上のように脱気に関して種々提案されて
いるが、従来の基本的な膜脱気方法は、図４に示すよう
に、脱気ユニット２１の気液分離膜２２で分割された通
液部２３に給液管２４と排液管２５とを連結するととも
に、減圧部２６に連結管２７を介して真空ポンプ２８を
連結し、通液部２３に被脱気処理液を流すとともに、真
空ポンプ２８で減圧部２６を真空に近くなるまで減圧
し、被脱気処理液から溶存気体を気液分離膜２２を通し
て除去するものである。As described above, various proposals have been made with respect to degassing. A conventional basic membrane degassing method, as shown in FIG. A liquid supply pipe 24 and a drain pipe 25 are connected to the liquid part 23, a vacuum pump 28 is connected to the decompression part 26 via a connection pipe 27, and the deaerated processing liquid flows into the liquid passing part 23. The pressure of the decompression unit 26 is reduced by a vacuum pump 28 until the pressure is close to a vacuum, and the dissolved gas is removed from the liquid to be degassed through the gas-liquid separation membrane 22.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、膜脱気の運
用に用いる真空ポンプは排気量を小さくすることができ
るが、排気量が小さいと運転開始時の準備時間が長く必
要になる上、外乱に対する復元も遅くなってしまう。し
たがって、膜脱気に用いる真空ポンプは排気量の大きな
ものが好ましいが、排気量の大きな真空ポンプを使う
と、運転コストが大きくなってしまうものであった。By the way, the vacuum pump used for the operation of membrane degassing can reduce the amount of exhaust. However, if the amount of exhaust is small, a long preparation time is required at the start of operation and disturbances are required. Restoration is also slow. Therefore, it is preferable that the vacuum pump used for the membrane degassing has a large displacement. However, if a vacuum pump having a large displacement is used, the operating cost becomes large.
【０００７】そこで、従来、排気量の大きな真空ポンプ
を使用しても、運転コストが小さい膜脱気技術が望まれ
ていたが、未だ満足する技術は提案されていなかった。Therefore, conventionally, even if a vacuum pump having a large displacement is used, a membrane degassing technique with a low operating cost has been desired, but no satisfactory technique has been proposed yet.
【０００８】本発明は上記課題を解決し、排気量の大き
な真空ポンプを使用しても、運転コストが小さくて済む
脱気方法を提供することを目的とする。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a degassing method that requires a small operating cost even when a vacuum pump having a large displacement is used.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の脱気方法は、気
液分離膜を用いて液体を脱気処理する膜脱気方法におい
て、膜脱気ユニットと真空ポンプとを結ぶ配管途中に制
御バルブを設け、この制御バルブの開閉を制御すること
によって脱気処理運用中においても真空ポンプを停止さ
せることを可能としたことを特徴として構成されてい
る。A degassing method according to the present invention is directed to a method for degassing a liquid using a gas-liquid separation membrane. A valve is provided, and the opening and closing of the control valve is controlled so that the vacuum pump can be stopped even during the deaeration operation.
【００１０】本発明の脱気方法においては、膜脱気ユニ
ット内の圧力が脱気に必要な真空度に達していないとき
には、真空ポンプを運転し、ついで制御バルブを開くこ
とによって、膜脱気ユニット内の圧力を下げ、膜脱気ユ
ニット内の圧力が脱気に必要な真空度に十分達した時
は、制御バルブを閉じ、ついで真空ポンプを停止する。
これらの操作により真空ポンプ運転時間の短縮が可能と
なり、運転コストを低減させることができる。In the degassing method of the present invention, when the pressure in the membrane degassing unit has not reached the degree of vacuum required for degassing, the vacuum pump is operated, and then the control valve is opened, whereby the membrane degassing is performed. When the pressure in the unit is reduced and the pressure in the membrane degassing unit reaches a sufficient degree of vacuum for degassing, the control valve is closed, and then the vacuum pump is stopped.
By these operations, the operation time of the vacuum pump can be shortened, and the operation cost can be reduced.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】前記膜脱気ユニットと制御バルブ
との間にバッファータンクを設けることが好ましい。バ
ッファータンクを設けることにより、膜脱気ユニットか
ら送られて来た気体を貯溜することができるので、膜脱
気ユニットの圧力の上昇を遅くすることができる。した
がって、制御バルブを閉じておく時間（すなわち、真空
ポンプの停止時間）を長くすることができるので、真空
ポンプの運転・停止の回数を減らすことができる。バッ
ファータンクの容量は、大きいほど膜脱気ユニットの圧
力の上昇を抑制できるので、大きいほど好ましい。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS It is preferable to provide a buffer tank between the membrane deaeration unit and a control valve. By providing the buffer tank, the gas sent from the membrane degassing unit can be stored, so that the rise in pressure of the membrane degassing unit can be slowed. Therefore, the time during which the control valve is closed (that is, the time during which the vacuum pump is stopped) can be lengthened, so that the number of times the vacuum pump operates and stops can be reduced. The larger the capacity of the buffer tank, the more the pressure of the membrane degassing unit can be suppressed.
【００１２】脱気ユニットから制御バルブに至る配管の
途中の圧力を測定、バッファータンクを設けた場合はバ
ッファータンクの圧力を測定し、その測定値によって制
御バルブの開閉と真空ポンプの運転・停止を制御するこ
とが好ましい。このように圧力を測定し、その測定値よ
って制御することにより、予め設定した所定の圧力の範
囲内において効率よく脱気処理を行なうことができる。
また、膜脱気ユニットの圧力を監視することができるの
で、脱気処理の変動や異常を早期に発見することができ
る。The pressure in the piping from the degassing unit to the control valve is measured. When a buffer tank is provided, the pressure in the buffer tank is measured. Based on the measured value, the control valve is opened and closed and the vacuum pump is started and stopped. It is preferable to control. By measuring the pressure in this way and controlling the measured value, the deaeration process can be efficiently performed within a predetermined pressure range.
In addition, since the pressure of the membrane degassing unit can be monitored, it is possible to detect fluctuations and abnormalities in the degassing process at an early stage.
【００１３】本発明による脱気方法を実施する脱気装置
の実施形態について図面を参照して説明する。An embodiment of a deaerator for performing a deaeration method according to the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１４】図１は脱気装置の第１の実施形態の模式図
である。図１において、１は膜脱気ユニットで、この膜
脱気ユニット１には、脱気される被脱気処理液が導入さ
れる供給管２が連結されるとともに、脱気された処理液
が排出される排出管３が連結されている。膜脱気ユニッ
ト１は、気体は通すが被脱気処理液は通さない気液分離
膜１１が内部に設けられ、この気液分離膜１１によって
被脱気処理液が通る通液部１２と、気相の減圧部１３と
に分割されている。そして、減圧部１３を減圧すること
により、通液部１２の被脱気処理液より溶存気体を気液
分離膜１１を通して減圧部１３へ移動させるものであ
る。FIG. 1 is a schematic view of a first embodiment of a deaerator. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a membrane degassing unit, which is connected to a supply pipe 2 through which a degassed processing liquid to be degassed is introduced, and in which the degassed processing liquid is supplied. The discharge pipe 3 to be discharged is connected. The membrane degassing unit 1 is provided with a gas-liquid separation membrane 11 that allows gas to pass therethrough but does not allow the liquid to be degassed to pass through, and a liquid passing part 12 through which the gas to be degassed passes through the gas-liquid separation membrane 11, It is divided into a gas phase pressure reducing section 13. Then, by reducing the pressure in the pressure reducing section 13, the dissolved gas is moved from the liquid to be degassed in the liquid passing section 12 to the pressure reducing section 13 through the gas-liquid separation membrane 11.
【００１５】膜脱気ユニット１の減圧部１３には、連結
管４を介して真空ポンプ５が連結されており、この真空
ポンプ５により減圧部１３の圧力を下げるものである。
また、この減圧部１３と真空ポンプ５との間には、減圧
部１３側からバッファータンク６及び制御バルブ７が設
けられ、バッファータンク６にはバッファタンク６内の
圧力を検出する圧力計８が設けられている。A vacuum pump 5 is connected to the pressure reducing section 13 of the membrane degassing unit 1 via a connecting pipe 4, and the pressure of the pressure reducing section 13 is reduced by the vacuum pump 5.
A buffer tank 6 and a control valve 7 are provided between the decompression unit 13 and the vacuum pump 5 from the decompression unit 13 side, and a pressure gauge 8 for detecting the pressure in the buffer tank 6 is provided in the buffer tank 6. Is provided.
【００１６】また、制御装置９が設けられており、この
制御装置９は、圧力計８、制御バルブ７及び真空ポンプ
５に接続されており、圧力計８から入力した圧力の測定
値により、制御バルブ７の開閉及び真空ポンプ５の運転
を制御するものである。Further, a control device 9 is provided. The control device 9 is connected to the pressure gauge 8, the control valve 7, and the vacuum pump 5, and controls the measured value of the pressure input from the pressure gauge 8. The opening and closing of the valve 7 and the operation of the vacuum pump 5 are controlled.
【００１７】以上のような脱気装置で脱気を行なうに
は、まず、真空ポンプ５を運転した状態で制御バルブ７
を開ける。すると、減圧部１３の空気が排気され、減圧
部１３の圧力が低下するので、所定の圧力まで低下した
時、制御バルブ７を閉め、ついで真空ポンプ５を停止さ
せる。この状態で被脱気処理液を供給管２を通して脱気
ユニット１に供給する。脱気ユニット１に供給された被
脱気処理液は、減圧部１３が減圧されているので、その
中の溶存気体が通液部１２において気液分離膜１１を通
過して減圧部１３へ移り、この減圧部１３へ移動した気
体はバッファータンク６に送られ、一方、脱気された処
理液は排出管３を通って次工程へ送られる。In order to perform deaeration with the above deaerator, first, the control valve 7 is operated while the vacuum pump 5 is operated.
Open. Then, the air in the pressure reducing unit 13 is exhausted, and the pressure in the pressure reducing unit 13 decreases. When the pressure decreases to a predetermined pressure, the control valve 7 is closed, and then the vacuum pump 5 is stopped. In this state, the liquid to be degassed is supplied to the deaeration unit 1 through the supply pipe 2. Since the degassed processing liquid supplied to the degassing unit 1 is depressurized in the decompression unit 13, the dissolved gas therein passes through the gas-liquid separation membrane 11 in the liquid passage unit 12 and moves to the decompression unit 13. The gas moved to the pressure reducing section 13 is sent to the buffer tank 6, while the degassed processing liquid is sent to the next step through the discharge pipe 3.
【００１８】このとき、脱気される気体は被脱気処理液
に溶存していた気体と、気化した被脱気処理液の蒸気で
あり、その総量は少ないので、バッファータンク６に送
られる気体量は微量である。したがって、制御バルブ７
を閉じて真空ポンプ５を停止させた状態であっても、バ
ッファータンク６の圧力が脱気処理するために十分な真
空度であるときは、被脱気処理液の脱気を行なうことが
できる。At this time, the gas to be degassed is the gas dissolved in the liquid to be degassed and the vapor of the liquid to be degassed which is vaporized. The amount is very small. Therefore, the control valve 7
Even when the vacuum pump 5 is stopped by closing the vacuum pump, if the pressure in the buffer tank 6 is a sufficient degree of vacuum to perform the deaeration processing, the deaerated liquid to be deaerated can be deaerated. .
【００１９】しかし、脱気処理を続けていくと、脱気さ
れた気体が徐々に増加していき減圧部１３、バッファー
タンク６等の圧力が上昇し、脱気処理するために十分な
真空度が得られ無くなってくる。そこで、脱気処理を続
けて真空度が低下したとき、真空ポンプ５を再び運転
し、ついで制御バルブ７を開くことによって減圧部１
３、バッファータンク６等の気体を排気し、再び圧力を
初期の状態まで下げる。However, as the degassing process is continued, the degassed gas gradually increases, and the pressure in the decompression unit 13 and the buffer tank 6 rises, and the degree of vacuum sufficient for the degassing process is increased. Is no longer available. Therefore, when the degree of vacuum is reduced by continuing the deaeration process, the vacuum pump 5 is operated again, and then the control valve 7 is opened to thereby reduce the pressure in the pressure reducing section 1.
3. The gas in the buffer tank 6 and the like is exhausted, and the pressure is reduced again to the initial state.
【００２０】このような制御バルブ７及び真空ポンプ５
の制御は制御装置９によって行なう。すなわち、制御装
置９には予めバッファータンク６内の圧力の上限及び下
限が設定されており、また、圧力計７が検出したバッフ
ァータンク６の圧力が入力するようになっている。そし
て、入力した圧力が下限になれば、制御バルブ７を開
き、ついで真空ポンプ５を運転し、入力した圧力が上限
になれば、制御バルブ７を閉じ、ついで真空ポンプ５を
停止させる。Such a control valve 7 and a vacuum pump 5
Is performed by the control device 9. That is, an upper limit and a lower limit of the pressure in the buffer tank 6 are set in the control device 9 in advance, and the pressure of the buffer tank 6 detected by the pressure gauge 7 is input. When the input pressure becomes the lower limit, the control valve 7 is opened, and then the vacuum pump 5 is operated. When the input pressure becomes the upper limit, the control valve 7 is closed, and then the vacuum pump 5 is stopped.
【００２１】図２は脱気装置の第２の実施形態の模式図
である。図２に示す脱気装置は、気液分離膜ユニット１
の減圧部１３にバッファータンクを介すること無く制御
バルブ７が直接連結され、この減圧部１３と制御バルブ
７との間に圧力計８が設けられている。その他の構成
は、図１に示した第１の実施形態と同様である。FIG. 2 is a schematic view of a second embodiment of the deaerator. The deaerator shown in FIG.
The control valve 7 is directly connected to the pressure reducing unit 13 without passing through a buffer tank, and a pressure gauge 8 is provided between the pressure reducing unit 13 and the control valve 7. Other configurations are the same as those of the first embodiment shown in FIG.
【００２２】[0022]
【実施例】図１に示す脱気装置を用いて脱気処理を行な
った。 被脱気処理液：純水 脱気処理量 ：５ｌ／ｍｉｎ 脱気ユニット：ジャパンゴアテックス製「ＤＭＳ−２Ｆ
−３ＦＦ型」 真空ポンプ ：アネスト岩田 (株) 製「ＤＶＳＬ−５０
０型」 バッファータンク：１００リットルのＳＵＳ製タンクEXAMPLE A degassing process was performed using the degassing apparatus shown in FIG. Degassed processing liquid: pure water Degassing processing amount: 5 l / min Degassing unit: "DMS-2F" manufactured by Japan Gore-Tex
-3FF type ”Vacuum pump:“ DVSL-50 ”manufactured by Anest Iwata Co., Ltd.
Type 0 "buffer tank: 100 liter SUS tank
【００２３】以上の構成及び条件の脱気装置において、
制御圧力を、上限−７５ｃｍＨｇ、下限−７０ｃｍＨｇ
（なお、この圧力は、真空を−７６ｃｍＨｇとしたとき
の値である）とし、バッファータンク６の圧力を圧力計
８で測定しつつ脱気処理した。In the deaerator having the above configuration and conditions,
Control pressure, upper limit -75cmHg, lower limit -70cmHg
(Note that this pressure is a value when the vacuum is -76 cmHg), and deaeration was performed while measuring the pressure of the buffer tank 6 with the pressure gauge 8.
【００２４】すなわち、真空ポンプ５によって脱気ユニ
ット１およびバッファータンク６が減圧され、−７５ｃ
ｍＨｇに達した時点で制御バルブ７を閉じ、ついで真空
ポンプ５を停止させる。この後脱気処理によって徐々に
圧力が上昇するので、この圧力をバッファータンク６に
て監視し、圧力が−７０ｃｍＨｇになった時点で真空ポ
ンプ５を運転し、真空ポンプ５の動作が安定した後制御
バルブ７を開いた。That is, the pressure of the deaeration unit 1 and the buffer tank 6 is reduced by the vacuum pump 5,
When the pressure reaches mHg, the control valve 7 is closed, and then the vacuum pump 5 is stopped. Thereafter, the pressure gradually increases due to the deaeration treatment. Therefore, the pressure is monitored in the buffer tank 6, and when the pressure becomes -70 cmHg, the vacuum pump 5 is operated, and after the operation of the vacuum pump 5 is stabilized. The control valve 7 was opened.
【００２５】以上の繰り返しにより、脱気ユニット１は
−７０〜−７５ｃｍＨｇの圧力に保たれ、安定した脱気
処理を行うことができた。By the above repetition, the deaeration unit 1 was maintained at a pressure of -70 to -75 cmHg, and a stable deaeration process could be performed.
【００２６】このときのバッファータンク６内の圧力変
化と真空ポンプ５運転タイミングを図３に示す。FIG. 3 shows the pressure change in the buffer tank 6 and the operation timing of the vacuum pump 5 at this time.
【００２７】真空ポンプ５は約２００分に１回、およそ
３分間の運転のみで脱気に必要な圧力を維持しており、
常時運転に比べ、６０分の１以下の運転時間に抑えるこ
とができた。The vacuum pump 5 maintains the pressure required for deaeration only once every about 200 minutes for about 3 minutes.
The operation time was reduced to 1/60 or less as compared with the normal operation.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明は、排気量の大きな真空ポンプを
用いて系全体の安定化を図りつつ、真空ポンプの運転時
間を低減することができるので、脱気処理に要するコス
トを低減できる。According to the present invention, the operation time of the vacuum pump can be reduced while stabilizing the whole system using a vacuum pump having a large displacement, so that the cost required for the deaeration process can be reduced.
【図１】 本発明による脱気方法を実施する脱気装置の
第１の実施形態の模式図である。FIG. 1 is a schematic view of a first embodiment of a deaerator for performing a deaeration method according to the present invention.
【図２】 本発明による脱気方法を実施する脱気装置の
第２の実施形態の模式図である。FIG. 2 is a schematic view of a second embodiment of a deaerator for performing a deaeration method according to the present invention.
【図３】 バッファータンク内の圧力変化と真空ポンプ
の運転タイミングとを表した図である。FIG. 3 is a diagram showing a change in pressure in a buffer tank and an operation timing of a vacuum pump.
【図４】 従来の脱気装置の模式図である。FIG. 4 is a schematic view of a conventional deaerator.
１……膜脱気ユニット １１…気液分離膜 １２…通液部 １３…減圧部 ２……給液 ３……管排液管 ４……連結管 ５……真空ポンプ ６……バッファータンク ７……制御バルブ ８……圧力計 ９……制御装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Membrane deaeration unit 11 ... Gas-liquid separation membrane 12 ... Liquid passage part 13 ... Decompression part 2 ... Supply liquid 3 ... Pipe drainage pipe 4 ... Connection pipe 5 ... Vacuum pump 6 ... Buffer tank 7 …… Control valve 8 …… Pressure gauge 9 …… Control device
Claims (4)
処理する膜脱気方法において、膜脱気ユニットと真空ポ
ンプとを結ぶ配管途中に制御バルブを設け、この制御バ
ルブの開閉を制御することによって脱気処理運用中にお
いても真空ポンプを停止させることを可能としたことを
特徴とする脱気方法。In a membrane degassing method for degassing a liquid to be degassed using a gas-liquid separation membrane, a control valve is provided in a pipe connecting the membrane degassing unit and a vacuum pump. A degassing method characterized in that it is possible to stop the vacuum pump even during degassing operation by controlling opening and closing.
にバッファータンクを設けた請求項１記載の脱気方法。2. The degassing method according to claim 1, wherein a buffer tank is provided between the membrane degassing unit and a control valve.
配管の途中の圧力を測定し、その測定値によって制御バ
ルブの開閉と真空ポンプの運転・停止を制御する請求項
１記載の脱気方法。3. The degassing method according to claim 1, wherein the pressure in the piping from the degassing unit to the control valve is measured, and the measured value controls opening / closing of the control valve and operation / stop of the vacuum pump.
測定値によって制御バルブの開閉と真空ポンプの運転・
停止を制御する請求項２記載の脱気方法。4. The pressure in the buffer tank is measured, and the measured value is used to open and close the control valve and operate the vacuum pump.
The degassing method according to claim 2, wherein the stopping is controlled.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11162638A JP2000350902A (en) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | Deaeration method |
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| JP11162638A JP2000350902A (en) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | Deaeration method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000350902A true JP2000350902A (en) | 2000-12-19 |
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|---|---|---|---|
| JP11162638A Pending JP2000350902A (en) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | Deaeration method |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP2000350902A (en) |
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