JP2000353733A - 搬送台車 - Google Patents
搬送台車Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送台車をクリーンルーム内で高速で走行さ
せても乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることがなく、
搬送台車に搭載した搬送物や搬送路近傍に設置した製造
装置が汚染されることなく、搬送能力を向上することが
できるようにした搬送台車を提供すること。 【解決手段】 搬送台車２に搭載する搬送物の受渡位置
より下方の搬送台車２の側面に、搬送台車２の走行方向
に延びる凹溝からなる空気流通溝２４を形成する。
せても乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることがなく、
搬送台車に搭載した搬送物や搬送路近傍に設置した製造
装置が汚染されることなく、搬送能力を向上することが
できるようにした搬送台車を提供すること。 【解決手段】 搬送台車２に搭載する搬送物の受渡位置
より下方の搬送台車２の側面に、搬送台車２の走行方向
に延びる凹溝からなる空気流通溝２４を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送台車に関し、
特に、半導体ウエハ、液晶、磁気ディスク、光ディス
ク、コンパクトディスク等の製造工程等でこれら又はこ
れらを収納するカセット等の搬送物（本明細書におい
て、単に「搬送物」という。）をクリーンな環境の下で
搬送するのに適した搬送台車に関するものである。
特に、半導体ウエハ、液晶、磁気ディスク、光ディス
ク、コンパクトディスク等の製造工程等でこれら又はこ
れらを収納するカセット等の搬送物（本明細書におい
て、単に「搬送物」という。）をクリーンな環境の下で
搬送するのに適した搬送台車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエハ、液晶、磁気ディス
ク、光ディスク、コンパクトディスク等は、塵埃等の微
細粒子が製品の精度、歩留まりに大きく影響するため、
クリーンルーム内で製造するようにしている。
ク、光ディスク、コンパクトディスク等は、塵埃等の微
細粒子が製品の精度、歩留まりに大きく影響するため、
クリーンルーム内で製造するようにしている。
【０００３】そして、この種の目的で使用されるクリー
ンルームには、一般に、天井から清浄空気を流下させ、
床下から排気する、いわゆるダウンフローが形成される
ように構成され、塵埃等の微細粒子は、このダウンフロ
ーによって速やかにクリーンルーム外に排出されるよう
にされている。
ンルームには、一般に、天井から清浄空気を流下させ、
床下から排気する、いわゆるダウンフローが形成される
ように構成され、塵埃等の微細粒子は、このダウンフロ
ーによって速やかにクリーンルーム外に排出されるよう
にされている。
【０００４】また、クリーンルームにおいて、搬送物を
搬送するためには、搬送台車が使用されるが、クリーン
ルーム内の高度なクリーン度を保つために、搬送台車が
走行することによって発生する乱流にてダウンフローが
乱されないようにするために、搬送台車を低速で走行さ
せるようにしていた。
搬送するためには、搬送台車が使用されるが、クリーン
ルーム内の高度なクリーン度を保つために、搬送台車が
走行することによって発生する乱流にてダウンフローが
乱されないようにするために、搬送台車を低速で走行さ
せるようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、限られた台
数の搬送台車を用いて、搬送能力を向上するためには、
搬送台車の走行速度を高める必要がある。ところが、搬
送台車を高速で走行させると、搬送台車の前面及び後面
において乱流が発生し、この乱流にてダウンフローが乱
され、床面、床下等から塵埃等の微細粒子が舞い上げら
れ、舞い上がった塵埃等の微細粒子により、搬送台車に
搭載した搬送物や製造装置が汚染されるという問題があ
った。
数の搬送台車を用いて、搬送能力を向上するためには、
搬送台車の走行速度を高める必要がある。ところが、搬
送台車を高速で走行させると、搬送台車の前面及び後面
において乱流が発生し、この乱流にてダウンフローが乱
され、床面、床下等から塵埃等の微細粒子が舞い上げら
れ、舞い上がった塵埃等の微細粒子により、搬送台車に
搭載した搬送物や製造装置が汚染されるという問題があ
った。
【０００６】本発明は、上記従来の搬送台車の問題点に
鑑み、搬送台車をクリーンルーム内で高速で走行させて
も乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることがなく、搬送
台車に搭載した搬送物や搬送路近傍に設置した製造装置
が汚染されることなく、搬送能力を向上することができ
るようにした搬送台車を提供することを目的とする。
鑑み、搬送台車をクリーンルーム内で高速で走行させて
も乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることがなく、搬送
台車に搭載した搬送物や搬送路近傍に設置した製造装置
が汚染されることなく、搬送能力を向上することができ
るようにした搬送台車を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の搬送台車は、搬送台車に搭載する搬送物の
受渡位置より下方の搬送台車の片側又は両側の側面に、
搬送台車の走行方向に延びる凹溝からなる空気流通溝を
形成したことを特徴とする。この場合、本発明は、クリ
ーンルーム内を走行する搬送台車又はトンネル状の搬送
路内を走行する搬送台車のいずれにも適用することがで
きる。
め、本発明の搬送台車は、搬送台車に搭載する搬送物の
受渡位置より下方の搬送台車の片側又は両側の側面に、
搬送台車の走行方向に延びる凹溝からなる空気流通溝を
形成したことを特徴とする。この場合、本発明は、クリ
ーンルーム内を走行する搬送台車又はトンネル状の搬送
路内を走行する搬送台車のいずれにも適用することがで
きる。
【０００８】この搬送台車は、搬送台車に搭載する搬送
物の受渡位置より下方の搬送台車の片側又は両側の側面
に、搬送台車の走行方向に延びる凹溝からなる空気流通
溝を形成するようにしているので、搬送台車の走行時、
搬送台車の前面及び後面の空気が、空気流通溝に吸引さ
れるように流れ込むことにより、搬送台車を高速で走行
させても、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃
が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や
製造装置が汚染されることを防止することができる。そ
して、より具体的には、搬送台車が走行する搬送路の空
気がクリーンルーム内に流入することを防止することが
でき、トンネル状の搬送路内を搬送台車が走行する場合
に、搬送台車の前面及び後面のトンネル状の搬送路内の
空気を、空気流通溝に逃がすようにすることができ、こ
れにより、搬送台車の空気流通溝を形成した位置よりも
上方に形成された、トンネル状の搬送路の製造装置側の
搬送物の受渡口に特別な遮断装置を設けなくても、搬送
物の受渡口から塵埃が侵入することを防止して、経済的
にクリーンルームの清浄度を維持することができる。
物の受渡位置より下方の搬送台車の片側又は両側の側面
に、搬送台車の走行方向に延びる凹溝からなる空気流通
溝を形成するようにしているので、搬送台車の走行時、
搬送台車の前面及び後面の空気が、空気流通溝に吸引さ
れるように流れ込むことにより、搬送台車を高速で走行
させても、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃
が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や
製造装置が汚染されることを防止することができる。そ
して、より具体的には、搬送台車が走行する搬送路の空
気がクリーンルーム内に流入することを防止することが
でき、トンネル状の搬送路内を搬送台車が走行する場合
に、搬送台車の前面及び後面のトンネル状の搬送路内の
空気を、空気流通溝に逃がすようにすることができ、こ
れにより、搬送台車の空気流通溝を形成した位置よりも
上方に形成された、トンネル状の搬送路の製造装置側の
搬送物の受渡口に特別な遮断装置を設けなくても、搬送
物の受渡口から塵埃が侵入することを防止して、経済的
にクリーンルームの清浄度を維持することができる。
【０００９】この場合において、搬送台車の前面及び後
面に吸気口を形成し、吸気口から吸引した空気の少なく
とも一部を空気流通溝に逃がすようにすることができ
る。
面に吸気口を形成し、吸気口から吸引した空気の少なく
とも一部を空気流通溝に逃がすようにすることができ
る。
【００１０】これにより、搬送台車の前面に生じる不均
一な空気の流れを減らし、後面にできた乱流を吸引する
ことができ、搬送台車の前面及び後面の空気を、空気流
通溝に円滑に逃がすようにすることができることと相俟
って、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞
い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や製造
装置が汚染されることを確実に防止し、搬送台車の一層
の高速化が可能となる。
一な空気の流れを減らし、後面にできた乱流を吸引する
ことができ、搬送台車の前面及び後面の空気を、空気流
通溝に円滑に逃がすようにすることができることと相俟
って、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞
い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や製造
装置が汚染されることを確実に防止し、搬送台車の一層
の高速化が可能となる。
【００１１】また、吸気口から吸引した空気を空気流通
溝に強制的に逃がすためのファンを配設することができ
る。
溝に強制的に逃がすためのファンを配設することができ
る。
【００１２】これにより、搬送台車の前面及び後面の空
気を、空気流通溝に確実に逃がすようにすることがで
き、搬送台車がクリーンルーム内を走行する場合はもち
ろん、特に、搬送台車をトンネル状の搬送路内を走行す
るように構成した場合に、空気流通溝より上方に乱流が
生じたり、塵埃が舞い上がることを一層確実に防止する
ことができる。
気を、空気流通溝に確実に逃がすようにすることがで
き、搬送台車がクリーンルーム内を走行する場合はもち
ろん、特に、搬送台車をトンネル状の搬送路内を走行す
るように構成した場合に、空気流通溝より上方に乱流が
生じたり、塵埃が舞い上がることを一層確実に防止する
ことができる。
【００１３】また、搬送台車に搭載する搬送物は、搬送
台車内に収容して搭載することも、搬送台車上に露出し
て搭載することもできる。
台車内に収容して搭載することも、搬送台車上に露出し
て搭載することもできる。
【００１４】これにより、搬送台車に搭載する搬送物の
種類、形状、搬送台車が走行する搬送路のクリーン度等
に応じて、搬送形態を選択することができる。
種類、形状、搬送台車が走行する搬送路のクリーン度等
に応じて、搬送形態を選択することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の搬送台車の実施の
形態を図面に基づいて説明する。
形態を図面に基づいて説明する。
【００１６】図１〜図２に、本発明の搬送台車の第１実
施例を示す。この搬送台車２は、クリーンルームと区画
したトンネル状の搬送路１内を走行するように構成した
もので、搬送路１と搬送台車２とは、図１に示すよう
に、搬送台車２が搬送路１の中を走行できるように、搬
送路１の内幅Ｗ０は搬送台車２の本体部２１の横幅Ｗ１
より大きく形成するとともに、必要に応じて、搬送台車
２が走行する走行レールＲを敷設し、搬送路１の内部に
は所定のクリーン度を維持するために、ダウンフローを
形成する。
施例を示す。この搬送台車２は、クリーンルームと区画
したトンネル状の搬送路１内を走行するように構成した
もので、搬送路１と搬送台車２とは、図１に示すよう
に、搬送台車２が搬送路１の中を走行できるように、搬
送路１の内幅Ｗ０は搬送台車２の本体部２１の横幅Ｗ１
より大きく形成するとともに、必要に応じて、搬送台車
２が走行する走行レールＲを敷設し、搬送路１の内部に
は所定のクリーン度を維持するために、ダウンフローを
形成する。
【００１７】また、搬送路１の適宜位置に、搬送台車２
が停止するステーションを形成するとともに、ステーシ
ョンに停止した搬送台車に搭載する搬送物の受渡位置に
は、製造装置側の搬送物の受渡口となる開口部１１を搬
送路１のカバー１０に形成する。
が停止するステーションを形成するとともに、ステーシ
ョンに停止した搬送台車に搭載する搬送物の受渡位置に
は、製造装置側の搬送物の受渡口となる開口部１１を搬
送路１のカバー１０に形成する。
【００１８】搬送台車２は、本体部２１に、半導体ウエ
ハ、液晶、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディ
スク等を直接又はこれらを収納したカセット等の搬送物
を搭載する収容室２０を形成し、収容室２０には、必要
に応じて、製造装置側の搬送物の受渡口との間で搬送物
の受渡を行う移載装置等（図示省略）を配設するように
する。この場合、収容室２０は、上下を天井２１ａ及び
床２１ｂにより、また、搬送台車２の走行方向の前後を
隔壁２１ｃ，２１ｄにより、それぞれ区画するととも
に、搬送物の受渡を行うために本体部２１に形成した開
口部（図示省略）に扉を設けることにより、収容室２０
を閉鎖することができるようにし、これにより、搬送路
１内を走行中に搬送台車２に搭載した搬送物が外部の塵
埃等によって汚染されるのを確実に防止できるようにす
る。
ハ、液晶、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディ
スク等を直接又はこれらを収納したカセット等の搬送物
を搭載する収容室２０を形成し、収容室２０には、必要
に応じて、製造装置側の搬送物の受渡口との間で搬送物
の受渡を行う移載装置等（図示省略）を配設するように
する。この場合、収容室２０は、上下を天井２１ａ及び
床２１ｂにより、また、搬送台車２の走行方向の前後を
隔壁２１ｃ，２１ｄにより、それぞれ区画するととも
に、搬送物の受渡を行うために本体部２１に形成した開
口部（図示省略）に扉を設けることにより、収容室２０
を閉鎖することができるようにし、これにより、搬送路
１内を走行中に搬送台車２に搭載した搬送物が外部の塵
埃等によって汚染されるのを確実に防止できるようにす
る。
【００１９】そして、搬送台車２の両側面には、搬送物
を搭載する収容室２０より下方位置に、搬送台車２の走
行方向に延びる凹溝からなる空気流通溝２４，２４を形
成し、これにより、搬送台車２を、本体部２１と、走行
車輪２５を備えた台車部２２と、本体部２１と台車部２
２とを接続する、本体部２１の横幅Ｗ１及び台車部２２
の横幅Ｗ２よりも狭い横幅Ｗ３を有する中間連接部２３
とからなる、縦断面形状を略横Ｈ字形になるように構成
するようにする。なお、搬送台車２の縦断面形状は、本
実施例の略横Ｈ字形に限定されず、例えば、走行車輪２
５を備えた台車部２２の形状を小形化して台車部２２の
横幅Ｗ３と中間連接部２３の横幅Ｗ２を略等しく形成
し、略Ｔ字形に構成することもできる。また、製造装置
側の搬送物の受渡口となる開口部１１が、搬送路１のカ
バー１０の一方側にのみ形成されている場合には、空気
流通溝２４は、必ずしも搬送台車２の両側面に形成する
必要はなく、開口部１１が形成されている側の側面に形
成し、他方側の側面は平面状に形成することもできる。
を搭載する収容室２０より下方位置に、搬送台車２の走
行方向に延びる凹溝からなる空気流通溝２４，２４を形
成し、これにより、搬送台車２を、本体部２１と、走行
車輪２５を備えた台車部２２と、本体部２１と台車部２
２とを接続する、本体部２１の横幅Ｗ１及び台車部２２
の横幅Ｗ２よりも狭い横幅Ｗ３を有する中間連接部２３
とからなる、縦断面形状を略横Ｈ字形になるように構成
するようにする。なお、搬送台車２の縦断面形状は、本
実施例の略横Ｈ字形に限定されず、例えば、走行車輪２
５を備えた台車部２２の形状を小形化して台車部２２の
横幅Ｗ３と中間連接部２３の横幅Ｗ２を略等しく形成
し、略Ｔ字形に構成することもできる。また、製造装置
側の搬送物の受渡口となる開口部１１が、搬送路１のカ
バー１０の一方側にのみ形成されている場合には、空気
流通溝２４は、必ずしも搬送台車２の両側面に形成する
必要はなく、開口部１１が形成されている側の側面に形
成し、他方側の側面は平面状に形成することもできる。
【００２０】また、搬送台車２の前面３及び後面４は、
下向きの傾斜面に構成するととともに、吸気口５，６を
形成し、吸気口５，６から吸引した空気を空気流通溝２
４及び搬送台車２の下方に逃がすことができるように、
本体部２１の空気流通溝２４に面する下面２１ｂ（ただ
し、収容室２０を形成した位置を除いてもよい。）の適
宜位置、本実施例においては、搬送台車２の走行方向の
前後２箇所に、合計４個の排気口８を、台車部２２の床
２２ａの適宜位置、本実施例においては、搬送台車２の
走行方向の前後２箇所に、合計２個の排気口９を形成
し、排気口８及び排気口９には、吸気口５，６から吸引
した空気を空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に強制
的に逃がすためのファン１０を、それぞれ配設するよう
にしている。この場合、搬送台車２の前面３及び後面４
の傾斜面の角度θは、搬送台車２が走行するとき、搬送
台車２の前面３及び後面４の搬送路１内の空気ができる
だけ下向きの気流ａ，ｂ，ｄ，ｅとなるようにして設定
するようにするのが望ましい。また、吸気口５，６に
は、ルーバ、網体等の空気が円滑に通過できる任意の部
材を配設することができる。なお、空気流通溝２４及び
搬送台車２の下方に逃がすようにした空気は、搬送路１
の内部にダウンフローが形成されている場合には、搬送
路１の床を構成するグレーチィングから床下へ排気され
る。また、本実施例においては、本体部２１と中間連接
部２３の吸気口５，６の背部に形成した空間を本体部２
１の下面２１ｂにより区画することにより連通しないよ
うに構成したが、両空間を区画する本体部２１の下面２
１ｂに連通孔を形成することもできる。
下向きの傾斜面に構成するととともに、吸気口５，６を
形成し、吸気口５，６から吸引した空気を空気流通溝２
４及び搬送台車２の下方に逃がすことができるように、
本体部２１の空気流通溝２４に面する下面２１ｂ（ただ
し、収容室２０を形成した位置を除いてもよい。）の適
宜位置、本実施例においては、搬送台車２の走行方向の
前後２箇所に、合計４個の排気口８を、台車部２２の床
２２ａの適宜位置、本実施例においては、搬送台車２の
走行方向の前後２箇所に、合計２個の排気口９を形成
し、排気口８及び排気口９には、吸気口５，６から吸引
した空気を空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に強制
的に逃がすためのファン１０を、それぞれ配設するよう
にしている。この場合、搬送台車２の前面３及び後面４
の傾斜面の角度θは、搬送台車２が走行するとき、搬送
台車２の前面３及び後面４の搬送路１内の空気ができる
だけ下向きの気流ａ，ｂ，ｄ，ｅとなるようにして設定
するようにするのが望ましい。また、吸気口５，６に
は、ルーバ、網体等の空気が円滑に通過できる任意の部
材を配設することができる。なお、空気流通溝２４及び
搬送台車２の下方に逃がすようにした空気は、搬送路１
の内部にダウンフローが形成されている場合には、搬送
路１の床を構成するグレーチィングから床下へ排気され
る。また、本実施例においては、本体部２１と中間連接
部２３の吸気口５，６の背部に形成した空間を本体部２
１の下面２１ｂにより区画することにより連通しないよ
うに構成したが、両空間を区画する本体部２１の下面２
１ｂに連通孔を形成することもできる。
【００２１】ところで、本実施例においては、搬送物
は、搬送台車２の収容室２０内に収容して搭載するよう
にしたが、これに限定されず、図３に示す本発明の搬送
台車の第２実施例のように、半導体ウエハ、液晶等を収
納するカセット等の搬送物Ｇを搬送台車２上に露出して
搭載するように構成することもでき、これにより、搬送
台車２に搭載する搬送物の種類、形状等に応じて、搬送
形態を選択することができる。なお、この第２実施例の
搬送台車２のその他の基本構成は、上記第１実施例の搬
送台車２と同様である。
は、搬送台車２の収容室２０内に収容して搭載するよう
にしたが、これに限定されず、図３に示す本発明の搬送
台車の第２実施例のように、半導体ウエハ、液晶等を収
納するカセット等の搬送物Ｇを搬送台車２上に露出して
搭載するように構成することもでき、これにより、搬送
台車２に搭載する搬送物の種類、形状等に応じて、搬送
形態を選択することができる。なお、この第２実施例の
搬送台車２のその他の基本構成は、上記第１実施例の搬
送台車２と同様である。
【００２２】次に、上記の搬送台車２の作用について説
明する。搬送台車２が、搬送物を搭載してトンネル状の
搬送路１内を矢符Ｖ方向に走行すると、搬送路１内の空
気の大部分は、搬送台車２の前面３及び後面４の傾斜面
に沿う下向きの気流ａ，ｂ，ｄ，ｅとなって、搬送台車
２の前面３及び後面４に形成した吸気口５，６から吸引
されるとともに、吸引された空気は、本体部２１の下面
２１ｂに形成した排気口８及び台車部２２の床２２ａに
形成した排気口９を介して、空気流通溝２４及び搬送台
車２の下方に流れる。
明する。搬送台車２が、搬送物を搭載してトンネル状の
搬送路１内を矢符Ｖ方向に走行すると、搬送路１内の空
気の大部分は、搬送台車２の前面３及び後面４の傾斜面
に沿う下向きの気流ａ，ｂ，ｄ，ｅとなって、搬送台車
２の前面３及び後面４に形成した吸気口５，６から吸引
されるとともに、吸引された空気は、本体部２１の下面
２１ｂに形成した排気口８及び台車部２２の床２２ａに
形成した排気口９を介して、空気流通溝２４及び搬送台
車２の下方に流れる。
【００２３】この場合、吸気口８及び排気口９には、吸
気口５，６から吸引した空気を空気流通溝２４及び搬送
台車２の下方に強制的に逃がすためのファン１０が、そ
れぞれ配設されているため、搬送台車２の前面３及び後
面４の空気を、空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に
逃がすことができる。
気口５，６から吸引した空気を空気流通溝２４及び搬送
台車２の下方に強制的に逃がすためのファン１０が、そ
れぞれ配設されているため、搬送台車２の前面３及び後
面４の空気を、空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に
逃がすことができる。
【００２４】また、搬送台車２の前面３及び後面４の搬
送路１内の空気の一部は、搬送台車２の本体部２１と搬
送路１のカバー１０の狭い隙間に入り込み、従来の縦断
面形状が略矩形の搬送台車においては、この空気の流れ
に乗って、さらには、この空気の流れに伴ってトンネル
状の搬送路１の下部の空気が塵埃と共に舞い上げられる
ことによって、搬送路１の搬送台車に搭載する搬送物の
受渡位置に形成された製造装置側の搬送物の受渡口とな
る開口部１１から塵埃が侵入し、搬送路１と遮断された
クリーンルームが汚染されたり、搬送台車２に搭載した
搬送物が汚染されるという問題があった。
送路１内の空気の一部は、搬送台車２の本体部２１と搬
送路１のカバー１０の狭い隙間に入り込み、従来の縦断
面形状が略矩形の搬送台車においては、この空気の流れ
に乗って、さらには、この空気の流れに伴ってトンネル
状の搬送路１の下部の空気が塵埃と共に舞い上げられる
ことによって、搬送路１の搬送台車に搭載する搬送物の
受渡位置に形成された製造装置側の搬送物の受渡口とな
る開口部１１から塵埃が侵入し、搬送路１と遮断された
クリーンルームが汚染されたり、搬送台車２に搭載した
搬送物が汚染されるという問題があった。
【００２５】これに対して、本実施例の搬送台車２にお
いては、搬送台車２に搭載する搬送物の受渡位置より下
方の搬送台車２の側面に、搬送台車２の走行方向に延び
る凹溝からなる空気流通溝２４が形成されているため、
搬送台車２の本体部２１と搬送路１のカバー１０の狭い
隙間の気流ｃは、気流ｃの流速が空気流通溝２４を流れ
る気流の流速よりも小さくなることから、気流の動圧の
差によって、空気流通溝２４に吸引されるように流れ込
むようになり、空気流通溝２４より上方に乱流及び塵埃
の舞い上がりを発生させず、搬送路１と遮断されたクリ
ーンルームが汚染されたり、搬送台車２に搭載した搬送
物が汚染されることを防止することができる。
いては、搬送台車２に搭載する搬送物の受渡位置より下
方の搬送台車２の側面に、搬送台車２の走行方向に延び
る凹溝からなる空気流通溝２４が形成されているため、
搬送台車２の本体部２１と搬送路１のカバー１０の狭い
隙間の気流ｃは、気流ｃの流速が空気流通溝２４を流れ
る気流の流速よりも小さくなることから、気流の動圧の
差によって、空気流通溝２４に吸引されるように流れ込
むようになり、空気流通溝２４より上方に乱流及び塵埃
の舞い上がりを発生させず、搬送路１と遮断されたクリ
ーンルームが汚染されたり、搬送台車２に搭載した搬送
物が汚染されることを防止することができる。
【００２６】このように、搬送台車２の走行時、搬送台
車２の前面３及び後面４の空気が、空気流通溝２４及び
搬送台車２の下方に吸引されるように流れ込むことによ
り、搬送台車２を高速で走行させても、空気流通溝２４
より上方に乱流及び塵埃の舞い上がりを発生させず、搬
送台車２に搭載した搬送物や製造装置が汚染されること
を防止することができる。
車２の前面３及び後面４の空気が、空気流通溝２４及び
搬送台車２の下方に吸引されるように流れ込むことによ
り、搬送台車２を高速で走行させても、空気流通溝２４
より上方に乱流及び塵埃の舞い上がりを発生させず、搬
送台車２に搭載した搬送物や製造装置が汚染されること
を防止することができる。
【００２７】なお、上記実施例においては、搬送台車２
をクリーンルームと区画したトンネル状の搬送路１内を
走行する場合について説明したが、これに限定されず、
クリーンルームに直接形成した搬送路を走行する搬送台
車にも、本発明の搬送台車の構成を適用することがで
き、これにより、同様の作用効果を得ることができる。
をクリーンルームと区画したトンネル状の搬送路１内を
走行する場合について説明したが、これに限定されず、
クリーンルームに直接形成した搬送路を走行する搬送台
車にも、本発明の搬送台車の構成を適用することがで
き、これにより、同様の作用効果を得ることができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明の搬送台車によれば、搬送台車に
搭載する搬送物の受渡位置より下方の搬送台車の側面
に、搬送台車の走行方向に延びる凹溝からなる空気流通
溝を形成するようにしているので、搬送台車の走行時、
搬送台車の前面及び後面の空気が、空気流通溝に吸引さ
れるように流れ込むことにより、搬送台車を高速で走行
させても、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃
が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や
製造装置が汚染されることを防止することができる。こ
れにより、クリーンルームの清浄度を維持するために、
設備コスト及び維持コストを要することなく、搬送台車
を高速で走行させることが可能となり、搬送能力を向上
することができる。そして、より具体的には、搬送台車
が走行する搬送路の空気がクリーンルーム内に流入する
ことを防止することができ、トンネル状の搬送路内を搬
送台車が走行する場合に、搬送台車の前面及び後面のト
ンネル状の搬送路内の空気を、空気流通溝に逃がすよう
にすることができ、これにより、搬送台車の空気流通溝
を形成した位置よりも上方に形成された、トンネル状の
搬送路の製造装置側の搬送物の受渡口に特別な遮断装置
を設けなくても、搬送物の受渡口から塵埃が侵入するこ
とを防止して、経済的にクリーンルームの清浄度を維持
することができ、併せて、搬送物を搬送台車内に収容し
て搭載することにより、搬送路のクリーン度を下げるこ
とができ、空調設備に要するコストを大幅に低減するこ
とができる。
搭載する搬送物の受渡位置より下方の搬送台車の側面
に、搬送台車の走行方向に延びる凹溝からなる空気流通
溝を形成するようにしているので、搬送台車の走行時、
搬送台車の前面及び後面の空気が、空気流通溝に吸引さ
れるように流れ込むことにより、搬送台車を高速で走行
させても、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃
が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や
製造装置が汚染されることを防止することができる。こ
れにより、クリーンルームの清浄度を維持するために、
設備コスト及び維持コストを要することなく、搬送台車
を高速で走行させることが可能となり、搬送能力を向上
することができる。そして、より具体的には、搬送台車
が走行する搬送路の空気がクリーンルーム内に流入する
ことを防止することができ、トンネル状の搬送路内を搬
送台車が走行する場合に、搬送台車の前面及び後面のト
ンネル状の搬送路内の空気を、空気流通溝に逃がすよう
にすることができ、これにより、搬送台車の空気流通溝
を形成した位置よりも上方に形成された、トンネル状の
搬送路の製造装置側の搬送物の受渡口に特別な遮断装置
を設けなくても、搬送物の受渡口から塵埃が侵入するこ
とを防止して、経済的にクリーンルームの清浄度を維持
することができ、併せて、搬送物を搬送台車内に収容し
て搭載することにより、搬送路のクリーン度を下げるこ
とができ、空調設備に要するコストを大幅に低減するこ
とができる。
【００２９】また、搬送台車の前面及び後面に吸気口を
形成し、吸気口から吸引した空気の少なくとも一部を空
気流通溝に逃がすようにすることにより、搬送台車の前
面に生じる不均一な空気の流れを減らし、後面にできた
乱流を吸引することができ、搬送台車の前面及び後面の
空気を、空気流通溝に円滑に逃がすようにすることがで
きることと相俟って、空気流通溝より上方に乱流が生じ
たり、塵埃が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載し
た搬送物や製造装置が汚染されることを確実に防止し、
搬送台車の一層の高速化が可能となる。
形成し、吸気口から吸引した空気の少なくとも一部を空
気流通溝に逃がすようにすることにより、搬送台車の前
面に生じる不均一な空気の流れを減らし、後面にできた
乱流を吸引することができ、搬送台車の前面及び後面の
空気を、空気流通溝に円滑に逃がすようにすることがで
きることと相俟って、空気流通溝より上方に乱流が生じ
たり、塵埃が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載し
た搬送物や製造装置が汚染されることを確実に防止し、
搬送台車の一層の高速化が可能となる。
【００３０】また、吸気口から吸引した空気を空気流通
溝に強制的に逃がすためのファンを配設することによ
り、搬送台車の前面及び後面の空気を、空気流通溝に確
実に逃がすようにすることができ、搬送台車がクリーン
ルーム内を走行する場合はもちろん、特に、搬送台車を
トンネル状の搬送路内を走行するように構成した場合
に、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞い
上がることを一層確実に防止することができる。
溝に強制的に逃がすためのファンを配設することによ
り、搬送台車の前面及び後面の空気を、空気流通溝に確
実に逃がすようにすることができ、搬送台車がクリーン
ルーム内を走行する場合はもちろん、特に、搬送台車を
トンネル状の搬送路内を走行するように構成した場合
に、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞い
上がることを一層確実に防止することができる。
【００３１】また、搬送台車に搭載する搬送物は、その
種類、形状、搬送台車が走行する搬送路のクリーン度等
に応じて、搬送台車内に収容して搭載することも、搬送
台車上に露出して搭載することもでき、これにより、搬
送物の搬送形態の自由度を増すことができる。
種類、形状、搬送台車が走行する搬送路のクリーン度等
に応じて、搬送台車内に収容して搭載することも、搬送
台車上に露出して搭載することもでき、これにより、搬
送物の搬送形態の自由度を増すことができる。
【図１】本発明の搬送台車の第１実施例を示す外観斜視
図である。
図である。
【図２】同搬送台車を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は
側面図である。
側面図である。
【図３】本発明の搬送台車の第２実施例を示し、（Ａ）
は正面図、（Ｂ）は側面図である。
は正面図、（Ｂ）は側面図である。
１ 搬送路 ２ 搬送台車 ２１ 本体部 ２２ 台車部 ２３ 中間連接部 ２４ 空気流通溝 ３ 前面 ４ 後面 ５ 吸気口 ６ 吸気口 ８ 排気口 ９ 排気口 １０ 排気ファン １１ 開口部 Ｒ 走行レール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大塚 浩明 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 珍部 弘 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3D050 AA11 BB04 DD02 EE08 EE15 GG01 KK09 KK14 5D112 AA24 KK02 5D121 AA20 JJ03 5F031 CA02 CA05 GA58 NA02
Claims (5)
- 【請求項１】 搬送台車に搭載する搬送物の受渡位置よ
り下方の搬送台車の片側又は両側の側面に、搬送台車の
走行方向に延びる凹溝からなる空気流通溝を形成したこ
とを特徴とする搬送台車。 - 【請求項２】 搬送台車の前面及び後面に吸気口を形成
し、該吸気口から吸引した空気の少なくとも一部を空気
流通溝に逃がすようにしたことを特徴とする請求項１記
載の搬送台車。 - 【請求項３】 吸気口から吸引した空気を空気流通溝に
強制的に逃がすためのファンを配設したことを特徴とす
る請求項２記載の搬送台車。 - 【請求項４】 搬送物を搬送台車内に収容して搭載する
ようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３記載の
搬送台車。 - 【請求項５】 搬送物を搬送台車上に露出して搭載する
ようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３記載の
搬送台車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16492099A JP4067703B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | 搬送台車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16492099A JP4067703B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | 搬送台車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000353733A true JP2000353733A (ja) | 2000-12-19 |
| JP4067703B2 JP4067703B2 (ja) | 2008-03-26 |
Family
ID=15802371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16492099A Expired - Fee Related JP4067703B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | 搬送台車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4067703B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106627688A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-05-10 | 何健 | 粉末碳黑运输存储装置 |
| CN111845898A (zh) * | 2020-08-04 | 2020-10-30 | 福州市连江县利凯科技有限公司 | 一种可省力快速卸料并除灰的石料送料推车 |
-
1999
- 1999-06-11 JP JP16492099A patent/JP4067703B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106627688A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-05-10 | 何健 | 粉末碳黑运输存储装置 |
| CN111845898A (zh) * | 2020-08-04 | 2020-10-30 | 福州市连江县利凯科技有限公司 | 一种可省力快速卸料并除灰的石料送料推车 |
| CN111845898B (zh) * | 2020-08-04 | 2021-05-07 | 杭州明鑫钙业有限公司 | 一种可省力快速卸料并除灰的石料送料推车 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4067703B2 (ja) | 2008-03-26 |
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Legal Events
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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