JP2000357461A - 平面型表示装置とその製造方法 - Google Patents
平面型表示装置とその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 平面型表示装置における高精細度、高密度表
示を向上し、さらに、駆動電力、すなわち消費電力の低
減化をはかる。 【解決手段】 第１および第２の基板１および２が相対
向して配置された構成とし、その第１の基板１に、複数
対の放電維持電極３および４が配列されて成る放電維持
電極群５を形成し、第２の基板に、複数のアドレス電極
が配列されて成るアドレス電極群を形成するものである
が、特にそのプラズマ放電表示を主として陰極グロー放
電によって行う構成としたことにより電極間間隔の狭小
化を図り、もって高精細度、高密度表示を可能にする。
示を向上し、さらに、駆動電力、すなわち消費電力の低
減化をはかる。 【解決手段】 第１および第２の基板１および２が相対
向して配置された構成とし、その第１の基板１に、複数
対の放電維持電極３および４が配列されて成る放電維持
電極群５を形成し、第２の基板に、複数のアドレス電極
が配列されて成るアドレス電極群を形成するものである
が、特にそのプラズマ放電表示を主として陰極グロー放
電によって行う構成としたことにより電極間間隔の狭小
化を図り、もって高精細度、高密度表示を可能にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、交流プラズマ放電
表示による平面型表示装置とその製造方法に係わる。
表示による平面型表示装置とその製造方法に係わる。
【０００２】
【従来の技術】プラズマ放電を利用する平面型表示装置
としては、例えば特開平７−２２０６４１号公報に開示
された表示装置がある。従来の平面型表示装置の例は、
例えば図７にその要部の概略分解斜視図を示すように、
例えばガラス基板より成る第１および第２の基板１０１
および１０２が所要の間隔を保持して対向されて、その
周囲が気密的に封止された偏平容器が構成されて成る。
としては、例えば特開平７−２２０６４１号公報に開示
された表示装置がある。従来の平面型表示装置の例は、
例えば図７にその要部の概略分解斜視図を示すように、
例えばガラス基板より成る第１および第２の基板１０１
および１０２が所要の間隔を保持して対向されて、その
周囲が気密的に封止された偏平容器が構成されて成る。
【０００３】第１の基板１０１の内面には、対となる例
えば透明導電層によって形成された放電維持電極１０３
および１０４が、複数対平行配列されて成る放電維持電
極群１０５が形成される。
えば透明導電層によって形成された放電維持電極１０３
および１０４が、複数対平行配列されて成る放電維持電
極群１０５が形成される。
【０００４】第２の基板１０２の内面には、放電維持電
極の延長方向と直交する方向に延びる隔壁１０６が所定
の間隔をもって平行配列され、これら隔壁１０６間にス
トライプ状にアドレス電極１０７が形成されるととも
に、同様に隔壁１０６間に、プラズマ放電によって発生
する紫外線による励起によって、それぞれ各色例えば
赤、緑および青の各色を発光する各色の蛍光体Ｒ、Ｇお
よびＢが塗布された成る。
極の延長方向と直交する方向に延びる隔壁１０６が所定
の間隔をもって平行配列され、これら隔壁１０６間にス
トライプ状にアドレス電極１０７が形成されるととも
に、同様に隔壁１０６間に、プラズマ放電によって発生
する紫外線による励起によって、それぞれ各色例えば
赤、緑および青の各色を発光する各色の蛍光体Ｒ、Ｇお
よびＢが塗布された成る。
【０００５】そして、選択されたアドレス電極１０７
と、一方の放電維持電極との間に、所要の放電開始電圧
を印加することによって、これらが交叉する部分におい
て放電を開始し、この放電を対の放電維持電極間に所要
の交番電圧を印加することによって、この部分における
放電を持続させ、この放電によって発光するエネルギー
光の例えば紫外線によって、この交叉部に位置する蛍光
体を発光させて目的とする発光表示を行うようにする。
と、一方の放電維持電極との間に、所要の放電開始電圧
を印加することによって、これらが交叉する部分におい
て放電を開始し、この放電を対の放電維持電極間に所要
の交番電圧を印加することによって、この部分における
放電を持続させ、この放電によって発光するエネルギー
光の例えば紫外線によって、この交叉部に位置する蛍光
体を発光させて目的とする発光表示を行うようにする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来一般の
プラズマ放電による表示装置は、いわゆる負グロー放電
によるものである。この負グロー放電は、例えば１３０
μｍ〜２００μｍの間隔をもって配置された電極間での
放電によるものである。したがって、この場合、電極間
隔例えば上述した対の放電維持電極間を十分小さくする
ことができないことから、自ずと、画素ピッチに制約が
生じ、高精細度表示を行う場合において、画素の高密度
化を阻害する。
プラズマ放電による表示装置は、いわゆる負グロー放電
によるものである。この負グロー放電は、例えば１３０
μｍ〜２００μｍの間隔をもって配置された電極間での
放電によるものである。したがって、この場合、電極間
隔例えば上述した対の放電維持電極間を十分小さくする
ことができないことから、自ずと、画素ピッチに制約が
生じ、高精細度表示を行う場合において、画素の高密度
化を阻害する。
【０００７】本発明においては、平面型表示装置におけ
る高精細度、高密度表示を向上し、さらに、駆動電力、
すなわち消費電力の低減化をはかる。
る高精細度、高密度表示を向上し、さらに、駆動電力、
すなわち消費電力の低減化をはかる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明におい
ては、平面型表示装置において、そのプラズマ放電を陰
極グロー放電を主体とする放電によって行う。本発明に
よる平面型表示装置は、第１および第２の基板が相対向
して配置された構成とし、その第１の基板に、複数対の
放電維持電極が平行配列されて成る放電維持電極群を形
成し、第２の基板に、複数のアドレス電極が配列されて
成るアドレス電極群を形成するものであるが、特にその
プラズマ放電表示を陰極グロー放電によって行う。
ては、平面型表示装置において、そのプラズマ放電を陰
極グロー放電を主体とする放電によって行う。本発明に
よる平面型表示装置は、第１および第２の基板が相対向
して配置された構成とし、その第１の基板に、複数対の
放電維持電極が平行配列されて成る放電維持電極群を形
成し、第２の基板に、複数のアドレス電極が配列されて
成るアドレス電極群を形成するものであるが、特にその
プラズマ放電表示を陰極グロー放電によって行う。
【０００９】また、本発明による平面型表示装置の製造
方法は、第１の基板に、主たる延長方向がこの第１の基
板面に沿う第１の方向とされた複数対の放電維持電極を
配列形成する放電維持電極群の形成工程と、放電維持電
極を横切る方向に延びて所要の間隔を保持して平行配列
する突条部と該突条部と交叉し、対の放電維持電極間上
に沿って延びる交叉突条部よりなる井桁状突条を形成す
る工程と、第２の基板に、該第２の基板面に沿う第２の
方向に延びる複数のストライプ状突壁を平行配列して形
成する突壁群の形成工程と、第２の基板に、突壁に第２
の方向と交叉する方向の斜め上方から導電材を飛翔させ
る工程を経て、突壁の頂部とその近傍の側壁に選択的に
上記導電材を被着し、所要の突壁の頂部に形成された導
電材によってアドレス電極を形成する工程と、各突壁間
に、蛍光体層を塗布する工程と、第１および第２の基板
を、第１および第２の方向が互いに交叉する方向となる
ように対向させ、少なくとも突壁と交叉突条部とが共働
して、アドレス電極と、放電維持電極との間隔を所定の
間隔に設定するようする。
方法は、第１の基板に、主たる延長方向がこの第１の基
板面に沿う第１の方向とされた複数対の放電維持電極を
配列形成する放電維持電極群の形成工程と、放電維持電
極を横切る方向に延びて所要の間隔を保持して平行配列
する突条部と該突条部と交叉し、対の放電維持電極間上
に沿って延びる交叉突条部よりなる井桁状突条を形成す
る工程と、第２の基板に、該第２の基板面に沿う第２の
方向に延びる複数のストライプ状突壁を平行配列して形
成する突壁群の形成工程と、第２の基板に、突壁に第２
の方向と交叉する方向の斜め上方から導電材を飛翔させ
る工程を経て、突壁の頂部とその近傍の側壁に選択的に
上記導電材を被着し、所要の突壁の頂部に形成された導
電材によってアドレス電極を形成する工程と、各突壁間
に、蛍光体層を塗布する工程と、第１および第２の基板
を、第１および第２の方向が互いに交叉する方向となる
ように対向させ、少なくとも突壁と交叉突条部とが共働
して、アドレス電極と、放電維持電極との間隔を所定の
間隔に設定するようする。
【００１０】上述の本発明による平面型表示装置によれ
ば、少なくともその放電維持において、陰極グロー放電
を生じる構成に、すなわち対の放電維持電極間の間隔
を、５０μｍ未満例えば２０μｍ以下という狭小な間隔
とすることができ、ひいては、画素ピッチを縮小するこ
とができ、高精細度、高密度表示を行うことができるも
のである。また、このように、本発明においては、陰極
グロー放電による構成とすることによって、駆動電力
を、負グロー放電による場合に比して低減化することが
できるようにするものであり、特に大画面表示における
節電効果を高めるようにするものである。つまり、本発
明で云う陰極グロー放電は、その目的、効果から明らか
なように、陰極グロー放電を主体とするが、付随的に発
生する他の放電モードが幾分混在する場合をも含んで指
称するものである。
ば、少なくともその放電維持において、陰極グロー放電
を生じる構成に、すなわち対の放電維持電極間の間隔
を、５０μｍ未満例えば２０μｍ以下という狭小な間隔
とすることができ、ひいては、画素ピッチを縮小するこ
とができ、高精細度、高密度表示を行うことができるも
のである。また、このように、本発明においては、陰極
グロー放電による構成とすることによって、駆動電力
を、負グロー放電による場合に比して低減化することが
できるようにするものであり、特に大画面表示における
節電効果を高めるようにするものである。つまり、本発
明で云う陰極グロー放電は、その目的、効果から明らか
なように、陰極グロー放電を主体とするが、付随的に発
生する他の放電モードが幾分混在する場合をも含んで指
称するものである。
【００１１】また、本発明製造方法では、第１および第
２の基板に形成した突条と突壁とによって第１および第
２の基板間の間隔を規定する構成とする場合において、
その突壁の頂部に導電材を被着して少なくとも所定の突
壁上にアドレス電極を形成するものであるが、この導電
材を斜め方向からの飛翔によって形成するようにしたこ
とから、この導電材を突壁の頂部およびその近傍に限定
的に形成できるものであり、このようにしたことによっ
て少なくともアドレス電極相互の分離をアドレス電極の
形成と同時に行うことができることから、アドレス電極
の稠密配列を容易に行うことができる。
２の基板に形成した突条と突壁とによって第１および第
２の基板間の間隔を規定する構成とする場合において、
その突壁の頂部に導電材を被着して少なくとも所定の突
壁上にアドレス電極を形成するものであるが、この導電
材を斜め方向からの飛翔によって形成するようにしたこ
とから、この導電材を突壁の頂部およびその近傍に限定
的に形成できるものであり、このようにしたことによっ
て少なくともアドレス電極相互の分離をアドレス電極の
形成と同時に行うことができることから、アドレス電極
の稠密配列を容易に行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明による平面型表示装置の一
実施形態の一例を図面を参照して説明する。図１は、そ
の平面型表示装置の要部の概略斜視図を示し、図２は、
その同様に要部の分解斜視図を示す。また、図３は、そ
の要部の背面から見た平面図を示す。しかしながら、本
発明はこの例に限られるものではない。
実施形態の一例を図面を参照して説明する。図１は、そ
の平面型表示装置の要部の概略斜視図を示し、図２は、
その同様に要部の分解斜視図を示す。また、図３は、そ
の要部の背面から見た平面図を示す。しかしながら、本
発明はこの例に限られるものではない。
【００１３】この本発明による平面型表示装置は、それ
ぞれ例えばガラス基板より成る第１および第２の基板１
および２が相対向して成り、図示しないが、両基板１お
よび２の周囲がフリットシール等によって気密的に封止
される。この例においては、第１の基板１側から発光表
示を観察する場合であり、この場合、少なくともこの第
１の基板１は、表示光を透過する例えば透明ガラス基板
によって形成される。
ぞれ例えばガラス基板より成る第１および第２の基板１
および２が相対向して成り、図示しないが、両基板１お
よび２の周囲がフリットシール等によって気密的に封止
される。この例においては、第１の基板１側から発光表
示を観察する場合であり、この場合、少なくともこの第
１の基板１は、表示光を透過する例えば透明ガラス基板
によって形成される。
【００１４】第１の基板１の内面には、透明導電層、例
えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）による複数対の放電
維持電極３および４が、その主たる延長方向を、基板１
の板面に沿う第１の方向例えば図においてＸ方向となる
ように、例えばストライプ状に相互に平行配列されて形
成されて成る放電維持電極群５が設けられる。両電極３
および４の対向間隔は、陰極グロー放電が可能な間隔の
５０μｍ未満、好ましくは２０μｍ以下に選定される。
えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）による複数対の放電
維持電極３および４が、その主たる延長方向を、基板１
の板面に沿う第１の方向例えば図においてＸ方向となる
ように、例えばストライプ状に相互に平行配列されて形
成されて成る放電維持電極群５が設けられる。両電極３
および４の対向間隔は、陰極グロー放電が可能な間隔の
５０μｍ未満、好ましくは２０μｍ以下に選定される。
【００１５】そして、これら放電維持電極３および４
が、透明導電層によって形成される場合は、その導電性
が比較的低いことから、これら放電維持電極３および４
の導電性を補償するための導電性にすぐれた例えばＡｌ
によるいわゆるバス電極３ｂおよび４ｂが、放電維持電
極の主たる延長方向に沿って被着形成される。
が、透明導電層によって形成される場合は、その導電性
が比較的低いことから、これら放電維持電極３および４
の導電性を補償するための導電性にすぐれた例えばＡｌ
によるいわゆるバス電極３ｂおよび４ｂが、放電維持電
極の主たる延長方向に沿って被着形成される。
【００１６】また、第１の基板１には、放電維持電極３
および４を横切って上述のＸの方向と交叉例えば直交す
る第２の方向Ｙに延長する突条部６ｙを所定の間隔を保
持して平行に形成すると同時に、これら突条部６ｙと交
叉して、上述のＸ方向に延びる交叉突条部６ｘが形成さ
れた井桁状の突条６を形成する。その交叉突条部６ｘ
は、対の放電維持電極の組間に、放電維持電極３および
４に一部跨がって、あるいは跨ることなく形成される。
および４を横切って上述のＸの方向と交叉例えば直交す
る第２の方向Ｙに延長する突条部６ｙを所定の間隔を保
持して平行に形成すると同時に、これら突条部６ｙと交
叉して、上述のＸ方向に延びる交叉突条部６ｘが形成さ
れた井桁状の突条６を形成する。その交叉突条部６ｘ
は、対の放電維持電極の組間に、放電維持電極３および
４に一部跨がって、あるいは跨ることなく形成される。
【００１７】そして、第１の基板１の内面に全面的に誘
電体層７を、放電維持電極３および４の間隔ｄの半分以
下の厚さをもって被着し、更にその上に仕事関数が小さ
く、かつ電極の保護を行う例えばＭｇＯによる表面層８
を形成する。
電体層７を、放電維持電極３および４の間隔ｄの半分以
下の厚さをもって被着し、更にその上に仕事関数が小さ
く、かつ電極の保護を行う例えばＭｇＯによる表面層８
を形成する。
【００１８】また、第２の基板２の内面には、第２の方
向すなわちＹ方向に沿って延長し、第１の基板１の突条
６の突条部６ｙに対応し、かつこれら間に例えば１本づ
つ配置される例えばストライプ状の突壁９が形成され
る。すなわち、この突壁９は、突条部６ｙのピッチの１
／２のピッチで形成される。そして、これら突壁９の頂
部、特に突条部６ｙ間に位置する突壁９ｃの頂部に、そ
の延長方向に沿ってストライプ状にアドレス電極１０を
被着形成してアドレス電極群１１を形成する。
向すなわちＹ方向に沿って延長し、第１の基板１の突条
６の突条部６ｙに対応し、かつこれら間に例えば１本づ
つ配置される例えばストライプ状の突壁９が形成され
る。すなわち、この突壁９は、突条部６ｙのピッチの１
／２のピッチで形成される。そして、これら突壁９の頂
部、特に突条部６ｙ間に位置する突壁９ｃの頂部に、そ
の延長方向に沿ってストライプ状にアドレス電極１０を
被着形成してアドレス電極群１１を形成する。
【００１９】この構成において、突壁９および突条部６
が、衝合もしくは接合されることによって、これらの高
さの選定によって、第１および第２の基板１および２の
間隔およびアドレス電極１０と放電開始電極となる放電
維持電極３または４との間隔が、５０μｍ未満好ましく
は２０μｍ以下の所定の間隔、すなわち陰極グロー放電
を可能にする、すなわち主として陰極グロー放電が発生
する間隔に設定する。
が、衝合もしくは接合されることによって、これらの高
さの選定によって、第１および第２の基板１および２の
間隔およびアドレス電極１０と放電開始電極となる放電
維持電極３または４との間隔が、５０μｍ未満好ましく
は２０μｍ以下の所定の間隔、すなわち陰極グロー放電
を可能にする、すなわち主として陰極グロー放電が発生
する間隔に設定する。
【００２０】そして、各アドレス電極１０が形成された
突壁９ｃの両側に互いに同色を発光する蛍光体層が配置
形成される。例えば、カラー平面型表示装置を形成する
場合においては、例えば１本の突壁９ｃの両側の突壁９
との間の溝部に赤の発光がなされる蛍光体Ｒを配置さ
れ、その例えば左右にそれぞれ隣り合う他の突壁９ｃと
その両側の突壁９との間の各溝部に青の発光がなされる
蛍光体Ｂと緑の発光がなされる蛍光体Ｇとがそれぞれ配
置形成される。
突壁９ｃの両側に互いに同色を発光する蛍光体層が配置
形成される。例えば、カラー平面型表示装置を形成する
場合においては、例えば１本の突壁９ｃの両側の突壁９
との間の溝部に赤の発光がなされる蛍光体Ｒを配置さ
れ、その例えば左右にそれぞれ隣り合う他の突壁９ｃと
その両側の突壁９との間の各溝部に青の発光がなされる
蛍光体Ｂと緑の発光がなされる蛍光体Ｇとがそれぞれ配
置形成される。
【００２１】このようにして、第１および第２の基板１
および２の、突条部６および突壁９との共働によって放
電を閉じ込めて他と分離された放電領域を形成し、これ
ら領域において、それぞれ各色の発光がなされる画素領
域を形成する。
および２の、突条部６および突壁９との共働によって放
電を閉じ込めて他と分離された放電領域を形成し、これ
ら領域において、それぞれ各色の発光がなされる画素領
域を形成する。
【００２２】そして、第１および第２の基板１および２
によって形成された気密空間内を排気し、所要のガス、
例えばＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒのうちの１種以上
のガス例えばＮｅとＸｅとの混合ガスのいわゆるペニン
グガスを例えば０．０５〜５．０気圧に封入する。この
場合、各放電領域内の排気と、ガス封入を円滑に行うこ
とができるように、放電が他部に及ばない程度の気体流
通部を形成することができる。
によって形成された気密空間内を排気し、所要のガス、
例えばＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒのうちの１種以上
のガス例えばＮｅとＸｅとの混合ガスのいわゆるペニン
グガスを例えば０．０５〜５．０気圧に封入する。この
場合、各放電領域内の排気と、ガス封入を円滑に行うこ
とができるように、放電が他部に及ばない程度の気体流
通部を形成することができる。
【００２３】上述した本発明による平面型表示装置によ
れば、陰極グロー放電によるすなわち陰極グロー放電を
主体とする構成としたことから、すなわち対の放電維持
電極間の間隔を、５０μｍ未満この好ましくは２０μｍ
以下という狭小な間隔とすることができることから、画
素ピッチを縮小することができ、高精細度、高密度表示
を行うことができる。
れば、陰極グロー放電によるすなわち陰極グロー放電を
主体とする構成としたことから、すなわち対の放電維持
電極間の間隔を、５０μｍ未満この好ましくは２０μｍ
以下という狭小な間隔とすることができることから、画
素ピッチを縮小することができ、高精細度、高密度表示
を行うことができる。
【００２４】また、このように、本発明においては、陰
極グロー放電による構成としたことによって、駆動電力
を、負グロー放電による場合に比して低減化することが
できるものであり、特に大画面表示において問題となる
消費電力の低減化を図ることができる。
極グロー放電による構成としたことによって、駆動電力
を、負グロー放電による場合に比して低減化することが
できるものであり、特に大画面表示において問題となる
消費電力の低減化を図ることができる。
【００２５】次に、本発明による平面型表示装置の製造
方法の一実施形態を説明する。この実施形態において
は、図１〜図３で説明した装置を得る場合で、その一例
を説明する。しかしながら、本発明による製造方法はこ
の例に限られるものではない。まず、第１の基板１側の
製造方法の一例について説明する。この場合、例えば透
明のガラス基板１が用意され、この基板１の内面に、上
述の放電維持電極３および４が形成される。これら電極
３および４の形成は、基板１の内面に全面的に、透明導
電層、例えばＩＴＯを、例えば約３００ｎｍの厚さに成
膜し、フォトリソグラフィによるパターンエッチングを
行って、所要のパターンの放電維持電極３および４を形
成する。すなわち、例えば全面的に形成されたＩＴＯ上
にフォトレジスト層を塗布、焼き付けして、所要のパタ
ーンの露光および現像を行って目的とする平行配列され
たエッチングマスクを形成する。そして、このエッチン
グマスクを用いて例えば塩酸および塩化第２鉄の混合液
によるエッチング液によって透明導電層のパターンエッ
チングを行い、放電維持電極３および４を形成する。
方法の一実施形態を説明する。この実施形態において
は、図１〜図３で説明した装置を得る場合で、その一例
を説明する。しかしながら、本発明による製造方法はこ
の例に限られるものではない。まず、第１の基板１側の
製造方法の一例について説明する。この場合、例えば透
明のガラス基板１が用意され、この基板１の内面に、上
述の放電維持電極３および４が形成される。これら電極
３および４の形成は、基板１の内面に全面的に、透明導
電層、例えばＩＴＯを、例えば約３００ｎｍの厚さに成
膜し、フォトリソグラフィによるパターンエッチングを
行って、所要のパターンの放電維持電極３および４を形
成する。すなわち、例えば全面的に形成されたＩＴＯ上
にフォトレジスト層を塗布、焼き付けして、所要のパタ
ーンの露光および現像を行って目的とする平行配列され
たエッチングマスクを形成する。そして、このエッチン
グマスクを用いて例えば塩酸および塩化第２鉄の混合液
によるエッチング液によって透明導電層のパターンエッ
チングを行い、放電維持電極３および４を形成する。
【００２６】次に、上述のバス電極３ｂおよび４ｂの形
成を行う。このバス電極３ｂおよび４ｂの形成は、先
ず、第１の基板１の内面に、放電維持電極群３および４
を覆って全面的に、良導電性の例えばＡｌを約１μｍの
厚さに蒸着し、前述したと同様のフォトリソグラフィに
よるパターンエッチングを、例えばエッチング液として
りん酸を用いて行って各放電維持電極３および４上に、
その一部の幅にバス電極３ｂおよび４ｂを形成する。
成を行う。このバス電極３ｂおよび４ｂの形成は、先
ず、第１の基板１の内面に、放電維持電極群３および４
を覆って全面的に、良導電性の例えばＡｌを約１μｍの
厚さに蒸着し、前述したと同様のフォトリソグラフィに
よるパターンエッチングを、例えばエッチング液として
りん酸を用いて行って各放電維持電極３および４上に、
その一部の幅にバス電極３ｂおよび４ｂを形成する。
【００２７】そして、例えば印刷法によって、前述した
突条部６ｙと交叉突条部６ｘによる井桁状の突条６を、
高さ例えば２０μｍ、幅３０μｍ〜４０μｍに形成す
る。その後、全面的に例えばＳｉＯ2 による誘電体層７
をＣＶＤ(Chemical VaporDeposition) 法等によって形
成し、その上にＭｇＯを、厚さ約０．５μｍ〜１．０μ
ｍに例えば蒸着して表面層８を形成する。
突条部６ｙと交叉突条部６ｘによる井桁状の突条６を、
高さ例えば２０μｍ、幅３０μｍ〜４０μｍに形成す
る。その後、全面的に例えばＳｉＯ2 による誘電体層７
をＣＶＤ(Chemical VaporDeposition) 法等によって形
成し、その上にＭｇＯを、厚さ約０．５μｍ〜１．０μ
ｍに例えば蒸着して表面層８を形成する。
【００２８】一方、アドレス電極を有する第２の基板２
側の製造方法は、先ず、上述の突壁９を印刷法によって
形成する場合について説明する。この場合、ガラスペー
ストを複数回、重ね印刷する。この場合の１回の印刷の
厚さは約１０μｍであり、この印刷を繰り返すことによ
って、高さ（厚さ）５０μｍから８０μｍのストライプ
状印刷を行う。その後、例えば５００℃〜６００℃のベ
ーキングを行う。このようにすると、３０μｍ〜６０μ
ｍの高さの、突壁９を形成することができる。
側の製造方法は、先ず、上述の突壁９を印刷法によって
形成する場合について説明する。この場合、ガラスペー
ストを複数回、重ね印刷する。この場合の１回の印刷の
厚さは約１０μｍであり、この印刷を繰り返すことによ
って、高さ（厚さ）５０μｍから８０μｍのストライプ
状印刷を行う。その後、例えば５００℃〜６００℃のベ
ーキングを行う。このようにすると、３０μｍ〜６０μ
ｍの高さの、突壁９を形成することができる。
【００２９】その後、突壁９の少なくとも１つ置きの突
壁９ｃの頂部への導電層の形成を行う。この導電層の形
成は、図４Ａに示すように、図４Ａにおいて紙面と直交
する方向のＹ方向に沿って形成された突壁９に対し、紙
面に沿う方向のＸ方向の斜め上方から、導電材例えばＡ
ｌを、その飛翔方向に方向性を有する例えば蒸着法によ
る、すなわちいわゆる斜め蒸着によって被着する。この
ようにすると、隣りに存在する突壁９の陰になって突壁
９の基部には、導電材１２が被着されない部分が形成さ
れ、各突壁９に関して導電材１２が分断して形成され
る。したがって、その１つ置きの突壁９ｃに関しても、
その両側の突壁９の導電材１２と分断された導電材１２
の被着がなされ、各突壁９ｃに、他と分離された導電材
１２によるアドレス電極１０を構成することができる。
壁９ｃの頂部への導電層の形成を行う。この導電層の形
成は、図４Ａに示すように、図４Ａにおいて紙面と直交
する方向のＹ方向に沿って形成された突壁９に対し、紙
面に沿う方向のＸ方向の斜め上方から、導電材例えばＡ
ｌを、その飛翔方向に方向性を有する例えば蒸着法によ
る、すなわちいわゆる斜め蒸着によって被着する。この
ようにすると、隣りに存在する突壁９の陰になって突壁
９の基部には、導電材１２が被着されない部分が形成さ
れ、各突壁９に関して導電材１２が分断して形成され
る。したがって、その１つ置きの突壁９ｃに関しても、
その両側の突壁９の導電材１２と分断された導電材１２
の被着がなされ、各突壁９ｃに、他と分離された導電材
１２によるアドレス電極１０を構成することができる。
【００３０】更に、必要に応じて、図４Ｂに示すよう
に、同様の蒸着を、図４Ａとは反対側斜め上方から斜め
蒸着を行って導電材１２をより厚く形成することができ
る。
に、同様の蒸着を、図４Ａとは反対側斜め上方から斜め
蒸着を行って導電材１２をより厚く形成することができ
る。
【００３１】また、その後、必要に応じて、例えば図１
および図２に示す例におけるように、突壁９ｃ以外の突
壁９上の導電材１２をフォトリソグラフィによるパター
ンエッチングによって除去することもできるが、全突壁
９について導電材１２を残存させて置くこともできる。
および図２に示す例におけるように、突壁９ｃ以外の突
壁９上の導電材１２をフォトリソグラフィによるパター
ンエッチングによって除去することもできるが、全突壁
９について導電材１２を残存させて置くこともできる。
【００３２】その後、各突壁９ｃを挟んで隣り合う突壁
９との間の溝内に、それぞれ順次各色の蛍光体を有する
感光性の蛍光体スラリーの塗布、焼き付けを繰返し行っ
て図１に示すように、各色の蛍光体が各突壁９ｃを挟ん
でその両側に赤、緑および青の各蛍光体Ｒ、ＧおよびＢ
を、被着形成して、蛍光面の形成を行う。
９との間の溝内に、それぞれ順次各色の蛍光体を有する
感光性の蛍光体スラリーの塗布、焼き付けを繰返し行っ
て図１に示すように、各色の蛍光体が各突壁９ｃを挟ん
でその両側に赤、緑および青の各蛍光体Ｒ、ＧおよびＢ
を、被着形成して、蛍光面の形成を行う。
【００３３】更に、全面的にＭｇＯ等の表面層１３（図
２には図示せず）の形成を行う。このようにして、第２
の基板２側の作製がなされる。
２には図示せず）の形成を行う。このようにして、第２
の基板２側の作製がなされる。
【００３４】その後、両第１および第２の基板１および
２を、前述した位置関係に対向し、フリットシールし
て、排気およびガス封入を行って、目的とする平面型表
示装置を形成する。尚、この場合、各バス電極３ｂおよ
び４ｂの端部およびアドレス電極１０の端部は、それぞ
れ気密空間外に延在した各基板１および２の端部に導出
して、それぞれ各放電維持電極３および４、アドレス電
極１０への給電端子とする。
２を、前述した位置関係に対向し、フリットシールし
て、排気およびガス封入を行って、目的とする平面型表
示装置を形成する。尚、この場合、各バス電極３ｂおよ
び４ｂの端部およびアドレス電極１０の端部は、それぞ
れ気密空間外に延在した各基板１および２の端部に導出
して、それぞれ各放電維持電極３および４、アドレス電
極１０への給電端子とする。
【００３５】上述した本発明方法では、突壁９ｃの頂部
へのアドレス電極の被着を、斜め蒸着によって行った場
合で、この場合、各アドレス電極１０の相互の分離を容
易に行うことができるが、この本発明装置のアドレス電
極１０の形成方法は、上述の本発明方法の、斜め飛翔に
よる蒸着方法に限られるものではなく、例えば全面的に
被着し、フォトリソグラフィによるパターンエッチング
によって溝底部の除去する方法を採るなどの方法による
ことができる。
へのアドレス電極の被着を、斜め蒸着によって行った場
合で、この場合、各アドレス電極１０の相互の分離を容
易に行うことができるが、この本発明装置のアドレス電
極１０の形成方法は、上述の本発明方法の、斜め飛翔に
よる蒸着方法に限られるものではなく、例えば全面的に
被着し、フォトリソグラフィによるパターンエッチング
によって溝底部の除去する方法を採るなどの方法による
ことができる。
【００３６】また、上述した方法では、突壁９の形成
を、ガラスペーストの繰り返しパターン印刷の重ね印刷
によって印形成した場合であるが、例えば全面的に、例
えば５０μｍ〜８０μｍに印刷して、乾燥させ、全面的
に感光剤フィルムを積層し、これを、平行ストライプ状
に露光焼き付けを行い、現像し、その後、これをマスク
としてサンドブラストすることによって不要部分のガラ
ス層を除去し、その後、感光材フィルムを除去し、５０
０℃〜６００℃のベーキングを行うことによって所要の
高さの突壁９の形成を行うことができる。
を、ガラスペーストの繰り返しパターン印刷の重ね印刷
によって印形成した場合であるが、例えば全面的に、例
えば５０μｍ〜８０μｍに印刷して、乾燥させ、全面的
に感光剤フィルムを積層し、これを、平行ストライプ状
に露光焼き付けを行い、現像し、その後、これをマスク
としてサンドブラストすることによって不要部分のガラ
ス層を除去し、その後、感光材フィルムを除去し、５０
０℃〜６００℃のベーキングを行うことによって所要の
高さの突壁９の形成を行うことができる。
【００３７】尚、上述したように、目的とする平面型表
示装置を製造する工程において、高温の熱処理がなされ
ることによって、第１および第２の基板１および２の収
縮がなされることによって、例えば図５ＡおよびＢに示
すように、突壁９と突条部６ｙとの位置ずれが発生する
場合があるが、この場合においても、交叉突条部６ｘが
形成されていることによって、突壁９とこの交叉突条部
６ｘとが常に衝合することができることによって、両基
板１および２の間隔、したがって、アドレス電極１０と
放電維持電極３および４との間隔を所定の間隔、すなわ
ち５０μｍ未満好ましくは２０μｍ以下の所定の間隔に
設定することができる。
示装置を製造する工程において、高温の熱処理がなされ
ることによって、第１および第２の基板１および２の収
縮がなされることによって、例えば図５ＡおよびＢに示
すように、突壁９と突条部６ｙとの位置ずれが発生する
場合があるが、この場合においても、交叉突条部６ｘが
形成されていることによって、突壁９とこの交叉突条部
６ｘとが常に衝合することができることによって、両基
板１および２の間隔、したがって、アドレス電極１０と
放電維持電極３および４との間隔を所定の間隔、すなわ
ち５０μｍ未満好ましくは２０μｍ以下の所定の間隔に
設定することができる。
【００３８】尚、本発明は上述した例に限られるもので
はなく、例えば放電維持電極３および４の主たる延長方
向は、Ｘ方向とするものの、その互いの対向部のパター
ンを、図６に示すように、対向長を長くするためのジク
ザクパターンとることもでできる。また、第１および第
２の基板は、平面型表示装置を構成する気密偏平容器を
構成する全面および背面パネル自体によって構成するこ
ともできるし、気密偏平容器内に配置される相対向する
基板によって構成することもできるなど種々の変形変更
を行うことができるものである。
はなく、例えば放電維持電極３および４の主たる延長方
向は、Ｘ方向とするものの、その互いの対向部のパター
ンを、図６に示すように、対向長を長くするためのジク
ザクパターンとることもでできる。また、第１および第
２の基板は、平面型表示装置を構成する気密偏平容器を
構成する全面および背面パネル自体によって構成するこ
ともできるし、気密偏平容器内に配置される相対向する
基板によって構成することもできるなど種々の変形変更
を行うことができるものである。
【００３９】
【発明の効果】上述したように本発明による平面型表示
装置によれば、陰極グロー放電が発生する構成としたこ
とにより、電極間間隔を、５０μｍ未満好ましくは２０
μｍ以下という狭小な間隔とすることができることか
ら、画素ピッチを縮小することができ、高精細度、高密
度表示を行うことができるものである。また、このよう
に、本発明においては、陰極グロー放電を主体とする放
電モードによる構成とすることによって、駆動電力を、
負グロー放電による場合に比して低減化することができ
るようにするものであり、特に大画面表示における節電
効果を高めることができるものである。
装置によれば、陰極グロー放電が発生する構成としたこ
とにより、電極間間隔を、５０μｍ未満好ましくは２０
μｍ以下という狭小な間隔とすることができることか
ら、画素ピッチを縮小することができ、高精細度、高密
度表示を行うことができるものである。また、このよう
に、本発明においては、陰極グロー放電を主体とする放
電モードによる構成とすることによって、駆動電力を、
負グロー放電による場合に比して低減化することができ
るようにするものであり、特に大画面表示における節電
効果を高めることができるものである。
【００４０】そして、実際の製造においては、第１およ
び第２の基板１および２を、ガラス基板、特に廉価な鉛
ガラス等によって構成する場合、その製造過程における
熱処理によって大きな収縮が生じる。この収縮は、例え
ば１０ｃｍが、数１００℃の熱処理で、２０μｍ〜３０
μｍにも及び、しかも製品毎のばらつきが大きく、ま
た、この収縮は、画面の中央部と、周辺部とで相違する
ことから、同一基板において、複数のパターンの電極形
成工程を行う場合、例えばそのパターンエッチングにお
ける露光マスク等の位置合せに、各部において狂いが生
じるとか、製品毎のばらつきが生じることから、特に陰
極グロー放電におけるように、放電電極間の距離を５０
μｍ未満好ましくは２０μｍ以下に形成する場合、特に
その寸法精度に高い精度が要求されることから、歩留
り、信頼性に問題が生じる。
び第２の基板１および２を、ガラス基板、特に廉価な鉛
ガラス等によって構成する場合、その製造過程における
熱処理によって大きな収縮が生じる。この収縮は、例え
ば１０ｃｍが、数１００℃の熱処理で、２０μｍ〜３０
μｍにも及び、しかも製品毎のばらつきが大きく、ま
た、この収縮は、画面の中央部と、周辺部とで相違する
ことから、同一基板において、複数のパターンの電極形
成工程を行う場合、例えばそのパターンエッチングにお
ける露光マスク等の位置合せに、各部において狂いが生
じるとか、製品毎のばらつきが生じることから、特に陰
極グロー放電におけるように、放電電極間の距離を５０
μｍ未満好ましくは２０μｍ以下に形成する場合、特に
その寸法精度に高い精度が要求されることから、歩留
り、信頼性に問題が生じる。
【００４１】ところが、上述したように、第１の基板１
に対となる放電維持電極を形成し、第２の基板２にアド
レス電極を形成する構成とするときは、対の放電維持電
極は、同一工程で形成し、また、アドレス電極に関して
は、この放電維持電極とは、別の第２の基板２に形成す
ることから、相互に熱の影響による位置ずれの影響が回
避されることから、放電開始の放電および放電維持の放
電の双方に関して陰極グロー放電を行う場合において
も、そのアドレス電極と放電維持電極との間隔、放電維
持電極相互の間隔を、目的とする間隔に高い精度をもっ
て製造することができる。
に対となる放電維持電極を形成し、第２の基板２にアド
レス電極を形成する構成とするときは、対の放電維持電
極は、同一工程で形成し、また、アドレス電極に関して
は、この放電維持電極とは、別の第２の基板２に形成す
ることから、相互に熱の影響による位置ずれの影響が回
避されることから、放電開始の放電および放電維持の放
電の双方に関して陰極グロー放電を行う場合において
も、そのアドレス電極と放電維持電極との間隔、放電維
持電極相互の間隔を、目的とする間隔に高い精度をもっ
て製造することができる。
【００４２】また、上述したように、突条６を井桁状と
するときは、両基板１および２にず１が生じても、両基
板１および２の間隔、したがって、アドレス電極と放電
維持電極との間隔を所定の間隔に保持することができ
る。
するときは、両基板１および２にず１が生じても、両基
板１および２の間隔、したがって、アドレス電極と放電
維持電極との間隔を所定の間隔に保持することができ
る。
【００４３】また、本発明製造方法による、第２の基板
に突壁９を形成し、その頂部に導電材の斜め飛翔により
アドレス電極を形成する方法によるときは、突壁９の頂
部に限定的に導電材の形成を行うことができることか
ら、各突壁間の導電材の分離を行う工程が省略され、製
造の簡易化が図られる。
に突壁９を形成し、その頂部に導電材の斜め飛翔により
アドレス電極を形成する方法によるときは、突壁９の頂
部に限定的に導電材の形成を行うことができることか
ら、各突壁間の導電材の分離を行う工程が省略され、製
造の簡易化が図られる。
【図１】本発明による平面型表示装置の一例の要部の概
略斜視図である。
略斜視図である。
【図２】本発明による平面型表示装置の一例の要部の分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図３】本発明による平面型表示装置の一例の要部の背
面図である。
面図である。
【図４】本発明による平面型表示装置の他の例の電極配
置を示す要部の斜視図である。
置を示す要部の斜視図である。
【図５】ＡおよびＢは、本発明による平面型表示装置の
製造方法の一例のアドレス電極の製造工程の要部の断面
図である。
製造方法の一例のアドレス電極の製造工程の要部の断面
図である。
【図６】ＡおよびＢは、本発明による平面型表示装置の
特徴の説明に供する要部の断面図である。
特徴の説明に供する要部の断面図である。
【図７】従来装置の斜視図である。
１・・・第１の基板、２・・・第２の基板、３，４・・
・放電維持電極、３ｂ，４ｂ・・・バス電極、５・・・
放電維持電極群、６・・・突条，６ｙ・・・突条部、６
ｘ・・・交叉突条部、７・・・誘電体層、８・・・表面
層、９（９ｃ）・・・突壁、１０・・・アドレス電極、
１１・・・アドレス電極群、１２・・・導電材、１０１
・・・第１の基板、１０２・・・第２の基板、１０３，
１０４・・・ついの放電維持電極、１０５・・・放電維
持電極群、１０６・・・隔壁、１０７・・・アドレス電
極
・放電維持電極、３ｂ，４ｂ・・・バス電極、５・・・
放電維持電極群、６・・・突条，６ｙ・・・突条部、６
ｘ・・・交叉突条部、７・・・誘電体層、８・・・表面
層、９（９ｃ）・・・突壁、１０・・・アドレス電極、
１１・・・アドレス電極群、１２・・・導電材、１０１
・・・第１の基板、１０２・・・第２の基板、１０３，
１０４・・・ついの放電維持電極、１０５・・・放電維
持電極群、１０６・・・隔壁、１０７・・・アドレス電
極
Claims (9)
- 【請求項１】 第１および第２の基板が相対向して配置
され、 第１の基板に、複数の放電維持電極が配列されて成る放
電維持電極群が形成され、 第２の基板に、複数のアドレス電極が配列されて成るア
ドレス電極群が形成され、 陰極グロー放電によるプラズマ放電表示がなされること
を特徴とする平面型表示装置。 - 【請求項２】 上記放電維持電極は、その主たる延長方
向が、上記第１の基板の基板面に沿う第１の方向とされ
て配列され、 上記第２の基板に、該基板面に沿い、上記第１の方向と
交叉する第２の方向に延びる複数の突壁が平行配列さ
れ、 上記突壁の少なくとも１つ置きの突壁の頂部に上記アド
レス電極が形成されて成ることを特徴とする請求項１に
記載の平面型表示装置。 - 【請求項３】 上記突壁の頂部に形成されたアドレス電
極と、該アドレス電極と対向する上記放電維持電極との
間隔が、５０μｍ未満に選定されて陰極グロー放電によ
る放電開始がなされることを特徴とする請求項１に記載
の平面型表示装置。 - 【請求項４】 上記突壁の頂部に形成されたアドレス電
極と、該アドレス電極と対向する上記放電維持電極との
間隔が、２０μｍ以下に選定されて陰極グロー放電によ
る放電開始がなされることを特徴とする請求項１に記載
の平面型表示装置。 - 【請求項５】 上記第１の基板に、上記第２の方向に沿
って延びる突条部と、上記第１の方向に沿って延び、上
記第１の基板の上記突壁と交叉する交叉突条部とによる
井桁状突条が形成されて成ることを特徴とする請求項２
に記載の平面型表示装置。 - 【請求項６】 上記第２の基板にカラー蛍光体が形成さ
れてカラー表示がなされる請求項１に記載の平面型表示
装置。 - 【請求項７】 上記第２の基板の上記アドレス電極を挟
んでその両側に、上記カラー蛍光体の同色蛍光体が塗布
されて成ることを特徴とする請求項６に記載の平面型表
示装置。 - 【請求項８】 第１の基板に、主たる延長方向が、該第
１の基板面に沿う第１の方向とされた複数対の放電維持
電極を配列形成する放電維持電極群の形成工程と、 上記放電維持電極を横切る方向に延びて所要の間隔を保
持して平行配列する突条部と、該突条部と交叉し上記対
の放電維持電極間上に沿って延びる交叉突条部よりなる
井桁状突条を形成する工程と、 上記第２の基板に、該第２の基板面に沿う第２の方向に
延びる複数の突壁を平行配列して形成する突壁群の形成
工程と、 上記第２の基板に、上記突壁に上記第２の方向と交叉す
る方向の斜め上方から導電材を飛翔させる工程を経て、
上記突壁の頂部とその近傍の側壁に選択的に上記導電材
を被着し、所要の突壁の頂部に形成された導電材によっ
てアドレス電極を形成する工程と、 上記各突壁間に、蛍光体層を塗布する工程と、 上記第１および第２の基板を、上記第１および第２の方
向が互いに交叉する方向となるように対向させ、少なく
とも上記突壁と上記交叉突条部とが共働して上記アドレ
ス電極と、放電維持電極との間隔を所定の間隔に設定す
るようにしたことを特徴とする平面型表示装置の製造方
法。 - 【請求項９】 上記導電材の被着工程の後に、上記アド
レス電極の構成部以外の導電材を除去する工程を有する
ことを特徴とする請求項８に記載の平面型表示装置の製
造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22934099A JP4106823B2 (ja) | 1999-04-14 | 1999-08-13 | 平面型表示装置とその製造方法 |
| US09/547,794 US6518702B1 (en) | 1999-04-14 | 2000-04-12 | Flat display device and fabricating method of the same |
| KR1020000019183A KR20010014721A (ko) | 1999-04-14 | 2000-04-12 | 평면형 표시 장치와 그 제조 방법 |
| EP00401048A EP1052671A1 (en) | 1999-04-14 | 2000-04-14 | Flat display device and fabricating method of the same |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-107085 | 1999-04-14 | ||
| JP10708599 | 1999-04-14 | ||
| JP22934099A JP4106823B2 (ja) | 1999-04-14 | 1999-08-13 | 平面型表示装置とその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000357461A true JP2000357461A (ja) | 2000-12-26 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| US (1) | US6518702B1 (ja) |
| EP (1) | EP1052671A1 (ja) |
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| KR (1) | KR20010014721A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20030060171A (ko) * | 2002-01-07 | 2003-07-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 백라이트 장치 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0554172B1 (en) | 1992-01-28 | 1998-04-29 | Fujitsu Limited | Color surface discharge type plasma display device |
| CA2149289A1 (en) * | 1994-07-07 | 1996-01-08 | Technology Trade And Transfer Corporation | Discharge display apparatus |
| JPH1049072A (ja) | 1996-08-06 | 1998-02-20 | Hitachi Ltd | ガス放電型表示装置とその製造方法 |
| JP2000357462A (ja) | 1998-10-23 | 2000-12-26 | Sony Corp | 平面型プラズマ放電表示装置と駆動方法 |
-
1999
- 1999-08-13 JP JP22934099A patent/JP4106823B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-04-12 US US09/547,794 patent/US6518702B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-12 KR KR1020000019183A patent/KR20010014721A/ko not_active Withdrawn
- 2000-04-14 EP EP00401048A patent/EP1052671A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20010014721A (ko) | 2001-02-26 |
| EP1052671A1 (en) | 2000-11-15 |
| US6518702B1 (en) | 2003-02-11 |
| JP4106823B2 (ja) | 2008-06-25 |
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|
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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