JP2000503140A - 様々な伝搬定数を有する波長マルチプレクサ／デマルチプレクサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 光デマルチプレクサ(10)における波長分散が、中央路(16)を通る波面の伝搬方向に対して垂直な中央路(16)の伝搬定数を変更することにより行われている。伝搬定数は、中央路の寸法または屈折特性を変更することにより異なっていても差し支えない。この中央路は、共通の導波路(36)または複数の個々の導波路(16)として形成しても差し支えない。

Description

【発明の詳細な説明】 様々な伝搬定数を有する波長マルチプレクサ／デマルチプレクサ 技術分野 本発明は、光信号をそれらの波長にしたがって伝送するマルチプレクサおよび デマルチプレクサを備えた光通信装置に関するものである。 背景 別々の光ファイバ内で伝わる異なる波長の光信号を、波長マルチプレクサによ り一つの光ファイバに伝送し、後に波長デマルチプレクサにより別々の光ファイ バに再伝送することができる。一般的に、マルチプレクスおよびデマルチプレク スの操作に使用する装置は、同一の装置が、一方の伝送方向でマルチプレクサと して機能し、反対の伝送方向でデマルチプレクサとして機能するように可逆的で なければならない。 マルチプレクスおよびデマルチプレクス装置内において、二つの主な機能、す なわち、分散および焦点合わせが行われる。この分散機能は、チャンネルと称さ れる異なる波長信号を空間的に区別し、焦点合わせ機能は、信号をそれらの分散 にしたがって入力導波路と出力導波路との間に伝送する。 しばしば、同一の光学成分が両方の機能を果たす。例えば、あるマルチプレク スおよびデマルチプレクス装置は、反射回折格子を用いて、信号を分散させ、焦 点を合わせている。回折は分散の機構であり、格子曲率が焦点を提供する。その ような装置の中でも「フェーザー」と称されるものは、長さが漸進的に変化する 複数の中央導波路により入力導波路および出力導波路を相互接続している。導波 路長さが漸進的に変化することにより、波長の関数として同位相波面チルトが形 成される。中央導波路の傾斜配置により焦点が得られる。 あるいは、異なるレンズまたはミラーを用いて、焦点合わせ機能を提供しても 差し支えない。この追加の必要条件を除けば、分散成分を単純化することができ る。例えば、湾曲した回折格子の代わりに、平らな回折格子を用いても差し支え なく、または傾斜して配置された中央導波路の代わりに、平行な中央導波路を用 いても差し支えない。 損失が最小であり、コストがより安く、サイズがより小さく、間隔がより密接 したチャンネルを必要とするような設計基準がいっそう厳しくなってくるにつれ て、マルチプレクサおよびデマルチプレクサの最新の設計がますます難しくなり 、製造費用が高くなってきた。高精度の回折格子は特に高価であり、フェーザー に必要とされる量のエッチングは、特に時間のかかるものである。 通常は、導波路の伝搬特性を望ましくなく変化させ得る材料の組成の変動およ び他の寸法的な変動を避けるように注意しなければならない。例えば、ドラゴン (Dragone)の米国特許第5,450,511号には、伝搬定数が変化することにより、マル チプレクスおよびデマルチプレクス装置により伝達される光信号において位相誤 差が生じ、チャンネル間のクロストークが増大し、装置の効率が減少することが 教示されている。 発明の概要 伝搬定数の変化を避けるべきであるという教示とは反対に、本発明では、伝搬 定数の漸進的変化を用いて、波長マルチプレクサおよびデマルチプレクサにおい て分散関数を提供する。波長分散を行うこの新しい機構を用いて、これらの装置 の物理的サイズを減少させ、製造を単純化することができる。 本発明の実施の形態は、分散および焦点合わせ素子により相互接続された入力 光路および出力光路の通常の特性を備えている。デマルチプレクサとして、入力 光路は、波長により区別される複数のチャンネルを伝達し、出力光路は、別々に チャンネルを伝達する。分散素子は、複数の平行波面として入力光路から複数の チャンネルを受信し、これら複数の平行波面を相対的に傾斜した複数の波面に変 換する中央光路である。焦点合わせ素子は、異なる出力光路に沿って相対的に傾 斜した波面を方向付ける。しかしながら、回折または様々な長さの導波路により 波面を相対的に傾斜させる代わりに、本発明の中央路は、中央路を通って伝搬す る波面の方向に対して横方向に中央路を横切る所定の波長に関して異なる伝搬定 数を示す。 伝搬定数は、様々な方法で変更しても差し支えない。これには、中央導波路の コアの寸法を変化させること、並びにコアおよびクラッドの屈折率を変えること が含まれる。コアの屈折率分布もまた、非ステップ型屈折率分布の伝搬定数に関 係する。例えば、屈折率分布を選択して、最大屈折率またはコア寸法における所 定の変化に関する伝搬定数の変化率を増大させることができる。 中央路は、複数の個々の導波路（または光ファイバ）または共通の導波路から 構成されていても差し支えない。両者とも、クラッドに囲まれたコア部分を備え ている。個々の導波路のコア部分は、幅、厚さ、および断面形状が異なっていて も差し支えなく、共通の導波路のコア部分は、厚さが異なっていても差し支えな い。オーバークラッドもまた厚さが異なっていても差し支えない。ドーピングま たは他の材料の変動を用いて、個々の導波路間のまたは共通の導波路を横切るコ アおよびクラッドの屈折率を変えても差し支えない。 好ましくは、反射光学素子を中央路の一方の端部に配置して、よりコンパクト な設計とする。異なる波長の相対的に傾斜した波面は、中央路を通る再帰反射に より中央路の同一空間内でさらに相対的に傾斜される。入力路および出力路は互 いに隣接している。焦点合わせ素子は好ましくは、波面の異なる部分を平行な光 路に沿って方向付ける視準機能を果たす。波面を平行な光路に沿って再帰反射す る反射光学素子は平らであり、中央路の個々の導波路は互いに平行である。しか しながら、光が伝搬方向において視準されたままでいるので、平行路もまた、側 方に分割されずに共通の導波路を通って延在しても差し支えない。 光路並びに分散および焦点合わせ素子は好ましくは、プレーナ光学素子内の光 集積回路として形成される。これらの素子を比較的単純な設計にすることにより 、「再延伸」のような製造技術を使用することができる。ここでは、プレーナ基 体を伸張させて厚さを制御することにより、より正確な許容差を達成することが できる。しかしながら、本発明は、バルク光学素子内において、またはプレーナ 光学素子およびバルク光学素子の組合せにおいて実施しても差し支えない。 図面 図１は、異なる波長信号を分散させる複数の平行導波路を有するプレーナ形態 にある新しいデマルチプレクス光学素子の上面図である。 図２は、光学素子の中央路を横切って測定された二つの異なる波長に対する同 位相波面チルトを示すグラフである。 図３は、導波路の一部に重ね合わされた屈折率分布を示すグラフである。 図４は、異なる波長信号を分散させる共通の導波路を有する第二のデマルチプ レクス素子の上面図である。 図５は、テーパー状のコア層を示す共通の導波路の断面端部図である。 図６は、テーパー状のクラッド層を示す共通の導波路の断面端部図である。 図７は、異なる波長信号を分散させる、ドーパント濃度が異なる共通の導波路 を有する第三のデマルチプレクス素子の上面図である。 図８は、異なる波長信号を分散させる複数の放射状導波路を有する第四のデマ ルチプレクス素子の上面図である。 詳細な説明 図１−３により、プレーナ光学素子内で行われる本発明の第一の実施の形態を 説明する。この実施の形態は、デマルチプレクサの光の伝達方向に関して記載さ れているが、マルチプレクサとしての反対の光の伝達方向においても同等に良好 に機能する。実際に、「マルチプレクサ」および「デマルチプレクサ」という用 語は、実施の形態をこれらの可能性のある機能のうちの一つに関係付けることを 目的としてのみ使用されており、他のものを排除するものではない。 異なる波長（すなわち、λ₁からλ_n）の光信号が、入力導波路（または光ファ イバ）12からプレーナデマルチプレクス光学素子10に進入し、発散して、焦点合 わせ光学素子（視準レンズ）14の開口を満たす。発散した波面は、焦点合わせ光 学素子14により視準される。波面の個別の部分は、複数の平行な導波路16を通っ て平らな反射光学素子18に伝搬し、この光学素子は、焦点合わせ素子14への復帰 路で波面を再帰反射させる。入力導波路12は好ましくは、焦点合わせ素子14の光 軸に沿って位置するが、同様の原理が、軸からはずれた配置にも当てはまる。 プレーナ光学素子10を通る中央路を形成する平行導波路16は、波面が伝搬する 方向「Ｚ」において共通の長さ「ｌ_w」を共有しているが、垂直に関連する方向 「Ｙ」に沿って「ａ₁」から「ａ_n」まで幅が漸進的に変化する。「ａ₁」から「 ａ_n」までの導波路の幅の変化は、以下の関係： Ｌ_i＝ｎ_eff・ｌ_w にしたがって、実効屈折率「ｎ_eff」を変化させることにより、異なる導波路16 の 光路長「Ｌ_i」を間接的に変更する。反射光学素子18で数値が求められた光路長 「Ｌ_i」の変化により、図２のグラフに示したようなそれらの波長λ₁−λ_nにし たがって、波面が相対的に傾斜する。グラフの縦座標は、反射光学素子18と一致 する位置で方向「Ｙ」において導波路16に広がっている。グラフの横座標は、位 相角「Φ」の単位である。階段状の線Φ（λ₁）は、波長λ₁に関する導波路16内 の位相角「Φ」の集合を示している。階段状の線Φ（λ_n）は、波長λ_nの導波路 16における位相角「Φ」の集束を示している。二つの階段状の線Φ（λ₁）およ びΦ（λ_n）間の角度差は、二つの波長λ₁およびλ_n間の同位相波面チルトにお ける差を示している。 同位相波面チルトは、それぞれのチルトの量にしたがって、入力導波路12から 出力導波路20および22に戻る波面の焦点（傾いていない再帰反射した波面の予測 された焦点）を変化させる。例えば、波長λ₁はより近い出力導波路20に焦点が 合い、波長λ_nはより遠い出力導波路22に焦点が合う。もちろん、追加の信号（ またはチャンネル）を示す、波長λ₁およびλ_n間のより多くの波長λについて、 導波路20および22間に位置する追加の出力導波路に焦点を合わせても差し支えな い。導波路16の数を増加させて、各々の出力導波路20および22上への入力導波路 12のモード像面をより正確に推測しても差し支えない。 それぞれの導波路の実効屈折率「ｎ_eff」は、以下のような： 伝搬定数「β」の波数「ｋ₀」による商であり、ここで、波数「ｋ₀」を以下のよ うに： 波長に関して表現しても差し支えない。 伝搬定数「β」は、既知の技術を用いて波動方程式から計算することができる 。J.P.Meunier等による文献、Optical and Quantum Electronics 15,(1983)77-8 5に見られるプレーナ光導波路の波動方程式の例は、以下のようなものであり： ここで、「Φ_m（ｘ）」がモードの像面分布であり、「ｎ（ｘ）」がコアの屈折 率分布である。図３の断面図に示されている屈折率分布「ｎ（ｘ）」は、分布形 状、コアの寸法「ａ」、並びにコア24およびクラッド26の最大屈折率値「ｎ₀」 および「ｎ_clad」に依存する。後者の最大屈折率値「ｎ₀」および「ｎ_clad」は しばしば、以下のように定義される： 変数「Δ」として一緒に考えられる。 それぞれの導波路１６の屈折率「ｎ（ｘ）」に影響するこれらの変数のいずれ を用いて伝搬定数「β」を変化させても差し支えない。この伝搬定数は、次に、 導波路16の実効屈折率「ｎ_eff」および形成される光路長「Ｌ_i」を変化させる。 導波路16の光路長「Ｌ_i」が「Ｙ」方向に漸進的に変化することにより、波長λ₁ およびλ_nの異なる波面チルトが生じ、それらを、出力導波路20および22により 占められる異なる位置で焦点に合わせる。 好ましくは、非ステップ型屈折率導波路分布の分布形状が、導波路の寸法の変 化、例えば、「ａ」、または最大屈折率の変化、例えば、「Δ」により、伝搬定 数「β」が大きく変化するように調節されている。このことにより、異なる導波 路16間の必要とされる物理的変化の量が制限される。また、導波路は好ましくは 、それらの光路長「Ｌ_i」間の差を良好に制御するように単一モードである。 本発明の第二の実施の形態の二つの形式が、図４−６に示されている。新しい プレーナデマルチプレクス光学素子30は、入力導波路32、視準光学素子34、反射 光学素子38、および出力導波路40と42を含む、プレーナ光学素子10と同一の成分 のいくつかを備えている。しかしながら、複数の個々の導波路16が、共通の導波 路36に置き換えられている。個々の導波路のそれぞれの幅寸法「ａ₁」から「ａ_n 」までを変更する代わりに、方向「Ｘ」において測定される共通の導波路36の厚 さ 寸法「ｔ」が、波面が伝搬する方向「Ｚ」に対して垂直の同一の「Ｙ」方向で変 更されている。 共通の導波路36は、プレーナ基体48上でクラッド材料の連続層46aおよび46b間 に位置するコア材料の連続層44により形成される。図５に示すこの実施の形態の ある形式において、コア層44は、共通の導波路36を横切って、「ｔ_a1」から「ｔ_a2 」まで厚さが連続的に変わっている。図６に示す別の形式において、クラッド 層46aは、共通の導波路36を横切って、「ｔ_b1」から「ｔ_b2」まで厚さが変わっ ている。 両方の厚さの変動により、導波路を横切る「Ｙ」方向において伝搬定数「β」 が連続的に変化する。視準光学素子34は、「Ｙ」方向に伝搬する波面の移動を制 限し、そのため、個々の導波路は、伝搬する波面を異なる光路長「Ｌ_i」を有す る別々の光路に分離する必要がない。伝搬定数「β」の連続的変動は、各々の出 力導波路40および42上に入力導波路32のモード像面をより精密に投射するのに期 待されている。 プレーナマルチプレクス光学素子10および30は、コア44およびクラッド46aと4 6bの層を、余分の厚さの基体48上に付着させ、基体とともに正確な寸法に伸張す る「再延伸」による簡略式製造に特に適している。この工程により、付着に関す る許容差がより広くなる。あるいは、研磨または研削を用いて、導波路の厚さを 制御しても差し支えない。 図７に示した本発明の第三の実施の形態には、第二の実施の形態と共通したい くつかの特徴がある。プレーナデマルチプレクス光学素子50は、入力導波路52、 焦点合わせ光学素子（視準レンズ）54、共通の導波路56、平らな反射光学素子58 、および出力導波路60と62を備えている。第二の実施の形態とは反対に、伝搬定 数「β」は、共通の導波路56を横切る屈折率の変化により変更されている。例え ば、コア64およびクラッド66の最大屈折率のいずれかまたは両方を、様々な濃度 のドーパント68を加えることにより変えても差し支えない。しかしながら、その 結果は、第二の実施の形態、すなわち、「Ｙ」方向における光路長の連続変動と 同様である。 屈折率は、ＯＶＤ（外付け溶着）およびＰＥＣＶＤ（プラズマＣＶＤ）のよう な薄膜手法を用いることを含むいくつかの方法により変化させても差し支えない 。様々な濃度のドーパント68をイオン交換技術を用いて加えても差し支えない。 図８に示す第四のそして最終の実施の形態が、入力導波路72および焦点合わせ 光学素子74を備え、ゼロパワーを有するが、波面を収束または発散させる自由空 間領域を提供するプレーナデマルチプレクス光学素子70として形成されている。 光学素子70を通る中央路を形成する放射状導波路76の周期的なアレイが、湾曲反 射光学素子78で終わっている。各々の放射状導波路76は、波長「λ₁」から「λ_n 」までのうちの一つに対応するそれぞれの円筒状波面の別々の部分を伝達する。 湾曲反射光学素子78は、焦点合わせ光学素子74の自由空間への放射状導波路76に より収束路上で円筒状波面を再帰反射させる。 しかしながら、第一の実施の形態と同様に、放射状導波路76は、円筒状波面の 異なる部分の伝搬定数「β」を変更するために、幅が「ａ₁」から「ａ_n」まで漸 進的に変わっている。異なる波長「λ₁」から「λ_n」までの波面が円筒状に伝搬 するけれども、伝搬定数「β」における変化は、放射状導波路76に沿って波面が 伝搬するこの方向に垂直なままである。放射状導波路76の光路長「Ｌ_i」におい て生じた変化により、異なる波長「λ₁」から「λ_n」までの円筒状波面を相対的 に傾斜させ、それらを出力導波路80および82でわずかに異なる焦点位置に収束さ せる。 本発明の上述した実施の形態をプレーナ光学素子において実施したけれども、 バルクまたはハイブリッドで実施することもできる。例えば、光学素子10の平行 導波路16または光学素子70の放射状導波路の代わりに、光ファイバで置き換えて も差し支えない。実施の形態のいずれか一つに開示された伝搬定数を変更する様 々な手段を、他の実施の形態に適用しても差し支えない。例えば、図１および８ の個々の導波路は、厚さまたは様々な反射特性が変わっていても差し支えない。 伝搬定数を変更する様々な手段の組合せ、並びに長さ「ｌ_w」における横方向の 変動を用いて、入力および出力モード像面をさらに変調しても差し支えない。 説明した実施の形態における導波路は、埋め込まれた導波路として示したが、 リブ導波路を含む他の既知の種類の導波路を用いても差し支えない。同様に、レ ンズとして示された焦点合わせ光学素子を、視準鏡または同様に反射表面のよう な鏡として入力または出力導波路とともに配置しても差し支えない。 様々な実施の形態の入力および出力導波路を、同数の入力および出力導波路を 含む様々な組合せで配置しても差し支えない。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．光信号をマルチプレクスまたはデマルチプレクスする導波路素子であって、 デマルチプレクス操作を実施する方向に参照して、 波長により区別される複数のチャンネルを伝達する第一の光路、 該第一の光路に光学的に結合し、複数の平行波面として前記複数のチャンネ ルを受信し、該複数の平行波面を複数の相対的に傾斜した波面に変換する中央 光路、および 該中央光路に光学的に結合し、前記相対的に傾斜した波面をそれぞれの第二 の光路に伝達する焦点合わせ光学素子からなり、 前記中央路が、異なる波長の波面を相対的に傾斜させるために、前記中央導 波路を通る前記複数の波面の伝搬方向に対して垂直な方向で前記中央光路に亘 り所定の波長に関して異なる伝搬定数を示すことを特徴とする素子。 ２．前記相対的に傾斜した波面を前記中央路に通して前記焦点合わせ光学素子に 戻すように反射させる反射光学素子を備えていることを特徴とする請求の範囲 １記載の素子。 ３．前記反射光学素子が、前記相対的な傾斜した波面を再帰反射するように方向 付けられていることを特徴とする請求の範囲２記載の素子。 ４．前記焦点合わせ素子が、前記第一の光路からの波面の異なる部分を平行な光 路に沿って方向付けることを特徴とする請求の範囲２記載の素子。 ５．前記中央路が、波面の伝搬方向に延在するそれぞれの長さおよび波面の伝搬 方向に対して垂直な方向に延在するそれぞれの幅を有する複数の導波路を備え ていることを特徴とする請求の範囲１記載の素子。 ６．前記複数の導波路の幅が、前記波面の伝搬方向に対して垂直な方向において 、 互いに漸進的に変化することを特徴とする請求の範囲５記載の素子。 ７．前記焦点合わせ光学素子が、前記波面の異なる部分を平行な光路に沿って方 向付け、前記複数の導波路が、該波面の異なる部分を伝達するために互いに平 行に延在することを特徴とする請求の範囲６記載の素子。 ８．前記複数の導波路が、円筒状波面の異なる部分を伝達するために傾斜した関 係にあることを特徴とする請求の範囲６記載の素子。 ９．前記反射光学素子が、相対的に傾斜した円筒状波面を、ゼロ光学パワーを有 する前記焦点合わせ素子への途中で前記中央路に通して戻すことを特徴とする 請求の範囲８記載の素子。 10．前記複数の導波路の長さが等しいことを特徴とする請求の範囲６記載の素子 。 11．前記中央路が、基体表面上のコアとクラッドの連続層により形成され、波面 の伝搬方向と前記基体表面との両方に対して平行に延在する長さ、該伝搬方向 に対して垂直であるが前記基体表面に対して平行に延在する幅、および該伝搬 方向と基体表面の両方に対して垂直に延在する厚さを有する共通の導波路を備 えていることを特徴とする請求の範囲１記載の素子。 12．前記コアとクラッドの層のうちの一つの厚さが、前記共通の導波路の幅に亘 り異なることを特徴とする請求の範囲11記載の素子。 13．前記コア層の厚さが、前記共通の導波路の幅に亘り漸進的に異なることを特 徴とする請求の範囲12記載の素子。 14．前記クラッド層の厚さが、前記共通の導波路の幅に亘り漸進的に異なること を特徴とする請求の範囲12記載の素子。 15．前記コアとクラッドの層が、前記共通の導波路の長さに沿って一定の厚さの ままであることを特徴とする請求の範囲12記載の素子。 16．前記コアとクラッドの層のうちの一つが、前記共通の導波路の幅に亘り異な る屈折率を有することを特徴とする請求の範囲11記載の素子。 17．前記コア層が、前記共通の導波路の幅に亘り漸進的に異なる屈折率を有する ことを特徴とする請求の範囲16記載の素子。 18．前記クラッド層が、前記共通の導波路の幅に亘り漸進的に異なる屈折率を有 することを特徴とする請求の範囲16記載の素子。 19．前記コアとクラッドの屈折率が、前記共通の導波路の長さに沿って一定のま まであることを特徴とする請求の範囲16記載の素子。 20．光信号をそれらの波長にしたがって伝送する装置であって、 波長により区別される複数の光信号を伝達する一つの光路、 前記異なる波長の信号を別々に伝達する複数の光路、および 前記一つの光路と前記複数の光路との間に前記異なる波長の信号を伝達する ために、該異なる波長の信号を相対的に分散させる中央光路を備え、 該中央光路が、該異なる波長の信号を相対的に分散させるために、該中央光 路を通る伝搬方向に対して垂直な方向において異なる伝搬定数を有することを 特徴とする装置。 21．平行な光路に沿って前記波長の異なる信号の異なる部分を方向付ける焦点合 わせ素子を備えていることを特徴とする請求の範囲20記載の装置。 22．前記平行な光路の寸法が、前記異なる伝搬定数を示すために、互いに異なっ ていることを特徴とする請求の範囲21記載の装置。 23．前記平行な光路の屈折特性が、前記異なる伝搬定数を示すために、互いに異 なっていることを特徴とする請求の範囲21記載の装置。 24．前記中央光路が、前記垂直方向で異なる厚さを有するプレーナ光学素子とし て形成されていることを特徴とする請求の範囲20記載の装置。 25．前記中央光路が、基体上に付着したコア材料およびクラッド材料の層により 形成され、該コア材料の層の厚さが前記垂直方向において異なっていることを 特徴とする請求の範囲24記載の装置。 26．前記中央光路が、基体上に付着したコア材料およびクラッド材料の層により 形成され、該クラッド材料の層の厚さが前記垂直方向において異なっているこ とを特徴とする請求の範囲24記載の装置。 27．前記中央光路の屈折特性が、前記垂直方向で異なっていることを特徴とする 請求の範囲20記載の装置。 28．前記中央光路がコア材料およびクラッド材料の層により形成され、該コア材 料の層の屈折率が前記垂直方向で異なっていることを特徴とする請求の範囲27 記載の装置。 29．前記中央光路がコア材料およびクラッド材料の層により形成され、該クラッ ド材料の層の屈折率が前記垂直方向で異なっていることを特徴とする請求の範 囲27記載の装置。 30．前記中央光路がコア材料およびクラッド材料の層により形成され、該コア材 料の層が、ステップ型屈折率分布に関して伝搬定数間の差を増大させる非ステ ップ型屈折率分布を示すことを特徴とする請求の範囲27記載の装置。 31．前記中央光路が、異なる伝搬定数を有する複数の導波路により形成されてい ることを特徴とする請求の範囲20記載の装置。 32．前記複数の導波路が、前記中央路を通る伝搬方向に対して垂直に測定された 寸法が互いに異なっていることを特徴とする請求の範囲31記載の装置。 33．前記複数の導波路の屈折特性が互いに異なっていることを特徴とする請求の 範囲31記載の装置。 34．波長マルチプレクサ／デマルチプレクサにおいて異なる波長の信号を分散さ せる方法であって、 複数の異なる波長の信号を複数の波面として受信し、 該波面の異なる部分を、それぞれの伝搬定数を有する別々の光路に沿って方 向付け、 該波面をそれらの波長にしたがって相対的に傾斜させるために、前記別々の 光路の間で伝搬定数を変更する各工程からなることを特徴とする方法。 35．前記方向付ける工程が、前記波面の異なる部分を複数の導波路に沿って伝達 することからなることを特徴とする請求の範囲34記載の方法。 36．前記方向付ける工程が、前記波面の異なる部分を複数の平行な導波路に沿っ て伝達することからなることを特徴とする請求の範囲35記載の方法。 37．前記方向付ける工程が、前記波面の異なる部分を複数の放射状の導波路に沿 って伝達することからなることを特徴とする請求の範囲35記載の方法。 38．前記変更する工程が、前記導波路を通る伝搬方向に対して垂直に測定された 該導波路の個々の寸法を変更することからなることを特徴とする請求の範囲35 記載の方法。 39．前記方向付ける工程が、前記波面の異なる部分を共通の導波路に沿って伝達 することからなることを特徴とする請求の範囲34記載の方法。 40．前記方向付ける工程が、前記波面の異なる部分を平行路に沿って方向付ける ことからなることを特徴とする請求の範囲39記載の方法。 41．前記変更する工程が、前記共通の導波路を通る伝搬方向に対して垂直な方向 に該共通の導波路の寸法を変更することからなることを特徴とする請求の範囲 40記載の方法。 42．前記変更する工程が、前記共通の導波路を通る伝搬方向に対して垂直な方向 に該共通の導波路の屈折率を変更することからなることを特徴とする請求の範 囲40記載の方法。 43．前記別々の光路を、ステップ型屈折率分布に関して該別々の光路の伝搬定数 間の差を増大させる非ステップ型屈折率分布を示すコア材料およびクラッド材 料により形成する工程を含むことを特徴とする請求の範囲34記載の方法。 44．光信号をマルチプレクスまたはデマルチプレクスする導波路素子であって、 デマルチプレクス操作を行う方向で参照して、 波長により区別される複数のチャンネルを伝達する第一の光路、および 該第一の光路に光学的に接続され、該複数のチャンネルを複数の平行な波面 として受信し、該複数の平行な波面を複数の相対的に傾斜した波面に変換する 中央光路を備え、 該中央光路が、基体表面上のコアとクラッドの連続層により形成され、前記 波面の伝搬方向と該基体表面の両方に対して平行に延在する長さ、前記伝搬方 向に対して垂直であるが、前記基体表面に対して平行に延在する幅、および前 記波面の伝搬方向と前記基体表面の両方に対して垂直に延在する厚さを有する 共通の導波路を備えていることを特徴とする素子。 45．前記コアとクラッドのうちの一つの厚さが、前記共通の導波路の幅に亘って 異なっていることを特徴とする請求の範囲44記載の素子。 46．前記コア層の厚さが前記共通の導波路の幅に亘って漸進的に異なっているこ とを特徴とする請求の範囲45記載の素子。 47．前記クラッド層の厚さが前記共通の導波路の幅に亘って漸進的に異なってい ることを特徴とする請求の範囲45記載の素子。 48．前記コアとクラッドの層が、前記共通の導波路の長さに沿って一定の厚さの ままであることを特徴とする請求の範囲45記載の素子。 49．前記コアとクラッドの層のうちの一つが、前記共通の導波路の幅に亘って異 なっている屈折率を有することを特徴とする請求の範囲44記載の素子。 50．前記コア層が、前記共通の導波路の幅に亘って漸進的に異なっている屈折率 を有することを特徴とする請求の範囲49記載の素子。 51．前記クラッド層が、前記共通の導波路の幅に亘って漸進的に異なっている屈 折率を有することを特徴とする請求の範囲49記載の素子。 52．前記コアとクラッドの屈折率が、前記共通の導波路の長さに沿って一定のま まであることを特徴とする請求の範囲49記載の素子。 53．光信号をそれらの波長にしたがって伝送する装置であって、 それらの波長により区別される複数の光信号を伝達する少なくとも一つの第 一の光路、 該異なる波長の信号を別々に伝達する複数の第二の光路、および 前記少なくとも一つの光路と前記複数の第二の光路の間で前記異なる波長の 信号を伝達するために、該異なる波長の信号を相対的に分散させる等しい長さ の複数の個々の導波路を備えていることを特徴とする装置。 54．前記個々の導波路の長さに対して垂直な方向において、該個々の導波路が異 なる伝搬定数を有することを特徴とする請求の範囲53記載の装置。 55．前記装置が反射マルチプレクサ／デマルチプレクサを備えていることを特徴 とする請求の範囲53記載の装置。 56．光信号をそれらの波長にしたがって伝送する装置であって、 それらの波長により区別される複数の光信号を伝達する少なくとも一つの第 一の光路、 該異なる波長の信号を別々に伝達する複数の第二の光路、および 前記少なくとも一つの第一の光路と前記複数の第二の光路との間で前記異な る波長の信号を伝達するために、該異なる波長の信号を相対的に分散させる共 通の導波路を備えていることを特徴とする装置。 57．複数の異なる波長のチャンネルを、複数の特定の個々の波長のチャンネルに 伝送する光波長マルチプレクサ／デマルチプレクサであって、デマルチプレク サ操作の方向に参照して、該複数の異なる波長のチャンネルを入力する第一の 光路、各々が該特定の個々の波長のチャンネルのうちの一つを個々に出力する 複数の第二の光路、および前記複数の異なる波長のチャンネルを前記特定の個 々の波長のチャンネルに分散させる十分な長さの複数の導波路を備えているこ とを特徴とする光波長マルチプレクサ／デマルチプレクサ。 58．反射光学素子を備えていることを特徴とする請求の範囲57記載の光波長マル チプレクサ／デマルチプレクサ。 59．複数の異なる波長のチャンネルを、複数の特定の個々の波長のチャンネルに 伝送する光波長マルチプレクサ／デマルチプレクサであって、デマルチプレク サ操作の方向に参照して、該複数の異なる波長のチャンネルを入力する第一の 光路、各々が該特定の個々の波長のチャンネルのうちの一つを個々に出力する 複数の第二の光路、および前記複数の異なる波長のチャンネルを前記特定の個 々の波長のチャンネルに分散させる共通の導波路を備えていることを特徴とす る光波長マルチプレクサ／デマルチプレクサ。 60．反射光学素子を備えていることを特徴とする請求の範囲59記載の光波長マル チプレクサ／デマルチプレクサ。