JP2000507175A - 電子部品の封入装置およびこの封入装置の駆動方法並びにモールド型閉じ合わせ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、相対移動可能で閉じ合わせることが可能な二つのモールド半体型（２，３）から組み立てられるモールド型内において、いわゆるリードフレーム上に搭載された電子部品を封入するための装置に関する。このように二つのモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段が、少なくとも一本の連結ロッド（１１）からなる中間部材を介して前記二つのモールド半体型の一方に繋がれた回転偏心部材から構成される。本発明は、このような装置を駆動する方法にも関する。もう一つの本発明に係る装置では、一方のモールド半体型（３）が両モールド半体型を移動させて閉じ合わせる手段に連結可能であり、他方のモールド半体型（２）が装置の一部を構成するとともに両端部位置間で移動可能なカウンタープレート（２１）に連結可能である。さらにもう一つの本発明はカウンタープレート（２１）を有した封入装置に関し、このカウンタープレート（２１）は複数の重ねられたほぼプレート状の部材（２７，２８）を有し、これらの部材の間に少なくとも一つのシャフト（２９，３９）が設けられる。最後に、本発明では、少なくとも二つのネジスピンドル（３２，３３，３４，３５）からなる封入材料加圧手段を備えて装置が構成される。

Description

【発明の詳細な説明】 電子部品の封入装置およびこの封入装置を使用する方法 本発明は、互いに近接離隔するように相対移動可能な二つのモールド半体型か ら組み立てられるモールド型内において、いわゆるリードフレーム上に搭載され た電子部品を封入もしくは封止するための装置に関し、この装置は、 −上記二つのモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段と、 −モールド型の空間内に置かれた封入材料を加圧する手段とを有する。 本発明はさらに、このような装置を作動させる方法に関する。 上記のようなタイプで、従来から存在する封入装置は、限定された速度で作動 されるものであり、故障しやすく、また、頻繁なメンテナンスが必要であった。 本発明は、電子部品の封入をより高速に且つ故障するおそれなくできるような 構成の改良された装置およびこの改良装置を作動させる方法を提供することを目 的とする。 このような目的のため、本発明においては、上記のような装置であって、二つ のモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段が、両モールド半体型の一方と少 なくとも一つの連結ロッドからなる中間部材を介して繋がる回転偏心部材を有し て構成された装置を提供する。回転偏心部材の偏心量は好ましくは、偏心部材の １８０°以内の回転で、両モールド半体型が完全に開放した位置から両モールド 半体型が互いに閉じ合う位置まで至る量である。モールド半体型を移動させて閉 じ合わせるために回転偏心部材を用いる第１の利点は、移動を高速で行わせるこ とができることである。偏心部材を最大で１８０°回転させるのは非常に高速で 行うことができ、これに対して、モールド半体型をネジスピンドルを駆動して移 動させるような装置では移動速度は低速である。回転偏心部材を用いる第２の利 点は、この部材から得られる非常に好ましい運動特性にある。駆動されるモール ド半体型が両端位置に到達するときに、偏心部材の位置は駆動されるモールド半 体型から分かるように回転角度で１８０°離れた位置にあり、偏心部材の回転軸 に対して完全に反対側に位置する。偏心部材を一定速度で回転させると、これに より駆動されるモールド半体型の移動速度は、セミシヌソイド曲線に対応し、両 端位置に近づくにつれて速度が０ｍ／秒に近づく。偏心部材が１８０°回転する ときに理想条件となるが、実際上はこの回転は１８０°より若干小さな角度であ るべきである。しかしながら、セミシヌソイド曲線を用いる非常に重要な点は被 駆動モールド半体型の運動特性に見いだされる。この運動特性によれば、臨界位 置、すなわち被駆動モールド半体型が両端に近づいた位置において、被駆動モー ルド半体型の移動速度は、これが両端位置の間の中間位置にあるときの移動速度 より小さくなるので、偏心部材の回転駆動速度をさらに増加させることができる 。この運動特性のもう一つの利点は、エネルギー消費量のみならず機械部品の負 荷が、従来の封入装置に比べて限られたものとなるという点にある。さらなる利 点は、回転偏心部材を用いた封入装置は比較的メンテナンスを必要としないとい う点にある。 本発明の好ましい例においては、モールド半体型を閉じるときの作動力を計測 する作動力センサを有して装置が構成され、この作動力センサは偏心部材の駆動 装置に接続され、所望の閉止作動力が得られたときに偏心部材駆動装置に検出信 号を送出する。このため、偏心部材は被駆動モールド半体型を移動させるだけで なく、所望の閉止力を与えることができる。 回転偏心部材をモールド半体型の一方と繋げる連結ロッドは、好ましくは所定 の角度でカーブした形状に作られる。この形状により偏心部材用の連続回転シャ フトに連結ロッドを使用することが可能となる。このように所定の角度でカーブ した連結ロッドによれば、実際、偏心部材を回転軸の側方でモールド半体型から 離れた位置まで回転させることが可能である。偏心部材は完全に円を描く回転を 行うものでないので、回転シャフトが干渉するようなクランクシャフト構成は避 けることができる。このため、装置の強度、耐久性が高い。 本発明の好ましい実施例においては、回転偏心部材はロッド機構を介在させて 一方のモールド半体型と連結され、このロッド機構は一本のレバーを備える構成 されるとともに連結ロッドによって直線運動される少なくとも一つの駆動部材を 備え、この駆動部材は少なくとも二つのニーレバーの連結点において少なくとも 二つの回動自在なアームと連結され、これらニーレバーは一端側が固定部材に枢 結され、他端側がモールド半体型の固定部と連結されている。このような構成に より、固定部を正確にリニア運動させることができる。ニーレバー構成により、 封入装置のストローク端において駆動力を大きく増幅させることができる。この ように比較的簡単な駆動装置を用いて、電子部品の封入のための十分な閉止力を 得ることができる。 本発明はまた、上述の装置を駆動する方法からなり、偏心部材を回転させるこ とにより、偏心部材に繋がれたモールド半体型を移動させる。このように偏心部 材によりモールド型半体を移動させる利点は既に述べたとおりである。 本発明はさらに上述のようなタイプの装置を含み、モールド半体型の一方がモ ールド半体型を移動させて閉じ合わせる手段に連結可能であり、第２のモールド 半体型が装置の一部を構成するカウンタープレートと連 結可能である。なお、カウンタープレートは一方のモールド半体型に作用する力 を発生させ、二つの端部位置の間で移動可能であり、両モールド半体型が互いに 当接したときに相手モールド半体型によって所定の距離を移動される。このよう な構成を用いることにより、両モールド半体型を互いに閉じ合わせたまま比較的 高速スピードで移動させて大きな閉止力を発生させることができる。カウンター プレートが二つの端部位置の中間に位置したときには、両モールド半体型の閉止 力はカウンタープレートが一方のモールド半体型の方向に対して作用する力によ って決まる。このように常に一定の閉止力が作用するため、これを検知して両モ ールド半体型が適切に閉じ合わさっているか否かを検出できる。この構成の利点 は、両モールド半体型が正しく閉じ合わさっていないときには閉止力を増加させ なくすることにより、モールド半体型が損傷することを防止もしくは抑制できる ことである。このようなケースは、例えば、リードフレームがモールド半体型の 上に正しく載置されていないようなときや、ペレットもしくは封入材料が正しく 置かれていないようなときに発生する。もう一つの利点は、封入装置の安全性が 向上する点である。もし体の一部が両モールド半体型の間に挟まれたような場合 には、閉止力がまだ制限された状態である時、すなわち、カウンタープレートが 両端部位置の中間位置にある時にはこの挟まりに反応して閉止力が増加したこと を検出することが可能である。 可動カウンタープレートを有した封入装置は、好ましくは、カウンタープレー トの移動を案内するガイド部材を備え、両端部位置を決めるストッパを有して構 成される。これらストッパはカウンタープレートに所望の運動の自由度を与え、 一方の端部位置において封入処理を行うときに要求される閉止力を増大させるこ とができる。 好ましくは、カウンタープレートはほぼ垂直に移動可能であり、一方 のモールド半体型に加えられる力は少なくともカウンタープレートの重力により 定められる。このようにほぼ垂直移動するカウンタープレートの場合には、常に カウンタープレートには重力が作用しているため、一方のモールド半体型に加わ る力は余分なストッパを用いることなしに得られる。もしこの力が十分大きなも のでないときには、カウンタープレートに重りを加えても良い。この力が大きす ぎるもしくは小さすぎる場合にこれを修正するもう一つの方法として、封入装置 のフレームとカウンタープレートとの間にバネを配設することが考えられる。こ のバネはフレームとの係合位置関係に応じて引っ張りバネもしくは圧縮バネが選 択されて用いられる。両モールド半体型を閉じ合わせるときにリードフレームの 位置合わせを行わせるときには、追加的な力が必要とされることがある。 封入装置は、好ましくは、カウンタープレートが少なくとも一方の端部位置に 位置したことを検出するセンサを有する。封入装置は好ましくはさらに両モール ド半体型の間隔を検出するセンサを有する。これらセンサを用いることにより、 封入装置の自動制御が可能となり、作動をモニターすることが可能となる。 本発明はさらに、互いに相対移動するとともに閉じ合わさっていわゆるリード フレームに搭載された電子部品の封入を行うことが可能な二つのモールド半休型 からなるモールド型を閉じ合わせる方法を提供し、モールド型を閉じ合わせると きには次のステップが継続的に行われる。 ａ）一方のモールド半体型を他方のモールド半体型にむけて移動させて両モール ド半体型を互いに当接させ、 ｂ）第１のモールド型半体を上に載せて、第１のモールド半体型に作用する力を 第２のモールド半体型に作用させたまま、第２のモールドを所定距離だけ移動さ せ、 ｃ）第２のモールド半体型が固定位置に到達した後、両モールド半体型を閉じ合 わせる力を増加させる ここで、両モールド半体型の間隔は好ましくはステップ（ｂ）において測定さ れ、ステップ（ｃ）は両モールド半体型が繋がれたときに初めて開始される。可 動カウンタープレートを用いた装置における上述した利点はこの方法の場合にも 同様に得られる。このため、この方法においては、高速で、モールド部品を損傷 するおそれが少なく、安全性に優れた方法で、高品質な封入製品を作ることがで きる。 もう一つの封入装置は一方のモールド半体型が接続可能なカウンタープレート を有して構成され、このカウンタープレートは、複数のほぼ板状部材を重ねて構 成され、これら板状部材の間には少なくとも一本のシャフトが挟持配設される。 このカウンタープレートは好ましくは、間に２本の平行シャフトを挟持した二枚 の板状部材から構成される。この板状部材には平行シャフトが嵌まりあうリセス が形成される。従来の一体型カウンタープレートが有する欠点は、このように間 に少なくとも１本のシャフトを挟んだ複数の板状部材からなるカウンタープレー トを用いれば克服できる。従来の一体型カウンタープレートは大きな閉止力が作 用すると僅かに変形する傾向があった。大きな閉止力が作用するときにカウンタ ープレートはこれを受け止めなければならない。これは、例えば、カウンタープ レートが当接する一つ以上のストッパを設けることによりなされる。カウンター プレートが支持されない位置においては、カウンタープレートは僅かに反りあが る傾向がある。比較的厚いカウンタープレートの場合にはこの変形は小さなもの であるが、閉止力がモールド半体型に均一に分配されないため、封入処理結果が 好ましくないものとなりがちである。カウンタープレートを横方向に支持する場 合には、例えば、モールド半体型に作用する閉止力がモールド型半体の端部で大 きく、中央部で小さくなるという可能性がある。このようになると、封入製品の 品質管理の上で不利である。 本発明ではカウンタープレートを少なくとも二つの層に分割し、間に少なくと も一本のシャフトを挟んで構成しているので、カウンタープレートは全くもしく は実際上ほとんど変形することがなくなった。この結果、高い品質管理が可能な 封入製品が得られる。 上記した効果の少なくとも一部が得られるより簡単な構成のカウンタープレー トとしては、二つのほぼ板状の部材に分割されてなる構成があり、少なくとも一 つの板状部材が相手板状部材と対向する面に、例えば、突起もしくは畝状の突出 部が形成される。前述した板状部材の間に挟持されたシャフトの作動がこの突出 部によって取って代わられる。カウンタープレート全体としての変形という点に おいては、二つの板状部材の間にシャフトを挟持してなるカウンタープレートに 比べて劣るかも知れないが、一体型のカウンタープレートに比べてこの構成の方 が好ましい。このような簡易構造の利点は、二つの板状部材からなり、少なくと も一方にオーバーハングした部分を有するカウンタープレートの構成高さが、板 状部材の間にシャフトを挟持する構成のカウンタープレートの構成高さより低く なることである。 本発明はまた、上述のような装置に関し、この装置において、封入材料を加圧 する手段が、少なくとも二つのネジスピンドルを有して構成され、このネジスピ ンドルは中央駆動手段により駆動され、少なくとも一本のプランジャの可動マウ ント位置を支持する。ネジスピンドルは好ましくは、ベルトを介して中央モータ により駆動される。二つのネジスピンドルにより好ましくは一つのビームが支持 され、このビームはネジスピンドルの回転に応じて移動され、少なくとも一つの プランジャが搭載可能である。一般的にプランジャブロックを介在させてプラン ジャが係 合される移動プレートを用いる代わりに、本発明によれば、ネジスピンドルを用 いてプランジャを移動させるので、非常に限られたスペース内に配設可能である という利点がある。中央駆動ネジスピンドルを用いるもう一つの利点は、正確に 同じ位置にプランジャを配設することが可能であり、封入製品の品質を改善する ことができることである。 本発明は次のような図に示される非限定的な実施例を参照して以下に詳しく説 明される。ここで、 図１は、本発明に係る封人装置の部分断面斜視図であり、 図２は、図１に示す封人装置の一部を構成するモールド半体型を移動させて閉 じ合わせるための駆動手段を示す斜視図であり、 図３は、図２の駆動手段を通る断面図であり、 図４は、図２の駆動手段を通り、図３に直角な面に沿った断面図であり、 図５は、可動プレートを有した封入装置を、モールド半体型が開放された状態 で示す図式断面図であり、 図６は、モールド半体型が閉止される中間位置にある状態を示す図５と同様の 図式断面図であり、 図７は、モールド半体型が閉止された位置にある状態を示す図５と同様の図式 断面図であり、 図８は、４つのネジスピンドルを有した封入材料の加圧手段を示す斜視図であ る。 図１に、封入装置１をプレス位置にある状態で示す。実際の封入プロセスが行 われる二つのモールド半体型２，３がこの封入装置１内に配設されている。ここ では、上側モールド半体型２の一部を切り欠いて示して、下側モールド半体型３ が良く見えるようにしている。下側モールド半体型３において、リセス４が見え ており、ここに封入材料が載置され る。ここには図示しないプランジャにより、リセス４に載置された封入材料が加 圧され、図示しない空間内に向かって押し付けられる。下側モールド半体型３は 封入装置１のフレーム５に対して垂直移動可能であり、この移動により両モール ド半体型２，３を開閉作動させる。この開放作動は、封入すべき電子部品を配置 し、封入材料を配置し、封入作動により封入処理がなされた製品を取り出すため に必要である。下側モールド半体型３を垂直移動させるためのギヤモータ６が封 入装置１のフレーム５に取り付けられている。下側モールド半休型３の垂直移動 について、図２〜４を参照してさらに詳しく説明する。 図２に示す駆動手段７が封入装置１の一部を構成する。ギヤモータ６が偏心部 材９が結合配設された水平シャフト８を回転駆動する。この偏心部材は図３およ び図４に詳しく示されている。これらに図示された偏心部材は干渉することなく 回転できるようにして水平シャフト８に設けられている。これにより駆動手段７ の耐久性が向上する。偏心部材９は偏心シャフト１０を有し、この偏心シャフト １０に連結ロッド１１が回転自在に連結される。この連結ロッド１１は、図２お よび図４に明瞭に示すように所定の角度を有して曲がった形状をしている。水平 シャフト８を回転させると、偏心シャフト１０の位置は円弧状の軌跡１２に沿っ て移動する。ここで水平シャフト８は最大で１８０°回転し、これにより水平シ ャフト８を一体構成とすることができる。連結ロッド１１を曲がった形状にして いるのは、偏心シャフト１０を破線で示す偏心シャフト１０’の位置まで移動さ せることができるようにするためである。 連結ロッド１１は、偏心シャフト１０から離れた端部において、いわゆるクロ スヘッド１４に繋がれたシャフト１３と枢結されている。このクロスヘッド１４ はフレーム５内における垂直ガイドのために設けられている。このため、クロス ヘッド１４にはガイドブロック５５，５６が 設けられており、これらガイドブロックはフレーム５に取り付けられた垂直エッ ジに係合する。クロスヘッド１４の安定性を向上させるため、クロスヘッド１４ の側面には硬化処理鋼板５７，５８が取り付けられている。これら硬化処理鋼板 ５７，５８の上に、例えば図示のようにローラーが設けられたガイドエレメント ６０，６１が当接する。このようなガイド構造を採用する大きな利点は、得られ るガイド安定性はモールド型部材２，３が閉じ合わさった位置において最大であ り、この位置においてはさらにモールド型部材２，３に加わる作動力が最大であ るということである。クロスヘッド１４は、平行シャフト１５，１６を介してそ れそれアーム４０，４１に枢結されている。これらアーム４０，４１はクロスヘ ッド１４の中心に対して対称となって設けられており、クロスヘッド１４との連 結位置から離れた位置においてニーレバー機構４２，４３と枢結されている。ニ ーレバー機構４２，４３は、フレーム５の下部と枢結され、さらに、各ロッド４ ４，４５および４６，４７がニーレバーシャフトによってそれそれ連結される位 置において各アーム４０，４１と枢結される。ニーレバー機構４２，４３の上端 は平行シャフト５０，５１を介して固定部材５２に連結され、固定部材５２はフ レーム内において垂直移動可能にガイドされている。このため、偏心部材９を回 動させれば、連結ロッド１１を介してクロスヘッド１４が垂直に移動される。ク ロスヘッド１４が垂直移動すると、アーム４０，４１によってニーレバー機構４ ２，４３が駆動される。このような構成により、特に封入装置１のストローク端 位置において作動力を大きく増大させることができ、さらに、固定部材５２を均 一に垂直移動させることができ、固定部材５２のアライメントが狂うことがない 。フレーム５は脚１７〜２０により地面に支持させて取り付けられる。 上側モールド半体型２は、垂直可動カウンタープレート２１と繋がれ ている。これは図５〜７に図式的に示されている。図５に示すように、モールド 半体型２，３が開放された位置にあるときには、カウンタープレート２１は下部 ストッパ２２に当接している。この後、下側モールド半体型３を上動させるとこ れが上側モールド半体型２と当接した後、カウンタープレート２１は持ち上げら れて下部ストッパ２２から離れる。この状態ではカウンタープレート２１には重 力により生じる力Ｆが作用し、この力Ｆ（実際には上側モールド半体型２の重力 による力も加わる）により両モールド半体型２，３が互いに閉じ合わさる。この 構成により、両モールド半体型２，３の閉止力は、図６に示す位置において正確 に制御される。 この後、図７に示す位置に至り、ここでは下側モールド半体型３が図６に示す 位置からさらに上方に押し上げられる。このときカウンタープレート２１は上部 ストッパ２３と当接して、大きな閉止力が発生する。この図の例では、上部スト ッパ２３はヒンジ構成を有し、カウンタープレート２１が傾いた状態となること を阻止して平行な状態を維持する。上部ストッパ２３には感圧センサ２４が設け られており、モールド半体型２，３に作用する閉止力を測定する。図５〜７に示 すように、下部ストッパ２２の上には接触センサ２５が設けられており、これに よりカウンタープレート２１が下部ストッパ２２から持ち上げられたことを検出 できる。また、下側モールド半体型３には距離センサ２６が設けられており、両 モールド半体型２，３の間隔を測定できる。接触センサ２５を用いて、カウンタ ープレート２１が図６に示す位置に置かれたか否かを判断することができる。こ の位置においては、両モールド半体型２，３を閉じ合わせる力（閉止力）は既知 である。確認の目的で両モールド半体型２，３の間の距離を測定しても良い。両 モールド半体型２，３が互いに完全に閉じ合わさっていないことが確認されたと きには、下側モー ルド半体型３を図５に示すスタート位置まで戻すことができる。このようなケー スは、電子部品もしくは封入材料が下側モールド半体型３内に正しく置かれてい ないために生じる可能性が高い。上述の本発明に係る装置および方法によれば、 封入装置を図７に示すような状態にして閉止力を所定の値まで高める前に、上記 のように対象物が正確に置かれていないことを検知できる。 図１に示すように、カウンタープレート２１は二枚の板状部材２７，２８によ り形成され、両板状部材２７，２８の間に２本の水平シャフト２９，３０が配設 されている。このように構成されたカウンタープレート２１の場合には、板状部 材２７の上面が限られた位置においてのみ支持されるにも拘わらず、比較的変形 が小さくなる。すなわち、板状部材２８の下面がほぼ平面のまま維持される。こ の結果、電子部品の封入処理を行うときに要求される大きな閉止力を作用させた ときにも、両モールド半休型を良好に接合した状態で維持できる。 最後に、図８に、リセス４内に配設した封入材料を加圧する手段３１を示す。 この手段は図１に示す封入装置１にも示されている。この加圧手段３１は、ベル ト３６を介して中央モータ３７により駆動される４つの垂直ネジスピンドル３２ 〜３５を備える。これらネジスピンドル３２〜３５を回転させると、水平ビーム ３８，３９が同期して垂直移動する。（ここには図示しない）プランジャがこれ ら水平ビーム３８，３９とプランジャブロックのような中間エレメントを介して 係合されており、このプランジャは下側モールド半体型３の下面側においてリセ ス４に繋がる。この結果、ネジスピンドル３２〜３５を回転させると、リセス４ 内に注入された封入材料が加圧される。封入材料を加圧する手段３１は、封入装 置１内で小さなスペース内に配設可能なように構成される。

【手続補正書】 【提出日】１９９８年９月２９日（１９９８．９．２９） 【補正内容】 １）請求の範囲を添付の通り補正する。 ２）発明の名称を「電子部品の封入装置およびこの封入装置の駆動方法並びにモ ールド型閉じ合わせ方法」に補正する。 請求の範囲 1.相対移動可能で互いに閉じ合わせることが可能な二つの半体モールド型から組 み立てられるモールド型内において、いわゆるリードフレーム上に搭載された電 子部品を封入するための装置であって、 前記二つのモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段と、 前記モールド型の空間内に注入される封入材料を加圧する手段とを有して構 成され、 前記二つのモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段が、少なくとも一本 の連結ロッドからなる中間部材を介して前記二つのモールド半体型の一方に繋が れた回転偏心部材から構成されることを特徴とする封入装置。 2.前記回転偏心部材の偏心量が、前記偏心部材の１８０°以内の回転で、前記両 モールド半体型が完全に解放した位置から前記両モールド半体型が互いに閉じ合 う位置まで至る量であることを特徴とする請求項１に記載の封入装置。 3.前記モールド半体型を閉じるときの作動力を計測する作動センサを有して装置 が構成され、前記作動力センサは前記偏心部材の駆動装置に接続され、所望の閉 止作動力が得られたときに前記偏心部材駆動装置に検出信号を送出することを特 徴とする請求項１又は２に記載の封入装置。 4.連結ロッドが所定の角度でカーブした形状に作られることを特徴とする請求項 １〜３のいずれかに記載の封入装置。 5.前記回転偏心部材はロッド機構を介在させて一方のモールド半体型と連結され 、前記ロッド機構は一本のレバーを備えて構成されるとともに前記連結ロッドに よって直線運動される少なくとも一つの駆動部 材を備え、前記駆動部材は少なくとも二つのニーレバーの連結点において少なく とも二つの回転自在なアームと連結され、前記ニーレバーは一端側が固定部材に 回転自在に枢結され、他端側が前記モールド半体型の固定部と連結されているこ とを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の封入装置。 6.互いに近接離隔するように相対移動可能な二つのモールド半体型から組み立て られるモールド型内において、いわゆるリードフレーム上に搭載された電子部品 を封入するための装置を駆動する方法であって、この装置は 前記二つのモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段と、 前記モールド型の空間内に置かれた封入材料を加圧する手段とを有し、 偏心部材を回転させることにより、前記偏心部材に繋がれたモールド半体型を 移動させることを特徴とする封入装置の駆動方法。 7.互いに近接離隔するように相対移動可能な二つのモールド半体型から組み立て られるモールド型内において、いわゆるリードフレーム上に搭載された電子部品 を封入するための装置であって、この装置は、 前記二つのモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段と、 前記モールド型の空間内に置かれた封入材料を加圧する手段とを有し、 前記モールド半体型の一方が前記モールド半体型を移動させて閉じ合わせる手 段に連結可能であり、第２のモールド半体型が装置の一部を構成するカウンター プレートと連結可能であって、前記カウンタープレートは一方のモールド半体型 に作用する力を発生させ、二つの端部位置の間で移動可能であり、前記両モール ド半体型が互いに当接したときに相手モールド半体型によって所定の距離を移動 されることを特 徴とする電子部品の封入装置。 ８．前記カウンタープレートがガイド部材に沿って移動可能であり、両端部位置 かストッパによって決められることを特徴とする請求項７に記載の封入装置。 ９．前記カウンタープレートがほぼ垂直に移動可能であり、一方のモールド半体 型に加えられる力は少なくとも前記カウンタープレートの重力により決められる ことを特徴とする請求項７又は８に記載の封入装置。 １０．前記カウンタープレートが少なくとも一方の端部位置に位置したことを検 出するセンサを有する請求項７〜９のいずれかに記載の封入装置。 １１．前記両モールド半体型の間隔を検出するセンサを有する請求項７〜１０の いずれかに記載の封入装置。 １２．互いに相対移動するとともに閉じ合わさっていわゆるリードフレームに搭 載された電子部品の封入を行うことが可能な二つのモールド半体型からなるモー ルド型を閉じ合わせる方法であって、前記モールド型を閉じ合わせるときに、 ａ）一方のモールド半体型を他方のモールド半体型にむけて移動させて前記 両モールド半体型を互いに当接させ、 ｂ）前記第１のモールド半休型を上に載せて、前記第１のモールド半体型に 作用する力を前記第２のモールド半体型に作用させたまま、 前記第２のモールドを所定距離だけ移動させ、 ｃ）前記第２のモールド半体型が固定位置に到達した後、前記両モールド半 体型を閉じ合わせる力を増加させる というステップが継続的に行われるモールド型閉じ合わせ方法。 １３．前記両モールド半体型の間隔がステツプ（ｂ）において測定され、 ステップ（ｃ）は前記両モールド半体型が繋がれたときに初めて開始されること を特徴とする請求項１２に記載の方法。 １４．互いに近接離隔するように相対移動可能な二つのモールド半体型から組み 立てられるモールド型内において、いわゆるリードフレーム上に搭載された電子 部品を封入もしくは封入するための装置であって、この装置は 前記二つのモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段と、 前記モールド型の空間内に置かれた封入材料を加圧する手段とを有し、 少なくとも一方のモールド半体型が前記封入装置に配置されたカウンタープレ ートに接続可能であって、前記カウンタープレートが、複数のほぼ板状部材を重 ねて構成され、前記板状部材の間には少なくとも一本のシャフトが挟持配設され ることを特徴とする電子部品の封入装置。 １５．前記カウンタープレートが、間に２本の平行シャフトを挟持した二枚の 板状部材から構成されることを特徴とする請求項１４に記載の封入装置。 １６．前記板状部材に平行シャフトが嵌まりあうリセスが形成されることを特徴 とする請求項１４又は１５に記載の封入装置。 １７．互いに近接離隔するように相対移動可能な二つのモールド半体型から組み 立てられるモールド型内において、いわゆるリードフレーム上に搭載された電子 部品を封入もしくは封入するための装置であって、この装置は 前記二つのモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段と、 前記モールド型の空間内に置かれた封入材料を加圧する手段とを有し、 前記封入材料を加圧する前記手段が、少なくとも二つのネジスピンドルを有し て構成され、このネジスピンドルは中央駆動手段により駆動され、少なくとも一 本のプランジャの可動固定位置を支持することを特徴とする電子部品の封入装置 。 １８．前記ネジスピンドルがベルトを介して中央モータにより駆動されることを 特徴とする請求項１７に記載の封入装置。 １９．前記二つのネジスピンドルにより一つのビームが支持され、前記ビームは 前記ネジスピンドルの回転に応じて移動され、少なくとも一つのプランジャが搭 載可能であることを特徴とする請求項１７又は１８に記載の封入装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，Ｓ Ｄ，ＳＺ，ＵＧ)，ＵＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ， ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，Ｇ Ｂ，ＧＥ，ＧＨ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ， ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，Ｎ Ｏ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ， ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ (72)発明者 ヨハネス ランバートス ゲラドス マリ ア ヴェンロイ オランダ、エヌエル 6922 ビーエム ド ィベン、ブレダーロード 18 【要約の続き】 ネジスピンドル（３２，３３，３４，３５）からなる封 入材料加圧手段を備えて装置が構成される。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 1.相対移動可能で互いに閉じ合わせることが可能な二つの半体モールド型から組 み立てられるモールド型内において、いわゆるリードフレーム上に搭載された電 子部晶を封入するための装置であって、 前記二つのモールド半休型を移動させ閉じ合わせる手段と、 前記モールド型の空間内に注入される封入材料を加圧する手段とを有して構 成され、 前記二つのモールド半体型を移動させ閉じ合わせる手段が、少なくとも一本 の連結ロッドからなる中間部材を介して前記二つのモールド半体型の一方に繋が れた回転偏心部材から構成されることを特徴とする封入装置。