JP2000512216A - 工作機械のための駆動兼用支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 機械加工のために工作機械の部品を支持し、直線状通路に沿って駆動できる、工作機械のための改良された駆動兼用支持装置である。この駆動兼用支持装置は磁気トラックを有する直線状スライド通路を含み、ハウジング内に取付られた電磁組立体内で移動する磁界が発生されると、このトラックに沿ってハウジングが移動する。ハウジングが移動する方向は、発生される磁界およびハウジングとスライド通路との間で、または電磁石組立体とトラックまたはこれらの任意の組み合わせの間で作用し、電磁石とトラックとの間の吸引力に反作用する第１油圧ベアリングパッドの移動方向に応じて決まる。

Description

【発明の詳細な説明】 工作機械のための駆動兼用支持装置発明の分野 本発明は工作機械に関し、特に加工物に対し使用する工具を移動し、位置決め する工具架台、および加工物を移動し、位置決めするための加工物架台に関し、 より詳細には、工作機械の支持構造体に対するかかる架台の取付装置、およびそ れぞれの支持構造体に対し、かかる架台を移動させるための、適当な場合には両 者を互いに移動させるための駆動装置に関する。発明の背景 機械加工方法では、一般に加工物、例えばカムシャフトをヘッドストックとテ ールストックとの間に取り付けなければならず、ヘッドストックおよびテールス トックの各々は工作機械のベッドに支持された通路、スライドまたはトラックに 沿って直線状に移動できるように配置された加工物架台によって支持され移動さ れる。加工物は通常、少なくともこの加工物の一部を通過する回転軸線を中心に 回転運動できるようにヘッドストックおよびテールストックによって支持され、 移動される。かかる機械加工のための工具（例えば研削ホイールであり得る）も 架台に取り付けられ、もしくは架台に支持され、移動され、架台も工作機械のベ ッドに支持された通路、スライドまたはトラックに沿って直線状に移動できるよ うに配置されている。研削ホイール工具はその回転軸線を中心に回転するように 工具架台によって支持される。 かかる架台に必要な直線運動は通常、架台がホームポジションから第１方向に 、可能な場合には増分運動しながら移動し、次に反対方向にホームポジションに 向かって、可能な場合には増分運動しながら戻るように行われる。かかる直線状 の架台の運動は従来の機構、例えばボールネジ、リニアモータまたは同様な装置 により行われるのが一般的である。一部の加工工具の架台は、この工具が加工物 に平行な方向に移動するだけでなく、加工物に垂直な方向にも移動できるように 別の架台にも取り付けられている。 かかる架台とそれぞれの支持通路、スライド通路、トラックまたは同等品との 間で相対運動を行うには、架台およびその支持構造体の上、またはそれらの間で ベアリングまたはベアリング面を使用しなければならない。しかしながら、かか るベアリングおよび／またはベアリング面を組み込むと、特に工具が加工物に接 触する際に発生する力に対する反作用として、工作機械への取付けに対し、架台 が水平および垂直方向および回転方向にねじれたり、回転したりすることがより 多くなることを許さない。かかる架台および工具に対し、架台に支持された加工 物が、ねじれ、回転する結果、加工物が不適に加工され、不合格となることが多 くなる。 架台とその支持構造体との間のベアリング構造がより剛性になればなるほど、 機械加工はより良好となる。これまでベアリングの相対的に移動する表面の間で 油圧タイプのベアリングを使用することにより、相対的に移動自在な工作機械の 部品の剛性を高めることが提案されている。しかしながら油圧式のベアリング構 造を設けるには、使用しようとするベアリング面に平行な平面に二次表面を設け 、使用しようとするベアリング面との間の油圧の方向と反対方向に油圧を発生す るよう、これら二次表面に油圧用流体を加え、一次ベアリング面の間に有効な油 圧ベアリング装置を設け、これらの間で最適なギャップ間隔を維持しなければな らない。二次表面を設け、この表面に油圧用流体を提供するための通路を設ける 結果、工作機械の設計上の問題が生じるだけでなく、部品を機械加工するコスト が過度に、かつ受け入れられないほど増加することもあり得る。 架台のそれぞれのスライド、スライド通路、またはトラック上での工作機械の 架台の運動を生じさせるのに、リニア電磁タイプの駆動装置（例えばリニアモー タ）を使用することもこれまで提案されている。しかしながらかかる一部のリニ アモータは、モータのコイル組立体と磁気プレートとの間でかなりの吸引力を発 生するので、適正に、かつ有効に機能するには頑丈なベアリング装置が必要とな る。 本発明の概要 よって本発明の目的は、加工物の加工を容易にするよう、工作機械の部品を支 持し、直線状通路に沿って駆動できる、工作機械用の改善された駆動兼用支持装 置を提供することにある。 本発明の１つの特徴によれば、上記駆動兼用支持装置は、架台内に取り付けら れた電磁組立体によって移動する磁界が発生される際に、架台が一方向または他 方向に移動する磁気トラックを有する直線状スライド通路を含み、架台の移動方 向は発生される磁界および架台とスライド通路との間（または電磁組立体とトラ ックまたはそれらの任意の組み合わせとの間）で作用する第１油圧ベアリング手 段の移動方向に応じて決まり、第１油圧ベアリング手段の移動は電磁石とトラッ クとの間の吸引力によって生じ、容易にされる。 好ましい構造では、スライド通路はこのスライド通路またはトラックに平行に 走行し、離間する垂直面を提供する剛性の細長いフランジまたはレールも含み、 これら垂直面はハウジングの対向する離間した垂直面またはハウジング部品の延 長部と協働し、ベアリング装置の剛性を高め、架台がスライド通路によって定め られる移動ラインに対して傾く性質を制限するようになっている。前記対向する 垂直面の間で有利となるように、第２油圧ベアリング手段を設けてもよい。 本発明の別の実施例では、電磁石とトラックとの間の吸引力と同一方向に作用 する別の油圧ベアリング手段を増設してもよい。この増設油圧ベアリングは延長 フレーム、スライド通路またはスライド通路が取り付けられた剛性の工作機械部 品またはスライド通路が部品、例えば工作機械のベッドを形成している剛性の工 作装置の部品への延長部の上またはその内部、もしくは延長フレームに固定され た増設部品の上またはその内部に形成された適当な細長い平らな面に位置する油 圧パッドにより製造できる。 増設された油圧ベアリング手段内の流体圧力は、安定効果を生じるように、少 なくとも部分的に第１油圧ベアリング手段内の圧力に依存することが好ましい。 これとは異なり、使用中に電磁組立体が油圧により架台から分離され、架台自 身がスライド通路から油圧により分離されるように、電磁組立体と架台との間に 別の油圧ベアリング手段を増設してもよい。 （取り付けられた工具または加工物を含む）架台組立体の重量がかなり大きく 、電磁組立体とトラックとの間の吸引力が十分に大きい（かつハウジング等の重 量部品と同じ方向に作用する）場合、この増設油圧ベアリング手段を不要とでき るか、または例えば変化する機械加工力によって生じるような不安定性を低下す るようにダンピング力を発生させるだけでよい場合もあり、この油圧ベアリング 手段は電磁組立体とトラックとの間に設けられた空隙によりスライド通路／トラ ックに対し架台組立体を振動させることができる。 更に別の構造では、上下平行駆動面を有する電磁組立体を選択でき、これら駆 動面の各々が磁気トラックに対して位置すると、トラックに対する電磁組立体の 直線状の運動を発生する。スライド通路トラックと第２の同様な（より短い）ト ラックとの間で完全に浮遊するように、架台内に電磁組立体を取り付けてもよく 、第２のトラックは架台内において第１トラックに平行に取り付けられ、架台に 固定される。相対的に前後に運動できないが、一方のスライド通路トラックと他 方の架台との間の空隙によって可能となる程度に架台の前後の運動に対して垂直 な限られた相対運動を可能にするように、架台内に電磁組立体を拘束すると、架 台に作用する真の電磁力が前後方向に働き、よって所望する直線状の運動を発生 する。 電磁組立体と架台トラックとの間の力は、電磁組立体とスライド通路トラック との間の力と方向が逆になり、力の大きさと間隙の大きさとの特性が逆の関係と なり、機械加工またはその他の力により生じる振動を電磁的にダンピングするこ とが好ましい。 本発明は、必要な場合に油圧ダンピングと電磁ダンピングの双方を使用するこ とにより、所望する場合に油圧ダンピングと電磁ダンピングとを組み合わせるも のである。 本発明は、固定されたベースと上記支持装置兼駆動装置とによりベースに対し 直線状に移動可能な、少なくとも１つのスライド可能な部材（架台）を含む工作 機械でもある。 添付図面はスライド通路に沿って移動するようになっており、スライド通路と 工作機械の可動部品との間にインドラマットＧｍｂＨによって供給されるような リニア電磁駆動装置および油圧ベアリングを内蔵し、これら部品の動作が油圧駆 動部品の間で発生される吸引力によって発生され、容易となっている、工作機械 の部品のためのスライド通路、および剛性を高め、および／または部品をダンピ ングし、および／または分離するために増設された油圧ベアリングを含む別の変 形例を示す。これらリニアモータはアノラッドコーポレーションまたはＮＳＫ ＵＳＡ社によって供給されるタイプのものでもよい。 架台およびスライド通路組立体の剛性を高めるのに、油圧ベアリングが必要と される工作機械の架台およびスライド通路組立体に上記リニアモータを使用する ことが有利である。その理由は、このようにすることにより、このようにしない 場合に一次ベアリングパッドに対向するのに必要とされる従来の油圧ベアリング パッドが不要となるか、またはダンピングパッドだけですむようになるからであ る。 図面の簡単な説明 以下、添付図面を参照し、本発明の上記およびそれ以外の目的および特徴につ いて説明する。 図１は、本発明を含むことができるタイプの工作機械の略側面図である。 図２は、図１に略図で示されているようなタイプの工作機械のスライド通路に よって支持された、本発明の駆動およびベアリング装置を含む工具架台の側面図 である。 図３は、本発明の駆動ベアリング装置の細部をより良好に示すように拡大した 、図２の３−３線に沿った断面図である。 図４は、図２および３の工具架台の下面の平面図である。 図５は、工作機械の工具の架台および／または加工物の架台に使用されるタイ プの、従来の油圧ベアリング装置の略断面図である。 図６は、本発明に組み込まれるタイプのリニアモータの略斜視図である。 好適な具体例の詳細な説明 図１を参照すると、ここには研削装置１０の形態をした工作機械の全体が示さ れている。この研削装置１０は、ベッド、すなわちベース１２を有し、このベー スは従来の構造および態様でベッド１２の上部表面に設けられた一組の離間した トラックガイド、すなわちスライド通路１６に沿って、矢印Ｘ−Ｘの方向に移動 するようにベース１２によって支持された加工物の架台１４を支持し、移動する ようになっている。ヘッドストック（図示せず）およびテールストック１８（い ずれも従来の構造である）は、加工物の架台１４によって支持移動され、研削ホ イール３０と協働するように、両者の間に加工物２０を取り付け、研削ホイール ３０によって研削中の加工物を回転するようになっている。本例の加工物２０は 複数のカム３２を取り付けるカムシャフトである。 研削ホイール３０は工作機械のベース１２に配置されているホイールヘッド４ ０によって回転自在に支持され、モータ４４から動力が供給されるベルト４２に よって駆動されており、モータ１４４もホイールヘッド４０に支持されている。 ホイールヘッド４０はベースまたはベッド１２の別の上部表面に支持されたガイ ド、トラックまたはスライド通路５２に沿って矢印Ｙ−Ｙの方向に移動するよう に、スライド自在に配置された架台５０を含む。トラックまたはスライド通路５ ２も従来の構造であり、工具架台５０および研削ホイール３０の矢印Ｙ−Ｙの方 向への移動をガイドし、これを容易にし、加工物２０上でカム３２の研削を行い 、容易にするように、従来どおりベース１２の項部に配置されている。一部の工 作機械の構造では下架台５６がスライド通路５２を取り付け、加工物２０に接近 したり離間したりする研削ホイール３０の移動を容易にし、この下架台自身も工 作機械のベッド１２によって支持されている同様な組のトラックまたはガイド通 路６０に沿って移動できるように取り付けられ、よって下架台５６は、矢印Ｘ− Ｘの方向に移動し、研削ホイール３０が加工物２０の他のセグメントと協働でき るように研削ホイール３０を位置決めするように配置されている。 架台１４、４０および５６だけでなくモータ４４の移動、加工物２０の回転お よび工作機械１０の他の機能を制御するよう、適当な従来の制御装置６２、好ま しくはＣＮＣ制御装置が設けられている。 本発明を含む図２〜４に示された加工ヘッド１４０は、加工物（図示せず）と 協働できるように研削ホイール１３０を回転自在に取り付けており、加工物自身 も加工物２０に対してこれまで説明したのと同様な態様で、加工物架台によりヘ ッドストックとテールストックとの間に回転自在に取り付けられている。図２お よび３に示された加工架台のスライド通路１６０の、図２に示された一対の離間 したレール１５２と協働するように、これらレールの上に加工ヘッド１４０の加 工架台１５０が位置決めされており、スライド通路１６０は矢印Ｘ−Ｘの方向へ の加工架台１５０の移動を容易にするよう、図２に示されている工作機械のベッ ド１６２によって適当かつ従来どおり支持されている。二次コイルまたは永久磁 石プレート１７２から離間し、かつこれに向くように、架台１５０によって一次 コイルまたは電磁コイル組立体１７０（図２および３に示されている）が支持さ れており、永久磁石プレート１７２は通路１６０のレール１５２の間で通路１６ ０の項部に配置され、通路１６０の長手方向に延びている。永久磁石プレート１ ７２は磁気トラックを形成し、このトラックは誘導トラックでもよいし、また一 次コイル組立体１７０と協働するように正しく励磁される電磁石から形成しても よい。従って、一次コイル１７０および二次コイル１７２はホイールヘッド１４ ０およびホイールすなわち工具架台１５０に対するリニアモータ１７４を形成し ている。ホイール架台１５０および加工物架台に対し下架台を設ける場合には、 この下架台に対しても同様なリニアモータを設けてもよい。上記のようにしない 場合、このリニアモータは従来の構造で従来どおり給電し、工具架台、下架台お よび／または加工物架台の必要な運動を生じさせるように制御してもよい。 図６には、従来のリニアモータの略図が示されている。スライド通路１８８の 離間したレール１８６の間に配置された二次コイル１８４に向き、これと協働す るように架台１８２内に一次コイル１８０が収容されている。 工具架台、下架台、加工物架台および同様な部品は、架台、例えば架台１５０ とスライド通路、例えばスライド通路１６０との間にベアリング装置を必要とす る。レール１５２の表面と、架台１５０の表面２０２との間に油圧ベアリング２ ００を形成することにより、架台１５０とスライド通路１６０との間に比較的剛 性なベアリングが設けられている。架台１５０の各コーナーの近くの架台１５０ の表面２０２には複数の油圧パッド２１０（図３および４に示されている）が形 成されている。これらパッド２１０は図４により明瞭に示されるように細長く、 かつ油圧用に適し、かつ比較的浅い深さとなっている。パッド２１０ａは他のパ ッド２１０よりも細長く、加工ヘッド１４０の位置で研削ホイール１３０に対す る別の流体支持体となっていることに留意すべきである。 各パッド２１０、２１０ａには開口部すなわちポート２３０が開口しており、 これらポートから図３に示されている流体通路２３２および２３４内に延びてい る。これら流体通路は流体導管２３８が嵌合されるような大きさおよび構造のカ ップリング２３６でそれぞれ終わっており、導管の他端部は油圧流体のソース、 例えば従来の構造および動作のマニホールド、ポンプまたはリザーバ（図示せず ）に接続されている。比較的剛性な油圧ベアリングに適当な油圧を発生し、維持 するために、従来の適当な制御装置が設けられている。 パッド２１０、２１０ａは、従来の油圧ベアリング装置と比較して本発明を良 好に理解するために設けられた図５に略図で示された従来の略油圧ベアリング装 置の部品Ａのパッド３１０（図５に示されている）に対応する。パッド３１０か ら別の流体通路３１４に流体通路３１２が延びており、流体通路３１４は適当な 圧力および制御にて油圧ベアリング用に適した適当な流体ソースからの油圧流体 を入口３１６で受けるようになっている。パッド３１０からの流体は部品Ａが部 品Ｂに対し矢印Ｘ−Ｘの方向（図の内外に）に移動できるように、部品Ａと部品 Ｂの対向する表面３２０と３２２との間に油圧ベアリングを形成している。流体 の圧力が高くなればなるほど油圧ベアリングも剛性となる。 システムがロックアップするのを防止するよう、従来の制限器（図示せず）に より流体通路３１２および３１４から油圧ベアリングパッド３１０を分離しても よい。 しかしながら対向するベアリング表面の間に適当なギャップ間隔を維持するに は、油圧ベアリングにプリ負荷をかけなければならない。このギャップが狭すぎ ればベアリングは正しく機能せず、このギャップが広すぎれば流体は流出するだ けで、ベアリングはその剛性を失うことになる。従来の油圧ベアリングでは表面 ３３０に流体パッド３３４が形成された一組のプリ負荷表面３３０、３３２を製 造することによって、プリ負荷を発生している。流体通路３３６、３３８がこの 油圧をプリ負荷パッド３３４に向けるようになっており、パッド３１０によって 生じた流体の圧力は部品Ｂの表面３２２およびこれによって発生される反作用に 抗して作用し、部品ＡとＢとを分離させるが、部品Ｂが固定された状態に配置さ れている場合、これら力は部品Ａを部品Ｂから離間させるように働き、この力は 部品Ａの重量によって若干変えられる。他方、部品Ｂの表面３３２に作用する流 体の圧力によって生じるプリ負荷力は表面３３０と３３２との間に反作用力を発 生し、これら力は部品Ａを部品Ｂに引き寄せるように働く。従って、このプリ負 荷力を制御すると、油圧ベアリングのベアリング表面の間のギャップ間隔を有効 に制御できる。 従って、従来の油圧ベアリングを使用するには、プリ負荷表面、油圧流体パッ ドおよび通路を考慮して可動部品を設計することが必要となるだけでなく、それ らプリ負荷表面、パッドおよび通路を可動部品内に機械加工する手間も必要とな る。 従来のリニアモータ、例えば図６に示されているようなリニアモータ、および 本発明のリニアモータ１７８は、一次コイルと二次コイルとの間で強力な吸引力 を発生できる。従って、適当なリニアモータ、例えば一次コイルと二次コイルと の間で強力な吸引力を発生するリニアモータを選択することにより、本発明は油 圧ベアリングに対し、自己のプリ負荷力を発生し、プリ負荷表面、油圧パッド、 通路およびこれらプリ負荷パッドおよび通路のための流体を不要にする。 従って、工具架台１５０によって支持された一次コイル１７０とスライド通路 １６０によって固定された状態に支持された二次コイル１７２との間で吸引力を 発生するために、本発明のリニアモータ１７４が選択されており、この吸引力に 加工ヘッド１４０の重量からの力が加えられると、油圧ベアリング２００に対す る適当なプリ負荷力を与えるようになっている。この場合、リニアモータ１７４ は約３１７８ｋｇ（約７０００ｌｂｓ）の吸引力を発生する。油圧ベアリングの 必要な剛性に応じて、それぞれの一次コイルと二次コイルとの間でこれよりも大 きいかまたは小さい吸引力を発生するリニアモータを使用することもできる。よ り大きい吸引力を発生すれば、油圧ベアリングに対する流体の圧力をより大きく し、油圧ベアリングの剛性をより大きくすることが可能となる。 工具架台１５０の垂直表面３０２とスライド通路１６０の垂直表面３０４との 間には、図３に示された油圧ベアリング３００が増設されている。架台１５０の それぞれの端部に、または架台１５０の端部から端部まで分散するように、垂直 表面３０２内にパッド２１０に類似するが必ずしも同じ円周方向の形状である必 要のない油圧パッド３１０が形成されている。従来の適当な油圧流体ポンプおよ び制御装置の制御により、適当な油圧流体の供給部からポートおよび通路３２０ を介し、パッド３１０に適当な油圧流体が提供されている。ベアリング２００お よび３００を出る油圧流体は、スライド通路１６２に設けられたキャビティ３５ ０内に排出され、次にこのキャビティから導管３５２を通ってリザーバ３６０に 排出される。リザーバ３６０には油圧ベアリング２００および３００に対する所 望する圧力を維持するように、適当な循環ポンプおよび制御装置を設けてもよい 。油圧ベアリング３００にプリ負荷をかけるため、油圧ベアリング３００のいず れかまたは双方にベアリング２００のための上記タイプの所望する吸引力を発生 してもよい。 ベアリング２００に対しダンピングのためにパッド２１０、２１０ａに対し油 圧パッド（図示せず）を増設してもよいが、プリ負荷用に利用されているように 、これらパッドは配置され、位置決めされている。適当に設けられた通路を通し 、かかるダンピング用パッドに油圧用の適当な流体が供給されることとなる。更 にリニアモータ１７４の吸引力の外に力が必要である場合、プリ負荷用だけでな く、またダンピング用の代わりに別の油圧パッドを利用してもよい。 以上で本発明の好適な具体例について説明したが、当業者が上記説明を検討す れば、上記以外の変形例、変更例を思いつくことができると考えられる。従って 、かかる変形例、変更例のいずれも、添付した請求の範囲に記載した本発明の範 ｈ囲に入るものと理解すべきである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，Ｓ Ｄ，ＳＺ，ＵＧ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＵ，ＢＡ，ＢＢ ，ＢＧ，ＢＲ，ＣＡ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＥＥ，ＧＥ， ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＰ，ＫＲ，ＬＣ，ＬＫ，Ｌ Ｒ，ＬＴ，ＬＶ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ ，ＰＬ，ＲＯ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ， ＵＺ，ＶＮ (72)発明者 メツェラー，ジョエル ケー アメリカ合衆国 ペンシルベニア州 17225 グリーンキャッスル レイタース バーグ ロード 786

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．第１スライド通路位置と第２スライド通路位置とそれらの間の種々のスライ ド通路位置との間でスライド通路に沿って移動できるよう架台がスライド通路に よって支持されている、架台およびスライド通路のための架台の駆動兼用取付装 置において、 （ａ）一次駆動手段と二次駆動手段とを含み、これら駆動手段の一方が前記架 台に支持されており、他方の駆動手段が前記スライド通路によって支持されたリ ニアモータ駆動手段を備え、 （ｂ）前記架台が第１油圧ベアリング表面を含み、前記スライド通路が第２油 圧ベアリング表面を含み、 （ｃ）前記第１油圧ベアリング表面および前記第２油圧ベアリング表面に対し 、油圧流体を提供する油圧流体手段を備え、 （ｄ）前記第１油圧ベアリング表面と前記第２油圧ベアリング表面と前記油圧 流体手段とが協働し、前記架台の移動を容易にするよう、前記架台と前記スライ ド通路との間に油圧ベアリング手段を構成し、 （ｅ）前記リニアモータ駆動手段の前記一次駆動手段と前記二次駆動手段とが 協働し、前記油圧ベアリング手段の機能を容易にする、所定の大きさおよび所定 の方向の所定の吸引力を発生するようになっている架台の駆動および取付装置。 ２．前記一次駆動手段が前記架台に支持されており、前記二次駆動手段が前記ス ライド通路によって支持されている、請求項１記載の架台の駆動および取付装置 。 ３．前記二次駆動手段が前記第１スライド通路位置から前記第２スライド通路位 置まで延びている、請求項２記載の架台の駆動および取付装置。 ４．前記二次駆動手段が複数の永久磁石プレートを含み、前記一次駆動手段が電 磁石を含む、請求項３記載の架台の駆動および取付装置。 ５．前記第１油圧ベアリング表面が複数の油圧流体パッドを含む、請求項２記載 の架台の駆動および取付装置。 ６．前記複数の油圧流体パッドの一対が、前記油圧ベアリング表面の各端部に接 近して配置されている、請求項５記載の架台の駆動および取付装置。 ７．前記第１油圧ベアリング表面が前記架台に設けられた一対の離間した共通表 面を含み、これら表面が前記スライド通路上に設けられた対応する一対の離間し た共通表面と協働するようになっている、請求項６記載の架台の駆動および取付 装置。 ８．前記架台および前記スライド通路の前記共通表面が水平に配置されている、 請求項７記載の架台の駆動および取付装置。 ９．前記所定の吸引力の前記所定の方向が、前記油圧ベアリング手段の所定の油 圧力の方向に対して反対方向である、請求項２記載の架台の駆動および取付装置 。 １０．前記所定の吸引力が前記油圧ベアリング手段に対する所定の力を含む、請 求項９記載の架台の駆動および取付装置。 １１．前記第１油圧ベアリング手段に垂直な方向に作用する第２油圧ベアリング 手段を更に含む、請求項１０記載の架台の駆動および取付装置。 １２．前記架台および前記架台駆動装置が、工作機械の工具架台のためのもので ある、請求項２記載の架台の駆動および取付装置。 １３．前記工作機械が研削装置である、請求項１２記載の架台の駆動および取付 装置。 １４．前記架台および前記架台駆動装置が、工作機械の加工物架台のためのもの である、請求項２記載の架台の駆動および取付装置。 １５．前記工作機械が研削装置である、請求項１４記載の架台の駆動および取付 装置。 １６．前記架台および前記架台駆動装置が、工作機械の工具架台を支持している 、請求項２記載の架台の駆動および取付装置。 １７．前記工作機械が研削装置である、請求項１６記載の架台の駆動および取付 装置。 １８．スライド通路および第１スライド通路位置と第２スライド通路位置とそれ らの間の種々のスライド通路位置との間でスライド通路に沿って移動できるよう スライド通路によって支持された架台を備えた工作機械において、 （ａ）一次駆動手段と二次駆動手段とを含み、これら駆動手段の一方が前記架 台に支持されており、他方の駆動手段が前記スライド通路によって支持されたリ ニアモータ駆動手段を備え、 （ｂ）前記架台が第１油圧ベアリング表面を含み、前記スライド通路が第２油 圧ベアリング表面を含み、 （ｃ）前記第１油圧ベアリング表面および前記第２油圧ベアリング表面に対し 、油圧流体を提供する油圧流体手段を備え、 （ｄ）前記第１油圧ベアリング表面と前記第２油圧ベアリング表面と前記油圧 流体手段とが協働し、前記架台の移動を容易にするよう、前記架台と前記スライ ド通路との間に油圧ベアリング手段を構成し、 （ｅ）前記リニアモータ駆動手段の前記一次駆動手段と前記二次駆動手段とが 協働し、前記油圧ベアリング手段の機能を容易にする、所定の大きさおよび所定 の方向の所定の引力を発生するようになっている工作機械。 １９．前記一次駆動手段が前記架台に支持されており、前記二次駆動手段が前記 スライド通路によって支持されている、請求項１記載の架台の駆動および取付装 置。 ２０．前記二次駆動手段が前記第１スライド通路位置から前記第２スライド通路 位置まで延びている、請求項１９記載の架台の駆動および取付装置。 ２１．前記二次駆動手段が複数の永久磁石プレートを含み、前記一次駆動手段が 電磁石を含む、請求項２０記載の架台の駆動および取付装置。 ２２．前記第１油圧ベアリング表面が複数の油圧流体パッドを含む、請求項１９ 記載の架台の駆動および取付装置。 ２３．前記複数の油圧流体パッドの一対が、前記油圧ベアリング表面の各端部に 接近して配置されている、請求項２２記載の架台の駆動および取付装置。 ２４．前記第１油圧ベアリング表面が前記架台に設けられた一対の離間した共通 表面を含み、これら表面が前記スライド通路上に設けられた対応する一対の離間 した共通表面と協働するようになっている、請求項２３記載の架台の駆動および 取付装置。 ２５．前記架台および前記スライド通路の前記共通表面が水平に配置されている 、請求項２４記載の架台の駆動および取付装置。 ２６．前記所定の吸引力の前記所定の方向が、前記油圧ベアリング手段の所定の 油圧力の方向に対して反対向きである、請求項１９記載の架台の駆動および取付 装置。 ２７．前記所定の吸引力が前記油圧ベアリング手段に対する所定の力を含む、請 求項２６記載の架台の駆動および取付装置。 ２８．前記第１油圧ベアリング手段に垂直な方向に作用する第２油圧ベアリング 手段を更に含む、請求項２７記載の架台の駆動および取付装置。 ２９．前記架台および前記架台駆動装置が、工作機械の工具架台のためのもので ある、請求項１９記載の架台の駆動および取付装置。 ３０．前記工作機械が研削装置である、請求項２９記載の架台の駆動および取付 装置。 ３１．前記架台および前記架台駆動装置が、工作機械の加工物架台のためのもの である、請求項１９記載の架台の駆動および取付装置。 ３２．前記工作機械が研削装置である、請求項３１記載の架台の駆動および取付 装置。 ３３．前記架台および前記架台駆動装置が、工作機械の工具架台を支持している 、請求項１９記載の架台駆動および取付装置。 ３４．前記工作機械が研削装置である、請求項３３記載の架台駆動および取付装 置。 ３５．第１スライド通路位置と第２スライド通路位置とこれらの間の複数の通路 位置との間で架台を移動するようにスライド通路上に該架台を取付、駆動する方 法であって、 （ａ）一次コイルと二次コイルとを有し、前記架台と前記スライド通路との間 で作用するような吸引力を前記一次コイルと前記二次コイルとの間で発生するリ ニアモータ手段を設ける工程と、 （ｂ）前記架台と前記スライド通路との間で油圧ベアリング手段を設ける工程 と、 （ｃ）前記油圧ベアリングにプリ負荷を加えるよう、前記リニアモータの前記 一次コイルと前記二次コイルとの間で前記吸引力を利用する工程とを備えた、架 台を取付、駆動する方法。 ３６．前記架台によって前記一次コイルを支持し、前記スライド通路によって前 記二次コイルを支持する工程を更に含む、請求項３６記載の取付、駆動方法。 ３７．前記第１スライド通路位置から前記第２スライド通路位置まで延びる前記 二次駆動手段を設ける工程を更に含む、請求項３５記載の取付、駆動方法。 ３８．前記一次駆動手段として複数の永久磁石プレートを設ける工程と、前記二 次駆動手段として電磁石を設ける工程とを更に含む、請求項３５記載の取付、駆 動方法。 ３９．前記第１油圧ベアリング表面内に複数の油圧流体パッドを設ける工程を更 に含む、請求項３７記載の取付、駆動方法。 ４０．前記油圧ベアリング表面の各端部の近くに、前記複数の油圧流体パッドの 一対を設ける工程を更に含む、請求項３９記載の取付、駆動方法。 ４１．前記架台上の一対の離間した共通表面を前記第１油圧ベアリング表面に設 ける工程と、 前記架台上の離間した共通表面の前記対と協働するように、対応する対の離間 した共通表面を前記スライド通路に設ける工程とを更に含む、請求項４０記載の 取付、駆動方法。 ４２．前記架台および前記スライド通路の前記共通表面を水平方向に配置する工 程を更に含む、請求項４１記載の取付、駆動方法。 ４３．前記油圧ベアリング手段の所定の油圧力の方向と反対方向に、前記所定方 向の前記所定の吸引力を発生する工程を更に含む、請求項３６記載の取付、駆動 方法。 ４４．前記油圧ベアリング手段に対するプリ負荷力を含むように前記所定の吸引 力を発生する工程を更に含む、請求項４３記載の取付、駆動方法。 ４５．前記第１油圧ベアリング手段に垂直な方向に作用する第２油圧ベアリング 手段を発生する工程を更に含む、請求項４４記載の取付、駆動方法。 ４６．工作機械の工具架台のための前記架台および前記架台駆動装置を設ける工 程を更に含む、請求項３６記載の取付、駆動方法。 ４７．前記工作機械が研削装置である、請求項４６記載の取付、駆動方法。 ４８．前記架台および架台駆動装置により工作機械の工具架台を支持する工程を 更に含む、請求項３６記載の取付、駆動方法。 ４９．前記工作機械が研削装置である、請求項４９記載の取付、駆動方法。 ５０．前記架台および架台駆動装置により工作機械の工具架台を支持する工程を 更に含む、請求項３６記載の取付、駆動方法。 ５１．前記工作機械が研削装置である、請求項５０記載の方法。