JP2001196352A - ホトレジスト灰化処理装置での灰レート均一性を改良する方法 - Google Patents
ホトレジスト灰化処理装置での灰レート均一性を改良する方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ホトレジスト除去速度の不均一性を一層よく
補正するようにプラズマ灰化法を改良する。 【解決手段】 集積回路及びマイクロ電気機械デバイス
を加工する時のホトレジスト除去のために用いられるプ
ラズマ灰化機械のためのグリッド板組立体において、上
方グリッド板と、前記上方グリッド板から可変間隙によ
り分離された下方グリッド板とを具え、然も、前記上方
及び下方のグリッド板が一連の孔を有する、上記グリッ
ド板組立体。
補正するようにプラズマ灰化法を改良する。 【解決手段】 集積回路及びマイクロ電気機械デバイス
を加工する時のホトレジスト除去のために用いられるプ
ラズマ灰化機械のためのグリッド板組立体において、上
方グリッド板と、前記上方グリッド板から可変間隙によ
り分離された下方グリッド板とを具え、然も、前記上方
及び下方のグリッド板が一連の孔を有する、上記グリッ
ド板組立体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体処理装置に
関し、特にプラズマ灰化装置に関する。
関し、特にプラズマ灰化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路及び（又は）マイクロ電気機械
・機械（ＭＥＭＳ）デバイスの加工中、ホトレジストを
除去するための灰化処理で用いられる或る型の装置は、
ウェーハの縁から中心部へ不均一な灰化速度を示す。こ
の効果は、ウェーハの外側縁と比較して、ウェーハの中
心部でプラズマガスの流れが多少とも停滞することによ
り引き起こされるものであり、ウェーハの縁から中心部
にかけてホトレジスト除去速度の低下をもたらす。従
来、この縁から中心部への灰化速度への変化は、圧力、
温度、電力、バイアス方向、及びガス濃度を含めた幾つ
かの異なった処理パラメータを操作することにより最小
にされてきた。典型的には、これらのパラメータは、特
定の方法について最適にされ、処理方法として守られて
きた。
・機械（ＭＥＭＳ）デバイスの加工中、ホトレジストを
除去するための灰化処理で用いられる或る型の装置は、
ウェーハの縁から中心部へ不均一な灰化速度を示す。こ
の効果は、ウェーハの外側縁と比較して、ウェーハの中
心部でプラズマガスの流れが多少とも停滞することによ
り引き起こされるものであり、ウェーハの縁から中心部
にかけてホトレジスト除去速度の低下をもたらす。従
来、この縁から中心部への灰化速度への変化は、圧力、
温度、電力、バイアス方向、及びガス濃度を含めた幾つ
かの異なった処理パラメータを操作することにより最小
にされてきた。典型的には、これらのパラメータは、特
定の方法について最適にされ、処理方法として守られて
きた。
【０００３】下方へ流れるプラズマ反応器は、屡々プラ
ズマ発生領域と標的ウェーハとの間にグリッド板を用い
ている。これらのグリッド板は、中性の反応性物質、例
えば、酸素及びフッ素原子だけが加工片（標的ウェー
ハ）へ進行し、ホトレジストを灰化除去することができ
るようにするために用いられている。中性反応性物質は
望ましくない副作用、即ち、ＣＭＯＳトランジスタ及び
他の部品構造体へのイオン衝突を最小にする。グリッド
板は、励起ガス又はプラズマが通過して標的ウェーハへ
行くことができるように、孔を開けた金属（例えば、ア
ルミニウム）から作られている。これらのグリッド板
は、ガス又はプラズマがウェーハに達するために非直線
的視線が存在するように配置されている。
ズマ発生領域と標的ウェーハとの間にグリッド板を用い
ている。これらのグリッド板は、中性の反応性物質、例
えば、酸素及びフッ素原子だけが加工片（標的ウェー
ハ）へ進行し、ホトレジストを灰化除去することができ
るようにするために用いられている。中性反応性物質は
望ましくない副作用、即ち、ＣＭＯＳトランジスタ及び
他の部品構造体へのイオン衝突を最小にする。グリッド
板は、励起ガス又はプラズマが通過して標的ウェーハへ
行くことができるように、孔を開けた金属（例えば、ア
ルミニウム）から作られている。これらのグリッド板
は、ガス又はプラズマがウェーハに達するために非直線
的視線が存在するように配置されている。
【０００４】下方へ流れるプラズマ反応器についての図
解が図１ａに示されている。この型の灰化器は、グリッ
ド板２及び３を用いており、プラズマ反応領域と加工片
（ウェーハ）との間に分離間隙５が存在する。グリッド
板は、図１ｂに示されているように、同じ大きさの孔６
を有する金属板からなる。上方グリッド板２及び下方グ
リッド板３は、ガスがウェーハへ通過するのに直線的な
路は存在しないように配列されている。プラズマガス１
は上方グリッド板２に適用され、下方グリッド板３中の
孔を通って出る。グリッド板の目的は、酸素及びフッ素
原子のような中性反応性物質だけがウェーハへ行くこと
ができ、そこでホトレジストを灰化して除去することが
できようにすることにある。これらの中性反応性物質は
望ましくない副作用、即ちウェーハ上のＣＭＯＳトラン
ジスタ及び他の構造体を破壊するイオン衝突を最小にす
る。しかし、上述したように、グリッド法はウェーハの
中心の方へガスを停滞させることがあり、それがウェー
ハの縁近くではホトレジストの除去速度を一層速くす
る。このことは、今度は処理される製品に対し破壊的に
なることがある。
解が図１ａに示されている。この型の灰化器は、グリッ
ド板２及び３を用いており、プラズマ反応領域と加工片
（ウェーハ）との間に分離間隙５が存在する。グリッド
板は、図１ｂに示されているように、同じ大きさの孔６
を有する金属板からなる。上方グリッド板２及び下方グ
リッド板３は、ガスがウェーハへ通過するのに直線的な
路は存在しないように配列されている。プラズマガス１
は上方グリッド板２に適用され、下方グリッド板３中の
孔を通って出る。グリッド板の目的は、酸素及びフッ素
原子のような中性反応性物質だけがウェーハへ行くこと
ができ、そこでホトレジストを灰化して除去することが
できようにすることにある。これらの中性反応性物質は
望ましくない副作用、即ちウェーハ上のＣＭＯＳトラン
ジスタ及び他の構造体を破壊するイオン衝突を最小にす
る。しかし、上述したように、グリッド法はウェーハの
中心の方へガスを停滞させることがあり、それがウェー
ハの縁近くではホトレジストの除去速度を一層速くす
る。このことは、今度は処理される製品に対し破壊的に
なることがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このホトレジスト除去
速度の不均一性を一層よく補正するようにプラズマ灰化
法を改良する必要がある。ウェーハを横切る灰化速度の
この変化は、ウェーハの大きさが増大するに従って、更
に複雑になる。直径３００ｍｍのウェーハは、近い将来
標準的なものになると予想されており、灰化速度の均一
性は更に一層重要になるであろう。ここに開示する本発
明は、この必要性に関する。
速度の不均一性を一層よく補正するようにプラズマ灰化
法を改良する必要がある。ウェーハを横切る灰化速度の
この変化は、ウェーハの大きさが増大するに従って、更
に複雑になる。直径３００ｍｍのウェーハは、近い将来
標準的なものになると予想されており、灰化速度の均一
性は更に一層重要になるであろう。ここに開示する本発
明は、この必要性に関する。
【０００６】米国特許第５，９４８，２８３号明細書
は、処理中のウェーハに補助的熱を与えることによりこ
の問題を取扱う一つの方法の例である。
は、処理中のウェーハに補助的熱を与えることによりこ
の問題を取扱う一つの方法の例である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】集積回路の製造及び（又
は）マイクロ電気機械（ＭＥＭＳ）デバイスのためウェ
ーハを加工する時の縁から中心へのホトレジスト灰化速
度の不均一性は、プラズマ灰化処理装置で用いられるグ
リッド板の間隙距離又は孔の大きさを適切に制御するこ
とにより著しく改良することができる。特に、グリッド
板を用いた下方へ流れるプラズマ灰化器は、グリッド板
間のグリッド板間隔（間隙距離）に敏感であり、特に低
温（＜１００℃チャック温度）灰化操作で用いた場合に
は敏感になる。グリッド板間に連続的に変化するか又は
階段状に変化する間隙分離を与えることにより、ウェー
ハを横切る灰化速度の不均一性を改良することができ
る。別法として、等間隔のグリッド板中に変化する孔径
を用いて、同じ結果を達成することもできる。
は）マイクロ電気機械（ＭＥＭＳ）デバイスのためウェ
ーハを加工する時の縁から中心へのホトレジスト灰化速
度の不均一性は、プラズマ灰化処理装置で用いられるグ
リッド板の間隙距離又は孔の大きさを適切に制御するこ
とにより著しく改良することができる。特に、グリッド
板を用いた下方へ流れるプラズマ灰化器は、グリッド板
間のグリッド板間隔（間隙距離）に敏感であり、特に低
温（＜１００℃チャック温度）灰化操作で用いた場合に
は敏感になる。グリッド板間に連続的に変化するか又は
階段状に変化する間隙分離を与えることにより、ウェー
ハを横切る灰化速度の不均一性を改良することができ
る。別法として、等間隔のグリッド板中に変化する孔径
を用いて、同じ結果を達成することもできる。
【０００８】この改良は、標的ウェーハの中心部での灰
化速度（ホトレジスト除去速度）を、それがウェーハの
縁に近い灰化速度に極めて近くなる点まで増大する。全
体的に、本発明の改良は、処理時間、及び製造される製
品に損傷を与えることがある望ましくない粒子の発生量
の両方を減少する。
化速度（ホトレジスト除去速度）を、それがウェーハの
縁に近い灰化速度に極めて近くなる点まで増大する。全
体的に、本発明の改良は、処理時間、及び製造される製
品に損傷を与えることがある望ましくない粒子の発生量
の両方を減少する。
【０００９】
【発明の実施の形態】標的ウェーハを横切る灰化速度の
変化性を低下することにより、一層短い処理時間を用い
ることができ、それによって縁から中心の灰化速度の差
を補正するのに必要な過剰灰化量を減少することができ
る。
変化性を低下することにより、一層短い処理時間を用い
ることができ、それによって縁から中心の灰化速度の差
を補正するのに必要な過剰灰化量を減少することができ
る。
【００１０】一層低い温度（＜１００℃）での処理は、
グリッド製造時の製造変化に特に敏感である。１０〜１
５％程の僅かなグリッド間隙距離でも灰化速度を５０％
位大きく変化させることがある。この特性は、変化可能
なグリッド板間隔により灰化速度の均一性を制御するこ
とを可能にする。グリッド板の間隔は、ウェーハの縁と
中心部との間のプラズマガス流動の差を補正するため、
ウェーハの中心部では大きくなるようにする必要があ
る。本発明は、グリッド板間の間隙間隔を正確に変える
ことにより灰化速度の均一性を改良する。この方法によ
り、一層均一なプラズマガスの流れ、従ってデバイスを
横切る一層均一なホトレジスト除去を与えることができ
る。
グリッド製造時の製造変化に特に敏感である。１０〜１
５％程の僅かなグリッド間隙距離でも灰化速度を５０％
位大きく変化させることがある。この特性は、変化可能
なグリッド板間隔により灰化速度の均一性を制御するこ
とを可能にする。グリッド板の間隔は、ウェーハの縁と
中心部との間のプラズマガス流動の差を補正するため、
ウェーハの中心部では大きくなるようにする必要があ
る。本発明は、グリッド板間の間隙間隔を正確に変える
ことにより灰化速度の均一性を改良する。この方法によ
り、一層均一なプラズマガスの流れ、従ってデバイスを
横切る一層均一なホトレジスト除去を与えることができ
る。
【００１１】図２ａは、本発明の第一の態様を示し、こ
の場合グリッド板の分離間隔は、標的ウェーハの中心領
域上では階段状に(stepwise, ステップ状に)一層大きく
なっている。グリッド板は上方板２０及び下方板２１か
らなり、間隙２３によって分離されている。この場合、
上方グリッド板２０の中心部分には、階段状の凹所２２
が形成されている。このことは、今度は一層大きな間隙
間隔２３を標的ウェーハの中心部上で使用できるように
している。図２ｂは、孔の模様２４を示し、この場合、
上方及び下方のグリッド板２０及び２１には、夫々同じ
大きさの孔が形成されている。間隙間隔は、０．０３５
〜０．０５０インチの近辺で変化するのが典型的であ
る。グリッド板の中心部近辺の広くなった間隙により、
一層多くの量のプラズマガスが、標的ウェーハの中心部
近辺に位置する、通常ならば多少停滞する領域中で、流
れることができるようになる。
の場合グリッド板の分離間隔は、標的ウェーハの中心領
域上では階段状に(stepwise, ステップ状に)一層大きく
なっている。グリッド板は上方板２０及び下方板２１か
らなり、間隙２３によって分離されている。この場合、
上方グリッド板２０の中心部分には、階段状の凹所２２
が形成されている。このことは、今度は一層大きな間隙
間隔２３を標的ウェーハの中心部上で使用できるように
している。図２ｂは、孔の模様２４を示し、この場合、
上方及び下方のグリッド板２０及び２１には、夫々同じ
大きさの孔が形成されている。間隙間隔は、０．０３５
〜０．０５０インチの近辺で変化するのが典型的であ
る。グリッド板の中心部近辺の広くなった間隙により、
一層多くの量のプラズマガスが、標的ウェーハの中心部
近辺に位置する、通常ならば多少停滞する領域中で、流
れることができるようになる。
【００１２】灰化速度の均一性の一層正確な制御は、図
３ａ及び３ｂに示すような、本発明の第二の態様により
実現される。ここで上方グリッド板３０と、下方グリッ
ド板３１との間の間隙３２は、グリッド板組立体の縁か
ら中心部へ連続的に変化する。これにより第一の態様の
階段状の機能を除き、標的ウェーハの全体に亙って一層
均一なプラズマガスの流れを与える。図３ｂに例示され
ているように、グリッド板の孔３３は、全て同じ大きさ
になっている。前と同様に、グリッド板の間隙間隔の変
化は、０．０３５〜０．０５０インチの範囲にある。
３ａ及び３ｂに示すような、本発明の第二の態様により
実現される。ここで上方グリッド板３０と、下方グリッ
ド板３１との間の間隙３２は、グリッド板組立体の縁か
ら中心部へ連続的に変化する。これにより第一の態様の
階段状の機能を除き、標的ウェーハの全体に亙って一層
均一なプラズマガスの流れを与える。図３ｂに例示され
ているように、グリッド板の孔３３は、全て同じ大きさ
になっている。前と同様に、グリッド板の間隙間隔の変
化は、０．０３５〜０．０５０インチの範囲にある。
【００１３】本発明の第三の態様は図４ａ及び図４ｂに
描かれている。この場合、グリッド板４０及び４１は一
定の間隙間隔４２を維持しているが、孔の直径は縁から
中心部へ板を横切るにつれて変化しており、中心部に近
く存在する孔は一層大きくなっている。この方法の全体
的効果は、標的ウェーハの中心部に近い多少停滞する領
域ではプラズマガス流量が増大する点で、前の態様の場
合と同じである。
描かれている。この場合、グリッド板４０及び４１は一
定の間隙間隔４２を維持しているが、孔の直径は縁から
中心部へ板を横切るにつれて変化しており、中心部に近
く存在する孔は一層大きくなっている。この方法の全体
的効果は、標的ウェーハの中心部に近い多少停滞する領
域ではプラズマガス流量が増大する点で、前の態様の場
合と同じである。
【００１４】図５は、プラズマ灰化機械５０のブロック
図であり、これは本発明のグリッド板組立体５１２を用
いている。この機械は、ＲＦ電源５２、ガス分配系５
３、真空装置５４、及び加熱器及び温度制御器５５を具
えた、プラズマ室５１からなり、その室には他の必要な
ソース(source, 源)が接続されている。これらのソース
は、プラズマ室５１内部の環境を制御するように結合さ
れている。処理すべきウェーハ５１４（加工片）は、プ
ラズマ室５１中に入れる。プラズマソース５１０からの
プラズマガス５１１を、グリッド板組立体５１２の上方
グリッド板に適用する。これらのガスは、金属グリッド
板を通過する間に中性化（脱イオン化）され、その結果
中性の反応性粒子５１３がグリッド板組立体５１２の下
方板から出る。上方及び下方のグリッド板間の可変性間
隙５１５はグリッド板組立体５１２の縁から中心部へ大
きくなっている。この変化グリッド板間隙により、加工
片の中心部で一層多くのガスが流れることができるよう
になり、この領域で通常起きる多少の停滞を解消し、そ
の結果加工片上のホトレジストの除去を一層速く行うこ
とができる。この可変性間隙５１５を制御することによ
り、灰化速度の均一性が制御され、過剰エッチング量が
かなり減少するので、一層短い処理時間及び一層高度な
性能をもつ部品を与えることができる。
図であり、これは本発明のグリッド板組立体５１２を用
いている。この機械は、ＲＦ電源５２、ガス分配系５
３、真空装置５４、及び加熱器及び温度制御器５５を具
えた、プラズマ室５１からなり、その室には他の必要な
ソース(source, 源)が接続されている。これらのソース
は、プラズマ室５１内部の環境を制御するように結合さ
れている。処理すべきウェーハ５１４（加工片）は、プ
ラズマ室５１中に入れる。プラズマソース５１０からの
プラズマガス５１１を、グリッド板組立体５１２の上方
グリッド板に適用する。これらのガスは、金属グリッド
板を通過する間に中性化（脱イオン化）され、その結果
中性の反応性粒子５１３がグリッド板組立体５１２の下
方板から出る。上方及び下方のグリッド板間の可変性間
隙５１５はグリッド板組立体５１２の縁から中心部へ大
きくなっている。この変化グリッド板間隙により、加工
片の中心部で一層多くのガスが流れることができるよう
になり、この領域で通常起きる多少の停滞を解消し、そ
の結果加工片上のホトレジストの除去を一層速く行うこ
とができる。この可変性間隙５１５を制御することによ
り、灰化速度の均一性が制御され、過剰エッチング量が
かなり減少するので、一層短い処理時間及び一層高度な
性能をもつ部品を与えることができる。
【００１５】本発明を三つの態様に関して記述してきた
が、本発明は、多くのやり方で修正することができ、特
に記載し、上で説明したもの以外の態様をとることがで
きることは当業者に明らかであろう。従って、本発明の
本質及び範囲内に入る本発明の全ての修正を特許請求の
範囲は包含する。
が、本発明は、多くのやり方で修正することができ、特
に記載し、上で説明したもの以外の態様をとることがで
きることは当業者に明らかであろう。従って、本発明の
本質及び範囲内に入る本発明の全ての修正を特許請求の
範囲は包含する。
【００１６】以上の説明に関して更に以下の項を開示す
る。 (1) 集積回路及びマイクロ電気機械デバイスを加工する
ときのホトレジスト除去のために用いられるプラズマ灰
化機械のためのグリッド板組立体において、上方グリッ
ド板と、前記上方グリッド板から可変間隙により分離さ
れた下方グリッド板と、を具え、然も、前記上方及び下
方のグリッド板が一連の孔を有する、上記グリッド板組
立体。 (2) 集積回路及びマイクロ電気機械デバイスを加工する
時のホトレジスト除去のために用いられるプラズマ灰化
機械のためのグリッド板組立体において、上方グリッド
板、前記上方グリッド板に対し平行で、前記上方グリッ
ド板から平行間隙により分離された下方グリッド板、を
具え、然も、前記上方及び下方のグリッド板が、夫々一
連の種々の直径の孔を有する、グリッド板組立体。 (3) 集積回路及びマイクロ電気機械デバイスを加工する
時のホトレジスト除去のために用いられるプラズマ灰化
機械において、プラズマ室、前記プラズマ室に接続さ
れ、前記室内の圧力を制御するのに用いられる真空装
置、前記プラズマ室へ処理ガスを供給するためのガス分
配機構、前記プラズマ室内の温度を制御するための加熱
器及び温度制御器、前記プラズマ室内に位置するプラズ
マ源、前記プラズマ源に接続されたＲＦ電源、処理ウェ
ーハ、及び前記処理ウェーハへのプラズマガスの流れの
均一性を制御し、中和する可変制御を有するグリッド板
組立体、を具えたプラズマ灰化機械。 (4) 上方及び下方のグリッド板が金属から作られてい
る、第１項〜３項のいずれか１項に記載の装置。 (5) 孔が同じ直径を有する、第１項〜４項のいずれか１
項に記載の装置。 (6) 上方及び下方のグリッド板が、グリッド板組立体を
通過する直線的な視線を持たないように配列されてい
る、第１項〜５項のいずれか１項に記載の装置。 (7) グリッド板間隙の間隔が、グリッド板組立体の中心
部分で階段状に一層大きくなっている、第１項及び３〜
６項のいずれか１項に記載の装置。 (8) グリッド板間隙の間隔が、グリッド板組立体の縁か
ら中心部へ連続的に増大している、第１項及び３〜６項
のいずれか１項に記載の装置。 (9) 孔径が、グリッド板の縁から中心部へ行くに従って
増大している、第１項〜４項及び６項〜９項のいずれか
１項に記載の装置。 (10) 階段状間隙の間隔が、０．０３５〜０．０５０イ
ンチの範囲で変化している、第１項及び３項〜１０項の
いずれか１項に記載の装置。 (11) 集積回路及びマイクロ電気機械デバイスの低温
（典型的には、１００℃より低いが、それに限定される
ものではない）加工で縁から中心部のホトレジスト灰化
速度の不均一性を改良する方法。プラズマ灰化機の上方
及び下方のグリッド板３０及び３１の縁から中心部に、
変化する間隙距離３２を与え、処理されるウェーハの中
心部近くの通常ならば多少とも停滞する領域中へ、プラ
ズマガスが一層多く流れることができるようにする。こ
の改良により、ウェーハの中心部でホトレジストの除去
が遅くなる問題を解決する。グリッド板間隙間隔の階段
状変化及び連続的変化の両方、及び場合により平行グリ
ッド板組立体中のグリッド板孔径を変化させることを含
めた、本発明の三つの形態が記載されている。
る。 (1) 集積回路及びマイクロ電気機械デバイスを加工する
ときのホトレジスト除去のために用いられるプラズマ灰
化機械のためのグリッド板組立体において、上方グリッ
ド板と、前記上方グリッド板から可変間隙により分離さ
れた下方グリッド板と、を具え、然も、前記上方及び下
方のグリッド板が一連の孔を有する、上記グリッド板組
立体。 (2) 集積回路及びマイクロ電気機械デバイスを加工する
時のホトレジスト除去のために用いられるプラズマ灰化
機械のためのグリッド板組立体において、上方グリッド
板、前記上方グリッド板に対し平行で、前記上方グリッ
ド板から平行間隙により分離された下方グリッド板、を
具え、然も、前記上方及び下方のグリッド板が、夫々一
連の種々の直径の孔を有する、グリッド板組立体。 (3) 集積回路及びマイクロ電気機械デバイスを加工する
時のホトレジスト除去のために用いられるプラズマ灰化
機械において、プラズマ室、前記プラズマ室に接続さ
れ、前記室内の圧力を制御するのに用いられる真空装
置、前記プラズマ室へ処理ガスを供給するためのガス分
配機構、前記プラズマ室内の温度を制御するための加熱
器及び温度制御器、前記プラズマ室内に位置するプラズ
マ源、前記プラズマ源に接続されたＲＦ電源、処理ウェ
ーハ、及び前記処理ウェーハへのプラズマガスの流れの
均一性を制御し、中和する可変制御を有するグリッド板
組立体、を具えたプラズマ灰化機械。 (4) 上方及び下方のグリッド板が金属から作られてい
る、第１項〜３項のいずれか１項に記載の装置。 (5) 孔が同じ直径を有する、第１項〜４項のいずれか１
項に記載の装置。 (6) 上方及び下方のグリッド板が、グリッド板組立体を
通過する直線的な視線を持たないように配列されてい
る、第１項〜５項のいずれか１項に記載の装置。 (7) グリッド板間隙の間隔が、グリッド板組立体の中心
部分で階段状に一層大きくなっている、第１項及び３〜
６項のいずれか１項に記載の装置。 (8) グリッド板間隙の間隔が、グリッド板組立体の縁か
ら中心部へ連続的に増大している、第１項及び３〜６項
のいずれか１項に記載の装置。 (9) 孔径が、グリッド板の縁から中心部へ行くに従って
増大している、第１項〜４項及び６項〜９項のいずれか
１項に記載の装置。 (10) 階段状間隙の間隔が、０．０３５〜０．０５０イ
ンチの範囲で変化している、第１項及び３項〜１０項の
いずれか１項に記載の装置。 (11) 集積回路及びマイクロ電気機械デバイスの低温
（典型的には、１００℃より低いが、それに限定される
ものではない）加工で縁から中心部のホトレジスト灰化
速度の不均一性を改良する方法。プラズマ灰化機の上方
及び下方のグリッド板３０及び３１の縁から中心部に、
変化する間隙距離３２を与え、処理されるウェーハの中
心部近くの通常ならば多少とも停滞する領域中へ、プラ
ズマガスが一層多く流れることができるようにする。こ
の改良により、ウェーハの中心部でホトレジストの除去
が遅くなる問題を解決する。グリッド板間隙間隔の階段
状変化及び連続的変化の両方、及び場合により平行グリ
ッド板組立体中のグリッド板孔径を変化させることを含
めた、本発明の三つの形態が記載されている。
【図１ａ】従来技術の、典型的灰化器中のグリッド板の
ための孔パターンの概略配置図である。
ための孔パターンの概略配置図である。
【図１ｂ】従来技術の、典型的灰化器中のグリッド板の
ための孔パターンの概略配置図である。
ための孔パターンの概略配置図である。
【図２ａ】本発明の、グリッド板の分離間隙を階段状に
変化させるように改善された孔パターンの概略配置図で
ある。
変化させるように改善された孔パターンの概略配置図で
ある。
【図２ｂ】本発明の、グリッド板の分離間隙を階段的に
変化させるように改善された孔パターンの概略配置図で
ある。
変化させるように改善された孔パターンの概略配置図で
ある。
【図３ａ】本発明の、グリッド板の分離間隙を連続的に
変化させるように改善された孔パターンの概略配置図で
ある。
変化させるように改善された孔パターンの概略配置図で
ある。
【図３ｂ】本発明の、グリッド板の分離間隙を連続的に
変化させるように改善された孔パターンの概略配置図で
ある。
変化させるように改善された孔パターンの概略配置図で
ある。
【図４ａ】本発明の、グリッド板の分離間隙を同一にし
孔の大きさを変化させるように改善された孔パターンの
概略配置図である。
孔の大きさを変化させるように改善された孔パターンの
概略配置図である。
【図４ｂ】本発明の、グリッド板の分離間隙を同一にし
孔の大きさを変化させるように改善された孔パターンの
概略配置図である。
孔の大きさを変化させるように改善された孔パターンの
概略配置図である。
【図５】灰化速度の均一性を制御するための、本発明の
グリッド板組立体を用いたプラズマ灰化機のブロック図
である。
グリッド板組立体を用いたプラズマ灰化機のブロック図
である。
５０ プラズマ灰化機 ５１ プラズマ室 ５２ ＲＦ電源 ５３ ガス分布装置 ５４ 真空装置 ５５ 加熱器及び温度制御器 ５１０ プラズマソース ５１１ プラズマガス ５１２ グリッド板組立体 ５１３ 中性反応性粒子 ５１４ 処理されたウェーハ ５１５ 可変性間隙
Claims (1)
- 【請求項１】 集積回路及びマイクロ電気機械デバイス
を加工する時のホトレジスト除去のために用いられるプ
ラズマ灰化機械のためのグリッド板組立体において、 上方グリッド板、 前記上方グリッド板から可変間隙により分離された下方
グリッド板、を具え、然も、前記上方及び下方のグリッ
ド板が一連の孔を有する、グリッド板組立体。
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| US17340599P | 1999-12-28 | 1999-12-28 |
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