JP2002003209A - 窒化リチウムの製造方法 - Google Patents

窒化リチウムの製造方法

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JP2002003209A
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Toru Arakawa
徹 荒川
Kazumasa Takizawa
一誠 滝沢
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Abstract

(57)【要約】 【課題】金属リチウムの融点以下の温度で窒素ガスを用
いて窒化する窒化リチウムの製造方法であって、予め金
属リチウムに機械的歪み加工を施すことなく、安全、迅
速かつ効率よく窒化リチウムを製造する方法を提供す
る。 【解決手段】窒素雰囲気下、0.4℃/min〜7.0
℃/minの昇温速度で、50℃〜110℃の範囲まで
金属リチウムを加熱する工程を有する窒化リチウムの製
造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、窒素雰囲気下で所
定の昇温速度で金属リチウムを加熱し窒化することによ
り、予め機械的歪み加工を行うことなく、安全かつ効率
よく窒化リチウムを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】窒化リチウム(Li3N)は、例えば固
体電解質やリチウム電池の負極剤(Li3-xxN、ここ
で、Mは遷移金属原子を表し、xは3未満の正数を表
す。)の原料として有用である。従来、この窒化リチウ
ムは、窒素雰囲気下で、金属リチウム塊を加圧曲げ加工
などの垂性変形あるいは研磨加工(以下、これらを「機
械的歪み加工」という。)すること等により窒化反応を
開始させて、製造していた(例えば特開昭55−472
11号公報等)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法によれば、金属リチウムは空気中で不安定であるた
め、不活性ガス雰囲気下で金属リチウムの機械的歪み加
工を行わねばならない。また、複数の金属リチウム塊
(インゴット)のそれぞれに機械的歪み加工を施して、
それらを一度に窒化することは煩雑であることから、作
業効率上の問題があった。
【0004】本発明は、かかる実状に鑑みてなされたも
のであり、金属リチウムを窒素ガスを用いて窒化する窒
化リチウムの製造方法であって、予め金属リチウムに機
械的歪み加工を施すことなく、安全、迅速かつ効率よく
窒化リチウムを製造する方法を提供することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく鋭意検討した結果、窒素雰囲気下で、金
属リチウムを所定の昇温速度で所定温度に加熱するする
ことにより、機械的歪み加工を行わなくとも金属リチウ
ムの窒化反応を開始させることができること、金属リ
チウムの雰囲気の温度(反応場のガス温度)を、金属リ
チウムの温度よりも10℃以上低い温度に保持すると、
窒化反応が速やか、且つ安全に進行すること、及び金
属リチウムの窒化反応は、リチウムの融点(180.5
℃)以下で行うのが安全上好ましいことを見出し、本発
明を完成するに至った。
【0006】すなわち本発明は、窒素ガス雰囲気下、
0.4℃/min〜7.0℃/minの昇温速度で、5
0℃〜110℃まで金属リチウムを加熱する工程を有す
る窒化リチウムの製造方法を提供する。本発明において
は、金属リチウムの温度と金属リチウムの雰囲気の温度
差を10℃以上に保持しながら窒化を行うのが好まし
い。また、金属リチウムの温度をリチウムの融点以下の
温度で窒化反応を行わせるのが好ましい。
【0007】本発明によれば、予め金属リチウムに機械
的歪み加工を施すことなく、安全、迅速かつ効率よく窒
化リチウムを製造することができる。また、本発明よれ
ば、複数の金属リチウム塊を一度に窒化させることが可
能である。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の窒化リチウムの製
造方法を詳細に説明する。 (1)金属リチウム 本発明に用いられる金属リチウムとしては、金属リチウ
ムの塊(インゴット)が好ましい。細かな金属リチウム
を窒化させる場合には、窒化反応が急激となり、反応熱
により金属リチウムが融解して、反応が暴走するおそれ
がある。金属リチウム塊の大きさには特に制限はない
が、反応容器の大きさ、反応の制御などの観点から、表
面積が1cm2/g〜10cm2/g程度、トータルの重
さが1g〜1000g程度の金属リチウムインゴットが
好ましい。また、本発明においては、複数の金属リチウ
ムインゴットを反応容器に入れて、同時に窒化させるこ
とができる。
【0009】(2)窒素ガス 金属リチウムの窒化反応に用いられる窒素ガスとして
は、副反応を抑制するために水分や酸素を含まない乾燥
した高純度のものを用いるのが好ましい。また、窒素ガ
スをアルゴンやヘリウムなどの他の不活性ガスで希釈し
た混合ガス雰囲気で反応を行うこともできる。窒素ガス
の流量は窒化反応が十分に進行する流量であれば特に制
限はないが、反応容器内の圧力が、常圧〜5気圧、好ま
しくは常圧〜2気圧、より好ましくは常圧〜1.5気圧
となる程度の流量である。あるいは、常時窒素ガスを流
さず、反応容器内の圧力を一定に保ちながら、窒化によ
り消費した量だけ、反応容器に供給する方法でもよい。
【0010】(3)昇温速度 本発明においては、金属リチウム塊を窒素雰囲気下に、
所定の昇温速度で、所定の温度まで金属リチウムの加熱
を行う。昇温速度は、0.4℃/min〜7.0℃/m
in、好ましくは1.7℃/min〜2.9℃/min
の範囲である。昇温速度が0.4℃/minより遅い場
合には窒化反応の開始に時間がかかりすぎることにな
り、作業効率上好ましくない。一方、7.0℃/min
以上の場合には、窒化反応が急激となり、金属リチウム
の温度がリチウムの融点(180.5℃)以上となって
反応の制御が困難となる。
【0011】また、本発明においては、金属リチウムの
温度が50〜110℃、好ましくは50℃〜70℃とな
るまで、一定の昇温速度で加熱し続けた後、加熱を停止
させる。50〜110℃程度に金属リチウムを加熱する
ことにより、予め機械的歪み加工を行わなくても金属リ
チウム塊の表面で窒化反応を開始させることができる。
【0012】(4)窒化反応 金属リチウムの窒化反応は発熱反応である。したがっ
て、窒化反応が開始すると、外部からの加熱を停止した
後であっても、金属リチウムの温度はさらに上昇する。
金属リチウムの温度が上昇して200℃以上になる場合
もあるが、暴走反応を防止する観点から、金属リチウム
の温度が50〜110℃、好ましくは50〜70℃とな
った時点で加熱を停止させて、金属リチウムの融点以
下、好ましくは140℃〜150℃以下で窒化反応を行
わせるようにする。
【0013】窒化反応を開始させた後においては、雰囲
気の温度を金属リチウムの温度よりも低い温度、好まし
くは10℃以上、より好ましくは30℃〜70℃低い温
度に保持する。一般的に、金属リチウムと雰囲気の温度
差が大きいほど窒素の消費速度が速くなり、窒化反応を
短縮することが可能である。
【0014】雰囲気の温度を低くする方法としては、例
えば、反応容器を冷水で冷却する方法、反応容器を
外気で放冷する方法、所定温度の熱媒を用いて、反
応容器を一定温度に保持する方法、窒素ガス(または
窒素ガスと不活性ガスとの混合ガス)の流量を多くする
方法などが挙げられる。これらのうち、本発明において
は、上記、またはの方法を用いるが、冷却効果お
よび簡便性等の観点から好ましい。
【0015】本発明は、例えば図1に示す製造装置によ
り実施することができる。図1中、1は金属リチウムの
窒化反応を行わせる窒化容器である。窒化容器1には、
例えば、図2(a)に示すように1個の金属リチウムイ
ンゴット2を充填してもよいし、図2(b)に示すよう
に複数個の金属リチウムインゴット2を充填することも
できる。窒化容器1は取り外し及び密閉が可能であっ
て、金属リチウム2を充填する場合には、例えば、図示
しない不活性ガスが充填された乾燥したグローブボック
ス内に窒化容器1を入れ、該グローブボックス内で、金
属リチウム2の充填を行う。
【0016】次いで、金属リチウム2が充填された窒化
容器1中へ、窒素ボンベ3から配管4を通して窒素ガス
を送り込む。窒素ガスの流量は流量調節計5により調節
可能である。窒化容器1内に送り込まれた窒素ガスは窒
化反応に供されるが、過剰分は流量計10が取り付けら
れた配管を通してシール槽11から外部に排気されるよ
うになっている。したがって、窒化容器1内部は一定の
内圧に保持することができ、流量調節計5と流量計10
で観測される窒素ガスの流量差から消費された窒素ガス
の量を把握することができる。
【0017】窒化容器1内の反応温度(雰囲気の温度)
及び金属リチウムの温度は温度計6により監視すること
ができる。窒化容器1の周囲部8には、熱媒槽7から所
定温度に設定された熱媒が循環ポンプ9により送られ
て、循環している。熱媒槽7においては、熱媒を任意の
温度に設定することができ、設定温度及び循環ポンプ9
による熱媒の循環量を調節することにより、窒化容器1
内部の温度を所定の昇温速度で所定温度まで昇温させる
ことができる(即ち、金属リチウム2を所定の昇温速度
で所定温度まで昇温させることができる)。
【0018】この製造装置は、窒化反応が開始した後に
おいて窒化容器1周囲部8に、所定温度の熱媒を循環さ
せることによって、窒化容器1内部の温度を上昇を防止
して、金属リチウムの温度よりも窒化容器1内部の温度
(雰囲気の温度)を10℃以上低く保持することができ
る。また、所望により、金属リチウム2の窒化反応が開
始した後、熱媒の循環を停止させ、その代わりに窒化容
器1の周囲部8に図示しない冷却ポンプなどを用いて冷
却水を循環させて、窒化容器1内部の温度上昇を防止す
ることもできる。またさらに、金属リチウム2の窒化反
応が開始した後、熱媒の循環を停止させ、窒化容器1周
辺部を外気に曝す(放冷)ことによって、窒化容器1内
部の温度上昇を防止することもできる。
【0019】発熱がやみ、窒素が消費されなくなったこ
とで窒化反応の終了を確認できる。生成した窒化リチウ
ムを窒化容器1から取り出す際には、窒化リチウムは空
気中の水分に対し不安定であるので、乾燥した不活性ガ
スが充填されたグローブボックス内で作業を行う必要が
ある。
【0020】
【実施例】次に実施例により本発明をさらに詳細に説明
する。以下の実施例は、すべて図1に示した製造装置を
用いて行った。本実施例においては、窒化容器1はフラ
ンジタイプであり、材質がSUS304、容量が180
0cm3のものを用いた。本発明は、以下の実施例に制
限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で金
属リチウムの使用量、昇温速度、金属リチウムの加熱方
法、雰囲気の冷却方法等を変更することが可能である。
【0021】(実施例1)直径60mm、高さ80mm
の円柱形状の金属リチウムインゴットを、窒素雰囲気下
のグローブボックス内で窒化容器1に充填して密閉し、
金属リチウムが入った窒化容器1を図1に示すようにセ
ットし、高純度窒素ガスを流した(内圧を外圧+0.0
5MPaとした。)。次いで、熱媒槽7で70℃に設定
された熱媒を循環ポンプ9で窒化容器1の周辺部に循環
させて、金属リチウムを40分間で9℃から70℃まで
加熱した(平均昇温速度1.53℃/min)。このと
き、金属リチウムの温度及び雰囲気の温度はともに70
℃となった。その後、金属リチウムの温度は窒化反応
(発熱反応)により上昇し、加熱開始から1時間後には
95℃となった。加熱開始から1時間後、熱媒の循環を
停止させ、その代わりに温度5℃の冷水で窒化容器1の
周囲を冷却した。熱媒による加熱を開始してから約12
時間経過した後に窒素ガスの消費量は0となり、窒化反
応が完了した。得られた窒化リチウムは、純度約98%
以上であった。
【0022】(実施例2)実施例1において、70℃の
熱媒で1時間加熱し、その後冷水で窒化容器を冷却する
代わりに、50℃の熱媒で金属リチウムを45分間で1
3℃から50℃まで加熱した(平均昇温速度:0.82
℃/min)。加熱開始から3時間、窒化容器を外気で
放冷した以外は、実施例1と同様に金属リチウムの窒化
反応を行った。熱媒で加熱を開始してから15時間経過
した後に窒素ガスの消費量は0となり、窒化反応が完了
した。得られた窒化リチウムの純度は約98%以上であ
った。
【0023】(実施例3)実施例1において、70℃の
熱媒で1時間加熱し、その後冷水で窒化容器を冷却する
代わりに、50℃の熱媒で3時間加熱した(50℃まで
の平均昇温速度:0.57℃/min)後も50℃の熱
媒の循環を継続した以外は、実施例1と同様に金属リチ
ウムの窒化反応を行った。熱媒で加熱を開始してから1
9時間経過した後に窒素ガスの消費量は0となり、窒化
反応が完了した。得られた窒化リチウムの純度は約98
%以上であった。
【0024】実施例1〜3における金属リチウムの温度
および金属リチウム温度と窒素ガス雰囲気温度差の経時
変化を図3に示す。実施例1においては金属リチウムの
温度は約110℃以下(図3のa参照)、実施例2にお
いては約100℃以下(b参照)、また実施例3におい
ては110℃)は約110℃以下に制御されていたこと
がわかる(c参照)。金属リチウムと雰囲気との温度差
は、実施例1〜3のどの場合においても、窒化反応が進
行している間においては20℃〜70℃の範囲内に制御
されていた(d,e,f参照)。
【0025】また、実施例1〜3における窒素消費量の
経時変化(g,h,i)と、窒素消費量を基準に算出し
た窒化反応率(%)の経時変化(j,k,l)を図4に
示す。この図から、窒化反応に要する時間は、実施例1
においては約12時間(gおよびj参照)、実施例2に
おいては約15時間(hおよびk参照)、また実施例3
においては約19時間(i及びl参照)必要であること
がわかる。
【0026】(実施例4)実施例1において、直径60
mm、高さ80mmの円柱形状の金属リチウムインゴッ
トを窒化容器に充填する代わりに、35mm×35mm
×40mmの立方体形状の金属リチウムインゴット10
個(重量230〜245g)を充填した以外は、実施例
1と同様に窒化反応を行った。このときの金属リチウム
インゴットの表面積は、3.5cm2/gであった。窒
化反応は、約12時間で完了した。窒化容器1の上段
部、中段部及び下段部のそれぞれに充填された金属リチ
ウムインゴットの窒素増加を基準とした平均窒化率は、
98.7〜98.9%であり、複数個の金属リチウムイ
ンゴットを充填した場合にも、窒化容器の充填場所(上
段部、中段部、下段部)に関係なく、良好な窒化率が得
られた。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
予め金属リチウムに機械的歪み加工を施すことなく、安
全、迅速かつ効率よく窒化リチウムを製造することがで
きる。特に本発明は、複数の金属リチウム塊を一度に窒
化させることが可能であるので、窒化リチウムの生産効
率がきわめて高い製造方法である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施するための製造装置である。
【図2】窒化容器1内に金属リチウム2を充填した図で
あり、(a)は1個の金属リチウムインゴット2を充填
した場合、(b)は複数個の金属リチウムインゴット2
を充填した場合の図である。
【図3】実施例1〜3の各場合の金属リチウム温度の経
時変化、及び金属リチウムの温度と窒素ガス雰囲気温度
との温度差の経時変化を表した図である。図中、横軸は
反応経過時間(h)を、縦軸(右側)は金属リチウム温
度(℃)を、縦軸(左側)は金属リチウムと雰囲気温度
との温度差(℃)をそれぞれ表す。
【図4】実施例1〜3の各場合の窒素消費量の経時変化
(g,h,i)、及び窒化反応率の経時変化(j,k,
l)を表した図である。図中、横軸は反応経過時間
(h)を、縦軸(左側)は窒素消費速度(L/min)
を、縦軸(右側)は窒素消費量を基準に算出した窒化反
応率(%)をそれぞれ表す。
【符号の説明】
1…窒化容器、2…金属リチウムインゴット、3…窒素
ボンベ、4…配管、5…流量調節計、6…温度計、7…
熱媒槽、8…窒化容器1の周囲部、9…循環ポンプ、1
0…流量計、11…シール槽、a…実施例1における金
属リチウム温度の経時変化、b…実施例2における金属
リチウム温度の経時変化、c…実施例3における金属リ
チウム温度の経時変化、d…実施例1における金属リチ
ウムと雰囲気との温度差の経時変化、e…実施例2にお
ける金属リチウムと雰囲気との温度差の経時変化、f…
実施例3における金属リチウムと窒素ガス雰囲気との温
度差の経時変化、g…実施例1における窒素消費速度の
経時変化、h…実施例2における窒素消費速度の経時変
化、i…実施例3における窒素消費速度の経時変化、j
…実施例1における金属リチウムの窒化反応率の経時変
化、k…実施例2における金属リチウムの窒化反応率の
経時変化、l…実施例3における金属リチウムの窒化反
応率の経時変化

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】窒素雰囲気下、0.4℃/min〜7.0
    ℃/minの昇温速度で、50℃〜110℃まで金属リ
    チウムを加熱する工程を有する窒化リチウムの製造方
    法。
  2. 【請求項2】金属リチウムの雰囲気の温度を、金属リチ
    ウムの温度よりも10℃以上低い温度に保持しながら窒
    化を行う、 請求項1記載の窒化リチウムの製造方法。
  3. 【請求項3】金属リチウムの温度をリチウムの融点以下
    で窒化を行う、 請求項1または2に記載の窒化リチウムの製造方法。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008207125A (ja) * 2007-02-27 2008-09-11 Toyo Aluminium Kk セラミックス粉末の製造方法
JP2014201511A (ja) * 2013-04-09 2014-10-27 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JP2019026936A (ja) * 2017-08-03 2019-02-21 パロ アルト リサーチ センター インコーポレイテッド 固体電解質を有する電気化学スタック及びその作製方法
WO2021065309A1 (ja) 2019-10-02 2021-04-08 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JP2021054697A (ja) * 2019-10-02 2021-04-08 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JPWO2021210314A1 (ja) * 2020-04-16 2021-10-21
CN117486175A (zh) * 2023-09-27 2024-02-02 无锡零一未来新材料技术研究院有限公司 一种氮化锂的制备方法

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008207125A (ja) * 2007-02-27 2008-09-11 Toyo Aluminium Kk セラミックス粉末の製造方法
JP2014201511A (ja) * 2013-04-09 2014-10-27 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JP2019026936A (ja) * 2017-08-03 2019-02-21 パロ アルト リサーチ センター インコーポレイテッド 固体電解質を有する電気化学スタック及びその作製方法
JP7329317B2 (ja) 2017-08-03 2023-08-18 パロ アルト リサーチ センター インコーポレイテッド 固体電解質を有する電気化学スタック及びその作製方法
WO2021065309A1 (ja) 2019-10-02 2021-04-08 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JP2021054697A (ja) * 2019-10-02 2021-04-08 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JPWO2021065309A1 (ja) * 2019-10-02 2021-04-08
JP7842829B2 (ja) 2019-10-02 2026-04-08 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
KR20220062048A (ko) 2019-10-02 2022-05-13 후루카와 기카이 긴조쿠 가부시키가이샤 질화리튬의 제조방법
KR102820587B1 (ko) 2019-10-02 2025-06-12 후루카와 기카이 긴조쿠 가부시키가이샤 질화리튬의 제조방법
EP4039641A4 (en) * 2019-10-02 2022-12-07 Furukawa Co., Ltd. PROCESS FOR PRODUCTION OF LITHIUM NITRIDE
JP2024177318A (ja) * 2019-10-02 2024-12-19 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JP7293378B2 (ja) 2019-10-02 2023-06-19 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JP2023105149A (ja) * 2019-10-02 2023-07-28 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JP7358173B2 (ja) 2019-10-02 2023-10-10 古河機械金属株式会社 窒化リチウムの製造方法
JPWO2021210314A1 (ja) * 2020-04-16 2021-10-21
JP7467606B2 (ja) 2020-04-16 2024-04-15 古河機械金属株式会社 窒化リチウム製造装置および窒化リチウムの製造方法
JP2024083438A (ja) * 2020-04-16 2024-06-21 古河機械金属株式会社 窒化リチウム製造装置および窒化リチウムの製造方法
US20230159331A1 (en) * 2020-04-16 2023-05-25 Furukawa Co., Ltd. Lithium nitride manufacturing device and method of manufacturing lithium nitride
JP7688753B2 (ja) 2020-04-16 2025-06-04 古河機械金属株式会社 窒化リチウム製造装置および窒化リチウムの製造方法
KR20220154170A (ko) 2020-04-16 2022-11-21 후루카와 기카이 긴조쿠 가부시키가이샤 질화리튬 제조장치 및 질화리튬의 제조방법
US12577105B2 (en) 2020-04-16 2026-03-17 Furukawa Co., Ltd. Lithium nitride manufacturing device and method of manufacturing lithium nitride
WO2021210314A1 (ja) 2020-04-16 2021-10-21 古河機械金属株式会社 窒化リチウム製造装置および窒化リチウムの製造方法
CN117486175A (zh) * 2023-09-27 2024-02-02 无锡零一未来新材料技术研究院有限公司 一种氮化锂的制备方法

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