JP2002103264A - 吸引チャックプレート - Google Patents
吸引チャックプレートInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 (1)吸引抵抗を多様に設定することができ、
従って所望の吸引力を得ることができ、(2)目詰まりが
生じ難く、所望の吸引力を維持することができる、吸引
チャックプレートを提供すること。 【解決手段】 複数枚を積層して焼結した金網よりなる
吸引チャックプレートにおいて、この吸引チャックプレ
ートの表面側に配置された金網がフラット加工されてな
ることを特徴とする。 【効果】 上記課題が解決される。
従って所望の吸引力を得ることができ、(2)目詰まりが
生じ難く、所望の吸引力を維持することができる、吸引
チャックプレートを提供すること。 【解決手段】 複数枚を積層して焼結した金網よりなる
吸引チャックプレートにおいて、この吸引チャックプレ
ートの表面側に配置された金網がフラット加工されてな
ることを特徴とする。 【効果】 上記課題が解決される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸引チャックプレ
ートに関する。さらに詳しくは、液晶ディスプレイ用の
基板やシリコンウエファーなどの薄板、その他の金属製
の各種薄板、または、合成樹脂製・紙製の各種薄膜など
を吸着して搬送するための吸引保持具に装備される吸引
チャックプレートに関する。
ートに関する。さらに詳しくは、液晶ディスプレイ用の
基板やシリコンウエファーなどの薄板、その他の金属製
の各種薄板、または、合成樹脂製・紙製の各種薄膜など
を吸着して搬送するための吸引保持具に装備される吸引
チャックプレートに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶ディスプレイ用の基板やシリ
コンウエファーなどの薄板、プレス加工を施して容器や
キャップとする小型金属製薄板を所定位置に移動させる
際、食品包装容器の表面に成分、製造者、賞味期限など
を表示した合成樹脂製・紙製のラベルを移動させる際な
どに、これら薄板やラベルなどを吸着保持して所定位置
に搬送するための吸引保持具が使用されている。この吸
引保持具のホルダー内には吸引チャックプレートが装備
され、外部からホルダーに真空を適用することによっ
て、上記した薄板などが吸引チャックプレートに吸着さ
れる。
コンウエファーなどの薄板、プレス加工を施して容器や
キャップとする小型金属製薄板を所定位置に移動させる
際、食品包装容器の表面に成分、製造者、賞味期限など
を表示した合成樹脂製・紙製のラベルを移動させる際な
どに、これら薄板やラベルなどを吸着保持して所定位置
に搬送するための吸引保持具が使用されている。この吸
引保持具のホルダー内には吸引チャックプレートが装備
され、外部からホルダーに真空を適用することによっ
て、上記した薄板などが吸引チャックプレートに吸着さ
れる。
【０００３】上記した吸引保持具に装備される吸引チャ
ックプレートとしては、従来、金属やセラミックの異形
の粉粒体を焼結し、その表面をフラット加工して調製さ
れたものが提案され、一部実用化されている。しかし、
提案されている吸引チャックプレートは、(1)形状が不
均一な粉粒体を焼結して構成され、かつ、調製する際に
上記粉粒体の焼結密度が不均一となるため均一な吸引力
が得られず、物品を確実に吸着保持することができな
い、(2)異形の粉粒体同士の焼結によって構成された空
孔が複雑な構造となるため、用途によってはゴミやほこ
りなどによる目詰まりが生じ易く、洗浄も困難である、
という欠点があった。
ックプレートとしては、従来、金属やセラミックの異形
の粉粒体を焼結し、その表面をフラット加工して調製さ
れたものが提案され、一部実用化されている。しかし、
提案されている吸引チャックプレートは、(1)形状が不
均一な粉粒体を焼結して構成され、かつ、調製する際に
上記粉粒体の焼結密度が不均一となるため均一な吸引力
が得られず、物品を確実に吸着保持することができな
い、(2)異形の粉粒体同士の焼結によって構成された空
孔が複雑な構造となるため、用途によってはゴミやほこ
りなどによる目詰まりが生じ易く、洗浄も困難である、
という欠点があった。
【０００４】上記のような欠点を解決する吸引チャック
プレートとして提案されているものには、(A)実公平５
−３４８０号公報に記載されているように、比較的均一
な球状粉を焼結し、その表面をフラット加工してなる吸
引チャックプレートや、(B)実公平５−３４８１号公報
に記載されているように、多数の線材を平行に並べて焼
結し、これら線材にほぼ直角なフラット面を形成して吸
着面とした吸引チャックプレートなどがある。
プレートとして提案されているものには、(A)実公平５
−３４８０号公報に記載されているように、比較的均一
な球状粉を焼結し、その表面をフラット加工してなる吸
引チャックプレートや、(B)実公平５−３４８１号公報
に記載されているように、多数の線材を平行に並べて焼
結し、これら線材にほぼ直角なフラット面を形成して吸
着面とした吸引チャックプレートなどがある。
【０００５】しかし、(A)の吸引チャックプレートは、
球状粉を焼結して構成されるので、吸引抵抗を多様に設
定するのが困難であり、場合によっては所望の均一な吸
引力を得ることができないという欠点があった。
球状粉を焼結して構成されるので、吸引抵抗を多様に設
定するのが困難であり、場合によっては所望の均一な吸
引力を得ることができないという欠点があった。
【０００６】また、(B)の吸引チャックプレートは、複
数本の線材よりなる線材の束を焼結し構成しているの
で、焼結する際の条件によっては束の内部の線材同士を
十分に焼結させることができない場合がある。この場
合、焼結体を線材に対して直角に切断したり、その切断
面をフラット加工したりする際に、十分に焼結されてい
ない内部の線材が他の焼結された線材から分離するた
め、製品化できないという欠点があった。一方、束の内
部の線材同士を十分に焼結させるために所定の温度より
高い温度で加熱した場合には、この高温の加熱によって
束の外部の線材が変形または溶融し、これら線材同士の
焼結によって形成されるはずの空孔が塞がれてしまい、
所望の吸引力が得られないという欠点があった。
数本の線材よりなる線材の束を焼結し構成しているの
で、焼結する際の条件によっては束の内部の線材同士を
十分に焼結させることができない場合がある。この場
合、焼結体を線材に対して直角に切断したり、その切断
面をフラット加工したりする際に、十分に焼結されてい
ない内部の線材が他の焼結された線材から分離するた
め、製品化できないという欠点があった。一方、束の内
部の線材同士を十分に焼結させるために所定の温度より
高い温度で加熱した場合には、この高温の加熱によって
束の外部の線材が変形または溶融し、これら線材同士の
焼結によって形成されるはずの空孔が塞がれてしまい、
所望の吸引力が得られないという欠点があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、かかる
状況にあって、上記課題を一挙に解決した吸引チャック
プレートを提供すべく鋭意検討の結果、本発明を完成す
るに至ったものである。すなわち、本発明の目的は、次
のとおりである。 １．吸引抵抗を多様に設定することができ、従って所望
の吸引力を得ることができる、吸引チャックプレートを
提供すること。 ２．目詰まりが生じ難く、所望の吸引力を維持すること
ができる、吸引チャックプレートを提供すること。
状況にあって、上記課題を一挙に解決した吸引チャック
プレートを提供すべく鋭意検討の結果、本発明を完成す
るに至ったものである。すなわち、本発明の目的は、次
のとおりである。 １．吸引抵抗を多様に設定することができ、従って所望
の吸引力を得ることができる、吸引チャックプレートを
提供すること。 ２．目詰まりが生じ難く、所望の吸引力を維持すること
ができる、吸引チャックプレートを提供すること。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、複数枚を積層して焼結した金網よりな
る吸引チャックプレートにおいて、この吸引チャックプ
レートの表面側に配置された金網がフラット加工されて
なることを特徴とする、吸引チャックプレートを提供す
る。
め、本発明では、複数枚を積層して焼結した金網よりな
る吸引チャックプレートにおいて、この吸引チャックプ
レートの表面側に配置された金網がフラット加工されて
なることを特徴とする、吸引チャックプレートを提供す
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明に係る吸引チャックプレートは、吸引保持具のホ
ルダー内に装備されるものであり、外部からホルダーに
真空を適用することによって、薄板や薄膜などを吸着保
持して所定の位置へと搬送するという機能を果たす。こ
の吸引チャックプレートを構成する金網は複数枚積層さ
れて焼結され、金網ごとに、織り方、網目の細かさ、こ
れを構成する金属線の太さ、この金属線の材料となる金
属の種類などを適宜決めることができる。
本発明に係る吸引チャックプレートは、吸引保持具のホ
ルダー内に装備されるものであり、外部からホルダーに
真空を適用することによって、薄板や薄膜などを吸着保
持して所定の位置へと搬送するという機能を果たす。こ
の吸引チャックプレートを構成する金網は複数枚積層さ
れて焼結され、金網ごとに、織り方、網目の細かさ、こ
れを構成する金属線の太さ、この金属線の材料となる金
属の種類などを適宜決めることができる。
【００１０】上記した金網を構成する金属線調製用の金
属は、特に限定されるものではなく、鉄、鋳鉄、軟鋼、
ステンレス鋼、ニッケル合金、銅合金、チタン合金、ア
ルミニウム合金などを挙げることができる。また、金属
線の直径は、０．０１mm〜１．０mmの範囲で選ぶことが
できる。また、この金網の網目は、横糸と縦糸との間隔
が均一な篩のような平織りであってもよく、たたみ織り
のような横糸と縦糸との間隔が不均一であってもよく、
横糸と縦糸との目の細かい方で表記すると、５〜４００
０メッシュ程度までの範囲で選ぶことができる。なお、
金属線の長さ方向に直角に切断した際の断面形状は真円
形状、楕円形状などの円形状のほか、金属線相互の接触
面積を大きくして焼結強度を高める目的で長方形状、正
方形状などの矩形状とすることもできる。
属は、特に限定されるものではなく、鉄、鋳鉄、軟鋼、
ステンレス鋼、ニッケル合金、銅合金、チタン合金、ア
ルミニウム合金などを挙げることができる。また、金属
線の直径は、０．０１mm〜１．０mmの範囲で選ぶことが
できる。また、この金網の網目は、横糸と縦糸との間隔
が均一な篩のような平織りであってもよく、たたみ織り
のような横糸と縦糸との間隔が不均一であってもよく、
横糸と縦糸との目の細かい方で表記すると、５〜４００
０メッシュ程度までの範囲で選ぶことができる。なお、
金属線の長さ方向に直角に切断した際の断面形状は真円
形状、楕円形状などの円形状のほか、金属線相互の接触
面積を大きくして焼結強度を高める目的で長方形状、正
方形状などの矩形状とすることもできる。
【００１１】本発明に係る吸引チャックプレートは上記
金網を複数枚積層するが、異なる機能を発揮する複数枚
の金網を用意し、これらの複数枚の金網を、各々の機能
を十分に発揮させることができる組み合わせにして配置
するのが好ましい。例えば、(1)吸引チャックプレート
の表面側には、フラット加工し易い金網を配置し、(2)
上記したフラット加工される金網に隣接させて、微小な
塵芥を捕捉すると共に、吸引抵抗を調節する機能を発揮
する金網を配置し、(3)吸引チャックプレートの内部に
は、吸引チャックプレートの強度を高める機能を発揮す
る金網を配置することができる。
金網を複数枚積層するが、異なる機能を発揮する複数枚
の金網を用意し、これらの複数枚の金網を、各々の機能
を十分に発揮させることができる組み合わせにして配置
するのが好ましい。例えば、(1)吸引チャックプレート
の表面側には、フラット加工し易い金網を配置し、(2)
上記したフラット加工される金網に隣接させて、微小な
塵芥を捕捉すると共に、吸引抵抗を調節する機能を発揮
する金網を配置し、(3)吸引チャックプレートの内部に
は、吸引チャックプレートの強度を高める機能を発揮す
る金網を配置することができる。
【００１２】上記(1)のように、吸引チャックプレート
の表面側に配置される金網としては、金網を構成する金
属線の直径が０．０５mm〜０．３mmとされ、かつ、２０
〜２００メッシュとされたものが好適である。金属線を
上記範囲の直径とすると金網が十分に厚くされるためフ
ラット加工し易くなる。なお、この場合、研削前と研削
後の吸着面の開口率がほとんど変化することがないの
で、平面度を微調整する際などに吸着面を若干研削した
後も所望の吸引抵抗を維持することができる。
の表面側に配置される金網としては、金網を構成する金
属線の直径が０．０５mm〜０．３mmとされ、かつ、２０
〜２００メッシュとされたものが好適である。金属線を
上記範囲の直径とすると金網が十分に厚くされるためフ
ラット加工し易くなる。なお、この場合、研削前と研削
後の吸着面の開口率がほとんど変化することがないの
で、平面度を微調整する際などに吸着面を若干研削した
後も所望の吸引抵抗を維持することができる。
【００１３】上記(2)のように、フラット加工される金
網に隣接させて配置される金網としては、網目の細かい
金網が好適である。この(2)の金網は、吸引チャックプ
レートの用途にもよるが、吸引チャックプレートに吸引
抵抗を付与し、物体をプレートに吸引する際に均一な吸
引力を適用するように機能する。また、フラット加工の
際に発生する微小な塵芥が、吸引チャックプレートの吸
着面を通過してホルダー側に流れるのを阻止するという
機能を果たす。すなわち、(2)の金網は上記した微小な
塵芥を早期に捕捉し、微小な塵芥が吸着面からホルダー
側に流れることによって吸引チャックプレート内部で目
詰まりが生じるのを防ぎ、この結果、吸引チャックプレ
ートの所望の吸引抵抗を維持することができる。この
(2)の金網によって捕捉された塵芥は、吸引チャックプ
レートの吸着面近傍に堆積することがあるが、超音波洗
浄や圧空による逆洗などによって容易に除去することが
できる。
網に隣接させて配置される金網としては、網目の細かい
金網が好適である。この(2)の金網は、吸引チャックプ
レートの用途にもよるが、吸引チャックプレートに吸引
抵抗を付与し、物体をプレートに吸引する際に均一な吸
引力を適用するように機能する。また、フラット加工の
際に発生する微小な塵芥が、吸引チャックプレートの吸
着面を通過してホルダー側に流れるのを阻止するという
機能を果たす。すなわち、(2)の金網は上記した微小な
塵芥を早期に捕捉し、微小な塵芥が吸着面からホルダー
側に流れることによって吸引チャックプレート内部で目
詰まりが生じるのを防ぎ、この結果、吸引チャックプレ
ートの所望の吸引抵抗を維持することができる。この
(2)の金網によって捕捉された塵芥は、吸引チャックプ
レートの吸着面近傍に堆積することがあるが、超音波洗
浄や圧空による逆洗などによって容易に除去することが
できる。
【００１４】上記(3)のように、吸引チャックプレート
の内部に配置される金網としては、ステンレス鋼や銅合
金で調整されたものが一般的であるが、比強度や靭性に
優れるチタン合金で調製したものや、直径１mm程度の比
較的太い金属線を用いた、たたみ織りや綾たたみ織りに
よって構成したもの、などを挙げることができる。
の内部に配置される金網としては、ステンレス鋼や銅合
金で調整されたものが一般的であるが、比強度や靭性に
優れるチタン合金で調製したものや、直径１mm程度の比
較的太い金属線を用いた、たたみ織りや綾たたみ織りに
よって構成したもの、などを挙げることができる。
【００１５】金網の織り方には特に制限がなく、例え
ば、平織り、綾織り、たたみ織り、綾たたみ織り、逆た
たみ織りなどを挙げることができる。なお、前記(1)の
ように吸引チャックプレートの表面側に配置される金網
は、前記した機能を発揮すればいかなる織り方でもよい
が、特に平織りが好ましく、前記(2)のように、フラッ
ト加工される金網に隣接させて配置される金網は、網目
の細かい綾織り、たたみ織り、綾たたみ織り、逆たたみ
織りで構成するのが好ましい。また、前記(3)のよう
に、吸引チャックプレートの内部に配置される金網は、
前記した機能を発揮すればいかなる織り方でもよい。
ば、平織り、綾織り、たたみ織り、綾たたみ織り、逆た
たみ織りなどを挙げることができる。なお、前記(1)の
ように吸引チャックプレートの表面側に配置される金網
は、前記した機能を発揮すればいかなる織り方でもよい
が、特に平織りが好ましく、前記(2)のように、フラッ
ト加工される金網に隣接させて配置される金網は、網目
の細かい綾織り、たたみ織り、綾たたみ織り、逆たたみ
織りで構成するのが好ましい。また、前記(3)のよう
に、吸引チャックプレートの内部に配置される金網は、
前記した機能を発揮すればいかなる織り方でもよい。
【００１６】上記のように積層された複数枚の金網は、
焼結によって相互に接触した部分が接合されて焼結体と
される。焼結する際の熱源は、種々の発熱体による電気
加熱方式を採用した焼結炉が一般的である。また、焼結
する際の雰囲気は、水素ガス、不活性ガス、真空などが
挙げられる。中でも、真空または水素ガス雰囲気下で焼
結するのが好ましい。不活性ガスとしては、窒素ガス、
アルゴンなどを挙げることができる。
焼結によって相互に接触した部分が接合されて焼結体と
される。焼結する際の熱源は、種々の発熱体による電気
加熱方式を採用した焼結炉が一般的である。また、焼結
する際の雰囲気は、水素ガス、不活性ガス、真空などが
挙げられる。中でも、真空または水素ガス雰囲気下で焼
結するのが好ましい。不活性ガスとしては、窒素ガス、
アルゴンなどを挙げることができる。
【００１７】焼結温度や焼結時間は、金網を構成する金
属線の金属の種類、金属線の太さ、金網の網目の細か
さ、積層する金網の枚数などに応じて適宜決めることが
でき、例えば、焼結温度は５００℃〜１５００℃の範
囲、焼結時間は３０分〜６時間程度とすることができ
る。なお、異なる金属で調製された複数枚の金網同士を
焼結させる際には、これら金属の融点が著しく異なると
十分に焼結ができないので、同程度の融点を有する金属
で調製された金網同士を組み合わせるものとする。
属線の金属の種類、金属線の太さ、金網の網目の細か
さ、積層する金網の枚数などに応じて適宜決めることが
でき、例えば、焼結温度は５００℃〜１５００℃の範
囲、焼結時間は３０分〜６時間程度とすることができ
る。なお、異なる金属で調製された複数枚の金網同士を
焼結させる際には、これら金属の融点が著しく異なると
十分に焼結ができないので、同程度の融点を有する金属
で調製された金網同士を組み合わせるものとする。
【００１８】上記した金網からなる焼結体は、その表面
側に配置された金網がフラット加工されて吸着面が形成
され、吸引チャックプレートとされる。本発明において
「フラット加工」とは、焼結体の表面側に配置された金
網の表面を、研削加工やラッピングなどによって、平滑
な面とする工程を意味する。研削加工やラッピングは、
通常の採用されている方法によって行うことができる。
側に配置された金網がフラット加工されて吸着面が形成
され、吸引チャックプレートとされる。本発明において
「フラット加工」とは、焼結体の表面側に配置された金
網の表面を、研削加工やラッピングなどによって、平滑
な面とする工程を意味する。研削加工やラッピングは、
通常の採用されている方法によって行うことができる。
【００１９】以上記載したとおり、本発明に係る吸引チ
ャックプレートは、金網を複数枚積層して焼結して構成
されるため、各金網の網目の形状、大きさ、分布密度、
金網の組み合わせ方、焼結温度、焼結時間などを種々変
えることによって、空孔の形態を任意に形成することが
できるので、その吸引抵抗を多様に設定することがで
き、従って所望の吸引力を得ることができる。
ャックプレートは、金網を複数枚積層して焼結して構成
されるため、各金網の網目の形状、大きさ、分布密度、
金網の組み合わせ方、焼結温度、焼結時間などを種々変
えることによって、空孔の形態を任意に形成することが
できるので、その吸引抵抗を多様に設定することがで
き、従って所望の吸引力を得ることができる。
【００２０】また、この吸引チャックプレートにおい
て、その表面近傍にのみ網目の細かい金網を配置した場
合には、この網目の細かい金網によって微小な塵芥が捕
捉され、かつ、捕捉された塵芥は超音波洗浄などによっ
て容易に除去されるため、従来の粉粒体を焼結した吸引
チャックプレートと比較して目詰まりが生じ難く、所望
の吸引力を維持することができる。
て、その表面近傍にのみ網目の細かい金網を配置した場
合には、この網目の細かい金網によって微小な塵芥が捕
捉され、かつ、捕捉された塵芥は超音波洗浄などによっ
て容易に除去されるため、従来の粉粒体を焼結した吸引
チャックプレートと比較して目詰まりが生じ難く、所望
の吸引力を維持することができる。
【００２１】なお、従来の吸引チャックプレートは、点
（粉粒体）の集合体（実公平５−３４８０号公報参照）
または線（線材）の集合体（実公平５−３４８１号公報
参照）であるのに対し、本発明に係る吸引チャックプレ
ートは、面（金網）の集合体であるので、この吸着面に
作用する圧縮力、引張力、剪断力、衝撃などの各種外力
に対し、優れた靭性を発揮する。
（粉粒体）の集合体（実公平５−３４８０号公報参照）
または線（線材）の集合体（実公平５−３４８１号公報
参照）であるのに対し、本発明に係る吸引チャックプレ
ートは、面（金網）の集合体であるので、この吸着面に
作用する圧縮力、引張力、剪断力、衝撃などの各種外力
に対し、優れた靭性を発揮する。
【００２２】本発明に係る吸引チャックプレートは、液
晶ディスプレイのガラス基板、シリコン基板、シリコン
ウエファーなどの薄い板状体、その他の金属薄板、合成
樹脂製・紙製の薄いラベルなどの薄膜を吸着保持して、
所定の位置に移動させる際に使用される。この吸引チャ
ックプレートは、通常、吸引口を有する所定のホルダー
に装着された状態で使用される。
晶ディスプレイのガラス基板、シリコン基板、シリコン
ウエファーなどの薄い板状体、その他の金属薄板、合成
樹脂製・紙製の薄いラベルなどの薄膜を吸着保持して、
所定の位置に移動させる際に使用される。この吸引チャ
ックプレートは、通常、吸引口を有する所定のホルダー
に装着された状態で使用される。
【００２３】本発明に係る吸引チャックプレートは、所
要の金属材料から所要の織り方で調製された所要のメッ
シュの金網を所要枚数用意し、これらを積層して焼結
し、この表面側に配置された金網をフラット加工するこ
とにより製造することができる。このようにして製造さ
れた吸引チャックプレートは、種々の大きさ、構造のホ
ルダーに装着され吸引保持具の一部とされて使用され、
吸着する物品に応じて、大きさ、形状、適用される吸引
力を適宜変更可能とされる。
要の金属材料から所要の織り方で調製された所要のメッ
シュの金網を所要枚数用意し、これらを積層して焼結
し、この表面側に配置された金網をフラット加工するこ
とにより製造することができる。このようにして製造さ
れた吸引チャックプレートは、種々の大きさ、構造のホ
ルダーに装着され吸引保持具の一部とされて使用され、
吸着する物品に応じて、大きさ、形状、適用される吸引
力を適宜変更可能とされる。
【００２４】本発明に係る吸引チャックプレートを使用
して吸引保持具を調製するには、用意した吸引チャック
プレートを所定のホルダーの大きさに合わせて切断した
後、このホルダー内に吸引チャックプレートを装着し、
次いで、このホルダーを真空タンクなどの吸引源に接続
する。なお、要すれば、吸引チャックプレートをホルダ
ー内に装着する前または装着した後に、この吸引チャッ
クプレートの表面を若干研削して吸着面の平面度を微調
整することもできる。吸引チャックプレートを装着した
吸引保持具は、自動制御可能な搬送用マニピュレーター
や真空制御装置によって、所定位置への移動や真空の適
用・解除などを可能とし、物品を吸着保持して所定の位
置に搬送することができる。
して吸引保持具を調製するには、用意した吸引チャック
プレートを所定のホルダーの大きさに合わせて切断した
後、このホルダー内に吸引チャックプレートを装着し、
次いで、このホルダーを真空タンクなどの吸引源に接続
する。なお、要すれば、吸引チャックプレートをホルダ
ー内に装着する前または装着した後に、この吸引チャッ
クプレートの表面を若干研削して吸着面の平面度を微調
整することもできる。吸引チャックプレートを装着した
吸引保持具は、自動制御可能な搬送用マニピュレーター
や真空制御装置によって、所定位置への移動や真空の適
用・解除などを可能とし、物品を吸着保持して所定の位
置に搬送することができる。
【００２５】
【実施例】以下、本発明を、図面により具体的に説明す
るが、本発明は以下に記載の例に限定されるものではな
い。
るが、本発明は以下に記載の例に限定されるものではな
い。
【００２６】図１は、本発明に係る吸引チャックプレー
トを装備した吸引保持具の一例の断面図であり、図２
は、図１のII部分の拡大図である。
トを装備した吸引保持具の一例の断面図であり、図２
は、図１のII部分の拡大図である。
【００２７】図１には、吸引チャックプレート１０をホ
ルダー２０に装備した吸引保持具が示されている。ホル
ダー２０には、吸引口２１と吸引室２２とが設けられて
いる。吸引口２１は、図示されていない吸引源（真空ポ
ンプ）に接続されており、この真空ポンプによる吸引力
が吸引チャックプレート１０に作用することとなる。吸
引室２２は、プレート支持部２３によって区切られてい
るが、このプレート支持部２３には図示されていない貫
通孔が設けられているので、真空ポンプによる吸引力を
吸引チャックプレート１０のほぼ全面にわたって作用さ
せることができる。なお、ホルダー２０に吸引室２２を
設けずに、ホルダー２０と吸引チャックプレート１０と
の間に金網を介在させて、通気路を形成することもでき
る。
ルダー２０に装備した吸引保持具が示されている。ホル
ダー２０には、吸引口２１と吸引室２２とが設けられて
いる。吸引口２１は、図示されていない吸引源（真空ポ
ンプ）に接続されており、この真空ポンプによる吸引力
が吸引チャックプレート１０に作用することとなる。吸
引室２２は、プレート支持部２３によって区切られてい
るが、このプレート支持部２３には図示されていない貫
通孔が設けられているので、真空ポンプによる吸引力を
吸引チャックプレート１０のほぼ全面にわたって作用さ
せることができる。なお、ホルダー２０に吸引室２２を
設けずに、ホルダー２０と吸引チャックプレート１０と
の間に金網を介在させて、通気路を形成することもでき
る。
【００２８】図２は、吸引チャックプレート１０の断面
構造を示したものである。この図２から明らかなよう
に、吸引チャックプレート１０は５枚の金網が積層され
焼結されて構成されており、これら５枚の金網のうち、
上側（表面側）に配置された３枚の金網１１〜１３は平
織りされた金網であり、中央の金網１４はたたみ織りさ
れた金網であり、下側の金網１５はたたみ織りされた金
網を、９０度ずらして重ねたものである。吸引チャック
プレート１０の表面側に配置された金網１１は、図２に
示すように点線で示した削り代１１´がフラット加工に
よって削り取られて、吸着面１１″が形成されている。
この金網を構成する金属線１１ａは、特定の太さとされ
ているため、フラット加工し易い。
構造を示したものである。この図２から明らかなよう
に、吸引チャックプレート１０は５枚の金網が積層され
焼結されて構成されており、これら５枚の金網のうち、
上側（表面側）に配置された３枚の金網１１〜１３は平
織りされた金網であり、中央の金網１４はたたみ織りさ
れた金網であり、下側の金網１５はたたみ織りされた金
網を、９０度ずらして重ねたものである。吸引チャック
プレート１０の表面側に配置された金網１１は、図２に
示すように点線で示した削り代１１´がフラット加工に
よって削り取られて、吸着面１１″が形成されている。
この金網を構成する金属線１１ａは、特定の太さとされ
ているため、フラット加工し易い。
【００２９】フラット加工される金網１１に隣接させて
配置された金網１２は、吸引チャックプレート１０を構
成する５枚の金網の中で最も網目が細かいものである。
この網目の細かい金網１２によって、吸引チャックプレ
ート１０の吸着面から流入する微小な塵芥が捕捉される
こととなり、かつ、この網目の細かい金網１２によって
捕捉された微小な塵芥は、吸引チャックプレート１０の
表面近傍に堆積するため、超音波洗浄などによって容易
に除去することができる。この結果、吸引チャックプレ
ート１０の目詰まりが生じ難く、所望の吸引力を維持す
ることができる。
配置された金網１２は、吸引チャックプレート１０を構
成する５枚の金網の中で最も網目が細かいものである。
この網目の細かい金網１２によって、吸引チャックプレ
ート１０の吸着面から流入する微小な塵芥が捕捉される
こととなり、かつ、この網目の細かい金網１２によって
捕捉された微小な塵芥は、吸引チャックプレート１０の
表面近傍に堆積するため、超音波洗浄などによって容易
に除去することができる。この結果、吸引チャックプレ
ート１０の目詰まりが生じ難く、所望の吸引力を維持す
ることができる。
【００３０】吸引チャックプレート１０の中央に配置さ
れる金網１４は、吸引チャックプレート１０を構成する
５枚の金網の中で最も直径が大きい金属線１４ａを用い
て、たたみ織りによって構成されたものである。このた
め、金網１４は剛性に優れ、吸引チャックプレート１０
の強度を高めるという機能を発揮する。また、このたた
み織りの金網１４の下側に配置される金網１５は、たた
み織り金網を９０度ずらして重ねた状態で切断した際の
断面形状が表れている。
れる金網１４は、吸引チャックプレート１０を構成する
５枚の金網の中で最も直径が大きい金属線１４ａを用い
て、たたみ織りによって構成されたものである。このた
め、金網１４は剛性に優れ、吸引チャックプレート１０
の強度を高めるという機能を発揮する。また、このたた
み織りの金網１４の下側に配置される金網１５は、たた
み織り金網を９０度ずらして重ねた状態で切断した際の
断面形状が表れている。
【００３１】
【発明の効果】本発明は、以上詳細に説明したとおりで
あり、次のような特別に有利な効果を奏し、その産業上
の利用価値は極めて大である。 １．本発明に係る吸引チャックプレートは、金網を複数
枚積層して焼結して構成されるため、各金網の網目の形
状、大きさ、分布密度、金網の組み合わせ方、焼結温
度、焼結時間などを種々変えることによって、空孔の形
態を任意に形成することができるので、吸引抵抗を多様
に設定することができる。 ２．本発明に係る吸引チャックプレートは、空孔の形態
を任意に形成して吸引抵抗を多様に設定することができ
るので、所望の吸引力を得ることができる。 ３．本発明に係る吸引チャックプレートは、その吸着面
に隣接させて網目の細かい金網を配置した場合には、こ
の網目の細かい金網によって微小な塵芥が捕捉されるた
め、目詰まりが生じ難い。 ４．本発明に係る吸引チャックプレートは、その吸着面
に隣接させて網目の細かい金網を配置した場合には目詰
まりが生じ難いので、所望の吸引力を維持することがで
きる。 ５．本発明に係る吸引チャックプレートは、その吸着面
に隣接させて網目の細かい金網を配置した場合には、こ
の網目の細かい金網によって捕捉された微小な塵芥を、
洗浄によって容易に除去することができる。 ６．本発明に係る吸引チャックプレートは、面（金網）
の集合体であるので、この吸着面に作用する圧縮力、引
張力、剪断力、衝撃などの各種外力に対し、優れた靭性
を発揮する。
あり、次のような特別に有利な効果を奏し、その産業上
の利用価値は極めて大である。 １．本発明に係る吸引チャックプレートは、金網を複数
枚積層して焼結して構成されるため、各金網の網目の形
状、大きさ、分布密度、金網の組み合わせ方、焼結温
度、焼結時間などを種々変えることによって、空孔の形
態を任意に形成することができるので、吸引抵抗を多様
に設定することができる。 ２．本発明に係る吸引チャックプレートは、空孔の形態
を任意に形成して吸引抵抗を多様に設定することができ
るので、所望の吸引力を得ることができる。 ３．本発明に係る吸引チャックプレートは、その吸着面
に隣接させて網目の細かい金網を配置した場合には、こ
の網目の細かい金網によって微小な塵芥が捕捉されるた
め、目詰まりが生じ難い。 ４．本発明に係る吸引チャックプレートは、その吸着面
に隣接させて網目の細かい金網を配置した場合には目詰
まりが生じ難いので、所望の吸引力を維持することがで
きる。 ５．本発明に係る吸引チャックプレートは、その吸着面
に隣接させて網目の細かい金網を配置した場合には、こ
の網目の細かい金網によって捕捉された微小な塵芥を、
洗浄によって容易に除去することができる。 ６．本発明に係る吸引チャックプレートは、面（金網）
の集合体であるので、この吸着面に作用する圧縮力、引
張力、剪断力、衝撃などの各種外力に対し、優れた靭性
を発揮する。
【図１】 本発明に係る吸引チャックプレートを装備し
た吸引保持具の一例の断面図である。
た吸引保持具の一例の断面図である。
【図２】 図１のII部分の拡大図である。
１０：吸引チャックプレート １１、１２、１３：平織りされた金網 １１´：削り代 １１″：吸着面 １４：たたみ織りされた金網 １５：たたみ織りされた金網 １１ａ、１４ａ、１５ａ：金属線 ２０：ホルダー ２１：吸引口 ２２：吸引室 ２３：プレート支持部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｂ Ｆターム(参考） 3C007 DS01 FS01 FT01 FU00 NS09 NS11 NS17 3F061 AA01 CA01 CB01 CC00 DB00 DB04 DB06 3F101 CE02 CE14 CE21 LA15 LB10 5F031 CA02 CA05 FA01 FA04 FA07 GA24 GA25 GA26 GA33
Claims (3)
- 【請求項１】 複数枚を積層して焼結した金網よりなる
吸引チャックプレートにおいて、この吸引チャックプレ
ートの表面側に配置された金網がフラット加工されてな
ることを特徴とする、吸引チャックプレート。 - 【請求項２】 フラット加工される金網に隣接させて配
置された金網が、焼結体を構成する複数枚の金網の中で
最も網目の細かい金網である、請求項１に記載の吸引チ
ャックプレート。 - 【請求項３】 フラット加工される金網を構成する金属
線の直径が、０．０５mm〜０．３mmとされてなる、請求
項１または請求項２に記載の吸引チャックプレート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000301770A JP4057229B2 (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | 吸引チャックプレート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000301770A JP4057229B2 (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | 吸引チャックプレート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002103264A true JP2002103264A (ja) | 2002-04-09 |
| JP4057229B2 JP4057229B2 (ja) | 2008-03-05 |
Family
ID=18783246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000301770A Expired - Fee Related JP4057229B2 (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | 吸引チャックプレート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4057229B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007114331A1 (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-11 | Miraial Co., Ltd. | 薄板収納容器 |
| JP2007281053A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Miraial Kk | 薄板収納容器 |
| WO2009028279A1 (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-05 | Sintokogio, Ltd. | エア浮上搬送装置の空気吹出し構造体及び空気吹出しユニット、ならびにそれを含むエア浮上搬送装置 |
| JP2009073660A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-04-09 | Sintokogio Ltd | エア浮上搬送装置の空気吹出し構造体及び空気吹出しユニット、ならびにエア浮上搬送装置 |
| JP2017212375A (ja) * | 2016-05-26 | 2017-11-30 | 日本特殊陶業株式会社 | 静電チャック又は電極内蔵サセプタ |
| KR102671715B1 (ko) * | 2023-07-18 | 2024-06-03 | 주식회사 포스원코리아 | 흡착 노즐 |
-
2000
- 2000-10-02 JP JP2000301770A patent/JP4057229B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007114331A1 (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-11 | Miraial Co., Ltd. | 薄板収納容器 |
| JP2007281053A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Miraial Kk | 薄板収納容器 |
| WO2009028279A1 (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-05 | Sintokogio, Ltd. | エア浮上搬送装置の空気吹出し構造体及び空気吹出しユニット、ならびにそれを含むエア浮上搬送装置 |
| JP2009073660A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-04-09 | Sintokogio Ltd | エア浮上搬送装置の空気吹出し構造体及び空気吹出しユニット、ならびにエア浮上搬送装置 |
| JP2017212375A (ja) * | 2016-05-26 | 2017-11-30 | 日本特殊陶業株式会社 | 静電チャック又は電極内蔵サセプタ |
| KR102671715B1 (ko) * | 2023-07-18 | 2024-06-03 | 주식회사 포스원코리아 | 흡착 노즐 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4057229B2 (ja) | 2008-03-05 |
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