JP2002145999A - 光重合性不飽和樹脂および該樹脂を含有する感光性樹脂組成物 - Google Patents
光重合性不飽和樹脂および該樹脂を含有する感光性樹脂組成物Info
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Abstract
表面硬度などに優れたレジスト膜を形成し得る、新規光
重合性不飽和樹脂および該樹脂の製造方法を提供するこ
と;上記樹脂を含み、上記優れた性質を有するレジスト
膜を形成し得る感光性樹脂組成物を提供すること;およ
び上記組成物を用いて得られるカラーフィルターおよび
該カラーフィルターの製造方法を提供すること。 【解決手段】 一般式(I)で示される光重合性不飽和
樹脂: 【化1】 ここで、Xは一般式(Ia)で示される単位であり、 【化2】 R1は水素原子またはメチル基、R2は水素原子または
C1〜5の直鎖または分岐アルキル基、Yは酸無水物の
残基、Zは酸二無水物の残基であり、そしてm:nはモ
ル比で0/100から100/0の割合であり、該光重合
性不飽和樹脂の重量平均分子量は、1,000〜50,
000である。
Description
飽和樹脂、該樹脂の製造方法、および該樹脂を含む感光
性樹脂組成物に関する。さらに本発明は、該感光性樹脂
組成物を用いたカラーフィルターおよび該カラーフィル
ターの製造方法に関する。
カメラ、イメージスキャナーなどに使用されるカラーフ
ィルターの作成には、感光性の着色樹脂組成物がパター
ン形成用のレジストインクとして利用されている。この
ような感光性着色樹脂組成物としては、耐光性に優れ、
色変化が少ないことからアクリル系樹脂が使用されてい
る。しかしながら、アクリル系樹脂は耐熱性が不十分で
あり、ITO蒸着温度である200℃以上においては、
該樹脂で形成された膜表面にしわ、クラックなどが発生
するという問題がある。これらの問題を解決するひとつ
の方法として、最近、フルオレン骨格を有する光重合性
樹脂が提案されている。このような樹脂は、その硬化物
が透明性および耐熱性に優れている特徴がある。これら
の樹脂を用いることで上記の問題をある程度解決するこ
とが可能となったものの、要求性能を十分満足させ得る
とは言えない。
報、特開平4−345,608号公報、特開平4−35
5,450号公報、および特開平4−363,311号公
報には、下記一般式(VI)で表されるビスフェノールフ
ルオレン構造を有するエポキシアクリレートと多塩基性
カルボン酸またはその無水物との反応生成物を用いた耐
熱性の液状レジストおよびカラーフィルター材料が開示
されている。
した後にスティッキングがあるためマスク汚れの原因と
なる。そのため、パターン形状のコントラスト向上に有
利な密着露光法が適用できないという問題がある。加え
て、耐熱性および耐溶剤性の点においても著しい改善を
達成することはできなかった。
号公報、特開平6−1,938号公報、および特開平7
−3,122号公報には、ビスフェノールフルオレン構
造を有するエポキシ(メタ)アクリレート化合物と、酸無
水物と、酸二無水物とを反応させ、そのことにより高分
子量化させるとともに、カルボキシル基を導入し下記一
般式(VII)で表される樹脂を得ることが開示されてい
る。このような樹脂を用いるとプリベイク後のスティッ
キングはなくなるものの、耐熱性および耐溶剤性におい
ては最近必要とされる高い要求性能を満足させるには不
十分であった。
単位であり、
1は酸無水物の残基、Z1は酸二無水物の残基であり、
そしてm1:n1はモル比で0/100〜100/0の
割合である。ここでモル比とは分子量に基づくモル比で
ある。
従来の課題を解決するものであり、その目的とするとこ
ろは、感光性樹脂組成物に使用したときに上記従来の欠
点を有していない、新規な光重合性樹脂、および該樹脂
の製造方法を提供することにある。本発明の他の目的
は、このような樹脂を含有する感光性着色樹脂組成物で
あって、各種性能に優れた組成物、つまりプリベイク後
には塗膜がスティッキングフリーとなり、光照射および
キュアベーク後においては、耐熱性(250℃以上)、
透明性、密着性、硬度、耐溶剤性、耐アルカリ性などに
優れ、弱アルカリ水溶液で現像可能であり解像度が高い
という優れた特徴を有する感光性樹脂組成物を提供する
ことにある。本発明のさらに他の目的は、上記組成物を
用いて得られる優れた性能のカラーフィルター、および
該カラーフィルターの製造方法を提供することにある。
置換ビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ
(メタ)アクリレートに、テトラカルボン酸二無水物およ
びカルボン酸無水物のうちの少なくとも一方を反応させ
ることにより、光重合性不飽和樹脂を得た。
とし、これにエポキシ化合物と、光重合開始剤と、顔料
とを含む組成物を用いることにより、解像度の高く、か
つ光照射後の耐熱性、透明性、密着性、硬度、耐溶剤
性、耐アルカリ性に優れたカラーフィルターが得られる
ことを見出し、本発明を完成するに至った。
式(I)で示される:
位であり、
素原子またはC1〜5の直鎖または分岐アルキル基、Y
は酸無水物の残基、Zは酸二無水物の残基であり、そし
てm:nはモル比で0/100から100/0の割合であ
り、該光重合性不飽和樹脂の重量平均分子量は、1,0
00〜50,000である。
方法を包含し、該方法は、次の工程を包含する:次の一
般式(II)で示されるビスフェニルフェノールフルオレ
ン型エポキシ化合物に(メタ)アクリル酸を反応させて、
は分岐アルキル基である) 一般式(III)で示されるビスフェニルフェノールフル
オレン型エポキシ(メタ)アクリレート化合物を得る工
程:
素原子またはC1〜5の直鎖または分岐アルキル基であ
る);該ビスフェニルフェノールフルオレン型エポキシ
(メタ)アクリレート化合物に、一般式(IV)で示される
テトラカルボン酸二無水物:
の残基である)および一般式(V)で示されるジカルボ
ン酸無水物:
である)のうちの少なくとも一方を反応させる工程。
性不飽和樹脂を含有する。
成物は、(A)請求項1の光重合性不飽和樹脂、(B)
エポキシ基を有する化合物、(C)光重合開始剤、およ
び(D)顔料を含有する。
可溶型感光性着色樹脂組成物においては、(A)光重合
性不飽和樹脂100重量部に対して、上記(B)エポキ
シ基を有する化合物、(C)光重合開始剤、および
(D)顔料がそれぞれ5〜50重量部、0.1〜30重
量部、および10〜200重量部の割合で含有される。
ルカリ可溶型感光性着色樹脂組成物においては、上記各
成分に加えて光重合性のモノマーおよびオリゴマーでな
る群から選択される少なくとも1種が、上記光重合性不
飽和樹脂100重量部に対して、50重量部以下の範囲
で含有される。
色層がパターン形成されているカラーフィルターであっ
て、該着色層は、上記アルカリ可溶型感光性着色樹脂組
成物を光硬化させて得られる着色層である。
上記アルカリ可溶型感光性着色樹脂組成物を基板上に塗
布し感光性の着色層を形成する工程;該着色層をパター
ン露光し、露光部分の感光性着色樹脂組成物を光硬化さ
せる工程;および該パターン露光した着色層を現像して
未露光部分の着色層を除去し、該光硬化した着色層を基
板上にパターンとして残す工程を包含する。
アルカリ水溶液により行なわれる。
次の一般式(I)で示される:
位であり、
素原子またはC1〜5の直鎖または分岐アルキル基、Y
は酸無水物の残基、Zは酸二無水物の残基であり、そし
てm:nはモル比で0/100から100/0の割合であ
り、該光重合性不飽和樹脂の重量平均分子量は、1,0
00〜50,000である。一般式(I)の左右の分子
末端はそれぞれ−Hおよび−OHである。
I)のビスフェニルフェノールフルオレン型エポキシ
(メタ)アクリレート樹脂に由来する残基である:
素原子またはC1〜5の直鎖または分岐アルキル基であ
る)。
エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、ビスフェニルフェ
ノールフルオレンから合成されたビスフェニルフェノー
ルフルオレン型エポキシ化合物(II)に、(メタ)アクリ
ル酸を反応させることにより得られる:
は分岐アルキル基である)。
し、この酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、
無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テ
トラヒドロフタル酸、無水へキサヒドロフタル酸、無水
メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロ
レンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水コハ
ク酸、無水グルタル酸、無水トリメリット酸などが挙げ
られる。Zは酸二無水物に由来し、この酸二無水物とし
ては、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ジ
フェニルスルホン酸テトラカルボン酸二無水物、4,
4’−ヘキサフルオロプロピリデンビスフタル酸二無水
物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸
二無水物などの多価カルボン酸無水物が挙げられる。
和樹脂は、例えば、次のようにして製造される。
フェニルフェノールフルオレンにエピクロルヒドリンを
作用させるとビスフェニルフェノールフルオレン型エポ
キシ化合物(II)が得られる。
は分岐アルキル基である)。
エポキシ化合物(II)に(メタ)アクリル酸を反応させる
ことにより、ビスフェニルフェノールフルオレン型エポ
キシ(メタ)アクリレート化合物(III)が合成される。
素原子またはC1〜5の直鎖または分岐アルキル基であ
る)。
オレン型エポキシ(メタ)アクリレート化合物(III)
と、上記Yに相当する基を有するカルボン酸無水物およ
び/または上記Zに相当する基を有するカルボン酸二無
水物とを、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソ
ルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート、3−メトキシブチル−1−アセテート
などのアルキレングリコールモノアルキルエーテルアセ
テート系溶媒中で加熱し、反応させる。これにより上記
不飽和樹脂(I)が製造される。
ける反応温度は、酸二無水物および酸無水物化合物と、
エポキシ(メタ)アクリレート樹脂中に存在する水酸基と
が定量的に反応する温度であることが好ましい。通常、
反応温度は80〜130℃が好ましく、100〜125
℃がより好ましい。得られる不飽和樹脂(I)は、反応
条件により分子量、酸価などが異なるが、その調製に際
してはいずれも上記の範囲の反応温度が採用される。
エポキシ(メタ)アクリレート化合物(III)と酸無水物
および酸二無水物との反応において、反応温度が130
℃を超えると該エポキシ(メタ)アクリレート化合物の重
合が一部起こり、急激に分子量が増大する。一方、80
℃を下回ると反応が円滑に進行せず、未反応の酸無水物
および酸二無水物が残存する。
ールフルオレン型エポキシ(メタ)アクリレート化合物の
水酸基1当量に対して、酸二無水物と酸無水物の酸無水
物基の合計で0.6〜1当量、好ましくは0.75当量
以上1当量未満の割合で反応させる。この酸二無水物お
よび酸無水物の量が0.6当量未満では、得られる光重
合性不飽和樹脂(I)の分子量を十分に増加させて高感
度を達成するために必要な重合性二重結合基を十分に導
入することができない。逆に、酸無水物基が1当量を超
える場合も同様に分子量の増加が得られない。さらに、
未反応の酸無水物および酸二無水物が残存する。このよ
うな場合は、得られた樹脂を含む感光性組成物を用いて
レジスト膜を形成した場合に、現像性が低下する。
の割合はモル比で0/100〜100/0、好ましくは
1/99〜90/10、より好ましくは5/95〜80
/20である。酸無水物の割合が1モル%未満であると
分子量が大きくなりすぎるために、樹脂粘度が高くなり
作業性が悪くなる傾向がある。さらに得られた樹脂を含
む感光性組成物を用いてレジスト膜を形成した場合に、
未露光部が現像液に対して溶解せず、目的のパターンが
得られないこともある。他方、酸無水物が90モル%を
超えると得られる樹脂の平均分子量が小さくなる。その
ため、得られた樹脂を含む感光性組成物を用いてレジス
ト膜を形成した場合に、プリベイク後の塗膜にスティッ
キングが残ることもある。しかし、所望の性能を達成し
得る樹脂が得られるならば、酸無水物および酸二無水物
の片方が含まれていなくてもよく、該酸無水物と酸二無
水物との割合は、必要とされる樹脂の性質に応じて適宜
選択される。得られる樹脂の分子量、酸価などは、上記
割合、および反応温度、反応時間などの条件を変化させ
ることにより実質的に制御することが可能である。
記光重合性不飽和樹脂を含有する。この光重合性不飽和
樹脂は、1種のみを単独で使用できるほか、2種以上の
混合物としても使用することができる。
型感光性着色樹脂組成物であり、(A)光重合性不飽和
樹脂、(B)エポキシ基を有する化合物、(C)光重合
開始剤、および(D)顔料を含有する(以下、これらを
A〜D成分と言う場合がある)。
有され得るエポキシ基を有する化合物(B成分)として
は、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA
型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビ
スフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ
樹脂、脂環式エポキシ樹脂などのエポキシ樹脂;フェニ
ルグリシジルエーテル、p−ブチルフェノールグリシジ
ルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリ
シジルイソシアヌレート、アリルグリシジルエーテル、
グリシジルメタクリレートなどのエポキシ基を少なくと
も1個有する化合物などが挙げられる。
始剤(C成分)は、上記A成分、および必要に応じて含
有される光重合性のモノマーやオリゴマー(後述)の光
重合開始剤として働く化合物および/または増感効果を
有する化合物である。C成分としては、例えば、次の化
合物が挙げられる:アセトフェノン、2,2−ジエトキ
シアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−
ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェ
ノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルア
セトフェノンなどのアセトフェノン類;ベンゾフェノ
ン、2−クロロベンゾフェノン、p,p'−ビスジメチル
アミノベンゾフェノンなどのベンゾフェノン類;ベンジ
ル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテ
ルなどのベンゾインエーテル類;ベンジルジメチルケタ
ール、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、
2,4−ジエチルチオキサントン、2−メチルチオキサ
ントン、2−イソプロピルチオキサントンなどのイオウ
化合物;2−エチルアントラキノン、オクタメチルアン
トラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジ
フェニルアントラキノンなどのアントラキノン類;アゾ
ビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、
クメンパーオキシドなどの有機過酸化物;および2−メ
ルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾオ
キサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾールなどのチ
オール化合物。
してもよく、また、2種以上を組み合わせて使用するこ
ともできる。また、それ自体では光重合開始剤として作
用しないが、上記の化合物と組み合わせて用いることに
より、光重合開始剤の能力を増大させ得るような化合物
を添加することもできる。このような化合物としては、
例えば、ベンゾフェノンと組み合わせて使用すると効果
のあるトリエタノールアミンなどの第三級アミンを挙げ
ることができる。
る顔料(D成分)としては、有機顔料および無機顔料の
いずれもが用いられ得る。有機顔料の具体例としては、
例えば、アゾレーキ系、不溶性アゾ系、フタロシアニン
系、キナクドリン系、ジオキサジン系、イソインドリノ
ン系、ベリノン系、アントラキノン系、ペリレン系など
の顔料およびこれらの混合物が挙げられる。無機顔料の
具体例としては、例えば、ミロリブルー、酸化鉄、コバ
ルト系顔料、マンガン系顔料、群青、紺青、コバルトブ
ルー、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリ
ーン、コバルトグリーンおよびこれらの混合物が挙げら
れる。
維持しつつ塗膜を着色するために、可視光の波長の下限
である0.4μm以下の粒子径を有しており、組成物中
に均一に分散されていることが好ましい。顔料の平均粒
子径は、実用上より好ましくは0.2〜0.3μmであ
る。
れる物性に応じて、A成分以外の光重合性モノマーおよ
び/またはオリゴマーを粘度調整剤あるいは光架橋剤と
して所定の範囲内で配合させることができる。この光重
合性のモノマーあるいはオリゴマーとしては、例えば、
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒド
ロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキ
シル(メタ)アクリレートなどの水酸基を有するモノマ
ー;およびエチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ト
リエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメ
チレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロ
ールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールト
リ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスルトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレ
ートなどの(メタ)アクリル酸エステル類を挙げること
ができる。
使用できるほか、2種以上を併用して使用することもで
きる。
エポキシ基硬化促進剤、熱重合禁止剤、密着助剤、消泡
剤、界面活性剤、可塑剤などの添加剤を含有させること
ができる。
は、アミン類、イミダゾール化合物、カルボン酸類、フ
ェノール類、第4級アンモニウム塩類、メチロール基含
有化合物類などが挙げられる。これらを少量含有させ、
組成物を塗布後に塗膜を加熱することにより、得られる
レジスト被膜の耐熱性、耐溶剤性、耐酸性、耐メッキ
性、密着性、電気特性および硬度などの諸特性を同上さ
せることができる。
ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、t
ert−ブチルカテコール、フェノチアジンなどが挙げ
られる。
着性を向上させる目的で添加される。該密着助剤として
は、好ましくは、カルボキシル基、メタクリロイル基、
イソシアネート基、エポキシ基などの反応性置換基を有
するシラン化合物(官能性シランカップリング剤)が用い
られる。このような官能性シランカップリング剤の具体
例としては、トリメトキシシリル安息香酸、γ-メタク
リロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセ
トキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシ
アナトプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシラン、β-(3,4−エポキシ
シクロヘキシル)エチルトリメトキシシランなどが挙げ
られる。
フッ素系、アクリル系などの化合物が挙げられる。
すくすること、得られる塗膜の平担度を向上させること
などの目的で添加される。界面活性剤としては、例え
ば、シリコーン系、フッ素系、およびアクリル系の化合
物が挙げられる。具体的には例えば、BM−1000
[BMへミー社製];メガファックF142D、同F17
2、同F173および同F183[大日本インキ化学工
業(株)製];フロラードFC−135、同FC−17
0C、フロラードFC−430および同FC−431
[住友スリーエム(株)製];サーフロンS−112、
同S−113、同S−131、同S−141および同S
−145[旭硝子(株)製];SH−28PA、SH−
190、SH−193、SZ−6032、SF−842
8、DC−57およびDC−190[東レシリコーン
(株)製]などが挙げられる。
オクチルフタレート、トリクレジルなどが挙げられる。
を適当な溶剤に溶解もしくは分散させた液状物、例えば
感光性のレジストインクとして使用される。ここで使用
できる溶剤としては、組成物中の各成分とは反応せず、
かつ相互に溶解するものであればよく、特に制限はな
い。例えば、次の溶剤が用いられる:メタノール、エタ
ノールなどのアルコール類;テトラヒドロフランなどの
エーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、
エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコ
ールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノエ
チルエーテルなどのグリコールエーテル類;メチルセロ
ソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチ
ルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアル
キルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールモノ
メチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジメチルエーデル、ジエチレ
ングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブ
チルエーテルなどのジエチレングリコール類;プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレ
ングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのプロ
ピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類;メチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケ
トン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル
−2−ペンタノンなどのケトン類;ならびに2−ヒドロ
キシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチル
プロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロ
ピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸
エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルブタン酸メチル、
3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピ
オン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−
エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチ
ル、乳酸メチル、乳酸エチルなどのエステル類。
キレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ジエ
チレングリコールジアルキルエーテル類、ケトン類およ
びエステル類が好ましく、特に、3−エトキシプロピオ
ン酸エチル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメ
チルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチ
ルエーテルアセテート、およびメチルアミルケトンが好
ましい。これらの溶剤は1種を単独で用いてもよいし、
2種以上を混合して用いてもよい。
性不飽和樹脂(A成分)を含有する。通常は、このA成
分に加えて、エポキシ基を有する化合物(B成分)およ
び光重合開始剤(C成分)、および必要に応じてA成分
以外の光重合性モノマーおよび/またはオリゴマー、上
記各種添加剤などを、上記溶剤中に均一に含有する。
成物は、上記A成分、B成分およびC成分に加えて、顔
料(D成分)を含有する。この組成物は、例えばカラー
フィルター用レジストインクとして有用である。
においては、A成分100重量部に対して、B成分が5
〜50重量部、好ましくは10〜30重量部;C成分が
0.1〜30重量部、好ましくは1〜20重量部;そし
てC成分が10〜200重量部の割合で含有される。
と、組成物を例えば、レジストインクとして用いた場合
に、該インク中の樹脂成分の硬化後の特性、特に耐アル
カリ性が不十分となる。反対に50重量部を超えると、
硬化時に割れが起こり、基材に対する密着性も低下し易
くなる。C成分の含有量が0.1重量部未満であると、
感度が低下するため光重合の速度が遅くなる。反対に3
0重量部を超えると、光を照射した際に光が基板まで達
し難いため、基板と塗膜との密着性が悪くなる。D成分
の含有量が10重量部未満であると、所望の分光特性が
得られず、また、200重量部を超えると、塗膜の密着
性が低下するので好ましくない。
および/またはオリゴマーが含有される場合には、その
含有量は、該組成物の性質を損なわない範囲であればよ
い。通常、上記光重合性不飽和樹脂100重量部に対し
て、50重量部以下の範囲で含有される。含有量が50
重量部を超えるとプリベイク後にスティッキングが生じ
るおそれがある。
し、乾燥することにより感光層が形成される。光照射に
より選択露光し露光部分を硬化させ、未露光部分をアル
カリ溶液などにより溶解・除去(現像)することによ
り、所望のパターンが形成される。上記塗布する方法と
しては、溶液浸漬法;スプレー法;ロールコーター、ス
リットコーター、バーコーター、スピナーなどによる塗
布方法のような通常の方法を採用することができる。塗
膜は、乾燥後の厚みで約0.2〜100μm、好ましく
は1〜10μmとなるように形成される。光照射に用い
られる光(放射線)としては、可視光線、紫外線、電子
線、X線、α線、β線、γ線などが使用される。熱によ
っても組成物を硬化させることが可能である。経済性お
よび効率的であるなどの点から紫外線が好適である。紫
外線照射には、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀
灯、メタルハライドランプ、アーク灯、キセノンランプ
などが利用される。
らなる感光層を、上記光を用いて選択露光したのち、現
像液を用いて現像処理し、放射線の未照射部分を除去す
ることにより、塗膜のパターニングが行われる。現像方
法としては、液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法な
どが挙げられる。
際の現像液としては、例えば、アルカリ水溶液、水溶性
有機溶剤、これらの混合液、さらにこれらに界面活性剤
が添加された混合液などが挙げられる。好ましくはアル
カリ水溶液あるいはアルカリ水溶液と界面活性剤との混
合液が用いられる。
としては、アルカリ金属水酸化物、アルカリ金属やアル
カリ土類金属の炭酸塩、アミン類などが挙げられる。例
えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリ
ウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、ケイ酸ナトリウ
ム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミ
ン、n−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジエチルア
ミノエタノール、ジn−プロピルアミン、トリエチルア
ミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミ
ン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウム
ヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシ
ド、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ
[5,4,0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシク
ロ[4,3,0]−5−ノナンなどが用いられる。水溶性
有機溶媒としては、メタノール、エタノール、アセトン
などが挙げられる。
が、通常、0.01〜5重量%、好ましくは0.1〜3
重量%である。本発明の組成物のアルカリ溶液による現
像は、通常10〜50℃、好ましくは20〜40℃の温
度で、市販の現像機や超音波洗浄機を用いて行うことが
できる。
るために、得られたパターンを加熱処理してエポキシ硬
化を行なうことが好ましい。このような加熱処理によ
り、強アルカリ水に対する耐久性が向上し、さらに、ガ
ラスおよび銅などの金属に対する密着性、耐熱性、表面
硬度などのソルダーレジストに要求される諸性質も向上
する。加熱処理は、好ましくは80〜250℃、さらに
好ましくは120〜220℃の温度範囲にて、例えば、
ホットプレート上では1〜30分間、オーブン中では1
0〜120分間行なわれる。
成物は、カラー液晶ディスプレー用のカラーフィルター
などに好適に用いることができる。
樹脂組成物を用いたレジストインク、およびこれを用い
たカラーフィルターの製造方法について説明する。
製造するには、例えばまず、本発明の光重合性不飽和樹
脂(A成分)、エポキシ基を有する化合物(B成分)、
および顔料(D成分)、さらに必要に応じて光重合性の
モノマーおよび/またはオリゴマー、添加剤、溶剤など
を攪拌下に混合する。次に、光重合開始剤(C成分)を
添加して攪拌下に混合することにより、所望のアルカリ
可溶型感光性着色レジストインクが得られる。このよう
にして調製されたレジストインクは、例えば孔径1.0
〜0.2μm程度のミリポアフィルターなどでろ過して
から使用することが好ましい。
製するには、まず、カラーフィルターの被形成媒体とな
る基板上に、ブラックマトリックスを設け、次に赤、
緑、青のいずれか1種のレジストインクをスピナー、ロ
ールコーターなどを用いて全面塗布し、プリベイクをし
て溶媒を蒸発させる。
スクを介して紫外線などで露光を行う。未露光部を0.
4重量%炭酸ナトリウム水溶液などのアルカリ現像液で
現像し、更に水洗する。そして、適当な温度、例えば2
00℃でポストキュアーして被膜を完全に乾燥する。こ
のことにより最初のカラーフィルターの画素が形成され
る。次に、残る2色のうちのいずれか1色の顔料を含む
同様のインクを用い、上記と同様の工程に従って、第1
のカラーフィルターの画素に隣接して第2のカラーフィ
ルターの画素を形成する。更に、残る一色の顔料を含む
同様のインクを用い、同様の工程により第3のカラーフ
ィルターの画素が形成される。このようにして3原色か
らなるカラーフィルターの画素が得られる。
ム−スズ酸化物)などからなる透明電極層が設けられて
カラーフィルターが得られる。使用したレジストインク
には、本発明の特定の光重合性不飽和樹脂が含まれるた
め、耐熱性に優れる。従って、上記ITOなどの保護膜
を形成する際にも250℃という高温でのスパッタが可
能になる。これに比べて、従来においては使用するレジ
ストは耐熱性に乏しいため、スパッタリングの温度は2
00℃が限界であった。
は、耐熱性に加えて、透明性、密着性、硬度、耐溶剤
性、耐アルカリ性などに優れる。
成物は、上記のようなカラー液晶ディスプレーなどに用
いられるカラーフィルターの他に、カラー液晶表示装
置、カラーファクシミリ、イメージセンサーなどに用い
られる各種多色表示体の調製にも利用される。
と同様に、まず、基板の表面に本発明組成物でなるレジ
ストインクを塗布することによって塗膜を形成する。次
いで、この塗膜上にネガフィルムをあて、紫外線などの
活性光線を照射して露光部を硬化させ、更に弱アルカリ
水溶液を用いて未露光部を溶出する。このアルカリ現像
後、耐アルカリ性を向上させるために加熱してエポキシ
硬化処理を施すことが望ましい。本発明の組成物でなる
レジストインクを用い、加熱処理を行うことにより、強
アルカリ水に対する耐久性が著しく向上するばかりでな
く、ガラス、銅などの金属に対する密着性、耐熱性、表
面硬度などのソルダーレジストに要求される諸性質も向
上する。
不飽和樹脂、該樹脂の製造方法、および該樹脂を含む感
光性樹脂組成物が提供される。この感光性樹脂組成物
は、例えばカラーフィルター用のレジストインクとして
有用なアルカリ可溶型感光性着色樹脂組成物である。こ
のような組成物をレジストインクとして用いると、基材
上に塗膜を形成し、紫外線を用いたパターン露光による
硬化、および希アルカリ水溶液による現像により、容易
に顔料を含む所望のレジストを形成することが可能とな
る。このレジストインクは、紫外線硬化性および現像性
に優れる。本発明は、このような方法によるカラーフィ
ルターの製造方法を包含する。本発明においては特定の
光重合性不飽和樹脂が用いられるため、得られる光硬化
後の塗膜の耐熱性に極めて優れる。さらに、例えば、こ
の樹脂を含む本発明の組成物でなるレジストインクを基
材上に塗布しプリベイクした後の塗膜はスティッキング
フリーである。従ってパターンを密着させて露光するこ
とが可能になり、極めて高い解像度が得られる。得られ
たカラーフィルターは、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ
性、耐溶剤性、表面硬度などに優れる。このようなカラ
ーフィルターは、カラー液晶表示装置(例えば、テレ
ビ、ビデオモニターあるいはコンピューターのディスプ
レー)、カラーファクシミリ、イメージセンサー、カラ
ービデオカメラ、イメージスキャナーなどに用いられる
多色表示体などとして有用である。
膜は、耐熱性、透明性、基材との密着性、耐酸性、耐ア
ルカリ性、耐溶剤性、表面硬度などに優れる。さらにこ
の硬化膜は有機性の塗膜であるため、低誘電率である。
そのため、本発明の組成物は、上記カラーフィルター以
外にも多くの用途に利用することが可能である。例え
ば、電子部品の保護膜用材料(例えば、カラーフィルタ
ーを包含する液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像素
子などに用いられる保護膜の形成材料);層間絶縁およ
び/または平坦化膜の形成材料;プリント配線板の製造
に用いられるソルダーレジスト;あるいは、液晶表示素
子におけるビーズスペーサーの代替となる柱状スペーサ
ーの形成に好適なアルカリ可溶型の感光性組成物;とし
て好適に用いられる。さらに、本発明の組成物は、各種
光学部品(レンズ、LED、プラスチックフィルム、基
板、光ディスクなど)の材料;該光学部品の保護膜形成
用のコーティング剤;光学部品用接着剤(光ファイバー
用接着剤など);偏光板製造用のコーティング剤;ホロ
グラム記録用感光性樹脂組成物などとして好適に利用さ
れる。
明を具体的に説明する。なお、以下において「部」は
「重量部」を示す。
ビスフェニルフェノールフルオレン型エポキシ樹脂(R
2=H;a=0の樹脂の存在比率は95%であった)3
12g(エポキシ当量312)、トリエチルベンジルア
ンモニウムクロライド450mg、2,6−ジ−イソブ
チルフェノール100mg、およびアクリル酸72.0
g、さらに溶媒としてプロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート(PGMEA)500gを仕込んで
混合し、空気を毎分25mlの速度で吹き込みながら9
0〜100℃で加熱した。この混合液は白濁していたが
そのまま徐々に昇温し、120℃に加熱することにより
完全に内容物が溶解した溶液が得られた。これは次第に
透明で粘性のある溶液になったがそのまま攪拌を続け、
経時的に酸価の測定を行なった。酸価が2.0mgKO
H/g未満になるまで加熱攪拌を継続した。酸価が目標
に達するまで12時間を要した。その後、室温まで冷却
し、無色透明な式(III)で表されるビスフェニルフェ
ノールフルオレン型エポキシアクリレート樹脂(R1=
R2=H;a=0の樹脂の存在比率は90%以上であっ
た)のPGMEA溶液を得た。
ノールフルオレン型エポキシアクリレート樹脂を含む溶
液584gに、さらにPGMEA300gを加えて攪拌
した後、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物8
0.5g、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸3
8.0gおよび臭化テトラエチルアンモニウム1gを加
えて混合し、徐々に昇温して110〜115℃で6時間
反応させた。このようにして、一般式(I)で示される
不飽和樹脂を得た。反応時の酸無水物の消失は、IRス
ペクトルより確認した。
Yは1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸に由来す
る基、Zはベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物に
由来する基であり;そして、m/n=50/50(モル
比)である。GPCによって測定したこの樹脂の重量平
均分子量は、6,000であった。
ポキシ樹脂231g(エポキシ当量231;b=0の樹
脂の存在比率は95%であった)、トリエチルベンジル
アンモニウムクロライド450mg、2,6−ジ−イソ
ブチルフェノール100mg、およびアクリル酸72.
0gを仕込んで混合し、空気を毎分25mlの速度で吹
き込みながら90〜100℃で加熱した。
に昇温し、120℃に加熱することにより完全に内容物
が溶解した溶液が得られた。これは次第に透明で粘性の
ある溶液になったがそのまま攪拌を続け、経時的に酸価
の測定を行なった。酸価が2.0mgKOH/g未満に
なるまで加熱攪拌を継続した。酸価が目標に達するまで
12時間を要した。その後、室温まで冷却し、主成分が
式(VI)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキ
シアクリレート樹脂の無色透明なPGMEA溶液を得
た。
ルオレン型エポキシアクリレート樹脂303gに、プロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600
gを加えて溶解させた。これにベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物80.5g、1,2,3,6−テトラヒド
ロ無水フタル酸38.0gおよび臭化テトラエチルアン
モニウム1gを加えて混合し、徐々に昇温して110〜
115℃で4時間反応させた。このようにして、一般式
(VII)で示される樹脂(m1/n1=50/50(モ
ル比))を得た。反応時の酸無水物の消失は、IRスペ
クトルより確認した。
る単位であり、
ロ無水フタル酸に由来する基、そしてZ1は、ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物に由来する基である。
この樹脂も実施例1における生成物と同様に数種の化合
物の混合物であり、bおよびm 1/n1の値についても
実施例1におけるaおよびm/nの数値とほぼ一致し
た。GPCによって測定したこの樹脂の重量平均分子量
は4,500であった。
和樹脂1とする)および下記の成分を混合して感光性樹
脂組成物1を得た。 感光性樹脂組成物1 (重量部) 光重合性不飽和樹脂1 20.0 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 8.6 テトラメチルビフェニルエポキシ樹脂 4.4 ミヒラーケトン 0.2 イルガキュアー907 1.2 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 65.6 合計 100.0
〜3の方法に従い、赤色、緑色、青色および黒色の顔料
を得た。これらを予めプロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート中に分散させてから上記の樹脂組成
物1と混合し、分散処理して表1に示す組成を有する4
種のカラーフィルター用インクを得た(RED、GRE
EN、BLUEおよびBLACK)。上記分散処理の際
には、顔料粒子径が各色共に0.3μm以下となるよう
に処理を行なった。得られたインクの組成を表1に示
す。後述の比較例2のインク組成も合わせて表1に示
す。
ロピルアルコールおよびフロンで洗浄した透明ガラス基
板を準備した。このガラス基板上に先ずBLACKのイ
ンクを用いてブラックマトリックスを形成し、次いでR
ED、GREEN、およびBLUEのインクを用いて、
赤(R)−緑(G)−青(B)の順に各々所定の位置に
画素を形成した。画素の形成工程においては、各インク
を塗工後、表1に示す露光量で露光を行ない、プリベイ
クを80℃で5分間行なった。現像は0.4重量%炭酸
ナトリウム水溶液を使用して行った。各画素の膜厚は
R、G、Bおよびブラックマトリックスの何れも2±
0.1μmとした。
カラーフィルターの性能を以下の方法で評価した。評価
結果を表2に示す。後述の比較例2の結果も併せて表2
に示す。
上にスピンコーターにて塗布、乾燥して塗膜を得た。こ
の塗膜上にテストチャート(線幅0.5〜50.0μm)
を載置し、該テストチャートを介して紫外線を所定の露
光量で照射した。照射後、テストチャートを取り外し、
該テストチャートの汚れを目視で観察した。評価結果を
次の基準で示す。○:汚れなし、△:若干汚れが観察さ
れる、×:汚れが著しい。
上にスピンコーターにて塗布、乾燥して塗膜を得た。こ
の塗膜上にテストチャート(線幅0.5〜50.0μm)
を載置し、該テストチャートを介して紫外線を所定の露
光量で照射した。照射後の基板を0.4重量%の炭酸ナ
トリウム水溶液に60秒間浸漬して現像した後、解像度
を評価した。
ジストを含む基板を230℃の循環式乾燥機中で60分
間加熱し、得られた硬化塗膜の光透過率を分光光度計
(日立製作所(株)製)により測定した。赤色レジスト
では700nm、緑色レジストでは510nm、青色レ
ジストでは460nmの波長の光で測定した。
を、熱風対流式乾燥炉に入れ、250℃にて60分間加
熱した。加熱前後において上記と同様の波長における透
過率の減少を測定した。評価結果を次の基準で示す。
○:5%以下、△:5〜10%、×:10%以上。
ジストを含む基板を6枚用意し下記の薬液に下記の条件
で浸漬し、浸漬起後の上記基板の外観を評価した。評価
結果を次の基準で示す: ○:塗膜の外観に異常なし、△:少なくとも1種の薬液
について、塗膜の外観にわずかに剥離あるいはクラック
が認められる、×:少なくとも1種の薬液について、塗
膜に顕著な剥離あるいはクラックが認められる。 (a)耐酸性:5重量%HCl水溶液に室温で24時間浸漬 (b)耐アルカリ性:5重量%NaOH水溶液中に室温で24時間浸漬 4重量%KOH水溶液中に50℃で10分間浸漬 1重量%NaOH水溶液中に80℃で5分間浸漬 (c)耐溶剤性:N−メチルピロリドン中に40℃で30分間浸漬 N−メチルピロリドン中に80℃で15分間浸漬
50/50;光重合性不飽和樹脂2とする)および下記
の成分を混合して感光性樹脂組成物2を得た。 感光性樹脂組成物2 (重量部) 光重合性不飽和樹脂2(m1/n1=50/50) 20.0 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 8.6 テトラメチルビフェニルエポキシ樹脂 4.4 ミヒラーケトン 0.2 イルガキュアー907 1.2 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 65.6 合計 100.0
2と同様にカラーフィルター用インクおよびカラーフィ
ルターを調製し、試験を行なった。
重合性不飽和樹脂、該樹脂の製造方法、および該樹脂を
含む感光性樹脂組成物が提供される。この感光性樹脂組
成物は、例えば、カラーフィルター用のフォトレジスト
インクとして有用なアルカリ可溶型感光性着色樹脂組成
物である。このような組成物をレジストインクとして用
いると、該インクは紫外線硬化性および現像性に優れ
る。従って、塗膜形成後、紫外線露光および希アルカリ
水溶液を用いた現像により、容易に顔料を含む所望のレ
ジストを形成することが可能となる。
脂が用いられるため、得られる光硬化後の塗膜の耐熱性
に極めて優れる。さらに、例えば、この樹脂を含む本発
明の組成物でなるレジストインクを基材上に塗布しプリ
ベイクした後の塗膜はスティッキングフリーである。従
ってパターンを密着させて露光することが可能になり、
極めて高い解像度が得られる。
得られるカラーフィルターは、耐熱性、耐酸性、耐アル
カリ性、耐溶剤性、表面硬度などに優れている。このよ
うなカラーフィルターは、カラー液晶表示装置(例え
ば、テレビ、ビデオモニターあるいはコンピューターの
ディスプレー)、カラーファクシミリ、イメージセンサ
ー、カラービデオカメラ、イメージスキャナーなどに用
いられる多色表示体などとして有用である。さらに本発
明の組成物は、上記カラーフィルター以外にも多くの用
途に利用することが可能である。例えば、電子部品の保
護膜用材料;層間絶縁および/または平坦化膜の形成材
料、ソルダーレジスト、あるいは、液晶表示素子におけ
る柱状スペーサーの形成に好適なアルカリ可溶型の感光
性組成物として好適に用いられる。さらに、本発明の組
成物は、各種光学部品の材料、該光学部品の保護膜形成
用のコーティング剤、光学部品用接着剤、偏光板製造用
のコーティング剤、ホログラム記録用感光性樹脂組成物
などとして好適に利用される。
Claims (9)
- 【請求項1】 一般式(I)で示される光重合性不飽和
樹脂: 【化1】 ここで、Xは一般式(Ia)で示される単位であり、 【化2】 R1は水素原子またはメチル基、R2は水素原子または
C1〜5の直鎖または分岐アルキル基、Yは酸無水物の
残基、Zは酸二無水物の残基であり、そしてm:nはモ
ル比で0/100から100/0の割合であり、 該光重合性不飽和樹脂の重量平均分子量は、1,000
〜50,000である。 - 【請求項2】 請求項1の光重合性不飽和樹脂の製造方
法であって、次の一般式(II)で示されるビスフェニル
フェノールフルオレン型エポキシ化合物に(メタ)アクリ
ル酸を反応させて、 【化3】 R2は水素原子またはC1〜5の直鎖または分岐アルキ
ル基である)、一般式(III)で示されるビスフェニル
フェノールフルオレン型エポキシ(メタ)アクリレート化
合物を得る工程: 【化4】 R1は水素原子またはメチル基、R2は水素原子または
C1〜5の直鎖または分岐アルキル基である);該ビス
フェニルフェノールフルオレン型エポキシ(メタ)アクリ
レート化合物に、一般式(IV)で示されるテトラカルボ
ン酸二無水物: 【化5】 (ここで、Zはテトラカルボン酸二無水物の残基であ
る)および一般式(V)で示されるジカルボン酸無水
物: 【化6】 (ここで、Yはジカルボン酸無水物の残基である)のう
ちの少なくとも一方を反応させる工程;を包含する方
法。 - 【請求項3】 請求項1の光重合性不飽和樹脂を含有す
る感光性樹脂組成物。 - 【請求項4】 (A)請求項1の光重合性不飽和樹脂、 (B)エポキシ基を有する化合物、 (C)光重合開始剤、および (D)顔料、 を含有するアルカリ可溶型感光性着色樹脂組成物。
- 【請求項5】 前記(A)光重合性不飽和樹脂100重
量部に対して、前記(B)エポキシ基を有する化合物、
(C)光重合開始剤、および(D)顔料がそれぞれ5〜
50重量部、0.1〜30重量部、および10〜200
重量部の割合で含有される、請求項4に記載のアルカリ
可溶型感光性着色樹脂組成物。 - 【請求項6】 さらに光重合性のモノマーおよびオリゴ
マーでなる群から選択される少なくとも1種を、前記光
重合性不飽和樹脂100重量部に対して、50重量部以
下の範囲で含有する、請求項4または5に記載のアルカ
リ可溶型感光性着色樹脂組成物。 - 【請求項7】 基板上に着色層がパターン形成されてい
るカラーフィルターであって、該着色層が、請求項4か
ら6のいずれかに記載のアルカリ可溶型感光性着色樹脂
組成物を光硬化させて得られる着色層である、カラーフ
ィルター。 - 【請求項8】 請求項4から6のいずれかに記載のアル
カリ可溶型感光性着色樹脂組成物を基板上に塗布し感光
性の着色層を形成する工程、 該着色層をパターン露光し、露光部分の感光性着色樹脂
組成物を光硬化させる工程、および該パターン露光した
着色層を現像して未露光部分の着色層を除去し、該光硬
化した着色層を基板上にパターンとして残す工程、を包
含する、 カラーフィルターの製造方法。 - 【請求項9】 希アルカリ水溶液により現像を行なう、
請求項8に記載の製造方法。
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