JP2002158199A - クリーニング機能付搬送部材の製造方法、及びそれに用いるクリーニングシート - Google Patents
クリーニング機能付搬送部材の製造方法、及びそれに用いるクリーニングシートInfo
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- JP2002158199A JP2002158199A JP2000349840A JP2000349840A JP2002158199A JP 2002158199 A JP2002158199 A JP 2002158199A JP 2000349840 A JP2000349840 A JP 2000349840A JP 2000349840 A JP2000349840 A JP 2000349840A JP 2002158199 A JP2002158199 A JP 2002158199A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、各種の基板処理装置のクリーニン
グ機能付搬送部材の製造方法を提供する。 【解決手段】 支持体の片面に活性エネルギーを受けて
重合硬化する粘着剤からなるクリーニング層が設けら
れ、他面に通常の粘着剤層が設けられたクリーニングシ
ートを該通常の粘着剤層を介して、搬送部材に搬送部材
形状より大きい形状で貼り合わせし、その後搬送部材形
状に沿ってクリーニングシートを切断するクリーニング
機能付搬送部材の製造方法において、該クリーニング層
の重合硬化反応がクリーニングシートを搬送部材形状に
切断した後に行われる。
グ機能付搬送部材の製造方法を提供する。 【解決手段】 支持体の片面に活性エネルギーを受けて
重合硬化する粘着剤からなるクリーニング層が設けら
れ、他面に通常の粘着剤層が設けられたクリーニングシ
ートを該通常の粘着剤層を介して、搬送部材に搬送部材
形状より大きい形状で貼り合わせし、その後搬送部材形
状に沿ってクリーニングシートを切断するクリーニング
機能付搬送部材の製造方法において、該クリーニング層
の重合硬化反応がクリーニングシートを搬送部材形状に
切断した後に行われる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種の基板処理装
置のクリーニング機能付搬送部材の製造方法に関し、例
えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント
基板など製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理
装置のクリーニング機能付搬送部材の製造方法に関す
る。
置のクリーニング機能付搬送部材の製造方法に関し、例
えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント
基板など製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理
装置のクリーニング機能付搬送部材の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】基板処理装置は、各搬送系と基板とを物
理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系
に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染する
ことになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする
必要があった。このため、稼動率低下や多大な労力が必
要という問題があった。これらの問題を解決するため、
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板
処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法
（特開平１０−１５４６８６）や板状部材を搬送するこ
とにより基板裏面に付着する異物を除去する方法（特開
平１１−８７４５８）が提案されている。
理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系
に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染する
ことになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする
必要があった。このため、稼動率低下や多大な労力が必
要という問題があった。これらの問題を解決するため、
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板
処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法
（特開平１０−１５４６８６）や板状部材を搬送するこ
とにより基板裏面に付着する異物を除去する方法（特開
平１１−８７４５８）が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】粘着性の物質を固着し
た基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した
異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服
する有効な方法である。しかしこの方法では、粘着性物
質と装置接触部が強く接着しすぎて剥れない恐れがあ
り、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。特
に、装置のチャックテーブルに減圧吸着機構が使われて
いる場合は問題である。また、板状部材を搬送すること
により異物を除去する方法は、搬送は支障なくできる
が、肝心の除塵性に劣るという問題がある。さらに、こ
れらクリーニング機能付搬送部材（以下クリーニング用
部材という）の製造方法に関しては、例えば基板等の搬
送部材にクリーニングシートを貼り合わせてクリーニン
グ用部材を製造する場合、部材形状より大きいクリーニ
ングシートを貼り付けた後、部材形状に沿ってクリーニ
ングシートを切断する（以下本法をダイレクトカット方
式と称す）と、シート切断時にクリーニング層などから
切削屑が発生し、クリーニング用部材や装置に付着して
しまい問題となる。また、あらかじめ部材形状に加工処
理しておいたラベル用クリーニングシートを搬送部材に
貼り合わせてクリーニング用部材を製造する場合は、ラ
ベル加工時の切削屑の発生はダイレクトカット方式に比
べて抑えられるが、ラベル用シートの切断加工を前もっ
て行わなければならず、作業工程が増えクリーニング部
材の作製が煩雑になり作業性が悪くなる。本発明は、こ
のような事情に照らし、基板処理装置内を確実に搬送で
き、付着している異物を簡便、確実に除去でき、さらに
ダイレクトカット法においてシート切断時に切削屑を発
生させないクリーニング用部材の製造方法を提供するこ
とを目的としている。
た基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した
異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服
する有効な方法である。しかしこの方法では、粘着性物
質と装置接触部が強く接着しすぎて剥れない恐れがあ
り、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。特
に、装置のチャックテーブルに減圧吸着機構が使われて
いる場合は問題である。また、板状部材を搬送すること
により異物を除去する方法は、搬送は支障なくできる
が、肝心の除塵性に劣るという問題がある。さらに、こ
れらクリーニング機能付搬送部材（以下クリーニング用
部材という）の製造方法に関しては、例えば基板等の搬
送部材にクリーニングシートを貼り合わせてクリーニン
グ用部材を製造する場合、部材形状より大きいクリーニ
ングシートを貼り付けた後、部材形状に沿ってクリーニ
ングシートを切断する（以下本法をダイレクトカット方
式と称す）と、シート切断時にクリーニング層などから
切削屑が発生し、クリーニング用部材や装置に付着して
しまい問題となる。また、あらかじめ部材形状に加工処
理しておいたラベル用クリーニングシートを搬送部材に
貼り合わせてクリーニング用部材を製造する場合は、ラ
ベル加工時の切削屑の発生はダイレクトカット方式に比
べて抑えられるが、ラベル用シートの切断加工を前もっ
て行わなければならず、作業工程が増えクリーニング部
材の作製が煩雑になり作業性が悪くなる。本発明は、こ
のような事情に照らし、基板処理装置内を確実に搬送で
き、付着している異物を簡便、確実に除去でき、さらに
ダイレクトカット法においてシート切断時に切削屑を発
生させないクリーニング用部材の製造方法を提供するこ
とを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的に対して、鋭意検討した結果、基板等の搬送部材にク
リーニングシートを貼り合わせてクリーニング用部材を
製造するにあたり、ダイレクトカット方式によってクリ
ーニング用部材を製造する場合、クリーニング層を活性
エネルギーを受けて重合硬化する粘着剤とし、さらにク
リーニング層の重合硬化反応をクリーニングシートが搬
送部材形状に切断された後に行うことにより前記の問題
を生じることなく、さらに異物を簡便、かつ確実に剥離
できるクリーニング用部材を製造できることを見い出
し、この発明を完成するに至った。
的に対して、鋭意検討した結果、基板等の搬送部材にク
リーニングシートを貼り合わせてクリーニング用部材を
製造するにあたり、ダイレクトカット方式によってクリ
ーニング用部材を製造する場合、クリーニング層を活性
エネルギーを受けて重合硬化する粘着剤とし、さらにク
リーニング層の重合硬化反応をクリーニングシートが搬
送部材形状に切断された後に行うことにより前記の問題
を生じることなく、さらに異物を簡便、かつ確実に剥離
できるクリーニング用部材を製造できることを見い出
し、この発明を完成するに至った。
【０００５】即ち本発明は、支持体の片面に活性エネル
ギーを受けて重合硬化する粘着剤からなるクリーニング
層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられたクリ
ーニングシートを該通常の粘着剤層を介して、搬送部材
に搬送部材形状より大きい形状で貼り合わせし、その後
搬送部材形状に沿ってクリーニングシートを切断するク
リーニング機能付搬送部材の製造方法において、該クリ
ーニング層の重合硬化反応がクリーニングシートを搬送
部材形状に切断した後に行われることを特徴とするクリ
ーニング機能付搬送部材の製造方法（請求項１）、クリ
ーニング層が感圧接着性ポリマーと分子内に不飽和二重
結合を1個以上有する重合性不飽和化合物および重合開
始剤を含んでなる硬化型の粘着剤であるクリーニングシ
ートを用いることを特徴とする請求項１記載のクリーニ
ング機能付搬送部材の製造方法（請求項２）、請求項２
記載の感圧接着性ポリマーが（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーであ
る請求項２記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方
法（請求項３）、請求項２記載の重合開始剤が光重合開
始剤であって、クリーニング層が光硬化型の粘着剤層で
あることを特徴とする請求項２記載のクリーニング機能
付搬送部材の製造方法（請求項４）、クリーニング層の
シート切断時の引っ張り弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１
２７に準ずる）が１Ｍｐａ以下であることを特徴とする
請求項１〜４いずれか記載のクリーニング機能付搬送部
材の製造方法（請求項５）などに係るものである。
ギーを受けて重合硬化する粘着剤からなるクリーニング
層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられたクリ
ーニングシートを該通常の粘着剤層を介して、搬送部材
に搬送部材形状より大きい形状で貼り合わせし、その後
搬送部材形状に沿ってクリーニングシートを切断するク
リーニング機能付搬送部材の製造方法において、該クリ
ーニング層の重合硬化反応がクリーニングシートを搬送
部材形状に切断した後に行われることを特徴とするクリ
ーニング機能付搬送部材の製造方法（請求項１）、クリ
ーニング層が感圧接着性ポリマーと分子内に不飽和二重
結合を1個以上有する重合性不飽和化合物および重合開
始剤を含んでなる硬化型の粘着剤であるクリーニングシ
ートを用いることを特徴とする請求項１記載のクリーニ
ング機能付搬送部材の製造方法（請求項２）、請求項２
記載の感圧接着性ポリマーが（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーであ
る請求項２記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方
法（請求項３）、請求項２記載の重合開始剤が光重合開
始剤であって、クリーニング層が光硬化型の粘着剤層で
あることを特徴とする請求項２記載のクリーニング機能
付搬送部材の製造方法（請求項４）、クリーニング層の
シート切断時の引っ張り弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１
２７に準ずる）が１Ｍｐａ以下であることを特徴とする
請求項１〜４いずれか記載のクリーニング機能付搬送部
材の製造方法（請求項５）などに係るものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明のクリーニング用部材の製
造方法において、クリーニング層は活性エネルギーで重
合硬化する粘着剤とし、かつ重合硬化反応をシート切断
後に行うことが必要である。シート切断前にクリーニン
グ層を重合硬化させると、クリーニング層が架橋により
高弾性率化してしまい、切断時に多量の切削屑が発生し
クリーニング用部材や装置に付着してしまうためであ
る。シート切断時にクリーニング層から切削屑が発生し
ないよう、クリーニング層の引っ張り弾性率（試験法Ｊ
ＩＳＫ７１２７）は１Ｍｐａ以下、好ましくは０．１Ｍ
ｐａ以下であることが望ましい。引っ張り弾性率をかか
る特定値以下とすることにより、シート切断時のクリー
ニング層からの切削屑の発生を抑えることができ、ダイ
レクトカット方式において切削屑の付着していないクリ
ーニング用部材が製造できる。また、クリーニング層に
重合硬化する粘着剤を用いると、シート切断後に重合硬
化させて、クリーニング層が実質的に粘着性がなくな
り、クリーニング用部材を搬送する際に装置接触部と強
く接着することがなく、確実に搬送できるクリーニング
用部材を提供できるという効果が得られる。
造方法において、クリーニング層は活性エネルギーで重
合硬化する粘着剤とし、かつ重合硬化反応をシート切断
後に行うことが必要である。シート切断前にクリーニン
グ層を重合硬化させると、クリーニング層が架橋により
高弾性率化してしまい、切断時に多量の切削屑が発生し
クリーニング用部材や装置に付着してしまうためであ
る。シート切断時にクリーニング層から切削屑が発生し
ないよう、クリーニング層の引っ張り弾性率（試験法Ｊ
ＩＳＫ７１２７）は１Ｍｐａ以下、好ましくは０．１Ｍ
ｐａ以下であることが望ましい。引っ張り弾性率をかか
る特定値以下とすることにより、シート切断時のクリー
ニング層からの切削屑の発生を抑えることができ、ダイ
レクトカット方式において切削屑の付着していないクリ
ーニング用部材が製造できる。また、クリーニング層に
重合硬化する粘着剤を用いると、シート切断後に重合硬
化させて、クリーニング層が実質的に粘着性がなくな
り、クリーニング用部材を搬送する際に装置接触部と強
く接着することがなく、確実に搬送できるクリーニング
用部材を提供できるという効果が得られる。
【０００７】この粘着剤層の硬化に用いる活性エネルギ
ー源としては、紫外線、熱などが挙げられるが、紫外線
が好ましい。前記クリーニング層は、活性エネルギー源
により硬化して分子構造が三次元網状化する性質を有す
る限り、その材質等は特に限定されないが、例えば感圧
接着性ポリマーに分子内に不和飽和二重結合を１個以上
有する重合性不飽和化合物および重合開始剤を含有させ
てなるものが好ましい。かかる感圧接着性ポリマーとし
ては、例えばアクリル酸、アクリル酸エステル、メタク
リル酸、メタクリル酸エステルから選ばれる（メタ）ア
クリル酸および／または（メタ）アクリル酸エステルを
主モノマーとしたアクリルポリマーが挙げられる。この
アクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーと
して分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を
用いるか、あるいは合成後のアクリル系ポリマーに分子
内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で
化合結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内
に不飽和二重結合を導入しておくことにより、このポリ
マー自体も活性エネルギーにより重合硬化反応に関与さ
せるようにすることもできる。
ー源としては、紫外線、熱などが挙げられるが、紫外線
が好ましい。前記クリーニング層は、活性エネルギー源
により硬化して分子構造が三次元網状化する性質を有す
る限り、その材質等は特に限定されないが、例えば感圧
接着性ポリマーに分子内に不和飽和二重結合を１個以上
有する重合性不飽和化合物および重合開始剤を含有させ
てなるものが好ましい。かかる感圧接着性ポリマーとし
ては、例えばアクリル酸、アクリル酸エステル、メタク
リル酸、メタクリル酸エステルから選ばれる（メタ）ア
クリル酸および／または（メタ）アクリル酸エステルを
主モノマーとしたアクリルポリマーが挙げられる。この
アクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーと
して分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を
用いるか、あるいは合成後のアクリル系ポリマーに分子
内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で
化合結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内
に不飽和二重結合を導入しておくことにより、このポリ
マー自体も活性エネルギーにより重合硬化反応に関与さ
せるようにすることもできる。
【０００８】ここで、分子内に不飽和二重結合を１個以
上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）と
しては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以
下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時の接着剤層
の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以
下の分子量を有しているのが好ましい。
上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）と
しては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以
下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時の接着剤層
の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以
下の分子量を有しているのが好ましい。
【０００９】ここで， 重合性不飽和化合物としては，
不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分
子量体であるのがよく，特に硬化時のクリーニング層の
三次元網状化が効率よくなされるように，５０００以下
の分子量を有しているのが好ましい。このような重合性
化合物としては、たとえば、フエノキシポリエチレング
リコ―ル（メタ）アクリレ─ト、ε−カプロラクトン
（メタ）アクリレ─ト、ポリエチレングリコ―ルジ（メ
タ）アクリレ─ト、ポリプロピレングリコ―ルジ（メ
タ）アクリレ─ト、トリメチロ─ルプロパントリ（メ
タ）アクリレ─ト、ジペンタエリスリト─ルヘキサ（メ
タ）アクリレ─ト、ウレタン（メタ）アクリレ─ト、エ
ポキシ（メタ）アクリレ─ト、オリゴエステル（メタ）
アクリレ─トなどが挙げられ、これらの中から、１種ま
たは２種以上が用いられる。
不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分
子量体であるのがよく，特に硬化時のクリーニング層の
三次元網状化が効率よくなされるように，５０００以下
の分子量を有しているのが好ましい。このような重合性
化合物としては、たとえば、フエノキシポリエチレング
リコ―ル（メタ）アクリレ─ト、ε−カプロラクトン
（メタ）アクリレ─ト、ポリエチレングリコ―ルジ（メ
タ）アクリレ─ト、ポリプロピレングリコ―ルジ（メ
タ）アクリレ─ト、トリメチロ─ルプロパントリ（メ
タ）アクリレ─ト、ジペンタエリスリト─ルヘキサ（メ
タ）アクリレ─ト、ウレタン（メタ）アクリレ─ト、エ
ポキシ（メタ）アクリレ─ト、オリゴエステル（メタ）
アクリレ─トなどが挙げられ、これらの中から、１種ま
たは２種以上が用いられる。
【００１０】また粘着剤層に添加される重合開始剤は、
特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性エネ
ルギーに熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイ
ド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、
また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチル
エーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテ
ル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサ
ントン、ドデシルチオキサントン、シメチルチオキサン
トン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメ
チルケタール、α―ヒドロキシシクロヒキシルフェニル
ケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン、２，
２−ジメトキシー２−フェニルアセトフェノンなどの光
重合開始剤が挙げられる。
特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性エネ
ルギーに熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイ
ド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、
また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチル
エーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテ
ル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサ
ントン、ドデシルチオキサントン、シメチルチオキサン
トン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメ
チルケタール、α―ヒドロキシシクロヒキシルフェニル
ケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン、２，
２−ジメトキシー２−フェニルアセトフェノンなどの光
重合開始剤が挙げられる。
【００１１】さらに本発明においては、かかるクリーニ
ング層のシート切断後の引っ張り弾性率が上記活性エネ
ルギー源により架橋反応や硬化が促進されて、１０Ｍｐ
ａ以上、好ましくは１０Ｍｐａ〜２０００Ｍｐａである
ことが望ましい。この引張弾性率が２０００Ｍｐａを越
えると、搬送系上の付着異物を除去する性能が低下し、
１０Ｍｐａよりも小さいと搬送時に装置内の被クリーニ
ング部に接着して、搬送トラブルとなる恐れがある。ま
た、粘着剤層の厚みは特に限定されないが、通常５〜１
００μｍ程度である。
ング層のシート切断後の引っ張り弾性率が上記活性エネ
ルギー源により架橋反応や硬化が促進されて、１０Ｍｐ
ａ以上、好ましくは１０Ｍｐａ〜２０００Ｍｐａである
ことが望ましい。この引張弾性率が２０００Ｍｐａを越
えると、搬送系上の付着異物を除去する性能が低下し、
１０Ｍｐａよりも小さいと搬送時に装置内の被クリーニ
ング部に接着して、搬送トラブルとなる恐れがある。ま
た、粘着剤層の厚みは特に限定されないが、通常５〜１
００μｍ程度である。
【００１２】本発明によるクリーニング用部材の製造に
は、支持体の片面に、上記の特定の粘着剤層がクリーニ
ング層として設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けら
れ、該クリーニング層が未硬化状態であるクリーニング
シートが用いられる。この他面側の粘着剤層は、粘着機
能を満たす限りその材質などは特に限定されず、通常の
粘着剤（例えばアクリル系、ゴム系など）を用いること
ができる。また、搬送部材を再利用する場合、かかる粘
着剤層から剥すことになるので、該粘着剤層の粘着力
は、シリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０度引き
剥がし粘着力が０．２０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ、特に
０．４０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ程度であれば、搬送中
に剥離することなくクリーニング後に容易に再剥離でき
る。
は、支持体の片面に、上記の特定の粘着剤層がクリーニ
ング層として設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けら
れ、該クリーニング層が未硬化状態であるクリーニング
シートが用いられる。この他面側の粘着剤層は、粘着機
能を満たす限りその材質などは特に限定されず、通常の
粘着剤（例えばアクリル系、ゴム系など）を用いること
ができる。また、搬送部材を再利用する場合、かかる粘
着剤層から剥すことになるので、該粘着剤層の粘着力
は、シリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０度引き
剥がし粘着力が０．２０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ、特に
０．４０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ程度であれば、搬送中
に剥離することなくクリーニング後に容易に再剥離でき
る。
【００１３】また、かかるクリーニング層を支持する支
持体としては、特に限定されないが、例えばポリエチレ
ン、 ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロー
ス、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリイミド、
ポリアミド、ポリカルボジイミド、ナイロンフィルムな
どのプラスチックフィルムが挙げられる。支持体フィル
ムの厚みは通常１０μｍ〜１００μｍ程度である。
持体としては、特に限定されないが、例えばポリエチレ
ン、 ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロー
ス、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリイミド、
ポリアミド、ポリカルボジイミド、ナイロンフィルムな
どのプラスチックフィルムが挙げられる。支持体フィル
ムの厚みは通常１０μｍ〜１００μｍ程度である。
【００１４】クリーニングシートが貼り付けられる搬送
部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエ
ハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ
用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの
基板などが挙げられる。
部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエ
ハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ
用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの
基板などが挙げられる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する
が、本発明はこれに限定されるものではない。なお、以
下、部とあるのは重量部を意味するものとする。 実施例１ アクリル酸２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチ
ル２０部、およびアクリル酸５部からなるモノマー混合
液から得たアクリルポリマー（重量平均分子量７０万）
１００部に対して、ポリエチレングリコール２００ジメ
タクリレート（新中村化学製：商品名：Ｎｋエステル４
Ｇ）５０部、ウレタンアクリレート（新中村化学製：商
品名：Ｕ−Ｎ−０１）５０部、ポリイソシアネート化合
物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）
３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタ
ール（チバ・スぺシャリティケミカルズ製：商品名：イ
ルガキュアー６５１）３部を均一に混合し、紫外線硬化
型粘着剤溶液Ａを調整した。一方、上記粘着剤からベン
ジルジメチルケタノールを除いた以外は、上記と同様に
して得た通常の感圧性粘着剤溶液Ａを得た。この通常の
感圧性粘着剤溶液Ａを、幅２５０mm、厚み２５μｍのポ
リエステル製支持体フィルムの片面に、乾燥後の厚みが
１０μｍになるよう塗布して通常の粘着剤層を設け、そ
の表面に厚み３８μｍのポリエステル系剥離フィルムを
貼った。支持体フィルムのもう一方の側に、前記の紫外
線硬化型粘着剤溶液Ａを乾燥後の厚みが３０μｍになる
ように塗布してクリーニング層としての粘着剤層を設
け、その表面に同様の剥離フィルムを貼り、クリーニン
グシートＡを作製した。
が、本発明はこれに限定されるものではない。なお、以
下、部とあるのは重量部を意味するものとする。 実施例１ アクリル酸２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチ
ル２０部、およびアクリル酸５部からなるモノマー混合
液から得たアクリルポリマー（重量平均分子量７０万）
１００部に対して、ポリエチレングリコール２００ジメ
タクリレート（新中村化学製：商品名：Ｎｋエステル４
Ｇ）５０部、ウレタンアクリレート（新中村化学製：商
品名：Ｕ−Ｎ−０１）５０部、ポリイソシアネート化合
物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）
３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタ
ール（チバ・スぺシャリティケミカルズ製：商品名：イ
ルガキュアー６５１）３部を均一に混合し、紫外線硬化
型粘着剤溶液Ａを調整した。一方、上記粘着剤からベン
ジルジメチルケタノールを除いた以外は、上記と同様に
して得た通常の感圧性粘着剤溶液Ａを得た。この通常の
感圧性粘着剤溶液Ａを、幅２５０mm、厚み２５μｍのポ
リエステル製支持体フィルムの片面に、乾燥後の厚みが
１０μｍになるよう塗布して通常の粘着剤層を設け、そ
の表面に厚み３８μｍのポリエステル系剥離フィルムを
貼った。支持体フィルムのもう一方の側に、前記の紫外
線硬化型粘着剤溶液Ａを乾燥後の厚みが３０μｍになる
ように塗布してクリーニング層としての粘着剤層を設
け、その表面に同様の剥離フィルムを貼り、クリーニン
グシートＡを作製した。
【００１６】この紫外線硬化型粘着剤Ａについて、引っ
張り弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７）を測定したと
ころ、紫外線による硬化反応を行っていない状態で０．
１Ｍｐａ、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０
００mＪ/cm2照射した後で４９Ｍｐａであった。また、
この通常の粘着剤層のシリコンウェハ（ミラー面）に対
する１８０°引き剥がし粘着力は０．２５Ｎ／１０ｍｍ
であった。このクリーニングシートＡを用いて、ダイレ
クトカット方式テープ貼付機（日東精機製：ＮＥＬ−Ｄ
Ｒ８５００II）にてウェハへのシートの貼付を行った。
この時、シートＡを８インチのシリコンウェハの裏面
（ミラー面）に貼り付け、ウェハ形状にダイレクトカッ
トにより切断した。この操作を２５枚連続して行ったと
ころ、シート切断時の切削屑はまったく発生しなかっ
た。この後、これらシート付ウェハ５枚に中心波長３６
５ｎｍの紫外線を積算光量１０００mＪ/cm2照射し、ク
リーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＡを作製
した。一方、レーザー式異物測定装置で、新品の８イン
チシリコンウェハ４枚のミラー面の０．２μｍ以上の異
物を測定したところ、１枚は８個、２枚目は１１個、３
枚目は９個、４枚目は５個であった。これらのウェハを
別々の静電吸着機構を有する基板処理装置にミラー面を
下側にして搬送した後、レーザー式異物測定装置で、
０．２μｍ以上の異物を測定したところ、８インチウエ
ハサイズのエリア内で１つは３１２５４個、２つ目は２
９９５４個、３つ目は２８６８３個、４つ目は２７９８
６個であった。次いで前記で得た搬送用クリーニングウ
エハＡのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上
記の３１２５４個の異物が付着していたウエハステージ
を持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送
できた。 その後に新品の８インチシリコンウェハをミ
ラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置
で０．２μｍ以上の異物を測定した。この操作を５回実
施し、その結果を表１に示した。
張り弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７）を測定したと
ころ、紫外線による硬化反応を行っていない状態で０．
１Ｍｐａ、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０
００mＪ/cm2照射した後で４９Ｍｐａであった。また、
この通常の粘着剤層のシリコンウェハ（ミラー面）に対
する１８０°引き剥がし粘着力は０．２５Ｎ／１０ｍｍ
であった。このクリーニングシートＡを用いて、ダイレ
クトカット方式テープ貼付機（日東精機製：ＮＥＬ−Ｄ
Ｒ８５００II）にてウェハへのシートの貼付を行った。
この時、シートＡを８インチのシリコンウェハの裏面
（ミラー面）に貼り付け、ウェハ形状にダイレクトカッ
トにより切断した。この操作を２５枚連続して行ったと
ころ、シート切断時の切削屑はまったく発生しなかっ
た。この後、これらシート付ウェハ５枚に中心波長３６
５ｎｍの紫外線を積算光量１０００mＪ/cm2照射し、ク
リーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＡを作製
した。一方、レーザー式異物測定装置で、新品の８イン
チシリコンウェハ４枚のミラー面の０．２μｍ以上の異
物を測定したところ、１枚は８個、２枚目は１１個、３
枚目は９個、４枚目は５個であった。これらのウェハを
別々の静電吸着機構を有する基板処理装置にミラー面を
下側にして搬送した後、レーザー式異物測定装置で、
０．２μｍ以上の異物を測定したところ、８インチウエ
ハサイズのエリア内で１つは３１２５４個、２つ目は２
９９５４個、３つ目は２８６８３個、４つ目は２７９８
６個であった。次いで前記で得た搬送用クリーニングウ
エハＡのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上
記の３１２５４個の異物が付着していたウエハステージ
を持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送
できた。 その後に新品の８インチシリコンウェハをミ
ラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置
で０．２μｍ以上の異物を測定した。この操作を５回実
施し、その結果を表１に示した。
【００１７】実施例２ 紫外線硬化型粘着剤として、アクリル酸−２−エチルヘ
キシル３０部、アクリル酸メチル７０部、及びアクリル
酸１０部からなるモノマ―混合液から得たアクリルポリ
マー（重量平均分子量２８０万）１００部に対して、多
官能ウレタンアクリレート（日本合成化学社製：商品
名：ＵＶ １７００Ｂ）１００部、ポリイソシアネート
化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネート
Ｌ）３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチル
ケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ製：商品
名：イルガキュアー６５１）１０部を均一に混合して得
た紫外線硬化型粘着剤溶液Ｂを用いた以外は、実施例１
と同様にしてクリーニングシートＢを作製した。 この
紫外線硬化型粘着剤Ｂの引っ張り弾性率を測定したとこ
ろ、硬化前で０．０１Ｍｐａ、中心波長３６５ｎｍの紫
外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ2照射した後で１４
４０Ｍｐａであった。
キシル３０部、アクリル酸メチル７０部、及びアクリル
酸１０部からなるモノマ―混合液から得たアクリルポリ
マー（重量平均分子量２８０万）１００部に対して、多
官能ウレタンアクリレート（日本合成化学社製：商品
名：ＵＶ １７００Ｂ）１００部、ポリイソシアネート
化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネート
Ｌ）３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチル
ケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ製：商品
名：イルガキュアー６５１）１０部を均一に混合して得
た紫外線硬化型粘着剤溶液Ｂを用いた以外は、実施例１
と同様にしてクリーニングシートＢを作製した。 この
紫外線硬化型粘着剤Ｂの引っ張り弾性率を測定したとこ
ろ、硬化前で０．０１Ｍｐａ、中心波長３６５ｎｍの紫
外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ2照射した後で１４
４０Ｍｐａであった。
【００１８】このクリーニングシートＢを用いて実施例
１と同様にしてダイレクトカット方式にてシート付ウェ
ハ２５枚作製したところ、シート切断時の切削屑はまっ
たく発生しなかった。このうち５枚について、中心波長
３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００mＪ/cm2照射
し、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＢ
を作製した。次いで前記で得た搬送用クリーニングウエ
ハＢのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記
の２９９５４個の異物が付着していたウエハステージを
持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送で
きた。 その後に８インチシリコンウェハをミラー面を
下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２
μｍ以上の異物を測定した。この操作を５回実施し、そ
の結果を表１に示した。
１と同様にしてダイレクトカット方式にてシート付ウェ
ハ２５枚作製したところ、シート切断時の切削屑はまっ
たく発生しなかった。このうち５枚について、中心波長
３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００mＪ/cm2照射
し、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＢ
を作製した。次いで前記で得た搬送用クリーニングウエ
ハＢのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記
の２９９５４個の異物が付着していたウエハステージを
持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送で
きた。 その後に８インチシリコンウェハをミラー面を
下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２
μｍ以上の異物を測定した。この操作を５回実施し、そ
の結果を表１に示した。
【００１９】比較例１ 実施例１のクリーニングシートＡにウェハ貼付前に中心
波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００mＪ/cm2照
射してクリーニングシートＣを作製して用いた以外は同
様にして、ダイレクトカット方式にてシート付ウェハを
作製したところ、シート切断時にクリーニング層から多
量の切削屑が発生し、シート付ウェハのエッジ、ウェハ
裏面およびテープ貼付装置に切削屑が多数付着した。従
って、シート付ウェハＣの作製を中止した。
波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００mＪ/cm2照
射してクリーニングシートＣを作製して用いた以外は同
様にして、ダイレクトカット方式にてシート付ウェハを
作製したところ、シート切断時にクリーニング層から多
量の切削屑が発生し、シート付ウェハのエッジ、ウェハ
裏面およびテープ貼付装置に切削屑が多数付着した。従
って、シート付ウェハＣの作製を中止した。
【００２０】比較例２ クリーニング層粘着剤として、実施例１に示した感圧性
粘着剤溶液Ａを用いた以外は実施例１同様にしてクリー
ニングシートＤを作製した。この場合のクリーニング層
の引っ張り弾性率は０．１Ｍｐａであった。このクリー
ニングシートＤから実施例１と同様にダイレクトカット
方式にてシート付ウェハを作製したところ、シート切断
時の切削屑はまったく発生せず、２５枚作製できた。こ
の搬送用クリーニングウェハＤを２７９８６個異物が付
着していたウエハステージを持つ基板処理装置で搬送し
たところ１枚目でウエハステージに固着し、搬送できな
くなった。
粘着剤溶液Ａを用いた以外は実施例１同様にしてクリー
ニングシートＤを作製した。この場合のクリーニング層
の引っ張り弾性率は０．１Ｍｐａであった。このクリー
ニングシートＤから実施例１と同様にダイレクトカット
方式にてシート付ウェハを作製したところ、シート切断
時の切削屑はまったく発生せず、２５枚作製できた。こ
の搬送用クリーニングウェハＤを２７９８６個異物が付
着していたウエハステージを持つ基板処理装置で搬送し
たところ１枚目でウエハステージに固着し、搬送できな
くなった。
【００２１】
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明のクリーニング用部
材の製造方法によれば、ダイレクトカット方式での製造
時の切削屑の発生がないクリーニング用部材を製造でき
るとともに、基板処理装置内を確実に搬送でき、装置内
に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるクリー
ニング用部材を製造できる。
材の製造方法によれば、ダイレクトカット方式での製造
時の切削屑の発生がないクリーニング用部材を製造でき
るとともに、基板処理装置内を確実に搬送でき、装置内
に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるクリー
ニング用部材を製造できる。
Claims (8)
- 【請求項１】 支持体の片面に活性エネルギーを受けて
重合硬化する粘着剤からなるクリーニング層が設けら
れ、他面に通常の粘着剤層が設けられたクリーニングシ
ートを該通常の粘着剤層を介して、搬送部材に搬送部材
形状より大きい形状で貼り合わせし、その後搬送部材形
状に沿ってクリーニングシートを切断するクリーニング
機能付搬送部材の製造方法において、該クリーニング層
の重合硬化反応がクリーニングシートを搬送部材形状に
切断した後に行われることを特徴とするクリーニング機
能付搬送部材の製造方法。 - 【請求項２】 クリーニング層が感圧接着性ポリマーと
分子内に不飽和二重結合を1個以上有する重合性不飽和
化合物および重合開始剤を含んでなる硬化型の粘着剤で
あるクリーニングシートを用いることを特徴とする請求
項１記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。 - 【請求項３】 請求項２記載の感圧接着性ポリマーが
（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし
たアクリル系ポリマーである請求項２記載のクリーニン
グ機能付搬送部材の製造方法。 - 【請求項４】 請求項２記載の重合開始剤が光重合開始
剤であって、クリーニング層が光硬化型の粘着剤層であ
ることを特徴とする請求項２記載のクリーニング機能付
搬送部材の製造方法。 - 【請求項５】 クリーニング層のシート切断時の引っ張
り弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７に準ずる）が１Ｍ
ｐａ以下であることを特徴とする請求項１〜４いずれか
記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。 - 【請求項６】 クリーニング層の重合硬化後の引っ張り
弾性率（試験法ＪＩＳＫ７１２７に準ずる）が１０Ｍｐ
ａ以上であることを特徴とする請求項１〜５いずれか記
載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。 - 【請求項７】 請求項１〜６いずれか記載のクリーニン
グ機能付搬送部材の製造方法で得られた搬送部材を、基
板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置
のクリーニング方法。 - 【請求項８】 支持体の片面に活性エネルギーを受けて
重合硬化可能な粘着剤からなるクリーニング層が設けら
れ、他面に通常の粘着剤層が設けられ、該クリーニング
層が未硬化状態であることを特徴とする請求項１記載の
クリーニング機能付搬送部材の製造方法に用いるクリー
ニングシート。
Priority Applications (22)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000349840A JP2002158199A (ja) | 2000-11-16 | 2000-11-16 | クリーニング機能付搬送部材の製造方法、及びそれに用いるクリーニングシート |
| KR1020037000523A KR100691075B1 (ko) | 2000-07-14 | 2001-05-08 | 세척용 시이트, 이를 사용한 반송부재, 및 이를 사용한기판가공장치 세척법 |
| PCT/JP2001/003848 WO2001094036A1 (en) | 2000-06-06 | 2001-05-08 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| PCT/JP2001/003849 WO2002005975A1 (en) | 2000-07-14 | 2001-05-08 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| EP01926156A EP1286792B1 (en) | 2000-06-06 | 2001-05-08 | Cleaning member |
| EP01926157A EP1301288B1 (en) | 2000-07-14 | 2001-05-08 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| KR1020027016584A KR100786437B1 (ko) | 2000-06-06 | 2001-05-08 | 클리닝 시트, 이를 사용하는 반송 부재, 및 이들을 사용한 기판 처리 장치의 클리닝 방법 |
| MYPI20012130A MY135752A (en) | 2000-06-06 | 2001-05-08 | Cleaning member |
| DE2001629687 DE60129687T2 (de) | 2000-06-06 | 2001-05-08 | Reinigungselement |
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| US10/311,065 US6821620B2 (en) | 2000-07-13 | 2001-05-08 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| DE60124405T DE60124405T2 (de) | 2000-07-14 | 2001-05-08 | Reinigungsblatt, förderelement dafür und reinigungsverfahren für substrat-bearbeitungsvorrichtungen in dem diese verwendet werden |
| TW090111081A TW536751B (en) | 2000-07-14 | 2001-05-08 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| MYPI20012131 MY126932A (en) | 2000-07-14 | 2001-05-08 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| US10/297,173 US7713356B2 (en) | 2000-06-06 | 2001-05-08 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| EP20100011695 EP2266716A2 (en) | 2000-06-06 | 2001-05-08 | Cleaning member |
| EP20100011696 EP2266717A2 (en) | 2000-06-06 | 2001-05-08 | Cleaning member |
| CNB018124860A CN100372619C (zh) | 2000-07-14 | 2001-05-08 | 清洁片及其输运元件、以及衬底处理设备清洁方法 |
| EP07004040.7A EP1782894A3 (en) | 2000-06-06 | 2001-05-08 | Process for preparing a conveying member with a cleaning function and cleaning sheet for use in the process |
| US11/014,779 US7793668B2 (en) | 2000-06-06 | 2004-12-20 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| US11/229,586 US20060105164A1 (en) | 2000-06-06 | 2005-09-20 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| US12/851,797 US20100319151A1 (en) | 2000-06-06 | 2010-08-06 | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000349840A JP2002158199A (ja) | 2000-11-16 | 2000-11-16 | クリーニング機能付搬送部材の製造方法、及びそれに用いるクリーニングシート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002158199A true JP2002158199A (ja) | 2002-05-31 |
Family
ID=18823170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000349840A Pending JP2002158199A (ja) | 2000-06-06 | 2000-11-16 | クリーニング機能付搬送部材の製造方法、及びそれに用いるクリーニングシート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002158199A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005243818A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | 基板処理装置の除塵部材 |
| US7712177B2 (en) | 2003-03-20 | 2010-05-11 | Nitto Denko Corporation | Cleaning sheet and its production method as well as transporting member having such cleaning sheet |
-
2000
- 2000-11-16 JP JP2000349840A patent/JP2002158199A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7712177B2 (en) | 2003-03-20 | 2010-05-11 | Nitto Denko Corporation | Cleaning sheet and its production method as well as transporting member having such cleaning sheet |
| JP2005243818A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | 基板処理装置の除塵部材 |
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