JP2002158254A - ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の制御方法 - Google Patents
ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の制御方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高速動作時にも不具合を生じないワイヤボン
ディング装置におけるワイヤクランプ機構の制御方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 ワイヤボンディング装置のキャピラリツ
ールに送給されるワイヤをクランプするワイヤクランプ
機構の制御において、ワイヤを挟み込むクランプアーム
機構をボイスコイルモータで開閉駆動することによりワ
イヤをクランプするクランプ動作時に、所定のクランプ
荷重に相当するクランプ電流値Ｉ１よりも大きい駆動電
流値Ｉ２で閉方向に駆動することによりクランプアーム
機構に閉動作を行わせ、次いでボイスコイルモータを
（−）の電流値Ｉ３によって開方向に駆動することによ
り前記閉動作の速度を減速し、減速後にクランプ電流値
Ｉ１で駆動してワイヤを所定のクランプ荷重で挟み込
む。これにより、タクトタイムの遅延を招くことなくク
ランプ時のワイヤへの衝撃を緩和することができる。
ディング装置におけるワイヤクランプ機構の制御方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 ワイヤボンディング装置のキャピラリツ
ールに送給されるワイヤをクランプするワイヤクランプ
機構の制御において、ワイヤを挟み込むクランプアーム
機構をボイスコイルモータで開閉駆動することによりワ
イヤをクランプするクランプ動作時に、所定のクランプ
荷重に相当するクランプ電流値Ｉ１よりも大きい駆動電
流値Ｉ２で閉方向に駆動することによりクランプアーム
機構に閉動作を行わせ、次いでボイスコイルモータを
（−）の電流値Ｉ３によって開方向に駆動することによ
り前記閉動作の速度を減速し、減速後にクランプ電流値
Ｉ１で駆動してワイヤを所定のクランプ荷重で挟み込
む。これにより、タクトタイムの遅延を招くことなくク
ランプ時のワイヤへの衝撃を緩和することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤボンディン
グ装置においてキャピラリツールに送給されるワイヤを
クランプするワイヤボンディング装置におけるワイヤク
ランプ機構の制御方法に関するものである。
グ装置においてキャピラリツールに送給されるワイヤを
クランプするワイヤボンディング装置におけるワイヤク
ランプ機構の制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子を基板の回路電極と電気的に
接続する方法としてワイヤボンディングが広く用いられ
ている。このワイヤボンディングでは、半導体素子の外
部接続用電極に金線などのワイヤの一端部をキャピラリ
ツールによってボンディングし、このボンディングされ
た状態のワイヤをキャピラリツールを移動させることに
より基板の回路電極上のボンディング点まで引き回して
ボンディングする。このボンディング動作においては、
ワイヤは連続した線として供給されるため、ワイヤを１
ボンディング動作ごとに切断する必要がある。このワイ
ヤの切断は、キャピラリツールの上方に配設されたカッ
トクランパによってワイヤをクランプした状態でキャピ
ラリツールを引き上げることにより、ボンディング点の
直上位置でワイヤを引きちぎることで行われる。
接続する方法としてワイヤボンディングが広く用いられ
ている。このワイヤボンディングでは、半導体素子の外
部接続用電極に金線などのワイヤの一端部をキャピラリ
ツールによってボンディングし、このボンディングされ
た状態のワイヤをキャピラリツールを移動させることに
より基板の回路電極上のボンディング点まで引き回して
ボンディングする。このボンディング動作においては、
ワイヤは連続した線として供給されるため、ワイヤを１
ボンディング動作ごとに切断する必要がある。このワイ
ヤの切断は、キャピラリツールの上方に配設されたカッ
トクランパによってワイヤをクランプした状態でキャピ
ラリツールを引き上げることにより、ボンディング点の
直上位置でワイヤを引きちぎることで行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このため、カットクラ
ンパはワイヤを引きちぎるのに充分な保持力でワイヤを
クランプしなければならない。ところが、従来のワイヤ
ボンディング装置のカットクランパのクランプ機構には
ボンディング動作の高速化に伴って以下に説明するよう
な問題点があった。カットクランパはクランプアーム機
構に開閉動作を行わせ、閉動作時にワイヤをクランプア
ームの先端部で挟み込むものである。このため、クラン
プ動作を高速化するとワイヤに対する衝撃が増大する。
ンパはワイヤを引きちぎるのに充分な保持力でワイヤを
クランプしなければならない。ところが、従来のワイヤ
ボンディング装置のカットクランパのクランプ機構には
ボンディング動作の高速化に伴って以下に説明するよう
な問題点があった。カットクランパはクランプアーム機
構に開閉動作を行わせ、閉動作時にワイヤをクランプア
ームの先端部で挟み込むものである。このため、クラン
プ動作を高速化するとワイヤに対する衝撃が増大する。
【０００４】そしてこの衝撃が過大になるとクランプア
ームの先端部が相互に当接した際に跳ね返りを生じてク
ランプ動作が不安定となると共にワイヤのつぶれや傷な
どのダメージが生じ、ワイヤ引き上げ時にボンディング
点でのワイヤの切断を正常に行えず不具合が発生する場
合がある。このような不具合を避けるために閉動作を緩
やかにすると、クランプ動作毎に余分な動作時間を要し
てタクトタイムが増大する。このように従来のボンディ
ング装置には、ワイヤクランプ機構に起因してボンディ
ング動作の高速化に伴い不具合が生じるという問題点が
あった。
ームの先端部が相互に当接した際に跳ね返りを生じてク
ランプ動作が不安定となると共にワイヤのつぶれや傷な
どのダメージが生じ、ワイヤ引き上げ時にボンディング
点でのワイヤの切断を正常に行えず不具合が発生する場
合がある。このような不具合を避けるために閉動作を緩
やかにすると、クランプ動作毎に余分な動作時間を要し
てタクトタイムが増大する。このように従来のボンディ
ング装置には、ワイヤクランプ機構に起因してボンディ
ング動作の高速化に伴い不具合が生じるという問題点が
あった。
【０００５】そこで本発明は、高速動作時にも不具合を
生じないワイヤボンディング装置におけるワイヤクラン
プ機構の制御方法を提供することを目的とする。
生じないワイヤボンディング装置におけるワイヤクラン
プ機構の制御方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のワイヤボ
ンディング装置におけるワイヤクランプ機構の制御方法
は、ワイヤをボンディング対象面にボンディングするワ
イヤボンディング装置においてキャピラリツールに送給
されるワイヤをクランプするワイヤクランプ機構の制御
方法であって、前記ワイヤを両側から挟み込むクランプ
アーム機構を電動開閉駆動手段で開閉駆動することによ
り前記ワイヤをクランプするクランプ動作において、前
記電動開閉駆動手段を所定のクランプ荷重に相当するク
ランプ電流値よりも大きい駆動電流値で閉方向に駆動す
ることによりクランプアーム機構に閉動作を行わせる第
１閉工程と、第１閉工程に引き続いて前記電動開閉駆動
手段を開方向に駆動することにより前記閉動作の速度を
減速する減速工程と、減速工程後に電動開閉駆動手段を
前記クランプ電流値で駆動してワイヤを所定のクランプ
荷重で挟み込む第２閉工程とを含む。
ンディング装置におけるワイヤクランプ機構の制御方法
は、ワイヤをボンディング対象面にボンディングするワ
イヤボンディング装置においてキャピラリツールに送給
されるワイヤをクランプするワイヤクランプ機構の制御
方法であって、前記ワイヤを両側から挟み込むクランプ
アーム機構を電動開閉駆動手段で開閉駆動することによ
り前記ワイヤをクランプするクランプ動作において、前
記電動開閉駆動手段を所定のクランプ荷重に相当するク
ランプ電流値よりも大きい駆動電流値で閉方向に駆動す
ることによりクランプアーム機構に閉動作を行わせる第
１閉工程と、第１閉工程に引き続いて前記電動開閉駆動
手段を開方向に駆動することにより前記閉動作の速度を
減速する減速工程と、減速工程後に電動開閉駆動手段を
前記クランプ電流値で駆動してワイヤを所定のクランプ
荷重で挟み込む第２閉工程とを含む。
【０００７】本発明によれば、クランプ動作において電
動開閉駆動手段を所定のクランプ荷重に相当するクラン
プ電流値よりも大きい駆動電流値で閉方向に駆動するこ
とによりクランプアーム機構に閉動作を行わせた後に電
動開閉駆動手段を開方向に駆動して閉動作の速度を減速
し、この減速工程後に電動開閉駆動手段をクランプ電流
値で駆動してワイヤを所定のクランプ荷重で挟み込むこ
とにより、クランプ動作全体のタクトタイムの遅延を招
くことなくクランプ時のワイヤへの衝撃を緩和すること
ができる。
動開閉駆動手段を所定のクランプ荷重に相当するクラン
プ電流値よりも大きい駆動電流値で閉方向に駆動するこ
とによりクランプアーム機構に閉動作を行わせた後に電
動開閉駆動手段を開方向に駆動して閉動作の速度を減速
し、この減速工程後に電動開閉駆動手段をクランプ電流
値で駆動してワイヤを所定のクランプ荷重で挟み込むこ
とにより、クランプ動作全体のタクトタイムの遅延を招
くことなくクランプ時のワイヤへの衝撃を緩和すること
ができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のワイ
ヤボンディング装置の斜視図、図２（ａ）は本発明の一
実施の形態のワイヤボンディング装置のカットクランパ
の平面図、図２（ｂ）は本発明の一実施の形態のワイヤ
ボンディング装置のカットクランパの駆動特性を示すグ
ラフ、図３は本発明の一実施の形態のワイヤボンディン
グ装置のカットクランパの閉動作を示すグラフ、図４、
図５は本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装置
の動作説明図である。
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のワイ
ヤボンディング装置の斜視図、図２（ａ）は本発明の一
実施の形態のワイヤボンディング装置のカットクランパ
の平面図、図２（ｂ）は本発明の一実施の形態のワイヤ
ボンディング装置のカットクランパの駆動特性を示すグ
ラフ、図３は本発明の一実施の形態のワイヤボンディン
グ装置のカットクランパの閉動作を示すグラフ、図４、
図５は本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装置
の動作説明図である。
【０００９】まず、図１を参照してワイヤボンディング
装置の全体構造を説明する。基台１の上面には、基板２
が載置されている。基板２には、ワイヤボンディング対
象のチップ（半導体素子）３が搭載されている。チップ
３の周辺にはワイヤボンディング点である回路電極５が
多数形成されており、ワイヤボンディングにおいては、
ワイヤをボンディング対象面としてのチップ３の外部接
続用電極と回路電極５とにボンディングする。これによ
りチップ３は回路電極５と接続される。
装置の全体構造を説明する。基台１の上面には、基板２
が載置されている。基板２には、ワイヤボンディング対
象のチップ（半導体素子）３が搭載されている。チップ
３の周辺にはワイヤボンディング点である回路電極５が
多数形成されており、ワイヤボンディングにおいては、
ワイヤをボンディング対象面としてのチップ３の外部接
続用電極と回路電極５とにボンディングする。これによ
りチップ３は回路電極５と接続される。
【００１０】基板２上には押さえ板６が配設されてい
る。押さえ板６はシリンダ７のロッド７ａに連結されて
おり、ロッド７ａが引き込むと基板２は押さえ板６で押
さえつけられて固定される。基台１の側方には可動テー
ブル１０が設置されており、可動テーブル１０上には駆
動ボックス１１が設けられている。駆動ボックス１１か
らはホーン１２が前方へ延出しており、ホーン１２の先
端部にはキャピラリツール１３が保持されている。
る。押さえ板６はシリンダ７のロッド７ａに連結されて
おり、ロッド７ａが引き込むと基板２は押さえ板６で押
さえつけられて固定される。基台１の側方には可動テー
ブル１０が設置されており、可動テーブル１０上には駆
動ボックス１１が設けられている。駆動ボックス１１か
らはホーン１２が前方へ延出しており、ホーン１２の先
端部にはキャピラリツール１３が保持されている。
【００１１】キャピラリツール１３には、ワイヤボンデ
ィングに用いられるワイヤ１５が挿通する。ワイヤ１５
はスプール１４に卷回された状態で供給され、スプール
１４から繰り出されたワイヤ１５はテンション付与部１
７、カットクランパ１６を経てキャピラリツール１３に
挿通する。カットクランパ１６は開閉動作を行うことに
よりワイヤ１５をクランプして固定する。すなわち、カ
ットクランパ１６はワイヤを両側から挟み込むことによ
りクランプするワイヤクランプ機構を備えている。キャ
ピラリツール１３の下端部に近接して、トーチ１９が配
設されている。トーチ１９は、キャピラリツール１３の
下端部から突出したワイヤ１５との間でスパークを発生
させることにより、ワイヤ１５の下端部に金属のボール
を形成する。
ィングに用いられるワイヤ１５が挿通する。ワイヤ１５
はスプール１４に卷回された状態で供給され、スプール
１４から繰り出されたワイヤ１５はテンション付与部１
７、カットクランパ１６を経てキャピラリツール１３に
挿通する。カットクランパ１６は開閉動作を行うことに
よりワイヤ１５をクランプして固定する。すなわち、カ
ットクランパ１６はワイヤを両側から挟み込むことによ
りクランプするワイヤクランプ機構を備えている。キャ
ピラリツール１３の下端部に近接して、トーチ１９が配
設されている。トーチ１９は、キャピラリツール１３の
下端部から突出したワイヤ１５との間でスパークを発生
させることにより、ワイヤ１５の下端部に金属のボール
を形成する。
【００１２】Ｘ方向モータ１０ＸとＹ方向モータ１０Ｙ
が駆動して可動テーブル１０が作動すると、可動テーブ
ル１０上の駆動ボックス１１、ホーン１２、キャピラリ
ツール１３などはＸ方向やＹ方向へ水平移動する。ま
た、キャピラリツール１３は駆動ボックス１１内に収納
され図示しないＺ方向モータに駆動され上下動を行う。
が駆動して可動テーブル１０が作動すると、可動テーブ
ル１０上の駆動ボックス１１、ホーン１２、キャピラリ
ツール１３などはＸ方向やＹ方向へ水平移動する。ま
た、キャピラリツール１３は駆動ボックス１１内に収納
され図示しないＺ方向モータに駆動され上下動を行う。
【００１３】次に図２を参照してカットクランパ１６に
ついて説明する。図２（ａ）において、カットクランパ
１６は基部２０から第１アーム２１、第２アーム２２の
２つのアームを延出させた構成となっている。第１アー
ム２１は基部２０に固着されており、第２アーム２２は
基部２０にピン２３によってピン支持されている。第２
アーム２２の後端部２２ａには、カットクランパ１６の
電動開閉駆動手段であるＶＣＭ（ボイスコイルモータ）
を構成するコイル２５が固着されており、基部２０の後
端のブラケット２０ａにはステータ２４が固定されてい
る。
ついて説明する。図２（ａ）において、カットクランパ
１６は基部２０から第１アーム２１、第２アーム２２の
２つのアームを延出させた構成となっている。第１アー
ム２１は基部２０に固着されており、第２アーム２２は
基部２０にピン２３によってピン支持されている。第２
アーム２２の後端部２２ａには、カットクランパ１６の
電動開閉駆動手段であるＶＣＭ（ボイスコイルモータ）
を構成するコイル２５が固着されており、基部２０の後
端のブラケット２０ａにはステータ２４が固定されてい
る。
【００１４】コイル２５はＶＣＭ駆動部２７に接続され
ており、制御部２８によってＶＣＭ駆動部２７を制御す
ることにより、コイル２５への給電を制御してカットク
ランパ１６の開閉動作を制御することができる。第１ア
ーム２１と第２アーム２２はピン２３の後側において圧
縮スプリング２６によって相互に付勢されており、コイ
ル２５が通電状態にない無駆動時には、第１アーム２１
と第２アーム２２の先端部は閉状態にある。
ており、制御部２８によってＶＣＭ駆動部２７を制御す
ることにより、コイル２５への給電を制御してカットク
ランパ１６の開閉動作を制御することができる。第１ア
ーム２１と第２アーム２２はピン２３の後側において圧
縮スプリング２６によって相互に付勢されており、コイ
ル２５が通電状態にない無駆動時には、第１アーム２１
と第２アーム２２の先端部は閉状態にある。
【００１５】図２（ｂ）はＶＣＭコイル２５の駆動電流
を制御することによるカットクランパ１６の開閉駆動特
性、すなわち横軸の電流値Ｉと第１アーム２１、第２ア
ーム２２の先端部によってワイヤをクランプするクラン
プ荷重ｆとの関係を示している。ここで電流値が０の状
態では、圧縮スプリング２６の付勢力による閉荷重ｆ０
で第１アーム２１、第２アーム２２が閉じる。Ｉ１，Ｉ
２はそれぞれ規定クランプ荷重、最大クランプ荷重ｆ
１，ｆ２に対応する電流値である。またｆ３は、カット
クランパ１６が開状態にあるときの（−）のクランプ荷
重であり、この荷重にはＩ３が対応している。
を制御することによるカットクランパ１６の開閉駆動特
性、すなわち横軸の電流値Ｉと第１アーム２１、第２ア
ーム２２の先端部によってワイヤをクランプするクラン
プ荷重ｆとの関係を示している。ここで電流値が０の状
態では、圧縮スプリング２６の付勢力による閉荷重ｆ０
で第１アーム２１、第２アーム２２が閉じる。Ｉ１，Ｉ
２はそれぞれ規定クランプ荷重、最大クランプ荷重ｆ
１，ｆ２に対応する電流値である。またｆ３は、カット
クランパ１６が開状態にあるときの（−）のクランプ荷
重であり、この荷重にはＩ３が対応している。
【００１６】次に図３を参照して、カットクランパ１６
のクランプ動作について説明する。図３（ａ）はカット
クランパ１６に閉動作を行わせる際のコイル２５の設定
電流値の時間的変化をグラフで示すものであり、図３
（ｂ）はこの閉動作における第１アーム２１、第２アー
ム２２の先端部のギャップＧの変化を示している。まず
タイミングｔ０においては、コイル２５には開状態に対
応する（−）方向の電流値Ｉ３が供給されており、カッ
トクランパ１６は開状態にある。そしてタイミングｔ１
において制御部２８によって閉動作が指令される。この
とき、まずタイミングｔ１から所定の時間Ｔ１の間、正
規のクランプ荷重ｆ１より大きいクランプ荷重ｆ２に対
応する電流値Ｉ２でコイル２５に給電し、カットクラン
パ１６に閉動作を行わせる（第１閉工程）。
のクランプ動作について説明する。図３（ａ）はカット
クランパ１６に閉動作を行わせる際のコイル２５の設定
電流値の時間的変化をグラフで示すものであり、図３
（ｂ）はこの閉動作における第１アーム２１、第２アー
ム２２の先端部のギャップＧの変化を示している。まず
タイミングｔ０においては、コイル２５には開状態に対
応する（−）方向の電流値Ｉ３が供給されており、カッ
トクランパ１６は開状態にある。そしてタイミングｔ１
において制御部２８によって閉動作が指令される。この
とき、まずタイミングｔ１から所定の時間Ｔ１の間、正
規のクランプ荷重ｆ１より大きいクランプ荷重ｆ２に対
応する電流値Ｉ２でコイル２５に給電し、カットクラン
パ１６に閉動作を行わせる（第１閉工程）。
【００１７】次いでタイミングｔ２にてこの第１閉工程
に引き続いて再び電流値Ｉ３でコイル２５に給電してコ
イル２５とステータ２４の相対動作を減速させる（減速
工程）。そしてこの後所定の減速時間Ｔ２が経過したタ
イミングｔ３において、正規クランプ荷重ｆ１に対応し
た電流値Ｉ１によってカットクランプ１６に閉動作を行
わせる（第２閉工程）。ここで、タイミングｔ３におい
て第１アーム２１と第２アーム２２とのギャップＧがほ
ぼ０となるよう、時間Ｔ１，Ｔ２および電流値Ｉ２が設
定される。これにより、高速クランプ動作が必要とされ
る場合において、アーム相互の衝突によるクランプ動作
の不安定や過大な閉荷重を作用させることによるワイヤ
へのダメージを生じることなく、迅速なクランプ動作を
行わせることができる。
に引き続いて再び電流値Ｉ３でコイル２５に給電してコ
イル２５とステータ２４の相対動作を減速させる（減速
工程）。そしてこの後所定の減速時間Ｔ２が経過したタ
イミングｔ３において、正規クランプ荷重ｆ１に対応し
た電流値Ｉ１によってカットクランプ１６に閉動作を行
わせる（第２閉工程）。ここで、タイミングｔ３におい
て第１アーム２１と第２アーム２２とのギャップＧがほ
ぼ０となるよう、時間Ｔ１，Ｔ２および電流値Ｉ２が設
定される。これにより、高速クランプ動作が必要とされ
る場合において、アーム相互の衝突によるクランプ動作
の不安定や過大な閉荷重を作用させることによるワイヤ
へのダメージを生じることなく、迅速なクランプ動作を
行わせることができる。
【００１８】このワイヤボンディング装置は上記の構成
より成り、以下その動作について図４、図５を参照して
説明する。なお、図４（ａ）〜（ｃ）および図５（ａ）
〜（ｃ）は、一連の動作を動作順に示している。図４
（ａ）は初期状態であって、この状態でキャピラリツー
ル１３の下端部からワイヤ１５を下方へ導出し、キャピ
ラリツール１３の上方のカットクランパ１６でワイヤ１
５をクランプしてワイヤ１５を固定している。１５’
は、前回のワイヤボンディング動作でチップ３と基板２
を接続したワイヤである。
より成り、以下その動作について図４、図５を参照して
説明する。なお、図４（ａ）〜（ｃ）および図５（ａ）
〜（ｃ）は、一連の動作を動作順に示している。図４
（ａ）は初期状態であって、この状態でキャピラリツー
ル１３の下端部からワイヤ１５を下方へ導出し、キャピ
ラリツール１３の上方のカットクランパ１６でワイヤ１
５をクランプしてワイヤ１５を固定している。１５’
は、前回のワイヤボンディング動作でチップ３と基板２
を接続したワイヤである。
【００１９】次に図４（ｂ）に示すように、ワイヤ１５
の下端部に接近したトーチ１９に高電圧を印加すること
により、ワイヤ１５の下端部とトーチ１９の先端部との
間に電気的スパークを発生させ、ワイヤ１５の下端部に
ボール２０を形成する。
の下端部に接近したトーチ１９に高電圧を印加すること
により、ワイヤ１５の下端部とトーチ１９の先端部との
間に電気的スパークを発生させ、ワイヤ１５の下端部に
ボール２０を形成する。
【００２０】次に図４（ｃ）で示すように、カットクラ
ンパ１６を開いてワイヤ１５のクランプ状態を解除する
とともに、キャピラリツール１３を下降させてボール２
０をチップ３上面の外部接続用電極に押し付けてボンデ
ィングする。次いで図５（ａ）に示すように、キャピラ
リツール１３を上昇させ、最高点まで到達したならばカ
ットクランパ１６を閉じる。そしてこの状態でキャピラ
リツール１３を基板２の回路電極５の上方に移動させ、
キャピラリツール１３の下端部を所定の軌跡を描かせな
がら下降させワイヤ１５のループを形成させて、図５
（ｂ）に示すようにワイヤ１５を基板２の回路電極５に
押し付けてボンディングする。
ンパ１６を開いてワイヤ１５のクランプ状態を解除する
とともに、キャピラリツール１３を下降させてボール２
０をチップ３上面の外部接続用電極に押し付けてボンデ
ィングする。次いで図５（ａ）に示すように、キャピラ
リツール１３を上昇させ、最高点まで到達したならばカ
ットクランパ１６を閉じる。そしてこの状態でキャピラ
リツール１３を基板２の回路電極５の上方に移動させ、
キャピラリツール１３の下端部を所定の軌跡を描かせな
がら下降させワイヤ１５のループを形成させて、図５
（ｂ）に示すようにワイヤ１５を基板２の回路電極５に
押し付けてボンディングする。
【００２１】次にキャピラリツール１３を上昇させてカ
ットクランパ１６によってクランプされたワイヤ１５を
引き上げれば、ワイヤ１５はボンディング点ａでカット
される。これにより、１つのボンディング点でのボンデ
ィングが完了し、次いで同様のワイヤボンディング動作
が各ボンディング点について繰り返される。
ットクランパ１６によってクランプされたワイヤ１５を
引き上げれば、ワイヤ１５はボンディング点ａでカット
される。これにより、１つのボンディング点でのボンデ
ィングが完了し、次いで同様のワイヤボンディング動作
が各ボンディング点について繰り返される。
【００２２】上記ボンディング動作において、各ボンデ
ィング点毎にワイヤの切断動作が反復されるが、前述の
ように、本実施の形態のカットクランパ１６ではクラン
プ時のカットクランプ１６によるワイヤへの衝撃が緩和
され、ワイヤに対するダメージが防止されるので、ボン
ディング動作での不具合が減少し、効率のよいボンディ
ング動作を実現することができる。
ィング点毎にワイヤの切断動作が反復されるが、前述の
ように、本実施の形態のカットクランパ１６ではクラン
プ時のカットクランプ１６によるワイヤへの衝撃が緩和
され、ワイヤに対するダメージが防止されるので、ボン
ディング動作での不具合が減少し、効率のよいボンディ
ング動作を実現することができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、クランプ動作において
電動開閉駆動手段を所定のクランプ荷重に相当するクラ
ンプ電流値よりも大きい駆動電流値で閉方向に駆動する
ことによりクランプアーム機構に閉動作を行わせた後に
電動開閉駆動手段を開方向に駆動して閉動作の速度を減
速し、この減速工程後に電動開閉駆動手段をクランプ電
流値で駆動してワイヤを所定のクランプ荷重で挟み込む
ようにしたので、クランプ動作全体のタクトタイムの遅
延を招くことなくクランプ時のワイヤへの衝撃を緩和す
ることができる。
電動開閉駆動手段を所定のクランプ荷重に相当するクラ
ンプ電流値よりも大きい駆動電流値で閉方向に駆動する
ことによりクランプアーム機構に閉動作を行わせた後に
電動開閉駆動手段を開方向に駆動して閉動作の速度を減
速し、この減速工程後に電動開閉駆動手段をクランプ電
流値で駆動してワイヤを所定のクランプ荷重で挟み込む
ようにしたので、クランプ動作全体のタクトタイムの遅
延を招くことなくクランプ時のワイヤへの衝撃を緩和す
ることができる。
【図１】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の斜視図
置の斜視図
【図２】（ａ）本発明の一実施の形態のワイヤボンディ
ング装置のカットクランパの平面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装置
のカットクランパの駆動特性を示すグラフ
ング装置のカットクランパの平面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装置
のカットクランパの駆動特性を示すグラフ
【図３】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置のカットクランパの閉動作を示すグラフ
置のカットクランパの閉動作を示すグラフ
【図４】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の動作説明図
置の動作説明図
【図５】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の動作説明図
置の動作説明図
２ 基板 ３ チップ １３ キャピラリツール １５ ワイヤ １６ カットクランパ ２１ 第１アーム ２２ 第２アーム ２４ ステータ ２５ コイル ２７ ＶＣＭ駆動部 ２８ 制御部
Claims (1)
- 【請求項１】ワイヤをボンディング対象面にボンディン
グするワイヤボンディング装置においてキャピラリツー
ルに送給されるワイヤをクランプするワイヤクランプ機
構の制御方法であって、前記ワイヤを両側から挟み込む
クランプアーム機構を電動開閉駆動手段で開閉駆動する
ことにより前記ワイヤをクランプするクランプ動作にお
いて、前記電動開閉駆動手段を所定のクランプ荷重に相
当するクランプ電流値よりも大きい駆動電流値で閉方向
に駆動することによりクランプアーム機構に閉動作を行
わせる第１閉工程と、第１閉工程に引き続いて前記電動
開閉駆動手段を開方向に駆動することにより前記閉動作
の速度を減速する減速工程と、減速工程後に電動開閉駆
動手段を前記クランプ電流値で駆動してワイヤを所定の
クランプ荷重で挟み込む第２閉工程とを含むことを特徴
とするワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ
機構の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000355411A JP2002158254A (ja) | 2000-11-22 | 2000-11-22 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000355411A JP2002158254A (ja) | 2000-11-22 | 2000-11-22 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002158254A true JP2002158254A (ja) | 2002-05-31 |
Family
ID=18827826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000355411A Pending JP2002158254A (ja) | 2000-11-22 | 2000-11-22 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002158254A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104772417A (zh) * | 2014-01-15 | 2015-07-15 | 库利克和索夫工业公司 | 线材焊接操作中的短尾恢复技术 |
| CN108375998A (zh) * | 2018-03-15 | 2018-08-07 | 宁波尚进自动化科技有限公司 | 一种具有摩擦力的线夹开关状态控制方法及系统 |
| CN120749044A (zh) * | 2025-09-01 | 2025-10-03 | 众望金石(天津)自动化科技有限公司 | 一种键合机线夹 |
-
2000
- 2000-11-22 JP JP2000355411A patent/JP2002158254A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104772417A (zh) * | 2014-01-15 | 2015-07-15 | 库利克和索夫工业公司 | 线材焊接操作中的短尾恢复技术 |
| CN108375998A (zh) * | 2018-03-15 | 2018-08-07 | 宁波尚进自动化科技有限公司 | 一种具有摩擦力的线夹开关状态控制方法及系统 |
| CN108375998B (zh) * | 2018-03-15 | 2024-05-17 | 宁波尚进自动化科技有限公司 | 一种具有摩擦力的线夹开关状态控制方法及系统 |
| CN120749044A (zh) * | 2025-09-01 | 2025-10-03 | 众望金石(天津)自动化科技有限公司 | 一种键合机线夹 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040308 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040316 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040706 |