JP2002207443A - プラズマスイッチ型有機電界発光表示素子 - Google Patents
プラズマスイッチ型有機電界発光表示素子Info
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Abstract
界発光によって光を放つようにし、プラズマ放電現象を
スイッチ機能のみに使用することにより、160V以下
の低い駆動電圧によっても駆動を可能としたプラズマス
イッチ型有機電界発光表示素子を提供する。 【解決手段】 陰極層63、陰極層63上の電界発光層62、
及び電界発光層62上の陽極層58を有する電界発光部と、
電界発光層62に電圧を供給するために、陽極層58と電気
的に接続されるが、陰極層63とは断線された第1電圧供
給部と、プラズマが陰極層63に接触されるようにプラズ
マを発生するプラズマ発生部と、プラズマ発生部に電圧
を供給する第2電圧供給部とを備えており、発生したプ
ラズマによって陰極層63が第1電圧供給部と電気的に接
続されるように構成する。
Description
素子に関し、特に、プラズマスイッチによって駆動され
るプラズマスイッチ型有機電界発光表示素子(Plasma Sw
itched Organic Electroluminescent Display)に関す
る。
情報化社会の要求に応じて、電子ディスプレイの需要が
増加しており、要求されるディスプレイも多様になって
いる。このように多様化した情報化社会の要求を満足さ
せるために、電子ディスプレイ素子は、高精細化、大型
化、低コスト化、高性能化、薄型化、小型化などの特性
が要求されており、このために、既存の陰極線管(Catho
de Ray Tube:CRT)以外に新しい平板ディスプレイ(F
lat Panel Display:FPD) 素子が開発されている。
イには、液晶表示素子(Liquid Crystal Display:LC
D) 、電界発光表示素子(Electroluminescence Displa
y:ELD) 、プラズマディスプレイパネル(Plasma Dis
play Panel:PDP) 、電界放出表示素子(Field Emissi
on Display:FED) 、蛍光表示管(Vacuum Fluorescenc
eDisplay: VFD)及び発光ダイオード(Light Emittin
g Display:LED) などがある。
な受光形態の素子に比べて、応答速度が速く、自発発光
形態であるので輝度に優れ、構造が簡単かつ製造が容易
であり、軽量薄型の長所を有しているので、次世代平板
ディスプレイ素子として注目されている。電界発光表示
素子は、液晶表示素子のバックライト、携帯用端末器、
カーナビゲーションシステム、ノートブックコンピュー
タ及び壁掛け用テレビまでその用途が多様である。
る物質の種類によって、有機電界発光表示素子(Organic
Electroluminescent Display:OELD)と、無機電界
発光表示素子(Inorganic Electroluminescent Display:
IELD)とに分類される。無機電界発光表示素子は、
高い電界によって加速された電子の衝突を利用して発光
する素子であって、薄膜の厚さと駆動方式とに応じて、
交流薄膜電界発光表示素子、交流厚膜電界発光表示素子
及び直流厚膜電界発光表示素子等に分類される。一方、
有機電界発光表示素子は、電流の流れにより発光する素
子であって、発光層の有機物質に応じて、低分子有機電
界発光表示素子と高分子有機電界発光表示素子とに分類
され、低分子有機電界発光表示素子は、蛍光を利用する
低分子有機電界発光表示素子と燐光を利用する低分子有
機電界発光表示素子とに分類される。
来の有機電界発光表示素子の基本的な構成を説明するた
めの断面図である。図9に示すように、この有機電界発
光表示素子は、ガラス等の透明な前面基板11上にITO
(Indium Tin Oxide)またはIZO(Indium Zinc Oxide)
からなる透明な陽極層12、正孔輸送層13、電界発光層14
及び金属からなる陰極層15が順に積層された構造を有す
る。
ば、米国特許番号5,399,502 号及び米国特許番号5,807,
627 号に記載されている複合ポリマー(Conjugated poly
mer)の一種であるポリフェニレンビニレン(PPV)、
ポリチオフェン(Poly(thiophene)) 、ポリエチルヘキシ
ルオキシビニレン(Poly(2,5-dialkoxyphenylene-vinyle
ne) 、PDMeOPV)等の導電性高分子である。
物質を使用する従来の有機電界発光表示素子の基本的な
構成を説明するための断面図である。図10に示すよう
に、この有機電界発光表示素子は、ガラス等の透明な前
面基板21上にITOまたはIZOからなる透明な陽極層
22、正孔注入層23、正孔輸送層24、電界発光層25、電子
輸送層26及び金属からなる陰極層27が順に積層された構
造を有する。
層26は、有機電界発光表示素子の発光効率を増加させる
ための補助的機能を果たす。電界発光層25に用いられる
物質は、例えば、米国特許番号4,769,292 号及び米国特
許番号5,294,870 号に記載されているトリス(8- ヒドロ
キシキノリン) アルミニウム(Aluminum tris(8-hydroxy
quinoline)、Alq3)、ペリレン等である。
物質を使用する従来の有機電界発光表示素子の基本的な
構成を説明するための断面図である。図11に示すよう
に、この有機電界発光表示素子は、ガラス等の透明な前
面基板31上にITOまたはIZOからなる透明な陽極層
32、正孔注入層33、正孔輸送層34、電界発光層35、正孔
遮断層36、電子輸送層37及び金属からなる陰極層38が順
に積層された構造を有する。
36及び電子輸送層37は、有機電界発光表示素子の発光効
率を増加させるための補助的機能を果たす。電界発光層
35に用いられる物質は、例えば、米国特許番号6,097,14
9 号に記載されている2,3,7,8,12,12,17,18-オクタエチ
ル-21H、23H-ポルフィン白金(Platinum2,3,7,8,12,12,1
7,18-octaethyl-21H,23H-porphine platinum、PtOEP)、
イリジウム錯体(Iridium complex、ex)Ir(PPy)3)のよう
な燐光発光物質であり、正孔遮断層36に用いられる物質
は、例えば、バソクプロイン(BCP) 、カルバゾールビフ
ェニル(CBP) 、N,N'- ジフェニル-N,N'-ビス- α- ナフ
チルベンジジン(N,N'-diphenyl-N,N'-bis-alpha-napthy
lbenzidine、NPD)等である。
方式によって、能動型(active type) と受動型(passive
type)とに区分される。受動型有機電界発光表示素子
は、電流駆動方式であるので、パネルのサイズが増加す
ることにより、消費電力効率が低下して素子の信頼性が
落ちるという問題がある。このような問題を解決するた
めに、パネルの対角線が10インチ以上になる場合に
は、ポリシリコン薄膜トランジスタ(poly-Si thin film
transistor:Poly Si TFT) を駆動素子に利用する能
動型有機電界発光表示素子が使用されている。しかしな
がら、ポリシリコン薄膜トランジスタを駆動素子に使用
する場合には、素子の信頼性及び大面積化に困難さが多
く、その製造コストも高くなるという短所がある。
イとして、プラズマのメモリ機能を利用するプラズマデ
ィスプレイパネルが現在商用化段階にある。プラズマデ
ィスプレイパネルは、特に、有機電界発光表示素子及び
ポリシリコン薄膜トランジスタに比べて大面積に好適な
表示素子であって、42インチ以上が具現可能である。
ネルの画素領域の上板部及び下板部の分離斜視図であっ
て、米国特許番号5,420,602 号、米国特許番号5,661,50
0 号及び米国特許番号5,674,553 号に記載された一般的
な交流型プラズマディスプレイパネルである3電極面放
電プラズマディスプレイパネルの画素領域の構造を示し
ている。図13は、図12をA−A′及びB−B′で切
断した断面図であって、図12の上板部及び下板部が結
合された後のプラズマディスプレイパネルの断面を示し
ており、理解を容易にするために、上板部を90度回転
して示している。
は、画像の表示面であるガラスのような透明な板状の前
面基板41と、背面基板42の対向面として一定間隔に2個
の電極X、Yを一対として形成された複数の透明な維持
電極47と、複数の維持電極47上に形成された維持電極47
の抵抗を減らすための複数の補助維持電極48と、複数の
維持電極47及び複数の補助維持電極48の上面の画面領域
前面に形成されて放電電流を制限する透明誘電層49と、
透明誘電層49上に形成されて、透明誘電層49をプラズマ
エッチングから保護してプラズマが容易に起きるよう
に、2次電子放出係数が大きいMgO等により蒸着され
た保護層50とを有する。
した背面基板42と、複数の維持電極47と直交し複数の放
電空間を形成させるストライプ状の複数の隔壁43と、複
数の隔壁43間に複数の維持電極47と直交して形成された
複数のアドレス電極44と、複数のアドレス電極44上に複
数のアドレス電極44を保護して蛍光層46で発生する光を
反射するために画素領域前面を覆うようにした白色誘電
層45と、複数の放電空間を形成する複数の隔壁43の側面
及び白色誘電層45上に形成されてプラズマ放電時に可視
光線を放出する蛍光層46とを有する。隔壁43は、下部隔
壁43A と上部ブラック隔壁43B とから構成されている。
Aプラズマ放電のために用いられる気体は、He、N
e、Ar、Xe、Kr、Rnのような不活性気体、また
はHgなどが用いられており、一般的に、Ne−Xe及
びNe−Xe−Arの混合ガスをプラズマ放電空間に大
気圧以下の圧力で注入している。
プラズマディスプレイパネルにおける任意のセルの画面
表示過程について述べる。画面表示過程は、画素領域の
全面放電及び全面消去を行う初期化期間と、表示データ
によって選択的に放電を起こすアドレス期間と、アドレ
ス期間で点灯したセルに対して維持放電を行う維持放電
期間とに大きく区分される。
ル全面を均一かつ一定に初期化させるために、画素領域
全面を放電させ、形成された壁電荷を削除するための削
除期間を含む。画素領域の全面を放電させるためには、
2個の電極を一対とする維持電極47のX電極とY電極と
に150〜300Vの初期化電圧を印加する。上記のよ
うに放電が形成された放電空間には、壁電荷と荷電粒子
とが存在する。このように形成された壁電荷と荷電粒子
とを削除するために、放電が起きない程度の低い削除電
圧をX電極とY電極とに印加して初期化期間を完了す
る。なお、初期化電圧のような大きさの電圧を放電が起
きない程度に短期間だけ印加して、壁電荷と荷電粒子と
を削除しても良い。
スのアドレスパルスを順次的に印加し、このアドレスパ
ルスと同期して表示データによって、Y電極にマイナス
のスキャンパルスを選択的に印加する。このスキャンパ
ルスは、表示データが存在する画素領域のみに印加し、
表示データがない画素領域には印加しない。その結果、
上記のアドレスパルスとスキャンパルスとを同時に印加
したセルにおいては放電が発生する。その結果、点灯し
たセルには壁電荷が蓄積される。
互に維持放電パルスを印加することによって、上記の壁
電荷が蓄積されたセルに対して数回ないし数十回の複数
回の維持放電を発生させる。この維持放電の回数によっ
てセルの輝度が制御される。維持電圧は、アドレス期間
において選択されないセルでは放電が起きず、選択され
たセルでは放電が起きるように放電電圧と放電時間とを
適用すべきである。
面放電プラズマディスプレイパネルは、プラズマ放電時
に発生する真空紫外線によって無機蛍光体を励起させ、
無機蛍光体から出てくる光を利用するものであって、無
機蛍光体の残光時間が数〜数十msであるので、動画像
具現時に残像効果を示し、効率が31m/W以下と低
く、駆動電圧が180V以上と非常に高いので駆動IC
のコストが非常に高いという短所がある。
であり、数〜数十ns以下の残光時間を有する有機電界
発光によって光を放つようにし、プラズマ放電現象をス
イッチ機能のみに利用することによって、160V以下
の低い駆動電圧であっても駆動が可能となるようにした
プラズマスイッチ型有機電界発光表示素子を提供するこ
とを目的とする。
イパネルの一般的な製造工程と有機電界発光表示素子の
製造工程とを使用することによって、工程が単純かつ容
易であって、駆動電圧を下げてより安価の駆動ICを使
用するようにして、製造コストが低減され、大面積化が
容易となるようにした能動型のプラズマスイッチ型有機
電界発光表示素子を提供することにある。
イッチ型有機電界発光表示素子は、陰極層、該陰極層上
の電界発光層、及び該電界発光層上の陽極層を有する電
界発光部と、前記電界発光層へ電圧を供給すべく前記陽
極層と電気的に接続され、前記陰極層とは電気的に接続
されていない第1電圧供給部と、前記陰極層に接触され
るようにプラズマを発生するプラズマ発生部と、該プラ
ズマ発生部に電圧を供給して前記プラズマを発生させる
第2電圧供給部とを備えており、発生させた前記プラズ
マによって前記陰極層が前記第1電圧供給部と電気的に
接続されるようにしたことを特徴とする。
って前記陰極層と前記第1電圧供給部とを電気的に接続
させるために、前記プラズマ発生部と前記第1電圧供給
部との間にアドレス電極を更に備えることが好ましい。
によって、前記第1電圧供給部からの電圧を前記アドレ
ス電極を介して前記陰極層へ供給するように構成するこ
とが好ましい。
ィング電極にて構成することが好ましい。
質、蛍光を利用する低分子有機電界発光物質、燐光を利
用する有機電界発光物質、及び、無機電界発光物質のう
ちの何れか一つを使用して、前記電界発光層を形成する
ことが好ましい。
発光表示素子は、第1基板と、隣合った二つの電極によ
って複数の電極対夫々をなすように前記第1基板上に並
設された複数の維持電極と、該複数の維持電極を覆うよ
うに前記第1基板上に形成された誘電層と、複数の列及
び行を構成する複数の画素領域を定義し、一つの前記列
または前記行に前記維持電極の一つの電極対が位置する
ように、前記誘電層上に形成された複数の隔壁とを有す
る第1板部、並びに、第2基板と、所定間隔離隔されて
前記複数の維持電極と直交するように、前記第2基板上
に配列された複数のアドレス電極と、該複数のアドレス
電極間に位置するように、前記第2基板上に配列された
複数の陽極層と、該複数の陽極層の所定部分を露出させ
る複数の陽極層開口部を含み、前記第2基板上に形成さ
れた内部絶縁分離層と、前記複数の陽極層開口部を介し
て露出された前記複数の陽極層と接触し、前記複数の画
素領域内の前記内部絶縁分離層上に形成された複数の電
界発光層と、該複数の電界発光層上に形成された複数の
陰極層とを有する第2板部を備えることを特徴とする。
電層上にMgOからなる保護層を形成することが好まし
い。
たはIZOにて構成することが好ましい。
部夫々を、露出される前記陽極層上部表面隅まで最大限
に拡張して、その開口率を増加させるようにすることが
好ましい。
ンクジェット法、ドライフィルムラミネート法、及び、
シャドウマスクを使用した真空蒸着法のうちの何れかに
よって前記電界発光層を形成することが好ましい。
発光層との間に正孔注入層及び正孔輸送層を積層形成
し、前記電界発光層上に正孔遮断層を形成し、該正孔遮
断層上に電子輸送層を形成することが好ましい。
対の間に対応する前記保護層上に前記維持電極と平行し
て、露出電極を形成することが好ましい。
記アドレス電極が形成されない前記陽極層の他側に位置
するように、前記第2基板上に互いに平行にして一つず
つ露出電極を形成することが好ましい。
は、前記複数のアドレス電極の所定部分を露出させる複
数のアドレス電極開口部を含んでいることが好ましい。
表示素子にあっては、アドレス期間で選択されたセルで
は壁電荷が蓄積されるため、第2電圧供給部からプラズ
マ発生部への電圧印加によってプラズマが発生し、その
発生したプラズマによって陰極層と第1電圧供給部とが
電気的に接続して、第1電圧供給部からの電圧印加によ
って電界発光層が発光する。一方、アドレス期間で選択
されないセルでは壁電荷が蓄積されないため、第2電圧
供給部から電圧を印加してもプラズマは発生せず、陰極
層と第1電圧供給部とが電気的にオフとなって、電界発
光層は発光しない。このように本発明にあっては、プラ
ズマ発生部でプラズマが発生したか否かによって電界発
光層の発光の有無を制御するため、言い換えると、プラ
ズマ放電現象をスイッチ機能にのみ利用して発光動作に
は使用しないので、低い駆動電圧によっても駆動が可能
となる。
表示素子にあっては、プラズマディスプレイパネルの一
般的な製造工程と有機電界発光表示素子の製造工程とを
組み合わせて製造することが可能であり、その製造工程
は単純かつ容易となり、また、駆動電圧が低いため安価
の駆動ICを使用できて製造コストは低減され、大面積
化も容易である。
の形態を添付の図面を参照しながら詳細に説明する。な
お、同じ参照符号は、同一機能を行う構成要素を示し、
繰り返しとなる説明は省略する。また、本発明で説明す
る実施の形態の詳細な要素材料及び技術は、前述した従
来の技術で用いられる材料及び技術を全て含む。
実施の形態に係るプラズマスイッチ型有機電界発光表示
素子を示す斜視図であり、図2は、図1をA−A′及び
B−B′で切断した断面図である。図1は、本発明の目
的を達成するための第1実施の形態に係るプラズマスイ
ッチ型有機電界発光表示素子の画素部分のみを示す斜視
図であって、図2では、説明のために、上板部110 を下
板部120 に対して90度回転させて示している。
素子は、図1及び図2に示すように、第1板部としての
下板部120 と第2板部としての上板部110 とから構成さ
れている。下板部120 は、背面基板52、維持電極54、誘
電層55、隔壁53及び保護層56を有する。一方、上板部11
0 は、前面基板51、アドレス電極57、陽極層58、内部絶
縁分離層59、陽極層接地孔60、アドレス電極接地孔61、
電界発光層62及び陰極層63を有する。
数十〜数百μm程度の間隔で互いに離隔され数百μm程
度の幅を有し、隣合った2個の電極X、Yを一対として
互いに平行なストライプ状を有するように、フォトリソ
グラフィ法により導電性金属をパターニングした複数の
維持電極54が形成されている。複数の維持電極54の露出
された表面を覆うように、背面基板52上に放電電流を制
限する誘電層55がスクリーン印刷法により数〜数十μm
程度の厚さに形成されている。
セルに広がらないように空間を制限し、一対からなる2
個の維持電極54が同じ放電空間に存在する構造を有する
格子状の隔壁53がスクリーン印刷法により10余り回繰
り返し印刷して数百μm程度の高さに形成されている。
そして、複数の隔壁53間に露出された誘電層55の上面に
は、誘電層55をプラズマエッチングから保護しプラズマ
が容易に起きるように、2次電子放出係数が大きいMg
O等でサブμm〜数μmの厚さに真空蒸着された保護層
56が形成されている。
下板部120 の複数の維持電極54と直交し互いに平行な複
数のストライプ状に導電性金属をフォトリソグラフィ法
によりパターンニングした複数のアドレス電極57が形成
されている。複数のアドレス電極57間の前面基板51の上
面には、ITO、IZO等の透明な導電性物質からなる
複数の陽極層58がストライプ状にアドレス電極57と平行
に配列形成されている。
板51の全面に、プラズマ放電時に出てくる光を遮断して
コントラスト比を高めることを目的として、絶縁性が高
く、黒色の物質からなる内部絶縁分離層59が形成されて
いる。そして、下板部120 の各放電空間に対応する内部
絶縁分離層59には、陽極層58及びアドレス電極57の一部
表面を夫々露出させるスルーホール形態の陽極層接地孔
60及びアドレス電極接地孔61が形成されている。
陽極層58上の陰極層63とが直接電気的に接続(短絡)さ
れることを防止するために、隔壁53で限定された各画素
領域に対応する陽極層58の縁を除外した中央部分に最大
限広い面積のスルーホール形態を有する。また、アドレ
ス電極接地孔61は、隔壁53で限定された各放電空間にア
ドレス電極57が一部分表れるように、陽極層接地孔60に
隣合って設けられており、陽極層接地孔60より小さい面
積のスルーホール形態を有するように形成されている。
なお、内部絶縁分離層59と陽極層接地孔60とアドレス電
極接地孔61とは、フォトリソグラフィ法により形成さ
れ、陽極層接地孔60とアドレス電極接地孔61とは、隔壁
53で分離された各放電空間に1個ずつ形成される。
上面には、陽極層接地孔60を完全に覆うことができる面
積を有する長方形状の複数の電界発光層62夫々が形成さ
れている。このような複数の電界発光層62の上面には、
真空蒸着方法により蒸着したアルミニウムなどの導電性
金属材料からなる複数の陰極層63夫々が形成されてい
る。この場合、電界発光層62は、高分子有機電界発光物
質、蛍光を利用する低分子有機電界発光物質、燐光を利
用する低分子有機電界発光物質、または、無機電界発光
物質により形成することができる。
孔61とが格子状の隔壁53間に一つずつ位置しながら一対
の維持電極54が一対一に互いに対向するように、上板部
110と下板部120 とが配置され、隔壁53間の各放電空間
に、Ne−Xe及びNe−Xe−Arの混合ガスを大気
圧以下の圧力、例えば、Ne(96%)−Xe(4%)
混合ガスを500Torrの圧力で注入してプラズマが
発生されるようにする。
を使用する場合に、インクジェット法またはスクリーン
印刷法により形成され、陽極層58上面全面に正孔輸送層
を更に形成し、電界発光層62をその正孔輸送層の上面に
位置することがより好ましい。また、電界発光層62は、
蛍光を利用する低分子有機電界発光物質を使用する場合
に、真空蒸着法により形成され、陽極層58と電界発光層
62との間に正孔注入層及び正孔輸送層を更に形成し、電
界発光層62と陰極層63との間には電子輸送層を更に形成
することが好ましい。また、電界発光層62は、燐光を利
用する低分子有機電界発光物質を使用する場合に、真空
蒸着法により形成され、陽極層58と電界発光層62との間
に正孔注入層及び正孔輸送層を介在させ、電界発光層62
と陰極層63との間には正孔遮断層及び電子輸送層を介在
させることが好ましい。
電界発光表示素子のプラズマ放電空間にプラズマが発生
した状態を説明するための断面図であり、図4は、本発
明のプラズマスイッチ型有機電界発光表示素子のプラズ
マ放電空間にプラズマが発生しない状態を説明するため
の断面図である。図3及び図4は、本発明に係るプラズ
マスイッチ型有機電界発光表示素子の概念を説明するた
めの概略図であって、理解のため上板部を90度回転さ
せて示している。
物質で構成される電界発光層62は、陽極層58と陰極層63
との間に介在される。プラズマが発生するプラズマ放電
空間64は、陰極層63、アドレス電極57、保護層56を取り
囲む隔壁53によって定義される。
の動作のために、3電極面放電型構造に一般的に適用さ
れる初期化期間とアドレス期間とを介して、アドレス期
間で選択されたセルには、保護層56に壁電荷が形成され
た状態で電源V1に維持電圧を印加すれば、プラズマ放
電空間64で、図3のようにプラズマが発生し、陰極層63
とアドレス電極57とは発生したプラズマによって電気的
に接続されて、電源V2によって電界発光層62が発光す
ることになる。しかし、アドレス期間で選択されないセ
ルには、保護層56に壁電荷が形成されないので、電源V
1に維持電圧を印加してもプラズマ放電空間64にプラズ
マが形成されないため、図4のように陰極層63とアドレ
ス電極57とがオフされて、電界発光層62は発光しなくな
る。従って、プラズマ放電空間64においてプラズマが発
生したか否かの如何が、電界発光層62の発光の有無を決
定するスイッチ的な機能を果たすことになる。
実施の形態に係るプラズマスイッチ型有機電界発光表示
素子を示す斜視図であり、図6は、図5をA−A′及び
B−B′で切断した断面図である。図5は、本発明の目
的を達成するための第2実施の形態に係るプラズマスイ
ッチ型有機電界発光表示素子の画素部分のみを示した斜
視図であって、図6では、上板部130 を下板部140 に対
して90度回転させて示している。
素子は、図5及び図6に示すように、第1板部としての
下板部140 と第2板部としての上板部130 とから構成さ
れている。下板部140 は、背面基板72、維持電極74、誘
電層75、隔壁73、保護層76及び露出電極85を有する。一
方、上板部130 は、前面基板71、アドレス電極77、陽極
層78、内部絶縁分離層79、陽極層接地孔80、電界発光層
82及び陰極層83を有する。
数十〜数百μm程度に互いに離隔されて数百μm程度の
幅を有し、隣合った2個の電極X、Yを一対として互い
に平行なストライプ状を有するように、フォトリソグラ
フィ法により導電性金属をパターンニングした複数の維
持電極74が形成されている。複数の維持電極74上には、
放電電流を制限するための誘電層75がスクリーン印刷法
により数〜数十μm程度の厚さを有するように形成され
ている。
に広がらないように空間を隔離させ、2個の維持電極74
からなる各維持電極対が同じ放電空間に存在する構造を
有するように複数の隔壁73がスクリーン印刷法により1
0余り回繰り返し印刷して数百μm程度の高さに形成さ
れている。複数の隔壁73間に露出された誘電層75上に
は、誘電層75をプラズマエッチングから保護しプラズマ
が容易に起きるように、2次電子放出係数が大きいMg
O等でサブμm〜数μmの厚さに真空蒸着された保護層
76が形成されている。
と重なる保護層76上には、維持電極74と平行に配列され
るストライプ状の複数の露出電極85がシャドウマスクを
使用する真空蒸着法により形成されている。前面基板71
上には、複数のアドレス電極77が、下板部140 の維持電
極74と直交するストライプ状の導電性金属をフォトリソ
グラフィ法によりパターンニングして形成されている。
は、ITOまたはIZOなどの透明な導電性物質からな
る複数の陽極層78がストライプ状に複数のアドレス電極
77と平行に配列形成されている。アドレス電極77と陽極
層78とを含む前面基板71の全面にはプラズマ放電時に出
てくる光を遮断してコントラスト比を高めることを目的
として絶縁性が高い黒色の物質からなる内部絶縁分離層
79が形成されている。そして、下板部140 の放電空間に
対応する内部絶縁分離層79内に、スルーホール形態の陽
極層接地孔80が形成されている。
陽極層78上の陰極層83とが直接電気的に接続(短絡)さ
れることを防止するために、隔壁73で限定された各画素
領域に対応する陽極層78の縁を除外した中央部分に最大
限広い面積を有するスルーホール形態に形成されてい
る。内部絶縁分離層79と陽極層接地孔80とは、フォトリ
ソグラフィ法により形成される。また、陽極層接地孔80
は、複数の隔壁73で隔離された各放電空間に1個ずつ位
置するように形成されている。
上面には陽極層接地孔80を十分に覆う面積を有する長方
形状の複数の電界発光層82が形成されている。そして、
複数の電界発光層82上には、真空蒸着法により蒸着した
アルミニウム等の導電性金属からなる複数の陰極層83が
形成されている。この場合、電界発光層82は、高分子有
機電界発光物質、蛍光を利用する低分子有機電界発光物
質、燐光を利用する低分子有機電界発光物質、または、
無機電界発光物質により形成することができる。
に一つずつ位置しながら一対の複数の維持電極74が一対
一に互いに対向するように、上板部130 と下板部140 と
が配置され、複数の隔壁73間の放電空間に、Ne−Xe
及びNe−Xe−Arの混合ガスを大気圧以下の圧力、
例えば、Ne(96%)−Xe(4%)混合ガスを50
0Torrの圧力で注入してプラズマを発生させること
になる。
を使用する場合に、インクジェット法またはスクリーン
印刷法により形成され、陽極層78の上面全面に正孔輸送
層を更に形成して、電界発光層82を正孔輸送層の上面に
位置することがより好ましい。また、電界発光層82は、
蛍光を利用する低分子有機電界発光物質を使用する場合
に、真空蒸着法により形成され、陽極層78と電界発光層
82との間に正孔注入層及び正孔輸送層を更に形成し、電
界発光層82と陰極層83との間には電子輸送層を更に形成
することが好ましい。また、電界発光層82は、燐光を利
用する低分子有機電界発光物質を使用する場合に、真空
蒸着法により形成され、陽極層78と電界発光層82との間
に正孔注入層及び正孔輸送層を介在させ、電界発光層82
と陰極層83との間には正孔遮断層及び電子輸送層を介在
させることが好ましい。
実施の形態に係るプラズマスイッチ型有機電界発光表示
素子を示す斜視図であり、図8は、図7をA−A′及び
B−B′で切断した断面図である。図7は、本発明の目
的を達成するための第3実施の形態に係るプラズマスイ
ッチ型有機電界発光表示素子の画素部分のみを示す斜視
図であって、図8は、説明のために上板部150 を下板部
160 に対して90度回転させた断面図である。
スイッチ型有機電界発光表示素子は、第1板部としての
下板部160 と第2板部としての上板部150 とから構成さ
れる。下板部160 は、背面基板92、維持電極94、誘電層
95、隔壁93及び保護層96を有する。一方、上板部150
は、前面基板91、アドレス電極97、陽極層98、内部絶縁
分離層99、陽極層接地孔100 、電界発光層102 、陰極層
103 及び露出電極105 を有する。
数十〜数百μm程度の間隔に離隔されて数百μm程度の
幅を有する2個の電極を一対とするストライプ状の複数
の維持電極94が導電性金属をフォトリソグラフィ法によ
りパターンニングして形成されている。複数の維持電極
94を覆うように、背面基板92上には、スクリーン印刷法
により数〜数十μm程度の厚さに放電電流を制限する誘
電層95が形成されている。
セルに広がらないように空間を制限し、一対をなす2個
の維持電極94が同じ放電空間に存在する構造を有するよ
うに、スクリーン印刷法により10余り回繰り返し印刷
して数百μm程度の高さを有する複数の格子状の隔壁93
が形成されている。複数の隔壁93間に露出された誘電層
95の上面には、誘電層95をプラズマエッチングから保護
しプラズマが容易に起きるように、2 次電子放出係数が
大きいMgOなどをサブμm〜数μmの厚さに真空蒸着
して保護層96が形成されている。
94と直交するように、複数のストライプ状に導電性金属
をフォトリソグラフィ法により形成した複数のアドレス
電極97及び複数の露出電極105 が互いに平行で交互に配
列形成されている。1個の放電空間に含まれるアドレス
電極97と露出電極105 との間には、ITOまたはIZO
等の透明な導電性物質からなる複数の陽極層98が、スト
ライプ状にアドレス電極97及び露出電極105 と平行に前
面基板91上に配列形成されている。
5 と陽極層98とを含む前面基板91上には、プラズマ放電
時に出てくる光を遮断してコントラスト比を高めること
を目的として、絶縁性が高く黒色の物質からなるストラ
イプ状を有する内部絶縁分離層99が形成されている。そ
して、下板部160 の放電空間に対応する内部絶縁分離層
99には、複数の陽極層98の表面を露出させるスルーホー
ル形態の複数の陽極層接地孔100 が形成されている。
と陽極層98上の陰極層103 とが直接電気的に接続(短
絡) されることを防止するために、複数の隔壁93で限定
された各画素領域(または放電空間)に対応する陽極層
98の縁を除外した中央部分を最大限露出させる広い面積
のスルーホール形態を有するように形成される。また、
内部絶縁分離層99及び陽極層接地孔100 は、フォトリソ
グラフィ法により形成される。そして、複数の陽極層接
地孔100 は、隔壁93で分離された各放電空間に1個ずつ
位置するように形成される。
の上面には、陽極層接地孔100 より若干大きい面積で形
成された長方形状の複数の電界発光層102 夫々が形成さ
れている。複数の電界発光層102 の上面には、真空蒸着
法により蒸着したアルミニウムなどの導電性金属からな
る複数の陰極層103 が形成されている。この場合、電界
発光層102 は、高分子有機電界発光物質、蛍光を利用す
る低分子有機電界発光物質、燐光を利用する低分子有機
電界発光物質、または、無機電界発光物質により形成す
ることができる。
レス電極97が格子状の隔壁93間に一つずつ位置しなが
ら、一対の維持電極94が一対一に互いに対向するよう
に、上板部150 と下板部160 とが配置され、隔壁93間の
放電空間に、Ne−Xe及びNe−Xe−Arの混合ガ
スを大気圧以下の圧力、例えば、Ne(96%)−Xe
(4%)混合ガスを500Torrの圧力で注入してプ
ラズマが発生される。
質を使用する場合に、インクジェット法またはスクリー
ン印刷法により形成され、陽極層98上面全面に正孔輸送
層を更に形成して、電界発光層102 がその正孔輸送層上
面に位置することがより好ましい。また、電界発光層10
2 は、蛍光を利用する低分子有機電界発光物質を使用す
る場合に、真空蒸着法により形成され、陽極層98と電界
発光層102 との間に正孔注入層及び正孔輸送層を更に形
成し、電界発光層102 と陰極層103 との間には電子輸送
層を更に形成することが好ましい。また、電界発光層10
2 は、燐光を利用する低分子有機電界発光物質を使用す
る場合に、真空蒸着法により形成され、陽極層98と電界
発光層102 との間に正孔注入層及び正孔輸送層を介在さ
せ、電界発光層102 と陰極層103 との間には、正孔遮断
層及び電子輸送層を介在させることが好ましい。
に限られるものではなく、本発明の趣旨から逸脱しない
範囲内で多様に変更実施することが可能である。
チ型有機電界発光表示素子では、プラズマスイッチを、
プラズマの発生によって多量の真空紫外線を作ることを
目的とせず、単にスイッチ機能のみを果たす駆動素子と
して使用することによって、既存のプラズマディスプレ
イパネルより非常に低い駆動電圧で駆動が可能であり、
有機電界発光表示素子を介して光を出すようにすること
によって、残像効果がない高効率の表示素子を製作でき
る。
界発光表示素子は、薄膜トランジスタを駆動素子として
使用する場合よりも製造工程が単純かつ容易であり、大
面積化が容易となる。
チ型有機電界発光表示素子を示す斜視図である。
施の形態の断面図である。
素子のプラズマ放電空間にプラズマが発生した状態を説
明するための断面図である。
素子のプラズマ放電空間にプラズマが発生しない状態を
説明するための断面図である。
チ型有機電界発光表示素子を示す斜視図である。
施の形態の断面図である。
チ型有機電界発光表示素子を示す斜視図である。
施の形態の断面図である。
発光表示素子の基本的な構成を説明するための断面図で
ある。
る従来の有機電界発光表示素子の基本的な構成を説明す
るための断面図である。
る従来の有機電界発光表示素子の基本的な構成を説明す
るための断面図である。
域の上板部及び下板部の分離斜視図である。
来のプラズマディスプレイパネルの断面図である。
Claims (14)
- 【請求項1】 陰極層、該陰極層上の電界発光層、及び
該電界発光層上の陽極層を有する電界発光部と、 前記電界発光層へ電圧を供給すべく前記陽極層と電気的
に接続され、前記陰極層とは電気的に接続されていない
第1電圧供給部と、 前記陰極層に接触されるようにプラズマを発生するプラ
ズマ発生部と、 該プラズマ発生部に電圧を供給して前記プラズマを発生
させる第2電圧供給部とを備えており、 発生させた前記プラズマによって前記陰極層が前記第1
電圧供給部と電気的に接続されるようにしたことを特徴
とするプラズマスイッチ型有機電界発光表示素子。 - 【請求項2】 前記プラズマ発生部と前記第1電圧供給
部との間にアドレス電極を更に備えることを特徴とする
請求項1に記載のプラズマスイッチ型有機電界発光表示
素子。 - 【請求項3】 発生した前記プラズマによって、前記第
1電圧供給部からの電圧が前記アドレス電極を介して前
記陰極層に供給されるようにしたことを特徴とする請求
項2に記載のプラズマスイッチ型有機電界発光表示素
子。 - 【請求項4】 前記陰極層は、フローティング電極から
構成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか
に記載のプラズマスイッチ型有機電界発光表示素子。 - 【請求項5】 前記電界発光層は、高分子有機電界発光
物質、蛍光を利用する低分子有機電界発光物質、燐光を
利用する有機電界発光物質、及び、無機電界発光物質の
うちの何れか一つから構成されていることを特徴とする
請求項1〜4の何れかに記載のプラズマスイッチ型有機
電界発光表示素子。 - 【請求項6】 第1基板と、隣合った二つの電極によっ
て複数の電極対夫々をなすように前記第1基板上に並設
された複数の維持電極と、該複数の維持電極を覆うよう
に前記第1基板上に形成された誘電層と、複数の列及び
行を構成する複数の画素領域を定義し、一つの前記列ま
たは前記行に前記維持電極の一つの電極対が位置するよ
うに、前記誘電層上に形成された複数の隔壁とを有する
第1板部、並びに、 第2基板と、所定間隔離隔されて前記複数の維持電極と
直交するように、前記第2基板上に配列された複数のア
ドレス電極と、該複数のアドレス電極間に位置するよう
に、前記第2基板上に配列された複数の陽極層と、該複
数の陽極層の所定部分を露出させる複数の陽極層開口部
を含み、前記第2基板上に形成された内部絶縁分離層
と、前記複数の陽極層開口部を介して露出された前記複
数の陽極層と接触し、前記複数の画素領域内の前記内部
絶縁分離層上に形成された複数の電界発光層と、該複数
の電界発光層上に形成された複数の陰極層とを有する第
2板部を備えることを特徴とするプラズマスイッチ型有
機電界発光表示素子。 - 【請求項7】 前記第1板部は、前記誘電層上に形成さ
れたMgOからなる保護層を更に有することを特徴とす
る請求項6に記載のプラズマスイッチ型有機電界発光表
示素子。 - 【請求項8】 前記陽極層は、ITOまたはIZOによ
り形成されていることを特徴とする請求項6または7に
記載のプラズマスイッチ型有機電界発光表示素子。 - 【請求項9】 前記複数の陽極層開口部夫々を、露出さ
れる前記陽極層上部表面隅まで最大限に拡張して、その
開口率を増加させるようにしたことを特徴とする請求項
6〜8の何れかに記載のプラズマスイッチ型有機電界発
光表示素子。 - 【請求項10】 前記電界発光層は、スクリーン印刷
法、インクジェット法、ドライフィルムラミネート法、
及び、シャドウマスクを使用した真空蒸着法のうちの何
れか一つにより形成されていることを特徴とする請求項
6〜9の何れかに記載のプラズマスイッチ型有機電界発
光表示素子。 - 【請求項11】 前記第2板部は、前記複数の陽極層と
前記複数の電界発光層との間に積層形成された複数の正
孔注入層及び複数の正孔輸送層と、前記複数の電界発光
層上に形成された複数の正孔遮断層と、該複数の正孔遮
断層上に形成された複数の電子輸送層とを更に有するこ
とを特徴とする請求項6〜10の何れかに記載のプラズ
マスイッチ型有機電界発光表示素子。 - 【請求項12】 前記第1板部は、前記維持電極の各電
極対の間に対応する前記保護層上に前記維持電極と平行
に夫々が形成された複数の露出電極を更に有することを
特徴とする請求項6〜11の何れかに記載のプラズマス
イッチ型有機電界発光表示素子。 - 【請求項13】 前記第2板部は、前記複数の隔壁間で
前記アドレス電極が形成されない前記陽極層の他側に位
置するように、前記第2基板上に互いに平行して一つず
つ形成された複数の露出電極を更に有することを特徴と
する請求項6〜12の何れかに記載のプラズマスイッチ
型有機電界発光表示素子。 - 【請求項14】 前記内部絶縁分離層は、前記複数のア
ドレス電極の所定部分を露出させる複数のアドレス電極
開口部を含んでいることを特徴とする請求項6〜13の
何れかに記載のプラズマスイッチ型有機電界発光表示素
子。
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