JP2002267904A

JP2002267904A - 光学素子の実装方法及び実装装置

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Publication number: JP2002267904A
Application number: JP2001068296A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Abe; 博之阿部
Original assignee: Beldex Corp
Current assignee: Beldex Corp
Priority date: 2001-03-12
Filing date: 2001-03-12
Publication date: 2002-09-18

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】レーザーダイオードなどの光学素子において
発光点などの基準点が在る平面状の端面を直接、ベース
に対して高精度に位置決めできる実装方法及び実装装置
を提供する。【解決手段】ベース２に対して干渉光学ユニット２０
（干渉光学系）を位置決めし、ベース２の真上にレーザ
ーダイオード１（光学素子）を仮位置決めする。その
後、ハロゲンランプ２１（光源）からのスペクトル光線
をビームスプリッタ２３によって二分し、一部の光線Ｌ
_ＸをＸ軸方向に沿ってレーザーダイオード前端面１ａに
送り、他の光線Ｌ_ＹをＹ軸方向に沿って反射鏡２４に送
り、これらレーザーダイオード１及び反射鏡２３からの
反射光を再びビームスプリッタ２３で合成する。この合
成光線により生じる干渉縞が、レーザーダイオード前端
面１ａの像の中央部に配されるように、レーザーダイオ
ード１を角度調節モータ１６によって角度調節するとと
もに移動機構１４によって位置調節する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えばレーザー
ダイオードなどの光学素子を光モジュールのベースに実
装する方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、レーザーダイオードは、直方体
形状をなし、光ファイバーなどの光伝送系を有する光モ
ジュールのベースに実装されている。レーザーダイオー
ドの一端面には、発光点が形成されている。この発光点
から出射されるレーザーの光軸を光伝送系と一致させる
必要があるため、レーザーダイオードの実装には、サブ
ミクロンオーダーの精度が要求される。そこで、例え
ば、レーザーダイオードとベースに、それぞれ十字形の
マーキングを施しておく。そして、透視カメラによって
両方のマーキングが一致するように位置決めし、接着し
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、透視カメラの
映像では、マーキングの認識精度に問題があり、位置決
め精度の向上が困難である。また、マーキング自体の位
置精度の問題もある。この発明は、上記事情に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、レーザー
ダイオードなどの光学素子において発光点などの光学上
の基準点が在る平面状の端面を直接、ベースに対して高
精度に位置決めできるようにすることにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、本発明の第１の特徴は、平面状の端面を有する光学
素子をベースに実装する方法に係る。あらかじめ、ビー
ムスプリッタと反射鏡を含む干渉光学系をベースに対し
て位置決めしておく。そして、上記光学素子をベースに
仮位置決めする。その後、上記ビームスプリッタによっ
てスペクトル光線を二分し、一部の光線を上記光学素子
の端面に送り、他の光線を上記反射鏡に送り、これら光
学素子及び反射鏡からの反射光を再び上記ビームスプリ
ッタで合成する。この合成光線により生じる複数本の干
渉縞が、上記光学素子の端面の像の中央部に配されるよ
うに、上記光学素子を上記一部の光線の光軸に沿って位
置調節する。次に、上記複数本の干渉縞のうち隣り合う
特定の干渉縞どうしの間隔が広がるとともにこれら特定
干渉縞の各々が太くなるように、上記光学素子を角度調
節及び位置調節する。

【０００５】本発明の第２の特徴では、上記第１の特徴
において、上記ベースが、上記光学素子の端面と面一を
なすべき端面を有している。そして、上記干渉光学系を
ベースに対して位置決めするに際して、上記ビームスプ
リッタによってスペクトル光線を二分し、一部の光線を
ベース端面に送り、他の光線を上記反射鏡に送り、これ
らベース及び反射鏡からの反射光を再び上記ビームスプ
リッタで合成し、この合成光線により生じる複数本の干
渉縞が、ベース端面の像の中央部に配されるように、上
記反射鏡を上記他の光線の光軸に沿って位置調節し、次
に、上記複数本の干渉縞のうち隣り合う特定の干渉縞ど
うしの間隔が広がるとともにこれら特定干渉縞の各々が
太くなるように、上記反射鏡を角度調節する。

【０００６】本発明の第３の特徴では、上記第２の特徴
において、上記光学素子の端面がベースの端面に対して
面一をなすのに代えて所定量だけずれて配されるべきも
のである。そして、上記干渉光学系のベースに対する位
置決めに続いて、上記干渉光学系を上記一部の光線の光
軸に沿って上記所定量だけずらしたうえで、上記光学素
子のベースに対する位置決めを行う。

【０００７】本発明の第４の特徴は、平面状の端面を有
する光学素子を、平面状の端面を有するベースに実装す
る装置に係る。この装置は、ベースをセットするための
セット部材と、干渉光学系を備えている。干渉光学系
は、スペクトル光線の光源と、ビームスプリッタと、反
射鏡を有している。上記ビームスプリッタは、上記光線
を二分し、一部の光線を観測対象に送り、他の光線を上
記反射鏡に送り、これら観測対象及び反射鏡からの反射
光を再び合成するようになっている。上記反射鏡は、上
記他の光線の光軸に沿って位置調節可能となるととも
に、角度調節可能となっている。これにより、上記観測
対象が上記セット部材にセットされたベースの端面であ
るとき、上記合成光線により生じる複数本の干渉縞がベ
ース端面の像の中央部に配されるように、上記反射鏡が
位置調節される。さらに、上記複数本の干渉縞のうち隣
り合う特定の干渉縞どうしの間隔が広がるとともにこれ
ら特定干渉縞の各々が太くなるように、上記反射鏡が角
度調節及び位置調節される。実装装置は、素子位置決め
手段を更に備えている。この素子位置決め手段は、上記
観測対象が光学素子の端面であるとき、上記干渉光学系
の合成光線により生じる複数本の干渉縞が、上記光学素
子の端面の像の中央部に配されるように、上記光学素子
を上記一部の光線の光軸に沿って位置調節し、さらに、
上記複数本の干渉縞のうち隣り合う特定の干渉縞どうし
の間隔が広がるとともにこれら特定干渉縞の各々が太く
なるように、上記光学素子を角度調節及び位置調節す
る。

【０００８】本発明の第５の特徴では、上記第４の特徴
の実装装置が、上記セット部材と上記干渉光学系との間
の距離を検出する距離検出手段と、上記距離検出値が一
定になるように上記干渉光学系を上記一部の光線の光軸
に沿って位置調節する干渉系位置調節手段とをさらに備
えている。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を、図
面を参照して説明する。図１は、レーザーダイオード１
（光学素子）の実装装置Ｍを示したものである。はじめ
に、レーザーダイオード１及びベース２について説明し
ておく。図１及び図２に示すように、レーザーダイオー
ド１は、例えば長さ０．７ｍｍ、幅０．３ｍｍ、厚さ
０．１ｍｍの直方体形状をなしている。このレーザーダ
イオード１の前端面１ａの中央部に、発光点が形成され
ている。ベース２は、レーザーダイオード１より大きな
直方体形状をなしている。このベース２の前端面２ａと
レーザーダイオード１の前端面１ａとが面一になるよう
にして、ベース２上にレーザーダイオード１が実装され
ることとなる。

【００１０】実装装置Ｍについて説明する。実装装置Ｍ
は、セット機構１０と、干渉光学ユニット２０（干渉光
学系）と、コントローラ３０とを備えている。セット機
構１０は、基台１１（図２）に設置されたセット治具１
２（セット部材）と、セットアーム１３とを有してい
る。セット治具１２には、ベース２の前端部を当てて位
置決めする係止部１２ａが設けられている。セットアー
ム１３は、アーム移動機構１４によって、レーザーダイ
オード１の貯蔵位置（図示せず）と、図１に示すセット
位置との間を移動可能になり、更に、セット位置におい
て前後（Ｘ軸方向）に微小移動可能になっている。セッ
トアーム１３の先端には、レーザーダイオード１を吸引
し保持する吸引ノズル１５が、軸心を垂直に向けて配さ
れている。吸引ノズル１５は、角度調節モータ１６によ
って上記垂直軸心周りに回転可能になっている。上記セ
ット位置において、吸引ノズル１５は、治具１２の真上
に配される。これにより、治具１２にセットされたベー
ス２の真上に、レーザーダイオード１が仮位置決めされ
ることになる。

【００１１】干渉光学ユニット２０は、上記基台１１に
設置されたハウジング２９を有している。ハウジング２
９は、ユニット移動機構２８によってＸ軸方向の位置を
微小調節可能になっている。

【００１２】ハウジング２９の内部に、スペクトル光線
を出すハロゲンランプ２１（光源）と、このランプ２１
からの光束を平行にするレンズ２２と、ビームスプリッ
タ２３と、入射光を全反射する反射鏡２４とが、左右
（Ｙ軸方向）に順次並んで収容されている。反射鏡２４
は、その垂直をなす中心軸２４ａの周りに角度調節可能
になるとともに、スライド機構２４ｂによってＹ軸方向
の位置を微小調節可能になっている。

【００１３】ビームスプリッタ２３は、Ｘ軸方向に沿っ
て上記セット治具１２ひいてはベース２及びレーザーダ
イオード１と対向する位置に配されている。仮位置決め
されたレーザーダイオード１とビームスプリッタ２３と
の間の距離と、反射鏡２４とビームスプリッタ２３との
間の距離は、可及的に等しくなるように設定されてい
る。本発明は、この仮位置決めされたレーザーダイオー
ド１を更に高精度に位置決めするものである。

【００１４】Ｘ軸方向に沿ってビームスプリッタ２３の
奥側のハウジング２９には、ＣＣＤ２５（撮像デバイ
ス）が収容されている。これらビームスプリッタ２３と
ＣＣＤ２５の間に、ビームスプリッタ２３からの光をＣ
ＣＤ２５に向けて収斂させ、結像させるレンズ２６が設
けられている。ＣＣＤ２５は、この結像した光を電気信
号に変換する。

【００１５】ビームスプリッタ２３とセット治具１２と
の間には、非接触距離センサ２７（距離検出手段）が配
されている。非接触距離センサ２７は、干渉光学ユニッ
ト２０のハウジング２９と一体に固定されており、例え
ば静電容量方式により当該センサ２７からセット治具１
２の前端面までの距離（ひいては干渉光学ユニット２０
とセット治具１２との間の距離）を検出する。なお、ビ
ームスプリッタ２３は、セット治具１２より若干高い位
置に配され、非接触距離センサ２７は、セット治具１２
と同一高さに配されている。

【００１６】コントローラ３０は、中央制御部３１と、
上記ＣＣＤ２５に接続された画像処理部３２とを有して
いる。画像処理部３２は、ＣＣＤ２５に入射した像を取
り込んで所定の画像処理を行うとともに、ビデオ端子３
６を介してＣＲＴ４０に表示する。

【００１７】中央制御部３１に、アーム駆動回路３３と
モータ駆動回路３４が接続されている。アーム駆動回路
３３は、アーム移動機構１４に接続されている。モータ
駆動回路３４は、ノズル１５の角度調節モータ１６に接
続されている。中央制御部３１は、駆動回路３３，３４
を介して移動機構１４とモータ１６を駆動し、ひいては
アーム１３とノズル１５を制御する。画像処理部３２、
中央制御部３１、駆動回路３３，３４、移動機構１４、
及びモータ１６によって、特許請求の範囲の「素子位置
決め手段」が構成されている。

【００１８】また、中央制御部３１に、上記非接触距離
センサ２７が接続されるとともに、ユニット駆動回路３
５が接続されている。ユニット駆動回路３５は、ユニッ
ト移動機構２８に接続されている。中央制御部３１は、
非接触距離センサ２７の出力に基づいて、ユニット駆動
回路３５を介してユニット移動機構２８を駆動し、ハウ
ジング２９のＸ軸方向の位置調節を行う。中央制御部３
１、駆動回路３５、及び移動機構２８によって、特許請
求の範囲の「干渉系位置調節手段」が構成されている。

【００１９】上記のように構成された実装装置Ｍによ
り、レーザーダイオード１をベース２に実装する方法を
説明する。まず、セット治具１２の係止部１２ａにベー
ス２を突き当て、セットする。次に、ハロゲンランプ２
１をオンし、スペクトル光線を出射させる。この光線
は、ビームスプリッタ２３で二分され、一部の光線Ｌ_Ｘ
は、直角に屈折して光軸がＸ軸方向を向き、ベース２の
前端面２ａへ送られ、この前端面２ａの像として反射さ
れる。他の光線Ｌ_Ｙは、直進して光軸がＹ軸方向を向
き、反射鏡２４へ送られ、全反射される。そして、これ
らベース２及び反射鏡２４からの反射光が、再びビーム
スプリッタ２３に入って合成される。

【００２０】この合成光が、ＣＣＤ２５に入射して電気
信号に変換され、コントローラ３０の画像処理部３２に
入力される。この入力情報の像が、ＣＲＴ４０に表示さ
れる。図３に、その表示画像の一例を示す。なお、説明
の都合上、画像にも実体と同一の符号を付すことにす
る。

【００２１】このＣＲＴ４０の表示画像を見ながら、反
射鏡２４のＹ軸方向の位置を微調節する。これによっ
て、図３（ａ）に示すように、ベース前端面２ａの像に
干渉縞Ｓ２が現われるようにする。この段階では、干渉
縞Ｓ２は、ベース前端面２ａの例えば左端部に多数本
（複数本）現われる。これら干渉縞Ｓ２は、上記一部の
光線Ｌ_Ｘと他の光線Ｌ_Ｙとの光路長の差によって生じる
ものであるが、光路長差が、殆どゼロになる箇所にしか
生じない。

【００２２】したがって、図３（ａ）の状態では、図４
（ａ）の実線で示すように、ビームスプリッタ２３から
ベース前端面２ａの左端部までの距離Ｌ１が、ビームス
プリッタ２３から反射鏡２４までの距離Ｌ２とほぼ一致
していることになる。一方、ビームスプリッタ２３から
ベース前端面２ａの他の部位までの距離は、反射鏡２４
までの距離との誤差が大きいことになる。すなわち、ベ
ース２がＸ，Ｙ軸に対して微小角度θだけ傾いているこ
とになる。なお、図面において角度θは誇張して示して
ある。

【００２３】そこで、図３（ｂ）に示すように、反射鏡
２４のＹ軸方向の位置を更に微調節することによって、
干渉縞Ｓ２をベース前端面２ａの幅方向の中央部に位置
させる。これによって、図４（ａ）の仮想線で示すよう
に、ビームスプリッタ２３からベース前端面２ａの中央
部までの距離Ｌ３が、反射鏡２４までの距離Ｌ４とほぼ
一致することになる。

【００２４】次に、多数本の干渉縞Ｓ２のうち真中に隣
り合う２つの干渉縞Ｓ２_Ｃを特定する。そして、図３
（ｃ）に示すように、これら特定干渉縞Ｓ２_Ｃどうしの
間隔が広くなるとともに、各縞Ｓ２_Ｃが太くなるよう
に、反射鏡２４の垂直軸心２４ａ周りの角度を微調節す
る。これによって、図４（ｂ）に示すように、反射鏡２
４が、ベース２とほぼ等しい角度θだけ傾くことにな
る。これによって、反射鏡２４ひいては干渉光学ユニッ
ト２０のベース２に対する位置決め工程が終了する。

【００２５】その後、コントローラ３０にレーザーダイ
オード１の自動実装モードを実行させる。これにより、
コントローラ３０が、アーム移動機構１４を操作し、セ
ットアーム１３を上記貯蔵位置に位置させる。そして、
吸引ノズル１５で１個のレーザーダイオード１をピック
アップし、図１のセット位置すなわちベース２の真上ま
で搬送し、仮位置決めする。（なお、図５に示すよう
に、この段階では、レーザーダイオード１とベース２と
の間に僅かな隙間が形成されている。）

【００２６】これによって、上記光線Ｌ_Ｘがレーザーダ
イオード前端面１ａにも当たる。そして、図５（ａ）、
及び図６（ａ）の実線に示すように、レーザーダイオー
ド前端面１ａにおいてビームスプリッタ２３からの距離
Ｌ５が、ビームスプリッタ２３から反射鏡２４までの距
離Ｌ６とほぼ一致する部位（例えば前端面１ａの左端
部）に、多数本（複数本）の干渉縞Ｓ１が現われる。こ
れら干渉縞Ｓ１が、画像処理部３２により認識される。
画像処理部３２は、これら干渉縞Ｓ１のうち真中に隣り
合う２つの干渉縞Ｓ１_Ｃを特定する。

【００２７】図５（ｂ）に示すように、コントローラ３
０は、上記特定干渉縞Ｓ１_Ｃがレーザーダイオード前端
面１ａの幅方向の中央部に来るように、アーム移動機構
１４によってセットアーム１３ひいてはレーザーダイオ
ード１のＸ軸方向の位置を微調節する。（なお、多数本
の干渉縞Ｓ１全体をレーザーダイオード前端面１ａの幅
方向の中央部に位置させた後、真中の干渉縞Ｓ１_Ｃを特
定してもよい。）これによって、図６（ａ）及び（ｂ）
の仮想線で示すように、ビームスプリッタ２３からレー
ザーダイオード前端面１ａの中心（すなわち発光点）ま
での距離Ｌ７が、反射鏡２４までの距離Ｌ８とほぼ一致
することになる。

【００２８】次に、図５（ｃ）に示すように、コントロ
ーラ３０は、特定干渉縞Ｓ１_Ｃどうしの間隔が広くなる
とともに各縞Ｓ１_Ｃが太くなるように、角度調節モータ
１６によって吸引ノズル１５ひいてはレーザーダイオー
ド１の角度を微調節する。このとき、アーム移動機構１
４を同期操作することによってレーザーダイオード１の
位置も微調節し、レーザーダイオード１をちょうど発光
点周りに回転させる。（２つの特定干渉縞Ｓ１_Ｃ間の中
心が、レーザーダイオード前端面１ａの幅方向の中心と
常に一致するようにする。）これによって、図６（ｂ）
の実線に示すように、レーザーダイオード１がベース２
と同じ傾き角度θになり、レーザーダイオード前端面１
ａがベース前端面２ａと面一になる。このようにして、
レーザーダイオード１において発光点が在る前端面１ａ
を、ベース２に対して直接、高精度に位置決めすること
ができる。

【００２９】このレーザーダイオード１の位置決め工程
と併行して、又は位置決め工程の後、ベース２を加熱手
段（図示せず）で加熱し、その上面に予め塗布しておい
たハンダを溶融する。そして、アーム移動機構１４によ
りセットアーム１３を下降させ、レーザーダイオード１
をベース２にハンダ付けする。これによって、レーザー
ダイオード１がベース２に実装される。

【００３０】その後、吸引ノズル１５をレーザーダイオ
ード１から解放し、一体となったレーザーダイオード１
及びベース２をセット治具１２から取り出す。そして、
新たなベース２をセット治具１２にセットする。この２
回目以降のベース２に対しては、上記反射鏡２４の位置
及び角度調節を改めて行う必要が無く、直ちにレーザー
ダイオード１の自動実装モードに移ることができる。

【００３１】このようにして、多数個のレーザーダイオ
ード１を連続的に実装していく。この過程で、温度変化
や振動などによってセット治具１２と干渉光学ユニット
２０との距離が微小変動することがある。この変動は、
非接触距離センサ２７によって観測することができる。
この非接触距離センサ２７の出力はコントローラ３０に
よって常時監視される。そして、距離の変動が起きた時
は、ユニット移動機構２８によって干渉光学ユニット２
０全体をＸ軸方向に微調節し、上記変動を相殺する。こ
れによって、温度変化や振動などの外乱に拘わらず、レ
ーザーダイオード１の位置決め精度を常に高く維持する
ことができる。

【００３２】ここまでは、レーザーダイオード１とベー
ス２の前端面１ａ，２ａどうしが面一の場合について説
明したが、図７に示すように、レーザーダイオード前端
面１ａをベース前端面２ａより所定量Ｄだけ突出させて
実装することも可能である。この場合には、ベース２に
対する反射鏡２４の位置及び角度調節後、ユニット移動
機構２７によって干渉ユニット２０全体をＸ軸方向に沿
ってベース２の逆側に所定量Ｄだけ移動させる。以後、
上記面一の場合と同様にして、レーザーダイオード１の
自動実装を行う。すなわち、レーザーダイオード前端面
１ａの干渉縞Ｓ１が図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に
なるように調節する。これによって、レーザーダイオー
ド１をベース２から所定量Ｄだけ突出させて位置決めす
ることができる。

【００３３】同様に、反射鏡２４の位置及び角度調節
後、干渉ユニット２０全体をＸ軸方向に沿ってベース２
に向けて所定量だけ移動させたうえで、レーザーダイオ
ード１の自動実装を行うことにより、レーザーダイオー
ド前端面１ａがベース前端面２ａより上記所定量だけ後
退するようにして実装することができる。

【００３４】本発明は、上記実施形態に限定されず、種
々の形態を採用可能である。例えば、最初にベース２と
同一形状のマスタベースを治具１２にセットし、このマ
スタベースに対して反射鏡２４の位置及び角度調節を行
い、その後マスタベースを治具１２から外し、ベース２
をセットしてレーザーダイオード１の自動実装を行うこ
とにしてもよい。この場合、マスタベースの前端面を鏡
面にしておくことによって、干渉縞Ｓ２が確実に明瞭に
現われるようにすることができる。反射鏡２４の位置及
び角度調節をコントローラ３０で自動的に行うことにし
てもよい。この発明は、フォトダイオードなどの他の光
学素子の実装にも適用される。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１の特
徴によれば、光学素子端面の像に干渉縞を形成し、隣り
合う特定の干渉縞の間隔が広がるとともに各縞が太くな
るように調節することによって、光学素子において発光
点などの光学上の基準点が在る平面状の端面を直接、ベ
ースに対して高精度に位置決めすることができる。本発
明の第２の特徴によれば、ベースに対して干渉光学系を
高精度に位置決めできる。また、光学素子をベースと面
一になるようにして実装することができる。本発明の第
３の特徴によれば、光学素子とベースの端面どうしが所
定量だけずれるようにして実装することができる。本発
明の第４の特徴によれば、ベースに対して干渉光学系を
高精度に位置決めでき、かつ、光学素子をベースに高精
度に位置決めすることができる。本発明の第５の特徴に
よれば、光学素子の位置決め精度を温度変化や振動など
の外乱に拘わらず常に高く維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る実装装置を、レーザ
ーダイオードとベースの前端面どうしが面一になるよう
に実装された状態で示す概略構成図である。

【図２】図１のII−II線に沿う上記実装装置のセット機
構の側面図である。

【図３】上記実装装置のＣＲＴに表示された画像を示す
正面図であり、（ａ）は、ベースを治具にセットした段
階のものであり、（ｂ）は、反射鏡をＹ軸方向に位置調
節した段階のものであり、（ｃ）は、反射鏡を最終的に
位置及び角度調節した段階のものである。

【図４】ベース、ビームスプリット、及び反射鏡の位置
及び傾き関係を誇張して示す平面図であり、（ａ）の実
線は、ベースを治具にセットした段階のものであり、
（ａ）の仮想線は、反射鏡をＹ軸方向に位置調節した段
階のものであり、（ｂ）は、反射鏡を最終的に位置及び
角度調節した段階のものである。

【図５】上記実装装置のＣＲＴに表示された画像を示す
正面図であり、（ａ）は、レーザーダイオードをベース
上に仮位置決めした段階のものであり、（ｂ）は、レー
ザーダイオードをＸ軸方向に位置調節した段階のもので
あり、（ｃ）は、レーザーダイオードを最終的に位置及
び角度調節した段階のものである。

【図６】レーザーダイオード、ベース、ビームスプリッ
ト、及び反射鏡の位置及び傾き関係を誇張して示す平面
図であり、（ａ）の実線は、レーザーダイオードをベー
ス上に仮位置決めした段階のものであり、（ａ）及び
（ｂ）の仮想線は、レーザーダイオードをＸ軸方向に位
置調節した段階のものであり、（ｂ）は、レーザーダイ
オードを最終的に位置及び角度調節した段階のものであ
る。

【図７】上記実装装置のセット機構を、レーザーダイオ
ードがベースから突出して実装された状態で示す側面図
である。

【符号の説明】

Ｍ実装装置Ｌ_Ｘ一部の光線Ｌ_Ｙ他の光線１レーザーダイオード１ａレーザーダイオード前端面２ベース２ａベース前端面１２セット治具（セット部材）２０干渉光学ユニット（干渉光学系）２２ハロゲンランプ（光源）２３ビームスプリッタ２４反射鏡２７非接触距離センサ（距離検出手段）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平面状の端面を有する光学素子をベース
に実装する方法であって、ビームスプリッタと反射鏡を
含む干渉光学系をベースに対して位置決めし、上記光学
素子をベースに仮位置決めした後、上記ビームスプリッ
タによってスペクトル光線を二分し、一部の光線を上記
光学素子の端面に送り、他の光線を上記反射鏡に送り、
これら光学素子及び反射鏡からの反射光を再び上記ビー
ムスプリッタで合成し、この合成光線により生じる複数
本の干渉縞が、上記光学素子の端面の像の中央部に配さ
れるように、上記光学素子を上記一部の光線の光軸に沿
って位置調節し、次に、上記複数本の干渉縞のうち隣り
合う特定の干渉縞どうしの間隔が広がるとともにこれら
特定干渉縞の各々が太くなるように、上記光学素子を角
度調節及び位置調節することを特徴とする光学素子の実
装方法。
【請求項２】上記ベースが、上記光学素子の端面と面
一をなすべき平面状の端面を有しており、上記干渉光学系のベースに対する位置決めに際して、上
記ビームスプリッタによってスペクトル光線を二分し、
一部の光線をベース端面に送り、他の光線を上記反射鏡
に送り、これらベース及び反射鏡からの反射光を再び上
記ビームスプリッタで合成し、この合成光線により生じ
る複数本の干渉縞が、ベース端面の像の中央部に配され
るように、上記反射鏡を上記他の光線の光軸に沿って位
置調節し、次に、上記複数本の干渉縞のうち隣り合う特
定の干渉縞どうしの間隔が広がるとともにこれら特定干
渉縞が太くなるように、上記反射鏡を角度調節及び位置
調節することを特徴とする請求項１に記載の光学素子の
実装方法。
【請求項３】上記光学素子の端面がベースの端面に対
して面一をなすのに代えて所定量だけずれて配されるべ
きものであり、上記干渉光学系のベースに対する位置決めに続いて、上
記干渉光学系を上記一部の光線の光軸に沿って上記所定
量だけずらしたうえで、上記光学素子のベースに対する
位置決めを行うことを特徴とする請求項２に記載の光学
素子の実装方法。
【請求項４】平面状の端面を有する光学素子を、平面
状の端面を有するベースに実装する装置であって、
（ａ）ベースをセットするためのセット部材と、（ｂ）
スペクトル光線の光源と、ビームスプリッタと、反射鏡
を有し、上記ビームスプリッタは、上記光線を二分し、一部の光
線を観測対象に送り、他の光線を上記反射鏡に送り、こ
れら観測対象及び反射鏡からの反射光を再び合成するよ
うになっており、上記反射鏡は、上記他の光線の光軸に沿って位置調節可
能となるとともに、角度調節可能となっており、これに
より、上記観測対象が上記セット部材にセットされたベ
ースの端面であるとき、上記合成光線により生じる複数
本の干渉縞がベース端面の像の中央部に配されるよう
に、上記反射鏡が位置調節され、さらに、上記複数本の
干渉縞のうち隣り合う特定の干渉縞どうしの間隔が広が
るとともにこれら特定干渉縞の各々が太くなるように、
上記反射鏡が角度調節及び位置調節される干渉光学系
と、（ｃ）上記観測対象が光学素子の端面であるとき、
上記干渉光学系の合成光線により生じる複数本の干渉縞
が、上記光学素子の端面の像の中央部に配されるよう
に、上記光学素子を上記一部の光線の光軸に沿って位置
調節し、さらに、上記複数本の干渉縞のうち隣り合う特
定の干渉縞どうしの間隔が広がるとともにこれら特定干
渉縞の各々が太くなるように、上記光学素子を角度調節
及び位置調節する素子位置決め手段とを備えたことを特
徴とする光学素子の実装装置。
【請求項５】上記セット部材と上記干渉光学系との間
の距離を検出する距離検出手段と、上記距離検出値が一
定になるように上記干渉光学系を上記一部の光線の光軸
に沿って位置調節する干渉系位置調節手段とを、さらに
備えたことを特徴とする請求項４に記載の光学素子の実
装装置。