JP2003003202A - Ｆｅ−Ｃｏ系軟磁性合金からなる高密度焼結体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高い磁束密度を有するＦｅ−Ｃｏ系軟磁性合金
からなる高密度焼結体を確実に得るための製造方法を提
案する。 【解決手段】Ｆｅ−３０〜７０wt％Ｃｏ系軟磁性合金か
らなる粉末を所定の形状に圧縮成形する第１成形工程Ｓ
１と、この工程Ｓ１で得られた第１成形体１を比較的低
温で焼結する第１焼結工程Ｓ２と、この工程Ｓ２で得ら
れた第１焼結体４を圧縮成形する第２成形工程Ｓ３と、
この工程Ｓ３で得られた第２成形体８を比較的高温で焼
結する第２焼結工程Ｓ４と、を含む、Ｆｅ−Ｃｏ系軟磁
性合金からなる高密度焼結体の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高い磁束密度を有
するＦｅ−Ｃｏ系軟磁性合金からなる高密度焼結体の製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、モータに使用するコアやソレノ
イドなどの磁性部品には、従来から純鉄やＦｅ−Ｃｏ系
の軟磁性合金が用いられている。このうち、純鉄は、飽
和磁束密度(Ｂ１００)が約１７ｋＧ程度に留まるため、
これより高い約２０ｋＧ程度の飽和磁束密度を得るに
は、Ｆｅ−Ｃｏ系軟磁性合金の溶製材が適用されてい
る。例えば、Ｆｅ−３０wt％Ｃｏ−２wt％Ｖからなる溶
製材(密度：８．２Ｍｇ／ｍ^３)の場合、２０．５ｋＧの
飽和磁束密度(Ｂ１００)が得られる。

【０００３】しかしながら、上記のＦｅ−Ｃｏ系軟磁性
合金は、湯回りなどの鋳造性が低いため、小型で複雑な
形状の磁性部品を得にくい、という問題があった。以上
の問題を解決するため、Ｆｅ−Ｃｏ系軟磁性合金の粉末
をプレスで圧縮成形し且つ焼結して焼結体を得る方法が
考えられる。しかし、係るプレスおよび焼結工程からな
る一般的な粉末冶金プロセスにより得られるＦｅ−Ｃｏ
系軟磁性合金の焼結体では、飽和磁束密度(Ｂ１００)が
約１５〜１８ｋＧと低く、焼結後の相対密度も約８３〜
８８％と低いため、実用的な磁性部品が得られなかっ
た。

【０００４】

【発明が解決すべき課題】本発明は、以上に説明した従
来の技術における問題点を解決し、高い磁束密度を有す
るＦｅ−Ｃｏ系軟磁性合金からなる高密度焼結体を確実
に得るための製造方法を提案する、ことを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、Ｆｅ−Ｃｏ系軟磁性合金からなる粉末を成
形し且つ比較的低温で仮焼結した後に、再度成形および
焼結する、ことに着想して成されたものである。即ち、
本発明のＦｅ−Ｃｏ系軟磁性合金からなる高密度焼結体
の製造方法は、Ｆｅ−３０〜７０wt％Ｃｏ系軟磁性合金
からなる粉末を所定の形状に圧縮成形する第１成形工程
と、この工程で得られた第１成形体を比較的低温で焼結
する第１焼結工程と、この工程で得られた第１焼結体を
圧縮成形する第２成形工程と、この工程で得られた第２
成形体を比較的高温で焼結する第２焼結工程と、を含
む、ことを特徴とする。

【０００６】これによれば、第１成形工程および第１焼
結工程により、前記磁性合金からなる粉末を所定の形状
を有し且つポーラスな組織にした後、再度圧縮成形する
第２成形工程により最終製品の寸法に近似させると共
に、当該磁性合金本来の焼結温度で焼結する第２焼結工
程により、飽和磁束密度(Ｂ１００)が２０ｋＧで且つ相
対密度がほぼ９５％である高密度焼結体を確実に得るこ
とかできる。即ち、第１成形工程Ｓ１を行い、更に本来
の焼結温度よりも比較的低温の第１焼結工程を経た後
に、第２成形および第２焼結工程を行うため、最後に得
られる焼結体の密度を高められ、これに起因して磁束密
度を向上させることができたものである。尚、前記Ｆｅ
−Ｃｏ系軟磁性合金をＦｅ−３０〜７０wt％Ｃｏの組成
としたのは、Ｃｏが３０wt％未満では所要の飽和磁束密
度などの磁気特性が得られず、Ｃｏが７０wt％を越える
と上記磁気特性が飽和し且つコスト高になるためであ
る。

【０００７】また、前記Ｆｅ−３０〜７０wt％Ｃｏ系磁
性合金からなる粉末は、平均粒径約３０〜１５０μｍの
粉末：７０〜３０重量部と、平均粒径約１〜２０μｍの
微粉末：３０〜７０重量部とを含有している、Ｆｅ−Ｃ
ｏ系軟磁性合金からなる高密度焼結体の製造方法(請求
項２)も本発明に含まれる。これによれば、通常のアト
マイズ法により得られる平均粒径約３０〜１５０μｍの
粉末の周囲に、上記微粉末がほぼ均一に分布させた状態
で第１成形工程および第２成形工程を経るため、比較的
小さな圧縮力でも高い圧粉密度の成形体を確実に得るこ
とができる。従って、前記第１成形工程および第２成形
工程を効率良く行うことが可能となる。尚、微粉末の割
合が３０重量部(wt％)未満になると通常の粉末の周囲に
均一に分布しにくくなり、一方、微粉末の割合が７０重
量部(wt％)を越えるとその割合が過大になり圧縮成形が
困難化するため、上記範囲とした。また、微粉末の上記
粒径は、通常の微細化方法による上限界値〜下限界値の
範囲に相当している。

【０００８】更に、本発明には、前記第１焼結工程の焼
結温度は、前記第２焼結工程の焼結温度よりも２００〜
３００℃低い前記軟磁性合金の溶体化温度である、Ｆｅ
−Ｃｏ系軟磁性合金からなる高密度焼結体の製造方法
(請求項３)も含まれる。これによれば、第１成形工程に
より所定の形状に成形された第１成形体を溶体化温度域
に加熱して仮焼結することにより、ポーラスな組織とす
ることができるため、次の第２成形工程において寸法精
度の高い圧縮成形を行うことができると共に、第２焼結
工程で高い焼結密度にすることが一層確実となる。

【０００９】また、本発明には、前記第１焼結工程と前
記第２成形工程との間に、第１焼結工程で得られた前記
第１焼結体を急冷処理する工程を有する、Ｆｅ−Ｃｏ系
軟磁性合金からなる高密度焼結体の製造方法(請求項４)
も含まれる。これによれば、第１焼結工程の後に得られ
た第１焼結体の組織において、ＦｅおよびＣｏからなる
規則格子が析出する事態を抑制または防止できるため、
係る規則格子による組織の脆化に基づく割れや第２成形
工程における加工不良を確実に防止できる。尚、上記急
冷処理する工程には、例えば第１焼結工程の後における
焼結炉中に、窒素ガスなどの不活性ガスを強制循環する
ことにより、焼結体を急速に２００℃以下の温度域(例
えば、常温)に移行させるものが挙げられる。

【００１０】加えて、本発明には、前記第２成形工程
は、前記第１焼結体を予め切削加工して小体積化した加
工物に対して行われる、Ｆｅ−Ｃｏ系軟磁性合金からな
る高密度焼結体の製造方法(請求項５)も含まれる。これ
によれば、第１焼結工程後の第１焼結体に対し、刃物や
バイトによる切削加工を施すことにより、ポーラスな組
織に切り粉を進入させて、当該加工物の密度を高められ
ると共に、最終製品の寸法に予め近似した寸法に整形す
ることにより、直後の第２成形工程における成形精度を
一層向上させることが可能となる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下において本発明の実施に好適
な形態を図面と共に説明する。通常パーメンジュールと
称され、Ｆｅ−Ｃｏ系軟磁性合金であるＦｅ−４９wt％
Ｃｏ−２wt％Ｖの組成からなり、平均粒径が約７０μｍ
(３０〜１５０μｍ)の粉末：７０重量部、および、同じ
軟磁性合金からなり公知の方法で微細化された平均粒径
が約１０μｍ(１〜２０μｍ)の微粉末：３０重量部を、
公知のバインダと併せて均一に混合することにより、原
料粉末を形成する。上記原料粉末を、図示しないプレス
ダイのキャビティ中に充填し、係るキャビティ内にポン
チを９８０ＭＰａ(約１０ｔｏｎ／ｃｍ^２)の圧力で圧入
して圧縮成形することにより、図１(Ａ)に示す第１成形
工程Ｓ１を行う。

【００１２】その結果、図１(Ｂ)に示すように、例えば
直径ｄ：３０ミリ×高さｈ：１０ミリの扁平な円柱形を
呈する第１成形体(圧粉体)１が得られる。第１成形体１
の圧粉密度は、約６．８１Ｍｇ／ｍ^３(重量：約４９ｇ)
で且つ相対密度は約８３．０％であると共に、前記平均
粒径７０μｍの粉末の周囲に前記平均粒径１０μｍの微
粉末がほぼ均一に分布している。次に、図１(Ｃ)に示す
バッチ式の焼結炉２内に第１成形体１を装入し、真空中
またはアルゴンなどの不活性ガス雰囲気中において、１
０５０℃に加熱し且つ１〜３時間に渉り保持することに
より、図１(Ａ)に示す第１焼結工程Ｓ２を行う。

【００１３】その結果、図１(Ｃ)に示すように、前記各
寸法よりも僅かに小さくなった第１焼結体４が得られ
る。係る第１焼結体４の焼結密度は、約６．８７Ｍｇ／
ｍ^３(重量：約４８ｇ)であり、且つ相対密度は約８３．
８％である。尚、第１焼結工程Ｓ２の上記加熱温度は、
前記軟磁性合金の溶体化温度に相当すると共に、本来の
焼結温度(第２焼結工程Ｓ４)よりも２００〜３００℃低
く設定されている。次いで、図１(Ｃ)に示す焼結炉２内
に窒素ガスを強制的に吹き込み強制的に循環して、第１
焼結体４を２００℃以下に急冷処理する。この結果、Ｆ
ｅ−Ｃｏ系の規則格子が析出する事態を抑制または防止
できるため、係る規則格子による組織の脆化に基づく割
れや次述する第２成形工程での加工不良が予防可能とな
る。

【００１４】更に、第１焼結体４を例えば直線形または
円筒形の刃物やバイトにより切削加工することにより、
図１(Ｄ)に示すように、例えば直径ｄ：１１ミリ×高さ
ｈ：１０ミリの体積の小さな円柱形に縮径加工した加工
物６を得る。上記刃物などによる切削加工を施すことに
より、加工中に生じた切り粉がポーラスな組織内に進入
するため、当該加工物６の相対密度を約８４．３％に高
められると共に、最終製品の寸法に予め近似した寸法に
整形することができる。

【００１５】次に、上記加工物６を、図示しないプレス
ダイのキャビティ中に充填し、係るキャビティ内にポン
チを９８０ＭＰａの圧力で再度圧縮成形することによ
り、図１(Ａ)に示す第２成形工程Ｓ３を行う。その結
果、例えば直径ｄ：約１１ミリ×高さｈ：９．５ミリの
円筒形を呈する第２成形体(圧粉体)８が得られる。係る
第２成形体８の圧粉密度は、約７．１７Ｍｇ／ｍ^３(重
量：約７．２ｇ)で且つ相対密度は約８７．４％とな
り、前記第１焼結体４や加工物６よりも高くなる。そし
て、図１(Ｅ)に示すバッチ式の焼結炉７内に第２成形体
８を装入し、真空中またはアルゴンなどの不活性ガス雰
囲気中において、１３００℃に加熱し且つ１時間に渉り
保持することにより、図１(Ａ)に示す第２焼結工程Ｓ４
を行う。

【００１６】その結果、直径ｄ：約１１ミリ×高さｈ：
９．２ミリの寸法で円筒形を呈する図示しない第２焼結
体(高密度焼結体)が得られる。係る第２焼結体の焼結密
度は、約７．７８Ｍｇ／ｍ^３(重量：約６．８ｇ)で且つ
相対密度は約９５％という高密度となる。また、この第
２焼結体における飽和磁束密度(Ｂ１００)は、２０ｋＧ
超であり、同じ組成の軟磁性合金からなる溶製材と同等
の高い値が得られる。以上のような高い磁束密度を有す
る高密度焼結体の製造方法によれば、第１成形工程Ｓ１
と第１焼結工程Ｓ２により、前記軟磁性合金の粉末を所
定の形状を有し且つポーラスな組織にした後、再度圧縮
成形する第２成形工程Ｓ３により最終製品の寸法に近似
させると共に、当該軟磁性合金本来の焼結温度で焼結す
る第２焼結工程Ｓ４により、高い磁束密度の高密度焼結
体を確実に得ることかできる。

【００１７】即ち、第１成形工程Ｓ１を行って本来の焼
結温度よりも比較的低温の第１焼結(仮焼結)工程Ｓ２を
経た後に、第２成形工程Ｓ３および第２焼結工程Ｓ４を
行うため、最後に得られる第２焼結体の密度を高めら
れ、且つこれに起因して磁束密度を向上させることがで
きるものである。しかも、第１焼結工程Ｓ２の直後に急
冷処理を施すことにより、脆化現象を予防できる。更
に、得られた第１焼結体４を切削加工し小体積の加工物
６として密度および寸法精度を高めるので、それ以降の
第２成形工程Ｓ３の成形精度を高められる共に、第２焼
結工程Ｓ４において焼結密度が一層高められ、且つこれ
に起因して磁束密度を高めることができる。従って、以
上の製造方法によれば、高密度および高磁束密度を併有
し且つ各種の形状や寸法を精度良く有する磁性部品を確
実に提供することが可能となる。

【００１８】

【実施例】以下において、本発明の具体的な実施例を比
較例と併せて説明する。Ｆｅ−４９wt％Ｃｏ−２wt％Ｖ
の組成を有する軟磁性合金からなり平均粒径が約７０μ
ｍの粉末：６８重量部と、同じ軟磁性合金からなり公知
の方法で微細化された平均粒径が約１０μｍの微粉末：
３０重量部とを、公知のバインダ２重量部と併せて均一
に５組ずつ個別に混合することにより、実施例１〜３お
よび比較例１，２の原料粉末を得た。実施例１〜３の原
料粉末を、図示しないプレスダイのキャビティ中に個別
に充填し、係るキャビティ内にポンチを９８０ＭＰａの
圧力で圧入する圧縮成形を行うことにより、前記図１
(Ａ)に示した第１成形工程Ｓ１を行った。その結果、直
径ｄ：３０．１ミリ×高さｈ：１０．１ミリの扁平な円
柱形を呈する第１成形体(圧粉体)１が得られた。

【００１９】また、比較例１，２の原料粉末も、上記と
同じプレスで且つ同じ条件により圧縮成形を個別に行っ
た。係る第１成形工程Ｓ１後における実施例１〜３およ
び比較例１，２の第１成形体１の相対密度を表１に示
す。尚、実施例１〜３については、これらの相対密度の
平均値も併せて表１に示した。次に、実施例１〜３の第
１成形体１を、前記焼結炉２内に装入し、真空中におい
て、１０５０℃に加熱し且つ１時間にわたり保持する第
１焼結工程Ｓ２を行った。その結果、上記各寸法よりも
僅かに小さい第１焼結体４が得られた。これら実施例１
〜３の第１焼結体４の相対密度も表１に示した。尚、第
１焼結工程Ｓ２の終了と同時に、上記焼結炉２内に窒素
ガスを強制的に吹き込み且つ循環させて、実施例１〜３
の第１焼結体４を常温付近(２００℃以下)に急冷処理し
た。

【００２０】一方、比較例１，２の第１成形体１も、上
記焼結炉２内に装入し、真空中において、前記磁性合金
本来の焼結温度である１３００℃に加熱し且つ１時間に
わたり保持する焼結工程を行った。得られた比較例１，
２の焼結体の相対密度も表１中(第１焼結後の欄)に示し
た。尚、比較例１，２の以上のようなプロセスは、通常
のプレス−焼結法(粉末冶金プロセス)に基づくものであ
る。次いで、実施例１〜３の第１焼結体４を、直線形の
刃物により個別に切削加工することにより、直径ｄ：１
１．３ミリ×高さｈ：１０ミリの体積の小さな円筒形に
縮径加工して加工物６を得た。縮径加工後の実施例１〜
３の加工物６における相対密度も、表１に示した。

【００２１】更に、実施例１〜３の加工物６を、図示し
ないプレスダイのキャビティ中に個別に充填し、これら
のキャビティ内にポンチを９８０ＭＰａの圧力で圧入し
て再度圧縮成形する第２成形工程Ｓ３を行った。その結
果、直径ｄ：約１１．４ミリ×高さｈ：９．５ミリの円
筒形を呈する実施例１〜３の第２成形体(圧粉体)８が得
られた。これら実施例１〜３の第２成形体８の相対密度
は、表１に示す通り、前記第１焼結体４や縮径加工後の
加工物６よりも高くなった。そして、実施例１〜３の第
２成形体８を、前記焼結炉７内に個別に装入し、真空中
で１３００℃に加熱し１時間にわたり保持する第２焼結
工程Ｓ４を行った。その結果、得られた実施例１〜３の
第２焼結体の相対密度も、表１に示した。

【００２２】即ち、実施例１〜３の第２焼結体の相対密
度は、９４．８〜９５．０％の範囲(平均値：９４．９
％)であり、通常のプレス−焼結法による前記比較例
１，２の相対密度：９３．５％、９２．２％よりも約
１．５〜３％程度高くなった。これは、実施例１〜３に
適用した本発明の製造方法では、第１成形工程Ｓ１の後
に本来の焼結温度よりも比較的低温の第１焼結(仮焼結)
工程Ｓ２を行い、更に第２成形工程Ｓ３および第２焼結
工程Ｓ４を行うため、最後に得られた第２焼結体の密度
が高められたものと推定される。

【００２３】

【表１】

【００２４】次に、前記と同じ軟磁性合金の組成からな
る２種類の粒径の粉末を併用し、これに圧縮成形圧力が
６８６ＭＰａ(約７ｔｏｎ／ｃｍ^２)，９８０ＭＰａ(約
１０ｔｏｎ／ｃｍ^２)，１２７４ＭＰａ(約１３ｔｏｎ／
ｃｍ^２)の３種類の圧縮成形を個別に行う第１成形Ｓ
１、前記第１焼結Ｓ２、前記急冷処理、前記縮径加工、
上記３種類と同じ圧縮成形圧力で行う第２成形Ｓ３、お
よび前記第２焼結Ｓ４の各工程を行った。その結果、圧
縮成形圧力別に３種類の実施例の第２焼結体を得た。一
方、上記と同じ軟磁性合金の組成からなる粉末に、圧縮
成形圧力が６８６，９８０，１２７４ＭＰａの３種類の
圧縮成形を個別に行う第１成形工程Ｓ１後に、前記と同
じ１３００℃の焼結を行い、圧縮成形圧力別に３種類の
比較例の焼結体を得た。以上の３種類ずつの実施例の第
２焼結体および比較例の焼結体について、個別に飽和磁
束密度(Ｂ１００)を測定した。それらの結果を表２に示
す。

【００２５】

【表２】

【００２６】表２によれば、実施例の３種類の第２焼結
体は、約１９〜２１ｋＧであるのに対し、比較例の３種
類の焼結体は、約１５〜１８ｋＧであると共に、同じ圧
縮成形圧力の場合、実施例の方が比較例よりも約３ｋＧ
ほど高くなった。この結果は、本発明の製造方法が適用
された実施例の第２焼結体は、前述したように約９５％
の高い相対密度を有するため、これに応じて高い磁束密
度が得られた。これに対し、比較例の焼結体では、２種
類の粒径の粉末を併用したことにより、前記表１のよう
に相対密度が約９２〜９３％と、前述した従来の焼結体
における約８３〜８８％の相対密度よりも高くなった
が、実施例の相対密度よりも低いため、実施例よりも比
較的低い磁束密度に留まったことを示している。以上の
結果から、本発明による高密度焼結体の製造方法の効果
が裏付けられる共に、その優位性が容易に理解される。

【００２７】本発明は、以上に説明した実施の形態と実
施例とに限定されるものではない。例えば、前記Ｆｅ−
Ｃｏ系軟磁性合金には、Ｆｅ−３５wt％Ｃｏ−２wt％Ｖ
またはＦｅ−６０wt％Ｃｏなどの組成のものも含まれ
る。また、第２焼結工程Ｓ４における焼結温度は、概ね
１１００〜１３５０℃の範囲が推奨されると共に、第１
焼結工程Ｓ２における仮焼結温度は、概ね９００〜１１
００℃の範囲が推奨される。更に、第１焼結工程Ｓ１の
直後に行う前記急冷処理は、焼結炉内でアルゴンガスな
どの不活性ガスを強制的に吹き付け且つ循環する方法に
しても良い。尚、本発明の製造方法では、微粉末の添加
しない通常の粉末を用いたり、前記第１焼結工程Ｓ２後
の切削加工による縮径加工を省略することも可能であ
る。

【００２８】

【発明の効果】以上に説明した本発明におけるＦｅ−Ｃ
ｏ系軟磁性合金からなる高密度焼結体の製造方法(請求
項１)によれば、第１成形工程Ｓ１を行い、更に比較的
低温の第１焼結工程を経た後に、第２成形および第２焼
結工程を行うため、得られる焼結体の密度が高められ、
これに起因して磁束密度も向上する。また、請求項２の
製造方法によれば、通常粒径の粉末の周囲に、微粉末が
ほぼ均一に分布した状態で第１成形工程および第２成形
工程を経るため、比較的小さな圧縮力でも高い圧粉密度
の成形体を確実に得ることができる。更に、請求項３の
製造方法によれば、第１成形工程により所定の形状に成
形された成形体を溶体化温度域に加熱し焼結することに
より、ポーラスな組織とすることができるため、次の第
２成形工程において寸法精度の高い圧縮成形を行えると
共に、第２焼結工程で高い焼結密度にすることが一層確
実となる。

【００２９】また、請求項４の製造方法によれば、第１
焼結工程で得られた焼結体の組織中に、ＦｅおよびＣｏ
からなる規則格子が析出する事態を抑制または防止でき
るため、係る規則格子による組織の脆化に基づく割れや
第２成形工程での加工不良を確実に防ぐことができる。
加えて、請求項５の製造方法によれば、刃物などによる
切削加工により、生じる切り粉をポーラスな組織に進入
させて、当該加工物の密度を高められると共に、最終製
品の寸法に予め近似した寸法に整形できるため、直後の
第２成形工程における成形精度を一層向上させ得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】(Ａ)は本発明の製造方法を示すフローチャー
ト、(Ｂ)〜(Ｅ)は係る製造方法における主要の工程を示
す概略図。

【符号の説明】

Ｓ１…第１成形工程， Ｓ２…第１焼結工
程，Ｓ３…第２成形工程， Ｓ４…第２焼
結工程，１……第１成形体， ４……第
１焼結体，６……加工物， ８……
第２成形体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｆ 1/22 Ｈ０１Ｆ 1/22 41/02 41/02 Ｄ // Ｃ２２Ｃ 38/00 ３０３ Ｃ２２Ｃ 38/00 ３０３Ｓ 38/10 38/10 (72)発明者 洞田 亮 愛知県名古屋市港区竜宮町10番地 大同特 殊鋼株式会社築地工場内 (72)発明者 近藤 鉄也 愛知県名古屋市港区竜宮町10番地 大同特 殊鋼株式会社築地工場内 (72)発明者 植田 義久 東京都千代田区有楽町１丁目４番１号 日 本粉末合金株式会社内 Ｆターム(参考） 4K018 AA10 AA40 BA19 BB04 BD01 DA11 KA44 KA63 5E041 AA05 BD01 CA04 HB03 NN01

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】Ｆｅ−３０〜７０wt％Ｃｏ系軟磁性合金か
   らなる粉末を所定の形状に圧縮成形する第１成形工程
   と、 上記工程で得られた第１成形体を比較的低温で焼結する
   第１焼結工程と、 上記工程で得られた第１焼結体を圧縮成形する第２成形
   工程と、 上記工程で得られた第２成形体を比較的高温で焼結する
   第２焼結工程と、を含む、ことを特徴とするＦｅ−Ｃｏ系
   軟磁性合金からなる高密度焼結体の製造方法。
2. 【請求項２】前記Ｆｅ−３０〜７０wt％Ｃｏ系軟磁性合
   金からなる粉末は、平均粒径約３０〜１５０μｍの粉
   末：７０〜３０重量部と、平均粒径約１〜２０μｍの微
   粉末：３０〜７０重量部とを含有している、ことを特徴
   とする請求項１に記載のＦｅ−Ｃｏ系軟磁性合金からな
   る高密度焼結体の製造方法。
3. 【請求項３】前記第１焼結工程の焼結温度は、前記第２
   焼結工程の焼結温度よりも２００〜３００℃低い前記軟
   磁性合金の溶体化温度である、 ことを特徴とする請求項１または２に記載のＦｅ−Ｃｏ
   系軟磁性合金からなる高密度焼結体の製造方法。
4. 【請求項４】前記第１焼結工程と前記第２成形工程との
   間に、第１焼結工程で得られた前記第１焼結体を急冷処
   理する工程を有する、 ことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の
   Ｆｅ−Ｃｏ系軟磁性合金からなる高密度焼結体の製造方
   法。
5. 【請求項５】前記第２成形工程は、前記第１焼結体を予
   め切削加工して小体積化した加工物に対して行われる、
   ことを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の
   Ｆｅ−Ｃｏ系軟磁性合金からなる高密度焼結体の製造方
   法。