JP2003010761A - 塗工液の塗布方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吐出量の変動を抑えながら塗布対象物に対し
て連続的に塗工液を塗布することができる塗布方法を提
供する。 【解決手段】 着色剤Ｃ等の塗工液Ｃを蓄えたタンク４
に加圧された空気を導入する。その空気の圧力を利用し
てタンク４内の塗工液を塗布ヘッド５まで供給し、て該
塗布ヘッド５から塗工液を連続的に吐出させる。塗布ヘ
ッド５の吐出口５ａに対向して配置された塗布対象物と
してのフィルムＦを、塗布ヘッド５からの塗工液の吐出
方向を横切る方向に一定速度で送ることにより、フィル
ムＦに連続して均一な膜厚で塗工液を塗布する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタの
着色剤等の塗工液を高精度に塗布するための塗布方法及
び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ等のカラーフィルタに
着色層を形成する方法として、光硬化性の着色剤（着色
感剤とも呼ばれる。）をフィルタの基板に塗布し、フォ
トリソグラフィー法により所望のパターンの着色層を形
成する方法が知られている。

【０００３】また、フィルタの基板に着色剤を塗布する
装置としては、ポンプを使用した枚葉タイプの塗布装置
が知られている。枚葉タイプの塗布装置は、一枚ずつ送
られる基板に塗布ヘッドから一定量の塗工液を繰り返し
供給するものであり、塗布ヘッドに対する塗工液の供給
はポンプによって行われている。そのポンプには、プラ
ンジャポンプのような定容量吐出型のポンプが好適に使
用される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】フォトリソグラフィ法
を利用した着色方法に代わる次世代の着色方法として、
近年、レーザ転写法が検討されている（例えば特開平１
０−２０６６２５号公報、特開平７−１０４１１３号公
報参照）。レーザ転写法は、フィルム状の基材に予め熱
溶融型の着色剤を塗布しておき、そのフィルムにレーザ
ビームを当てて着色剤を溶融させることにより、フィル
タの基板に所望のパターンで着色剤を転写する方法であ
る。

【０００５】ところが、レーザ転写法を用いる場合、そ
の前提として、長尺のフィルムに均一に着色剤を塗布し
ておく必要がある。こうした長尺物へ着色剤を塗布する
方法としては、フィルムを一定速度で走行させ、その走
行中のフィルムに対して塗布ヘッドから連続的に着色剤
を吐出させる方法が検討されている。

【０００６】しかし、従来の塗布装置は、塗工液をポン
プによって塗布ヘッドに供給しているので、ギアポンプ
のような精密なポンプを使用したとしても、脈動により
塗工液の流量の変動が避けられない。塗布ヘッドに供給
される塗工液の流量が変動する場合には、フィルムに塗
布される塗工液の量にもばらつきが発生し、フィルム上
に塗布ムラ（塗布された着色剤の膜厚の不均一）が生じ
る。特にポンプの脈動の周波数が高い場合には、塗布ヘ
ッドからの吐出量が絶えず変化し、フィルム上にはその
走行方向と直交する方向に延びる筋状又は帯状の領域が
走行方向に沿って多数視認されるようになる。このよう
な塗布ムラが生じているフィルムをレーザ転写に使用し
た場合、カラーフィルタの着色層にも顕著なムラが生
じ、そのカラーフィルタを使用した液晶ディスプレイ等
の表示品質が損なわれる。

【０００７】そこで、本発明は、吐出量の変動を抑えな
がら塗布対象物に対して連続的に塗工液を塗布すること
ができる塗布方法及び塗布装置を提供することを目的と
する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以下、本発明について説
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものではない。

【０００９】本発明の塗布方法は、塗工液（Ｃ）を蓄え
たタンク（４）に加圧された空気を導入し、その空気の
圧力を利用して前記タンク内の塗工液を塗布ヘッド
（５）まで供給して該塗布ヘッドから前記塗工液を連続
的に吐出させる塗布方法により、上述した課題を解決す
る。

【００１０】この塗布方法によれば、加圧された空気の
圧力を利用して、タンクから塗布ヘッドまで塗工液を押
し出すようにしたので、タンクと塗布ヘッドとの間にポ
ンプを設ける必要がない。しかも、空気は塗工液に比し
て圧縮性が大きいので、タンク内に導かれる空気の圧力
に変動があったとしても、その変動が塗工液の流量に与
える影響は小さい。つまり、塗工液をポンプにて塗布ヘ
ッドに供給する場合には、ポンプの脈動が直ちに塗工液
の流量に反映されて流量が細かく変動するのに対して、
タンクに加圧空気を送って塗工液を送り出す場合には、
仮にタンクに導かれる空気の圧力が変動したとしても、
空気の圧縮性によりその圧力変動が塗工液の流量に与え
る影響が緩衝され、急激な流量変化が回避される。従っ
て、空気の圧力変動に伴って発生する塗工液の流量の変
化は緩やかなものとなる。流量が緩やかに変動する限り
は塗布対象物に塗布される塗工液の膜厚も緩やかに変化
し、一見して視認できるような顕著な塗布ムラは生じな
い。従って、吐出量の変動を実用上問題ない程度に抑え
ながら塗工液を連続的に吐出させて、塗布対象物上には
ほぼ均一な膜厚で塗工液を塗布できる。

【００１１】本発明の塗布方法において、前記タンクへ
の前記空気の導入路（７）に圧力設定手段（９，２４）
を配置し、前記タンクへ導入される空気の圧力を前記圧
力設定手段の設定圧に保持した状態で前記タンクから前
記塗布ヘッドに前記塗工液を供給することが望ましい。
この場合には、タンク内の圧力を圧力設定手段によって
所望の値に維持でき、圧力設定手段よりも空気源側（コ
ンプレッサ等）の状態の変化がタンク内の圧力に与える
影響をその圧力設定手段によって緩和することもでき
る。

【００１２】前記塗布ヘッドに供給される塗工液の流量
を監視し、その監視結果に基づいて、前記流量が所定の
適正範囲に収まるように前記圧力設定手段（２４）の設
定圧を変化させて前記タンクに導入される空気の圧力を
調整してもよい。

【００１３】この場合には、タンクから塗布ヘッドに供
給される塗工液の流量が適正範囲から外れた場合、圧力
設定手段の設定圧が調整されて流量が適正範囲に戻るよ
うにタンクへの供給圧力が増減される。従って、タンク
から塗布ヘッドまでの流路の抵抗が増加する等の何らか
の経時的変化が生じても、それに応じてタンクへ供給さ
れる空気の圧力が調整されて塗布ヘッドへ供給される塗
工液の流量が所定のレベルに維持される。これにより、
長時間に亘って安定して塗工対象物に塗工液をを一定の
膜厚で塗布できるようになる。

【００１４】塗工液の流量の監視は様々な手段で行うこ
とができる。例えば、前記タンクと前記塗布ヘッドとを
結ぶ流路（８）にフロート式の流量計（２１）を接続
し、その流量計のフロート位置を検出することにより前
記塗工液の流量を監視してもよい。これによれば、フロ
ート（２１ｂ）が適正範囲に位置しているか否かを監視
するだけでよい。その他にも流量は様々な手段で監視す
ることができる。流量計等によって直接的に流量を可視
化する手段に限らず、流量と相関して変化する物理量を
監視する、いわば間接的に流量を監視する手段も本発明
は含む。例えば、塗布対象物の膜厚が流量に応じて変化
することに着目すれば、その膜厚の変化を例えば塗布対
象物の反射率や透過率と関連付けて特定することにより
流量が適正範囲にあるか否かを監視することができる。

【００１５】本発明の塗布方法において、前記塗布ヘッ
ドの吐出口（５ａ）に対向して配置された塗布対象物
（Ｆ）を、前記塗布ヘッドからの前記塗工液の吐出方向
を横切る方向に一定速度で送ることが望ましい。これに
より、長尺のフィルム等にも連続して均一な膜厚で塗工
液を塗布できる。

【００１６】本発明の塗布装置は、塗工液（Ｃ）が蓄え
られるタンク（４）と、前記塗工液を塗布する塗布ヘッ
ド（５）とを具備し、前記タンクに加圧された空気を導
入し、その空気の圧力を利用して前記タンク内の塗工液
を塗布ヘッドまで供給して該塗布ヘッドから前記塗工液
を連続的に吐出させることにより、上述した課題を解決
する。

【００１７】この装置によれば、本発明の塗布方法を実
施することができる。

【００１８】本発明の塗布装置においては、上記の塗布
方法と同様の態様を含むことができる。すなわち、前記
タンクへの前記空気の導入路（７）には圧力設定手段
（９，２４）が設けられ、その圧力設定手段により前記
タンクへ導入される空気の圧力を所定の設定圧に保持し
た状態で前記タンクから前記塗布ヘッドに前記塗工液を
供給することが望ましい。さらに、前記塗布ヘッドに供
給される塗工液の流量を監視する手段（２１，２２）
と、その監視結果に基づいて、前記流量が所定の適正範
囲に収まるように前記圧力設定手段の設定圧を変化させ
て前記タンクに導入される空気の圧力を調整する手段
（２３）とを備えてもよい。前記監視する手段は、前記
タンクと前記塗布ヘッドとを結ぶ流路に接続されたフロ
ート式の流量計（２１）と、その流量計のフロート位置
を検出する検出手段（２２）とを備えてもよい。前記塗
布ヘッドの吐出口（５ａ）に対向して配置された塗布対
象物（Ｆ）を、前記塗布ヘッドからの前記塗工液の吐出
方向を横切る方向に一定速度で送る塗布対象物送り部
（３）を具備することが望ましい。

【００１９】本発明において、塗工液は感光性樹脂、透
明又は半透明樹脂等の様々な液体を含む。本発明は、粘
度にして１ｃｐ〜１０００ｃｐの範囲の塗工液に好適に
使用でき、その塗工液に対してタンクに導く空気の圧力
は０．０２ＭＰａ〜０．２ＭＰａの範囲に設定すること
が望ましい。

【００２０】タンクは、塗工液と接液する密閉容器とし
て構成されてもよいし、塗工液を収容したボトル等の容
器を収容する密閉容器として構成されてもよい。塗布ヘ
ッドは、塗布対象物の塗布領域に合致した幅の吐出口を
有するものでもよい。本発明は、フィルム状の連続した
長尺物を塗布対象物とする場合に好適であるが、一枚一
枚が独立した塗布対象物の塗布に対しても適用可能であ
る。

【００２１】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）図１は本発明
の第１の実施形態に係る塗布装置を示している。図１に
示すように、塗布装置１Ａは、塗工液供給部２とフィル
ム送り部３とを含む。塗工液供給部２は、塗工液の供給
源としての加圧タンク４と、塗工液の塗布ヘッドとして
のダイヘッド５とを備えている。加圧タンク４は開閉可
能な密閉容器として構成され、その内部には、カラーフ
ィルタ用の液状の着色剤Ｃを塗工液として収容したボト
ル６が配置される。着色剤の供給時において、ボトル６
の開口部６ａは加圧タンク４の内部に対して開放されて
いる。

【００２２】加圧タンク４には、その内外を接続する手
段として、圧力導入管７及び塗工液取出管８がそれぞれ
設けられている。圧力導入管７はレギュレータ９を介し
て工場の圧力供給ラインと接続される。レギュレータ９
は、圧力供給ラインから送られる加圧された空気の圧力
を、予め設定された設定圧力まで減圧して加圧タンク４
側へ出力する。

【００２３】一方、塗工液取出管８はフィルタ１０を介
してダイヘッド５に接続される。塗工液取出管８の下部
はボトル６内に挿入され、その下端はボトル６の底面付
近に位置している。フィルタ１０は、ダイヘッド５に供
給される塗工液から不純物等を除去してダイヘッド５の
詰まりを防止する。圧力導入管７及び塗工液取出管８に
は、それらを開閉するための開閉弁１１，１２がそれぞ
れ設けられる。

【００２４】ダイヘッド５は塗工対象のフィルムＦとほ
ぼ等しい幅の吐出口５ａを有し、内部に供給された塗工
液をその吐出口５ａの幅方向の全域に亘って均一に吐出
する。なお、幅方向は図１の紙面と直交する方向であ
る。

【００２５】一方、フィルム送り部３は、ダイヘッド５
の吐出口５ａと対向させて配置されたバックアップロー
ル１５と、少なくとも一つの案内ロール１６とを有して
いる。不図示の供給ロールから引き出されたフィルムは
バックアップロール１５及び案内ロール１６に巻き掛け
られて図１の矢印Ａ方向に一定速度で走行し、所定の乾
燥工程を経た後に不図示の巻き取りロールに巻き取られ
る。

【００２６】以上の塗布装置１Ａによれば、圧力導入管
７から加圧タンク４に送り込まれる空気によって加圧タ
ンク４が加圧され、その圧力でボトル６の着色剤Ｃが塗
工液取出管８から送り出されてダイヘッド５に供給され
る。従って、ポンプがなくてもダイヘッド５から連続的
に着色剤Ｃを吐出させることができる。

【００２７】しかも、着色剤Ｃをポンプにてヘッド５に
供給する場合には、ポンプの脈動が直ちに着色剤Ｃの流
量に反映されて流量が細かく変動するのに対して、加圧
タンク４に加圧空気を送って着色剤Ｃを送り出す場合に
は、仮に圧力ラインから供給される空気の圧力変動やレ
ギュレータ９自身の振動等によってタンク４に導かれる
空気の圧力が変動したとしても、空気の圧縮性によりそ
の圧力変動が着色剤Ｃの流量に与える影響が緩衝され、
急激な流量変化が回避される。従って、空気の圧力変動
に伴って発生する着色剤Ｃの流量の変化は緩やかなもの
となる。流量が緩やかに変動する限りは、フィルムＦに
塗布される着色剤Ｃの膜厚も緩やかに変化し、一見して
視認できるような顕著な塗布ムラは生じない。

【００２８】このように、図１の塗布装置１Ａによれ
ば、ダイヘッド５からの着色剤Ｃを連続的に吐出させる
ことができ、しかもその吐出量の急激な変動を確実に防
止できるので、フィルムＦを一定速度で走行させること
により、フィルムＦには、一見して塗布ムラが視認でき
ない程度に均一の膜厚で着色剤Ｃを塗布することができ
る。 （第２の実施形態）図２は本発明の第２の実施形態に係
る塗布装置１Ｂを示している。但し、図１の塗布装置１
Ａとの共通部分には同一符号を付してある。図２の塗布
装置１Ｂの特徴は、加圧タンク４とフィルタ１０との間
に流量計２１が設けられ、その流量計２１の検出する流
量がセンサ２２で監視され、そのセンサ２２の出力信号
に基づいて、制御装置２３が圧力導入管７に接続された
レギュレータ２４の設定圧力を調整する点にある。

【００２９】流量計２１としては、流量が測定できるも
のであれば様々なものを使用してよいが、ここでは下部
に向かうほど内径が拡大するテーパ管２１ａの中にフロ
ート２１ｂが封入され、そのテーパ管２１ａの内部を通
過する流量に応じてフロート２１ｂが上下に移動し、そ
のフロート２１ｂの位置を読み取ることで流量が特定で
きるフロート式流量計を利用している。なお、フロート
２１ｂの位置を目視できるようにテーパ管２１ａは透明
であるが、着色剤Ｃを塗工液として塗布する場合にはそ
の着色剤Ｃによってフロート２１ｂが確認不可能となる
ため、不透明な材料でテーパ管２１ａが構成されていて
もよい。

【００３０】センサ２２はテーパ管２１ａと対向して配
置され、その検出領域内におけるフロート２１ｂの有無
に応じて異なる信号を出力する。このようなセンサとし
ては、いわゆる静電容量型の近接センサが好適に使用で
きる。但し、テーパ管２１ａが透明で、かつその内部に
塗工液が供給された場合でもフロート２１ｂを目視でき
る場合には透過型又は反射型の光電センサを使用するこ
とができる。その他にも、フロート２１ｂが所定位置に
あるか否かを検出可能なセンサであれば適宜選択してよ
い。流量計２１を撮像し、画像処理によりフロート２１
ｂの位置を特定する装置もセンサとして使用することが
できる。

【００３１】流量計２１とセンサ２２との上下方向の位
置関係は、加圧タンク４からヘッド５へ適正な流量の塗
工液が供給されているときにフロート２１ｂをセンサ２
２が検出できるように定められる。なお、図２ではセン
サ２２を一つのみ示したが、フロート２１ｂの移動方向
を特定するためには、上下方向に適当な間隔を開けて複
数のセンサ２２を設けることが望ましい。

【００３２】例えば、上下に２つのセンサ２２を設ける
場合には、フロート２１ｂが適正範囲にあるときに各セ
ンサ２２がフロート２１ｂを検出し、フロート２１ｂが
適正範囲から外れると、いずれか一方のセンサ２２がフ
ロート２１ｂを検出しなくなるように各センサ２２の位
置を定めればよい。３つのセンサ２２を上下に並べ、フ
ロート２１ｂが適正範囲にあるときは中央のセンサ２２
がフロート２１ｂを検出し、適正範囲からフロート２１
ｂが外れると、上側又は下側のセンサ２２がフロート２
１ｂを検出するようにしてもよい。なお、上下方向に複
数の検出位置を有するセンサを利用してもよい。

【００３３】レギュレータ２４は、図１のレギュレータ
９と同じく、圧力供給ラインから送られる加圧された空
気の圧力を、予め設定されている設定圧力まで減圧して
加圧タンク４側へ出力する。但し、図２のレギュレータ
２４は、圧力調整用の操作部（例えばダイヤル）を駆動
する駆動部２４ａを有している。駆動部２４ａは、例え
ばトルクモータを駆動源として使用するものとすること
ができる。その他にも様々な構成の駆動部２４ａを利用
してよい。

【００３４】図３は、制御装置２３がセンサ２２の出力
に基づいてレギュレータ２４の駆動部２４ａの動作を制
御する流量監視処理の手順を示すフローチャートであ
る。この処理では、制御装置２３が所定の時間間隔でセ
ンサ２２の信号を監視するものとされ、最初のステップ
Ｓ１ではセンサ２２の信号に関する検出時期か否か判断
する。検出時期のときはセンサ２２の信号に基づいてフ
ロート２１ｂが適正範囲にあるか否か判断し（ステップ
Ｓ２）、適正位置になければ流量が低下する方向にフロ
ート２１ｂが移動したか否か判断する（ステップＳ
３）。この例ではフロート２１ｂの位置が下がった場合
に流量低下となる。流量低下と判断したときは、駆動部
２４ａに対して所定量だけ圧力を上昇させるように駆動
信号を出力し（ステップＳ４）、流量増加と判断したと
きは、駆動部２４ａに対して所定量だけ圧力を低下させ
るように駆動信号を出力する（ステップＳ５）。これら
の処理後はステップＳ１へ戻る。ステップＳ４又はＳ５
の制御量は、急激な圧力調整によるオーバーシュートや
ハンチングを生じない程度に定める。

【００３５】以上のような処理によれば、加圧タンク４
からヘッド５に供給される着色剤Ｃの流量が適正範囲か
ら外れた場合、レギュレータ２４の設定圧力が調整され
て流量が適正範囲に戻るように加圧タンク４への供給圧
力が増減される。従って、例えばフィルタ１０が目詰ま
りしてその通過抵抗が増加する等、加圧タンク４とヘッ
ド５とを結ぶ流路に何らかの経時的変化が生じても、そ
れに応じて加圧タンク４へ供給される空気の圧力が調整
されてヘッド５へ供給される着色剤Ｃの流量が所定のレ
ベルに維持される。これにより、長時間に亘って安定し
て高精度でフィルムＦに着色剤Ｃを一定の膜厚で塗布で
きるようになる。

【００３６】本発明は以上の実施形態に限定されること
なく、種々の形態で実施してよい。例えば、流量計は加
圧タンク４とフィルタ１０との間に限定されず、加圧タ
ンク４からヘッド５までの様々な位置に設けてもよい。
複数の位置に流量計を設けてもよい。流量に応じた信号
を出力する流量計を使用し、その出力信号を制御装置２
３に入力してもよい。フィルムＦの透過率や反射率がそ
の表面に塗布された着色剤Ｃの膜厚に応じて変動するこ
とから、塗布位置よりもフィルムＦの走行方向に関して
下流側の適当な位置でフィルムＦに光を照射し、フィル
ムＦを透過又はフィルムＦ上で反射する光量を測定して
流量が適正範囲にあるか否かを監視してもよい。

【００３７】本発明の塗布方法及び装置は、カラーフィ
ルタの着色剤をフィルムに塗布する例に限らず、塗布対
象物に対して連続的に塗工液を供給するあらゆる場合に
利用できる。

【００３８】

【実施例】図１に示した塗布装置１Ａを試作し、レーザ
転写法に使用するフィルムにカラーフィルタ用の着色剤
を塗布した。また、ボトル６の塗布液をプランジャタイ
プのポンプによりダイヘッド５に導く塗布装置を比較例
として作成し、それによるフィルムの塗布も試みた。塗
布条件は次の通りである。

【００３９】 塗布速度（フィルムの速度）……２０ｍ／ｍｉｎ． フィルム ……厚さ７５μｍのＰＥＴフィルム 塗布膜厚（ウェット時） ……１０μｍ 着色剤の粘度 ……１０ｃｐｓ（シェアレート１５Ｓ^-1） レギュレータ設定圧 ……最大で９．８×１０^-2 ＭＰａ 本発明により塗布されたフィルムを図４（ａ）に、比較
例により塗布されたフィルムを図４（ｂ）にそれぞれ示
す。実施例では膜厚のばらつきが３％以内であったのに
対して、比較例において膜厚のばらつきは最大で１０％
に達している。この結果から明らかなように、比較例で
は塗布ムラが顕著に観察されるのに対して、本発明によ
れば塗布ムラが目立たずほぼ均一に着色剤が塗布されて
いる。

【００４０】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の塗布方
法及び装置によれば、加圧された空気の圧力を利用し
て、タンクから塗布ヘッドまで塗工液を押し出すように
したので、塗工液の吐出量の変動を実用上問題ない程度
に抑えながら、塗布ヘッドから塗工液を連続的に吐出さ
せて、塗布対象物上にはほぼ均一な膜厚で塗工液を塗布
できる。また、特に塗布ヘッドに供給される塗工液の流
量を監視し、その監視結果に基づいてタンクに導入され
る空気の圧力を調整する場合には、長時間に亘って安定
して塗工対象物に塗工液をを一定の膜厚で塗布できるよ
うになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態における塗布装置を示
す図。

【図２】本発明の第２の実施形態における塗布装置を示
す図。

【図３】図２の制御装置によって実行される流量監視処
理の手順を示すフローチャート。

【図４】本発明の一実施例によって塗布されたフィルム
をその比較例とともに示す図。

【符号の説明】

１Ａ，１Ｂ 塗布装置 ２ 塗工液供給部 ３ フィルム送り部 ４ 加圧タンク ５ ダイヘッド（塗布ヘッド） ５ａ 吐出口 ６ ボトル ６ａ 開口部 ７ 圧力導入管 ８ 塗工液取出管 ９ レギュレータ（圧力設定手段） １０ フィルタ １５ バックアップロール ２１ 流量計 ２１ａ テーパ管 ２１ｂ フロート ２２ センサ ２３ 制御装置 ２４ レギュレータ（圧力設定手段） ２４ａ レギュレータの駆動部 Ｃ 着色剤 Ｆ フィルム（塗工対象物）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬場 重樹 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 2H048 BA11 BA43 BA45 BA48 BB42 4D075 AC02 AC05 AC72 AC80 AC84 AC93 AC94 AC95 CA48 DA04 DB48 DC24 EA07 EA43 EA45 4F041 AA12 AB02 BA05 BA32 BA34 BA56 CA02 CA13 CA16 CA22 4F042 AA22 BA06 BA08 BA12 BA21 BA22 BA25 CA01 CA09 CB03 CB10 CB11

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗工液を蓄えたタンクに加圧された空気
   を導入し、その空気の圧力を利用して前記タンク内の塗
   工液を塗布ヘッドまで供給して該塗布ヘッドから前記塗
   工液を連続的に吐出させることを特徴とする塗布方法。
2. 【請求項２】 前記タンクへの前記空気の導入路に圧力
   設定手段を配置し、前記タンクへ導入される空気の圧力
   をその圧力設定手段の設定圧に保持した状態で前記タン
   クから前記塗布ヘッドに前記塗工液を供給することを特
   徴とする請求項１に記載の塗布方法。
3. 【請求項３】 前記塗布ヘッドに供給される塗工液の流
   量を監視し、その監視結果に基づいて、前記流量が所定
   の適正範囲に収まるように前記圧力設定手段の設定圧を
   変化させて前記タンクに導入される空気の圧力を調整す
   ることを特徴とする請求項２に記載の塗布方法。
4. 【請求項４】 前記タンクと前記塗布ヘッドとを結ぶ流
   路にフロート式の流量計を接続し、その流量計のフロー
   ト位置を検出することにより前記塗工液の流量を監視す
   ることを特徴とする請求項３に記載の塗布方法。
5. 【請求項５】 前記塗布ヘッドの吐出口に対向して配置
   された塗布対象物を、前記塗布ヘッドからの前記塗工液
   の吐出方向を横切る方向に一定速度で送ることを特徴と
   する請求項１〜４のいずれかに記載の塗布方法。
6. 【請求項６】 塗工液を蓄えるタンクと、前記塗工液を
   塗布する塗布ヘッドとを具備し、前記タンクに加圧され
   た空気を導入し、その空気の圧力を利用して前記タンク
   内の塗工液を塗布ヘッドまで供給して該塗布ヘッドから
   前記塗工液を連続的に吐出させることを特徴とする塗布
   装置。
7. 【請求項７】 前記タンクへの空気の導入路には圧力設
   定手段が設けられ、その圧力設定手段により前記タンク
   へ導入される空気の圧力を所定の設定圧に保持した状態
   で前記タンクから前記塗布ヘッドに前記塗工液を供給す
   ることを特徴とする請求項６に記載の塗布装置。
8. 【請求項８】 前記塗布ヘッドに供給される塗工液の流
   量を監視する手段と、その監視結果に基づいて、前記流
   量が所定の適正範囲に収まるように前記圧力設定手段の
   設定圧を変化させて前記タンクに導入される空気の圧力
   を調整する手段とを備えることを特徴とする請求項７に
   記載の塗布装置。
9. 【請求項９】 前記監視する手段は、前記タンクと前記
   塗布ヘッドとを結ぶ流路に接続されたフロート式の流量
   計と、その流量計のフロート位置を検出する検出手段と
   を具備することを特徴とする請求項８に記載の塗布装
   置。
10. 【請求項１０】 前記塗布ヘッドの吐出口に対向して配
    置された塗布対象物を、前記塗布ヘッドからの前記塗工
    液の吐出方向を横切る方向に一定速度で送る塗布対象物
    送り部を具備することを特徴とする請求項６〜９のいず
    れかに記載の塗布装置。