JP2003011140A - 回折光学素子の離型方法及び離型装置 - Google Patents
回折光学素子の離型方法及び離型装置Info
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- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】離型による変形や破損のない回折光学素子を安
定に量産することを可能にする回折光学素子の離型方法
を提供する。 【解決手段】型を用いて成形した凸レンズ機能を有する
回折光学素子を、型から離型するための回折光学素子の
離型方法であって、回折光学素子の中心部を型に向かっ
て押さえ付ける押さえ工程と、回折光学素子の外周部を
型から離れる方向に押して、回折光学素子の外周部から
中心部に向かって離型を進行させる離型工程とを具備す
る。また、中心の押さえをせず、複数の油圧シリンダー
でバランスを調整して、中心に向かう離型を進行させる
離型工程を具備する。
定に量産することを可能にする回折光学素子の離型方法
を提供する。 【解決手段】型を用いて成形した凸レンズ機能を有する
回折光学素子を、型から離型するための回折光学素子の
離型方法であって、回折光学素子の中心部を型に向かっ
て押さえ付ける押さえ工程と、回折光学素子の外周部を
型から離れる方向に押して、回折光学素子の外周部から
中心部に向かって離型を進行させる離型工程とを具備す
る。また、中心の押さえをせず、複数の油圧シリンダー
でバランスを調整して、中心に向かう離型を進行させる
離型工程を具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、使用波長領域の光
束が特定次数に集中する格子構造を有し、成形により加
工された積層の回折光学素子の離型方法及び離型装置に
関するものである。
束が特定次数に集中する格子構造を有し、成形により加
工された積層の回折光学素子の離型方法及び離型装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学系の色収差の補正は、分散の
異なる硝材からなる光学素子を組み合わせることにより
行われていた。また、屈折型光学系（レンズ）ではな
く、回折型光学系を用いることが、ＳＰＩＥＶｏｌ．１
３５４ 第２４〜３７巻に開示されている。
異なる硝材からなる光学素子を組み合わせることにより
行われていた。また、屈折型光学系（レンズ）ではな
く、回折型光学系を用いることが、ＳＰＩＥＶｏｌ．１
３５４ 第２４〜３７巻に開示されている。
【０００３】分光特性を有する光学系に回折効率を有す
る回折面を付加する場合、使用する波長領域における回
折効率を高く保つことが重要である。しかし、設計次数
以外の次数の光は、次数が離れるだけ回折角が大きくな
り、焦点距離の差が大きくなので、デフォーカスとして
現れ、特に高輝度な光源が存在する場合、サイドローブ
が見られることがある。
る回折面を付加する場合、使用する波長領域における回
折効率を高く保つことが重要である。しかし、設計次数
以外の次数の光は、次数が離れるだけ回折角が大きくな
り、焦点距離の差が大きくなので、デフォーカスとして
現れ、特に高輝度な光源が存在する場合、サイドローブ
が見られることがある。
【０００４】積層構造の回折光学素子（凸レンズタイプ
の回折素子と凹レンズタイプの回折素子を積層したも
の）は、色収差の補正効果を有する光学系において、使
用波長の領域内で設計次数近傍の回折効率を大幅に改善
するものである。よって、この回折光学素子を応用した
場合、画質および情報においてかなりの品質向上が期待
できるものである。しかしながら、上述の光学的性能向
上の反面、以下に述べるように、従来の方法を流用した
場合、製造方法が非常に複雑でかつ高コストとなり、実
用が難しい。
の回折素子と凹レンズタイプの回折素子を積層したも
の）は、色収差の補正効果を有する光学系において、使
用波長の領域内で設計次数近傍の回折効率を大幅に改善
するものである。よって、この回折光学素子を応用した
場合、画質および情報においてかなりの品質向上が期待
できるものである。しかしながら、上述の光学的性能向
上の反面、以下に述べるように、従来の方法を流用した
場合、製造方法が非常に複雑でかつ高コストとなり、実
用が難しい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】具体的には、２層ある
いはそれ以上の多層構造を有する回折光学素子を実現す
る方法として、従来、微細加工技術の代表的なものとし
て、半導体製造プロセスである光リソグラフィーあるい
はダイヤモンドバイトによる精密切削技術が知られてい
る。それらの加工技術による微細形状を型とし、プラス
チックまたはガラスを成形することで回折光学素子を製
造できる。
いはそれ以上の多層構造を有する回折光学素子を実現す
る方法として、従来、微細加工技術の代表的なものとし
て、半導体製造プロセスである光リソグラフィーあるい
はダイヤモンドバイトによる精密切削技術が知られてい
る。それらの加工技術による微細形状を型とし、プラス
チックまたはガラスを成形することで回折光学素子を製
造できる。
【０００６】しかし、上記の積層構造の回折光学素子を
達成するうえでは、積層される回折格子自体を高い精度
で製作しなければならない。
達成するうえでは、積層される回折格子自体を高い精度
で製作しなければならない。
【０００７】従来から光学部品の複製を製造する技術と
して光硬化樹脂を用いたレプリカ成形法が、転写性や面
精度、簡易性などから好まれている。この方法は、フォ
トリソ技術で得られる高微細の形状転写が可能なことか
ら、今後も重要な技術である。転写性においては、材料
自体の硬化収縮量の影響があるが、種々の技術が提案さ
れている。例えば、平３−７９３１４号公報において
は、離型技術が提案されているが、微細パターンの凹凸
深さが大きくなった場合にめくれを起こさせた離型方法
では以下の問題が発生してしまう。
して光硬化樹脂を用いたレプリカ成形法が、転写性や面
精度、簡易性などから好まれている。この方法は、フォ
トリソ技術で得られる高微細の形状転写が可能なことか
ら、今後も重要な技術である。転写性においては、材料
自体の硬化収縮量の影響があるが、種々の技術が提案さ
れている。例えば、平３−７９３１４号公報において
は、離型技術が提案されているが、微細パターンの凹凸
深さが大きくなった場合にめくれを起こさせた離型方法
では以下の問題が発生してしまう。
【０００８】積層の回折光学素子は、文字どおり２枚の
回折光学素子を接合するため、製品の重量や小型化を考
えると薄いことが必要になる。従来、前述のレプリカ成
形方法では、その離型は型径より大きい基板ガラスを引
き上げる方法でおこなうため、その離型の進行におい
て、非常に大きな素子全体のそり（変形）が起きてしま
う。たとえば、表面が球面あるいは非球面であるような
屈折率レンズを成形する場合は、その成形形状に大きな
悪影響を及ぼさないが、表面に微少なピッチで凹凸形状
を有する回折光学素子などは、そりや変形による離型角
度が微細成形形状を倒す力となり、その形状を変形ある
いは破損させてしまう。そりの大きさは成形材料と型材
質での密着性で主に決まる。密着性を低下させるには、
型に離型剤を塗布する方法があるが、微細形状の乱れま
た量産でのメンテなどを考えると困難な点がある。前述
した形状の破損は、転写する型形状とその形状に対する
剥離方向に大きく依存し、凸タイプレンズに相当する回
折格子においては中心方向へ剥離を進められれば無欠陥
で離型を達成できる。
回折光学素子を接合するため、製品の重量や小型化を考
えると薄いことが必要になる。従来、前述のレプリカ成
形方法では、その離型は型径より大きい基板ガラスを引
き上げる方法でおこなうため、その離型の進行におい
て、非常に大きな素子全体のそり（変形）が起きてしま
う。たとえば、表面が球面あるいは非球面であるような
屈折率レンズを成形する場合は、その成形形状に大きな
悪影響を及ぼさないが、表面に微少なピッチで凹凸形状
を有する回折光学素子などは、そりや変形による離型角
度が微細成形形状を倒す力となり、その形状を変形ある
いは破損させてしまう。そりの大きさは成形材料と型材
質での密着性で主に決まる。密着性を低下させるには、
型に離型剤を塗布する方法があるが、微細形状の乱れま
た量産でのメンテなどを考えると困難な点がある。前述
した形状の破損は、転写する型形状とその形状に対する
剥離方向に大きく依存し、凸タイプレンズに相当する回
折格子においては中心方向へ剥離を進められれば無欠陥
で離型を達成できる。
【０００９】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、離型による変形や破損
のない回折光学素子を安定に量産することを可能にする
回折光学素子の離型方法及び離型装置を提供することで
ある。
されたものであり、その目的は、離型による変形や破損
のない回折光学素子を安定に量産することを可能にする
回折光学素子の離型方法及び離型装置を提供することで
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる回折光学素子の
離型方法は、型を用いて成形した凸レンズ機能を有する
回折光学素子を、前記型から離型するための回折光学素
子の離型方法であって、前記回折光学素子の中心部を前
記型に向かって押さえ付ける押さえ工程と、前記回折光
学素子の外周部を前記型から離れる方向に押して、前記
回折光学素子の外周部から中心部に向かって離型を進行
させる離型工程とを具備することを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わる回折光学素子の
離型方法は、型を用いて成形した凸レンズ機能を有する
回折光学素子を、前記型から離型するための回折光学素
子の離型方法であって、前記回折光学素子の中心部を前
記型に向かって押さえ付ける押さえ工程と、前記回折光
学素子の外周部を前記型から離れる方向に押して、前記
回折光学素子の外周部から中心部に向かって離型を進行
させる離型工程とを具備することを特徴としている。
【００１１】また、この発明に係わる回折光学素子の離
型方法において、前記回折光学素子の外周部を押すため
の押し部材を、弾性を有する部材で支持することを特徴
としている。
型方法において、前記回折光学素子の外周部を押すため
の押し部材を、弾性を有する部材で支持することを特徴
としている。
【００１２】また、光学面に触れて中心部を押さえつけ
ることにより、キズなど欠陥が発生する場合は、回折光
学素子の外周部を、複数の油圧シリンダーにより前記型
から離れる方向をバランスとり、剥離が常に中心に向か
うようにすることを特徴としている。
ることにより、キズなど欠陥が発生する場合は、回折光
学素子の外周部を、複数の油圧シリンダーにより前記型
から離れる方向をバランスとり、剥離が常に中心に向か
うようにすることを特徴としている。
【００１３】また、本発明に係わる回折光学素子の離型
装置は、型を用いて成形した凸レンズ機能を有する回折
光学素子を、前記型から離型するための回折光学素子の
離型装置であって、前記回折光学素子の中心部を前記型
に向かって押さえ付ける押さえ手段と、前記回折光学素
子の外周部を前記型から離れる方向に押して、前記回折
光学素子の外周部から中心部に向かって離型を進行させ
る離型手段とを具備すること、そして、中心を押さえる
ことなく油圧シリンダーでバランスを制御することによ
り、中心部に向かって離型を進行させることを特徴とし
ている。
装置は、型を用いて成形した凸レンズ機能を有する回折
光学素子を、前記型から離型するための回折光学素子の
離型装置であって、前記回折光学素子の中心部を前記型
に向かって押さえ付ける押さえ手段と、前記回折光学素
子の外周部を前記型から離れる方向に押して、前記回折
光学素子の外周部から中心部に向かって離型を進行させ
る離型手段とを具備すること、そして、中心を押さえる
ことなく油圧シリンダーでバランスを制御することによ
り、中心部に向かって離型を進行させることを特徴とし
ている。
【００１４】また、この発明に係わる回折光学素子の離
型装置において、前記回折光学素子の外周部を押すため
の押し部材を、弾性を有する部材で支持したことを特徴
としている。
型装置において、前記回折光学素子の外周部を押すため
の押し部材を、弾性を有する部材で支持したことを特徴
としている。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて、図面を参照して詳細に説明する。
ついて、図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】（第１の実施形態）本実施形態の積層回折
光学素子は、図１に示すように、凹レンズタイプと凸レ
ンズタイプの回折光学レンズを接合することで作成でき
る。図２に示すように、凹レンズタイプは、ブレーズド
格子の場合、その格子頂点が外側になり、凸レンズタイ
プはその格子頂点が中心側になる。
光学素子は、図１に示すように、凹レンズタイプと凸レ
ンズタイプの回折光学レンズを接合することで作成でき
る。図２に示すように、凹レンズタイプは、ブレーズド
格子の場合、その格子頂点が外側になり、凸レンズタイ
プはその格子頂点が中心側になる。
【００１７】レプリカ成形方法とは、（１）型上に光硬
化樹脂を滴下しその上からガラス基板をかぶせ、樹脂が
型全体に広がり所望の樹脂厚みになったとき、（２）樹
脂硬化させるため紫外線を照射し、（３）最後にガラス
とともに形状を転写した樹脂成形品をはがすという手順
のものである。（３）の樹脂成形品を型からはがす従来
の様子を図３に示す。
化樹脂を滴下しその上からガラス基板をかぶせ、樹脂が
型全体に広がり所望の樹脂厚みになったとき、（２）樹
脂硬化させるため紫外線を照射し、（３）最後にガラス
とともに形状を転写した樹脂成形品をはがすという手順
のものである。（３）の樹脂成形品を型からはがす従来
の様子を図３に示す。
【００１８】成形品が凸レンズタイプ、つまり、その成
形に必要な凹タイプの型では成形品を離型する際、外側
から中心に向かい剥離を進行させたときは成形された樹
脂の格子は、その過程で型の格子形状とぶつかること無
く離れていく。しかし、離型工程において成形のバラン
スが悪いことで、図４に示すように、一部中心から外方
向に剥離を進行させてしまうと、成形された樹脂の格子
は型の格子形状にぶつかり、成形品の格子形状が著しく
変形あるいは破損してしまう。このように格子形状が変
形あるいは破損した回折格子では、回折効率の低下およ
びフレアが発生してしまい、画質に大きな影響を及ぼす
ことがわかっている。
形に必要な凹タイプの型では成形品を離型する際、外側
から中心に向かい剥離を進行させたときは成形された樹
脂の格子は、その過程で型の格子形状とぶつかること無
く離れていく。しかし、離型工程において成形のバラン
スが悪いことで、図４に示すように、一部中心から外方
向に剥離を進行させてしまうと、成形された樹脂の格子
は型の格子形状にぶつかり、成形品の格子形状が著しく
変形あるいは破損してしまう。このように格子形状が変
形あるいは破損した回折格子では、回折効率の低下およ
びフレアが発生してしまい、画質に大きな影響を及ぼす
ことがわかっている。
【００１９】そこで、無欠陥の凸タイプ回折レンズを得
るために、本実施形態では、前述のレプリカ成形方法で
の離型の際に以下の機構と手順を用いる。
るために、本実施形態では、前述のレプリカ成形方法で
の離型の際に以下の機構と手順を用いる。
【００２０】前述した手順のうち（３）に移る前に、図
５に示すように、まず素子中心部を中心押さえ部１０に
より上方から押える。その後、成形品の周囲を押し上げ
るイジェクター部１２を押し上げ、離型を開始する。こ
の時イジェクター１２は成形品の押し上げられる部分と
傾きを持っていることがあるため、イジェクター下部に
傾きを吸収するための弾性部１４を設けておく。イジェ
クター上昇とともに素子の周囲から中心に向かって剥離
が進行していき、イジェクターの荷重が規定値（素子強
度などにより決定する）以上になったとき、素子上部中
心を押えている中心押さえ部１０の押さえ力をゆっくり
と緩め、素子の剥離を中心まで終了させる。
５に示すように、まず素子中心部を中心押さえ部１０に
より上方から押える。その後、成形品の周囲を押し上げ
るイジェクター部１２を押し上げ、離型を開始する。こ
の時イジェクター１２は成形品の押し上げられる部分と
傾きを持っていることがあるため、イジェクター下部に
傾きを吸収するための弾性部１４を設けておく。イジェ
クター上昇とともに素子の周囲から中心に向かって剥離
が進行していき、イジェクターの荷重が規定値（素子強
度などにより決定する）以上になったとき、素子上部中
心を押えている中心押さえ部１０の押さえ力をゆっくり
と緩め、素子の剥離を中心まで終了させる。
【００２１】（第２の実施形態）この第２の実施形態で
は、第１の実施形態の（２）の工程までは同じである。
は、第１の実施形態の（２）の工程までは同じである。
【００２２】所望する離型方法が困難な原因は、イジェ
クターと成形品の微小な傾きにより、イジェクターの一
部が成形品を強く押してしまうことにある。本実施形態
では、図６に示すように、イジェクターの初期位置を複
数の油圧シリンダーを成形品に押し付けて、その相対高
さを成形品に調整する。油圧シリンダーはそれぞれホー
スで連結されているので、傾き補正用のシリンダー機構
を上昇させることで油圧シリンダー間のセルフバランス
が働き傾き補正が可能となる。補正状態は油圧シリンダ
ーの油圧センサーで、油圧が剥離限界以下の基準値に達
したことを検出することで確認して、油圧ポンプを停止
させる。油圧シリンダー間を連結しているホースに接続
されている電磁弁を閉めて、個々の油圧シリンダーが固
定されるようにし、全体をゆっくりと上昇させ離型をお
こなう。
クターと成形品の微小な傾きにより、イジェクターの一
部が成形品を強く押してしまうことにある。本実施形態
では、図６に示すように、イジェクターの初期位置を複
数の油圧シリンダーを成形品に押し付けて、その相対高
さを成形品に調整する。油圧シリンダーはそれぞれホー
スで連結されているので、傾き補正用のシリンダー機構
を上昇させることで油圧シリンダー間のセルフバランス
が働き傾き補正が可能となる。補正状態は油圧シリンダ
ーの油圧センサーで、油圧が剥離限界以下の基準値に達
したことを検出することで確認して、油圧ポンプを停止
させる。油圧シリンダー間を連結しているホースに接続
されている電磁弁を閉めて、個々の油圧シリンダーが固
定されるようにし、全体をゆっくりと上昇させ離型をお
こなう。
【００２３】以上説明した様に、上記の実施形態によれ
ば、使用波長領域の光束が特定次数に集中する格子構造
を有した積層回折格子の製造において、その品質に大き
な影響をもつ個々の回折格子の格子形状を崩すこと無く
量産することが可能となる。
ば、使用波長領域の光束が特定次数に集中する格子構造
を有した積層回折格子の製造において、その品質に大き
な影響をもつ個々の回折格子の格子形状を崩すこと無く
量産することが可能となる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、離
型による変形や破損のない回折光学素子を安定に量産す
ることが可能となる。
型による変形や破損のない回折光学素子を安定に量産す
ることが可能となる。
【図１】本発明の実施形態に係わる積層回折光学素子の
構造を示す側断面図である。
構造を示す側断面図である。
【図２】凹レンズタイプと凸レンズタイプの回折レンズ
を示す図である。
を示す図である。
【図３】レプリカ成形法での従来の離型状態を示す図で
ある。
ある。
【図４】離型時に発生する格子変形を説明するための図
である。
である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係わる離型装置を示
す図である。
す図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係わる離型装置を示
す図である。
す図である。
１０ 中心押さえ部
１２ イジェクター
１４ 弾性部
Claims (6)
- 【請求項１】 型を用いて成形した凸レンズ機能を有す
る回折光学素子を、前記型から離型するための回折光学
素子の離型方法であって、 前記回折光学素子の中心部を前記型に向かって押さえ付
ける押さえ工程と、 前記回折光学素子の外周部を前記型から離れる方向に押
して、前記回折光学素子の外周部から中心部に向かって
離型を進行させる離型工程とを具備することを特徴とす
る回折光学素子の離型方法。 - 【請求項２】 前記回折光学素子の外周部を押すための
押し部材を、弾性を有する部材で支持することを特徴と
する請求項１に記載の回折光学素子の離型方法。 - 【請求項３】 回折光学素子の外周部を、複数の油圧シ
リンダーにより前記型から離れる方向に押すことを特徴
とする請求項１に記載の回折光学素子の離型方法。 - 【請求項４】 型を用いて成形した凸レンズ機能を有す
る回折光学素子を、前記型から離型するための回折光学
素子の離型装置であって、 前記回折光学素子の中心部を前記型に向かって押さえ付
ける押さえ手段と、 前記回折光学素子の外周部を前記型から離れる方向に押
して、前記回折光学素子の外周部から中心部に向かって
離型を進行させる離型手段とを具備することを特徴とす
る回折光学素子の離型装置。 - 【請求項５】 前記回折光学素子の外周部を押すための
押し部材を、弾性を有する部材で支持したことを特徴と
する請求項４に記載の回折光学素子の離型装置。 - 【請求項６】 回折光学素子の外周部を、複数の油圧シ
リンダーにより前記型から離れる方向に押すことを特徴
とする請求項４に記載の回折光学素子の離型装置。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006212859A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 成形方法および成形装置 |
| JP2008080702A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Toppan Printing Co Ltd | レンズシートの剥離方法及び剥離装置 |
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