JP2003014633A - Ｓｏ３濃度計 - Google Patents
Ｓｏ３濃度計Info
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- JP2003014633A JP2003014633A JP2001196479A JP2001196479A JP2003014633A JP 2003014633 A JP2003014633 A JP 2003014633A JP 2001196479 A JP2001196479 A JP 2001196479A JP 2001196479 A JP2001196479 A JP 2001196479A JP 2003014633 A JP2003014633 A JP 2003014633A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高温の排ガスを導入し、そのガスセル内圧力
をモニターしてＳＯ3 濃度を的確に測定できるＳＯ3 濃
度計を提供する。 【解決手段】 ガスセル１２内に導入した排ガス中のＳ
Ｏ3 の濃度を紫外線吸収分析により計測するＳＯ3 濃度
計において、ガスセル１２のガス排出側に排ガスを冷却
するクーラー１６付きトラップ１５を接続し、そのトラ
ップ１５の排気側にガスセル１２内圧力を検出する圧力
モニター１８を接続したものである。
をモニターしてＳＯ3 濃度を的確に測定できるＳＯ3 濃
度計を提供する。 【解決手段】 ガスセル１２内に導入した排ガス中のＳ
Ｏ3 の濃度を紫外線吸収分析により計測するＳＯ3 濃度
計において、ガスセル１２のガス排出側に排ガスを冷却
するクーラー１６付きトラップ１５を接続し、そのトラ
ップ１５の排気側にガスセル１２内圧力を検出する圧力
モニター１８を接続したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、燃焼排ガス中のＳ
Ｏ3 のガス濃度を紫外線吸収分析により計測するＳＯ3
濃度計に関するものである。
Ｏ3 のガス濃度を紫外線吸収分析により計測するＳＯ3
濃度計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、紫外線吸収分析でのガス中の濃
度の検出は、既知濃度の紫外線吸収スペクトルをとり、
吸光度を濃度毎にプロットした検量線を作成した後で、
未知濃度の吸光度と対比することで、ガスの濃度を求め
ている。
度の検出は、既知濃度の紫外線吸収スペクトルをとり、
吸光度を濃度毎にプロットした検量線を作成した後で、
未知濃度の吸光度と対比することで、ガスの濃度を求め
ている。
【０００３】検量線による濃度の測定は、ランベルトベ
ールの法則により作成した検量線が、直線になるので、
その直線の式を求めれば、吸光度の代入で濃度が求めら
れるという原理による。
ールの法則により作成した検量線が、直線になるので、
その直線の式を求めれば、吸光度の代入で濃度が求めら
れるという原理による。
【０００４】この検量線に基づくボイラの排煙中のＳＯ
2 等のガス濃度を紫外線吸収分析により測定する場合、
煙道中の排ガスをポンプの吸引力でガスセル内に導入
し、そのガスセルに紫外線を透過して吸収スペクトルを
求めて計測することが行われている。
2 等のガス濃度を紫外線吸収分析により測定する場合、
煙道中の排ガスをポンプの吸引力でガスセル内に導入
し、そのガスセルに紫外線を透過して吸収スペクトルを
求めて計測することが行われている。
【０００５】この際、排煙中には、ＳＯ2 の他にＳＯ3
が含まれ、両者の吸収スペクトル帯が同じために、これ
らを個々に計測することが困難であったが、本出願人が
先に出願した特願平１１−３７４１０６号（発明の名
称：煙道中のＳＯ3 ガスの濃度算出方法）により、ＳＯ
2 とＳＯ3 の濃度を検出することが可能となった。この
濃度算出方法は、ＳＯ3 の濃度を検出する際に妨害ガス
となるＳＯ2 を混入したガスで、ＳＯ3 の組成比を変え
ながら吸光度スペクトルをとり、その吸光度スペクトル
データを基に、ＰＬＳ（Partial Least Squares)等によ
る多変量解析により、ＳＯ2 とＳＯ3 検量線を作成し、
その検量線を基に、煙道中の排ガスを紫外線吸収分析し
て排ガス中の、未知濃度のＳＯ2 とＳＯ3 を計測できる
ようにしたものである。
が含まれ、両者の吸収スペクトル帯が同じために、これ
らを個々に計測することが困難であったが、本出願人が
先に出願した特願平１１−３７４１０６号（発明の名
称：煙道中のＳＯ3 ガスの濃度算出方法）により、ＳＯ
2 とＳＯ3 の濃度を検出することが可能となった。この
濃度算出方法は、ＳＯ3 の濃度を検出する際に妨害ガス
となるＳＯ2 を混入したガスで、ＳＯ3 の組成比を変え
ながら吸光度スペクトルをとり、その吸光度スペクトル
データを基に、ＰＬＳ（Partial Least Squares)等によ
る多変量解析により、ＳＯ2 とＳＯ3 検量線を作成し、
その検量線を基に、煙道中の排ガスを紫外線吸収分析し
て排ガス中の、未知濃度のＳＯ2 とＳＯ3 を計測できる
ようにしたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＳＯ3 は、
腐食性ガスであり、しかも３５０℃以下では、排ガス中
の水蒸気と結合して硫酸となるため、３５０℃以上に加
熱しなければ、紫外線吸収法での吸収スペクトル分析が
できない。
腐食性ガスであり、しかも３５０℃以下では、排ガス中
の水蒸気と結合して硫酸となるため、３５０℃以上に加
熱しなければ、紫外線吸収法での吸収スペクトル分析が
できない。
【０００７】また、煙道ダクト中の圧力変化、またガス
セル内に導入する排ガスからダストを除去するためのフ
ィルターの目詰まり程度、ポンプの吸引力の変化等種々
の要因により、ガスセル内圧力が変化する。ガスセル内
のガス圧が変わると吸光度の計測値も変化してしまうた
め、計測には、ガスセル内の圧力を一定に保つ必要があ
る。
セル内に導入する排ガスからダストを除去するためのフ
ィルターの目詰まり程度、ポンプの吸引力の変化等種々
の要因により、ガスセル内圧力が変化する。ガスセル内
のガス圧が変わると吸光度の計測値も変化してしまうた
め、計測には、ガスセル内の圧力を一定に保つ必要があ
る。
【０００８】しかしながら、ガスセル圧力を一定に保つ
には、一次圧（煙道側）が不安定なことや、一次圧と２
次圧側の圧力差があまりないことにより、ガスセル内圧
力を一定に保つのは困難である。
には、一次圧（煙道側）が不安定なことや、一次圧と２
次圧側の圧力差があまりないことにより、ガスセル内圧
力を一定に保つのは困難である。
【０００９】このため、ガスセルに濃度補正用の圧力モ
ニターを設置することが考えられるが、高温に耐え、し
かも腐食に強い圧力モニターは、現状ではなく、作ると
しても非常に高価なものとなると共に劣悪な環境では、
応答性がよく、しかも長期間安定したモニターができな
い問題がある。
ニターを設置することが考えられるが、高温に耐え、し
かも腐食に強い圧力モニターは、現状ではなく、作ると
しても非常に高価なものとなると共に劣悪な環境では、
応答性がよく、しかも長期間安定したモニターができな
い問題がある。
【００１０】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、高温の排ガスを導入し、そのガスセル内圧力をモニ
ターしてＳＯ3 濃度を的確に測定できるＳＯ3 濃度計を
提供することにある。
し、高温の排ガスを導入し、そのガスセル内圧力をモニ
ターしてＳＯ3 濃度を的確に測定できるＳＯ3 濃度計を
提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、ガスセル内に導入した排ガス中
のＳＯ3 の濃度を紫外線吸収分析により計測するＳＯ3
濃度計において、ガスセルのガス排出側に排ガスを冷却
するクーラー付きトラップを接続し、そのトラップの排
気側にガスセル内圧力を検出する圧力モニターを接続し
たＳＯ3 濃度計である。
に、請求項１の発明は、ガスセル内に導入した排ガス中
のＳＯ3 の濃度を紫外線吸収分析により計測するＳＯ3
濃度計において、ガスセルのガス排出側に排ガスを冷却
するクーラー付きトラップを接続し、そのトラップの排
気側にガスセル内圧力を検出する圧力モニターを接続し
たＳＯ3 濃度計である。
【００１２】請求項２の発明は、ガスセルにセル内温度
を３５０〜４５０℃に保持するヒータを設けた請求項１
記載のＳＯ3 濃度計である。
を３５０〜４５０℃に保持するヒータを設けた請求項１
記載のＳＯ3 濃度計である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適一実施の形態
を添付図面に基づいて詳述する。
を添付図面に基づいて詳述する。
【００１４】先ず、図１により、本発明における煙道中
の排ガスの紫外線吸収分析装置を説明する。
の排ガスの紫外線吸収分析装置を説明する。
【００１５】図１において、１０は、ボイラからの排ガ
スが流れる煙道で、その煙道１０にガス吸込管１１を介
してガスセル１２が接続される。ガス吸込管１１には、
排ガス中のダストを除去するフィルター１３が接続され
る。
スが流れる煙道で、その煙道１０にガス吸込管１１を介
してガスセル１２が接続される。ガス吸込管１１には、
排ガス中のダストを除去するフィルター１３が接続され
る。
【００１６】ガスセル１２は、出口管１４を介してトラ
ップ１５が接続される。トラップ１５は、導入した排ガ
スを冷却するクーラー１６が設けられている。
ップ１５が接続される。トラップ１５は、導入した排ガ
スを冷却するクーラー１６が設けられている。
【００１７】トラップ１５からの排気管１７には、半導
体圧力センサからなる圧力モニター１８が接続されると
共に煙道１０からの排ガスをガスセル１２を通して吸引
排気するためのポンプ２０が接続される。
体圧力センサからなる圧力モニター１８が接続されると
共に煙道１０からの排ガスをガスセル１２を通して吸引
排気するためのポンプ２０が接続される。
【００１８】排気管１７の下流側は図示していないが、
排ガスを煙道１０に戻すようにしても或いは他の排気処
理系に供給するようにしてもよい。
排ガスを煙道１０に戻すようにしても或いは他の排気処
理系に供給するようにしてもよい。
【００１９】ガスセル１２には導入した排ガスを３５０
〜４５０℃に保つためのヒータ１９が設けられる。
〜４５０℃に保つためのヒータ１９が設けられる。
【００２０】ガスセル１２の一方には、ガスセル１２に
紫外線を透過するためのＸｅランプ等の光源２１が設け
られると共に分光器及び光検出器２２が設けられ、その
検出信号２５がデータ処理装置２４に入力される。
紫外線を透過するためのＸｅランプ等の光源２１が設け
られると共に分光器及び光検出器２２が設けられ、その
検出信号２５がデータ処理装置２４に入力される。
【００２１】この光源２１と分光器及び光検出器２２
は、図では、光源２１からの紫外線ＵＶをガスセル１２
を１回透過させ、その吸光度を分光器及び光検出器２２
で検出する例を示しているが、反射ミラーを用いてガス
セル１２内を複数回反射させて光路長を長くして吸光度
を計測するようにする。
は、図では、光源２１からの紫外線ＵＶをガスセル１２
を１回透過させ、その吸光度を分光器及び光検出器２２
で検出する例を示しているが、反射ミラーを用いてガス
セル１２内を複数回反射させて光路長を長くして吸光度
を計測するようにする。
【００２２】分光器及び光検出器２２は、紫外線（領域
０〜４００ｎｍ）中の２００〜３５０ｎｍの範囲の波長
を分光し、それを検出素子に入射し、その検出素子で検
出された吸光度データがデータ処理装置２４に入力され
て演算される。
０〜４００ｎｍ）中の２００〜３５０ｎｍの範囲の波長
を分光し、それを検出素子に入射し、その検出素子で検
出された吸光度データがデータ処理装置２４に入力され
て演算される。
【００２３】この図１において、ポンプ２０の吸引によ
りセル１２内には、煙道１０内の排ガスがフィルター１
３で除塵されて導入される。この排ガス中には、ＳＯ3
とＳＯ2 が含まれるが、上述した先願の発明に基づくＳ
Ｏ3 とＳＯ2 の検量線を基にＳＯ3 とＳＯ2 の濃度を求
めることができる。
りセル１２内には、煙道１０内の排ガスがフィルター１
３で除塵されて導入される。この排ガス中には、ＳＯ3
とＳＯ2 が含まれるが、上述した先願の発明に基づくＳ
Ｏ3 とＳＯ2 の検量線を基にＳＯ3 とＳＯ2 の濃度を求
めることができる。
【００２４】この場合、ガスセル１２内温度が３５０℃
以下となると、排ガス中のＳＯ3 とＨ2 Ｏとが結合して
硫酸となり、 ＳＯ3 の紫外線吸収が無くなるため、ヒ
ータ１９によりガスセル内温度を３５０〜４５０℃に保
つようにする。また、ガスセル１２内の圧力が変動する
と、吸光度の計測値も変化する。そこで、ガスセル１２
内のガス圧と検量線の関係を調べたところ、ガス圧と検
量線の傾きは比例しており、ガス圧が判れば濃度の補正
が可能なことが判った。しかし、ガスセル１２内は、約
３００〜４００℃あり、現状では高温使用で且つ応答速
度の速い圧力モニターはないため、ガスセル１２内の排
ガスを出口管１４からトラップ１５に排出し、そこで排
ガスの温度を１００℃以下まで、クーラー１６で冷却
し、その冷却後の排ガスを排気管１７に接続した半導体
圧力センサ等からなる圧力モニター１８で圧力を検出
し、その圧力信号２６をデータ処理装置２４に入力す
る。
以下となると、排ガス中のＳＯ3 とＨ2 Ｏとが結合して
硫酸となり、 ＳＯ3 の紫外線吸収が無くなるため、ヒ
ータ１９によりガスセル内温度を３５０〜４５０℃に保
つようにする。また、ガスセル１２内の圧力が変動する
と、吸光度の計測値も変化する。そこで、ガスセル１２
内のガス圧と検量線の関係を調べたところ、ガス圧と検
量線の傾きは比例しており、ガス圧が判れば濃度の補正
が可能なことが判った。しかし、ガスセル１２内は、約
３００〜４００℃あり、現状では高温使用で且つ応答速
度の速い圧力モニターはないため、ガスセル１２内の排
ガスを出口管１４からトラップ１５に排出し、そこで排
ガスの温度を１００℃以下まで、クーラー１６で冷却
し、その冷却後の排ガスを排気管１７に接続した半導体
圧力センサ等からなる圧力モニター１８で圧力を検出
し、その圧力信号２６をデータ処理装置２４に入力す
る。
【００２５】この際、排ガス中のＳＯ3 は、トラップ１
５内での冷却で、硫酸になるか或いは排ガス中にアンモ
ニアが含まれていた場合には、酸性硫安又は硫安となっ
て捕集され、排気管１７に、ＳＯ3 が流れないため、圧
力モニター１８及びポンプ２０の腐食からの保護が可能
となる。また圧力モニター１８を排気管１７に接続し、
この検出圧力をガスセル１２内の圧力とするが、圧力の
伝搬は瞬時であり、ガスセル１２から離れていても実質
的にガスセル１２の圧力を検出していることと等価であ
り、圧力モニター１８を、高温と腐食環境から保護でき
る。
５内での冷却で、硫酸になるか或いは排ガス中にアンモ
ニアが含まれていた場合には、酸性硫安又は硫安となっ
て捕集され、排気管１７に、ＳＯ3 が流れないため、圧
力モニター１８及びポンプ２０の腐食からの保護が可能
となる。また圧力モニター１８を排気管１７に接続し、
この検出圧力をガスセル１２内の圧力とするが、圧力の
伝搬は瞬時であり、ガスセル１２から離れていても実質
的にガスセル１２の圧力を検出していることと等価であ
り、圧力モニター１８を、高温と腐食環境から保護でき
る。
【００２６】次に、ガスセル１２内のガス圧力と検量線
の関係を説明する。
の関係を説明する。
【００２７】（１）試験方法
圧力依存性の確認試験パラメータを表１の条件で、紫外
線吸収スペクトルを採取し、検量線を作成した。
線吸収スペクトルを採取し、検量線を作成した。
【００２８】
【表１】
【００２９】この確認試験は、ＳＯ2 濃度が０，１００
０，１５００ｐｐｍのサンプルにそれぞれＳＯ3 濃度を
０，１０，２０，３０と変えて合計１２のガスサンプル
に対して、設定圧力（任意）を０ＭＰａとし、その圧力
に対して−０．０１ＭＰａ、−０．０１５ＭＰａにセル
圧力を保って紫外線吸収スペクトルを採取し、上述した
先願発明の手法に則ってＳＯ2 とＳＯ3 の検量線を求め
た。
０，１５００ｐｐｍのサンプルにそれぞれＳＯ3 濃度を
０，１０，２０，３０と変えて合計１２のガスサンプル
に対して、設定圧力（任意）を０ＭＰａとし、その圧力
に対して−０．０１ＭＰａ、−０．０１５ＭＰａにセル
圧力を保って紫外線吸収スペクトルを採取し、上述した
先願発明の手法に則ってＳＯ2 とＳＯ3 の検量線を求め
た。
【００３０】（２）試験結果
先ず、ＳＯ2 の計測結果を図２と表２に示す。
【００３１】
【表２】
【００３２】図２は、２６０ｎｍのＳＯ2 吸光度を濃度
ごとにプロットしたもので、計測圧力ごとに示したもの
である。
ごとにプロットしたもので、計測圧力ごとに示したもの
である。
【００３３】図２は、圧力ごとに検量線が異なっている
ことを示している。しかし、各圧力の比は略同じであ
り、吸光度の大きさはセル中の分子数に依存していると
考えられる。
ことを示している。しかし、各圧力の比は略同じであ
り、吸光度の大きさはセル中の分子数に依存していると
考えられる。
【００３４】図３は圧力による分子数を補正してプロッ
トしたものである。各プロットは分子数から、下式
（１）により、１気圧の濃度に換算してプロットした。
トしたものである。各プロットは分子数から、下式
（１）により、１気圧の濃度に換算してプロットした。
【００３５】
換算濃度＝ 濃度 × ０．１（ＭＰａ）／［０．１（ＭＰａ）＋
セルゲージ圧（ＭＰａ）］ …（１）
圧力で補正すると、図３に示すように、異なっていた検
量線の傾き（ｙ＝０．００１６ｘ＋０．００２２２）が
一つにまとめられた。
量線の傾き（ｙ＝０．００１６ｘ＋０．００２２２）が
一つにまとめられた。
【００３６】なお、Ｒは相関係数であり、Ｒ2 が０．９
９８３と、Ｒがより１に近いことが分かる。
９８３と、Ｒがより１に近いことが分かる。
【００３７】同様に、図４に、ＰＬＳ回帰分析により圧
力補正によるＳＯ2 の検量線の計算結果を示した。ＰＬ
Ｓ回帰分析においても圧力補正すればよいことが分かっ
た。図５は、ＳＯ2 を０、１０００、１５００ｐｐｍ、
また圧力を０、−０．０１、−０．０１５ＭＰａと変化
させたときのＳＯ3 の濃度算出結果を示したものであ
る。
力補正によるＳＯ2 の検量線の計算結果を示した。ＰＬ
Ｓ回帰分析においても圧力補正すればよいことが分かっ
た。図５は、ＳＯ2 を０、１０００、１５００ｐｐｍ、
また圧力を０、−０．０１、−０．０１５ＭＰａと変化
させたときのＳＯ3 の濃度算出結果を示したものであ
る。
【００３８】図５において、横軸に示す濃度は圧力補正
を行った調整濃度（標準ガスを決められた組成比で調整
した濃度）であり、縦軸に示す濃度は採集して求めたス
ペクトルからＰＬＳ回帰計算を実施して計算した出力濃
度であり、検量線の傾き（ｙ＝０．９９５２ｘ＋５．５
８５８）、相関係数Ｒ2 は０．９９９７であった。
を行った調整濃度（標準ガスを決められた組成比で調整
した濃度）であり、縦軸に示す濃度は採集して求めたス
ペクトルからＰＬＳ回帰計算を実施して計算した出力濃
度であり、検量線の傾き（ｙ＝０．９９５２ｘ＋５．５
８５８）、相関係数Ｒ2 は０．９９９７であった。
【００３９】なお、上記（１）式を一般的に記述すると
以下のようになる。
以下のようになる。
【００４０】
検量線作成時；
濃度 ＝ 調整濃度 × 基準とする圧力（絶対圧）／計測時の圧力（絶対圧
）
…（２）
サンプル計測時；
濃度 ＝ 計測濃度 × 検量線作成時に基準とした圧力（絶対圧）／計測時
の圧力（絶対圧） …（３）
次に計測時のフローを説明する。
【００４１】先ず検量線作成時のフローチャートを図６
により説明する。
により説明する。
【００４２】図６に示すように、計測時、基準となるガ
ス圧を決定（通常１気圧）する（Ｓ１０）。次にガス圧
力モニターしながら、ガス組成を変えて吸収スペクトル
を採取する（Ｓ１１）。
ス圧を決定（通常１気圧）する（Ｓ１０）。次にガス圧
力モニターしながら、ガス組成を変えて吸収スペクトル
を採取する（Ｓ１１）。
【００４３】採取した吸収スペクトルから求めた濃度を
上記（２）式により計測時ガス圧で補正する（Ｓ１
３）。
上記（２）式により計測時ガス圧で補正する（Ｓ１
３）。
【００４４】補正した濃度と吸光度で検量線を作成し
（Ｓ１４）、検量線作成のフローを終了する（Ｓ１
５）。
（Ｓ１４）、検量線作成のフローを終了する（Ｓ１
５）。
【００４５】サンプル計測時のフローチャートを図７に
より説明する。
より説明する。
【００４６】図７に示すように、ガス圧力をモニターし
ながら、サンプルスペクトルを採取する（Ｓ２０）。
ながら、サンプルスペクトルを採取する（Ｓ２０）。
【００４７】次に、採取した吸収スペクトルから求めた
濃度を上記（３）式により計測時ガス圧力で補正する
（Ｓ２１）。
濃度を上記（３）式により計測時ガス圧力で補正する
（Ｓ２１）。
【００４８】補正した濃度と図６で求めた検量線よりサ
ンプル濃度を求め（Ｓ２２）、計測フローを終了する
（Ｓ２３）。
ンプル濃度を求め（Ｓ２２）、計測フローを終了する
（Ｓ２３）。
【００４９】このように、ガスセル１２内の圧力とガス
の分子数が比例し、同じ濃度でも紫外線吸収法で計測さ
れる濃度は、セル圧力と比例して変化することに着目
し、計測時のセル圧力を計測し、そのセル圧力で補正す
ることで、正確な濃度測定が行える。
の分子数が比例し、同じ濃度でも紫外線吸収法で計測さ
れる濃度は、セル圧力と比例して変化することに着目
し、計測時のセル圧力を計測し、そのセル圧力で補正す
ることで、正確な濃度測定が行える。
【００５０】この際、ガスセル１２内の排ガスをヒータ
ー１９で３５０〜４５０℃の範囲に保ち、そのガスを排
出する際に、クーラー１６付きトラップ１５で冷却する
ことで、排ガス中のＳＯ3 が硫酸としてトラップ１５内
に捕集できるため、排気管１７には、低温で腐食ガスを
含まないガスが流れるため圧力モニター１８は、一般的
な圧力モニターで十分計測可能であり、圧力モニターの
寿命を延ばすことができる。
ー１９で３５０〜４５０℃の範囲に保ち、そのガスを排
出する際に、クーラー１６付きトラップ１５で冷却する
ことで、排ガス中のＳＯ3 が硫酸としてトラップ１５内
に捕集できるため、排気管１７には、低温で腐食ガスを
含まないガスが流れるため圧力モニター１８は、一般的
な圧力モニターで十分計測可能であり、圧力モニターの
寿命を延ばすことができる。
【００５１】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、紫外線吸
収分析によるＳＯ3 濃度を補正する際のガスセルの圧力
を、排ガスを冷却し排ガス中のＳＯ3 を除去した後のガ
ス圧を計測することで圧力モニターの寿命を延ばすこと
ができるとともに、正確なＳＯ 3 の濃度計測が行える。
収分析によるＳＯ3 濃度を補正する際のガスセルの圧力
を、排ガスを冷却し排ガス中のＳＯ3 を除去した後のガ
ス圧を計測することで圧力モニターの寿命を延ばすこと
ができるとともに、正確なＳＯ 3 の濃度計測が行える。
【図１】本発明にＳＯ3 濃度計の概要を説明する図であ
る。
る。
【図２】本発明おいて、各圧力ごとのＳＯ2 検量線を示
す図である。
す図である。
【図３】本発明において、圧力で補正したＳＯ2 検量線
を示す図である。
を示す図である。
【図４】本発明において、ＰＬＳ回帰分析での圧力補正
によるＳＯ2 検量線を示す図である。
によるＳＯ2 検量線を示す図である。
【図５】本発明において、圧力を補正したときのＳＯ3
検量線を示す図である。
検量線を示す図である。
【図６】本発明において、検量線作成時のフローチャー
トを示す図である。
トを示す図である。
【図７】本発明において、計測時のフローチャートを示
す図である。
す図である。
１０ 煙道
１２ ガスセル
１５ トラップ
１６ クーラー
１８ 圧力モニター
２１ 光源
２２ 分光器及び光検出器
２４ データ処理装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 小林 健
東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島
播磨重工業株式会社東京エンジニアリング
センター内
(72)発明者 八木 武人
東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島
播磨重工業株式会社東京エンジニアリング
センター内
(72)発明者 小原 正孝
東京都江東区豊洲三丁目２番16号 石川島
播磨重工業株式会社東京エンジニアリング
センター技術開発本部内
Ｆターム(参考） 2G042 AA01 BB12 CA01 CB01
2G052 AA02 AB08 AC25 AD02 AD22
AD42 BA03 BA14 CA04 CA12
EA03 EB11 EB13 GA11 HA18
HB07 HC02 HC08 HC09 JA10
2G059 AA01 BB01 CC06 DD02 DD12
DD13 DD17 EE01 HH03 HH06
JJ01 MM01 MM12 NN04
Claims (2)
- 【請求項１】 ガスセル内に導入した排ガス中のＳＯ3
の濃度を紫外線吸収分析により計測するＳＯ3 濃度計に
おいて、ガスセルのガス排出側に排ガスを冷却するクー
ラー付きトラップを接続し、そのトラップの排気側にガ
スセル内圧力を検出する圧力モニターを接続したことを
特徴とするＳＯ3 濃度計。 - 【請求項２】 ガスセルにセル内温度を３５０〜４５０
℃に保持するヒータを設けた請求項１記載のＳＯ3 濃度
計。
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