JP2003014825A - 電源装置、及び試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 信号伝送線路におけるインピーダンスの小さ
い電源装置及び試験装置を提供する。 【解決手段】 所望の電圧を発生する電圧源と、負荷と
電圧源との間に設けられ、電圧源から所望の電圧を受け
取る電流測定用素子と、負荷と電流測定用素子との間に
それぞれ並列に設けられ、出力インピーダンスが電流測
定用素子のインピーダンスより小さい複数のインピーダ
ンス変換回路と、負荷と複数のインピーダンス変換回路
のそれぞれとを電気的に接続する複数の伝送線路とを備
えることを特徴とする電源装置を提供する。インピーダ
ンス変換回路を負荷と電流測定用素子の間に設けること
により、負荷側において電流測定用素子のインピーダン
スによる影響を排除する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電圧を供給する電
源装置、及び電子デバイスを試験する試験装置に関す
る。特に、高速動作が可能な電源装置、及び試験装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子デバイスを試験する試験方法
として、Ｉｄｄｑ試験、Ｄｅｌａｙ試験、Ｓｔｕｃｋ試
験、Ｆｕｎｃｔｉｏｎ試験等が一般に知られている。そ
れぞれの試験を単独で行った場合、検出できない不良が
あるため、いくつかの試験を組み合わせて、電子デバイ
スの良否を判定する必要がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】電子デバイスの不良と
して開放不良が知られている。近年の電子デバイスは、
多重配線により１０億コンタクト以上のコンタクトを有
する物もあり、開放不良及びブリッジ不良の検出は重要
な試験項目となっている。電子デバイスの開放不良等
は、前述したＤｅｌａｙ試験で検出することができる
が、Ｄｅｌａｙ試験はテストコストが高く、電子デバイ
スのテストコストを引き上げる要因となっていた。この
ため、他の試験によって開放不良を検出することが望ま
れていた。

【０００４】他の試験として、電子デバイスに所定の電
圧を供給し、電子デバイスに流れる電流波形を検出し、
開放不良等を検出する方法がある。しかし、当該方法で
は、電流測定用回路の入力インピーダンス及び入力イン
ダクタンスを極めて低くしなければならず、従来の試験
装置では、当該方法を精度よく行うことが困難であっ
た。

【０００５】そこで本発明は、上記の課題を解決するこ
とのできる電源装置及び試験装置を提供することを目的
とする。この目的は、特許請求の範囲における独立項に
記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項
は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第一の形態においては、負荷に電圧を供給
する電源装置であって、所望の電圧を発生する電圧源
と、負荷と電圧源との間に設けられ、電圧源から所望の
電圧を受け取る電流測定用素子と、負荷と電流測定用素
子との間にそれぞれ並列に設けられ、出力インピーダン
スが電流測定用素子のインピーダンスより小さい複数の
インピーダンス変換回路と、負荷と複数のインピーダン
ス変換回路のそれぞれとを電気的に接続する複数の伝送
線路とを備えることを特徴とする電源装置を提供する。

【０００７】伝送線路のインピーダンスは、インピーダ
ンス変換回路の出力インピーダンスと実質的に等しく、
且つ電流測定用素子のインピーダンスより小さいことが
好ましい。また、インピーダンス変換回路は、電流測定
用素子と伝送線路の間に設けられ、入力端子が電流測定
用素子に電気的に接続され、出力端子が伝送線路を介し
て負荷に電気的に接続されたトランジスタと、トランジ
スタに、トランジスタを駆動する駆動電力を供給するト
ランジスタ電源とを有してよい。

【０００８】また、インピーダンス変換回路は、トラン
ジスタの出力電圧に基づいて、駆動電力を調整してトラ
ンジスタに供給する制御部を更に有してよい。また、電
圧制御部は、反転入力端子が、トランジスタの出力端子
と電気的に接続され、非反転入力端子が、トランジスタ
電源と電気的に接続され、トランジスタの出力端子にお
ける電圧と、トランジスタ電源が生成する電圧とに基づ
く駆動電力をトランジスタに供給するオペアンプを有し
てよい。

【０００９】また、インピーダンス変換回路は、トラン
ジスタとカスケード接続された他のトランジスタを更に
有し、トランジスタ電源は、他のトランジスタに、他の
トランジスタを駆動する駆動電力を供給してよい。

【００１０】本発明の第２の形態においては、負荷に電
圧を供給する電源装置であって、所望の電圧を出力する
複数の電源部と、負荷と複数の電源部のそれぞれとを電
気的に接続し、複数の電源部が出力した電圧を負荷に供
給するための複数の伝送線路とを備え、複数の電源部の
それぞれは、対応する伝送線路と直列に接続された電流
測定用素子と、電流測定用素子を介して伝送線路に電圧
を出力する電源とを有し、電源部の出力インピーダンス
は、電流測定用素子のインピーダンスより小さいことを
特徴とする電源装置を提供する。

【００１１】電流測定用素子は、伝送線路と電気的に接
続される負荷側端子と、オペアンプの出力を受け取る電
源側端子とを有し、電源は、出力端子が、電流測定用素
子の電源側端子に電気的に接続され、反転入力端子が、
電流測定用素子の負荷側端子と電気的に接続されたオペ
アンプと、オペアンプの非反転入力端子に、所望の電圧
を印加するオペアンプ電源とを有してよい。

【００１２】本発明の第３の形態においては、負荷に電
圧を供給する電源装置であって、所望の電圧を発生する
電圧源と、負荷と電圧源との間に設けられた第１電流測
定用素子と、負荷と電圧源との間に第１電流測定用素子
と並列に設けらた第２電流測定用素子と、負荷と、第１
電流測定用素子及び第２電流測定用素子との間に設けら
れ、出力インピーダンスが第１電流測定用素子及び第２
電流測定用素子のインピーダンスより小さいインピーダ
ンス変換回路と、負荷とインピーダンス変換回路とを電
気的に接続する伝送線路とを備え、インピーダンス変換
回路は、伝送線路と第１電流測定用素子との間に設けら
れた第１トランジスタと、伝送線路と第２電流測定用素
子との間に設けられた第２トランジスタと、第１トラン
ジスタ及び第２トランジスタのベース端子に電圧を供給
するオペアンプとを有し、第１トランジスタは、出力端
子が伝送線路と電気的に接続され、入力端子が第１電流
測定用素子と電気的に接続され、第２トランジスタは、
出力端子がオペアンプの非反転入力端子と電気的に接続
され、入力端子が第２電流測定用素子と電気的に接続さ
れ、オペアンプは、反転入力端子が第１トランジスタの
出力端子と電気的に接続され、非反転入力端子が第２ト
ランジスタの出力端子と電気的に接続され、非反転入力
端子に予め定められた電圧が印加され、第１トランジス
タ及び第２トランジスタに、第１トランジスタ及び第２
トランジスタを駆動する駆動電力を供給することを特徴
とする電源装置を提供する。

【００１３】本発明の第４に形態においては、電子デバ
イスを試験する試験装置であって、電子デバイスに予め
定められた電圧を供給する電源装置と、電源装置が、予
め定められた電圧を電子デバイスに供給した場合に、電
子デバイスが受け取る電源電流を検出する電流検出部
と、電流検出部が検出した電源電流に基づいて、電子デ
バイスの良否を判定する判定部とを備え、電源装置は、
電圧を発生する電圧源と、電子デバイスと電圧源との間
に設けらた電流測定用素子と、電子デバイスと電流測定
素子との間に、それぞれが並列に設けられ、それぞれ電
圧源から電流測定用素子を介して受け取る電圧に基づい
て電子デバイスに電圧を出力し、出力インピーダンスが
電流測定用素子のインピーダンスより小さい複数のイン
ピーダンス変換回路と、電子デバイスと複数のインピー
ダンス変換回路のそれぞれとを電気的に接続する複数の
伝送線路とを有し、電流検出部は、電流測定用素子に流
れる電流を電源電流として検出することを特徴とする試
験装置を提供する。

【００１４】電流検出部は、電流測定用素子の電流測定
用素子における電圧降下を検出し、検出した電圧降下に
基づいて電源電流を検出してよい。

【００１５】本発明の第５の形態においては、電子デバ
イスを試験する試験装置であって、電子デバイスに予め
定められた電圧を供給する電源装置と、電源装置が、予
め定められた電圧を電子デバイスに供給した場合に、電
子デバイスが受け取る電源電流を検出する電流検出部
と、電流検出部が検出した電源電流に基づいて、電子デ
バイスの良否を判定する判定部とを備え、電源装置は、
電圧を出力する複数の電源部と、電子デバイスと複数の
電源部のそれぞれとを電気的に接続し、複数の電源部が
出力した電圧を電子デバイスに供給するための複数の伝
送線路とを有し、複数の電源部のそれぞれは、対応する
伝送線路と直列に接続された電流測定用素子と、電流測
定用素子を介して伝送線路に電圧を出力する電源とを含
み、電源部の出力インピーダンスは、電流測定用素子の
インピーダンスより小さく、電流検出部は、電流測定用
素子に流れる電流を、電源電流として検出することを特
徴とする試験装置を提供する。

【００１６】電流測定用素子は、伝送線路と電気的に接
続される負荷側端子と、オペアンプの出力を受け取る電
源側端子とを有し、電源は、出力端子が電流測定用素子
の電源側端子に電気的に接続され、反転入力端子が電流
測定用素子の負荷側端子と電気的に接続され、電流測定
用素子と並列に設けられたオペアンプと、オペアンプの
非反転入力端子に所望の電圧を印加するオペアンプ電源
とを有し、電流検出部は、電流測定用素子の電源側端子
における電圧に基づいて、電源電流を検出してよい。

【００１７】本発明の第６の形態においては、電子デバ
イスを試験する試験装置であって、電子デバイスに予め
定められた電圧を供給する電源装置と、電源装置が、予
め定められた電圧を電子デバイスに供給した場合に、電
子デバイスが受け取る電源電流を検出する電流検出部
と、電流検出部が検出した電源電流に基づいて、電子デ
バイスの良否を判定する判定部とを備え、電源装置は、
所望の電圧を発生する電圧源と、負荷と電圧源との間に
設けられた第１電流測定用素子と、負荷と電圧源との間
に第１電流測定用素子と並列に設けらた第２電流測定用
素子と、負荷と、第１電流測定用素子及び第２電流測定
用素子との間に設けられ、出力インピーダンスが第１電
流測定用素子及び第２電流測定用素子のインピーダンス
より小さいインピーダンス変換回路と、負荷とインピー
ダンス変換回路とを電気的に接続する伝送線路とを備
え、インピーダンス変換回路は、伝送線路と第１電流測
定用素子との間に設けられた第１トランジスタと、伝送
線路と第２電流測定用素子との間に設けられた第２トラ
ンジスタと、第１トランジスタ及び第２トランジスタの
ベース端子に電圧を供給するオペアンプとを有し、第１
トランジスタは、出力端子が伝送線路と電気的に接続さ
れ、入力端子が第１電流測定用素子と電気的に接続さ
れ、第２トランジスタは、出力端子がオペアンプの非反
転入力端子と電気的に接続され、入力端子が第２電流測
定用素子と電気的に接続され、オペアンプは、反転入力
端子が第１トランジスタの出力端子と電気的に接続さ
れ、非反転入力端子が第２トランジスタの出力端子と電
気的に接続され、非反転入力端子に予め定められた電圧
が印加され、第１トランジスタ及び第２トランジスタ
に、第１トランジスタ及び第２トランジスタを駆動する
駆動電力を供給し、電流検出部は、第１トランジスタの
入力端子と接続される第１電流測定用素子の端子と、第
２トランジスタの入力端子と接続される第２電流測定用
素子の端子との間の電位差に基づいて、電源電流を検出
することを特徴とする試験装置を提供する。

【００１８】尚、上記の発明の概要は、本発明の必要な
特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群の
サブコンビネーションも又、発明となりうる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態を通じて
本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲
にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中
で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決
手段に必須であるとは限らない。

【００２０】図１は、本発明における電子デバイスの開
放不良の検出方法の一例を説明する。図１（ａ）におい
て、電子デバイス１０は、試験装置から所定の電圧波形
を受け取る。試験装置は、電子デバイス１０に所定の電
圧波形を供給した場合に、電子デバイス１０に供給され
る電流波形に基づいて、電子デバイス１０の開放不良を
検出する。本例において、電子デバイス１０は、図１
（ａ）に示すように、ゲートが接続された２個のトラン
ジスタを有する。また、電子デバイス１０のそれぞれの
トランジスタには、図１（ｂ）に示すように、ゲート−
ソース間及びゲート−ドレイン間に、ゲート容量を有す
る。

【００２１】試験装置は一例として、電子デバイスに所
定の電圧波形として、ステップ波形の電圧を供給する。
図１に示すように、電子デバイス１０が、ゲート−接地
電位間で開放不良による高抵抗を有する場合、トランジ
スタのゲート電圧は、当該高抵抗及びゲート容量により
変化する。トランジスタのゲート電圧がトランジスタの
閾値電圧Ｖｔｈを超えると、トランジスタに貫通電流が
流れる。試験装置は、当該貫通電流を測定することによ
り、開放不良を検出する。例えば、電子デバイス１０に
開放不良がある場合、トランジスタに供給される電源電
流に、入力電圧波形のステップ周期に略同期した貫通電
流成分が現れる。

【００２２】図２は、電子デバイス１０に供給される入
力電圧波形の一例を示す。図２において、横軸は時間を
示し、縦軸は信号レベルを示す。図２に示すような入力
電圧が電子デバイス１０に供給された場合、図２に示す
ようなゲート電圧が、トランジスタのゲートに印加さ
れ、図１において説明したように、ゲートの電圧が閾値
電圧Ｖｔｈを越えた場合、電子デバイス１０に貫通電流
が流れる。

【００２３】本例において、電子デバイス１０には図２
に示すような電流が流れる。試験装置は、電子デバイス
１０に流れる電流波形を測定し、電子デバイス１０の開
放不良を検出する。例えば、試験装置は、電子デバイス
１０に流れる電流波形のピークを検出し、当該ピークの
周期と入力電圧波形の周期とを比較し、電子デバイス１
０の良否を判定する。本例において、電子デバイス１０
に電圧及び電流を供給する電源装置の出力インピーダン
スは、小さいことが好ましい。また、試験装置は、所定
の周期の電磁波又は電界を電子デバイス１０に与え、試
験を行ってよい。この場合、電子デバイス１０に開放不
良がある場合、当該電磁波又は電界の周期と略同期した
貫通電流が、電子デバイス１０に流れる。

【００２４】図３は、本発明に係る試験装置１００の構
成の一例を示す。試験装置１００は、電源装置２０、電
流検出部３０、及び判定部４０を有する。電源装置２０
は、電子デバイス１０に予め定められた電圧を供給す
る。例えば、電源装置２０は、ステップ波形の電圧を電
子デバイス１０に供給してよい。電流検出部３０は、電
源装置２０が予め定められた電圧を電子デバイス１０に
供給した場合に、電子デバイス１０が受け取る電源電流
を検出する。判定部４０は、電流検出部３０が検出した
電源電流に基づいて、電子デバイス１０の良否を判定す
る。例えば、判定部４０は、電流検出部３０が検出した
電源電流の電流波形に基づいて電子デバイス１０の良否
を判定してよい。また、判定部４０は、当該電源電流の
ピークの周期と、電源装置２０が電子デバイス１０に印
加した電圧周期とに基づいて、電子デバイス１０の良否
を判定してよい。また、試験装置１００は、電子デバイ
ス１０に所定の周期の電磁波又は電界を与える手段を更
に備えてよい。この場合、判定部４０は、電流検出部３
０が検出した電源電流の周期と、当該電磁波又は電界の
周期とを比較し、電子デバイス１０の良否を判定してよ
い。以下、電源装置２０及び電流検出部３０について説
明する。

【００２５】図４は、電源装置２０及び電源検出部３０
の構成の一例を示す。電源装置２０は一例として、電圧
源５０、電流測定用素子５２、インピーダンス変換回路
６０、伝送線路７０、コンデンサ５４を有する。

【００２６】電圧源５０は、所望の電圧を発生する。電
圧源５０は、直流電圧源であってよい。また、電圧源５
０は、可変直流電圧源であってよい。この場合、電圧源
５０は、所望のステップ波形の電圧を発生してよい。

【００２７】電流測定用素子５２は、負荷である電子デ
バイス１０と電圧源５０との間に設けられる。電流測定
用素子５２は、電圧源５０から所望の電圧を受け取る。
電流測定用素子５２は、所望のインピーダンスを有する
素子である。例えば、電流測定用素子５２は一例として
抵抗であってよく、またコイル、コンデンサ等の素子で
あってよい。例えば、電流測定用素子５２は、１００Ω
（オーム）程度のインピーダンスを有する抵抗であって
よい。電流測定用素子５２には、電圧源５０から受け取
った電圧に基づいた電流が流れる。

【００２８】インピーダンス変換回路６０は、電子デバ
イス１０と電流測定用素子との間に設けられる。インピ
ーダンス変換回路６０は電圧源５０から電流測定用素子
５２を介して受け取る電圧に基づいて、電子デバイス１
０に電圧を出力する。インピーダンス変換回路６０は、
電流測定用素子５２と、後述する伝送線路７０との間で
インピーダンスを変換する。インピーダンス変換回路６
０の出力インピーダンスは、電流測定用素子５２のイン
ピーダンスより小さい。インピーダンス変換回路６０
は、電流測定用素子５２を介して電圧源５０から受け取
った電圧及び電流を、伝送線路７０を介して電子デバイ
ス１０に供給する。

【００２９】伝送線路７０は、電子デバイス１０とイン
ピーダンス変換回路６０とを電気的に接続する。伝送線
路７０のインピーダンスは、電流測定用素子５２のイン
ピーダンスより小さいことが好ましい。例えば、伝送線
路７０は、０．１Ω程度のインピーダンスを有すること
が好ましい。また、伝送線路７０のインピーダンスは、
インピーダンス変換回路の出力インピーダンスと実質的
に等しいことが好ましい。

【００３０】コンデンサ５４は、図４に示すように、伝
送線路７０に電気的に接続される。コンデンサ５４は、
伝送線路７０の電子デバイス１０近傍に接続されること
が好ましい。コンデンサ５４は、電子デバイス１０に供
給される電圧及び電流を安定に保つ。例えば、電子デバ
イス１０に供給される電流が急峻に増大した場合、コン
デンサ５４は、電流増大分に相当する電流を、電子デバ
イス１０に供給してよい。

【００３１】本例における電源装置２０の構成によれ
ば、インピーダンス変換回路６０を介して電流測定用素
子５２と電子デバイス１０とを接続することにより、電
子デバイス１０から見た電源装置２０のインピーダンス
を減少させることができる。つまり、電子デバイス１０
から見た電源装置２０のインピーダンスを、伝送線路７
０のインピーダンスとほぼ等しくすることができ、電源
装置２０の時定数を減少させることができる。ここで、
電源装置２０の時定数とは伝送線路７０におけるインピ
ーダンスと、コンデンサ５４のインピーダンスとによっ
て決まり、時定数が小さい電源装置２０のほうが、高速
に動作することができる。例えば、周波数の高いステッ
プ波形を電子デバイス１０に供給することができ、効率
よく電子デバイス１０の試験を行うことができる。

【００３２】また、インピーダンス変換回路６０を用い
ることにより、電流測定用素子５２のインピーダンスを
高くしても、電子デバイス１０から見た電源装置２０の
インピーダンスは変化しない。このため、電流測定用素
子５２のインピーダンスを高くすることができ、精度よ
く電流を検出することができる。

【００３３】電流検出部３０は、図４（ａ）に示すよう
に、オペアンプ３２を有してよい。オペアンプ３２は、
電流測定用素子５２の両端の電位差を検出する。オペア
ンプ３２の非反転入力端子は、電流測定用素子５２の電
圧源５０側の端子に接続され、オペアンプ３２の反転入
力端子は、電流測定用素子５２の負荷側の端子に接続さ
れてよい。電流検出部３０は、オペアンプ３２が検出し
た電位差に基づいて、電流測定用素子５２に流れる電流
を検出してよい。判定部４０は、電流検出部３０が検出
した電流に基づいて電子デバイス１０の良否を判定す
る。本例において、電流検出部３０はオペアンプ３２に
よって、電流測定用素子５２に流れる電流を検出した
が、他の例においては、電流検出部３０は他の手段によ
って、電流測定用素子５２に流れる電流を検出してよ
い。例えば、電流検出部３０は、波形ディジタイザ等に
よって、電流測定用素子５２に流れる電流を検出してよ
い。

【００３４】次にインピーダンス変換回路６０の構成に
ついて説明する。インピーダンス変換回路６０は一例と
して、図４（ａ）に示すように、トランジスタ６２、及
びトランジスタ電源６８を有する。トランジスタ６２
は、電流測定用素子５２と伝送線路７０との間に設けら
れる。トランジスタ６２の入力端子は、電流測定用素子
５２に電気的に接続され、出力端子は、伝送線路７０を
介して電子デバイス１０に電気的に接続される。本例に
おいて、トランジスタ６２はｎｐｎ型バイポーラトラン
ジスタであってよい。この場合、本例においてトランジ
スタ６２の出力端子は、トランジスタ６２の出力端子を
指し、トランジスタ６２の入力端子は、トランジスタ６
２の入力端子を指す。トランジスタ電源６８は、トラン
ジスタ６２のベース端子に、トランジスタ６２を駆動す
る駆動電圧を印加する。トランジスタ電源６８は一例と
して、電圧源５０と略同一の電圧を、トランジスタ６２
のベース端子に印加してよい。この場合、トランジスタ
６２の相互コンダクタンスをｇ_ｍとし、電流増幅率をα
とすると、インピーダンス変換回路の出力インピーダン
スＲｉはＲｉ＝α／ｇ_ｍとなる。また、本例においてト
ランジスタ６２としてバイポーラトランジスタを用いて
説明したが、他の例においては、トランジスタ６２は、
電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）であってよい。

【００３５】また、電源装置２０は図４（ｂ）に示すよ
うに、複数のインピーダンス変換回路６０と複数の伝送
線路７０とを有してよい。複数のインピーダンス変換回
路６０は、図４（ｂ）に示すように電子デバイス１０と
電流測定用素子５２との間に、それぞれが並列に設けら
れる。また、複数の伝送線路７０は、図４（ｂ）に示す
ように、複数のインピーダンス変換回路６０と電子デバ
イス１０とを電気的に接続する。本例のように、インピ
ーダンス変換回路６０及び伝送線路７０を、それぞれ複
数並列に設けることにより、インピーダンス変換回路６
０と電子デバイス１０との間のインピーダンスを小さく
することができる。例えば、複数の伝送線路７０のそれ
ぞれのインピーダンスを１Ωとすると、１０本の伝送線
路７０及びインピーダンス変換回路６０を並列に設ける
ことにより、伝送線路全体のインピーダンスを０．１Ω
とすることができる。このため、それぞれの伝送線路７
０のインピーダンスをある程度大きくすることができ、
電源装置２０を容易に構成することができる。

【００３６】図５は、インピーダンス変換回路６０の構
成の他の例を示す。図５（ａ）において、インピーダン
ス変換回路６０は、図４に関連して説明したインピーダ
ンス変換回路６０と同様の機能及び構成を有する。イン
ピーダンス変換回路６０は、トランジスタ６２及びトラ
ンジスタ電源６８を有する。本例において、トランジス
タ６２は、電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）である。本
例において、トランジスタ６２の出力端子は、トランジ
スタ６２のソース端子を指し、トランジスタ６２の入力
端子は、トランジスタ６２のドレイン端子を指してよ
い。また、トランジスタ６２のゲート端子は、図４に関
連して説明したトランジスタ６２のベース端子と同様の
機能及び接続関係を有してよい。本例におけるインピー
ダンス変換回路６０を用いても、図４に関連して説明し
た試験装置１００及び電源装置２０と同様の機能を有す
る試験装置１００及び電源装置２０を構成することがで
きる。

【００３７】図５（ｂ）は、インピーダンス変換回路６
０の構成の他の例を示す。インピーダンス変換回路６０
は、カスケード接続された複数のトランジスタ６２と、
複数のトランジスタ６２のそれぞれを駆動する駆動電力
を、それぞれのトランジスタ６２の供給するトランジス
タ電源６８とを有する。本例におけるインピーダンス変
換回路６０によれば、電源装置２０の動作範囲を拡大す
ることができる。

【００３８】図６は、インピーダンス変換回路６０の構
成の他の例を示す。インピーダンス変換回路６０は、ト
ランジスタ６２、電圧制御部７２、及びトランジスタ電
源６８を有する。トランジスタ６２、及びトランジスタ
電源６８は、図４に関連して説明したトランジスタ６２
及びトランジスタ電源６８と同一又は同様の機能及び構
成を有してよい。

【００３９】電圧制御部７２は、トランジスタ６２の出
力端子における電圧に基づいて、トランジスタ電源６８
がトランジスタ６２のベース端子に印加する電圧を制御
する。電圧制御部７２は、電子デバイス１０に印加され
る電圧が所望の値を保つように、トランジスタ６２のベ
ース端子に印加される電圧を制御する。電圧制御部７２
は一例として、オペアンプ６６、及びローパスフィルタ
６４を有してよい。

【００４０】オペアンプ６６は、トランジスタ６２のベ
ース端子と、トランジスタ電源６８との間に設けられ
る。オペアンプ６６の反転入力端子は、トランジスタ６
２の出力端子と電気的に接続され、非反転入力端子は、
トランジスタ電源６８と電気的に接続される。電子デバ
イス１０に印加するべき電圧波形を発生してよい。オペ
アンプ６６は、トランジスタ電源６８から印加される電
圧と、電子デバイス１０に印加される電圧との差を小さ
くするように、トランジスタ６２のベース端子に印加さ
れる電圧を制御する。オペアンプ６６の出力端子は、ト
ランジスタ６２のベース端子に電気的に接続される。ロ
ーパスフィルタ６４は、オペアンプ６６が出力する電圧
の高周波成分をカットして、オペアンプ６６が出力する
電圧の低周波成分をトランジスタ６２のベース端子に印
加する。

【００４１】本例において、インピーダンス変換回路６
０の出力インピーダンスは、オペアンプ６６が応答でき
る周波数領域においてはほぼ零となり、電子デバイス１
０側から見た電源装置のインピーダンスを低減すること
ができる。また、オペアンプ６６が応答できない程度の
周波数領域においては、インピーダンス変換回路６０の
出力インピーダンスは、図４において説明したインピー
ダンス変換回路６０の出力インピーダンスと略同一とな
る。また、本例においても、トランジスタ６２は、図５
に関連して説明したように、電界効果トランジスタ（Ｆ
ＥＴ）であってよい。

【００４２】図７は、インピーダンス変換回路６０の他
の構成を示す。インピーダンス変換回路６０は、第１ト
ランジスタ７８、第２トランジスタ８０、電圧制御部７
２、及びトランジスタ電源６８を有する。図７におい
て、図６と同一の符号を付した物は、図６に関連して説
明した物と同一又は同様の機能及び構成を有してよい。
本例において、電源装置２０（図４参照）は、第１電流
測定用素子７４、及び第２電流測定用素子７６を有す
る。第１電流測定用素子７４及び第２電流測定用素子７
６は、図４に関連して説明した電流測定用素子５２と同
一又は同様の機能及び構成を有する。

【００４３】第１電流測定用素子７４は、電子デバイス
１０と電圧源５０との間に設けられる。本例において、
第１電流測定用素子７４は図７に示すように、電圧源５
０とインピーダンス変換回路６０との間に設けられる。
第１電流測定用素子７４は、電圧源５０から所望の電圧
を受け取る。第２電流測定用素子７６は、電子デバイス
１０と電圧源５０との間に設けられる。本例において、
第２電流測定用素子７６は図７に示すように、電圧源５
０とインピーダンス変換回路６０との間に、第１電流測
定用素子７４と並列に設けられる。第２電流測定用素子
７６は、電圧源５０から所望の電圧を受け取る。

【００４４】インピーダンス変換回路６０は、電子デバ
イス１０と、第１電流測定用素子７４及び第２電流測定
用素子７６との間に設けられる。本例において、インピ
ーダンス変換回路６０は、伝送線路７０と、第１電流測
定用素子７４及び第２電流測定用素子７６との間に設け
られる。インピーダンス変換回路６０は、電圧源５０か
ら、第１電流測定用素子７４及び第２電流測定用素子７
６を介して受け取る電圧に基づいて電子デバイス１０に
電圧を出力する。インピーダンス変換回路６０の出力イ
ンピーダンスは、第１電流測定用素子７４及び第２電流
測定用素子７６のインピーダンスより小さい。

【００４５】第１トランジスタ７８は、伝送線路７０と
第１電流測定用素子７４との間に設けられる。第１トラ
ンジスタ７８の出力端子は、伝送線路７０と電気的に接
続され、入力端子は第１電流測定用素子７４と電気的に
接続され、ベース端子はオペアンプ６６の出力端子と電
気的に接続される。

【００４６】第２トランジスタ８０は、図７に示すよう
に第１トランジスタ７８と並列に設けられる。第２トラ
ンジスタ８０の出力端子は、オペアンプ６６の非反転入
力端子と電気的に接続され、入力端子は第２電流測定用
素子７６と電気的に接続され、ゲート端子はオペアンプ
６６の出力端子と電気的に接続される。

【００４７】オペアンプ６６の反転入力端子は、第１ト
ランジスタの出力端子と電気的に接続され、非反転入力
端子は第２トランジスタ８０の出力端子と電気的に接続
され、出力端子は第１トランジスタ７８のゲート端子及
び第２トランジスタ８０のベース端子と電気的に接続さ
れる。また、オペアンプ６６の非反転入力端子には、ト
ランジスタ電源６８から予め定められた電圧が印加され
る。

【００４８】本例において、電流検出部３０は、第１ト
ランジスタ７８の入力端子と接続される第１電流測定用
素子７４の端子と、第２トランジスタの入力端子と接続
される第２電流測定用素子７６の端子との間の電位差に
基づいて、電子デバイス１０に供給される電源電流を検
出する。本例における電源装置２０によれば、第１電流
測定用素子７４の端子と、第２電流測定用素子７６の端
子との電位差に基づいて、当該電源電流を検出するた
め、当該電源電流の変化分を検出することができる。つ
まり、電流検出部３０が差動測定することにより、電源
電流のベース成分をキャンセルし、電源電流の変化分の
みを検出することができる。このため、電源電流の変化
分の測定レンジを拡大することができる。また、本例に
おいて、第１トランジスタ８２及び第２トランジスタ８
０は、図５に関連して説明したトランジスタ６２と同様
に、電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）であってよい。

【００４９】図８は、電源装置２０の他の構成を示す。
図８において、図７と同一の符号を付した物は、図８に
関連して説明した物と同一又は同様の機能及び構成を有
してよい。電源装置２０は、電源部９０及び伝送線路７
０を有する。伝送線路７０は、電子デバイス１０と電源
部９０とを電気的に接続し、電源部９０が出力した電圧
を電子デバイス１０に供給する。

【００５０】電源部９０は、伝送線路と直列に接続され
た電流測定用素子９２と、電流測定用素子９２を介して
伝送線路に電圧を出力する電源８２とを有する。電源部
９０の出力インピーダンスは、電流測定用素子９２のイ
ンピーダンスより小さい。電流測定用素子９２は、図４
に関連して説明した電流測定用素子５２と同一又は同様
の機能及び構成を有してよい。

【００５１】電源８２は、電流測定用素子９２と並列に
設けられたオペアンプ６６を有する。電流測定用素子９
２は、伝送線路７０と電気的に接続される負荷側端子
と、オペアンプの出力を受け取る電源側端子とを有す
る。オペアンプ６６の出力端子は、電流測定用素子９２
の電源側端子に電気的に接続され、反転入力端子は、電
流測定用素子９２の負荷側端子と電気的に接続され、非
反転入力端子には、所望の電圧が与えられる。

【００５２】伝送線路７０のインピーダンスをＲ１と
し、電流測定用素子９２のインピーダンスをＲ２とし、
オペアンプの利得をＡとした場合、電子デバイス１０側
から見た電源装置２０のインピーダンスＲｉは、Ｒｉ＝
Ｒ１＋Ｒ２／Ａとなる。本例において説明した電源装置
２０によれば、出力インピーダンスの小さい電源装置を
容易に構成することができる。

【００５３】本例において、電流検出部３０は、電流測
定用素子３０の電源側端子における電圧に基づいて、電
子デバイス１０に供給される電源電流を検出する。ま
た、電源装置２０は、図４（ｂ）に示すように、複数の
電源部９０及び伝送線路を有してよい。この場合、複数
の電源部９０はそれぞれ並列に設けられ、複数の伝送線
路は、複数の電源部９０のそれぞれを電子デバイス１０
と電気的に接続する。電流検出部は、それぞれの電源部
９０が電子デバイス１０に供給する電源電流の総和を算
出してよい。本例における電源装置２０によれば、複数
の伝送線路７０を並列に設けることにより、伝送線路７
０全体のインピーダンスを低減することができる。

【００５４】図９は、本発明における電子デバイスの開
放不良の検出方法の他の例を説明する。本例において、
試験装置１００は、電源１５０と、インピーダンス変換
回路６０と、伝送線路７０と、電流検出部３０と、判定
部とを備える。電源１５０は、電子デバイス１０を駆動
させる電力を、電子デバイス１０に供給する。電源１５
０は、例えば電圧源であってよい。また、電源１５０
は、所望の直流電圧に、所定の周期の交流電圧を重畳し
た電圧を、電子デバイス１０に供給する電源であってよ
い。

【００５５】インピーダンス変換回路６０、伝送線路７
０、及び電流検出部３０は、図３から図８に関連して説
明したインピーダンス変換回路６０、伝送線路７０、及
び電流検出部３０と同一又は同様の機能及び構成を有し
てよい。インピーダンス変換回路６０及び伝送線路７０
は、電子デバイス１０と接地電位との間に設けられる。
電子デバイス１０は、電源１５０から供給された電力に
基づいた電流を、伝送線路７０及びインピーダンス変換
回路６０を介して、接地電位に流す。本例において、イ
ンピーダンス変換回路６０は、入力インピーダンスが出
力インピーダンスより小さいことが好ましい。電流検出
部３０は、電子デバイス１０が接地電位に流した電流を
検出する。判定部（図示せず）は、電流検出部３０が検
出した電流に基づいて、電子デバイス１０の良否を判定
する。判定部は、図４から図８に関連して説明した判定
部４０と同一又は同様の機能及び構成を有してよい。本
例における試験装置１００によれば、図４から図８に関
連して説明した試験装置１００と同様の効果を得ること
ができる。

【００５６】以上、本発明を実施の形態を用いて説明し
たが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲
には限定されない。上記実施形態に、多様な変更または
改良を加えることができる。そのような変更または改良
を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ること
が、特許請求の範囲の記載から明らかである。

【００５７】

【発明の効果】上記説明から明らかなように、本発明に
よれば、負荷側から見たインピーダンスの小さい電源装
置及び試験装置を提供することができる。このため、効
率よく電子デバイスの試験を行うことができる。また、
電源電流の変化を検出することにより、容易に電子デバ
イスの開放不良を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明における電子デバイスの開放不良の検
出方法の一例を説明する。

【図２】 電子デバイス１０に供給される入力電圧波形
の一例を示す。

【図３】 本発明に係る試験装置１００の構成の一例を
示す。

【図４】 電源装置２０及び電源検出部３０の構成の一
例を示す。

【図５】 インピーダンス変換回路６０の構成の他の例
を示す。

【図６】 インピーダンス変換回路６０の構成の他の例
を示す。

【図７】 インピーダンス変換回路６０の他の構成を示
す。

【図８】 電源装置２０の他の構成を示す。

【図９】 本発明における電子デバイスの開放不良の検
出方法の他の例を説明する。

【符号の説明】

１０・・・電子デバイス、２０・・・電源装置、３０・
・・電流検出部、３２・・・オペアンプ、４０・・・判
定部、５０・・・電圧源、５２・・・電流測定用素子、
５４・・・コンデンサ、６０・・・インピーダンス変換
回路、６２・・・トランジスタ、６４・・・ローパスフ
ィルタ、６６・・・オペアンプ、６８・・・トランジス
タ電源、７０・・・伝送線路、７２・・・電圧制御部、
７４・・・第１電流測定用素子、７６・・・第２電流測
定用素子、７８・・・第１トランジスタ、８０・・・第
２トランジスタ、９０・・・電源部、９２・・・電流測
定用素子、１００・・・試験装置、１５０・・・電源

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 負荷に電圧を供給する電源装置であっ
   て、 所望の電圧を発生する電圧源と、 前記負荷と前記電圧源との間に設けられ、前記電圧源か
   ら前記所望の電圧を受け取る電流測定用素子と、 前記負荷と前記電流測定用素子との間にそれぞれ並列に
   設けられ、出力インピーダンスが前記電流測定用素子の
   インピーダンスより小さい複数のインピーダンス変換回
   路と、 前記負荷と前記複数のインピーダンス変換回路のそれぞ
   れとを電気的に接続する複数の伝送線路とを備えること
   を特徴とする電源装置。
2. 【請求項２】 前記伝送線路のインピーダンスは、イン
   ピーダンス変換回路の出力インピーダンスと実質的に等
   しく、且つ前記電流測定用素子のインピーダンスより小
   さいことを特徴とする請求項１に記載の電源装置。
3. 【請求項３】 前記インピーダンス変換回路は、 前記電流測定用素子と前記伝送線路の間に設けられ、入
   力端子が前記電流測定用素子に電気的に接続され、出力
   端子が前記伝送線路を介して前記負荷に電気的に接続さ
   れたトランジスタと、 前記トランジスタに、前記トランジスタを駆動する駆動
   電力を供給するトランジスタ電源とを有することを特徴
   とする請求項１又は２に記載の電源装置。
4. 【請求項４】 前記インピーダンス変換回路は、 前記トランジスタの出力電圧に基づいて、前記駆動電力
   を調整して前記トランジスタに供給する制御部を更に有
   することを特徴とする請求項３に記載の電源装置。
5. 【請求項５】 前記電圧制御部は、 反転入力端子が、前記トランジスタの前記出力端子と電
   気的に接続され、非反転入力端子が、前記トランジスタ
   電源と電気的に接続され、 前記トランジスタの前記出力端子における電圧と、前記
   トランジスタ電源が生成する電圧とに基づく前記駆動電
   力を前記トランジスタに供給するオペアンプを有するこ
   とを特徴とする請求項４に記載の電源装置。
6. 【請求項６】 前記インピーダンス変換回路は、前記ト
   ランジスタとカスケード接続された他のトランジスタを
   更に有し、 前記トランジスタ電源は、前記他のトランジスタに、前
   記他のトランジスタを駆動する駆動電力を供給すること
   を特徴とする請求項５に記載の電源装置。
7. 【請求項７】 負荷に電圧を供給する電源装置であっ
   て、 所望の電圧を出力する複数の電源部と、 前記負荷と前記複数の電源部のそれぞれとを電気的に接
   続し、前記複数の電源部が出力した電圧を前記負荷に供
   給するための複数の伝送線路とを備え、 前記複数の電源部のそれぞれは、 対応する前記伝送線路と直列に接続された電流測定用素
   子と、 前記電流測定用素子を介して前記伝送線路に電圧を出力
   する電源とを有し、 前記電源部の出力インピーダンスは、前記電流測定用素
   子のインピーダンスより小さいことを特徴とする電源装
   置。
8. 【請求項８】 前記電流測定用素子は、前記伝送線路と
   電気的に接続される負荷側端子と、前記オペアンプの出
   力を受け取る電源側端子とを有し、 前記電源は、出力端子が、前記電流測定用素子の前記電
   源側端子に電気的に接続され、反転入力端子が、前記電
   流測定用素子の前記負荷側端子と電気的に接続されたオ
   ペアンプと、 前記オペアンプの非反転入力端子に、所望の電圧を印加
   するオペアンプ電源とを有することを特徴とする請求項
   ７に記載の電源装置。
9. 【請求項９】 負荷に電圧を供給する電源装置であっ
   て、 所望の電圧を発生する電圧源と、 前記負荷と前記電圧源との間に設けられた第１電流測定
   用素子と、 前記負荷と前記電圧源との間に前記第１電流測定用素子
   と並列に設けらた第２電流測定用素子と、 前記負荷と、前記第１電流測定用素子及び前記第２電流
   測定用素子との間に設けられ、出力インピーダンスが前
   記第１電流測定用素子及び前記第２電流測定用素子のイ
   ンピーダンスより小さいインピーダンス変換回路と、 前記負荷と前記インピーダンス変換回路とを電気的に接
   続する伝送線路とを備え、 前記インピーダンス変換回路は、 前記伝送線路と前記第１電流測定用素子との間に設けら
   れた第１トランジスタと、 前記伝送線路と前記第２電流測定用素子との間に設けら
   れた第２トランジスタと、 前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタのベー
   ス端子に電圧を供給するオペアンプとを有し、 前記第１トランジスタは、 出力端子が前記伝送線路と電気的に接続され、 入力端子が前記第１電流測定用素子と電気的に接続さ
   れ、 前記第２トランジスタは、 出力端子が前記オペアンプの非反転入力端子と電気的に
   接続され、 入力端子が前記第２電流測定用素子と電気的に接続さ
   れ、 前記オペアンプは、 反転入力端子が前記第１トランジスタの出力端子と電気
   的に接続され、 非反転入力端子が前記第２トランジスタの出力端子と電
   気的に接続され、 前記非反転入力端子に予め定められた電圧が印加され、 前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタに、前
   記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタを駆動す
   る駆動電力を供給することを特徴とする電源装置。
10. 【請求項１０】 電子デバイスを試験する試験装置であ
    って、 前記電子デバイスに予め定められた電圧を供給する電源
    装置と、 前記電源装置が、前記予め定められた電圧を前記電子デ
    バイスに供給した場合に、前記電子デバイスが受け取る
    電源電流を検出する電流検出部と、 前記電流検出部が検出した前記電源電流に基づいて、前
    記電子デバイスの良否を判定する判定部とを備え、 前記電源装置は、 電圧を発生する電圧源と、 前記電子デバイスと前記電圧源との間に設けらた電流測
    定用素子と、 前記電子デバイスと前記電流測定素子との間に、それぞ
    れが並列に設けられ、それぞれ前記電圧源から前記電流
    測定用素子を介して受け取る電圧に基づいて前記電子デ
    バイスに電圧を出力し、出力インピーダンスが前記電流
    測定用素子のインピーダンスより小さい複数のインピー
    ダンス変換回路と、 前記電子デバイスと前記複数のインピーダンス変換回路
    のそれぞれとを電気的に接続する複数の伝送線路とを有
    し、 前記電流検出部は、前記電流測定用素子に流れる電流を
    前記電源電流として検出することを特徴とする試験装
    置。
11. 【請求項１１】 前記電流検出部は、前記電流測定用素
    子の前記電流測定用素子における電圧降下を検出し、検
    出した前記電圧降下に基づいて前記電源電流を検出する
    ことを特徴とする請求項１０に記載の試験装置。
12. 【請求項１２】 電子デバイスを試験する試験装置であ
    って、 前記電子デバイスに予め定められた電圧を供給する電源
    装置と、 前記電源装置が、前記予め定められた電圧を前記電子デ
    バイスに供給した場合に、前記電子デバイスが受け取る
    電源電流を検出する電流検出部と、 前記電流検出部が検出した前記電源電流に基づいて、前
    記電子デバイスの良否を判定する判定部とを備え、 前記電源装置は、 電圧を出力する複数の電源部と、 前記電子デバイスと前記複数の電源部のそれぞれとを電
    気的に接続し、前記複数の電源部が出力した電圧を前記
    電子デバイスに供給するための複数の伝送線路とを有
    し、 前記複数の電源部のそれぞれは、 対応する前記伝送線路と直列に接続された電流測定用素
    子と、 前記電流測定用素子を介して前記伝送線路に電圧を出力
    する電源とを含み、 前記電源部の出力インピーダンスは、前記電流測定用素
    子のインピーダンスより小さく、 前記電流検出部は、前記電流測定用素子に流れる電流
    を、前記電源電流として検出することを特徴とする試験
    装置。
13. 【請求項１３】 前記電流測定用素子は、前記伝送線路
    と電気的に接続される負荷側端子と、前記オペアンプの
    出力を受け取る電源側端子とを有し、 前記電源は、出力端子が前記電流測定用素子の前記電源
    側端子に電気的に接続され、反転入力端子が前記電流測
    定用素子の前記負荷側端子と電気的に接続され、前記電
    流測定用素子と並列に設けられたオペアンプと、 前記オペアンプの非反転入力端子に所望の電圧を印加す
    るオペアンプ電源とを有し、 前記電流検出部は、前記電流測定用素子の前記電源側端
    子における電圧に基づいて、前記電源電流を検出するこ
    とを特徴とする請求項１２に記載の試験装置。
14. 【請求項１４】 電子デバイスを試験する試験装置であ
    って、 前記電子デバイスに予め定められた電圧を供給する電源
    装置と、 前記電源装置が、前記予め定められた電圧を前記電子デ
    バイスに供給した場合に、前記電子デバイスが受け取る
    電源電流を検出する電流検出部と、 前記電流検出部が検出した前記電源電流に基づいて、前
    記電子デバイスの良否を判定する判定部とを備え、 前記電源装置は、 所望の電圧を発生する電圧源と、 前記負荷と前記電圧源との間に設けられた第１電流測定
    用素子と、 前記負荷と前記電圧源との間に前記第１電流測定用素子
    と並列に設けらた第２電流測定用素子と、 前記負荷と、前記第１電流測定用素子及び前記第２電流
    測定用素子との間に設けられ、出力インピーダンスが前
    記第１電流測定用素子及び前記第２電流測定用素子のイ
    ンピーダンスより小さいインピーダンス変換回路と、 前記負荷と前記インピーダンス変換回路とを電気的に接
    続する伝送線路とを備え、 前記インピーダンス変換回路は、 前記伝送線路と前記第１電流測定用素子との間に設けら
    れた第１トランジスタと、 前記伝送線路と前記第２電流測定用素子との間に設けら
    れた第２トランジスタと、 前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタのベー
    ス端子に電圧を供給するオペアンプとを有し、 前記第１トランジスタは、 出力端子が前記伝送線路と電気的に接続され、 入力端子が前記第１電流測定用素子と電気的に接続さ
    れ、 前記第２トランジスタは、 出力端子が前記オペアンプの非反転入力端子と電気的に
    接続され、 入力端子が前記第２電流測定用素子と電気的に接続さ
    れ、 前記オペアンプは、 反転入力端子が前記第１トランジスタの出力端子と電気
    的に接続され、 非反転入力端子が前記第２トランジスタの出力端子と電
    気的に接続され、 前記非反転入力端子に予め定められた電圧が印加され、 前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタに、前
    記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタを駆動す
    る駆動電力を供給し、 前記電流検出部は、前記第１トランジスタの前記入力端
    子と接続される前記第１電流測定用素子の端子と、前記
    第２トランジスタの前記入力端子と接続される前記第２
    電流測定用素子の端子との間の電位差に基づいて、前記
    電源電流を検出することを特徴とする試験装置。