JP2003052182A

JP2003052182A - 圧電アクチュエータ及びその製造方法

Info

Publication number: JP2003052182A
Application number: JP2001236646A
Authority: JP
Inventors: Osamu Ise; 理伊勢
Original assignee: NEC Tokin Corp
Current assignee: Tokin Corp
Priority date: 2001-08-03
Filing date: 2001-08-03
Publication date: 2003-02-21

Abstract

(57)【要約】【課題】収縮の変位量が大きい圧電素子と、それを用
いた圧電アクチュエータを得る方法を提供すること。【解決手段】円柱形状もしくは多角柱形状の圧電体
に、長手方向に連続し、かつ長手方向に垂直な面の断面
において、異なる極性が同心円状に交互に位置するよう
に、内部電極を配置し、電圧の印加によって、断面積が
拡がる変位が生じるようにする。断面積が拡がることに
よって、断面と垂直な方向が収縮するが、この収縮量
は、通常の圧電横効果を利用した圧電体素子よりも大き
く、収縮の変位量が大きい圧電体素子が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電アクチュエー
タに関わり、特に電圧の印加による収縮を変位として利
用した圧電アクチュエータとその製造方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】圧電素子を用いた圧電アクチュエータ
は、その構造などによって、以下の４種に大別される。（１）圧電縦効果素子（２）圧電横効果素子（３）圧電バイモルフ（モノモルフ）型素子（４）圧電積層縦効果素子

【０００３】これらの中で、圧電縦効果素子と圧電横効
果素子は、圧電体に電極などを取り付けるだけで、殆ど
そのまま用いるため、アクチュエータとしての変位量は
小さい。圧電バイモルフは、圧電素子に弾性板を取り付
け、変位を拡大したもので、変位量は大きいものの、駆
動力が小さい。また、圧電積層縦効果素子は、厚みを薄
くした圧電縦効果素子を積層した構造であり、変位量、
駆動力ともに大きく、応答速度が速いなど、圧電アクチ
ュエータの利点を活用できる。

【０００４】そして、圧電縦効果素子、圧電積層縦効果
素子は、縦効果の圧電ｄ定数であるｄ３３を利用し、圧
電横効果素子及び圧電バイモルフは横効果の圧電ｄ定数
であるｄ３１を利用して変位を得る。縦効果の圧電ｄ定
数であるｄ３３は、伸長の変位であり、横効果の圧電ｄ
定数である収縮のｄ３１と比較すると、変位の絶対量は
約２倍である。

【０００５】このため、実用的には、大きな変位量を有
する圧電バイモルフや、大きな駆動力を有し精密制御が
可能な圧電積層縦効果素子、または圧電積層縦効果素子
と変位拡大機構を組み合わせたものが、圧電アクチュエ
ータとして使用されている。

【０００６】前記のように、圧電積層縦効果素子の変位
は、電圧の印加によって生じる伸長である。逆に、収縮
の変位を利用したい場合、たとえば精密微動用のアクチ
ュエータとして用いる場合などは、素子に一定の電圧を
予め印加しておき、伸長が必要な場合は電圧を大きく、
収縮が必要な場合は電圧を小さくするという方法を用い
る。

【０００７】そして、圧電アクチュエータにおいては、
電圧が印加されていない状態から収縮させるという動作
は、非常に困難である。収縮させるには、電圧を伸長の
場合とは逆に印加することになるが、一定以上の電圧を
逆に印加すると、分極方向が逆転し、変位は収縮から伸
長に転じるからである。特に大きな変位量が必要で、高
電圧を印加して高電界駆動を行なう場合には、圧電体を
再分極するほどの電界が印加されることになり、収縮の
変位を用いるのは、実用的に不可能である。

【０００８】このため、収縮の変位を利用する圧電アク
チュエータが必要な場合は、構造的に変位量が少なく、
さらに絶対変位量が少ないｄ３１を用いる圧電横効果素
子、精度が得られない圧電バイモルフ、または、圧電積
層縦効果素子に変位を逆転させる機構を付与したものを
用いるしかないのが現状である。

【０００９】図８は、圧電横効果素子８０１に電圧を印
加した状態を示す模式図である。図８において、矢印８
０２は分極の方向、８０３は電極、８０４はリード線を
示す。なお、図示しないが、電極８０３が設けられてい
る面に対向する面にも、電極が設けられている。この圧
電横効果素子８０１への電圧の印加によって電極間、即
ち、図８における前後の方向は伸長の変位が生じ、垂直
方向、即ち、図８における縦及び横の方向には収縮の変
位が生じる。しかし、収縮方向の変位量は少ない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の技術
的な課題は、特別な機構を付加することなく、電圧の印
加によって収縮変位を高効率で発現する圧電アクチュエ
ータと、その製造方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記の課題の
解決策として、円柱もしくは多角柱の形状を有し、長手
方向に連続した内部電極を有する圧電素子において、断
面の面積が拡がる変位を大きくし、その垂直方向の収縮
も大きくなるような内部電極の配置を検討した結果なさ
れたものである。

【００１２】即ち、本発明は、電圧の印加によって特定
の面の面積が拡がるように内部電極を配置し、前記特定
の面の垂直方向の収縮を用いることを特徴とする圧電ア
クチュエータである。

【００１３】また、本発明は、円柱あるいは多角柱の底
面と平行な断面に、内部電極がほぼ同心円を形成するよ
うに配置されてなることを特徴とする前記の圧電アクチ
ュエータである。

【００１４】また、本発明は、前記の圧電アクチュエー
タにおいて、一方の極性の内部電が、円柱あるいは多角
柱の一方の底面に延長されてなり、もう一方の極性の内
部電極が、円柱あるいは多角柱の前記底面と対向する底
面に延長されてなり、外部電極の少なくとも一部を形成
してなることを特徴とする圧電アクチュエータである。

【００１５】また、本発明は、円柱あるいは多角柱の内
部の長さ方向に、複数の帯状の内部電極を有し、長さ方
向と垂直な断面における前記内部電極の配置が、１つの
内部電極に対し、ほぼ等距離に極性の異なる内部電極が
配置されてなり、異なる極性の等電位面との間で生じる
電位差によって、前記断面の面積が拡がることを特徴と
する前記の圧電アクチュエータである。

【００１６】また、本発明は、前記の圧電アクチュエー
タにおいて、異なる極性の内部電極のそれぞれが、交差
指電極を形成してなり、一方の極性の交差指電極の接続
部が、円柱あるいは多角柱の一方の底面に延長されてな
り、もう一方の極性の交差電極の接続部が、円柱あるい
は多角柱の前記底面と対向する底面に延長されてなり、
外部電極のすくなくとも一部を形成してなることを特徴
とする圧電アクチュエータである。

【００１７】また、本発明は、圧電体粉末と結合材から
なるグリーンシートの表面に、導電材を含むペーストに
より内部電極を印刷し、円柱あるいは多角柱となるよう
に巻き付けた後、脱脂、焼結することを特徴とする前記
の圧電アクチュエータの製造方法である。

【００１８】また、本発明は、圧電体粉末と結合材から
なるグリーンシートの表面に、導電材を含むペーストに
より交差指電極を印刷して積層した後、脱脂、焼結する
ことを特徴とする前記の圧電アクチュエータの製造方法
である。

【００１９】また、圧電体粉末と熱可塑性の結合材から
なる第１の混和物と、導電材粉末と熱可塑性の結合材か
らなる第２の混和物を同時に押出して、第１の混和物中
の所要位置に、第２の混和物が配置された断面形状を有
するグリーン体を得、前記グリーン体を脱脂、焼結した
後、外部電極を形成することを特徴とする前記の圧電ア
クチュエータの製造方法である。

【００２０】また、本発明は、圧電体粉末と熱可塑性の
結合材からなる第１の混和物と、導電材粉末と熱可塑性
の結合材からなる第２の混和物を同時に押出して、第１
の混和物中の所要位置に、第２の混和物が配置された断
面形状を有するグリーン体を得、前記グリーン体を脱
脂、焼結した後、外部電極を形成することを特徴とする
前記の圧電アクチュエータの製造方法である。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明の圧電アクチュエータにお
いては、用いる圧電素子の断面が電圧の印加によって、
面積が拡がるように変位し、当該断面に垂直な方向の長
さの収縮をアクチュエータとしての動作に利用するの
で、通常の圧電横効果を利用した圧電素子よりも、大き
な変位を得ることが可能である。

【００２２】圧電素子の断面の面積が拡がるようにする
ためには、その断面と垂直な方向に面状もしくは帯状の
内部電極を配置する必要がある。このような構造の圧電
素子を得る方法としては、従来多用されてきた積層法を
用いることができる。即ち、圧電体粉末と結合材を含む
混和物をシート成形したグリーンシートの表面に、銀ペ
ーストなどの導電性インクで内部電極を印刷し、所要の
形状となるように前記グリーンシートを積層もしくは巻
き付け、得られるグリーン体に脱脂、焼結を施すという
方法である。

【００２３】また、長さ方向に連続的な内部電極を有す
る素子を用いる場合では、押出し成形法で得られるグリ
ーン体に脱脂、焼結を施すという方法を適用することも
できる。即ち、圧電体の粉末と導電体の粉末を、それぞ
れ高分子化合物などを主成分とする結合材と混練した混
和物を、所要の構造に設計された押出しヘッド内に、２
台の押出し機を用いて同時に押出し、長手方向に圧電体
と導電体が連続的に配置されたグリーン体を得る方法で
ある。

【００２４】

【実施例】次に、本発明の実施例について、具体的な例
を挙げ、図を参照して説明する。

【００２５】図１は、本発明の圧電アクチュエータの第
１の実施例の説明図で、図１（ａ）は、グリーンシート
１０１と、グリーンシート１０１を円柱形状に巻き付け
た状態を示す図で、図１（ｂ）は、この方法で得られる
円筒形状の圧電素子の、底面に平行な断面の、内部電極
１０２の配置を示す図である。図１（ｂ）で実線と破線
はそれぞれ極性が異なる内部電極を示す。このように、
第１の実施例では、極性の異なる内部電極が交互に同心
円状に配置されている。

【００２６】ここでは、圧電体粉末として平均粒径が２
μｍのＰｂ（Ｎｉ_１／３Ｎｂ_２／３）Ｏ_３粉末を準備し
た。この粉末１００重量部に対して、結合材としてポリ
ビニルブチラールを７重量部、溶媒としてシクロヘキサ
ノン３０重量部、トルエン５０重量部を秤量し、３本ロ
ールミルを用いて混合分散を行い、得られたスラリーを
用いてグリーンシート１０１を調製した。

【００２７】次に、このグリーンシート１０１にＡｇ−
Ｐｄ系の導電性塗料を用いて内部電極１０２を印刷し
た。図１（ａ）に示したように、ここでは、内部電極１
０２の印刷を、グリーンシート１０１の１辺の部分につ
いては端まで一定の距離をおいて印刷のない面を残し、
他の３辺の部分については端まで印刷を行なった。

【００２８】次に、図１（ａ）に示したように、内部電
極１０２を印刷していない部分を交互に配置して、グリ
ーンシート１０１を積層し、円筒形状に巻き付けた。こ
れを脱脂、焼結して圧電素子を得た。この円筒状の圧電
素子は、内部電極が交互に円筒の一方の底面まで延長さ
れているので、焼結前に底面に導電性ペーストを塗付す
ることで外部電極を形成することができる。

【００２９】この圧電素子に電圧を印加すると、内部電
極間の距離が増加する変位が生じるので、径が増加する
方向、即ち、断面積が増加するという変位が生じる。こ
れによって断面と垂直な方向、即ち円筒状の圧電素子の
高さ方向には収縮が生じるが、断面における伸長方向の
変位が内部電極の法線方向に生じるので、従来の横効果
を利用した素子よりも、大きな収縮量を得ることができ
る。

【００３０】図２は、図１の場合と同様に、円筒形状の
圧電素子の内部に、極性の異なる内部電極を交互にほぼ
同心円状に配置する方法の説明図で、図２（ａ）は、グ
リーンシート２０１と、グリーンシート２０１を円柱形
状に巻き付けた状態を、図２（ｂ）は、この方法で得ら
れる円筒形状の圧電素子の、底面に平行な断面における
内部電極２０２の配置を示す図である。図２（ｂ）で、
実線と破線は極性の異なる内部電極を示す。

【００３１】圧電体素子の図１に示した例においては、
同じ幅で長さの異なるグリーンシートに、それぞれ内部
電極を印刷し、長さの短い方から順次巻き付けて積層を
行なうという方法を用いた。図２に示した例は、１枚の
グリーンシートに、グリーンシートの端に印刷のない部
分を交互に設けながら、所要の間隔で内部電極を印刷
し、円筒形状に巻き付けてグリーン体を作製し、得られ
るグリーン体を脱脂、焼結するものである。この方法に
よっても、図１に示した例と同様の特性を具備した圧電
素子が得られる。

【００３２】図３は、やはり図１の場合と同様に、円筒
形状の圧電素子の内部に、内部電極を交互にほぼ同心円
状に配置する方法の説明図である。図３（ａ）は、グリ
ーンシート３０１に内部電極３０２を印刷し、円筒形状
に巻き付ける状態、図３（ｂ）は、この方法で得られる
円筒形状の圧電素子の、底面に平行な断面の、内部電極
３０２の配置を示す図である。図３（ｂ）で、実線と破
線は極性の異なる内部電極を示す。

【００３３】図３に示した例は、グリーンシートの幅方
向の一端に印刷のない部分を設けて、内部電極を印刷
し、印刷のない部分の位置を逆にした状態で、２枚重ね
て巻き付けてグリー体を作製し、得られるグリーン体を
脱脂、焼結するものである。この場合は、図２に示した
よりも、内部電極の印刷工程を簡略化できる利点があ
る。この方法によっても、図１に示した例と同様の特性
を具備した圧電素子が得られる。

【００３４】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。図４は、本発明の第２の実施例を示す図で、図４
（ａ）、図４（ｂ）は、グリーンシート４０１及び４０
２に、帯状の内部電極４０３、４０４を印刷した状態を
示す図で、図４（ｃ）は、グリーンシート４０１及び４
０２を交互に積層した状態を示す図、図４（ｄ）は、グ
リーンシートを積層して脱脂、焼結を行なって得られる
圧電素子断面の内部電極の配置を示す図である。本実施
例においても、グリーンシートの調製及び内部電極の印
刷は、第１の実施例と同様に行った。

【００３５】図４（ａ）、図４（ｂ）に示したように、
これら２種類のグリーンシートの内部電極の印刷パター
ンは、２本続けて一方の極性の内部電極を印刷した後、
もう一方の極性の内部電極を印刷するという構成になっ
ている。そして、２種類のグリーンシートを交互に積層
した際に、２本連続して印刷された同極性の内部電極の
ほぼ中央にもう一方の極性の内部電極が配置されるよう
になっている。また、各内部電極は、極性ごとにいずれ
かの底面まで延長されているので、第１の実施例と同様
に、焼結前にそれぞれの底面に導電性ペーストを塗付す
ることで外部電極を形成することができる。

【００３６】前記のように積層されたグリーン体を脱
脂、焼結して得られる圧電素子は、内部電極の長手方向
の垂面における内部電極の配置が、図４（ｄ）に模式的
に示したようになっている。図４（ｄ）において、白抜
きの円と、黒く塗りつぶした円は、それぞれ異なる極性
の内部電極であることを示す。

【００３７】そして、図４（ｄ）に示したように、本実
施例の圧電素子の内部電極は、白抜きで示した一方の内
部電極を中央とした場合、隣接する内部電極の極性がす
べて異なっていて、正六角形の頂点の位置に配置されて
いる。内部電極をこのような配置にすることで、電圧を
印加した際、異なる極性の等電位面との間で生じる電位
差によって、内部電極間の距離が拡がるような変位が生
じる。

【００３８】即ち、内部電極の長手方向と垂直な面の面
積が拡がるような変位が生じ、内部電極の長手方向に
は、収縮の変位が生じるが、断面における伸長方向の変
位が異なる極性の内部電極間の距離が拡がるように生じ
るので、第１の実施例と同様に、従来の横効果を利用し
た素子よりも、大きな収縮量を得ることができる。

【００３９】図５は、図４に示した例と同様の構造で、
内部電極の印刷を交差指電極とした例を示す図である。
図５（ａ）、図５（ｂ）は、グリーンシート５０１及び
５０２に、内部電極として交差指電極５０３、５０４を
印刷した状態を示す図で、図５（ｃ）は、グリーンシー
ト５０１及び５０２を交互に積層した状態を示す図であ
る。このようにして得られる積層体を脱脂、焼結するこ
とで、図４に示した例と同等の特性を具備した圧電素子
が得られる。ただし、この場合は、交差指電極を用いる
ので、外部電極の形成方法が図４に示した例と異なる。

【００４０】次に、本発明の第３の実施例について説明
する。図６は、本発明の第３の実施例を示す図で、図６
（ａ）、図６（ｂ）は、グリーンシート６０１及び６０
２に、帯状の内部電極６０３、６０４を印刷した状態を
示す図で、図６（ｃ）は、グリーンシート６０１及び６
０２を交互に積層した状態を示す図、図６（ｄ）は、グ
リーンシートを積層して脱脂、焼結を行なって得られる
圧電素子断面の内部電極の配置を示す図である。本実施
例においても、グリーンシートの調製及び内部電極の印
刷は、第１の実施例と同様に行った。

【００４１】そして、図６（ａ）、図６（ｂ）に示した
ように、これら２種類のグリーンシートの内部電極の印
刷パターンは、一方のグリーンシートには全部同一の極
性の内部電極を印刷し、もう一方のグリーンシートに
は、２箇所おきに極性の異なる内部電極を印刷してい
る。このような印刷を施すことによって、内部電極の長
手方向と垂直な断面の電極の配置は、図６（ｄ）に模式
的に示したようになる。

【００４２】図６（ｄ）において、白抜きの円と、黒く
塗りつぶした円は、それぞれ異なる極性の内部電極であ
ることを示す。そして、白抜きで示した一方の内部電極
を中央とした場合、隣接する内部電極の極性がすべて異
なっていて、電圧を印加した際、異なる極性の等電位面
との間で生じる電位差によって、内部電極間の距離が拡
がるような変位が生じる。

【００４３】即ち、この場合も第２の実施例と同様に、
内部電極の長手方向と垂直な面の面積が拡がるような変
位が生じ、内部電極の長手方向には、収縮の変位が生じ
るが、断面における伸長方向の変位が異なる極性の内部
電極間の距離が拡がるように生じるので、第１の実施
例、第２の実施例と同様に、従来の横効果を利用した素
子よりも、大きな収縮量を得ることができる。

【００４４】これまで説明した例は、グリーン体の成形
をいずれも積層法で行なうが、本発明の圧電素子を得る
ためのグリーン体は、押出し成形法でも作製可能であ
る。具体的には、圧電体粉末及び導電体粉末のそれぞれ
を、熱可塑性の高分子化合物を主成分とする結合材中に
分散させた混和物として、２台の押出し機を用いて同時
に押出すというものである。

【００４５】図７は、装置の構成の概略を模式的に示し
たものである。第１押出し成形機７０１は、図における
左右の方向に設置され、第２の押出し成形機７０２は、
図における前後の方向に設置されている。ここでは、圧
電体粉末を含む混和物は、第１の押出し成形機７０１に
より、図における右から左の向きに押出され、導電体を
含む混和物は、第２の押出し成形機７０２により、図に
おける後から前の向きに押出される。

【００４６】２種類の混和物は、ヘッド７０３により所
要の断面形状に成形され、連続した成形体７０４とな
り、ベルトコンベアを有する搬送装置７０５により図に
おける右から左の向きに搬送され、切断装置７０６の中
で所要の長さに調製される。このようにして得られるグ
リーン体を脱脂、焼結することで、円柱形状もしくは多
角柱形状で、長手方向と垂直な断面に、内部電極がこれ
まで説明した例のように配置された圧電体素子が得られ
る。

【００４７】ただし、通常の押出し成形法では、内部電
極が成形体の長手方向に連続して配置されるので、外部
電極の形成が、積層法よりも複雑になる。従って、積層
法と押出し成形法は、圧電体素子の形状などによって使
い分ける必要がある。

【００４８】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、通常の圧電横効果を利用した圧電体素子よりも、大
きな収縮方向の変位を実現することができる。これによ
って、収縮の変位を利用した圧電アクチュエータが得ら
れ、圧電アクチュエータの用途を拡大することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧電アクチュエータの第１の実施例の
説明図、図１（ａ）はグリーンシートと、グリーンシー
トを円柱形状に巻き付けた状態を示す図、図１（ｂ）は
内部電極の配置を示す図。

【図２】極性の異なる内部電極を交互に同心円状に配置
する方法の説明図、図２（ａ）は、グリーンシートと、
グリーンシートを円柱形状に巻き付けた状態を示す図、
図２（ｂ）は、内部電極の配置を示す図。

【図３】極性の異なる内部電極を交互に同心円状に配置
する方法の説明図、図３（ａ）は、グリーンシートと、
グリーンシートを円柱形状に巻き付けた状態を示す図、
図３（ｂ）は、内部電極の配置を示す図。

【図４】本発明の第２の実施例を示す図、図４（ａ）、
図４（ｂ）は、グリーンシートに帯状の内部電極を印刷
した状態を示す図、図４（ｃ）はグリーンシートを交互
に積層した状態を示す図、図４（ｄ）は内部電極の配置
を示す図。

【図５】内部電極の印刷を交差指電極とした例を示す
図、図５（ａ）、図５（ｂ）はグリーンシートに交差指
電極を印刷した状態を示す図、図５（ｃ）はグリーンシ
ートを積層した状態を示す図。

【図６】本発明の第３の実施例を示す図、図６（ａ）、
図６（ｂ）は、グリーンシートに帯状の内部電極を印刷
した状態を示す図、図６（ｃ）はグリーンシートを交互
に積層した状態を示す図、図６（ｄ）は内部電極の配置
を示す図。

【図７】押出し成形法の装置構成の概略を模式的に示す
図。

【図８】圧電横効果素子に電圧を印加した状態を示す模
式図。

【符号の説明】

１０１,２０１,３０１,４０１,４０２,５０１,５０２,
６０１,６０２グリーンシート１０２，２０２，３０２，４０３，４０４，６０３，６
０４内部電極１０３，２０３，３０３円柱状グリーン体５０３，５０４交差指電極５０５接続部７０１第１の押出し成形機７０２第２の押出し成形機７０３ヘッド７０４成形体７０５搬送装置７０６切断装置８０１圧電横効果素子８０２分極方向８０３電極８０４リード線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電圧の印加によって特定の面の面積が拡
がるように内部電極を配置し、前記特定の面の垂直方向
の収縮を用いることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】円柱あるいは多角柱の底面と平行な断面
に、内部電極がほぼ同心円を形成するように配置されて
なることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエ
ータ。
【請求項３】請求項２に記載の圧電アクチュエータに
おいて、一方の極性の内部電が、円柱あるいは多角柱の
一方の底面に延長されてなり、もう一方の極性の内部電
極が、円柱あるいは多角柱の前記底面と対向する底面に
延長されてなり、外部電極の少なくとも一部を形成して
なることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】円柱あるいは多角柱の内部の長さ方向
に、複数の帯状の内部電極を有し、長さ方向と垂直な断
面における前記内部電極の配置が、１つの内部電極に対
し、ほぼ等距離に極性の異なる内部電極が配置されてな
り、異なる極性の等電位面との間で生じる電位差によっ
て、前記断面の面積が拡がることを特徴とする請求項１
に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】請求項４に記載の圧電アクチュエータに
おいて、異なる極性の内部電極のそれぞれが、交差指電
極を形成してなり、一方の極性の交差指電極の接続部
が、円柱あるいは多角柱の一方の底面に延長されてな
り、もう一方の極性の交差電極の接続部が、円柱あるい
は多角柱の前記底面と対向する底面に延長されてなり、
外部電極のすくなくとも一部を形成してなることを特徴
とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】圧電体粉末と結合材からなるグリーンシ
ートの表面に、導電材を含むペーストにより内部電極を
印刷し、円柱あるいは多角柱となるように巻き付けた
後、脱脂、焼結することを特徴とする請求項１ないし請
求項３のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方
法。
【請求項７】圧電体粉末と結合材からなるグリーンシ
ートの表面に、導電材を含むペーストにより交差指電極
を印刷して積層した後、脱脂、焼結することを特徴とす
る請求項１、請求項４、請求項５のいずれかに記載の圧
電アクチュエータの製造方法。
【請求項８】圧電体粉末と熱可塑性の結合材からなる
第１の混和物と、導電材粉末と熱可塑性の結合材からな
る第２の混和物を同時に押出して、第１の混和物中の所
要位置に、第２の混和物が配置された断面形状を有する
グリーン体を得、前記グリーン体を脱脂、焼結した後、
外部電極を形成することを特徴とする請求項１、請求項
２、請求項４のいずれかに記載の圧電アクチュエータの
製造方法。