JP2003100785A - 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 - Google Patents
樹脂封止装置及び樹脂封止方法Info
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- JP2003100785A JP2003100785A JP2001295549A JP2001295549A JP2003100785A JP 2003100785 A JP2003100785 A JP 2003100785A JP 2001295549 A JP2001295549 A JP 2001295549A JP 2001295549 A JP2001295549 A JP 2001295549A JP 2003100785 A JP2003100785 A JP 2003100785A
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- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 少ない金型数と簡素化された機構とにより、
寸法精度よく樹脂封止することができる樹脂封止装置及
び樹脂封止方法を提供する。 【解決手段】 上型1と、下型2と、上型1に設けられ
カル4及び上キャビティ5を有する上ブロック3と、上
型1に固定され斜面を有する固定側板7と、下型2に設
けられポット9、プランジャ10,及び下キャビティ1
2を有する下ブロック8と、下型2に水平移動自在に設
けられ斜面を有する可動側板20と、基板18を吸着し
水平〜垂直に回動自在でかつ水平移動自在に下型2に設
けられた基板固定ブロック15とを備える。基板固定ブ
ロック15が回動して基板18を垂直に保持し、上型1
が下降して固定側板7が可動側板20を押圧し、可動側
板20が基板固定ブロック15を押圧し、上ブロック3
と下ブロック8とを型締めして、基板18を圧接して形
成したキャビティに溶融樹脂21を注入して硬化させ
る。
寸法精度よく樹脂封止することができる樹脂封止装置及
び樹脂封止方法を提供する。 【解決手段】 上型1と、下型2と、上型1に設けられ
カル4及び上キャビティ5を有する上ブロック3と、上
型1に固定され斜面を有する固定側板7と、下型2に設
けられポット9、プランジャ10,及び下キャビティ1
2を有する下ブロック8と、下型2に水平移動自在に設
けられ斜面を有する可動側板20と、基板18を吸着し
水平〜垂直に回動自在でかつ水平移動自在に下型2に設
けられた基板固定ブロック15とを備える。基板固定ブ
ロック15が回動して基板18を垂直に保持し、上型1
が下降して固定側板7が可動側板20を押圧し、可動側
板20が基板固定ブロック15を押圧し、上ブロック3
と下ブロック8とを型締めして、基板18を圧接して形
成したキャビティに溶融樹脂21を注入して硬化させ
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームや
プリント基板等(以下、基板という。)にチップ状電子
部品(以下、チップという。)を載置して基板との間の
電気的接続を行った後に、溶融樹脂によってチップを封
止する樹脂封止装置及び樹脂封止方法に関するものであ
る。
プリント基板等(以下、基板という。)にチップ状電子
部品(以下、チップという。)を載置して基板との間の
電気的接続を行った後に、溶融樹脂によってチップを封
止する樹脂封止装置及び樹脂封止方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、基板にチップを載置して基板との
間の電気的接続を行った後に、溶融樹脂によりチップを
封止する場合には、プレートモールドやポッティングモ
ールド等の方法が使用されている。図6は、従来のプレ
ートモールドによる樹脂封止装置の概略を示す断面図で
ある。プレートモールドでは、図6に示されているよう
に、上型100と下型101との間に中間プレート10
2を設けている。下型101上には基板103が保持さ
れ、更に基板103上にはチップ104が載置され、基
板103とチップ104との電極同士がワイヤ105に
よって接続されている。中間プレート102には、溶融
樹脂が充填される空間であるキャビティ106が設けら
れ、上型100には、キャビティ106に溶融樹脂を注
入するためのゲート107が設けられている。樹脂封止
を行う際には、中間プレート102を基板103の上面
に圧接し、上型100を中間プレート102に圧接して
型締めし、ゲート107からキャビティ106に溶融樹
脂を注入する。そして、注入された溶融樹脂を硬化した
後に上型100と中間プレート102とを順次上昇させ
て型開きし、エジェクト機構(図示なし)により基板1
03を上方から突き出して、搬出機構により、チップ1
04が樹脂封止されたパッケージを下型101から取り
出す。また、ポッティングモールドでは、ノズルやディ
スペンサによってチップの上方から溶融樹脂を吐出した
後に、吐出された溶融樹脂を硬化させる。
間の電気的接続を行った後に、溶融樹脂によりチップを
封止する場合には、プレートモールドやポッティングモ
ールド等の方法が使用されている。図6は、従来のプレ
ートモールドによる樹脂封止装置の概略を示す断面図で
ある。プレートモールドでは、図6に示されているよう
に、上型100と下型101との間に中間プレート10
2を設けている。下型101上には基板103が保持さ
れ、更に基板103上にはチップ104が載置され、基
板103とチップ104との電極同士がワイヤ105に
よって接続されている。中間プレート102には、溶融
樹脂が充填される空間であるキャビティ106が設けら
れ、上型100には、キャビティ106に溶融樹脂を注
入するためのゲート107が設けられている。樹脂封止
を行う際には、中間プレート102を基板103の上面
に圧接し、上型100を中間プレート102に圧接して
型締めし、ゲート107からキャビティ106に溶融樹
脂を注入する。そして、注入された溶融樹脂を硬化した
後に上型100と中間プレート102とを順次上昇させ
て型開きし、エジェクト機構(図示なし)により基板1
03を上方から突き出して、搬出機構により、チップ1
04が樹脂封止されたパッケージを下型101から取り
出す。また、ポッティングモールドでは、ノズルやディ
スペンサによってチップの上方から溶融樹脂を吐出した
後に、吐出された溶融樹脂を硬化させる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法によれば、以下のような問題がある。プレート
モールドによれば、キャビティ106内で硬化した樹脂
とゲート107内で硬化した樹脂とを確実に分離する目
的で、基板103の上方に上型100と中間プレート1
02とを分割して設ける必要があるので、金型自体の構
造が複雑になる。また、ゲート107に溶融樹脂を供給
するためのランナ部(図示なし)が上型100の上方
に、すなわち上型100が移動する方向に位置するの
で、硬化後のランナを搬出する機構がパッケージの搬出
機構とは別に必要となる。更に、パッケージを突き出す
エジェクト機構が必要になる。したがって、装置全体の
構造が複雑になる。これらの問題から、プレートモール
ドを使用した封止装置は、自動化に対応することが困難
である。また、ポッティングモールドによれば、溶融樹
脂の広がりを制御することが困難なことから、硬化後の
樹脂の寸法精度が悪いという問題がある。
来の方法によれば、以下のような問題がある。プレート
モールドによれば、キャビティ106内で硬化した樹脂
とゲート107内で硬化した樹脂とを確実に分離する目
的で、基板103の上方に上型100と中間プレート1
02とを分割して設ける必要があるので、金型自体の構
造が複雑になる。また、ゲート107に溶融樹脂を供給
するためのランナ部(図示なし)が上型100の上方
に、すなわち上型100が移動する方向に位置するの
で、硬化後のランナを搬出する機構がパッケージの搬出
機構とは別に必要となる。更に、パッケージを突き出す
エジェクト機構が必要になる。したがって、装置全体の
構造が複雑になる。これらの問題から、プレートモール
ドを使用した封止装置は、自動化に対応することが困難
である。また、ポッティングモールドによれば、溶融樹
脂の広がりを制御することが困難なことから、硬化後の
樹脂の寸法精度が悪いという問題がある。
【0004】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたものであり、少ない金型数と簡素化された機構と
により、寸法精度よく樹脂封止することができる樹脂封
止装置及び樹脂封止方法を提供することを目的とする。
されたものであり、少ない金型数と簡素化された機構と
により、寸法精度よく樹脂封止することができる樹脂封
止装置及び樹脂封止方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述の技術的課題を解決
するために、本発明に係る樹脂封止装置は、相対向する
第1及び第2の金型を使用して該第1及び第2の金型間
において設けられたキャビティに溶融樹脂が注入される
ことにより、基板に装着されたチップ状電子部品を樹脂
封止する樹脂封止装置であって、第1の金型に固定され
斜面を有する固定側板と、第2の金型の型面においてキ
ャビティに向かって進退自在に設けられ固定側板の斜面
に対向する斜面を有する可動側板と、第2の金型の型面
において型面に対して垂直になるまで回動自在に設けら
れ、基板が載置されるとともに、型面に対して垂直な状
態で可動側板によって押圧される基板固定ブロックとを
備えるとともに、第1及び第2の金型が相対的に移動す
ることにより、固定側板及び可動側板の斜面同士が接触
して可動側板が移動し、該可動側板が基板固定ブロック
を押圧し、該基板固定ブロックはチップ状電子部品がキ
ャビティに収容されるようにして基板をキャビティに対
して圧接することを特徴とする。
するために、本発明に係る樹脂封止装置は、相対向する
第1及び第2の金型を使用して該第1及び第2の金型間
において設けられたキャビティに溶融樹脂が注入される
ことにより、基板に装着されたチップ状電子部品を樹脂
封止する樹脂封止装置であって、第1の金型に固定され
斜面を有する固定側板と、第2の金型の型面においてキ
ャビティに向かって進退自在に設けられ固定側板の斜面
に対向する斜面を有する可動側板と、第2の金型の型面
において型面に対して垂直になるまで回動自在に設けら
れ、基板が載置されるとともに、型面に対して垂直な状
態で可動側板によって押圧される基板固定ブロックとを
備えるとともに、第1及び第2の金型が相対的に移動す
ることにより、固定側板及び可動側板の斜面同士が接触
して可動側板が移動し、該可動側板が基板固定ブロック
を押圧し、該基板固定ブロックはチップ状電子部品がキ
ャビティに収容されるようにして基板をキャビティに対
して圧接することを特徴とする。
【0006】これによれば、キャビティに溶融樹脂が注
入されて硬化するので、封止後の樹脂の寸法精度が向上
する。また、中間プレートを必要とせず2つの金型のみ
によって構成されるので、金型及び樹脂封止装置の構造
が簡素化される。
入されて硬化するので、封止後の樹脂の寸法精度が向上
する。また、中間プレートを必要とせず2つの金型のみ
によって構成されるので、金型及び樹脂封止装置の構造
が簡素化される。
【0007】また、本発明に係る樹脂封止装置は、上述
の樹脂封止装置において、第1の金型から突出して設け
られ側面に設けられた第1の部分キャビティを有する第
1のブロックと、第2の金型から突出して設けられ側面
に設けられた第2の部分キャビティを有する第2のブロ
ックとを備えるとともに、第1及び第2の金型が相対的
に移動することにより、第1及び第2のブロックが型締
めするとともに、第1及び第2の部分キャビティがキャ
ビティを形成することを特徴とする。
の樹脂封止装置において、第1の金型から突出して設け
られ側面に設けられた第1の部分キャビティを有する第
1のブロックと、第2の金型から突出して設けられ側面
に設けられた第2の部分キャビティを有する第2のブロ
ックとを備えるとともに、第1及び第2の金型が相対的
に移動することにより、第1及び第2のブロックが型締
めするとともに、第1及び第2の部分キャビティがキャ
ビティを形成することを特徴とする。
【0008】これによれば、第1及び第2のブロックが
型締めすることにより、第1及び第2の金型間にキャビ
ティを設けることができる。
型締めすることにより、第1及び第2の金型間にキャビ
ティを設けることができる。
【0009】また、本発明に係る樹脂封止装置は、上述
の樹脂封止装置において、溶融樹脂が硬化して形成され
た硬化樹脂のうちキャビティにおける部分からなる封止
樹脂と基板とからなるパッケージと、硬化樹脂のうち封
止樹脂以外の部分からなる不要樹脂とを、同時に搬出す
る搬出機構を備えたことを特徴とする。
の樹脂封止装置において、溶融樹脂が硬化して形成され
た硬化樹脂のうちキャビティにおける部分からなる封止
樹脂と基板とからなるパッケージと、硬化樹脂のうち封
止樹脂以外の部分からなる不要樹脂とを、同時に搬出す
る搬出機構を備えたことを特徴とする。
【0010】これによれば、共通の搬出機構により不要
樹脂とパッケージとが同時に搬出されるとともに、パッ
ケージをエジェクトするための機構が不要になる。これ
により、樹脂封止装置の構造がいっそう簡素化されると
ともに、自動化に対応することが容易になる。
樹脂とパッケージとが同時に搬出されるとともに、パッ
ケージをエジェクトするための機構が不要になる。これ
により、樹脂封止装置の構造がいっそう簡素化されると
ともに、自動化に対応することが容易になる。
【0011】また、本発明に係る樹脂封止方法は、相対
向する第1及び第2の金型を使用して該第1及び第2の
金型間において設けられたキャビティに溶融樹脂を注入
することにより、基板に装着されたチップ状電子部品を
樹脂封止する樹脂封止方法であって、第2の金型に回動
自在に設けられた基板固定ブロックに基板を水平に載置
する工程と、基板固定ブロックを回動させて基板を垂直
に保持する工程と、第1及び第2の金型を相対的に移動
させることにより、第1の金型に設けられた固定側板の
斜面が第2の金型に設けられた可動側板の斜面を押圧し
て該可動側板を移動させ、チップ状電子部品がキャビテ
ィに収容されるように可動側板が基板固定ブロックを押
圧して基板をキャビティに対して圧接する工程と、基板
をキャビティに対して圧接した状態でキャビティに溶融
樹脂を注入する工程と、キャビティに注入された溶融樹
脂を硬化させる工程とを備えたことを特徴とする。
向する第1及び第2の金型を使用して該第1及び第2の
金型間において設けられたキャビティに溶融樹脂を注入
することにより、基板に装着されたチップ状電子部品を
樹脂封止する樹脂封止方法であって、第2の金型に回動
自在に設けられた基板固定ブロックに基板を水平に載置
する工程と、基板固定ブロックを回動させて基板を垂直
に保持する工程と、第1及び第2の金型を相対的に移動
させることにより、第1の金型に設けられた固定側板の
斜面が第2の金型に設けられた可動側板の斜面を押圧し
て該可動側板を移動させ、チップ状電子部品がキャビテ
ィに収容されるように可動側板が基板固定ブロックを押
圧して基板をキャビティに対して圧接する工程と、基板
をキャビティに対して圧接した状態でキャビティに溶融
樹脂を注入する工程と、キャビティに注入された溶融樹
脂を硬化させる工程とを備えたことを特徴とする。
【0012】これによれば、キャビティに溶融樹脂を注
入して硬化させるので、封止後の樹脂の寸法精度が向上
する。また、中間プレートを必要とせず、金型として2
つの金型のみを使用するので、金型及び樹脂封止装置の
構造を簡素化することができる。
入して硬化させるので、封止後の樹脂の寸法精度が向上
する。また、中間プレートを必要とせず、金型として2
つの金型のみを使用するので、金型及び樹脂封止装置の
構造を簡素化することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明に係る樹脂封止装置を、図
1〜図5を参照して説明する。図1は、本発明に係る樹
脂封止装置において、搬送された基板が水平に保持され
た状態を示す断面図である。図1において、上型1と下
型2とが、相対向して設けられている。上型1の型面、
すなわち下型2に対向する面の側には、上ブロック3が
固定されている。上ブロック3の端面(下面)には、後
述する溶融樹脂が貯留される凹部であるカル4が設けら
れ、両側面には、溶融樹脂が注入される空間である上キ
ャビティ5が設けられている。カル4は、ゲート6を介
して上キャビティ5に連通している。また、上型1の型
面側には、上ブロック3をはさんで対向するように、1
対の固定側板7(左側は図示なし)が取り付けられてい
る。固定側板7は、上ブロック2に向いた面が斜面にな
っている。すなわち、図1に示されるように、固定側板
7の断面は、型面側が広く先端側(図1の下方側)が狭
い、テーパ面になっている。
1〜図5を参照して説明する。図1は、本発明に係る樹
脂封止装置において、搬送された基板が水平に保持され
た状態を示す断面図である。図1において、上型1と下
型2とが、相対向して設けられている。上型1の型面、
すなわち下型2に対向する面の側には、上ブロック3が
固定されている。上ブロック3の端面(下面)には、後
述する溶融樹脂が貯留される凹部であるカル4が設けら
れ、両側面には、溶融樹脂が注入される空間である上キ
ャビティ5が設けられている。カル4は、ゲート6を介
して上キャビティ5に連通している。また、上型1の型
面側には、上ブロック3をはさんで対向するように、1
対の固定側板7(左側は図示なし)が取り付けられてい
る。固定側板7は、上ブロック2に向いた面が斜面にな
っている。すなわち、図1に示されるように、固定側板
7の断面は、型面側が広く先端側(図1の下方側)が狭
い、テーパ面になっている。
【0014】下型2には、下ブロック8が、型面から突
出するようにして固定されている。下ブロック8の端面
(上面)側には円筒形の空間が設けられ、その空間の上
部はポット9を形成している。ポット9には、プランジ
ャ10が昇降自在に嵌装されている。また、ポット9に
おいては、プランジャ10上に、例えば熱硬化性樹脂か
らなる樹脂タブレット11が収容されている。そして、
下ブロック8の両側面には、溶融樹脂が注入される空間
である下キャビティ12が設けられている。上キャビテ
ィ5と下キャビティ12とは、上型1と下型2とが型締
めされた状態で併せてキャビティ13を形成する。
出するようにして固定されている。下ブロック8の端面
(上面)側には円筒形の空間が設けられ、その空間の上
部はポット9を形成している。ポット9には、プランジ
ャ10が昇降自在に嵌装されている。また、ポット9に
おいては、プランジャ10上に、例えば熱硬化性樹脂か
らなる樹脂タブレット11が収容されている。そして、
下ブロック8の両側面には、溶融樹脂が注入される空間
である下キャビティ12が設けられている。上キャビテ
ィ5と下キャビティ12とは、上型1と下型2とが型締
めされた状態で併せてキャビティ13を形成する。
【0015】また、下型2の型面には、下ブロック8を
はさんで対向するように、1対の凹部14(左側は図示
なし)が形成されている。凹部14には、基板固定ブロ
ック15が、回動軸16を中心にして水平〜垂直に回動
自在になるようにして、次のように設けられている。す
なわち、回動軸16は、モータなどの回動機構(図示な
し)に連結されている。そして、基板固定ブロック15
と回動機構とは一体になって、引っ張りばね(図示な
し)により凹部14の右側において下型2に固定されて
いる。これにより、基板固定ブロック15は、図の左側
に向かって押圧されると左側に移動し、その押圧から開
放されると初期位置に復帰する。基板固定ブロック15
には、真空ポンプ(図示なし)に連結された吸着用エア
流路17が設けられている。この吸着用エア流路17を
介して吸引されることにより、基板18が基板固定ブロ
ック15に吸着される。また、基板18には、チップ1
9が装着されており、基板18とチップ19との電極同
士は、例えばワイヤや導電性バンプ(いずれも図示な
し)によって電気的に接続されている。
はさんで対向するように、1対の凹部14(左側は図示
なし)が形成されている。凹部14には、基板固定ブロ
ック15が、回動軸16を中心にして水平〜垂直に回動
自在になるようにして、次のように設けられている。す
なわち、回動軸16は、モータなどの回動機構(図示な
し)に連結されている。そして、基板固定ブロック15
と回動機構とは一体になって、引っ張りばね(図示な
し)により凹部14の右側において下型2に固定されて
いる。これにより、基板固定ブロック15は、図の左側
に向かって押圧されると左側に移動し、その押圧から開
放されると初期位置に復帰する。基板固定ブロック15
には、真空ポンプ(図示なし)に連結された吸着用エア
流路17が設けられている。この吸着用エア流路17を
介して吸引されることにより、基板18が基板固定ブロ
ック15に吸着される。また、基板18には、チップ1
9が装着されており、基板18とチップ19との電極同
士は、例えばワイヤや導電性バンプ(いずれも図示な
し)によって電気的に接続されている。
【0016】また、下型2の型面には、下ブロック8を
はさんで対向するようにして、1対の可動側板20(左
側は図示なし)が取り付けられている。可動側板20
は、固定側板7の斜面に対向する面がその斜面に平行に
なっているとともに、下型2において図の左右方向に移
動自在に設けられている。また、可動側板20は、引っ
張りばね(図示なし)によって、下型2の右端に近い側
で下型2に固定されている。これにより、可動側板20
は、図の左側に向かって押圧されると移動し、その押圧
から開放されると初期位置に復帰する。図1では示され
ていない下型2の左側においても、基板固定ブロック及
び可動側板が、同様に動作するように設けられている。
はさんで対向するようにして、1対の可動側板20(左
側は図示なし)が取り付けられている。可動側板20
は、固定側板7の斜面に対向する面がその斜面に平行に
なっているとともに、下型2において図の左右方向に移
動自在に設けられている。また、可動側板20は、引っ
張りばね(図示なし)によって、下型2の右端に近い側
で下型2に固定されている。これにより、可動側板20
は、図の左側に向かって押圧されると移動し、その押圧
から開放されると初期位置に復帰する。図1では示され
ていない下型2の左側においても、基板固定ブロック及
び可動側板が、同様に動作するように設けられている。
【0017】本発明に係る樹脂封止装置の動作につい
て、図1〜図5を参照して説明する。図2は、本発明に
係る樹脂封止装置において、基板固定ブロックが回動後
に基板を垂直に保持するとともに、型締めが行われてい
る状態を示す断面図である。図3は、本発明に係る樹脂
封止装置において、型締め完了後に溶融樹脂がキャビテ
ィに注入される状態を示す断面図である。図4は、本発
明に係る樹脂封止装置において、樹脂封止完了後に型開
きするとともに、ゲートブレークが行われた状態を示す
断面図である。図5は、本発明に係る樹脂封止装置にお
いて、ゲートブレーク後に、基板固定ブロックが回動し
てパッケージを水平に保持するとともに、パッケージと
不要樹脂とを搬出する状態を示す断面図である。
て、図1〜図5を参照して説明する。図2は、本発明に
係る樹脂封止装置において、基板固定ブロックが回動後
に基板を垂直に保持するとともに、型締めが行われてい
る状態を示す断面図である。図3は、本発明に係る樹脂
封止装置において、型締め完了後に溶融樹脂がキャビテ
ィに注入される状態を示す断面図である。図4は、本発
明に係る樹脂封止装置において、樹脂封止完了後に型開
きするとともに、ゲートブレークが行われた状態を示す
断面図である。図5は、本発明に係る樹脂封止装置にお
いて、ゲートブレーク後に、基板固定ブロックが回動し
てパッケージを水平に保持するとともに、パッケージと
不要樹脂とを搬出する状態を示す断面図である。
【0018】まず、図1に示すように、基板18が水平
に搭載された状態で、吸着用エア流路17によって基板
18を固定する。その後に、基板18が載置された基板
固定ブロック15が、回動軸16を中心にして基板18
が垂直になるまで回動するとともに、上型1が下降す
る。
に搭載された状態で、吸着用エア流路17によって基板
18を固定する。その後に、基板18が載置された基板
固定ブロック15が、回動軸16を中心にして基板18
が垂直になるまで回動するとともに、上型1が下降す
る。
【0019】次に、図2に示すように、引き続いて上型
1が下降して、固定側板7と可動側板20との斜面同士
が接する。この状態で更に上型1が下降することによっ
て、可動側板20は、固定側板7に押圧されて図の左側
に移動する。また、図1の樹脂タブレット11が溶融樹
脂21になるまで、樹脂タブレット11を加熱溶融す
る。
1が下降して、固定側板7と可動側板20との斜面同士
が接する。この状態で更に上型1が下降することによっ
て、可動側板20は、固定側板7に押圧されて図の左側
に移動する。また、図1の樹脂タブレット11が溶融樹
脂21になるまで、樹脂タブレット11を加熱溶融す
る。
【0020】次に、図3に示すように、固定側板7と可
動側板20との斜面同士が接した状態で、更に上型1が
下降する。このことにより、第1に、上ブロック3と下
ブロック8とを型合わせ面P.Lで型締めする。これに
より、図2のカル4及びポット9からなる空間と、上キ
ャビティ5及び下キャビティ12からなるキャビティ1
3とが形成される。第2に、可動側板20が基板固定ブ
ロック15を押圧することにより、チップ19がキャビ
ティ13に収容されるようにして、基板18が上ブロッ
ク3と下ブロック8との側面に圧接される。
動側板20との斜面同士が接した状態で、更に上型1が
下降する。このことにより、第1に、上ブロック3と下
ブロック8とを型合わせ面P.Lで型締めする。これに
より、図2のカル4及びポット9からなる空間と、上キ
ャビティ5及び下キャビティ12からなるキャビティ1
3とが形成される。第2に、可動側板20が基板固定ブ
ロック15を押圧することにより、チップ19がキャビ
ティ13に収容されるようにして、基板18が上ブロッ
ク3と下ブロック8との側面に圧接される。
【0021】次に、プランジャ10が上昇し、溶融樹脂
21を押圧する。これにより、カル4を経由して、キャ
ビティ13が充填されるまで溶融樹脂21を注入する。
引き続き溶融樹脂21を加熱して、これを硬化させる。
これにより、カル4とキャビティ13とにおいて、硬化
樹脂を形成する。
21を押圧する。これにより、カル4を経由して、キャ
ビティ13が充填されるまで溶融樹脂21を注入する。
引き続き溶融樹脂21を加熱して、これを硬化させる。
これにより、カル4とキャビティ13とにおいて、硬化
樹脂を形成する。
【0022】次に、図4に示すように、図3のカル4と
キャビティ13とにおいて、それぞれ硬化樹脂からなる
不要樹脂22と封止樹脂23とを形成した後に、上型1
が上昇して型開きする。これにより、第1に、固定側板
7が上昇するので、可動側板20が、引っ張りばね(図
示なし)により斜面に沿って右側に移動する。したがっ
て、基板固定ブロック15も、別の引っ張りばね(図示
なし)により、右側に移動して初期位置に復帰する。こ
の過程で、不要樹脂22と封止樹脂23との分離、すな
わちゲートブレークを行う。ここまでの工程で、基板1
8と封止樹脂23とからなるパッケージ24が形成され
る。
キャビティ13とにおいて、それぞれ硬化樹脂からなる
不要樹脂22と封止樹脂23とを形成した後に、上型1
が上昇して型開きする。これにより、第1に、固定側板
7が上昇するので、可動側板20が、引っ張りばね(図
示なし)により斜面に沿って右側に移動する。したがっ
て、基板固定ブロック15も、別の引っ張りばね(図示
なし)により、右側に移動して初期位置に復帰する。こ
の過程で、不要樹脂22と封止樹脂23との分離、すな
わちゲートブレークを行う。ここまでの工程で、基板1
8と封止樹脂23とからなるパッケージ24が形成され
る。
【0023】次に、図5に示すように、上型1が更に上
昇する。これにより、可動側板20は更に右側へと移動
して、初期位置に復帰する。また、基板固定ブロック1
5が回動して基板18を水平に保持するとともに、吸着
用エア流路17による吸着を解除する。また、プランジ
ャ10が上昇することにより、不要樹脂22を下ブロッ
ク8から引き離す。
昇する。これにより、可動側板20は更に右側へと移動
して、初期位置に復帰する。また、基板固定ブロック1
5が回動して基板18を水平に保持するとともに、吸着
用エア流路17による吸着を解除する。また、プランジ
ャ10が上昇することにより、不要樹脂22を下ブロッ
ク8から引き離す。
【0024】次に、上型1と下型2との間に、図5にお
ける手前側−奥側の方向に沿って、所定の位置まで搬出
機構25が進入する。搬出機構25には、吸着用エア流
路26,27が、それぞれ弁を介して真空ポンプ(いず
れも図示なし)に接続されて設けられている。吸着用エ
ア流路26はパッケージ24の吸着用、吸着用エア流路
27は不要樹脂22の吸着用である。そして、搬出機構
25が下降し、吸着用エア流路26,27によりそれぞ
れパッケージ24,不要樹脂22を吸着する。その後
に、搬出機構25は上昇して、上型1と下型2との間か
ら退出する。これにより、パッケージ24と不要樹脂2
2とを同時に搬出することができる。
ける手前側−奥側の方向に沿って、所定の位置まで搬出
機構25が進入する。搬出機構25には、吸着用エア流
路26,27が、それぞれ弁を介して真空ポンプ(いず
れも図示なし)に接続されて設けられている。吸着用エ
ア流路26はパッケージ24の吸着用、吸着用エア流路
27は不要樹脂22の吸着用である。そして、搬出機構
25が下降し、吸着用エア流路26,27によりそれぞ
れパッケージ24,不要樹脂22を吸着する。その後
に、搬出機構25は上昇して、上型1と下型2との間か
ら退出する。これにより、パッケージ24と不要樹脂2
2とを同時に搬出することができる。
【0025】以上説明したように、本発明によれば、ま
ず、型締めにより形成されたキャビティ13に溶融樹脂
21を注入して硬化させる。これにより、ポッティング
モールドによる場合に比較して、封止樹脂23の寸法精
度が向上する。また、キャビティ13の形成及び型締め
と、封止後におけるゲートブレーク及び型開きとが、上
型1の上下運動のみによって行われる。したがって、中
間プレートを必要とせず上型1と下型2とのみによって
金型が構成されるので、金型及び樹脂封止装置の構造が
簡素化される。加えて、共通の搬出機構25を使用して
パッケージ24と不要樹脂22とを同時に搬出するとと
もに、パッケージ24をエジェクトするための機構が不
要になる。これによって、樹脂封止装置の構造がいっそ
う簡素化されるとともに、自動化に対応することが容易
になる。
ず、型締めにより形成されたキャビティ13に溶融樹脂
21を注入して硬化させる。これにより、ポッティング
モールドによる場合に比較して、封止樹脂23の寸法精
度が向上する。また、キャビティ13の形成及び型締め
と、封止後におけるゲートブレーク及び型開きとが、上
型1の上下運動のみによって行われる。したがって、中
間プレートを必要とせず上型1と下型2とのみによって
金型が構成されるので、金型及び樹脂封止装置の構造が
簡素化される。加えて、共通の搬出機構25を使用して
パッケージ24と不要樹脂22とを同時に搬出するとと
もに、パッケージ24をエジェクトするための機構が不
要になる。これによって、樹脂封止装置の構造がいっそ
う簡素化されるとともに、自動化に対応することが容易
になる。
【0026】なお、上述の説明では、パッケージ24を
水平に保持した状態で搬出した。これに限らず、図4に
おいて基板固定ブロック15が初期位置に復帰した状態
で、パッケージ24と下ブロック8との間の空間に、搬
出機構を挿入してもよい。この場合にも、垂直に保持し
たパッケージ24を吸着することによって搬出し、同時
に不要樹脂22を搬出することができる。
水平に保持した状態で搬出した。これに限らず、図4に
おいて基板固定ブロック15が初期位置に復帰した状態
で、パッケージ24と下ブロック8との間の空間に、搬
出機構を挿入してもよい。この場合にも、垂直に保持し
たパッケージ24を吸着することによって搬出し、同時
に不要樹脂22を搬出することができる。
【0027】また、1つの搬出機構25を使用して、パ
ッケージ24と不要樹脂22とを搬出した。これに代え
て、パッケージ24と不要樹脂22とを、別々の搬出機
構を使用して同時に、又は別々に搬出してもよい。
ッケージ24と不要樹脂22とを搬出した。これに代え
て、パッケージ24と不要樹脂22とを、別々の搬出機
構を使用して同時に、又は別々に搬出してもよい。
【0028】また、吸着することにより、パッケージ2
4と不要樹脂22とを搬出した。これに代えて、パッケ
ージ24と不要樹脂22とを、それぞれ挟持することに
よって搬出することもできる。
4と不要樹脂22とを搬出した。これに代えて、パッケ
ージ24と不要樹脂22とを、それぞれ挟持することに
よって搬出することもできる。
【0029】また、上型1を昇降させたが、これに代え
て、下型2を昇降させてもよい。更に、上型1と下型2
とを、上下方向に相対的に移動させてもよい。
て、下型2を昇降させてもよい。更に、上型1と下型2
とを、上下方向に相対的に移動させてもよい。
【0030】また、上型1側にカル4を設けるととも
に、下ブロック8にポット9とプランジャ10とを設け
た。これに変えて、下ブロック3にカルを設けるととも
に、上型1の側にポットとプランジャとを設けてもよ
い。
に、下ブロック8にポット9とプランジャ10とを設け
た。これに変えて、下ブロック3にカルを設けるととも
に、上型1の側にポットとプランジャとを設けてもよ
い。
【0031】また、下ブロック8の両側に一対の基板固
定ブロック15を設けたが、これに限らず、片側だけに
設けてもよい。
定ブロック15を設けたが、これに限らず、片側だけに
設けてもよい。
【0032】また、下ブロック8の片側に1個又は両側
に1個ずつ設けられた基板固定ブロック15を1ユニッ
トとして、下ブロック8に沿って、図1における手前側
−奥側の方向に沿って複数ユニットだけ、基板固定ブロ
ック15を並べてもよい。更に、1個の基板固定ブロッ
ク15に複数個の基板18を保持してもよい。これらの
場合には、基板18の数に応じて、上ブロック3におい
ては上キャビティ5を、下ブロック8においては下キャ
ビティ12を、それぞれ設ける。そして、溶融樹脂21
が各キャビティ13に均一に充填されるように、基板1
8の数に応じて、カル4とポット9とプランジャ10と
を、適当な数だけ設けておくことが好ましい。
に1個ずつ設けられた基板固定ブロック15を1ユニッ
トとして、下ブロック8に沿って、図1における手前側
−奥側の方向に沿って複数ユニットだけ、基板固定ブロ
ック15を並べてもよい。更に、1個の基板固定ブロッ
ク15に複数個の基板18を保持してもよい。これらの
場合には、基板18の数に応じて、上ブロック3におい
ては上キャビティ5を、下ブロック8においては下キャ
ビティ12を、それぞれ設ける。そして、溶融樹脂21
が各キャビティ13に均一に充填されるように、基板1
8の数に応じて、カル4とポット9とプランジャ10と
を、適当な数だけ設けておくことが好ましい。
【0033】また、上ブロック3と下ブロック8とを使
用して、キャビティ13を垂直方向に分割した。これに
代えて、カル4,ゲート6,キャビティ13を水平方向
に分割することもできる。この場合には、例えば、キャ
ビティを有するキャビティブロックを下型2に固定す
る。更に、カル及びゲートを有するゲートブロックを、
ゲートがキャビティの背面に対向するようにして、下型
2において水平方向に移動自在に設ける。そして、可動
側板の斜面がゲートブロックの斜面を押圧することによ
りゲートブロックとキャビティブロックとを型締めした
後に、カル及びゲートを順次経由して、キャビティに溶
融樹脂を注入すればよい。
用して、キャビティ13を垂直方向に分割した。これに
代えて、カル4,ゲート6,キャビティ13を水平方向
に分割することもできる。この場合には、例えば、キャ
ビティを有するキャビティブロックを下型2に固定す
る。更に、カル及びゲートを有するゲートブロックを、
ゲートがキャビティの背面に対向するようにして、下型
2において水平方向に移動自在に設ける。そして、可動
側板の斜面がゲートブロックの斜面を押圧することによ
りゲートブロックとキャビティブロックとを型締めした
後に、カル及びゲートを順次経由して、キャビティに溶
融樹脂を注入すればよい。
【0034】また、本発明は、上述の実施形態に限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内
で、必要に応じて、任意にかつ適宜に変更し、選択し、
又は組み合わせて採用できるものである。
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内
で、必要に応じて、任意にかつ適宜に変更し、選択し、
又は組み合わせて採用できるものである。
【0035】
【発明の効果】本発明によれば、キャビティに溶融樹脂
を注入して硬化させることにより、パッケージの寸法精
度が向上する。また、中間プレートを使用せずに、金型
が2つの金型のみによって構成される。また、パッケー
ジのエジェクト機構が不要になるとともに、パッケージ
と不要樹脂とが同時に搬出される。したがって、本発明
は、少ない金型数と簡素化された機構とにより、寸法精
度よく樹脂封止する樹脂封止装置及び樹脂封止方法を提
供できるという、優れた実用的な効果を奏するものであ
る。
を注入して硬化させることにより、パッケージの寸法精
度が向上する。また、中間プレートを使用せずに、金型
が2つの金型のみによって構成される。また、パッケー
ジのエジェクト機構が不要になるとともに、パッケージ
と不要樹脂とが同時に搬出される。したがって、本発明
は、少ない金型数と簡素化された機構とにより、寸法精
度よく樹脂封止する樹脂封止装置及び樹脂封止方法を提
供できるという、優れた実用的な効果を奏するものであ
る。
【図1】本発明に係る樹脂封止装置において、搬送され
た基板が水平に保持された状態を示す断面図である。
た基板が水平に保持された状態を示す断面図である。
【図2】本発明に係る樹脂封止装置において、基板固定
ブロックが回動後に基板を垂直に保持するとともに、型
締めが行われている状態を示す断面図である。
ブロックが回動後に基板を垂直に保持するとともに、型
締めが行われている状態を示す断面図である。
【図3】本発明に係る樹脂封止装置において、型締め完
了後に溶融樹脂がキャビティに注入される状態を示す断
面図である。
了後に溶融樹脂がキャビティに注入される状態を示す断
面図である。
【図4】本発明に係る樹脂封止装置において、樹脂封止
完了後に型開きするとともに、ゲートブレークが行われ
た状態を示す断面図である。
完了後に型開きするとともに、ゲートブレークが行われ
た状態を示す断面図である。
【図5】本発明に係る樹脂封止装置において、ゲートブ
レーク後に、基板固定ブロックが回動してパッケージを
水平に保持するとともに、パッケージと不要樹脂とを搬
出する状態を示す断面図である。
レーク後に、基板固定ブロックが回動してパッケージを
水平に保持するとともに、パッケージと不要樹脂とを搬
出する状態を示す断面図である。
【図6】従来のプレートモールドによる樹脂封止装置の
概略を示す断面図である。
概略を示す断面図である。
1 上型(第1の金型)
2 下型(第2の金型)
3 上ブロック(第1のブロック)
4 カル
5 上キャビティ(第1の部分キャビティ)
6 ゲート
7 固定側板
8 下ブロック(第2のブロック)
9 ポット
10 プランジャ
11 樹脂タブレット
12 下キャビティ(第2の部分キャビティ)
13 キャビティ
14 凹部
15 基板固定ブロック
16 回動軸
17,26,27 吸着用エア流路
18 基板
19 チップ(チップ状電子部品)
20 可動側板
21 溶融樹脂
22 不要樹脂
23 封止樹脂
24 パッケージ
25 搬出機構
Claims (4)
- 【請求項1】 相対向する第1及び第2の金型を使用し
て該第1及び第2の金型間において設けられたキャビテ
ィに溶融樹脂が注入されることにより、基板に装着され
たチップ状電子部品を樹脂封止する樹脂封止装置であっ
て、 前記第1の金型に固定され斜面を有する固定側板と、 前記第2の金型の型面において前記キャビティに向かっ
て進退自在に設けられ前記固定側板の斜面に対向する斜
面を有する可動側板と、 前記第2の金型の型面において該型面に対して垂直にな
るまで回動自在に設けられ、前記基板が載置されるとと
もに、前記型面に対して垂直な状態で前記可動側板によ
って押圧される基板固定ブロックとを備えるとともに、 前記第1及び第2の金型が相対的に移動することによ
り、前記固定側板及び可動側板の斜面同士が接触して前
記可動側板が移動し、該可動側板が前記基板固定ブロッ
クを押圧し、該基板固定ブロックは前記チップ状電子部
品が前記キャビティに収容されるようにして前記基板を
前記キャビティに対して圧接することを特徴とする樹脂
封止装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の樹脂封止装置において、 前記第1の金型から突出して設けられ側面に設けられた
第1の部分キャビティを有する第1のブロックと、 前記第2の金型から突出して設けられ側面に設けられた
第2の部分キャビティを有する第2のブロックとを備え
るとともに、 前記第1及び第2の金型が相対的に移動することによ
り、前記第1及び第2のブロックが型締めするととも
に、前記第1及び第2の部分キャビティが前記キャビテ
ィを形成することを特徴とする樹脂封止装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載の樹脂封止装置にお
いて、 前記溶融樹脂が硬化して形成された硬化樹脂のうち前記
キャビティにおける部分からなる封止樹脂と前記基板と
からなるパッケージと、前記硬化樹脂のうち前記封止樹
脂以外の部分からなる不要樹脂とを、同時に搬出する搬
出機構を備えたことを特徴とする樹脂封止装置。 - 【請求項4】 相対向する第1及び第2の金型を使用し
て該第1及び第2の金型間において設けられたキャビテ
ィに溶融樹脂を注入することにより、基板に装着された
チップ状電子部品を樹脂封止する樹脂封止方法であっ
て、 前記第2の金型に回動自在に設けられた基板固定ブロッ
クに前記基板を水平に載置する工程と、 前記基板固定ブロックを回動させて前記基板を垂直に保
持する工程と、 前記第1及び第2の金型を相対的に移動させることによ
り、前記第1の金型に設けられた固定側板の斜面が前記
第2の金型に設けられた可動側板の斜面を押圧して該可
動側板を移動させ、前記チップ状電子部品が前記キャビ
ティに収容されるように前記可動側板が前記基板固定ブ
ロックを押圧して前記基板を前記キャビティに対して圧
接する工程と、 前記基板を前記キャビティに対して圧接した状態で前記
キャビティに前記溶融樹脂を注入する工程と、 前記キャビティに注入された溶融樹脂を硬化させる工程
とを備えたことを特徴とする樹脂封止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001295549A JP2003100785A (ja) | 2001-09-27 | 2001-09-27 | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001295549A JP2003100785A (ja) | 2001-09-27 | 2001-09-27 | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003100785A true JP2003100785A (ja) | 2003-04-04 |
Family
ID=19116963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001295549A Pending JP2003100785A (ja) | 2001-09-27 | 2001-09-27 | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003100785A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114103017A (zh) * | 2020-08-28 | 2022-03-01 | 东和株式会社 | 树脂成形装置及树脂成形品的制造方法 |
| CN114379015A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-04-22 | 鸿准精密模具(昆山)有限公司 | 定位装置及模具 |
| CN119297092A (zh) * | 2024-10-09 | 2025-01-10 | 幂帆科技(上海)股份有限公司 | 一种全自动半导体封装设备 |
-
2001
- 2001-09-27 JP JP2001295549A patent/JP2003100785A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114103017A (zh) * | 2020-08-28 | 2022-03-01 | 东和株式会社 | 树脂成形装置及树脂成形品的制造方法 |
| JP2022039709A (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-10 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法 |
| JP7341105B2 (ja) | 2020-08-28 | 2023-09-08 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法 |
| CN114103017B (zh) * | 2020-08-28 | 2024-12-27 | 东和株式会社 | 树脂成形装置及树脂成形品的制造方法 |
| CN114379015A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-04-22 | 鸿准精密模具(昆山)有限公司 | 定位装置及模具 |
| CN114379015B (zh) * | 2021-12-10 | 2023-12-22 | 鸿准精密模具(昆山)有限公司 | 定位装置及模具 |
| CN119297092A (zh) * | 2024-10-09 | 2025-01-10 | 幂帆科技(上海)股份有限公司 | 一种全自动半导体封装设备 |
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