JP2003136003A - コータ吐出口周辺部の拭き取り洗浄装置 - Google Patents
コータ吐出口周辺部の拭き取り洗浄装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コータの凹凸のある吐出口周辺部を効率よく
拭き取り洗浄する洗浄装置を提供する。 【解決手段】 走行するウェブに、一つ以上のスリット
から塗布液を吐出してウェブ上に塗布液を塗布するコー
タの吐出口周辺部の拭き取り洗浄装置で、前記コータに
対し三次元方向への相対位置の移動が可能な移動手段
と、該移動手段に保持され洗浄時にコータ吐出口周辺部
に圧接し拭き取る拭き取りユニットを持つ洗浄装置。
拭き取り洗浄する洗浄装置を提供する。 【解決手段】 走行するウェブに、一つ以上のスリット
から塗布液を吐出してウェブ上に塗布液を塗布するコー
タの吐出口周辺部の拭き取り洗浄装置で、前記コータに
対し三次元方向への相対位置の移動が可能な移動手段
と、該移動手段に保持され洗浄時にコータ吐出口周辺部
に圧接し拭き取る拭き取りユニットを持つ洗浄装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は走行するウェブに塗
布液を塗布するコータの吐出口周辺部の洗浄装置に関
し、特に拭き取りによる洗浄装置に関する。
布液を塗布するコータの吐出口周辺部の洗浄装置に関
し、特に拭き取りによる洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走行するウェブに一つ以上のスリットか
ら塗布液を吐出してウェブ上に塗布液を塗布するコータ
の吐出口周辺部に異物等が付着すると、すじ等の塗布故
障の原因となり安定した塗布作業に支障を来す。異物
は、塗布開始時、塗布中断時に発生しやすい。従って、
塗布開始時、塗布中断して再開する時或いは塗布中に塗
布故障が発生した時等に吐出口周辺部を拭き取り洗浄す
る必要がある。
ら塗布液を吐出してウェブ上に塗布液を塗布するコータ
の吐出口周辺部に異物等が付着すると、すじ等の塗布故
障の原因となり安定した塗布作業に支障を来す。異物
は、塗布開始時、塗布中断時に発生しやすい。従って、
塗布開始時、塗布中断して再開する時或いは塗布中に塗
布故障が発生した時等に吐出口周辺部を拭き取り洗浄す
る必要がある。
【０００３】その一つの方法として、弾性体のスポン
ジ、ゴム、樹脂等からなるパッドをコータに圧接して拭
き取る方法があるが、一つのパッドが拭き取り長さ全域
に接触する事となり拭き取り始めと終わりでは拭き取り
効果が異なる。又、途中でパッドを交換する事も可能で
あるが洗浄作業中断となり、効率が悪い。
ジ、ゴム、樹脂等からなるパッドをコータに圧接して拭
き取る方法があるが、一つのパッドが拭き取り長さ全域
に接触する事となり拭き取り始めと終わりでは拭き取り
効果が異なる。又、途中でパッドを交換する事も可能で
あるが洗浄作業中断となり、効率が悪い。
【０００４】ロール材を使用する場合はロール拭き取り
材を洗浄中巻出し巻取りを行い、拭き取り部分を未使用
部分に更新しながら拭き取る事ができる点でパッドを用
いるのに比べ効率が良く、拭き取り始めと終わりでは拭
き取り効果に差がない点で優れている。
材を洗浄中巻出し巻取りを行い、拭き取り部分を未使用
部分に更新しながら拭き取る事ができる点でパッドを用
いるのに比べ効率が良く、拭き取り始めと終わりでは拭
き取り効果に差がない点で優れている。
【０００５】ロール材を使用する方法としては、（１）
ロール材の巻出し軸と巻取り軸をコータと平行方向に配
置し、ロール材をコータに直交方向に走行させ拭き取る
ものと、（２）ロール材の巻出し軸と巻取り軸をコータ
と直行方向に配置し、ロール材をコータに平行方向に走
行させ拭き取る方法が知られている。
ロール材の巻出し軸と巻取り軸をコータと平行方向に配
置し、ロール材をコータに直交方向に走行させ拭き取る
ものと、（２）ロール材の巻出し軸と巻取り軸をコータ
と直行方向に配置し、ロール材をコータに平行方向に走
行させ拭き取る方法が知られている。
【０００６】しかしながら、コータの吐出口面は塗布の
機能上、凹凸形状になっており凸部は比較的良好で有る
が、凹部、特に奥角部及び凹面から凸面への立ち上がり
面を拭き取るには前記二種類の方法では確実さに欠ける
ものであった。
機能上、凹凸形状になっており凸部は比較的良好で有る
が、凹部、特に奥角部及び凹面から凸面への立ち上がり
面を拭き取るには前記二種類の方法では確実さに欠ける
ものであった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、コー
タの凹凸のある吐出口周辺部を効率よく拭き取り洗浄す
る洗浄装置を提供することにある。
タの凹凸のある吐出口周辺部を効率よく拭き取り洗浄す
る洗浄装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題は、以下の構成
により解決することができた。
により解決することができた。
【０００９】（１） 走行するウェブに、スリットから
塗布液を吐出してウェブ上に塗布液を塗布するコータの
吐出口周辺部の拭き取り洗浄装置であって、前記コータ
に対し三次元方向への相対位置の移動が可能な移動手段
と、該移動手段に保持され洗浄時にコータ吐出口周辺部
に圧接して拭き取る拭き取りユニットを有することを特
徴とする洗浄装置。
塗布液を吐出してウェブ上に塗布液を塗布するコータの
吐出口周辺部の拭き取り洗浄装置であって、前記コータ
に対し三次元方向への相対位置の移動が可能な移動手段
と、該移動手段に保持され洗浄時にコータ吐出口周辺部
に圧接して拭き取る拭き取りユニットを有することを特
徴とする洗浄装置。
【００１０】（２） 拭き取りユニットは拭き取り材と
してロール状に巻かれた布又は樹脂からなる帯状のロー
ル状拭き取り材を保持していることを特徴とする（１）
記載の洗浄装置。
してロール状に巻かれた布又は樹脂からなる帯状のロー
ル状拭き取り材を保持していることを特徴とする（１）
記載の洗浄装置。
【００１１】（３） 拭き取りユニットはロール状拭き
取り材の巻出し軸及び巻取り軸を有し、該軸はコータ長
手方向に対し直交方向から１０〜３０°の角度を設けて
配置し、拭き取り材の巻取り軸側を洗浄装置の走行方向
とし、洗浄装置をコータ長手方向に対し１０〜３０°の
角度を保持しつつ、コータ長手方向に移動することを特
徴とする（２）記載の洗浄装置。
取り材の巻出し軸及び巻取り軸を有し、該軸はコータ長
手方向に対し直交方向から１０〜３０°の角度を設けて
配置し、拭き取り材の巻取り軸側を洗浄装置の走行方向
とし、洗浄装置をコータ長手方向に対し１０〜３０°の
角度を保持しつつ、コータ長手方向に移動することを特
徴とする（２）記載の洗浄装置。
【００１２】（４） 拭き取り材の巻取り方向が、塗布
下流側から上流側に巻き取る方向とすることを特徴とす
る（２）又は（３）記載の洗浄装置。
下流側から上流側に巻き取る方向とすることを特徴とす
る（２）又は（３）記載の洗浄装置。
【００１３】（５） 拭き取り材の巻出しと巻取りの間
に、該拭き取り材をコータ吐出口面に圧接する圧接手段
を有し、該拭き取り材をコータに圧接し、拭き取り材を
巻出し巻取りしながら、且つ洗浄装置をコータ長手方向
に対して平行に移動することを特徴とする（２）〜
（４）の何れか１項記載の洗浄装置。
に、該拭き取り材をコータ吐出口面に圧接する圧接手段
を有し、該拭き取り材をコータに圧接し、拭き取り材を
巻出し巻取りしながら、且つ洗浄装置をコータ長手方向
に対して平行に移動することを特徴とする（２）〜
（４）の何れか１項記載の洗浄装置。
【００１４】（６）圧接手段が弾性体で構成されたロー
ラ又はパッドであることを特徴とする（５）記載の洗浄
装置。
ラ又はパッドであることを特徴とする（５）記載の洗浄
装置。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図をもって説明す
る。
る。
【００１６】図１は、走行するウェブ上に、スリットか
ら塗布液を吐出して塗布する塗布装置の概略断面図であ
る。図中、１０はコータを示し、該コータはバー４ａ、
４ｂ、４ｃからなり、各バー間にはスリット５ａ、５ｂ
が形成され、ポケット７に供給された塗布液はこのスリ
ットを通して吐出される。バックアップロール１に支え
られて矢印方向に走行するウェブ２上に、コータ１０の
各スリット５ａ、５ｂから吐出された塗布液３が塗布さ
れる。
ら塗布液を吐出して塗布する塗布装置の概略断面図であ
る。図中、１０はコータを示し、該コータはバー４ａ、
４ｂ、４ｃからなり、各バー間にはスリット５ａ、５ｂ
が形成され、ポケット７に供給された塗布液はこのスリ
ットを通して吐出される。バックアップロール１に支え
られて矢印方向に走行するウェブ２上に、コータ１０の
各スリット５ａ、５ｂから吐出された塗布液３が塗布さ
れる。
【００１７】図２は、コータの斜視図である。塗布開始
前や塗布中断時にはコータは塗布位置から後退した待機
位置にあり、塗布液は各スリットから吐出され自然落下
している。自然落下の方向はウェブ塗布時とは逆の下流
側から上流側（バー４ｃ→４ａ）の方向となる。
前や塗布中断時にはコータは塗布位置から後退した待機
位置にあり、塗布液は各スリットから吐出され自然落下
している。自然落下の方向はウェブ塗布時とは逆の下流
側から上流側（バー４ｃ→４ａ）の方向となる。
【００１８】図３は、本発明の洗浄装置の拭き取りユニ
ットの斜視図である。２０は拭き取りユニットであり、
拭き取り材２６の巻出しロール２１及び巻取りロール２
２及びその間にある圧接ローラ２３を保持する枠体２４
を有し、それらのロールは駆動ユニット２５に接続され
ており、駆動ユニット２５中に内蔵する駆動モータ（不
図示）により拭き取り材が連続的に巻出し、巻取りされ
る構造となっている。圧接ローラ２３は弾性体からな
る。１５は把持部を示し、３次元の移動手段の把持部に
より把持される。
ットの斜視図である。２０は拭き取りユニットであり、
拭き取り材２６の巻出しロール２１及び巻取りロール２
２及びその間にある圧接ローラ２３を保持する枠体２４
を有し、それらのロールは駆動ユニット２５に接続され
ており、駆動ユニット２５中に内蔵する駆動モータ（不
図示）により拭き取り材が連続的に巻出し、巻取りされ
る構造となっている。圧接ローラ２３は弾性体からな
る。１５は把持部を示し、３次元の移動手段の把持部に
より把持される。
【００１９】図４は、本発明の洗浄装置を、待機位置に
あるコータの出口周辺部に設置した状態を示す側面図で
ある。拭き取りユニット２０は、把持部１５により、コ
ータ長手矢印方向に平行に走行するように移動手段の把
持部３１により把持される。
あるコータの出口周辺部に設置した状態を示す側面図で
ある。拭き取りユニット２０は、把持部１５により、コ
ータ長手矢印方向に平行に走行するように移動手段の把
持部３１により把持される。
【００２０】移動手段は三次元方向への相対位置の移動
が可能であり、拭き取りユニット２０はコータのスリッ
トに対し一定の圧力で圧接しながら、一定速度でスリッ
トに平行に移動するように構成されている。
が可能であり、拭き取りユニット２０はコータのスリッ
トに対し一定の圧力で圧接しながら、一定速度でスリッ
トに平行に移動するように構成されている。
【００２１】本発明の洗浄装置に用いられる移動手段
は、三次元方向への相対的位置の移動が可能な手段であ
れば、特に限定されるものではないが、コータの長手方
向に平行移動することが可能な多関節ロボットや、例え
ば図５に記載の三次元移動手段を用いることができる。
は、三次元方向への相対的位置の移動が可能な手段であ
れば、特に限定されるものではないが、コータの長手方
向に平行移動することが可能な多関節ロボットや、例え
ば図５に記載の三次元移動手段を用いることができる。
【００２２】図５中、矢印で示したＸ，Ｙ，Ｚ方向への
直線的移動が可能であり、更にＪ1、Ｊ2、Ｊ3方向への
回動が可能とすることにより、移動手段３０の把持部３
１により把持された拭き取りユニット２０がコータの出
口周辺部に一定の圧力で押圧しながらコータの長手方向
に移動を可能とすることが出きる。又Ｊ3の回動により
コータ長手方向と拭き取りユニットの拭き取り材の巻出
し巻取り方向との角度を任意に設定することが可能とな
る。
直線的移動が可能であり、更にＪ1、Ｊ2、Ｊ3方向への
回動が可能とすることにより、移動手段３０の把持部３
１により把持された拭き取りユニット２０がコータの出
口周辺部に一定の圧力で押圧しながらコータの長手方向
に移動を可能とすることが出きる。又Ｊ3の回動により
コータ長手方向と拭き取りユニットの拭き取り材の巻出
し巻取り方向との角度を任意に設定することが可能とな
る。
【００２３】図６は本発明の拭き取りユニットを、待機
位置にあるコータの出口周辺部に配設した状態を示す正
面図である。拭き取りユニット２０は図４のＡ−Ａ′面
により切断された断面を示している。拭き取りユニット
の枠体に保持された各ローラ軸は、コータ長手方向（移
動方向を矢印で示した）に対し、直交方向からの角度θ
を１０〜３０°の角度で配設し、拭き取り材の巻取り軸
側（拭き取りユニットの前側）を洗浄装置の走行進行方
向とすることが好ましい。拭き取りユニットをコータ長
手方向に対し１０〜３０°の角度とし、そして拭き取り
材の巻取り方向を、塗布下流側から上流側に巻き取る方
向、即ち拭き取りユニットの前側が下方に傾いた方向と
することにより、汚れを綺麗に拭き取り、洗浄すること
が可能となる。
位置にあるコータの出口周辺部に配設した状態を示す正
面図である。拭き取りユニット２０は図４のＡ−Ａ′面
により切断された断面を示している。拭き取りユニット
の枠体に保持された各ローラ軸は、コータ長手方向（移
動方向を矢印で示した）に対し、直交方向からの角度θ
を１０〜３０°の角度で配設し、拭き取り材の巻取り軸
側（拭き取りユニットの前側）を洗浄装置の走行進行方
向とすることが好ましい。拭き取りユニットをコータ長
手方向に対し１０〜３０°の角度とし、そして拭き取り
材の巻取り方向を、塗布下流側から上流側に巻き取る方
向、即ち拭き取りユニットの前側が下方に傾いた方向と
することにより、汚れを綺麗に拭き取り、洗浄すること
が可能となる。
【００２４】本発明の拭き取りユニットの移動方向はコ
ータ長手方向で有れば、図中右からでも左からでもよい
が、拭き取りユニットの前側（巻取り側）が進行方向に
対して下方を向いており、コータスリットの下流側から
上流側に向かって拭き取り材が移動するように調整する
ことが好ましい。
ータ長手方向で有れば、図中右からでも左からでもよい
が、拭き取りユニットの前側（巻取り側）が進行方向に
対して下方を向いており、コータスリットの下流側から
上流側に向かって拭き取り材が移動するように調整する
ことが好ましい。
【００２５】又、巻出し軸と巻取り軸の間にコータ吐出
口面に沿って変形可能なスポンジ等の弾性体で構成され
たローラを巻出し軸、巻取り軸と平行に配置し、そのロ
ーラで拭き取り材をコータに圧接しながら拭き取り材を
巻出し巻取りしつつ拭き取りを行い、且つ洗浄装置は前
記移動手段によりコータ長手方向に対して平行に移動し
コータ長手方向全域を洗浄する。
口面に沿って変形可能なスポンジ等の弾性体で構成され
たローラを巻出し軸、巻取り軸と平行に配置し、そのロ
ーラで拭き取り材をコータに圧接しながら拭き取り材を
巻出し巻取りしつつ拭き取りを行い、且つ洗浄装置は前
記移動手段によりコータ長手方向に対して平行に移動し
コータ長手方向全域を洗浄する。
【００２６】コータの吐出口面の形状は、吐出口近傍が
出っ張った凸部となっておりその周辺は直角状、或いは
傾斜を付けて凸部より落ち込む形状で後退し凹部となっ
ている。その凸部と凹部を接続する壁面及び凹部角部が
拭き取り難い。
出っ張った凸部となっておりその周辺は直角状、或いは
傾斜を付けて凸部より落ち込む形状で後退し凹部となっ
ている。その凸部と凹部を接続する壁面及び凹部角部が
拭き取り難い。
【００２７】前記のようにロール状拭き取り材をコータ
に対しコータ上側から下側へ傾斜を付け走行させ、又、
圧接ローラによりコータに押し付けるようになるため、
ロール材は凹部角部から凸部と凹部を接続する壁面によ
り強く押し付けられ、角奥までロール材が接触する事と
なり拭き取りが確実となる。
に対しコータ上側から下側へ傾斜を付け走行させ、又、
圧接ローラによりコータに押し付けるようになるため、
ロール材は凹部角部から凸部と凹部を接続する壁面によ
り強く押し付けられ、角奥までロール材が接触する事と
なり拭き取りが確実となる。
【００２８】ロール拭き取り材の走行方向がコータ上側
より下側へ向かい、且つ拭き取りユニット全体はコータ
に対し平行に移動するため、ロール材で拭き取った異
物、汚れがコータに再転写する事が無く、常に良好な洗
浄面を得る事ができた。
より下側へ向かい、且つ拭き取りユニット全体はコータ
に対し平行に移動するため、ロール材で拭き取った異
物、汚れがコータに再転写する事が無く、常に良好な洗
浄面を得る事ができた。
【００２９】
【発明の効果】ロール状の拭き取り材を備え、巻きだ
し、巻取りしながら常に新しい拭き取り面を供給しなが
ら、コータ吐出口周辺を洗浄することにより、安定した
塗布を行うことができるようになった。
し、巻取りしながら常に新しい拭き取り面を供給しなが
ら、コータ吐出口周辺を洗浄することにより、安定した
塗布を行うことができるようになった。
【図１】塗布装置の概略断面図である。
【図２】コータの斜視図である。
【図３】本発明の洗浄装置の拭き取りユニットの斜視図
である。
である。
【図４】本発明の洗浄装置を、待機位置にあるコータの
出口周辺部に設置した状態を示す側面図である。
出口周辺部に設置した状態を示す側面図である。
【図５】本発明の洗浄装置に用いられる移動手段を示す
図である。
図である。
【図６】本発明の洗浄装置を、待機位置にあるコータの
出口周辺部に設置した状態を示す正面図である。
出口周辺部に設置した状態を示す正面図である。
【符号の説明】
１ バックアップロール
２ ウェブ
４ａ、４ｂ、４ｃ バー
５ａ、５ｂ スリット
１０ コータ
１５ 把持部
２０ 拭き取りユニット
２１ 巻出しロール
２２ 巻取りロール
２３ 圧接ローラ
２５ 駆動ユニット
２６ 拭き取り材
３０ 移動手段
３１ 移動手段の把持部
Claims (6)
- 【請求項１】 走行するウェブに、スリットから塗布液
を吐出してウェブ上に塗布液を塗布するコータの吐出口
周辺部の拭き取り洗浄装置であって、前記コータに対し
三次元方向への相対位置の移動が可能な移動手段と、該
移動手段に保持され洗浄時にコータ吐出口周辺部に圧接
して拭き取る拭き取りユニットを有することを特徴とす
る洗浄装置。 - 【請求項２】 拭き取りユニットは拭き取り材としてロ
ール状に巻かれた布又は樹脂からなる帯状のロール状拭
き取り材を保持していることを特徴とする請求項１記載
の洗浄装置。 - 【請求項３】 拭き取りユニットはロール状拭き取り材
の巻出し軸及び巻取り軸を有し、該軸はコータ長手方向
に対し直交方向から１０〜３０°の角度を設けて配置
し、拭き取り材の巻取り軸側を洗浄装置の走行方向と
し、洗浄装置をコータ長手方向に対し１０〜３０°の角
度を保持しつつ、コータ長手方向に移動することを特徴
とする請求項２記載の洗浄装置。 - 【請求項４】 拭き取り材の巻取り方向が、塗布下流側
から上流側に巻き取る方向とすることを特徴とする請求
項２又は３記載の洗浄装置。 - 【請求項５】 拭き取り材の巻出しと巻取りの間に、該
拭き取り材をコータ吐出口面に圧接する圧接手段を有
し、該拭き取り材をコータに圧接し、拭き取り材を巻出
し巻取りしながら、且つ洗浄装置をコータ長手方向に対
して平行に移動することを特徴とする請求項２〜４の何
れか１項記載の洗浄装置。 - 【請求項６】 圧接手段が弾性体で構成されたローラ又
はパッドであることを特徴とする請求項５記載の洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001339375A JP2003136003A (ja) | 2001-11-05 | 2001-11-05 | コータ吐出口周辺部の拭き取り洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001339375A JP2003136003A (ja) | 2001-11-05 | 2001-11-05 | コータ吐出口周辺部の拭き取り洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003136003A true JP2003136003A (ja) | 2003-05-13 |
Family
ID=19153730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001339375A Pending JP2003136003A (ja) | 2001-11-05 | 2001-11-05 | コータ吐出口周辺部の拭き取り洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003136003A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005058913A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Tokyo Electron Ltd | 塗布ノズル及び塗布装置 |
| EP1491262A3 (en) * | 2003-06-25 | 2005-04-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Cleaning device for a slit nozzle and coating apparatus |
-
2001
- 2001-11-05 JP JP2001339375A patent/JP2003136003A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1491262A3 (en) * | 2003-06-25 | 2005-04-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Cleaning device for a slit nozzle and coating apparatus |
| JP2005058913A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Tokyo Electron Ltd | 塗布ノズル及び塗布装置 |
| KR101076152B1 (ko) | 2003-08-12 | 2011-10-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 도포노즐 및 도포장치 |
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