JP2003139721A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 被検査体を載置するステージと、
   このステージ上に載置される前記被検査体を跨いで設けられ、かつ前記ステージに対して一方向に移動可能に設けられた門型アームと、
   この門型アームの水平ビームに沿って移動可能に設けられ、かつ前記門型アームの移動方向と同一方向に配置された２つの検査ヘッドと、
   を具備したことを特徴とする基板検査装置。
2. 前記２つの検査ヘッドは、ヘッド本体の先端下方に対物レンズが取り付けられ、前記ヘッド本体に照明光学系、焦準装置などの各種構成要素が組み込まれており、前記各検査ヘッドの対物レンズが外側を向くように所定の間隔で背中合わせに配置されることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
3. 前記２つの検査ヘッドを組とする複数組の検査ヘッドを前記門型アームの水平ビームに移動可能に設けたことを特徴とする請求項１、２記載の基板検査装置。
4. 前記２つの検査ヘッドは、前記門型アームの移動方向と同一方向に対して各光軸が所定の間隔となるように配置されることを特徴とする請求項１乃至３に記載の基板検査装置。
5. 前記２つの検査ヘッドに取り付けられた各対物レンズの光軸間の距離は、前記各検査ヘッドの配列方向における前記被検査体のサイズの１ / ２以下に設定されることを特徴とする請求項１〜３記載の基板検査装置。
6. 前記門型アームは、前記被検査体のサイズの略１ / ２で移動することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
7. 前記２つの検査ヘッドにそれぞれ取り付けられた２つの撮像装置と、前記２つの撮像装置の少なくとも一方を選択する選択手段と、この選択手段により選択された前記撮像装置から出力される画像信号を入力して前記被検査体の画像を表示する表示部と、を備えたことを特徴とする請求項１〜５記載の基板検査装置。
8. 前記２つの検査ヘッドからの各観察像の一方を選択する光路選択ミラーと、この光路選択ミラーにより選択された前記観察像を撮像する一つの撮像装置と、前記撮像装置から出力される画像信号を入力して前記被検査体の画像を表示する表示部と、を備えたことを特徴とする請求項１〜５記載の基板検査装置。
9. 前記二つの検査ヘッドをそれぞれ移動したときの前記被検査体に対する各観察領域は、互いに一部が重複することを特徴とする請求項７，８記載の基板検査装置。