JP2003149103A - 試料保持用プロセスリテーナ及び試料ホルダ - Google Patents
試料保持用プロセスリテーナ及び試料ホルダInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の多点加工による多点観察を行うことが
できるようにする。 【解決手段】 集束イオンビームにて観察用試料を薄片
化加工し電子線の透過像を観察するための試料保持用プ
ロセスリテーナであって、試料ホルダに装着されるプロ
セスリテーナ本体３と、該プロセスリテーナ本体３との
間に試料４を挟み込む試料押さえ部材１と、該試料押さ
え部材１をプロセスリテーナ本体３に取り付ける取付部
材２とを備え、試料４を挟持するプロセスリテーナ本体
３と試料押さえ部材１の先端部は、少なくとも２方向で
カットされ、試料４を少なくとも２方向で開放し加工可
能とする。プロセスリテーナ１〜３は、一端に試料ホル
ダに係合保持される係合部を有すると共に他端に試料４
を保持する保持部を有し、該保持部において試料４の被
加工部がプロセスリテーナ端部からはみ出す形で試料が
保持される。
できるようにする。 【解決手段】 集束イオンビームにて観察用試料を薄片
化加工し電子線の透過像を観察するための試料保持用プ
ロセスリテーナであって、試料ホルダに装着されるプロ
セスリテーナ本体３と、該プロセスリテーナ本体３との
間に試料４を挟み込む試料押さえ部材１と、該試料押さ
え部材１をプロセスリテーナ本体３に取り付ける取付部
材２とを備え、試料４を挟持するプロセスリテーナ本体
３と試料押さえ部材１の先端部は、少なくとも２方向で
カットされ、試料４を少なくとも２方向で開放し加工可
能とする。プロセスリテーナ１〜３は、一端に試料ホル
ダに係合保持される係合部を有すると共に他端に試料４
を保持する保持部を有し、該保持部において試料４の被
加工部がプロセスリテーナ端部からはみ出す形で試料が
保持される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集束イオンビーム
にて観察用試料を薄片化加工し電子線の透過像を観察す
るための試料保持用プロセスリテーナ及び試料ホルダに
関する。
にて観察用試料を薄片化加工し電子線の透過像を観察す
るための試料保持用プロセスリテーナ及び試料ホルダに
関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばウエハを透過電子顕微鏡（ＴＥ
Ｍ）により観察する場合、透過像観察のための電子顕微
鏡観察用試料を作製するため、まず、ウエハの観察目標
部分を局所的に切り出す。そして、その試料をプロセス
リテーナ（試料保持具）に固定して試料ホルダに装着
し、ＦＩＢ（集束イオンビーム）にて電子線が透過でき
るように２００ｎｍ以下まで薄片化加工を行う。
Ｍ）により観察する場合、透過像観察のための電子顕微
鏡観察用試料を作製するため、まず、ウエハの観察目標
部分を局所的に切り出す。そして、その試料をプロセス
リテーナ（試料保持具）に固定して試料ホルダに装着
し、ＦＩＢ（集束イオンビーム）にて電子線が透過でき
るように２００ｎｍ以下まで薄片化加工を行う。
【０００３】図５は従来の縦型プロセスリテーナの例を
示す図、図６は従来の横型プロセスリテーナの正面及び
横面を示す図であり、１はスプリングリーフ、２は締め
付けネジ、３はプロセスリテーナ本体、４は試料、５は
メッシュ、６、７は切り欠き部、１０は試料ホルダを示
す。
示す図、図６は従来の横型プロセスリテーナの正面及び
横面を示す図であり、１はスプリングリーフ、２は締め
付けネジ、３はプロセスリテーナ本体、４は試料、５は
メッシュ、６、７は切り欠き部、１０は試料ホルダを示
す。
【０００４】従来の縦型プロセスリテーナでは、図５に
示すようにプロセスリテーナ本体３の上に板バネからな
るスプリングリーフ１を締め付けネジ２で締め付け、こ
れらスプリングリーフ１とプロセスリテーナ本体３との
間に試料４を挟み込み締め付けネジ２で固定している。
そして、このプロセスリテーナ本体３を試料ホルダ１０
に装着することにより、試料４は、ＦＩＢにて図示のよ
うに試料ホルダ１０に対し縦方向から薄片化加工を行
い、薄片化した試料４をそのまま上面からＴＥＭ観察が
可能になっている。
示すようにプロセスリテーナ本体３の上に板バネからな
るスプリングリーフ１を締め付けネジ２で締め付け、こ
れらスプリングリーフ１とプロセスリテーナ本体３との
間に試料４を挟み込み締め付けネジ２で固定している。
そして、このプロセスリテーナ本体３を試料ホルダ１０
に装着することにより、試料４は、ＦＩＢにて図示のよ
うに試料ホルダ１０に対し縦方向から薄片化加工を行
い、薄片化した試料４をそのまま上面からＴＥＭ観察が
可能になっている。
【０００５】また、従来の横型プロセスリテーナでは、
図６（Ａ）に示すようにスプリングリーフ１とプロセス
リテーナ本体３との間に挟み込み締め付けネジ２で固定
した試料４の横面を開放することにより、試料４は、Ｆ
ＩＢにて図示のように試料ホルダに対し横方向から薄片
化加工を行い、薄片化した試料４をそのまま上面からＴ
ＥＭ観察が可能になっている。なお、試料４は、メッシ
ュ５の上に貼り付けられ、薄片化加工を行い、ＴＥＭ観
察を行う部分に対応して、スプリングリーフ１に切り欠
き部６、プロセスリテーナ本体３に切り欠き部７がそれ
ぞれ設けられている。
図６（Ａ）に示すようにスプリングリーフ１とプロセス
リテーナ本体３との間に挟み込み締め付けネジ２で固定
した試料４の横面を開放することにより、試料４は、Ｆ
ＩＢにて図示のように試料ホルダに対し横方向から薄片
化加工を行い、薄片化した試料４をそのまま上面からＴ
ＥＭ観察が可能になっている。なお、試料４は、メッシ
ュ５の上に貼り付けられ、薄片化加工を行い、ＴＥＭ観
察を行う部分に対応して、スプリングリーフ１に切り欠
き部６、プロセスリテーナ本体３に切り欠き部７がそれ
ぞれ設けられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のプロセ
スリテーナでは、縦型のプロセスリテーナの場合、図５
に示すようにスプリングリーフ１とプロセスリテーナ本
体３が試料４を縦方向からしか加工できない構造になっ
ており、横型のプロセスリテーナの場合、図６に示すよ
うにスプリングリーフ１とプロセスリテーナ本体３が試
料４を横方向からしか加工できない構造になっている。
スリテーナでは、縦型のプロセスリテーナの場合、図５
に示すようにスプリングリーフ１とプロセスリテーナ本
体３が試料４を縦方向からしか加工できない構造になっ
ており、横型のプロセスリテーナの場合、図６に示すよ
うにスプリングリーフ１とプロセスリテーナ本体３が試
料４を横方向からしか加工できない構造になっている。
【０００７】そのため、従来のプロセスリテーナでは、
試料の加工部分が制限され、短時間で試料の多点加工に
よる多点観察を行うことはできず、このような要求には
対応できないという問題がある。
試料の加工部分が制限され、短時間で試料の多点加工に
よる多点観察を行うことはできず、このような要求には
対応できないという問題がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するものであって、試料の多点加工による多点観察を
行うことができるようにするものである。
決するものであって、試料の多点加工による多点観察を
行うことができるようにするものである。
【０００９】そのために本発明は、集束イオンビームに
て観察用試料を薄片化加工し電子線の透過像を観察する
ための試料保持用プロセスリテーナであって、試料ホル
ダに装着されるプロセスリテーナ本体と、該プロセスリ
テーナ本体との間に試料を挟み込む試料押さえ部材と、
該試料押さえ部材を前記プロセスリテーナ本体に取り付
ける取付部材とを備え、試料を挟持する前記プロセスリ
テーナ本体と試料押さえ部材の先端部は、少なくとも２
方向でカットされ、試料を少なくとも２方向で開放し加
工可能とし、前記試料押さえ部材は板バネから構成さ
れ、前記取付部材はネジであることを特徴とし、該プロ
セスリテーナは、一端に試料ホルダに係合保持される係
合部を有すると共に他端に試料を保持する保持部を有
し、該保持部において試料の被加工部がプロセスリテー
ナ端部からはみ出す形で試料が保持され、前記保持部に
おいて、前記試料は、プロセスリテーナ本体と押さえ部
材との間に挟持される形で保持されることを特徴とする
ものである。
て観察用試料を薄片化加工し電子線の透過像を観察する
ための試料保持用プロセスリテーナであって、試料ホル
ダに装着されるプロセスリテーナ本体と、該プロセスリ
テーナ本体との間に試料を挟み込む試料押さえ部材と、
該試料押さえ部材を前記プロセスリテーナ本体に取り付
ける取付部材とを備え、試料を挟持する前記プロセスリ
テーナ本体と試料押さえ部材の先端部は、少なくとも２
方向でカットされ、試料を少なくとも２方向で開放し加
工可能とし、前記試料押さえ部材は板バネから構成さ
れ、前記取付部材はネジであることを特徴とし、該プロ
セスリテーナは、一端に試料ホルダに係合保持される係
合部を有すると共に他端に試料を保持する保持部を有
し、該保持部において試料の被加工部がプロセスリテー
ナ端部からはみ出す形で試料が保持され、前記保持部に
おいて、前記試料は、プロセスリテーナ本体と押さえ部
材との間に挟持される形で保持されることを特徴とする
ものである。
【００１０】また、前記試料保持用プロセスリテーナを
着脱可能に保持する試料ホルダであって、該試料ホルダ
のプロセスリテーナを保持する部材が試料ホルダ本体の
挿入方向の軸を中心としてプロセスリテーナと共に回転
可能に設けられ、該試料ホルダのプロセスリテーナを保
持する部材が異なる向きでプロセスリテーナを保持可能
に設けられ、該試料ホルダは、オペレータが把持する把
持部と、該把持部に一端が接続された筒体と、該筒体の
他端部に設けられたリテーナ保持部とを有し、該リテー
ナ保持部は、筒体内を通って把持部まで延びる軸の先端
に設けられ、該軸を把持部側から回転させることによ
り、プロセスリテーナと共に回転可能に設けられている
ことを特徴とするものである。
着脱可能に保持する試料ホルダであって、該試料ホルダ
のプロセスリテーナを保持する部材が試料ホルダ本体の
挿入方向の軸を中心としてプロセスリテーナと共に回転
可能に設けられ、該試料ホルダのプロセスリテーナを保
持する部材が異なる向きでプロセスリテーナを保持可能
に設けられ、該試料ホルダは、オペレータが把持する把
持部と、該把持部に一端が接続された筒体と、該筒体の
他端部に設けられたリテーナ保持部とを有し、該リテー
ナ保持部は、筒体内を通って把持部まで延びる軸の先端
に設けられ、該軸を把持部側から回転させることによ
り、プロセスリテーナと共に回転可能に設けられている
ことを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る試料保持用
プロセスリテーナの実施の形態を示す図であり、１はス
プリングリーフ、２は締め付けネジ、３はプロセスリテ
ーナ本体、４は試料、５はメッシュを示す。
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る試料保持用
プロセスリテーナの実施の形態を示す図であり、１はス
プリングリーフ、２は締め付けネジ、３はプロセスリテ
ーナ本体、４は試料、５はメッシュを示す。
【００１２】図１において、スプリングリーフ１は、試
料ホルダに装着されるプロセスリテーナ本体３との間に
試料４を挟み込むための板バネからなる試料押さえ部材
であり、締め付けネジ２は、このスプリングリーフ１を
プロセスリテーナ本体３に取り付ける取付部材である。
スプリングリーフ１、締め付けネジ２、プロセスリテー
ナ本体３からなるプロセスリテーナは、図示右端が試料
ホルダに係合される係合部、図示左端が試料を保持する
保持部を構成する。保持部となるプロセスリテーナ本体
３及びスプリングリーフ１の先端部は、縦方向と横方向
から２方向でカットされ、試料４を締め付けネジ２で挟
み込み固定するようになっている。したがって、スプリ
ングリーフ１及びプロセスリテーナ本体３は、縦方向の
先端部と横方向の横面部の２方向で、挟み込み固定され
る試料４を開放して縦方向（図示左方向）と横方向（図
示上から下方向）からの加工を可能としている。
料ホルダに装着されるプロセスリテーナ本体３との間に
試料４を挟み込むための板バネからなる試料押さえ部材
であり、締め付けネジ２は、このスプリングリーフ１を
プロセスリテーナ本体３に取り付ける取付部材である。
スプリングリーフ１、締め付けネジ２、プロセスリテー
ナ本体３からなるプロセスリテーナは、図示右端が試料
ホルダに係合される係合部、図示左端が試料を保持する
保持部を構成する。保持部となるプロセスリテーナ本体
３及びスプリングリーフ１の先端部は、縦方向と横方向
から２方向でカットされ、試料４を締め付けネジ２で挟
み込み固定するようになっている。したがって、スプリ
ングリーフ１及びプロセスリテーナ本体３は、縦方向の
先端部と横方向の横面部の２方向で、挟み込み固定され
る試料４を開放して縦方向（図示左方向）と横方向（図
示上から下方向）からの加工を可能としている。
【００１３】図２は試料保護の突出部を設けたプロセス
リテーナの他の実施の形態を示す図、図３は斜め４５°
の２方向からの加工を可能にしたプロセスリテーナのさ
らに他の実施の形態を示す図、図４は３方向からの加工
を可能にしたプロセスリテーナのさらに他の実施の形態
を示す図である。
リテーナの他の実施の形態を示す図、図３は斜め４５°
の２方向からの加工を可能にしたプロセスリテーナのさ
らに他の実施の形態を示す図、図４は３方向からの加工
を可能にしたプロセスリテーナのさらに他の実施の形態
を示す図である。
【００１４】図２に示す実施の形態は、プロセスリテー
ナ本体３及びスプリングリーフ１の先端部が試料４の３
方向を開放して中心部で試料４を挟み込み固定するよう
に３方向でカットされ、さらにプロセスリテーナ本体３
に試料４の挟持部から離れて突出部３′を設けた構造と
したものである。この突出部３′は、試料４が縦方向に
開放されていることにより、障害物に突き当たり破壊さ
れるのを防ぐためのものである。なお、横方向は、プロ
セスリテーナ本体３が試料４より大きいので、特別に突
出部３′のような構造を設けなくても、障害物に突き当
たり破壊されるのを防ぐことができる。
ナ本体３及びスプリングリーフ１の先端部が試料４の３
方向を開放して中心部で試料４を挟み込み固定するよう
に３方向でカットされ、さらにプロセスリテーナ本体３
に試料４の挟持部から離れて突出部３′を設けた構造と
したものである。この突出部３′は、試料４が縦方向に
開放されていることにより、障害物に突き当たり破壊さ
れるのを防ぐためのものである。なお、横方向は、プロ
セスリテーナ本体３が試料４より大きいので、特別に突
出部３′のような構造を設けなくても、障害物に突き当
たり破壊されるのを防ぐことができる。
【００１５】図３に示す実施の形態は、スプリングリー
フ１及びプロセスリテーナ本体３の先端部が矢尻状にカ
ットされ、その先端部で試料４を挟持する構造としたも
のである。この実施の形態の場合には、図示のように試
料４の斜め上、斜め下が開放されるので、加工方向を従
来のもの、上記各実施の形態のものから４５°傾けて２
方向からの加工を可能にしている。
フ１及びプロセスリテーナ本体３の先端部が矢尻状にカ
ットされ、その先端部で試料４を挟持する構造としたも
のである。この実施の形態の場合には、図示のように試
料４の斜め上、斜め下が開放されるので、加工方向を従
来のもの、上記各実施の形態のものから４５°傾けて２
方向からの加工を可能にしている。
【００１６】図４に示す実施の形態は、図２に示す実施
の形態において、障害物の突き当たり破壊から試料４を
保護するための突出部３′をなくしたものであり、縦方
向と両横方向からの加工を可能にするものである。
の形態において、障害物の突き当たり破壊から試料４を
保護するための突出部３′をなくしたものであり、縦方
向と両横方向からの加工を可能にするものである。
【００１７】上記のように本発明に係る試料保持用プロ
セスリテーナは、一端に試料ホルダに係合保持される係
合部を有すると共に他端に試料４を保持する保持部を有
し、該保持部において試料４の被加工部がプロセスリテ
ーナ端部からはみ出す形で試料４が保持される。そのた
め、試料４の保持部となるスプリングリーフ１とプロセ
スリテーナ本体３の先端部は、少なくとも２方向でカッ
トされ、試料を少なくとも２方向で開放し加工可能とし
ている。
セスリテーナは、一端に試料ホルダに係合保持される係
合部を有すると共に他端に試料４を保持する保持部を有
し、該保持部において試料４の被加工部がプロセスリテ
ーナ端部からはみ出す形で試料４が保持される。そのた
め、試料４の保持部となるスプリングリーフ１とプロセ
スリテーナ本体３の先端部は、少なくとも２方向でカッ
トされ、試料を少なくとも２方向で開放し加工可能とし
ている。
【００１８】図７は図１乃至図４に示す本発明のプロセ
スリテーナを着脱可能に保持する試料ホルダの１例を示
す図であり、図７（Ａ）はＦＩＢ装置へ挿入してイオン
ビームにより加工を行う際の状態、図７（Ｂ）は透過電
子顕微鏡へ挿入して電子線照射により試料観察を行う際
の状態をそれぞれ示している。図７（Ａ）、（Ｂ）にお
いて、試料ホルダ１０は、オペレータが把持する把持部
１１と、把持部１１に一端に接続された導入部（筒体）
１２と、導入部１２の他端部に設けられプロセスリテー
ナ３を取り外し可能に保持する機構が設けられた先端部
（リテーナ保持部）１３とから構成される。把持部１１
内には、モータ１４が組み込まれ、その駆動軸１５は筒
状の導入部内を通って先端部１３と接続されている。そ
のため、モータ１４を回転させることにより、先端部１
３を任意の角度回転させることができる。
スリテーナを着脱可能に保持する試料ホルダの１例を示
す図であり、図７（Ａ）はＦＩＢ装置へ挿入してイオン
ビームにより加工を行う際の状態、図７（Ｂ）は透過電
子顕微鏡へ挿入して電子線照射により試料観察を行う際
の状態をそれぞれ示している。図７（Ａ）、（Ｂ）にお
いて、試料ホルダ１０は、オペレータが把持する把持部
１１と、把持部１１に一端に接続された導入部（筒体）
１２と、導入部１２の他端部に設けられプロセスリテー
ナ３を取り外し可能に保持する機構が設けられた先端部
（リテーナ保持部）１３とから構成される。把持部１１
内には、モータ１４が組み込まれ、その駆動軸１５は筒
状の導入部内を通って先端部１３と接続されている。そ
のため、モータ１４を回転させることにより、先端部１
３を任意の角度回転させることができる。
【００１９】例えば図７（Ａ）のような配置でイオンビ
ームにより試料４を薄片化した後、試料ホルダ１０をＦ
ＩＢ装置から抜き出して透過電子顕微鏡の試料室へ挿入
し、先端部を９０°回転させて、図７（Ｂ）の状態と
し、薄片化試料４を観察することができる。
ームにより試料４を薄片化した後、試料ホルダ１０をＦ
ＩＢ装置から抜き出して透過電子顕微鏡の試料室へ挿入
し、先端部を９０°回転させて、図７（Ｂ）の状態と
し、薄片化試料４を観察することができる。
【００２０】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れるものではなく、種々の変形が可能である。要するに
本発明は、スプリングリーフ１及びプロセスリテーナ本
体３の先端部がカットされ突出しない構造にすると共
に、縦、横面がカットされ突出しない構造にすることに
より、横方向、縦方向のみではなく、両方向あるいは斜
め方向からの加工を可能にすればよい。
れるものではなく、種々の変形が可能である。要するに
本発明は、スプリングリーフ１及びプロセスリテーナ本
体３の先端部がカットされ突出しない構造にすると共
に、縦、横面がカットされ突出しない構造にすることに
より、横方向、縦方向のみではなく、両方向あるいは斜
め方向からの加工を可能にすればよい。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、試料ホルダに装着されるプロセスリテーナ本
体と、板バネから構成され、プロセスリテーナ本体との
間に試料を挟み込む試料押さえ部材と、試料押さえ部材
をプロセスリテーナ本体に取り付ける取付部材のネジと
を備え、試料を挟持するプロセスリテーナ本体と試料押
さえ部材の先端部は、少なくとも２方向でカットされ、
試料を少なくとも２方向で開放し加工可能とし、また、
プロセスリテーナは、一端に試料ホルダに係合保持され
る係合部を有すると共に他端に試料を保持する保持部を
有し、保持部において試料の被加工部がプロセスリテー
ナ端部からはみ出す形で試料が保持され、保持部におい
て、試料は、プロセスリテーナ本体と押さえ部材との間
に挟持される形で保持されるようにしたので、複数の点
を選択して試料を薄片化加工することができ、短時間に
試料の多点を加工して、それぞれの点の観察を行うこと
ができる。
によれば、試料ホルダに装着されるプロセスリテーナ本
体と、板バネから構成され、プロセスリテーナ本体との
間に試料を挟み込む試料押さえ部材と、試料押さえ部材
をプロセスリテーナ本体に取り付ける取付部材のネジと
を備え、試料を挟持するプロセスリテーナ本体と試料押
さえ部材の先端部は、少なくとも２方向でカットされ、
試料を少なくとも２方向で開放し加工可能とし、また、
プロセスリテーナは、一端に試料ホルダに係合保持され
る係合部を有すると共に他端に試料を保持する保持部を
有し、保持部において試料の被加工部がプロセスリテー
ナ端部からはみ出す形で試料が保持され、保持部におい
て、試料は、プロセスリテーナ本体と押さえ部材との間
に挟持される形で保持されるようにしたので、複数の点
を選択して試料を薄片化加工することができ、短時間に
試料の多点を加工して、それぞれの点の観察を行うこと
ができる。
【００２２】また、試料ホルダのプロセスリテーナを保
持する部材が試料ホルダ本体の挿入方向の軸を中心とし
てプロセスリテーナと共に回転可能に設けられ、試料ホ
ルダのプロセスリテーナを保持する部材が異なる向きで
プロセスリテーナを保持可能に設けられ、試料ホルダ
は、オペレータが把持する把持部と、把持部に一端が接
続された筒体と、筒体の他端部に設けられたリテーナ保
持部とを有し、リテーナ保持部は、筒体内を通って把持
部まで延びる軸の先端に設けられ、軸を把持部側から回
転させることにより、プロセスリテーナと共に回転可能
に設けられているので、リテーナ保持部を任意の角度回
転させることができ、任意の角度で試料の薄片化加工、
薄片化試料の観察を行うことができる。
持する部材が試料ホルダ本体の挿入方向の軸を中心とし
てプロセスリテーナと共に回転可能に設けられ、試料ホ
ルダのプロセスリテーナを保持する部材が異なる向きで
プロセスリテーナを保持可能に設けられ、試料ホルダ
は、オペレータが把持する把持部と、把持部に一端が接
続された筒体と、筒体の他端部に設けられたリテーナ保
持部とを有し、リテーナ保持部は、筒体内を通って把持
部まで延びる軸の先端に設けられ、軸を把持部側から回
転させることにより、プロセスリテーナと共に回転可能
に設けられているので、リテーナ保持部を任意の角度回
転させることができ、任意の角度で試料の薄片化加工、
薄片化試料の観察を行うことができる。
【図１】 本発明に係る試料保持用プロセスリテーナの
実施の形態を示す図である。
実施の形態を示す図である。
【図２】 試料保護の突出部を設けたプロセスリテーナ
の他の実施の形態を示す図である。
の他の実施の形態を示す図である。
【図３】 斜め４５°の２方向からの加工を可能にした
プロセスリテーナのさらに他の実施の形態を示す図であ
る。
プロセスリテーナのさらに他の実施の形態を示す図であ
る。
【図４】 ３方向からの加工を可能にしたプロセスリテ
ーナのさらに他の実施の形態を示す図である。
ーナのさらに他の実施の形態を示す図である。
【図５】 従来の縦型プロセスリテーナの例を示す図で
ある。
ある。
【図６】 従来の横型プロセスリテーナの正面及び横面
を示す図である。
を示す図である。
【図７】 図１乃至図４に示す本発明のプロセスリテー
ナを着脱可能に保持する試料ホルダの１例を示す図であ
る。
ナを着脱可能に保持する試料ホルダの１例を示す図であ
る。
１…スプリングリーフ、２…締め付けネジ、３…プロセ
スリテーナ本体、４…試料、５…メッシュ
スリテーナ本体、４…試料、５…メッシュ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G001 AA03 BA11 CA03 GA01 GA06
HA09 HA13 LA11 MA05 PA12
QA03 RA02
2G052 AA13 AD32 AD52 DA32 EC14
EC18 GA34 JA04
5C001 AA01 AA05 BB07 CC03 CC08
Claims (7)
- 【請求項１】 集束イオンビームにて観察用試料を薄片
化加工し電子線の透過像を観察するための試料保持用プ
ロセスリテーナであって、試料ホルダに装着されるプロ
セスリテーナ本体と、該プロセスリテーナ本体との間に
試料を挟み込む試料押さえ部材と、該試料押さえ部材を
前記プロセスリテーナ本体に取り付ける取付部材とを備
え、試料を挟持する前記プロセスリテーナ本体と試料押
さえ部材の先端部は、少なくとも２方向でカットされ、
試料を少なくとも２方向で開放し加工可能としたことを
特徴とする試料保持用プロセスリテーナ。 - 【請求項２】 前記試料押さえ部材は板バネから構成さ
れ、前記取付部材はネジであることを特徴とする請求項
１記載の試料保持用プロセスリテーナ。 - 【請求項３】 集束イオンビームにて観察用試料を薄片
化加工し電子線の透過像を観察するための試料保持用プ
ロセスリテーナであって、該プロセスリテーナは、一端
に試料ホルダに係合保持される係合部を有すると共に他
端に試料を保持する保持部を有し、該保持部において試
料の被加工部がプロセスリテーナ端部からはみ出す形で
試料が保持されることを特徴とする試料保持用プロセス
リテーナ。 - 【請求項４】 前記保持部において、前記試料は、プロ
セスリテーナ本体と押さえ部材との間に挟持される形で
保持されることを特徴とする請求項３記載の試料保持用
プロセスリテーナ。 - 【請求項５】 請求項１又は３記載の試料保持用プロセ
スリテーナを着脱可能に保持する試料ホルダであって、
該試料ホルダのプロセスリテーナを保持する部材が試料
ホルダ本体の挿入方向の軸を中心としてプロセスリテー
ナと共に回転可能に設けられていることを特徴とする試
料ホルダ。 - 【請求項６】 請求項１又は３記載の試料保持用プロセ
スリテーナを着脱可能に保持する試料ホルダであって、
該試料ホルダのプロセスリテーナを保持する部材が異な
る向きでプロセスリテーナを保持可能に設けられている
ことを特徴とする試料ホルダ。 - 【請求項７】 請求項１又は３記載の試料保持用プロセ
スリテーナを着脱可能に保持する試料ホルダであって、
該試料ホルダは、オペレータが把持する把持部と、該把
持部に一端が接続された筒体と、該筒体の他端部に設け
られたリテーナ保持部とを有し、該リテーナ保持部は、
筒体内を通って把持部まで延びる軸の先端に設けられ、
該軸を把持部側から回転させることにより、プロセスリ
テーナと共に回転可能に設けられていることを特徴とす
る試料ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001343994A JP3730155B2 (ja) | 2001-11-09 | 2001-11-09 | 試料保持用プロセスリテーナ及び試料ホルダ |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001343994A JP3730155B2 (ja) | 2001-11-09 | 2001-11-09 | 試料保持用プロセスリテーナ及び試料ホルダ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003149103A true JP2003149103A (ja) | 2003-05-21 |
| JP3730155B2 JP3730155B2 (ja) | 2005-12-21 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014067685A (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-17 | Melbil Co Ltd | 試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダー |
| KR102649789B1 (ko) * | 2023-08-25 | 2024-03-22 | 한국표준과학연구원 | 전자 현미경용 교체형 샘플 홀더 |
-
2001
- 2001-11-09 JP JP2001343994A patent/JP3730155B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2014067685A (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-17 | Melbil Co Ltd | 試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダー |
| KR102649789B1 (ko) * | 2023-08-25 | 2024-03-22 | 한국표준과학연구원 | 전자 현미경용 교체형 샘플 홀더 |
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|---|---|
| JP3730155B2 (ja) | 2005-12-21 |
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