JP2003156366A - 位置測定装置のコントロール装置 - Google Patents
位置測定装置のコントロール装置Info
- Publication number
- JP2003156366A JP2003156366A JP2002304205A JP2002304205A JP2003156366A JP 2003156366 A JP2003156366 A JP 2003156366A JP 2002304205 A JP2002304205 A JP 2002304205A JP 2002304205 A JP2002304205 A JP 2002304205A JP 2003156366 A JP2003156366 A JP 2003156366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- warning
- amplitude
- control device
- deviation signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24471—Error correction
- G01D5/2448—Correction of gain, threshold, offset or phase control
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Body Structure For Vehicles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 機能状態に関する良好な情報伝達を許容する
警告を発生可能にする、位置測定装置の少なくとも１つ
の走査信号の振幅高さをコントロールするためのコントロール
装置を提供する。 【解決手段】 位置測定装置の少なくとも１つのアナロ
グ式の走査信号（Ｓ１〜Ｓ４）の振幅高さをコントロールする
ためのコントロール装置であって、走査信号（Ｓ１〜Ｓ４）の
振幅高さを設定し、かつ、この走査信号に依存した振幅
信号（Ａ）を発生させるための検出器手段（１１）と、
所定の基準信号（Ｆ）との振幅信号（Ａ）の比較によっ
て偏差信号（Ｂ）を形成するための手段（１２）と、偏
差信号（Ｂ）に依存して警告を行なうための警告手段
（１３）と、を有するコントロール装置において、偏差信号
（Ｂ）が小さい場合に、偏差信号（Ｂ）の変化が警告の
変化を僅かにしか生じさせないか、又は全く生じさせな
いように、またこれに対して偏差信号（Ｂ）が大きい場
合に、偏差信号（Ｂ）の変化が警告の変化を大きく生じ
させるように偏差信号（Ｂ）に種々に重み付けをするた
めの評価装置（１４）が設けられていることによる。
警告を発生可能にする、位置測定装置の少なくとも１つ
の走査信号の振幅高さをコントロールするためのコントロール
装置を提供する。 【解決手段】 位置測定装置の少なくとも１つのアナロ
グ式の走査信号（Ｓ１〜Ｓ４）の振幅高さをコントロールする
ためのコントロール装置であって、走査信号（Ｓ１〜Ｓ４）の
振幅高さを設定し、かつ、この走査信号に依存した振幅
信号（Ａ）を発生させるための検出器手段（１１）と、
所定の基準信号（Ｆ）との振幅信号（Ａ）の比較によっ
て偏差信号（Ｂ）を形成するための手段（１２）と、偏
差信号（Ｂ）に依存して警告を行なうための警告手段
（１３）と、を有するコントロール装置において、偏差信号
（Ｂ）が小さい場合に、偏差信号（Ｂ）の変化が警告の
変化を僅かにしか生じさせないか、又は全く生じさせな
いように、またこれに対して偏差信号（Ｂ）が大きい場
合に、偏差信号（Ｂ）の変化が警告の変化を大きく生じ
させるように偏差信号（Ｂ）に種々に重み付けをするた
めの評価装置（１４）が設けられていることによる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、請求項１の上位概
念による位置測定装置の少なくとも１つのアナログ式の
走査信号の振幅高さをコントロールするためのコントロ
ール装置、並びに、請求項１２の上位概念によるコント
ロール装置により振幅高さを介して警告を発生させるた
めの方法に関する。
念による位置測定装置の少なくとも１つのアナログ式の
走査信号の振幅高さをコントロールするためのコントロ
ール装置、並びに、請求項１２の上位概念によるコント
ロール装置により振幅高さを介して警告を発生させるた
めの方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査信号のコントロールは、特に位置測
定装置の組立ての際に必要である。信号品質、従って測
定精度は、著しく、スケールに対して相対的な走査ヘッ
ドの精確な調整に依存する。増分式の位置測定装置にお
いて高い精度を保証するため、走査ヘッドによって発生
させられた走査信号は、高くて同じ振幅を、並びに９０
°の相互の位相のズレを備えるべきである。振幅は、本
質的にスケールに対する走査ヘッドの位置によって、即
ち、スケールに対して相対的な、測定方向に対して垂直
な走査ヘッドの間隔、捩じれ及び横方向へのズレによっ
て設定される。
定装置の組立ての際に必要である。信号品質、従って測
定精度は、著しく、スケールに対して相対的な走査ヘッ
ドの精確な調整に依存する。増分式の位置測定装置にお
いて高い精度を保証するため、走査ヘッドによって発生
させられた走査信号は、高くて同じ振幅を、並びに９０
°の相互の位相のズレを備えるべきである。振幅は、本
質的にスケールに対する走査ヘッドの位置によって、即
ち、スケールに対して相対的な、測定方向に対して垂直
な走査ヘッドの間隔、捩じれ及び横方向へのズレによっ
て設定される。
【０００３】アナログ式の走査信号のこれらのパラメー
タは、国際公開第９０／０２９５６号パンフレットによ
れば、オシロスコープでもって表現することができる。
このため、９０°だけ互いに位相をずらされた２つの走
査信号が、デュアルトレースオシロスコープの２つの通
路に供給され、従って、画面に、リサジューの図形が発
生させられる。リサジューの図形の半径は、２つの走査
信号の振幅並びに位相関係のための尺度である。
タは、国際公開第９０／０２９５６号パンフレットによ
れば、オシロスコープでもって表現することができる。
このため、９０°だけ互いに位相をずらされた２つの走
査信号が、デュアルトレースオシロスコープの２つの通
路に供給され、従って、画面に、リサジューの図形が発
生させられる。リサジューの図形の半径は、２つの走査
信号の振幅並びに位相関係のための尺度である。
【０００４】米国特許第５，２４１，１７３号明細書に
よれば、走査信号は、振幅値を限界値と比較するコント
ロール装置に供給される。振幅値が限界値の下にある場
合は、警告として、走査ヘッドがスケールに対して不正
に取り付けられていることのために使用されるインジケ
ータが起動される。その際、コントロール装置が、もっ
ぱら、走査ヘッドが正確又は不正確に取り付けられてい
るかどうかの警告を与える情報を出力することが重要で
ある。
よれば、走査信号は、振幅値を限界値と比較するコント
ロール装置に供給される。振幅値が限界値の下にある場
合は、警告として、走査ヘッドがスケールに対して不正
に取り付けられていることのために使用されるインジケ
ータが起動される。その際、コントロール装置が、もっ
ぱら、走査ヘッドが正確又は不正確に取り付けられてい
るかどうかの警告を与える情報を出力することが重要で
ある。
【０００５】この警告が、取付けのためにだけ十分であ
るのではなく、利用者にとって、信号の傾向に関する警
告を利用者が受けることも有利であることは、既に認め
られている。このため、欧州特許公開公報第１ １２６
２４８号明細書においては、所定の基準値との振幅値
の比較によって偏差信号が形成されるようにすることが
提案されている。この偏差信号は、一方で、走査信号を
一定の振幅高さに再調整するために使用され、他方で、
位置測定装置の機能状態に関する警告として使用され
る。偏差信号は、現下の走査間隔のための尺度であり、
最適な走査間隔を調節するために利用される。例えば光
学的な表示の形で提示される警告は、偏差信号に比例す
る。基準値の範囲内での振幅高さの変化は、基準値から
大きく離間した振幅高さの変化と同じ程度の警告信号に
影響を与える。このことは、スケールに対する位置での
走査ヘッドの調節並びに機能コントロールを困難にす
る。
るのではなく、利用者にとって、信号の傾向に関する警
告を利用者が受けることも有利であることは、既に認め
られている。このため、欧州特許公開公報第１ １２６
２４８号明細書においては、所定の基準値との振幅値
の比較によって偏差信号が形成されるようにすることが
提案されている。この偏差信号は、一方で、走査信号を
一定の振幅高さに再調整するために使用され、他方で、
位置測定装置の機能状態に関する警告として使用され
る。偏差信号は、現下の走査間隔のための尺度であり、
最適な走査間隔を調節するために利用される。例えば光
学的な表示の形で提示される警告は、偏差信号に比例す
る。基準値の範囲内での振幅高さの変化は、基準値から
大きく離間した振幅高さの変化と同じ程度の警告信号に
影響を与える。このことは、スケールに対する位置での
走査ヘッドの調節並びに機能コントロールを困難にす
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の根底にある課
題は、機能状態に関する良好な情報伝達を許容する警告
を発生可能にする、位置測定装置の少なくとも１つの走
査信号の振幅高さをコントロールするためのコントロー
ル装置を提供することにある。
題は、機能状態に関する良好な情報伝達を許容する警告
を発生可能にする、位置測定装置の少なくとも１つの走
査信号の振幅高さをコントロールするためのコントロー
ル装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題は、請求項１の
特徴を有するコントロール装置によって解決される。
特徴を有するコントロール装置によって解決される。
【０００８】このようなコントロール装置を有する走査
ヘッドは請求項１０に、また位置測定装置は請求項１１
に記載されている。
ヘッドは請求項１０に、また位置測定装置は請求項１１
に記載されている。
【０００９】コントロール装置の有利な形態は、別の従
属請求項に述べられている。
属請求項に述べられている。
【００１０】更に、相応に情報伝達能力のある警告を形
成するための方法が提供されるべきである。
成するための方法が提供されるべきである。
【００１１】この課題は、請求項１２の特徴を有する方
法によって解決される。
法によって解決される。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の詳細並びに利点を、図面
を基にした本発明の実施例の以下の説明から明らかにす
る。
を基にした本発明の実施例の以下の説明から明らかにす
る。
【００１３】図１に図示された位置測定装置は、スケー
ル１並びに走査ヘッド２から成る。スケール１は、例え
ば、その表面に交互に現れる反射領域３．１及び非反射
領域３．２から成る目盛り３を備えるメジャーテープで
ある。走査ヘッド２は、スケール１の目盛り３を測定方
向Ｘに走査し、その際、９０°だけ互いに位相をずらさ
れた複数の周期的なアナログ式の走査信号Ｓ１，Ｓ２，
Ｓ３及びＳ４を発生させる。これらの走査信号Ｓ１〜Ｓ
４の振幅高さは、スケール１に対する走査ヘッドの位置
に、特に走査間隔Ｄに依存する。位置測定装置の機能能
力に関しては、振幅高さが一定の値を下回らないことが
必要である。従って、スケール１に対して相対的な走査
ヘッド２の組立てを行なう際には、振幅が十分な高さを
備えるようにスケール１に対する位置を調節することが
特に重要である。
ル１並びに走査ヘッド２から成る。スケール１は、例え
ば、その表面に交互に現れる反射領域３．１及び非反射
領域３．２から成る目盛り３を備えるメジャーテープで
ある。走査ヘッド２は、スケール１の目盛り３を測定方
向Ｘに走査し、その際、９０°だけ互いに位相をずらさ
れた複数の周期的なアナログ式の走査信号Ｓ１，Ｓ２，
Ｓ３及びＳ４を発生させる。これらの走査信号Ｓ１〜Ｓ
４の振幅高さは、スケール１に対する走査ヘッドの位置
に、特に走査間隔Ｄに依存する。位置測定装置の機能能
力に関しては、振幅高さが一定の値を下回らないことが
必要である。従って、スケール１に対して相対的な走査
ヘッド２の組立てを行なう際には、振幅が十分な高さを
備えるようにスケール１に対する位置を調節することが
特に重要である。
【００１４】本発明によれば、走査信号Ｓ１〜Ｓ４の振
幅高さは、コントロール装置１０でもって監視され、こ
のコントロール装置は、走査信号Ｓ１〜Ｓ４の振幅高さ
を設定し、かつ、これらの走査信号に依存した振幅信号
Ａを発生させるための検出器手段１１、所定の基準信号
Ｆとの振幅信号Ａの比較によって偏差信号Ｂを形成する
ための手段１２、偏差信号Ｂに種々に重み付けをするた
めの評価装置１４、並びに重み付けをされた偏差信号Ｂ
Ｇに依存して警告を行なうための警告手段１３を備え
る。
幅高さは、コントロール装置１０でもって監視され、こ
のコントロール装置は、走査信号Ｓ１〜Ｓ４の振幅高さ
を設定し、かつ、これらの走査信号に依存した振幅信号
Ａを発生させるための検出器手段１１、所定の基準信号
Ｆとの振幅信号Ａの比較によって偏差信号Ｂを形成する
ための手段１２、偏差信号Ｂに種々に重み付けをするた
めの評価装置１４、並びに重み付けをされた偏差信号Ｂ
Ｇに依存して警告を行なうための警告手段１３を備え
る。
【００１５】検出器手段１１は図２に図示されており、
この検出器手段は、一方で走査信号Ｓ１〜Ｓ４が供給さ
れ、他方で制御入力を介して切替え信号Ｕ１，Ｕ２が供
給されるマルチプレクサ１１１から成る。切替え信号Ｕ
１，Ｕ２は、２つのコンパレータ１１２，１１３を有す
るコンパレータ回路によって走査信号Ｓ１〜Ｓ４から発
生させられる。その際、マルチプレクサ１１１は、走査
信号Ｓ１〜Ｓ４からそれぞれ最大の振幅を有する走査信
号を選出し、これらの選出された走査信号Ｓ１〜Ｓ４
を、振幅信号Ａである包絡線へと合成する。振幅信号Ａ
は、直接走査信号Ｓ１〜Ｓ４の瞬間の振幅高さに比例す
る。これに関する信号は、図３に図示されている。
この検出器手段は、一方で走査信号Ｓ１〜Ｓ４が供給さ
れ、他方で制御入力を介して切替え信号Ｕ１，Ｕ２が供
給されるマルチプレクサ１１１から成る。切替え信号Ｕ
１，Ｕ２は、２つのコンパレータ１１２，１１３を有す
るコンパレータ回路によって走査信号Ｓ１〜Ｓ４から発
生させられる。その際、マルチプレクサ１１１は、走査
信号Ｓ１〜Ｓ４からそれぞれ最大の振幅を有する走査信
号を選出し、これらの選出された走査信号Ｓ１〜Ｓ４
を、振幅信号Ａである包絡線へと合成する。振幅信号Ａ
は、直接走査信号Ｓ１〜Ｓ４の瞬間の振幅高さに比例す
る。これに関する信号は、図３に図示されている。
【００１６】振幅信号Ａを発生させるための選択的な可
能性は、この振幅信号をＡ＝Ｓ１2＋Ｓ２2 による計算
によって形成する点にもある。しかしながらこの方法の
場合には、計算機が必要であり、その際、最初に述べた
方法は、計算機がなくても済む。振幅信号Ａは例えば独
国特許出願公開第４４ ２８ ６７３号明細書による公
知の整流管回路によっても、並びに公知の最大値設定の
ための方法によっても、走査信号をクロスオーバーさせ
る際に、９０°だけこの走査信号に対して位相をずらさ
れた走査信号の瞬間値が振幅信号Ａとして引き取られる
ことによって、発生可能である。
能性は、この振幅信号をＡ＝Ｓ１2＋Ｓ２2 による計算
によって形成する点にもある。しかしながらこの方法の
場合には、計算機が必要であり、その際、最初に述べた
方法は、計算機がなくても済む。振幅信号Ａは例えば独
国特許出願公開第４４ ２８ ６７３号明細書による公
知の整流管回路によっても、並びに公知の最大値設定の
ための方法によっても、走査信号をクロスオーバーさせ
る際に、９０°だけこの走査信号に対して位相をずらさ
れた走査信号の瞬間値が振幅信号Ａとして引き取られる
ことによって、発生可能である。
【００１７】振幅信号Ａは、偏差信号Ｂを形成するため
の手段１２に供給される。これに対し、手段１２は振幅
信号Ａを所定の基準値Ｆと比較する。図１に図示されて
いるように、基準信号Ｆは、特に装置４によって位置測
定装置の供給電圧Ｖから導出される。
の手段１２に供給される。これに対し、手段１２は振幅
信号Ａを所定の基準値Ｆと比較する。図１に図示されて
いるように、基準信号Ｆは、特に装置４によって位置測
定装置の供給電圧Ｖから導出される。
【００１８】偏差信号Ｂは、評価装置１４において、そ
の瞬間の値に依存して種々に重み付けをされ、その際、
重み付けをされた偏差信号ＢＧとして初めて警告手段１
３に供給される。偏差信号Ｂの重み付けは、偏差信号Ｂ
が小さい場合に、即ち、振幅信号Ａが僅かにしか基準信
号Ｆもしくは基準値から逸脱しない場合に、この偏差信
号Ｂが警告手段１３に、このことが偏差信号Ｂが大きい
場合に行なわれるよりも小さく重み付けをされて供給さ
れるように行なわれる。即ち、評価装置１４及び警告手
段１３は、偏差信号Ｂが、警告手段１３における値が小
さい場合に、このことが偏差信号Ｂが大きい場合に行な
われるよりも小さく重み付けをされて表示されるように
配慮する。即ち、評価装置１４は、偏差信号Ｂにおける
変化に対する警告手段１３の反応感度が相違するように
配慮する。反応感度は、偏差信号Ｂが小さい場合に、偏
差信号Ｂが大きい場合よりも小さい。従って、偏差を表
現するためのスケールは振幅信号Ａに依存する。
の瞬間の値に依存して種々に重み付けをされ、その際、
重み付けをされた偏差信号ＢＧとして初めて警告手段１
３に供給される。偏差信号Ｂの重み付けは、偏差信号Ｂ
が小さい場合に、即ち、振幅信号Ａが僅かにしか基準信
号Ｆもしくは基準値から逸脱しない場合に、この偏差信
号Ｂが警告手段１３に、このことが偏差信号Ｂが大きい
場合に行なわれるよりも小さく重み付けをされて供給さ
れるように行なわれる。即ち、評価装置１４及び警告手
段１３は、偏差信号Ｂが、警告手段１３における値が小
さい場合に、このことが偏差信号Ｂが大きい場合に行な
われるよりも小さく重み付けをされて表示されるように
配慮する。即ち、評価装置１４は、偏差信号Ｂにおける
変化に対する警告手段１３の反応感度が相違するように
配慮する。反応感度は、偏差信号Ｂが小さい場合に、偏
差信号Ｂが大きい場合よりも小さい。従って、偏差を表
現するためのスケールは振幅信号Ａに依存する。
【００１９】偏差信号Ｂを形成するための手段１２、評
価装置１４及び警告手段１３の第１の例は、図４に図示
されている。この回路は、少なくとも１つの、第１のコ
ンパレータ１２１、従属したダイオード１４１並びに従
属した警告手段としての光源１３から成る。差動増幅器
の形をした第１のコンパレータ１２１は、基準信号Ｆと
振幅信号Ａとの間の差をＢ＝Ｆ−Ａとして形成する。こ
のようにして形成されたこの差信号は、値に依存して重
み付けをするためにダイオード１４１に供給される偏差
信号Ｂである。ダイオード１４１は、Ｂが正である場合
にのみ伝導するようになり、Ｂにダイオード特性曲線に
応じて重み付けをする。このようにして発生させられた
重み付けをされた偏差信号ＢＧは、図５による信号線図
の左側の支線を、基準信号Ｆを起点として形成する。図
５からは、基準信号Ｆからの振幅信号Ａの１０％〜２５
％の偏差に至るまでは、小さな重み付けが行なわれ、偏
差信号Ｂが大きい場合は大きな重み付けが行なわれる。
重み付けに応じて、電源５を介して制御される光源１３
の光度が変化する。図５には、重み付けをされた、光源
１３を経る電流ＩLED に比例する偏差信号Ｂが、振幅信
号Ａに依存して図示されている。即ち、第１のコンパレ
ータ１２１は、振幅信号Ａが基準信号Ｆよりも小さいか
どうかを確定するために使用される。
価装置１４及び警告手段１３の第１の例は、図４に図示
されている。この回路は、少なくとも１つの、第１のコ
ンパレータ１２１、従属したダイオード１４１並びに従
属した警告手段としての光源１３から成る。差動増幅器
の形をした第１のコンパレータ１２１は、基準信号Ｆと
振幅信号Ａとの間の差をＢ＝Ｆ−Ａとして形成する。こ
のようにして形成されたこの差信号は、値に依存して重
み付けをするためにダイオード１４１に供給される偏差
信号Ｂである。ダイオード１４１は、Ｂが正である場合
にのみ伝導するようになり、Ｂにダイオード特性曲線に
応じて重み付けをする。このようにして発生させられた
重み付けをされた偏差信号ＢＧは、図５による信号線図
の左側の支線を、基準信号Ｆを起点として形成する。図
５からは、基準信号Ｆからの振幅信号Ａの１０％〜２５
％の偏差に至るまでは、小さな重み付けが行なわれ、偏
差信号Ｂが大きい場合は大きな重み付けが行なわれる。
重み付けに応じて、電源５を介して制御される光源１３
の光度が変化する。図５には、重み付けをされた、光源
１３を経る電流ＩLED に比例する偏差信号Ｂが、振幅信
号Ａに依存して図示されている。即ち、第１のコンパレ
ータ１２１は、振幅信号Ａが基準信号Ｆよりも小さいか
どうかを確定するために使用される。
【００２０】付加的に、振幅信号Ａが基準信号Ｆよりも
大きいかどうかを確定することは有利である。これに対
して、偏差信号Ｂ＝Ａ−Ｆを形成する第２の増幅器１２
２が使用される。従属したダイオード１４２は、Ｂが正
である場合にのみ伝導するようになり、Ｂに伝導特性に
応じて重み付けをする。このようにして発生させられた
重み付けをされた偏差信号ＢＧは、図５による信号線図
の右側の支線を、基準信号Ｆを起点にして形成する。
大きいかどうかを確定することは有利である。これに対
して、偏差信号Ｂ＝Ａ−Ｆを形成する第２の増幅器１２
２が使用される。従属したダイオード１４２は、Ｂが正
である場合にのみ伝導するようになり、Ｂに伝導特性に
応じて重み付けをする。このようにして発生させられた
重み付けをされた偏差信号ＢＧは、図５による信号線図
の右側の支線を、基準信号Ｆを起点にして形成する。
【００２１】基準信号Ｆの領域Ｂ１内の偏差信号Ｂの小
さな重み付けは、この領域Ｂ１内での基準信号Ｆからの
偏差が、利用者に、残りの領域Ｂ２内での偏差よりも大
きい程度では示されないという利点を有する。基準値Ｆ
の領域Ｂ１内での振幅信号Ａにおける変動は、警告の変
化を、全く生じさせないか、もしくは僅かにしか生じさ
せない。重み付けは、倍率との偏差信号Ｂの掛算と比較
可能である。この倍率は、領域Ｂ１においては、領域Ｂ
２におけるよりも小さい（図５及び７）。倍率は、領域
Ｂ１内ではゼロとすることも、又は、領域Ｂ１内ではゼ
ロから所定の値に上昇させ、その際領域Ｂ２内では一定
のままとすることも、又は、領域Ｂ１内では一定の小さ
な値を、また領域Ｂ２内では一定の大きな値を備えるこ
ともできる。警告の変化は、従って指数関数による偏差
信号の重み付けは、特に有利である。
さな重み付けは、この領域Ｂ１内での基準信号Ｆからの
偏差が、利用者に、残りの領域Ｂ２内での偏差よりも大
きい程度では示されないという利点を有する。基準値Ｆ
の領域Ｂ１内での振幅信号Ａにおける変動は、警告の変
化を、全く生じさせないか、もしくは僅かにしか生じさ
せない。重み付けは、倍率との偏差信号Ｂの掛算と比較
可能である。この倍率は、領域Ｂ１においては、領域Ｂ
２におけるよりも小さい（図５及び７）。倍率は、領域
Ｂ１内ではゼロとすることも、又は、領域Ｂ１内ではゼ
ロから所定の値に上昇させ、その際領域Ｂ２内では一定
のままとすることも、又は、領域Ｂ１内では一定の小さ
な値を、また領域Ｂ２内では一定の大きな値を備えるこ
ともできる。警告の変化は、従って指数関数による偏差
信号の重み付けは、特に有利である。
【００２２】基準信号Ｆは、例えば０．５ボルトの値を
有し、その際、領域Ｂ１は、基準信号Ｆの±２０％、即
ち±０．１ボルトであり、従って、Ｂ１とＢ２との間の
境界は、約０．５±０．１ボルトである。領域Ｂ１内で
倍率が２０であり、領域Ｂ２内で倍率が２００であると
仮定すれば、領域Ｂ１内での０．０５ボルトだけの振幅
信号Ａの変化は、１ボルトだけの、もしくは概して１ユ
ニットだけの重み付けをされた偏差信号ＢＧの変化を、
従って警告の変化を生じさせる。これに対して、領域Ｂ
２内での０．０５ボルトだけの振幅信号Ａの変化は、１
０ボルトだけの、もしくは概して１０ユニットだけの重
み付けされた偏差信号ＢＧの変化を、従って警告の変化
を生じさせる。従って、利用者は、領域Ｂ２内での走査
ヘッド２の取付けの際に、領域Ｂ１と比べて振幅信号Ａ
の傾向に関して増幅された警告を受け取る。これは、取
付けを簡単にする。何故なら、領域Ｂ１内では、振幅の
変化が、位置測定装置の機能能力に対する負の影響を何
ら有さないからである。この領域Ｂ１内での警告の激し
い変化は、利用者を混乱させ、取付けが不正であると思
わせる。位置測定装置の最適な取付け状態、従って機能
状態を得るためには、領域Ｂ１においても振幅信号Ａの
傾向が利用者に対する警告として使用可能にされる場合
が有利である。しかしながら、基準値Ｆの周りの非常に
小さな領域に関する倍率は、一定にゼロとすることもで
きる。
有し、その際、領域Ｂ１は、基準信号Ｆの±２０％、即
ち±０．１ボルトであり、従って、Ｂ１とＢ２との間の
境界は、約０．５±０．１ボルトである。領域Ｂ１内で
倍率が２０であり、領域Ｂ２内で倍率が２００であると
仮定すれば、領域Ｂ１内での０．０５ボルトだけの振幅
信号Ａの変化は、１ボルトだけの、もしくは概して１ユ
ニットだけの重み付けをされた偏差信号ＢＧの変化を、
従って警告の変化を生じさせる。これに対して、領域Ｂ
２内での０．０５ボルトだけの振幅信号Ａの変化は、１
０ボルトだけの、もしくは概して１０ユニットだけの重
み付けされた偏差信号ＢＧの変化を、従って警告の変化
を生じさせる。従って、利用者は、領域Ｂ２内での走査
ヘッド２の取付けの際に、領域Ｂ１と比べて振幅信号Ａ
の傾向に関して増幅された警告を受け取る。これは、取
付けを簡単にする。何故なら、領域Ｂ１内では、振幅の
変化が、位置測定装置の機能能力に対する負の影響を何
ら有さないからである。この領域Ｂ１内での警告の激し
い変化は、利用者を混乱させ、取付けが不正であると思
わせる。位置測定装置の最適な取付け状態、従って機能
状態を得るためには、領域Ｂ１においても振幅信号Ａの
傾向が利用者に対する警告として使用可能にされる場合
が有利である。しかしながら、基準値Ｆの周りの非常に
小さな領域に関する倍率は、一定にゼロとすることもで
きる。
【００２３】本発明を簡単に説明するため、前述の数値
例においては、境界が領域Ｂ１と領域Ｂ２との間に仮定
される。当然、倍率を連続的に変化させることは特に有
利である。
例においては、境界が領域Ｂ１と領域Ｂ２との間に仮定
される。当然、倍率を連続的に変化させることは特に有
利である。
【００２４】警告は、図示された例では、走査ヘッド２
に取り付けられている発光ダイオード１３の光度であ
る。しかしながら、他の警告手段も使用可能である。
に取り付けられている発光ダイオード１３の光度であ
る。しかしながら、他の警告手段も使用可能である。
【００２５】図６及び７を基にして、本発明の別の実施
例を説明する。偏差信号Ｂを形成するための手段は、更
にまた差動増幅器１２３である。この差動増幅器に、２
つのダイオード１４１，１４２の平行回路が従属してお
り、これらのダイオードは、偏差信号Ｂの符号及び値に
依存して、図７に図示された重み付けをされた偏差信号
ＢＧを発生させる。この重み付けをされた偏差信号ＢＧ
に比例して、異なった色の２つの発光ダイオード１３．
１，１３．２の平行回路の形をした発光ダイオードユニ
ットは、電源６により電流ＩLED でもって制御される。
例を説明する。偏差信号Ｂを形成するための手段は、更
にまた差動増幅器１２３である。この差動増幅器に、２
つのダイオード１４１，１４２の平行回路が従属してお
り、これらのダイオードは、偏差信号Ｂの符号及び値に
依存して、図７に図示された重み付けをされた偏差信号
ＢＧを発生させる。この重み付けをされた偏差信号ＢＧ
に比例して、異なった色の２つの発光ダイオード１３．
１，１３．２の平行回路の形をした発光ダイオードユニ
ットは、電源６により電流ＩLED でもって制御される。
【００２６】ダイオード１４１，１４２の代わりに、ダ
イオードのように指数的に推移する伝導特性を有する他
の電気部品も、特にトランジスタも、使用可能である。
イオードのように指数的に推移する伝導特性を有する他
の電気部品も、特にトランジスタも、使用可能である。
【００２７】本発明は、長さ測定装置並びに位置測定装
置において使用可能である。その際、走査信号を発生さ
せるための走査要素は、光電要素、即ち、磁場感受性の
容量式並びに誘導式の要素とすることができる。
置において使用可能である。その際、走査信号を発生さ
せるための走査要素は、光電要素、即ち、磁場感受性の
容量式並びに誘導式の要素とすることができる。
【００２８】本発明による装置によって、走査ヘッド２
が僅かな信号周期内でゆっくりと測定方向Ｘに移動させ
られる場合に、９０°だけ互いに位相をずらされた走査
信号Ｓ１〜Ｓ４の間のオフセット及び振幅差のような信
号の不正も警告手段１３において識別することができ
る。
が僅かな信号周期内でゆっくりと測定方向Ｘに移動させ
られる場合に、９０°だけ互いに位相をずらされた走査
信号Ｓ１〜Ｓ４の間のオフセット及び振幅差のような信
号の不正も警告手段１３において識別することができ
る。
【００２９】
【発明の効果】本発明により、機能状態に関する良好な
情報伝達を許容する警告を発生可能にする、位置測定装
置の少なくとも１つの走査信号の振幅高さをコントロー
ルするためのコントロール装置が得られる。
情報伝達を許容する警告を発生可能にする、位置測定装
置の少なくとも１つの走査信号の振幅高さをコントロー
ルするためのコントロール装置が得られる。
【図１】本発明によるコントロール装置を有する位置測
定装置の概略的なブロック回路図を示す。
定装置の概略的なブロック回路図を示す。
【図２】振幅信号を形成するための回路図を示す。
【図３】図２に対する信号線図を示す。
【図４】評価装置の第１の実施例を示す。
【図５】図４に対する信号線図を示す。
【図６】評価装置の第２の実施例を示す。
【図７】図６に対する信号線図を示す。
１ スケール
２ 走査ヘッド
３ 目盛り
３．１ 反射領域
３．２ 非反射領域
４ 装置
５ 電源
６ 電源
１０ コントロール装置
１１ 検出器手段
１２ 偏差信号Ｂを形成するための手
段 １３ 警告手段（光源） １３．１，１３．２ 発光ダイオード １４ 評価装置 １１１ マルチプレクサ １１２，１１３ コンパレータ １２１ コンパレータ １２２ 増幅器 １２３ 差動増幅器 １４１ ダイオード １４２ ダイオード Ａ 振幅信号 Ｂ 偏差信号 Ｂ１，Ｂ２ 領域 ＢＧ 重み付けをされた偏差信号 Ｄ 走査間隔 Ｆ 基準信号 ＩLED 光源１３を経る電流 Ｓ１〜Ｓ４ 走査信号 Ｕ１，Ｕ２ 切替え信号 Ｖ 供給電圧 Ｘ 測定方向
段 １３ 警告手段（光源） １３．１，１３．２ 発光ダイオード １４ 評価装置 １１１ マルチプレクサ １１２，１１３ コンパレータ １２１ コンパレータ １２２ 増幅器 １２３ 差動増幅器 １４１ ダイオード １４２ ダイオード Ａ 振幅信号 Ｂ 偏差信号 Ｂ１，Ｂ２ 領域 ＢＧ 重み付けをされた偏差信号 Ｄ 走査間隔 Ｆ 基準信号 ＩLED 光源１３を経る電流 Ｓ１〜Ｓ４ 走査信号 Ｕ１，Ｕ２ 切替え信号 Ｖ 供給電圧 Ｘ 測定方向
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(71)出願人 390014281
ＤＲ． ＪＯＨＡＮＮＥＳ ＨＥＩＤＥＮ
ＨＡＩＮ ＧＥＳＥＬＬＳＣＨＡＦＴ Ｍ
ＩＴ ＢＥＳＣＨＲＡＮＫＴＥＲ ＨＡＦ
ＴＵＮＧ
(72)発明者 ライナー・ブルクシャット
ドイツ連邦共和国、イエナ、アムマーバッ
ヒャー・ストラーセ、109
(72)発明者 ヴエルナー・メッツナー
ドイツ連邦共和国、イエナ、フレゲストラ
ーセ、２
(72)発明者 ロベルト・シュテルツナー
ドイツ連邦共和国、ゲッテルン、ドルフス
トラーセ、39
Ｆターム(参考） 2F069 AA02 DD02 GG07 GG62 HH13
MM04 NN09 QQ03 QQ09
2F077 AA02 AA07 AA10 CC02 NN28
PP19 QQ06 TT58
Claims (13)
- 【請求項１】 位置測定装置の少なくとも１つのアナロ
グ式の走査信号（Ｓ１〜Ｓ４）の振幅高さをコントロー
ルするためのコントロール装置であって、 走査信号（Ｓ１〜Ｓ４）の振幅高さを設定し、かつ、こ
の走査信号に依存した振幅信号（Ａ）を発生させるため
の検出器手段（１１）と、 所定の基準信号（Ｆ）との振幅信号（Ａ）の比較によっ
て偏差信号（Ｂ）を形成するための手段（１２）と、 偏差信号（Ｂ）に依存して警告を行なうための警告手段
（１３）と、を有するコントロール装置において、 偏差信号（Ｂ）が小さい場合に、偏差信号（Ｂ）の変化
が警告の変化を僅かにしか生じさせないか、又は全く生
じさせないように、またこれに対して偏差信号（Ｂ）が
大きい場合に、偏差信号（Ｂ）の変化が警告の変化を大
きく生じさせるように偏差信号（Ｂ）に種々に重み付け
をするための評価装置（１４）が設けられていることを
特徴とするコントロール装置。 - 【請求項２】 偏差信号（Ｂ）の変化が、指数関数によ
る警告の変化を生じさせるように構成されていることを
特徴とする請求項１に記載のコントロール装置。 - 【請求項３】 検出器手段（１１）がマルチプレクサ
（１１１）を有し、このマルチプレクサに、互いに位相
をずらされた複数の周期的な走査信号（Ｓ１〜Ｓ４）が
接続されており、またこのマルチプレクサが、コンパレ
ータ回路（１１２，１１３）を介して、走査信号（Ｓ１
〜Ｓ４）からそれぞれ最大の振幅を有する走査信号を選
出して走査信号（Ｓ１〜Ｓ４）の正の半波の包絡線を形
成し、その際、この包絡線を振幅信号（Ａ）とするよう
に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記
載のコントロール装置。 - 【請求項４】 偏差信号（Ｂ）を形成するための手段
（１２）が、振幅信号（Ａ）と基準信号（Ｆ）との間の
差を形成するための第１のコンパレータ（１２１）、並
びに、基準信号（Ｆ）と振幅信号（Ａ）との間の差を形
成するための第２のコンパレータ（１２２）から成るこ
とを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のコ
ントロール装置。 - 【請求項５】 評価装置（１４）が、ダイオードの伝導
特性を有する電気部品（１４１，１４２）であることを
特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のコント
ロール装置。 - 【請求項６】 それぞれのコンパレータ（１２１，１２
２）の出口に、ダイオードの伝導特性を有する半導体部
品（１４１，１４２）が配設されていることを特徴とす
る請求項４又は５に記載のコントロール装置。 - 【請求項７】 評価装置（１４）の出口に、重み付けを
された偏差信号（ＢＧ）が接続しており、この重み付け
をされた偏差信号が、重み付けをされた走査信号（Ｂ
Ｇ）に比例して警告手段（１３）を制御する電源（５，
６）に接続していることを特徴とする請求項１〜６のい
ずれか１つに記載のコントロール装置。 - 【請求項８】 警告手段が光源（１３，１３．１，１
３．２）であることを特徴とする請求項１〜７のいずれ
か１つに記載のコントロール装置。 - 【請求項９】 警告手段が、振幅信号（Ａ）が基準信号
（Ｆ）よりも小さい場合に第１の色で発光し、振幅信号
（Ａ）が基準信号（Ｆ）よりも大きい場合に第２の色で
発光する光源ユニット（１３．１，１３．２）であるこ
とを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載のコ
ントロール装置。 - 【請求項１０】 請求項１〜９のいずれか１つによるコ
ントロール装置（１０）を有する位置測定装置の走査ヘ
ッド。 - 【請求項１１】 走査ヘッド（２）が請求項１〜９のい
ずれか１つによるコントロール装置（１０）を有するよ
うに構成されている、スケール（１）とこのスケールを
走査する走査ヘッド（２）を有する位置測定装置。 - 【請求項１２】 コントロール装置（１０）により位置
測定装置の少なくとも１つのアナログ式の走査信号（Ｓ
１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）の振幅高さを介して警告を発生
させるための方法であって、 走査信号（Ｓ１〜Ｓ４）の振幅高さを設定し、かつ、こ
の走査信号に依存した振幅信号（Ａ）を発生させる方法
段階と、 所定の基準信号（Ｆ）との振幅信号（Ａ）の比較によっ
て偏差信号（Ｂ）を形成する方法段階と、 偏差信号（Ｂ）に依存して警告を行なう方法段階と、を
有する方法において、 偏差信号（Ｂ）が小さい場合に、偏差信号（Ｂ）の変化
が警告の変化を僅かにしか生じさせないか、又は全く生
じさせないように、またこれに対して偏差信号（Ｂ）が
大きい場合に、偏差信号（Ｂ）の変化が警告の変化を大
きく生じさせるようにすることを特徴とする警告を発生
させるための方法。 - 【請求項１３】 偏差信号（Ｂ）の変化が、指数関数に
よる警告の変化を生じさせるようにすることを特徴とす
る請求項１２に記載の警告を発生させるための方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10157112.7 | 2001-11-21 | ||
| DE10157112A DE10157112A1 (de) | 2001-11-21 | 2001-11-21 | Kontrollvorrichtung einer Positionsmesseinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003156366A true JP2003156366A (ja) | 2003-05-30 |
| JP4235430B2 JP4235430B2 (ja) | 2009-03-11 |
Family
ID=7706450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002304205A Expired - Fee Related JP4235430B2 (ja) | 2001-11-21 | 2002-10-18 | 位置測定装置のコントロール装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6807499B2 (ja) |
| EP (1) | EP1314965B1 (ja) |
| JP (1) | JP4235430B2 (ja) |
| AT (1) | ATE398277T1 (ja) |
| DE (2) | DE10157112A1 (ja) |
| ES (1) | ES2306748T3 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005351654A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Olympus Corp | エンコーダ |
| JP2007003530A (ja) * | 2005-06-25 | 2007-01-11 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置測定装置と位置測定装置の走査信号をコントロールするための方法 |
| JP2007240225A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Keyence Corp | 変位検出装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10054075A1 (de) * | 2000-10-31 | 2002-05-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Positionsbestimmung und Positionsmesseinrichtung |
| GB0413827D0 (en) * | 2004-06-21 | 2004-07-21 | Renishaw Plc | Scale reading apparatus |
| GB0428165D0 (en) * | 2004-12-23 | 2005-01-26 | Renishaw Plc | Position measurement |
| DE102006015725A1 (de) * | 2006-04-04 | 2007-10-11 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Verfahren zum Initialisieren eines Positionsmesssystems |
| DE102009046773A1 (de) | 2009-11-17 | 2011-05-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Abtasteinheit einer Positionsmesseinrichtung |
| DE102010048186B4 (de) * | 2010-10-13 | 2019-02-28 | Phoenix Contact Gmbh & Co. Kg | Verfahren, Schaltungsanordnung und Überwachungsvorrichtung zur Signalprüfung |
| JP6069653B2 (ja) * | 2011-01-27 | 2017-02-01 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法 |
| DE102012108815B4 (de) * | 2012-09-19 | 2025-12-24 | Ic-Haus Gmbh | Verfahren zur Einstellung des Arbeitspunkts einer Positionsmessvorrichtung und Schaltungsanordnung |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8820778D0 (en) * | 1988-09-02 | 1988-10-05 | Renishaw Plc | Setting up of quadrature signals |
| GB9110598D0 (en) * | 1991-05-16 | 1991-07-03 | Renishaw Transducer Syst | Setting up of quadrature signals |
| DE4342312A1 (de) * | 1993-12-11 | 1995-06-14 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Korrektur von schwingungsbedingten Meßfehlern bei Koordinatenmeßgeräten |
| DE4428673B4 (de) * | 1994-08-12 | 2006-11-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Vorrichtung zur Bildung einer Steuergröße, welche ein Maß für die Amplitude zweier frequenz- und amplitudengleicher, phasenstarrer sinus- und cosinusförmiger Meßwechselgrößen ist |
| JP3367226B2 (ja) * | 1994-10-20 | 2003-01-14 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | 変位量検出装置 |
| DE19642200A1 (de) * | 1996-10-12 | 1998-04-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen |
| DE19642199A1 (de) * | 1996-10-12 | 1998-04-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen |
| DE19854733A1 (de) * | 1998-11-27 | 2000-05-31 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Abtasteinheit einer Positionsmeßeinrichtung |
| ATE371167T1 (de) * | 2000-02-17 | 2007-09-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung und verfahren zu deren betrieb |
| DE10056926A1 (de) * | 2000-11-20 | 2002-07-18 | Optolab Licensing Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung eines periodischen Analogsignals |
-
2001
- 2001-11-21 DE DE10157112A patent/DE10157112A1/de not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-10-18 JP JP2002304205A patent/JP4235430B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-25 DE DE50212359T patent/DE50212359D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-25 ES ES02023934T patent/ES2306748T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-25 AT AT02023934T patent/ATE398277T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-10-25 EP EP02023934A patent/EP1314965B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-21 US US10/302,791 patent/US6807499B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005351654A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Olympus Corp | エンコーダ |
| JP2007003530A (ja) * | 2005-06-25 | 2007-01-11 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置測定装置と位置測定装置の走査信号をコントロールするための方法 |
| JP2007240225A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Keyence Corp | 変位検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1314965A3 (de) | 2006-04-26 |
| ES2306748T3 (es) | 2008-11-16 |
| DE50212359D1 (de) | 2008-07-24 |
| DE10157112A1 (de) | 2003-06-05 |
| JP4235430B2 (ja) | 2009-03-11 |
| US20040026603A1 (en) | 2004-02-12 |
| EP1314965B1 (de) | 2008-06-11 |
| EP1314965A2 (de) | 2003-05-28 |
| US6807499B2 (en) | 2004-10-19 |
| ATE398277T1 (de) | 2008-07-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6636035B2 (en) | Position measuring device and error detecting method for the same, and electromagnetic induction position detecting device | |
| JP3530573B2 (ja) | 光学式変位センサ | |
| JP4410316B2 (ja) | 位置センサ | |
| JP4235430B2 (ja) | 位置測定装置のコントロール装置 | |
| JP5784107B2 (ja) | 探知機 | |
| JPH05133732A (ja) | 読取ヘツド | |
| ATE439081T1 (de) | Medizinischer sensor und informationssystem | |
| KR100622959B1 (ko) | 분리형 광전 스위치 | |
| US4488813A (en) | Reflectivity compensating system for fiber optic sensor employing dual probes at a fixed gap differential | |
| US7132647B2 (en) | Optical encoder | |
| ATE156587T1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
| JP3276902B2 (ja) | 位置に依存した走査信号の検査のための方法及び制御装置 | |
| KR890005325A (ko) | 방직기용 실 공급장치의 실공급 감시장치 | |
| JP2005300534A (ja) | 磁気誘電性流量計の作動方法 | |
| GB2308441A (en) | Rotation Sensor | |
| US9534935B2 (en) | Encoder | |
| CN1905368B (zh) | 利用光传感器的检测物探测装置以及探测方法 | |
| JP4468981B2 (ja) | エンコーダ | |
| JPS63261167A (ja) | 電流を測定する装置と方法 | |
| JP3550629B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JPS63290931A (ja) | 糸の糸張力を監視する方法及び装置 | |
| JP2998314B2 (ja) | アブソリュートスケール装置 | |
| EP1541971B1 (en) | Encoder with noise detection | |
| JP3779903B2 (ja) | 信号バックアップ回路 | |
| JP2003083772A (ja) | 光学スケールを用いた寸法測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050613 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081113 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081209 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081215 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4235430 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131219 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |