JP2003156406A - 固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置 - Google Patents
固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置Info
- Publication number
- JP2003156406A JP2003156406A JP2001355669A JP2001355669A JP2003156406A JP 2003156406 A JP2003156406 A JP 2003156406A JP 2001355669 A JP2001355669 A JP 2001355669A JP 2001355669 A JP2001355669 A JP 2001355669A JP 2003156406 A JP2003156406 A JP 2003156406A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- optical system
- illumination
- state imaging
- illumination optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査用チャート等を投影して検査する装置
と、複数の固体撮像素子を一様に照明して検査する装置
を共用できる固体撮像素子照明光学系を提供する。 【解決手段】 光源１からの光束をリレーレンズ２でイ
ンテグレータ４へリレーし、コンデンサレンズ５で一次
照明面６を均一でテレセントリックに照明する。そし
て、一次照明面６の像を投影レンズ７で被検査面（２次
照明面）１０へテレセントリックに投影する。１次照明
面６に検査用チャートを配置し、その像を被検査面１０
に置かれた固体撮像素子上に結像させて検査を行う。近
い射出瞳に対応した複数の固体撮像素子を照明するとき
は、検査用チャートを待避させアダプタ部２０を挿入す
る。アダプタ部２０には、拡散板８が設けられ、投影レ
ンズ７からテレセントリックに照明されてくる光束から
拡散板８で２次光源をつくる。そして、レンズ９で、拡
散板８からの光をリレーし、被検査面１０を照明する。
と、複数の固体撮像素子を一様に照明して検査する装置
を共用できる固体撮像素子照明光学系を提供する。 【解決手段】 光源１からの光束をリレーレンズ２でイ
ンテグレータ４へリレーし、コンデンサレンズ５で一次
照明面６を均一でテレセントリックに照明する。そし
て、一次照明面６の像を投影レンズ７で被検査面（２次
照明面）１０へテレセントリックに投影する。１次照明
面６に検査用チャートを配置し、その像を被検査面１０
に置かれた固体撮像素子上に結像させて検査を行う。近
い射出瞳に対応した複数の固体撮像素子を照明するとき
は、検査用チャートを待避させアダプタ部２０を挿入す
る。アダプタ部２０には、拡散板８が設けられ、投影レ
ンズ７からテレセントリックに照明されてくる光束から
拡散板８で２次光源をつくる。そして、レンズ９で、拡
散板８からの光をリレーし、被検査面１０を照明する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子の製
造過程において、ウエハ上に形成された固体撮像素子の
複数のチップを一度に検査することが可能な固体撮像素
子照明光学系、及び固体撮像素子照明装置に関するもの
である。
造過程において、ウエハ上に形成された固体撮像素子の
複数のチップを一度に検査することが可能な固体撮像素
子照明光学系、及び固体撮像素子照明装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】ＣＣＤ等の固体撮像素子をウエハに形成
されたままの状態で検査する方法として、２つの方法が
用いられてきた。その第１は、固体撮像素子のチップを
テレセントリックな照明光で照明し、固体撮像素子の各
画素の出力のバラツキを検査する方法であり、その第２
は、固体撮像素子の上に検査用チャートに形成されたパ
ターンを投影し、そのパターンが正確に撮像されるかど
うかにより解像度を検査する方法である。
されたままの状態で検査する方法として、２つの方法が
用いられてきた。その第１は、固体撮像素子のチップを
テレセントリックな照明光で照明し、固体撮像素子の各
画素の出力のバラツキを検査する方法であり、その第２
は、固体撮像素子の上に検査用チャートに形成されたパ
ターンを投影し、そのパターンが正確に撮像されるかど
うかにより解像度を検査する方法である。
【０００３】後者の方法は、光源からの光をリレーレン
ズ、インテグレータ、コンデンサレンズを介して固体撮
像素子検査用チャートに導き、固体撮像素子検査用チャ
ートをテレセントリックかつ均一に照明し、その像を投
影光学系によって固体撮像素子へ結像させる方法により
行われていた。
ズ、インテグレータ、コンデンサレンズを介して固体撮
像素子検査用チャートに導き、固体撮像素子検査用チャ
ートをテレセントリックかつ均一に照明し、その像を投
影光学系によって固体撮像素子へ結像させる方法により
行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年の固体撮
像素子の進歩に伴い、低価格化も進み、検査にも高いス
ループットが要求され、複数チップを一度に照明する検
査が要求されるようになってきた。
像素子の進歩に伴い、低価格化も進み、検査にも高いス
ループットが要求され、複数チップを一度に照明する検
査が要求されるようになってきた。
【０００５】また、近年のデジタルカメラなどに用いる
光学系は、被写体の像がテレセントリックに固体撮像素
子へ結像するようにすると小型化が困難になるため、レ
ンズ系の射出瞳を像面（固体撮像素子）に近づけて小型
化している。
光学系は、被写体の像がテレセントリックに固体撮像素
子へ結像するようにすると小型化が困難になるため、レ
ンズ系の射出瞳を像面（固体撮像素子）に近づけて小型
化している。
【０００６】このような光学系にテレセントリックな固
体撮像素子を用いると、瞳の不一致により、周辺光量が
減少してしまう。そのため、射出瞳が像面に近い光学系
に合わせた固体撮像素子も製造されている。すなわち、
固体撮像素子に設けたマイクロレンズの働きにより、固
体撮像素子の入射瞳を固体撮像素子の近くに設け、レン
ズ系の射出瞳をこの入射瞳に一致させている。
体撮像素子を用いると、瞳の不一致により、周辺光量が
減少してしまう。そのため、射出瞳が像面に近い光学系
に合わせた固体撮像素子も製造されている。すなわち、
固体撮像素子に設けたマイクロレンズの働きにより、固
体撮像素子の入射瞳を固体撮像素子の近くに設け、レン
ズ系の射出瞳をこの入射瞳に一致させている。
【０００７】テレセントリックな固体撮像素子に照明光
を当てて検査を行う場合には、複数チップを一度に照明
する場合でも、照明系をテレセントリックにして照明視
野を拡大するのみでよい。このような光学系は、前述の
検査用チャートを投影する光学系において、検査用チャ
ートを用いないで照明を行うことにより実現でき、検査
用チャートを投影して検査する装置と共用が可能であ
る。
を当てて検査を行う場合には、複数チップを一度に照明
する場合でも、照明系をテレセントリックにして照明視
野を拡大するのみでよい。このような光学系は、前述の
検査用チャートを投影する光学系において、検査用チャ
ートを用いないで照明を行うことにより実現でき、検査
用チャートを投影して検査する装置と共用が可能であ
る。
【０００８】しかし、近い射出瞳に合わせた固体撮像素
子の複数チップを一度に照明する場合には、テレセント
リックな照明光を用いると、射出瞳と入射瞳の不一致に
より、光のけられが起こり、結果的に各固体撮像素子の
各画素が一様に照明されないことになる。よって、検査
用チャートを投影して検査する装置と共用することがで
きない。
子の複数チップを一度に照明する場合には、テレセント
リックな照明光を用いると、射出瞳と入射瞳の不一致に
より、光のけられが起こり、結果的に各固体撮像素子の
各画素が一様に照明されないことになる。よって、検査
用チャートを投影して検査する装置と共用することがで
きない。
【０００９】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、固体撮像素子をウエハの状態で検査する場
合に、検査用チャート等を投影して検査する装置と、複
数の固体撮像素子を一様に照明して検査する装置を共用
できる固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装
置を提供することを課題とする。
ものであり、固体撮像素子をウエハの状態で検査する場
合に、検査用チャート等を投影して検査する装置と、複
数の固体撮像素子を一様に照明して検査する装置を共用
できる固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装
置を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の第１の手段は、光源からの光により、照明光学系を介
して１次照明面を照明し、１次照明面の像を投影光学系
を介して２次照明面に結像させる機能を有する固体撮像
素子照明光学系であって、前記投影光学系と２次照明面
の間に、光を複数に分割し、分割した光の各々により、
２次照明面におかれた固体撮像素子を個別に１個ずつ照
明する分割照明光学系が挿入可能とされており、かつ、
当該分割照明光学系の射出瞳は、当該分割照明光学系中
か、当該分割照明光学系と２次照明面の間にあるように
されていることを特徴とする固体撮像素子照明光学系
（請求項１）である。
の第１の手段は、光源からの光により、照明光学系を介
して１次照明面を照明し、１次照明面の像を投影光学系
を介して２次照明面に結像させる機能を有する固体撮像
素子照明光学系であって、前記投影光学系と２次照明面
の間に、光を複数に分割し、分割した光の各々により、
２次照明面におかれた固体撮像素子を個別に１個ずつ照
明する分割照明光学系が挿入可能とされており、かつ、
当該分割照明光学系の射出瞳は、当該分割照明光学系中
か、当該分割照明光学系と２次照明面の間にあるように
されていることを特徴とする固体撮像素子照明光学系
（請求項１）である。
【００１１】本手段においては、例えば検査用チャート
を用いた検査を行う場合には、１次照明面に検査用チャ
ートを配置し、分割照明光学系を挿入しないようにする
と、検査用チャートの像が２次照明面に置かれた固体撮
像素子面に結像するので、それにより解像度等の検査を
行うことができる。複数の固体撮像素子を同時に検査す
る場合には、それに合わせた検査用チャートのパターン
を形成すればよい。
を用いた検査を行う場合には、１次照明面に検査用チャ
ートを配置し、分割照明光学系を挿入しないようにする
と、検査用チャートの像が２次照明面に置かれた固体撮
像素子面に結像するので、それにより解像度等の検査を
行うことができる。複数の固体撮像素子を同時に検査す
る場合には、それに合わせた検査用チャートのパターン
を形成すればよい。
【００１２】一方、固体撮像素子の各画素の出力のばら
つき等を検査するために各固体撮像素子を照明する場合
には、１次照明面には何も置かず、分割照明光学系を挿
入する。すると、投影光学系を出た光が、分割照明光学
系により複数の光に分割され、分割された各々の光は、
それぞれ１個ずつの固体撮像素子を照明するので、複数
の固体撮像素子の検査を同時に行うことができる。
つき等を検査するために各固体撮像素子を照明する場合
には、１次照明面には何も置かず、分割照明光学系を挿
入する。すると、投影光学系を出た光が、分割照明光学
系により複数の光に分割され、分割された各々の光は、
それぞれ１個ずつの固体撮像素子を照明するので、複数
の固体撮像素子の検査を同時に行うことができる。
【００１３】さらに、この分割照明光学系の射出瞳は、
当該分割照明光学系中か、当該分割照明光学系と２次照
明面の間にあるようにされているので、固体撮像素子の
入射瞳が固体撮像素子の近傍にあっても、後に述べるよ
うに、分割照明光学系の射出瞳と固体撮像素子の入射瞳
を略一致させることが可能となる。よって、照明光がけ
られることが少なくなり、一様な照明が可能となる。
当該分割照明光学系中か、当該分割照明光学系と２次照
明面の間にあるようにされているので、固体撮像素子の
入射瞳が固体撮像素子の近傍にあっても、後に述べるよ
うに、分割照明光学系の射出瞳と固体撮像素子の入射瞳
を略一致させることが可能となる。よって、照明光がけ
られることが少なくなり、一様な照明が可能となる。
【００１４】前記課題を解決するための第２の手段は、
前記第１の手段であって、前記分割照明光学系の射出瞳
の位置が、照明される固体撮像素子の入射瞳の位置と略
一致していることを特徴とするもの（請求項２）であ
る。
前記第１の手段であって、前記分割照明光学系の射出瞳
の位置が、照明される固体撮像素子の入射瞳の位置と略
一致していることを特徴とするもの（請求項２）であ
る。
【００１５】本手段においては、分割照明光学系の射出
瞳と固体撮像素子の入射瞳が略一致しているので、照明
光がけられることが少なくなり、一様な照明が可能とな
る。略一致とは、設計上の制約や製作上の誤差等に起因
して、固体撮像素子への照明の一様性の精度に問題のな
らない程度の不一致があってもよいことを意味する。
瞳と固体撮像素子の入射瞳が略一致しているので、照明
光がけられることが少なくなり、一様な照明が可能とな
る。略一致とは、設計上の制約や製作上の誤差等に起因
して、固体撮像素子への照明の一様性の精度に問題のな
らない程度の不一致があってもよいことを意味する。
【００１６】前記課題を解決するための第３の手段は、
前記第１の手段又は第２の手段であって、前記分割照明
光学系の、２次照明面と共約な位置に、絞りを備えたこ
とを特徴とするもの（請求項３）である。
前記第１の手段又は第２の手段であって、前記分割照明
光学系の、２次照明面と共約な位置に、絞りを備えたこ
とを特徴とするもの（請求項３）である。
【００１７】設けられた絞りは、２次照明面と共約な位
置に配置されるので、視野絞りの役割を果たす。よっ
て、分割された光の各々が照明する領域を決定すること
ができるので、これを調整すれば、例えば、一つの照明
光が１つの固体撮像素子のみを照明し、他の固体撮像素
子を照明しないようにすることができる。
置に配置されるので、視野絞りの役割を果たす。よっ
て、分割された光の各々が照明する領域を決定すること
ができるので、これを調整すれば、例えば、一つの照明
光が１つの固体撮像素子のみを照明し、他の固体撮像素
子を照明しないようにすることができる。
【００１８】前記課題を解決するための第４の手段は、
前記第１の手段から第３の手段のいずれかであって、前
記分割照明光学系の射出瞳と共約な位置に、光の拡散板
を備えたことを特徴とするもの（請求項４）である。
前記第１の手段から第３の手段のいずれかであって、前
記分割照明光学系の射出瞳と共約な位置に、光の拡散板
を備えたことを特徴とするもの（請求項４）である。
【００１９】光の拡散板とは、例えば磨りガラスのよう
に、光の射出方向をランダムにするものである。本手段
においては、光の拡散板が分割照明光学系の射出瞳と共
約な位置に設けられているので、光源からの光が十分な
拡散光でない場合であっても、分割照明光学系から出た
光を、その射出方向がランダムな光とすることができ
る。よって、例えば、固体撮像素子の入射瞳を分割照明
光学系の射出瞳位置とすれば、固体撮像素子に入射方向
がランダムな光を入射させることができる。
に、光の射出方向をランダムにするものである。本手段
においては、光の拡散板が分割照明光学系の射出瞳と共
約な位置に設けられているので、光源からの光が十分な
拡散光でない場合であっても、分割照明光学系から出た
光を、その射出方向がランダムな光とすることができ
る。よって、例えば、固体撮像素子の入射瞳を分割照明
光学系の射出瞳位置とすれば、固体撮像素子に入射方向
がランダムな光を入射させることができる。
【００２０】前記課題を解決するための第５の手段は、
固体撮像素子を照明して、その出力特性を検査するため
に用いられる固体撮像素子照明装置であって、前記第１
の手段から第４の手段のうちいずれかの固体撮像素子照
明光学系を備えたことを特徴とする固体撮像素子照明装
置（請求項５）である。
固体撮像素子を照明して、その出力特性を検査するため
に用いられる固体撮像素子照明装置であって、前記第１
の手段から第４の手段のうちいずれかの固体撮像素子照
明光学系を備えたことを特徴とする固体撮像素子照明装
置（請求項５）である。
【００２１】本手段によれば、検査用チャート等による
検査を行う装置を用いて固体撮像装置を照明することが
でき、しかも、複数の固体撮像素子を個別に、かつ同時
に照明することができる。
検査を行う装置を用いて固体撮像装置を照明することが
でき、しかも、複数の固体撮像素子を個別に、かつ同時
に照明することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の例
を、図を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態
の第１の例である固体撮像素子照明装置の光学系のレイ
アウトを示す概要図である。
を、図を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態
の第１の例である固体撮像素子照明装置の光学系のレイ
アウトを示す概要図である。
【００２３】光源１からの光束をリレーレンズ２でイン
テグレータ４へリレーし、コンデンサレンズ５で一次照
明面６を均一でテレセントリックに照明する。そして、
一次照明面６の像を投影レンズ７で被検査面（２次照明
面）１０へテレセントリックに投影する。１次照明面６
に検査用チャートを配置することにより、この検査用チ
ャートの像を被検査面１０に置かれた固体撮像素子上に
結像させて検査を行うことができる。
テグレータ４へリレーし、コンデンサレンズ５で一次照
明面６を均一でテレセントリックに照明する。そして、
一次照明面６の像を投影レンズ７で被検査面（２次照明
面）１０へテレセントリックに投影する。１次照明面６
に検査用チャートを配置することにより、この検査用チ
ャートの像を被検査面１０に置かれた固体撮像素子上に
結像させて検査を行うことができる。
【００２４】照明面アダプタ部２０は、この光学系中に
挿脱可能で、検査用チャートを被検査面へ投影する場合
は待避している。このとき、被検査面１１への照明視野
が広ければ、図では２つのパターンを有する検査用チャ
ートを被検査面である２チップの固体撮像素子へ投影
し、検査が行われる（実際には２次元方向に形成された
複数のパターンを用いることにより、一度に多数の固体
撮像素子の検査を行うことができる）。なお、３は、挿
脱可能な複数の熱線カットフィルタやＮＤフィルタやカ
ラーフィルタである。
挿脱可能で、検査用チャートを被検査面へ投影する場合
は待避している。このとき、被検査面１１への照明視野
が広ければ、図では２つのパターンを有する検査用チャ
ートを被検査面である２チップの固体撮像素子へ投影
し、検査が行われる（実際には２次元方向に形成された
複数のパターンを用いることにより、一度に多数の固体
撮像素子の検査を行うことができる）。なお、３は、挿
脱可能な複数の熱線カットフィルタやＮＤフィルタやカ
ラーフィルタである。
【００２５】検査用チャートも挿脱可能で、近い射出瞳
に対応した複数の固体撮像素子を照明するときは、検査
用チャートを待避させ、アダプタ部２０を挿入する。ア
ダプタ部２０には、拡散板８が設けられ、投影レンズ７
からテレセントリックに照明されてくる光束から拡散板
８で２次光源をつくる。そして、レンズ９で、拡散板８
からの光をリレーし、被検査面１０を照明する。
に対応した複数の固体撮像素子を照明するときは、検査
用チャートを待避させ、アダプタ部２０を挿入する。ア
ダプタ部２０には、拡散板８が設けられ、投影レンズ７
からテレセントリックに照明されてくる光束から拡散板
８で２次光源をつくる。そして、レンズ９で、拡散板８
からの光をリレーし、被検査面１０を照明する。
【００２６】図１に示すアダプタ部２０の光学系の例
を、図３を用いて詳しく説明する。拡散板８の裏面には
絞り３０、３６が設けられ、この例では２つの開口部が
形成されて、２つの２次光源が形成されるようになって
いる。実際には、この開口部は２次元的に複数設けら
れ、多数の２次光源が形成されるようにされている。絞
り３０、３６からの光をレンズ３１、３３でリレーして
２つの射出瞳３４，３７を形成する。そして固体撮像素
子３５、３８を照明する。絞り３０、３６の大きさ、あ
るいはレンズ３１、３３のリレー倍率を適当に選ぶと、
射出瞳３４、３７の直径φを設定でき、射出瞳から固体
撮像素子までの距離をＬとすると、 F＝Ｌ／φ なるＦ値で固体撮像素子を照明して検査を行うことがで
きる。
を、図３を用いて詳しく説明する。拡散板８の裏面には
絞り３０、３６が設けられ、この例では２つの開口部が
形成されて、２つの２次光源が形成されるようになって
いる。実際には、この開口部は２次元的に複数設けら
れ、多数の２次光源が形成されるようにされている。絞
り３０、３６からの光をレンズ３１、３３でリレーして
２つの射出瞳３４，３７を形成する。そして固体撮像素
子３５、３８を照明する。絞り３０、３６の大きさ、あ
るいはレンズ３１、３３のリレー倍率を適当に選ぶと、
射出瞳３４、３７の直径φを設定でき、射出瞳から固体
撮像素子までの距離をＬとすると、 F＝Ｌ／φ なるＦ値で固体撮像素子を照明して検査を行うことがで
きる。
【００２７】図３からわかるように拡散板からの光束は
絞り３２で制限され、レンズ系を用いず、射出瞳３４，
３７の位置に拡散板８と絞り３０，３６を直接配置する
場合より各々の光学系の照明範囲は小さく、固体撮像素
子以外の余分な照明を行わないようにすることができ
る。固体撮像素子３５、３８の入射瞳位置と射出瞳３
４、３７の位置をそれぞれ一致させておくことにより、
２次光源からの光がけらることがなくなり、一様照明を
行うことができる。
絞り３２で制限され、レンズ系を用いず、射出瞳３４，
３７の位置に拡散板８と絞り３０，３６を直接配置する
場合より各々の光学系の照明範囲は小さく、固体撮像素
子以外の余分な照明を行わないようにすることができ
る。固体撮像素子３５、３８の入射瞳位置と射出瞳３
４、３７の位置をそれぞれ一致させておくことにより、
２次光源からの光がけらることがなくなり、一様照明を
行うことができる。
【００２８】図２は、本発明の実施の形態の第２の例で
ある固体撮像素子照明装置の光学系のレイアウトを示す
概要図である。この実施の形態は、前記第１の実施の形
態とは、拡散板８とレンズ系９の間に絞り１１が配置さ
れてことのみが異なっているので、図１に示された構成
要素と同じ構成要素には同じ符号を付して、その同じ部
分の作用については説明を省略する。絞り１１は、投影
レンズ７に対して、被検査面１０と共役とされているの
で視野絞りの役割を果たす。そして、その視野の範囲
を、その絞りを通過する光が、隣の固体撮像素子を照明
しない範囲としている。
ある固体撮像素子照明装置の光学系のレイアウトを示す
概要図である。この実施の形態は、前記第１の実施の形
態とは、拡散板８とレンズ系９の間に絞り１１が配置さ
れてことのみが異なっているので、図１に示された構成
要素と同じ構成要素には同じ符号を付して、その同じ部
分の作用については説明を省略する。絞り１１は、投影
レンズ７に対して、被検査面１０と共役とされているの
で視野絞りの役割を果たす。そして、その視野の範囲
を、その絞りを通過する光が、隣の固体撮像素子を照明
しない範囲としている。
【００２９】図２に示すアダプタ部２０の光学系の例
を、図４を用いて説明する。図３に示した光学系と図４
に示す光学系は、絞り１１が絞り３０、３６とレンズ３
１の間に設けられていることのみが異なっているので、
図３に示された構成要素と同じ構成要素には同じ符号を
付して、その同じ部分の作用については説明を省略す
る。
を、図４を用いて説明する。図３に示した光学系と図４
に示す光学系は、絞り１１が絞り３０、３６とレンズ３
１の間に設けられていることのみが異なっているので、
図３に示された構成要素と同じ構成要素には同じ符号を
付して、その同じ部分の作用については説明を省略す
る。
【００３０】図３に示す光学系では絞り３２で各々の照
明視野をある程度制限していたが、図に示すように隣の
固体撮像素子を照明してしまう光線が存在することがあ
る。しかし図４のように適当な大きさの絞り１１を、図
４に示したレンズ系に対して被検査面１０と共約な位置
に挿入すると、視野絞りとなるので、その大きさを調整
することより、固体撮像素子３５、３８を完全に独立照
明することができ、隣の固体撮像素子を照明してしまう
光線がなくなる。固体撮像素子３５、３８と絞り９は、
図４に示したレンズ系に対して共役な位置となるので、
絞り９を通る光束は、図３にて各々の固体撮像素子を照
明していた光束を全て含み、固体撮像素子を損失なく照
明することができる。絞り９と固体撮像素子との間の倍
率を考慮して絞り９を設計すれば、被検査体である固体
撮像素子の大きさ、形に合わせた光束で照明できる。
明視野をある程度制限していたが、図に示すように隣の
固体撮像素子を照明してしまう光線が存在することがあ
る。しかし図４のように適当な大きさの絞り１１を、図
４に示したレンズ系に対して被検査面１０と共約な位置
に挿入すると、視野絞りとなるので、その大きさを調整
することより、固体撮像素子３５、３８を完全に独立照
明することができ、隣の固体撮像素子を照明してしまう
光線がなくなる。固体撮像素子３５、３８と絞り９は、
図４に示したレンズ系に対して共役な位置となるので、
絞り９を通る光束は、図３にて各々の固体撮像素子を照
明していた光束を全て含み、固体撮像素子を損失なく照
明することができる。絞り９と固体撮像素子との間の倍
率を考慮して絞り９を設計すれば、被検査体である固体
撮像素子の大きさ、形に合わせた光束で照明できる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固体撮像素子をウエハの状態で検査する場合に、検査用
チャート等を投影して検査する装置と、複数の固体撮像
素子を一様に照明して検査する装置を共用できる固体撮
像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置を提供する
ことができる。
固体撮像素子をウエハの状態で検査する場合に、検査用
チャート等を投影して検査する装置と、複数の固体撮像
素子を一様に照明して検査する装置を共用できる固体撮
像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置を提供する
ことができる。
【図１】本発明の実施の形態の第１の例である固体撮像
素子照明装置の光学系のレイアウトを示す概要図であ
る。
素子照明装置の光学系のレイアウトを示す概要図であ
る。
【図２】本発明の実施の形態の第２の例である固体撮像
素子照明装置の光学系のレイアウトを示す概要図であ
る。
素子照明装置の光学系のレイアウトを示す概要図であ
る。
【図３】図１に示すアダプタ部２０の光学系の例を示す
概要図である。
概要図である。
【図４】図２に示すアダプタ部２０の光学系の例を示す
概要図である。
概要図である。
１…光源、２…照明リレーレンズ、３…フィルタ類、４
…インテグレータ、５…コンデンサレンズ、６…一次照
明面、７…投影レンズ、８…拡散板、９…レンズ、１０
…被検査面、１１…絞り、２０…アダプタ部、３０，３
６…絞り、３１．３３…レンズ、３２…絞り、３４，３
７…射出瞳、３５，３８…固体撮像素子
…インテグレータ、５…コンデンサレンズ、６…一次照
明面、７…投影レンズ、８…拡散板、９…レンズ、１０
…被検査面、１１…絞り、２０…アダプタ部、３０，３
６…絞り、３１．３３…レンズ、３２…絞り、３４，３
７…射出瞳、３５，３８…固体撮像素子
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G086 EE01
2H052 AA11 AB01 AB17 AC14 AC18
AC25 AC29 AD34 AD35 BA01
BA02 BA09 BA14
4M118 AA09 GD03 GD07 GD20
5C061 BB02 CC09
Claims (5)
- 【請求項１】 光源からの光により、照明光学系を介し
て１次照明面を照明し、１次照明面の像を投影光学系を
介して２次照明面に結像させる機能を有する固体撮像素
子照明光学系であって、前記投影光学系と２次照明面の
間に、光を複数に分割し、分割した光の各々により、２
次照明面におかれた固体撮像素子を個別に１個ずつ照明
する分割照明光学系が挿入可能とされており、かつ、当
該分割照明光学系の射出瞳は、当該分割照明光学系中
か、当該分割照明光学系と２次照明面の間にあるように
されていることを特徴とする固体撮像素子照明光学系。 - 【請求項２】 請求項１に記載の固体撮像素子照明光学
系であって、前記分割照明光学系の射出瞳の位置が、照
明される固体撮像素子の入射瞳の位置と略一致している
ことを特徴とする固体撮像素子照明光学系。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の固体撮像
素子照明光学系であって、前記分割照明光学系の、２次
照明面と共約な位置に、絞りを備えたことを特徴とする
固体撮像素子照明光学系。 - 【請求項４】 請求項１から請求項３のうちいずれか１
項に記載の固体撮像素子照明光学系であって、前記分割
照明光学系の射出瞳と共約な位置に、光の拡散板を備え
たことを特徴とする固体撮像素子照明光学系。 - 【請求項５】 固体撮像素子を照明して、その出力特性
を検査するために用いられる固体撮像素子照明装置であ
って、請求項１から請求項４のうちいずれか１項に記載
の固体撮像素子照明光学系を備えたことを特徴とする固
体撮像素子照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001355669A JP2003156406A (ja) | 2001-11-21 | 2001-11-21 | 固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001355669A JP2003156406A (ja) | 2001-11-21 | 2001-11-21 | 固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003156406A true JP2003156406A (ja) | 2003-05-30 |
| JP2003156406A5 JP2003156406A5 (ja) | 2005-06-23 |
Family
ID=19167339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001355669A Pending JP2003156406A (ja) | 2001-11-21 | 2001-11-21 | 固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003156406A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005250030A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Nikon Corp | 撮像素子検査用照明装置、撮像素子検査装置、撮像素子の検査方法、及び撮像素子の製造方法 |
| JP2005331371A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Nikon Corp | 照明補助装置及びこの照明補助装置を用いた検査装置 |
| JP2006138644A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Nikon Corp | 投影ユニット及びそれを備える撮像素子検査用照明装置 |
| JP2009019882A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Nikon Corp | 照明用アダプタ、照明装置、及び撮像素子検査用照明装置 |
| JP2009198484A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-09-03 | Nikon Corp | 撮像素子検査用照明光学系 |
| WO2009110528A1 (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-11 | シャープ株式会社 | 固体撮像装置用テストチャート及びその使用方法、チャート盤、テスト装置 |
| KR101732940B1 (ko) | 2016-08-12 | 2017-05-10 | (주) 엔이에스 | 하나 이상의 카메라 모듈 성능 검사를 위한 릴레이 렌즈 조립체 |
-
2001
- 2001-11-21 JP JP2001355669A patent/JP2003156406A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005250030A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Nikon Corp | 撮像素子検査用照明装置、撮像素子検査装置、撮像素子の検査方法、及び撮像素子の製造方法 |
| JP2005331371A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Nikon Corp | 照明補助装置及びこの照明補助装置を用いた検査装置 |
| JP2006138644A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Nikon Corp | 投影ユニット及びそれを備える撮像素子検査用照明装置 |
| JP2009019882A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Nikon Corp | 照明用アダプタ、照明装置、及び撮像素子検査用照明装置 |
| JP2009198484A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-09-03 | Nikon Corp | 撮像素子検査用照明光学系 |
| WO2009110528A1 (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-11 | シャープ株式会社 | 固体撮像装置用テストチャート及びその使用方法、チャート盤、テスト装置 |
| KR101732940B1 (ko) | 2016-08-12 | 2017-05-10 | (주) 엔이에스 | 하나 이상의 카메라 모듈 성능 검사를 위한 릴레이 렌즈 조립체 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100746114B1 (ko) | 평면형 반사성 대상물 상의 결함부를 이미징하는 이미징 시스템 | |
| JP3354131B2 (ja) | 物品表面検査用照明 | |
| JP3692685B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| KR101376632B1 (ko) | 화상 측정기 | |
| WO2005103658A1 (ja) | 欠陥検査装置およびそれを用いた基板製造システム | |
| CN114441529B (zh) | 光学摄像装置、光学检查装置以及光学检查方法 | |
| JP2004037248A (ja) | 検査装置および貫通孔の検査方法 | |
| US7471381B2 (en) | Method and apparatus for bump inspection | |
| JP2008175818A (ja) | 表面検査装置及び方法 | |
| JP2003156406A (ja) | 固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置 | |
| JP3048168B2 (ja) | 表面状態検査装置及びこれを備える露光装置 | |
| JPH05159999A (ja) | 投影露光装置 | |
| US20250383287A1 (en) | Optical apparatus, optical inspection system, and optical inspection method | |
| TWI747365B (zh) | 外觀檢查裝置 | |
| JP2008128811A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| KR20080088946A (ko) | 입체 형상 검사 장치 및 그를 이용한 입체 형상 검사 방법 | |
| JP3445047B2 (ja) | 照明装置及びそれを用いた観察装置 | |
| JP3981895B2 (ja) | 自動マクロ検査装置 | |
| JP4958663B2 (ja) | 照明用アダプタ、照明装置、及び撮像素子検査用照明装置 | |
| JPH0448250A (ja) | ヒューズ配列検査装置 | |
| JP2005164346A (ja) | 固体撮像素子照明装置及び固体撮像素子の検査方法 | |
| KR20080089314A (ko) | 입체 형상 검사 장치 및 그를 이용한 입체 형상 검사 방법 | |
| JP2000295639A (ja) | 固体撮像素子検査用照明装置及びそれに用いる調整工具 | |
| JP2004219397A (ja) | 光学系、それを備えた固体撮像素子照明装置及び固体撮像素子の検査方法 | |
| JP2008046011A (ja) | 表面検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040924 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040929 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060414 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060419 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060613 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060706 |