JP2003201968A - ダイヤフラムポンプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 ダイヤフラムポンプ切り換え弁装置のバネ機
構の長寿命化、作動安定性を図る。 【解決手段】 切り換え弁装置１９は、スリーブ２２
と、スリーブ内部を軸方向に往復動されるスプール２３
と、スプール２３に設けられてその中立位置での停止を
防止するバネ機構２７とからなり、バネ機構２７は、ス
プール２３の軸方向に対称配置された一対の揺動アーム
５４と、弁装置本体２１に設けられて一対の揺動アーム
５４の基端部を揺動可能に支承するアーム受け部材２８
と、一方の揺動アーム５４の基端部に湾曲方向一端部が
係合されかつ他方の揺動アーム５４の基端部に湾曲方向
他端部が係合されて一対の揺動アーム５４の両基端部を
介してアーム受け部材２８に支承されると共にスプール
２３の軸方向の往復動に基づき一対の揺動アーム５４の
揺動に伴って湾曲方向両端部が離反接近する方向に拡縮
される半円形状バネ部材５２とから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、送液室と作動流体
室とを画成する一対のダイヤフラムと、各ダイヤフラム
が両端部に取り付けられたセンターロッドを往復動可能
に支承する本体部と、このセンターロッドを往復動させ
るために両作動流体室への作動流体の供給切り換えを行
うための切り換え弁装置とを備えたダイヤフラムポンプ
装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ダイヤフラムポンプ装置に
は、送液室と作動流体室とを画成する一対のダイヤフラ
ムと、各ダイヤフラムの中央部が両端部に取り付けられ
たセンターロッドを往復動可能に支承する本体部と、そ
のセンターロッドを往復動させるために両作動流体室へ
の作動流体の供給切り換えを行う切り換え弁装置とを備
えているものが知られている（例えば、特公平６-３１
６５０号公報参照）。

【０００３】その切り換え弁装置は、スリーブと、この
スリーブ内部に設けられて軸方向に往復動されるスプー
ルと、このスプールの軸方向一端部に設けられてこのス
プールの中立位置での停止を防止するバネ機構（デデン
ト機構）とからなっている。この従来のダイヤフラムポ
ンプ装置では、その一方のダイヤフラム側の作動流体室
と他方のダイヤフラム側の作動流体室とに交互に作動流
体が供給され、この両作動流体室への作動流体の供給切
り換えに基づき、センターロッドが往復動されて一方の
作動流体室の容積拡大と他方の作動流体室の容積拡大と
が交互に繰り返えされ、この繰り返しにより吸い込み口
から流体が両送液室に交互に吸い込まれ、その各送液室
に吸い込まれた流体が交互に両送液室から排出され、こ
れにより吐出口から流体が連続的に吐出されるものとな
っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この従来の
ダイヤフラムポンプ装置では、その切り換え弁装置は、
そのバネ機構が、図１に示すように、弁装置本体に固定
されたバネ受け部材１と、図１、図２に示すように、ス
プール２の軸方向一端部３の軸端から挿入されて軸方向
一端部３に摺動可能に支承されると共にナット４により
抜け止めされたブッシュ部材５と、ブッシュ部材５に両
端部６aが回動可能に取り付けられかつ当接部６ｂがバ
ネ受け部材１の係合溝１aに当接支承された金属製のC形
の一対の線状バネ部材６とから構成されている。

【０００５】この従来の切り換え弁装置では、スプール
２の往復動により図３に破線で示すように線状バネ部材
６の湾曲部６ｃが荷重を受けて変形され、この線状バネ
部材６の矢印方向のバネ作用方向の転換により、スプー
ル２がその軸方向中立位置で停止するのが防止されてい
る。

【０００６】しかしながら、この従来の切り換え弁装置
では、バネ受け部材１とブッシュ部材５との間に線状バ
ネ部材６を揺動アームとして機能させるために掛け渡す
構造であり、スプール２の軸方向の往復動に基づく変形
応力が線状バネ部材６の湾曲部６ｃに集中して加わるた
め、スプール３の往復の繰り返しにより線状バネ部材６
が疲労破損するおそれがある。また、線状バネ部材６の
当接部６ｂに集中的に荷重が加わるため、バネ受け部材
１が偏摩耗し、切り換え弁装置が作動不良を起こすおそ
れもある。

【０００７】更に、この種のダイヤフラム弁装置は、今
日では、半導体製造業の分野でも使用されているが、そ
の半導体製造業の分野では、金属イオンによる生産ライ
ンの汚染は、半導体の品質に直接影響し、一旦生産ライ
ンが金属イオンに汚染されると、現にラインを流れてい
る半導体製品の廃棄のみならず、汚染ラインの洗浄及び
復旧に数時間から数日間を必要としてその間生産ライン
を停止させなければならないためにその費用が膨大とな
り、金属イオンによる汚染が極端に嫌われており、でき
るかぎりダイヤフラムポンプ装置を合成樹脂製部品で製
作することが望まれている。

【０００８】ところが、切り換え弁装置のバネ機構とし
て用いられている線状バネ部材６を合成樹脂製とする
と、合成樹脂は金属よりも強度が低いため、耐用寿命が
益々低くなるという問題がある。

【０００９】本発明は、上記の事情に鑑みて為されたも
ので、バネ機構の長寿命化、作動安定性を図ることがで
き、バネ部材を樹脂製とした場合に好適な切り換え弁装
置を有するダイヤフラムポンプ装置を提供することを目
的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のダイヤ
フラムポンプ装置は、送液室と作動流体室とを画成する
一対のダイヤフラムと、各ダイヤフラムの中央部が両端
部に取り付けられたセンターロッドを往復動可能に支承
する本体部と、前記センターロッドを往復動させるため
に両作動流体室への作動流体の供給切り換えを行う切り
換え弁装置とを備え、該切り換え弁装置は、スリーブ
と、該スリーブ内部に設けられて軸方向に往復動される
スプールと、該スプールの軸方向一端部に設けられて該
スプールの中立位置での停止を防止するバネ機構とから
なっているダイヤフラムポンプ装置において、前記バネ
機構は、前記スプールの軸方向一端部の側に自由端部が
設けられかつ前記スプールの軸方向に対称配置された一
対の揺動アームと、、弁装置本体に設けられて前記一対
の揺動アームの基端部を揺動可能に支承するアーム受け
部材と、一方の揺動アームの基端部に湾曲方向一端部が
係合されかつ他方の揺動アームの基端部に湾曲方向他端
部が係合されて前記一対の揺動アームの両基端部を介し
て前記アーム受け部材に支承されると共に前記スプール
の軸方向の往復動に基づく前記一対の揺動アームの揺動
に伴って湾曲方向両端部が離反接近する方向に拡縮され
る半円形状バネ部材とから構成されていることを特徴と
する。

【００１１】請求項２に記載のダイヤフラムポンプ装置
は、前記スプールの軸方向一端部には、該スプールの軸
方向に摺動可能で前記一対の揺動アームの自由端部が係
合されるブッシュ部材が設けられていることを特徴とす
る。

【００１２】請求項３に記載のダイヤフラムポンプ装置
は、前記半円形状バネ部材が合成樹脂からなることを特
徴とする。請求項４に記載のダイヤフラムポンプ装置
は、前記半円形状バネ部材には前記湾曲方向両端部に円
周方向に延びる切り欠き部がそれぞれ設けられ、該切り
欠きに係合する係合片を湾曲方向両端部に有して該切り
欠き部に係合されて前記半円形状バネ部材と一体になっ
て円形状を呈しかつ該一対の係合片に前記揺動アームの
基端部が係合されて該揺動アームの基端部を介して前記
アーム受け部材に支承されると共に両係合片が離反接近
される方向に拡縮される半円形状バネ部材とからなるこ
とを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】図４は本発明に係るダイヤフラム
ポンプ装置の縦断面図であり、この図４において、符号
１０はダイヤフラムポンプ装置を示している。このダイ
ヤフラムポンプ装置１０は、本体部１１と、この本体部
１１の両側に配置される一対のケーシング部材１２、１
２とから構成されている。その本体部１１の材料にはス
テンレス（SUS）が用いられ、そのステンレスの外周面
はテフロン（登録商標）材料を用いて被覆されている。
一対のケーシング部材１２、１２の材料にはテフロンが
用いられる。

【００１４】本体部１１と一対のケーシング部材１２、
１２とは水平方向に延びる６本のタイロッド１３により
一体化されている。本体部１１にはその中央にセンター
ロッド１４が往復動可能に支承されている。センターロ
ッド１４の両端部にはディスク１４a、１４ｂが設けら
れて、このディスク１４a、１４ｂに一対の円盤状のダ
イヤフラム１５が取り付けられる。

【００１５】その一対のダイヤフラム１５は湾曲形状の
隔膜部１６を有する。左方のダイヤフラム１５は送液室
１７aと作動流体室１８aとを画成する役割を果たし、右
方のダイヤフラム１５は送液室１７ｂと作動流体室１８
ｂとを画成する役割を果たす。そのダイヤフラム１５の
周辺部は一対のケーシング部材１２と本体部１１とによ
り挟持されている。

【００１６】その本体部１１には、図５に示すように切
り換え弁装置１９が取り付けネジ２０を用いて固定され
ている。その切り換え弁装置１９は、弁装置本体２１を
有する。弁装置本体２１には図６に拡大して示すように
スリーブ２２が配設されている。そのスリーブ２２内に
はスプール２３が軸方向（上下方向）に往復動可能に設
けられている。

【００１７】そのスプール２３は縮径部２３a、２３
ｂ、拡径部２３ｃ、２３ｄ、２３e、軸方向一端部２３
ｆを有する。拡径部２３ｄを境に下側の拡径部２３ｃと
拡径部２３ｄとの間の縮径部２３aの部分が下室２３ｇ
とされ、拡径部２３ｄを境に上側の拡径部２３eと拡径
部２３ｄとの間の縮径部２３ｂの部分が上室２３ｈとさ
れている。

【００１８】弁装置本体２１には拡径部２３ｃの下方に
圧力室２１aが設けられ、拡径部２３eの上方に圧力室２
１bが設けられている。その圧力室２１aには切り換え弁
装置１９が万が一に作動不良状態となったときにスプー
ル２３を駆動するためのスプール駆動ロッド機構２４が
設けられている。２５はその駆動ロッドであり、２６は
環状シールネジ部材である。なお、その駆動ロッド２５
は手動でスプール２３を軸方向に可動させる機能を果た
す。

【００１９】圧力室２１ｂにはスプール２３がその軸方
向中立位置で作動を停止するのを防止するためのバネ機
構（デデント機構）２７が設けられている。このバネ機
構２７は、アーム受け部材２８を有する。このアーム受
け部材２８は弁装置本体２１に環状シールネジ部部材２
９により固定されている。そのアーム受け部材２８の詳
細構造については後述する。

【００２０】弁装置本体２１には作動流体としての圧縮
空気を供給する供給通路３０a〜３０ｄが設けられてい
る。スリーブ２２にはポート２２a〜２２eが設けられて
いる。供給通路３０aはオリフィス３１を介して圧力室
２１aに連通されている。供給通路３０ｄはオリフィス
３２を介して圧力室２１ｂに連通されている。供給通路
３０ｂはポート２２aに連通され、供給通路３０ｃはポ
ート２２ｂに連通されている。

【００２１】ケーシング１２部材には図４に示すように
連通口３３a、３３ｂが設けられている。連通口３３aは
ポート２２ｃに通路２２ｃ´を介して連通され、連通口
３３ｂはポート２２eに通路２２e´を介して連通されて
いる。その連通口３３a、３３ｂは圧縮空気を作動流体
室１８a、１８ｂに供給する役割と作動流体室１８a、１
８ｂ内の圧縮空気をポート２２ｄを介して大気に放出す
る役割とを果たす。

【００２２】図６には、ポート２２aが開成されると共
にポート２２aが下室２３ｇを介してポート２２ｃに連
通され、かつ、ポート２２ｂが閉成されると共にポート
２２eとポート２２ｄとが上室２３ｈを介して連通され
ている状態が示されている。

【００２３】ケーシング部材１２には切り換え圧減圧室
３４a、３４ｂが図７に拡大して示すように設けられて
いる。この切り換え圧減圧室３４aには圧力室２１ｂの
圧縮空気が連通路３５ｂを介して供給される。切り換え
圧減圧室３４ｂには圧力室２１aの圧縮空気が連通路３
５aを介して供給される。その切り換え圧減圧室３４a、
３４ｂにはプッシュロッド３５a、３５ｂが設けられて
いる。そのプッシュロッド３５a、３５ｂはセンターロ
ッド１４のディスク１４a、１４ｂに当接可能に臨まさ
れている。そのプッシュロッド３５a、３５ｂには弁体
３６が設けられている。切り換え圧減圧室３４a、３４
ｂは弁体３６を介して開閉可能に連通されている。ケー
シング部材１２にはそのプッシュロッド３５a、３５ｂ
の先端を作動流体室１８a、１８ｂに向けて突出させる
方向に付勢する付勢バネ３７a、３７ｂが設けられてい
る。弁体３６はディスク１４a、１４ｂがプッシュロッ
ド３５a、３５ｂに当接することにより開成されて、切
り換え圧減圧室３４a、３４ｂと作動流体室１８a、１８
ｂとがそれぞれ連通される。スリーブ２２のポート２２
ｄは通路２２ｄ´を介して大気に連通されている。

【００２４】本体部１１には吸い込み口３８と吐出口３
９とが図５に示すように設けられている。吸い込み口３
８はチェック弁としての機能するボール４０、４１が配
設された管路４２、４３に連通されている。その管路４
２、４３には弁座４４、４５が設けられ、ボール４０、
４１はその弁座４４、４５の開口４４a、４５aを開閉す
る役割を果たす。その管路４２は送液室１７aに連通さ
れ、その管路４３は送液室１７bに連通されている。

【００２５】吐出口３９にはチェック弁として機能する
ボール４６、４７が配設された管路５０、５１に連通さ
れている。管路５０、５１には弁座４８、４９が設けら
れ、ボール４６、４７はその弁座４８、４９の開口４８
a、４９aを開閉する役割を果たす。その管路５０は送液
室１７aに連通され、その管路５１は送液室１７ｂに連
通されている。

【００２６】バネ機構２７は図６に示すように半円形状
バネ部材５２、一対の揺動アーム５４、ブッシュ部材５
５を有する。これらの半円形状バネ部材５２、揺動アー
ム５４、ブッシュ部材５５はダイヤフラムポンプ装置１
０を半導体製造業の分野に用いる場合には、なるべく合
成樹脂製とすることが望ましい。

【００２７】アーム受け部材２８には、図８に示すよう
に、半円形状バネ部材５２が設置される設置空間５６が
形成されている。揺動アーム５４は図１３に示すように
肉厚の長方形状平板からなり、その一方の辺部は回動基
端部５４aとされてその回動基端部５４aには図１３、図
１４に示すように支承軸５４ｂ、５４ｂが形成されてい
る。他方の辺部は自由端部５４ｃとされている。

【００２８】ブッシュ部材５５は図１５、図１６に示す
ようにスプール２３の軸方向一端部２３ｆが挿通される
挿通穴５５a、挿通用切り欠き５５ｂを有する。このブ
ッシュ部材５５はスプール２３の軸方向に摺動可能とさ
れ、軸方向一端部２３ｆの頭部５７´によりスプール２
３から脱落しないようにされている。そのブッシュ部材
５５にはスプール２３の軸線を境に対称位置に一対の係
合溝５５ｃ、５５ｃが形成されている。この係合溝５５
ｃ、５５ｃには揺動アーム５４の自由端部５４ｃが係合
される。

【００２９】そのアーム受け部材２８には、図９〜図１
１に示すように、スプール２３の軸方向一端部２３ｆが
貫通する貫通穴５７が形成されると共に、図８、図９、
図１１、図１２に示すように、一対の揺動アーム５４の
支承軸５４ｂ、５４ｂを回動可能に支承する一対の支承
溝５８、５８が形成されている。一対の支承溝５８、５
８はスプール２３の軸線方向対称位置に配設されてい
る。その一対の揺動アーム５４はその支承溝５８、５８
に支承軸５４ｂを係合支承させつつ設置空間５６内に挿
入されて、その自由端部５４ｃがブッシュ部材５５の係
合溝５５ｃ、５５ｃに係合される。

【００３０】半円形状バネ部材５２は図１７〜図１９に
示すように半円形状湾曲板から形成されている。その半
円形状湾曲板は図１８に示すように上面から見た場合に
直方形状を呈しており、その湾曲方向中間部５２aから
両側に向かって延びる湾曲方向両端部５２ｂ、５２ｂに
はその内周面側に係合溝５２ｃ、５２ｃが形成されてい
る。その係合溝５２ｃ、５２ｃには揺動アーム５４の回
動基端部５４a、５４aが係合される。

【００３１】その半円形状バネ部材５２はこの回動基端
部５４a、５４aを介してアーム受け部材２８に間接的
に、すなわち、アーム受け部材２８に対して浮いた状態
で支承される。この半円形状バネ部材５２はスプール２
３の軸方向の往復動に基づく一対の揺動アーム５４の揺
動に伴って、両湾曲端部５２ｂ、５２ｂが図１９に破線
で示す示すように離反接近する方向に拡縮され、これに
よって、バネ力が蓄積解放され、そのバネの作用方向が
転換される。

【００３２】すなわち、図６に示すように、スプール２
３が矢印X方向に往動されると、その湾曲方向両端部５
２ｂ、５２ｂには揺動アーム５４、５４によって半円形
状バネ部材５２の中心から半径方向外側に向かう力が作
用し、半円形状バネ部材５２はその湾曲方向中間部５２
aを中心にして外側に変形し、これにより半円形状バネ
部材５２にバネ力が蓄積される。その半円形状バネ部材
５２は全体的に変形するので局所的に応力が集中するの
が防止され、疲労の減少が図られる。また、湾曲方向両
端部５２ｂ、５２ｂには半径方向から垂直に揺動アーム
５４による力が加わるので、その偏摩耗も低減される。

【００３３】次に、このダイヤフラムポンプ装置１の作
用を概略説明する。今、図６において、切り換え弁装置
１９のポート２２a、ポート２２ｃ、通路２２ｃ´、連
通口３３aを介して左側の作動流体室１８aに圧縮空気が
供給され、センターロッド１４が右方向へ可動中で、左
側の作動流体室１８aの容積が拡大されると同時に連通
口３３ｂ、通路２２e´、ポート２２e、ポート２２ｄ、
通路２２ｄ´を介して右側の作動流体室１８ｂ内の圧縮
空気が大気に放出され、右側の作動流体室１８ｂの容積
が縮小されつつある状態にあるものとする。すなわち、
左側の送液室１７aの容積が縮小過程にあり、右側の送
液室１７ｂの容積が拡大過程にあるものとする。

【００３４】このとき、左側の送液室１７aの圧力が増
大し、ボール４０が弁座４４に当接され、ボール４６が
弁座４８から離間され、左側の送液室１７aの流体が吐
出口3９から吐出される。一方、右側の送液室１７ｂの
圧力は減少され、ボール４１が弁座４５から離間され、
ボール４７が弁座４９に当接され、流体が吸い込み口３
８から右側の送液室１７ｂに吸い込まれる。

【００３５】ディスク１４aがプッシュロッド３５aの突
出端に当接すると、プッシュロッド３５aがバネ３７aの
付勢力に抗する方向に可動されて、弁体３６が切り換え
圧減圧室３４aを開成し、圧力室２１ｂの圧縮空気が通
路３５b、切り換え圧減圧室３４aを介して右側の作動流
体室１８ｂに流入し、連通口３３ｂを経て大気に放出さ
れる。

【００３６】圧力室２１a、２１ｂには均等に圧縮空気
の圧力が加わっているが、オリフィス３２による空気供
給量よりも、切り換え圧減圧室３４a、作動流体室１８
ｂ、連通口３３ｂ、通路２２e´、ポート２２e、２２ｄ
を介して大気に放出される空気の量が多いので、圧力室
２１a、圧力室２１ｂの圧力バランスがくずれ、圧力室
２１ｂの圧力が低くなる。従って、スプール２３が瞬時
に上方向に可動され、ポート２２ｂが開かれ、ポート２
２aが閉じられる。これにより、圧縮空気がポート２２
ｂ、ポート２２e、通路２２e´、連通口３３ｂを経由し
て右側の作動流体室１８ｂに供給されて、右側の作動流
体室１８ｂの容積が拡大される。これにより、センター
ロッド１４が左方向に可動される。

【００３７】その際、スプール２３の軸方向中立位置に
対してバネ機構２７の中立位置とがブッシュ部材５５に
よってオフセットされ、かつ、ブッシュ部材５５がスプ
ール２３に連動して軸方向に摺動する構造となっている
ので、揺動アーム５４の揺動抵抗によりスプール２３の
運動が抑制されることが防止される。

【００３８】

【変形例】図２０に示すように、半円形状バネ部材５２
には、湾曲方向両端部５２ｂ、５２ｂに円周方向に延び
る切り欠き６０、６０が形成されている。この半円形状
バネ部材５２には、半円形状バネ部材６１が係合される
ものである。半円形状バネ部材６１にはその切り欠き６
０、６０に係合する係合片６２、６２が湾曲方向両端部
６１a、６１aに形成されている。その係合片６２、６２
には揺動アーム５４の回動基端部５４aが係合される係
合溝６１ｂ、６１ｂが形成されている。その半円形状バ
ネ部材６１は、揺動アーム５４の回動基端部５４aを介
してアーム受け部材２８に支承されると共に、スプール
２３の往復動に基づき両係合片６２、６２が離反接近さ
れる方向に拡縮されるものとなっている。その半円形状
バネ部材６１には、図２１に示すようにスプール２３の
軸方向一端部２３ｆが貫通する貫通孔６３が形成されて
いる。この半円形状バネ部材６１は半円形状バネ部材５
２に係合されて全体として円形状のバネ部材を呈するも
のである。

【００３９】このものによれば、スプール２３の往復動
に基づき両半円形状バネ部材５２、６１の両湾曲端部５
２ｂ、５２ｂ、６１a、６１aが離反接近する方向に拡縮
されるので、バネの作用力を発明の実施の形態に較べて
高めることができる。

【００４０】

【発明の効果】請求項１ないし請求項４に記載の発明に
よれば、バネ機構の長寿命化、作動安定性を図ることが
でき、バネを樹脂製とした場合に好適な切り換え弁装置
とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 従来の切り換え弁装置のバネ機構の構成を示
す部分側面図である。

【図２】 図１に示すバネ機構の構成を示す分解斜視図
である。

【図３】 図１に示すバネ機構を矢印Y方向から目視し
た図である。

【図４】 本発明に係るダイヤフラムポンプ装置の縦段
面図である。

【図５】 図4の矢印A-A線に沿う断面図である。

【図６】 図５に示す切り換え弁装置の部分拡大断面図
である。

【図７】 図５に示す切り換え圧減圧室の部分拡大図で
ある。

【図８】 アーム受け部材の正面図である。

【図９】 図８に示す矢印B-B線に沿う断面図である。

【図１０】 図８に示すアーム受け部材の平面図であ
る。

【図１１】 図１０に示す矢印C-C線に沿う断面図であ
る。

【図１２】 図８に示すアーム受け部材の側面図であ
る。

【図１３】 図６に示す揺動アームの平面図である。

【図１４】 図６に示す揺動アームの側面図である。

【図１５】 図６に示すブッシュ部材の縦断面図であ
る。

【図１６】 図６に示すブッシュ部材の平面図である。

【図１７】 図６に示す半円形状バネ部材の側面図であ
る。

【図１８】 図６に示す半円形状バネ部材の平面図であ
る。

【図１９】 図６に示すバネ機構の分解斜視図である。

【図２０】 本発明のバネ機構の変形例を示す図であっ
て、スリーブとアーム受け部材と半円形状バネ部材とス
プールとの組み付け関係を示す平面図である。

【図２１】 図２０の矢印D-D線に沿う断面図である。

【符号の説明】

１０ ダイヤフラムポンプ装置 １１ 本体部 １４ センターロッド １５ ダイヤフラム １９ 切り換え弁装置 ２２ スリーブ ２３ スプール ２７ バネ機構 ２８ アーム受け部材 ５２ 半円形状バネ部材 ５４ 揺動アーム

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H075 AA01 BB04 BB16 BB20 BB21 CC18 CC19 CC20 CC40 DB10 DB44 3H077 AA01 BB03 CC02 CC17 DD09 DD14 EE21 EE22 EE23 EE40 FF22 FF45 FF49 3J059 AB06 AB11 BA15 BC04 BD01 CB02

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 送液室と作動流体室とを画成する一対の
   ダイヤフラムと、各ダイヤフラムの中央部が両端部に取
   り付けられたセンターロッドを往復動可能に支承する本
   体部と、前記センターロッドを往復動させるために両作
   動流体室への作動流体の供給切り換えを行う切り換え弁
   装置とを備え、該切り換え弁装置は、スリーブと、該ス
   リーブ内部に設けられて軸方向に往復動されるスプール
   と、該スプールの軸方向一端部に設けられて該スプール
   の中立位置での停止を防止するバネ機構とからなってい
   るダイヤフラムポンプ装置において、前記バネ機構は、
   前記スプールの軸方向一端部の側に自由端部が設けられ
   かつ前記スプールの軸方向に対称配置された一対の揺動
   アームと、、弁装置本体に設けられて前記一対の揺動ア
   ームの基端部を揺動可能に支承するアーム受け部材と、
   一方の揺動アームの基端部に湾曲方向一端部が係合され
   かつ他方の揺動アームの基端部に湾曲方向他端部が係合
   されて前記一対の揺動アームの両基端部を介して前記ア
   ーム受け部材に支承されると共に前記スプールの軸方向
   の往復動に基づく前記一対の揺動アームの揺動に伴って
   湾曲方向両端部が離反接近する方向に拡縮される半円形
   状バネ部材とから構成されていることを特徴とするダイ
   ヤフラムポンプ装置。
2. 【請求項２】 前記スプールの軸方向一端部には、該ス
   プールの軸方向に摺動可能で前記一対の揺動アームの自
   由端部が係合されるブッシュ部材が設けられていること
   を特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムポンプ装
   置。
3. 【請求項３】 前記半円形状バネ部材が合成樹脂からな
   ることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のダイ
   ヤフラムポンプ装置。
4. 【請求項４】 前記半円形状バネ部材には前記湾曲方向
   両端部に円周方向に延びる切り欠き部がそれぞれ設けら
   れ、該切り欠きに係合する係合片を湾曲方向両端部に有
   して該切り欠き部に係合されて前記半円形状バネ部材と
   一体になって円形状を呈しかつ該一対の係合片に前記揺
   動アームの基端部が係合されて該揺動アームの基端部を
   介して前記アーム受け部材に支承されると共に両係合片
   が離反接近される方向に拡縮される半円形状バネ部材と
   からなることを特徴とする請求項１ないし請求項３のい
   ずれか１項に記載のダイヤフラムポンプ装置。