JP2003218655A - 高周波電源の進行波電力制御方法及び高周波電源装置 - Google Patents
高周波電源の進行波電力制御方法及び高周波電源装置Info
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Landscapes
- Amplifiers (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最
大定格温度Ｔｊｍａｘを超えて増幅素子の破壊を招いて
しまうことなく、進行波電力の出力開始直後の進行波電
力の抑制を緩和する。 【解決手段】 進行波電力ＰＦの出力開始時から定めら
れた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは電力抑制基準
しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな電力抑制緩和しきい
値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、出
力する進行波電力ＰＦの大きさが電力目標値となるよう
に制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを進行波電力
設定信号Ｖｓｅｔ及び反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電
力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電
力抑制信号Ｖｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによ
って求めて出力する高周波電源の進行波電力制御方法及
び高周波電源装置である。
大定格温度Ｔｊｍａｘを超えて増幅素子の破壊を招いて
しまうことなく、進行波電力の出力開始直後の進行波電
力の抑制を緩和する。 【解決手段】 進行波電力ＰＦの出力開始時から定めら
れた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは電力抑制基準
しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな電力抑制緩和しきい
値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、出
力する進行波電力ＰＦの大きさが電力目標値となるよう
に制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを進行波電力
設定信号Ｖｓｅｔ及び反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電
力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電
力抑制信号Ｖｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによ
って求めて出力する高周波電源の進行波電力制御方法及
び高周波電源装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプラズマエ
ッチングを行うプラズマ処理装置等に電力を供給する高
周波電源装置に関するものである。
ッチングを行うプラズマ処理装置等に電力を供給する高
周波電源装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は、高周波電源装置ＨＰ及びその周
辺装置の一例を示すブロック図である。高周波電源装置
ＨＰは、電力伝送線路２及び整合装置３及び電力伝送線
路４を介して、負荷となるプラズマ処理装置５に高周波
電力を供給するための電源装置である。なお、一般にこ
の種の高周波電源装置では、数百ｋＨｚ以上の周波数の
高周波電力を出力している。整合装置３は、高周波電源
装置ＨＰの高周波電力出力部から内部を見た出力インピ
ーダンスＺｏ（通常は５０Ωにしていることが多い）
と、高周波電源装置ＨＰの高周波電力出力部から負荷側
を見た負荷側インピーダンスＺＬ（電力伝送線路２及び
整合装置３及び電力伝送線路４及びプラズマ処理装置５
のインピーダンス）とを整合させるための装置である。
この整合装置３は、例えば、内部に可変コンデンサ、可
変インダクタ等の可変インピーダンス素子を備えてい
て、内部のインピーダンスを変化させることによって負
荷側インピーダンスＺＬを変化させる。
辺装置の一例を示すブロック図である。高周波電源装置
ＨＰは、電力伝送線路２及び整合装置３及び電力伝送線
路４を介して、負荷となるプラズマ処理装置５に高周波
電力を供給するための電源装置である。なお、一般にこ
の種の高周波電源装置では、数百ｋＨｚ以上の周波数の
高周波電力を出力している。整合装置３は、高周波電源
装置ＨＰの高周波電力出力部から内部を見た出力インピ
ーダンスＺｏ（通常は５０Ωにしていることが多い）
と、高周波電源装置ＨＰの高周波電力出力部から負荷側
を見た負荷側インピーダンスＺＬ（電力伝送線路２及び
整合装置３及び電力伝送線路４及びプラズマ処理装置５
のインピーダンス）とを整合させるための装置である。
この整合装置３は、例えば、内部に可変コンデンサ、可
変インダクタ等の可変インピーダンス素子を備えてい
て、内部のインピーダンスを変化させることによって負
荷側インピーダンスＺＬを変化させる。
【０００３】プラズマ処理装置５は、ワーク加工部を備
え、そのワーク加工部の内部に搬入したウエハ、液晶基
板等のワークを加工（エッチング、ＣＶＤ等）するため
の装置である。このプラズマ処理装置５は、ワークを加
工するために、ワーク加工部にプラズマ放電用ガスを導
入し、そのプラズマ放電用ガスに高周波電源装置ＨＰか
ら供給された高周波電力（電圧）を印加することによっ
て、上記のプラズマ放電用ガスを放電（以下、プラズマ
放電という）させて非プラズマ状態からプラズマ状態に
している。そして、プラズマ状態になったガスを利用し
てワークを加工している。
え、そのワーク加工部の内部に搬入したウエハ、液晶基
板等のワークを加工（エッチング、ＣＶＤ等）するため
の装置である。このプラズマ処理装置５は、ワークを加
工するために、ワーク加工部にプラズマ放電用ガスを導
入し、そのプラズマ放電用ガスに高周波電源装置ＨＰか
ら供給された高周波電力（電圧）を印加することによっ
て、上記のプラズマ放電用ガスを放電（以下、プラズマ
放電という）させて非プラズマ状態からプラズマ状態に
している。そして、プラズマ状態になったガスを利用し
てワークを加工している。
【０００４】電力伝送線路２及び電力伝送線路４は、電
力を伝送するための線路であり、例えば、同軸ケーブ
ル、導波管、銅板、同軸管等が用いられる。
力を伝送するための線路であり、例えば、同軸ケーブ
ル、導波管、銅板、同軸管等が用いられる。
【０００５】ここで、図２に示した高周波電源装置ＨＰ
の出力インピーダンスＺｏと負荷側インピーダンスＺＬ
とが整合（以下、インピーダンス整合という）している
ときは、高周波電源装置ＨＰから出力された高周波電力
が効率よくプラズマ処理装置５に供給される（以下、プ
ラズマ処理装置５等の負荷に供給される電力を負荷電力
という）。
の出力インピーダンスＺｏと負荷側インピーダンスＺＬ
とが整合（以下、インピーダンス整合という）している
ときは、高周波電源装置ＨＰから出力された高周波電力
が効率よくプラズマ処理装置５に供給される（以下、プ
ラズマ処理装置５等の負荷に供給される電力を負荷電力
という）。
【０００６】しかし、プラズマ処理装置５の内部インピ
ーダンスがプラズマ放電の状態によって変動するため
に、高周波電源装置ＨＰから見た負荷側インピーダンス
ＺＬは、整合時に比べて、高インピーダンス又は低イン
ピーダンスに変動する。そうなると、出力インピーダン
スＺｏと負荷側インピーダンスＺＬとが整合しない状態
になるので、高周波電源装置ＨＰから出力されてプラズ
マ処理装置５に向かう高周波電力（以下、進行波電力と
いう）の一部又は全部が反射してプラズマ処理装置５か
ら高周波電源装置ＨＰに向かう反射波電力ＰＲが発生す
る。
ーダンスがプラズマ放電の状態によって変動するため
に、高周波電源装置ＨＰから見た負荷側インピーダンス
ＺＬは、整合時に比べて、高インピーダンス又は低イン
ピーダンスに変動する。そうなると、出力インピーダン
スＺｏと負荷側インピーダンスＺＬとが整合しない状態
になるので、高周波電源装置ＨＰから出力されてプラズ
マ処理装置５に向かう高周波電力（以下、進行波電力と
いう）の一部又は全部が反射してプラズマ処理装置５か
ら高周波電源装置ＨＰに向かう反射波電力ＰＲが発生す
る。
【０００７】通常は、整合装置３によってインピーダン
ス整合をさせるために、整合状態に戻るが、非整合状態
から整合状態になるまでの間は、反射波電力が発生する
ことになる。また、整合装置３の調整が最適でない場合
等は、非整合状態が続くこともある。このように、何ら
かの理由で発生した反射波電力は、高周波電源装置ＨＰ
内に戻る（反射入力される）。
ス整合をさせるために、整合状態に戻るが、非整合状態
から整合状態になるまでの間は、反射波電力が発生する
ことになる。また、整合装置３の調整が最適でない場合
等は、非整合状態が続くこともある。このように、何ら
かの理由で発生した反射波電力は、高周波電源装置ＨＰ
内に戻る（反射入力される）。
【０００８】図３は、後述する定電圧出力直流電源回路
ＤＰＳ１を使用した従来技術の定直流電圧入力高周波電
源装置ＨＰ１（以下、高周波電源装置ＨＰ１という）の
構成を示すブロック図である。発振回路ＯＳＣは、所定
の高周波電圧（高周波信号）ＡＣ１を出力する。なお、
ここで言う高周波信号とは、正弦波信号に限らず、例え
ば、矩形波信号、三角波信号等も含む。電力調整回路Ａ
ＤＪは、発振回路ＯＳＣから出力される高周波電圧ＡＣ
１と後述する出力設定演算回路ＣＡＬから出力される電
力制御信号Ｖｃｏｎｔとを入力し、入力した電力制御信
号Ｖｃｏｎｔのレベルによって、発振回路ＯＳＣから出
力される高周波電圧ＡＣ１の振幅又はデューティサイク
ルを増減させた高周波電圧（高周波信号）ＡＣ２を出力
する。
ＤＰＳ１を使用した従来技術の定直流電圧入力高周波電
源装置ＨＰ１（以下、高周波電源装置ＨＰ１という）の
構成を示すブロック図である。発振回路ＯＳＣは、所定
の高周波電圧（高周波信号）ＡＣ１を出力する。なお、
ここで言う高周波信号とは、正弦波信号に限らず、例え
ば、矩形波信号、三角波信号等も含む。電力調整回路Ａ
ＤＪは、発振回路ＯＳＣから出力される高周波電圧ＡＣ
１と後述する出力設定演算回路ＣＡＬから出力される電
力制御信号Ｖｃｏｎｔとを入力し、入力した電力制御信
号Ｖｃｏｎｔのレベルによって、発振回路ＯＳＣから出
力される高周波電圧ＡＣ１の振幅又はデューティサイク
ルを増減させた高周波電圧（高周波信号）ＡＣ２を出力
する。
【０００９】通常は、整合装置３によってインピーダン
ス整合をさせるために、整合状態に戻るが、非整合状態
から整合状態になるまでの間は、反射波電力が発生する
ことになる。また、整合装置３の調整が最適でない場合
等は、非整合状態が続くこともある。このように、何ら
かの理由で発生した反射波電力は、高周波電源装置ＨＰ
内に戻る。
ス整合をさせるために、整合状態に戻るが、非整合状態
から整合状態になるまでの間は、反射波電力が発生する
ことになる。また、整合装置３の調整が最適でない場合
等は、非整合状態が続くこともある。このように、何ら
かの理由で発生した反射波電力は、高周波電源装置ＨＰ
内に戻る。
【００１０】この電力調整回路ＡＤＪには、例えば、ミ
キサ、デュアルゲートＦＥＴ、ピンダイオードアッテネ
ータ等を用いた振幅制御回路や専用ＩＣ等を用いたＰＷ
Ｍ制御回路が用いられる。ミキサは、高周波電圧（高周
波信号）ＡＣ１に直流電圧（電力制御信号Ｖｃｏｎｔ）
をかけ合わせて、直流電圧レベルに依存する振幅の出力
が得られる素子である。デュアルゲートＦＥＴは、ゲー
トが２端子あり、一方に高周波電圧（高周波信号）ＡＣ
１、他方に直流電圧（電力制御信号Ｖｃｏｎｔ）を入力
する。直流電圧レベルによってＦＥＴのゲインが変化し
出力を調整できる素子である。ピンダイオードアッテネ
ータは、電圧制御による可変減衰器であり、高周波電圧
（高周波信号）ＡＣ１に対する減衰率を、入力する直流
電圧レベル（電力制御信号Ｖｃｏｎｔ）によって変化さ
せることができる。ＰＷＭ制御回路は、高周波信号ＡＣ
１（正弦波信号とは限らない）と直流電圧（電力制御信
号Ｖｃｏｎｔ）とを入力し、入力された直流電圧レベル
に依存して出力波形のデューティサイクルが変化する。
出力電力は、出力波形のデューティサイクルによって決
まる。
キサ、デュアルゲートＦＥＴ、ピンダイオードアッテネ
ータ等を用いた振幅制御回路や専用ＩＣ等を用いたＰＷ
Ｍ制御回路が用いられる。ミキサは、高周波電圧（高周
波信号）ＡＣ１に直流電圧（電力制御信号Ｖｃｏｎｔ）
をかけ合わせて、直流電圧レベルに依存する振幅の出力
が得られる素子である。デュアルゲートＦＥＴは、ゲー
トが２端子あり、一方に高周波電圧（高周波信号）ＡＣ
１、他方に直流電圧（電力制御信号Ｖｃｏｎｔ）を入力
する。直流電圧レベルによってＦＥＴのゲインが変化し
出力を調整できる素子である。ピンダイオードアッテネ
ータは、電圧制御による可変減衰器であり、高周波電圧
（高周波信号）ＡＣ１に対する減衰率を、入力する直流
電圧レベル（電力制御信号Ｖｃｏｎｔ）によって変化さ
せることができる。ＰＷＭ制御回路は、高周波信号ＡＣ
１（正弦波信号とは限らない）と直流電圧（電力制御信
号Ｖｃｏｎｔ）とを入力し、入力された直流電圧レベル
に依存して出力波形のデューティサイクルが変化する。
出力電力は、出力波形のデューティサイクルによって決
まる。
【００１１】定電圧出力直流電源回路ＤＰＳ１（以下、
直流電源回路ＤＰＳ１という）は、後述する電力増幅回
路ＡＭＰ１において、小電力から大電力への増幅のため
の電力供給源である。図３の場合の直流電源回路ＤＰＳ
１は、出力電圧値が一定で、出力電流値が変化する定電
圧出力電圧（以下、出力電圧ＤＣ１という）を出力す
る。
直流電源回路ＤＰＳ１という）は、後述する電力増幅回
路ＡＭＰ１において、小電力から大電力への増幅のため
の電力供給源である。図３の場合の直流電源回路ＤＰＳ
１は、出力電圧値が一定で、出力電流値が変化する定電
圧出力電圧（以下、出力電圧ＤＣ１という）を出力す
る。
【００１２】電力増幅回路ＡＭＰ１は、電力調整回路Ａ
ＤＪから出力される電力（電圧で表しても可）を増幅し
て進行波電力ＰＦを出力する。この電力増幅回路ＡＭＰ
１の増幅素子には、例えば、ＦＥＴ（電界効果トランジ
スタ），バイポーラトランジスタが用いられている。そ
して、ＦＥＴ等を用いた電力増幅回路ＡＭＰ１のドレイ
ン（バイポーラトランジスタの場合はコレクタ）に直流
電圧を印加し、ＦＥＴのゲート（バイポーラトランジス
タの場合はベース）に電力調整回路ＡＤＪから出力され
る高周波電圧ＡＣ２を入力することによって、電力増幅
回路ＡＭＰ１の入力部よりも大きな電力を得ることがで
きる。なお、増幅率は一定ではなく、出力電力に依存す
る。
ＤＪから出力される電力（電圧で表しても可）を増幅し
て進行波電力ＰＦを出力する。この電力増幅回路ＡＭＰ
１の増幅素子には、例えば、ＦＥＴ（電界効果トランジ
スタ），バイポーラトランジスタが用いられている。そ
して、ＦＥＴ等を用いた電力増幅回路ＡＭＰ１のドレイ
ン（バイポーラトランジスタの場合はコレクタ）に直流
電圧を印加し、ＦＥＴのゲート（バイポーラトランジス
タの場合はベース）に電力調整回路ＡＤＪから出力され
る高周波電圧ＡＣ２を入力することによって、電力増幅
回路ＡＭＰ１の入力部よりも大きな電力を得ることがで
きる。なお、増幅率は一定ではなく、出力電力に依存す
る。
【００１３】なお、この図３では、発振回路ＯＳＣと電
力調整回路ＡＤＪと直流電源回路ＤＰＳ１と電力増幅回
路ＡＭＰ１とによって進行波電力ＰＦを出力する電力出
力手段ＰＯＵＴが構成されている。
力調整回路ＡＤＪと直流電源回路ＤＰＳ１と電力増幅回
路ＡＭＰ１とによって進行波電力ＰＦを出力する電力出
力手段ＰＯＵＴが構成されている。
【００１４】出力電力設定回路ＳＥＴは、電力出力手段
ＰＯＵＴから出力する進行波電力ＰＦの大きさ（以下、
進行波電力値ＰＦという）の設定値を設定する回路であ
り、この設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
を出力する。なお、進行波電力設定信号Ｖｓｅｔの大き
さを、以下、進行波電力設定信号値Ｖｓｅｔという。
ＰＯＵＴから出力する進行波電力ＰＦの大きさ（以下、
進行波電力値ＰＦという）の設定値を設定する回路であ
り、この設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
を出力する。なお、進行波電力設定信号Ｖｓｅｔの大き
さを、以下、進行波電力設定信号値Ｖｓｅｔという。
【００１５】進行波・反射波電力検出器ＤＥＴ（以下、
電力検出器ＤＥＴという）は、電力出力手段ＰＯＵＴか
ら出力される進行波電力値ＰＦ及び高周波電源装置ＨＰ
１の外部から戻ってくる反射波電力ＰＲの大きさ（以
下、反射波電力値ＰＲという）を検出し、進行波電力に
相当する進行波電力検出信号Ｖｐｆを出力するととも
に、反射波電力に相当する反射波電力検出信号Ｖｐｒを
出力する。この電力検出器ＤＥＴには、例えば、方向性
結合器が用いられる。なお、電力検出器ＤＥＴから出力
される進行波電力ＰＦ及び高周波電源装置ＨＰ１の外部
から戻ってくる反射波電力ＰＲは、電力検出器ＤＥＴの
内部をそのままの大きさで通過するか又は殆ど減衰する
ことなく通過する。
電力検出器ＤＥＴという）は、電力出力手段ＰＯＵＴか
ら出力される進行波電力値ＰＦ及び高周波電源装置ＨＰ
１の外部から戻ってくる反射波電力ＰＲの大きさ（以
下、反射波電力値ＰＲという）を検出し、進行波電力に
相当する進行波電力検出信号Ｖｐｆを出力するととも
に、反射波電力に相当する反射波電力検出信号Ｖｐｒを
出力する。この電力検出器ＤＥＴには、例えば、方向性
結合器が用いられる。なお、電力検出器ＤＥＴから出力
される進行波電力ＰＦ及び高周波電源装置ＨＰ１の外部
から戻ってくる反射波電力ＰＲは、電力検出器ＤＥＴの
内部をそのままの大きさで通過するか又は殆ど減衰する
ことなく通過する。
【００１６】しきい値固定の反射保護回路ＰＲＴｐは、
電力検出器ＤＥＴから出力される反射波電力検出信号Ｖ
ｐｒを入力し、この反射波電力検出信号Ｖｐｒに応じて
変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する。この電力抑
制信号Ｖｓｕｂは、電力出力手段ＰＯＵＴから出力する
進行波電力値ＰＦを抑制するための信号である。なお、
電力抑制信号Ｖｓｕｂの大きさを、以下、電力抑制信号
値Ｖｓｕｂという。なお、進行波電力ＰＦの設定値か
ら、この電力抑制信号値Ｖｓｕｂに相当する電力値を減
算した電力値が電力目標値となる。また、電力目標値に
相当する信号（以下、電力目標値信号Ｖｔｐという）の
大きさ（以下、電力目標値信号値Ｖｔｐという）は、Ｋ
１を比例定数として次式で表される。 Ｖｔｐ＝Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｓｕｂ） このしきい値固定の反射保護回路ＰＲＴｐの回路構成に
ついては、図５を参照して後述する。
電力検出器ＤＥＴから出力される反射波電力検出信号Ｖ
ｐｒを入力し、この反射波電力検出信号Ｖｐｒに応じて
変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する。この電力抑
制信号Ｖｓｕｂは、電力出力手段ＰＯＵＴから出力する
進行波電力値ＰＦを抑制するための信号である。なお、
電力抑制信号Ｖｓｕｂの大きさを、以下、電力抑制信号
値Ｖｓｕｂという。なお、進行波電力ＰＦの設定値か
ら、この電力抑制信号値Ｖｓｕｂに相当する電力値を減
算した電力値が電力目標値となる。また、電力目標値に
相当する信号（以下、電力目標値信号Ｖｔｐという）の
大きさ（以下、電力目標値信号値Ｖｔｐという）は、Ｋ
１を比例定数として次式で表される。 Ｖｔｐ＝Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｓｕｂ） このしきい値固定の反射保護回路ＰＲＴｐの回路構成に
ついては、図５を参照して後述する。
【００１７】出力設定演算回路ＣＡＬは、進行波電力設
定信号Ｖｓｅｔと電力抑制信号Ｖｓｕｂと進行波電力検
出信号Ｖｐｆとを入力し、電力出力手段ＰＯＵＴから出
力する進行波電力値ＰＦが、電力目標値となるように、
電力出力手段ＰＯＵＴから出力する進行波電力値ＰＦを
制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する。な
お、電力制御信号Ｖｃｏｎｔの大きさ（以下、電力制御
信号値Ｖｃｏｎｔという）は、Ｋ１及びＫ２を比例定数
として次式で表すことができる。また、次式の各信号値
は絶対値で表した値である。 Ｖｃｏｎｔ＝Ｋ２×（Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｓｕｂ）−Ｖｐｆ） ＝Ｋ２×（Ｖｔｐ−Ｖｐｆ） この出力設定演算回路ＣＡＬの回路構成については、図
６を参照して後述する。なお、この図３では、しきい値
固定の反射保護回路ＰＲＴｐと出力設定演算回路ＣＡＬ
と出力電力設定回路ＳＥＴとによって進行波電力ＰＦを
制御する電力制御手段ＰＣＯＮが構成されている。
定信号Ｖｓｅｔと電力抑制信号Ｖｓｕｂと進行波電力検
出信号Ｖｐｆとを入力し、電力出力手段ＰＯＵＴから出
力する進行波電力値ＰＦが、電力目標値となるように、
電力出力手段ＰＯＵＴから出力する進行波電力値ＰＦを
制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する。な
お、電力制御信号Ｖｃｏｎｔの大きさ（以下、電力制御
信号値Ｖｃｏｎｔという）は、Ｋ１及びＫ２を比例定数
として次式で表すことができる。また、次式の各信号値
は絶対値で表した値である。 Ｖｃｏｎｔ＝Ｋ２×（Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｓｕｂ）−Ｖｐｆ） ＝Ｋ２×（Ｖｔｐ−Ｖｐｆ） この出力設定演算回路ＣＡＬの回路構成については、図
６を参照して後述する。なお、この図３では、しきい値
固定の反射保護回路ＰＲＴｐと出力設定演算回路ＣＡＬ
と出力電力設定回路ＳＥＴとによって進行波電力ＰＦを
制御する電力制御手段ＰＣＯＮが構成されている。
【００１８】電力調整回路ＡＤＪは、前述したように、
出力設定演算回路ＣＡＬから出力される電力制御信号Ｖ
ｃｏｎｔのレベルによって、高周波電圧ＡＣ２の出力値
を増減させているので、図３のような構成にすることに
よって、進行波電力ＰＦの出力値をフィードバック制御
させている。すなわち、出力設定演算回路ＣＡＬから出
力する電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって、電力出力手段
ＰＯＵＴから出力する進行波電力値ＰＦを電力目標値に
なるように制御している。
出力設定演算回路ＣＡＬから出力される電力制御信号Ｖ
ｃｏｎｔのレベルによって、高周波電圧ＡＣ２の出力値
を増減させているので、図３のような構成にすることに
よって、進行波電力ＰＦの出力値をフィードバック制御
させている。すなわち、出力設定演算回路ＣＡＬから出
力する電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって、電力出力手段
ＰＯＵＴから出力する進行波電力値ＰＦを電力目標値に
なるように制御している。
【００１９】図４は、後述する可変電圧出力直流電源回
路ＤＰＳ２を使用した従来技術の可変直流電圧入力高周
波電源装置ＨＰ２（以下、高周波電源装置ＨＰ２とい
う）の構成を示すブロック図である。発振回路ＯＳＣ、
電力検出器ＤＥＴ、しきい値固定の反射保護回路ＰＲＴ
ｐ、出力設定演算回路ＣＡＬ、出力電力設定回路ＳＥＴ
は、図３に示した高周波電源装置と同じであるので、説
明を省略する。
路ＤＰＳ２を使用した従来技術の可変直流電圧入力高周
波電源装置ＨＰ２（以下、高周波電源装置ＨＰ２とい
う）の構成を示すブロック図である。発振回路ＯＳＣ、
電力検出器ＤＥＴ、しきい値固定の反射保護回路ＰＲＴ
ｐ、出力設定演算回路ＣＡＬ、出力電力設定回路ＳＥＴ
は、図３に示した高周波電源装置と同じであるので、説
明を省略する。
【００２０】可変電圧出力直流電源回路ＤＰＳ２（以
下、直流電源回路ＤＰＳ２という）は、電力増幅回路Ａ
ＭＰ２において、小電力から大電力への増幅のための電
力供給源である。また、出力設定演算回路ＣＡＬから出
力される電力制御信号Ｖｃｏｎｔを入力し、入力した電
力制御信号Ｖｃｏｎｔのレベルによって、出力電圧ＤＣ
２を増減させている。なお、図４の場合の直流電源回路
ＤＰＳ２は、図３の直流電源回路ＤＰＳ１と異なり出力
電圧及び出力電流が変化する。
下、直流電源回路ＤＰＳ２という）は、電力増幅回路Ａ
ＭＰ２において、小電力から大電力への増幅のための電
力供給源である。また、出力設定演算回路ＣＡＬから出
力される電力制御信号Ｖｃｏｎｔを入力し、入力した電
力制御信号Ｖｃｏｎｔのレベルによって、出力電圧ＤＣ
２を増減させている。なお、図４の場合の直流電源回路
ＤＰＳ２は、図３の直流電源回路ＤＰＳ１と異なり出力
電圧及び出力電流が変化する。
【００２１】電力増幅回路ＡＭＰ２は、発振回路ＯＳＣ
から出力される高周波電圧ＡＣ１（電力で表しても可）
を増幅して進行波電力ＰＦを出力する。また、電力増幅
回路ＡＭＰの増幅素子には、図３に示した高周波電源装
置と同様で、例えば、ＦＥＴ等が用いられている。その
ために、ＦＥＴ等を用いた電力増幅回路ＡＭＰ２のドレ
イン（バイポーラトランジスタの場合はコレクタ）に直
流電源回路ＤＰＳ２の出力である直流電圧ＤＣ２を印加
し、ＦＥＴのゲート（バイポーラトランジスタの場合は
ベース）に発振回路ＯＳＣから出力される所定の高周波
電圧ＡＣ１を入力することによって、電力増幅回路ＡＭ
Ｐ２の入力部よりも大きな電力を得ることができる。
から出力される高周波電圧ＡＣ１（電力で表しても可）
を増幅して進行波電力ＰＦを出力する。また、電力増幅
回路ＡＭＰの増幅素子には、図３に示した高周波電源装
置と同様で、例えば、ＦＥＴ等が用いられている。その
ために、ＦＥＴ等を用いた電力増幅回路ＡＭＰ２のドレ
イン（バイポーラトランジスタの場合はコレクタ）に直
流電源回路ＤＰＳ２の出力である直流電圧ＤＣ２を印加
し、ＦＥＴのゲート（バイポーラトランジスタの場合は
ベース）に発振回路ＯＳＣから出力される所定の高周波
電圧ＡＣ１を入力することによって、電力増幅回路ＡＭ
Ｐ２の入力部よりも大きな電力を得ることができる。
【００２２】なお、この図４では、発振回路ＯＳＣと直
流電源回路ＤＰＳ２と電力増幅回路ＡＭＰ２とによって
進行波電力ＰＦを出力する電力出力手段ＰＯＵＴが構成
されている。また、この図４では、しきい値固定の反射
保護回路ＰＲＴｐと出力設定演算回路ＣＡＬと出力電力
設定回路ＳＥＴとによって進行波電力ＰＦを制御する電
力制御手段ＰＣＯＮが構成されている。
流電源回路ＤＰＳ２と電力増幅回路ＡＭＰ２とによって
進行波電力ＰＦを出力する電力出力手段ＰＯＵＴが構成
されている。また、この図４では、しきい値固定の反射
保護回路ＰＲＴｐと出力設定演算回路ＣＡＬと出力電力
設定回路ＳＥＴとによって進行波電力ＰＦを制御する電
力制御手段ＰＣＯＮが構成されている。
【００２３】直流電源回路ＤＰＳ２から出力する直流電
圧ＤＣ２は、前述したように、出力設定演算回路ＣＡＬ
から出力された電力制御信号Ｖｃｏｎｔのレベルによっ
て、出力値を増減させているので、図４の構成にするこ
とによって、進行波電力ＰＦの出力値をフィードバック
制御させている。すなわち、出力設定演算回路ＣＡＬか
ら出力する電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって、電力出力
手段ＰＯＵＴから出力する進行波電力値ＰＦを電力目標
値になるように制御している。
圧ＤＣ２は、前述したように、出力設定演算回路ＣＡＬ
から出力された電力制御信号Ｖｃｏｎｔのレベルによっ
て、出力値を増減させているので、図４の構成にするこ
とによって、進行波電力ＰＦの出力値をフィードバック
制御させている。すなわち、出力設定演算回路ＣＡＬか
ら出力する電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって、電力出力
手段ＰＯＵＴから出力する進行波電力値ＰＦを電力目標
値になるように制御している。
【００２４】（従来技術のしきい値固定の反射保護回路
ＰＲＴｐの説明）次に、図３及び図４で用いられている
従来技術のしきい値固定の反射保護回路ＰＲＴｐおよび
出力設定演算回路ＣＡＬについて、さらに説明する。図
５は、従来技術のしきい値固定の反射保護回路ＰＲＴｐ
の回路図である。電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０
は、電圧（アースを基準にした電位）がＶｅの制御電圧
源Ｅｃと抵抗器Ｒｔ０１と（一方がアースに接続され
る）抵抗器Ｒｔ０２とから成る。そして、制御電圧源Ｅ
ｃの電圧Ｖｅを抵抗器Ｒｔ０１及びＲｔ０２によって分
圧した電圧信号である電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を出力する。なお、本出願では、このように電圧であ
っても信号として扱う場合がある。また、制御電圧源Ｅ
ｃは高周波電源装置ＨＰ１又はＨＰ２の他の個所にも共
通して使用する。
ＰＲＴｐの説明）次に、図３及び図４で用いられている
従来技術のしきい値固定の反射保護回路ＰＲＴｐおよび
出力設定演算回路ＣＡＬについて、さらに説明する。図
５は、従来技術のしきい値固定の反射保護回路ＰＲＴｐ
の回路図である。電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０
は、電圧（アースを基準にした電位）がＶｅの制御電圧
源Ｅｃと抵抗器Ｒｔ０１と（一方がアースに接続され
る）抵抗器Ｒｔ０２とから成る。そして、制御電圧源Ｅ
ｃの電圧Ｖｅを抵抗器Ｒｔ０１及びＲｔ０２によって分
圧した電圧信号である電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を出力する。なお、本出願では、このように電圧であ
っても信号として扱う場合がある。また、制御電圧源Ｅ
ｃは高周波電源装置ＨＰ１又はＨＰ２の他の個所にも共
通して使用する。
【００２５】Ｖｐｒ（−）は、電力検出器ＤＥＴから出
力される反射波電力検出信号Ｖｐｒの符号を反転させ
て、負の信号（負電位）にしていることを表している。
なお、符号を反転させるために、図示しない反転回路を
電力検出器ＤＥＴと反射保護回路ＰＲＴとの間に設けて
いる。
力される反射波電力検出信号Ｖｐｒの符号を反転させ
て、負の信号（負電位）にしていることを表している。
なお、符号を反転させるために、図示しない反転回路を
電力検出器ＤＥＴと反射保護回路ＰＲＴとの間に設けて
いる。
【００２６】以後、信号等の後に「（−）」を付記して
いれば、負の信号（負電位）であることを示す。同様に
「（＋）」を付記していれば、正の信号（正電位）であ
ることを示す。また、符号（電位）を反転させるための
反転回路の図示及び説明を省略して説明することがあ
る。
いれば、負の信号（負電位）であることを示す。同様に
「（＋）」を付記していれば、正の信号（正電位）であ
ることを示す。また、符号（電位）を反転させるための
反転回路の図示及び説明を省略して説明することがあ
る。
【００２７】電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１は反転型の
加算増幅回路（以下、電力抑制信号出力回路という）で
あり、オペアンプＯＰａ１と抵抗器Ｒａ１１，Ｒａ１
２，Ｒａ１３，（一方がアースに接続される）Ｒａ１４
とダイオードＤａ１１，Ｄａ１２とから成る。
加算増幅回路（以下、電力抑制信号出力回路という）で
あり、オペアンプＯＰａ１と抵抗器Ｒａ１１，Ｒａ１
２，Ｒａ１３，（一方がアースに接続される）Ｒａ１４
とダイオードＤａ１１，Ｄａ１２とから成る。
【００２８】従来技術のしきい値固定の反射保護回路Ｐ
ＲＴｐは、図５のように構成されているので、反射波電
力検出信号Ｖｐｒの大きさ（絶対値）（以下、反射波電
力検出信号値Ｖｐｒという）が電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０の大きさ（絶対値）（以下、電力抑制基準し
きい値信号値Ｖｔｈ０という）よりも大きくなったとき
に、両者の差の電圧信号が反転増幅された電力抑制信号
Ｖｓｕｂ（＋）が出力される。また、反射波電力検出信
号値Ｖｐｒ（絶対値）が電力抑制基準しきい値信号値Ｖ
ｔｈ０（絶対値）以下のときは、電力抑制信号値Ｖｓｕ
ｂは０レベルとなる。また、この例では、反射波電力検
出信号Ｖｐｒが負の信号（負電位）、電力抑制信号Ｖｓ
ｕｂが正の信号（正電位）であるが、信号の符号が逆の
場合も同様である。また、増幅率は、オペアンプＯＰａ
１の出力信号が適切なレベルになるように、入力する信
号値に応じて設定すればよい。なお、この電力抑制信号
出力回路ＡＤＤ１は、一般に広く知られているので、詳
細な説明は省略する。また、以降に記載する同様の反転
増幅回路についても説明を省略する。
ＲＴｐは、図５のように構成されているので、反射波電
力検出信号Ｖｐｒの大きさ（絶対値）（以下、反射波電
力検出信号値Ｖｐｒという）が電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０の大きさ（絶対値）（以下、電力抑制基準し
きい値信号値Ｖｔｈ０という）よりも大きくなったとき
に、両者の差の電圧信号が反転増幅された電力抑制信号
Ｖｓｕｂ（＋）が出力される。また、反射波電力検出信
号値Ｖｐｒ（絶対値）が電力抑制基準しきい値信号値Ｖ
ｔｈ０（絶対値）以下のときは、電力抑制信号値Ｖｓｕ
ｂは０レベルとなる。また、この例では、反射波電力検
出信号Ｖｐｒが負の信号（負電位）、電力抑制信号Ｖｓ
ｕｂが正の信号（正電位）であるが、信号の符号が逆の
場合も同様である。また、増幅率は、オペアンプＯＰａ
１の出力信号が適切なレベルになるように、入力する信
号値に応じて設定すればよい。なお、この電力抑制信号
出力回路ＡＤＤ１は、一般に広く知られているので、詳
細な説明は省略する。また、以降に記載する同様の反転
増幅回路についても説明を省略する。
【００２９】（出力設定演算回路ＣＡＬの説明）図６
は、出力設定演算回路ＣＡＬの回路構成図である。Ｖｓ
ｅｔ（＋）は出力電力設定回路ＳＥＴから出力された進
行波電力設定信号である。Ｖｓｕｂ（−）は、しきい値
固定の反射保護回路ＰＲＴｐから出力された電力抑制信
号である。なお、この信号は、図示しない反転回路を用
いて、しきい値固定の反射保護回路ＰＲＴｐの出力信号
を反転させて負の信号（負電位）にした信号である。
は、出力設定演算回路ＣＡＬの回路構成図である。Ｖｓ
ｅｔ（＋）は出力電力設定回路ＳＥＴから出力された進
行波電力設定信号である。Ｖｓｕｂ（−）は、しきい値
固定の反射保護回路ＰＲＴｐから出力された電力抑制信
号である。なお、この信号は、図示しない反転回路を用
いて、しきい値固定の反射保護回路ＰＲＴｐの出力信号
を反転させて負の信号（負電位）にした信号である。
【００３０】ＡＤＤ２は反転型の加算増幅回路（以下、
第２加算増幅回路という）であり、オペアンプＯＰａ２
と抵抗器Ｒａ２１，Ｒａ２２，Ｒａ２３，（一方がアー
スに接続される）Ｒａ２４とから成る。ＡＤＤ３は反転
型の加算増幅回路（以下、第３加算増幅回路という）で
あり、オペアンプＯＰａ３と抵抗器Ｒａ３１，Ｒａ３
２，Ｒａ３３，（一方がアースに接続される）Ｒａ３４
とから成る。第２加算増幅回路ＡＤＤ２は反転型の加算
増幅回路であるので、進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
（＋）と電力抑制信号Ｖｓｕｂ（−）とを加算した電圧
信号を反転増幅して、電力目標値信号Ｖｔｐ（−）を出
力する。Ｖｐｆ（＋）は、電力検出器ＤＥＴから出力さ
れた進行波電力検出信号である。第３加算増幅回路ＡＤ
Ｄ３も、反転型の加算増幅回路であり、進行波電力検出
信号Ｖｐｆ（＋）と電力目標値信号Ｖｔｐ（−）とを加
算した電圧信号を反転増幅して、電力制御信号Ｖｃｏｎ
ｔを出力する。なお、第２加算増幅回路ＡＤＤ２、第３
加算増幅回路ＡＤＤ３の増幅率は、オペアンプの出力信
号が適切なレベルになるように、入力する信号値に応じ
て設定すればよい。
第２加算増幅回路という）であり、オペアンプＯＰａ２
と抵抗器Ｒａ２１，Ｒａ２２，Ｒａ２３，（一方がアー
スに接続される）Ｒａ２４とから成る。ＡＤＤ３は反転
型の加算増幅回路（以下、第３加算増幅回路という）で
あり、オペアンプＯＰａ３と抵抗器Ｒａ３１，Ｒａ３
２，Ｒａ３３，（一方がアースに接続される）Ｒａ３４
とから成る。第２加算増幅回路ＡＤＤ２は反転型の加算
増幅回路であるので、進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
（＋）と電力抑制信号Ｖｓｕｂ（−）とを加算した電圧
信号を反転増幅して、電力目標値信号Ｖｔｐ（−）を出
力する。Ｖｐｆ（＋）は、電力検出器ＤＥＴから出力さ
れた進行波電力検出信号である。第３加算増幅回路ＡＤ
Ｄ３も、反転型の加算増幅回路であり、進行波電力検出
信号Ｖｐｆ（＋）と電力目標値信号Ｖｔｐ（−）とを加
算した電圧信号を反転増幅して、電力制御信号Ｖｃｏｎ
ｔを出力する。なお、第２加算増幅回路ＡＤＤ２、第３
加算増幅回路ＡＤＤ３の増幅率は、オペアンプの出力信
号が適切なレベルになるように、入力する信号値に応じ
て設定すればよい。
【００３１】出力設定演算回路ＣＡＬは、上述したよう
に構成されているので、電力目標値信号Ｖｔｐの信号値
よりも進行波電力検出信号Ｖｐｆの大きさ（以下、進行
波電力検出信号値Ｖｐｆという）が小さければ、電力出
力手段ＰＯＵＴから出力される進行波電力ＰＦが大きく
なるように出力設定演算回路ＣＡＬが電力制御信号Ｖｃ
ｏｎｔを出力し、電力目標値信号Ｖｔｐの信号値よりも
進行波電力検出信号値Ｖｐｆが大きければ、電力出力手
段ＰＯＵＴから出力される進行波電力ＰＦが小さくなる
ように出力設定演算回路ＣＡＬが電力制御信号Ｖｃｏｎ
ｔを出力する。このように電力目標値に相当する電力目
標値信号Ｖｔｐと進行波電力値ＰＦに相当する進行波電
力検出信号Ｖｐｆとを比較して進行波電力値ＰＦを制御
しているので、反射波電力検出信号値Ｖｐｒ（絶対値）
が電力抑制基準しきい値信号値Ｖｔｈ０（絶対値）より
も大きくなって、その超過分の大きさに相当する電力値
だけ電力目標値が減少すると、進行波電力ＰＦの出力値
が減少するので、反射係数が同じでも反射波電力が減少
する。
に構成されているので、電力目標値信号Ｖｔｐの信号値
よりも進行波電力検出信号Ｖｐｆの大きさ（以下、進行
波電力検出信号値Ｖｐｆという）が小さければ、電力出
力手段ＰＯＵＴから出力される進行波電力ＰＦが大きく
なるように出力設定演算回路ＣＡＬが電力制御信号Ｖｃ
ｏｎｔを出力し、電力目標値信号Ｖｔｐの信号値よりも
進行波電力検出信号値Ｖｐｆが大きければ、電力出力手
段ＰＯＵＴから出力される進行波電力ＰＦが小さくなる
ように出力設定演算回路ＣＡＬが電力制御信号Ｖｃｏｎ
ｔを出力する。このように電力目標値に相当する電力目
標値信号Ｖｔｐと進行波電力値ＰＦに相当する進行波電
力検出信号Ｖｐｆとを比較して進行波電力値ＰＦを制御
しているので、反射波電力検出信号値Ｖｐｒ（絶対値）
が電力抑制基準しきい値信号値Ｖｔｈ０（絶対値）より
も大きくなって、その超過分の大きさに相当する電力値
だけ電力目標値が減少すると、進行波電力ＰＦの出力値
が減少するので、反射係数が同じでも反射波電力が減少
する。
【００３２】ところで、前述したように電力増幅回路Ａ
ＭＰ１、ＡＭＰ２には、例えば、ＦＥＴ等の増幅素子が
用いられている。この増幅素子には、ジャンクション温
度Ｔｊの絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘが規定されてお
り、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘを超えると素子の破壊に至るので、ジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えないよう
に設計する必要がある。（通常は、安全を考えてディレ
ーティングをとり、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘよりも低い温度Ｔｊｍａｘ’を超え
ないように設計されている。しかし、以後の説明では、
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを用いて説明する。）
ＭＰ１、ＡＭＰ２には、例えば、ＦＥＴ等の増幅素子が
用いられている。この増幅素子には、ジャンクション温
度Ｔｊの絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘが規定されてお
り、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘを超えると素子の破壊に至るので、ジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えないよう
に設計する必要がある。（通常は、安全を考えてディレ
ーティングをとり、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘよりも低い温度Ｔｊｍａｘ’を超え
ないように設計されている。しかし、以後の説明では、
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを用いて説明する。）
【００３３】なお、上記増幅素子のジャンクション温度
は、次式で表される。すなわち、ジャンクション温度
は、増幅素子のケース温度Ｔｃと増幅素子内での損失Ｐ
ｄに依存することになる。 Ｔｊ＝Ｔｃ＋Ｐｄ×θ Ｔｊ：増幅素子のジャンクション温度［℃］， Ｔｃ：増幅素子のケース温度［℃］， Ｐｄ：増幅素子内での損失［Ｗ］， θ：増幅素子の熱抵抗［℃／Ｗ］（損失を温度に換算す
る係数）
は、次式で表される。すなわち、ジャンクション温度
は、増幅素子のケース温度Ｔｃと増幅素子内での損失Ｐ
ｄに依存することになる。 Ｔｊ＝Ｔｃ＋Ｐｄ×θ Ｔｊ：増幅素子のジャンクション温度［℃］， Ｔｃ：増幅素子のケース温度［℃］， Ｐｄ：増幅素子内での損失［Ｗ］， θ：増幅素子の熱抵抗［℃／Ｗ］（損失を温度に換算す
る係数）
【００３４】次に損失と熱との関係について説明する。
電力を伝送すると必ず損失が発生する。電力増幅回路Ａ
ＭＰ１、ＡＭＰ２では電力を増幅する際に損失が発生す
る。電力増幅回路ＡＭＰ１、ＡＭＰ２で損失があると、
その損失が熱となって発生するので電力増幅回路ＡＭＰ
１、ＡＭＰ２自体の温度を上昇させる。また、電力増幅
回路ＡＭＰ１、ＡＭＰ２の温度が上昇するとケース温度
Ｔｃも上昇する。また、前述したように電力増幅回路Ａ
ＭＰ１、ＡＭＰ２は大きな電力を出力しているので、電
力増幅回路ＡＭＰ１、ＡＭＰ２で損失があった場合、そ
の発熱量は大きくなり、素子の温度が上昇しやすい。そ
のために、通常は、ヒートシンク等の冷却機構を設けて
発熱した熱を放出し、電力増幅回路ＡＭＰ１、ＡＭＰ２
での温度上昇の度合いを減少させる工夫がされている。
電力を伝送すると必ず損失が発生する。電力増幅回路Ａ
ＭＰ１、ＡＭＰ２では電力を増幅する際に損失が発生す
る。電力増幅回路ＡＭＰ１、ＡＭＰ２で損失があると、
その損失が熱となって発生するので電力増幅回路ＡＭＰ
１、ＡＭＰ２自体の温度を上昇させる。また、電力増幅
回路ＡＭＰ１、ＡＭＰ２の温度が上昇するとケース温度
Ｔｃも上昇する。また、前述したように電力増幅回路Ａ
ＭＰ１、ＡＭＰ２は大きな電力を出力しているので、電
力増幅回路ＡＭＰ１、ＡＭＰ２で損失があった場合、そ
の発熱量は大きくなり、素子の温度が上昇しやすい。そ
のために、通常は、ヒートシンク等の冷却機構を設けて
発熱した熱を放出し、電力増幅回路ＡＭＰ１、ＡＭＰ２
での温度上昇の度合いを減少させる工夫がされている。
【００３５】ところが、図２に示すように、プラズマ処
理装置５に電力を供給するために高周波電源装置ＨＰを
使用すると、反射波電力が発生することがある。この場
合、高周波電源装置ＨＰ内に反射波電力が戻ってくるの
で、進行波電力を出力するときに発生する損失だけでな
く、反射波電力による損失も発生する。すなわち、整合
時に比べて、反射波電力が発生している方が、ジャンク
ション温度Ｔｊの温度上昇度は高くなる。
理装置５に電力を供給するために高周波電源装置ＨＰを
使用すると、反射波電力が発生することがある。この場
合、高周波電源装置ＨＰ内に反射波電力が戻ってくるの
で、進行波電力を出力するときに発生する損失だけでな
く、反射波電力による損失も発生する。すなわち、整合
時に比べて、反射波電力が発生している方が、ジャンク
ション温度Ｔｊの温度上昇度は高くなる。
【００３６】そして、前述した従来技術では、反射波電
力検出信号値Ｖｐｒ（絶対値）が電力抑制基準しきい値
信号値Ｖｔｈ０（絶対値）を超えるまでは、反射波電力
が発生しても電力目標値信号Ｖｔｐが減少しない。その
ために、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に相当する
反射波電力が発生し、かつ、その状態が連続して熱飽和
状態になったときに、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最
大定格温度Ｔｊｍａｘを超えないように、電力抑制基準
しきい値信号Ｖｔｈ０の値を設定すれば、電力増幅回路
ＡＭＰ１、ＡＭＰ２に用いられている増幅素子を保護す
ることができる。
力検出信号値Ｖｐｒ（絶対値）が電力抑制基準しきい値
信号値Ｖｔｈ０（絶対値）を超えるまでは、反射波電力
が発生しても電力目標値信号Ｖｔｐが減少しない。その
ために、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に相当する
反射波電力が発生し、かつ、その状態が連続して熱飽和
状態になったときに、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最
大定格温度Ｔｊｍａｘを超えないように、電力抑制基準
しきい値信号Ｖｔｈ０の値を設定すれば、電力増幅回路
ＡＭＰ１、ＡＭＰ２に用いられている増幅素子を保護す
ることができる。
【００３７】なお、前述したように反射波電力検出信号
値Ｖｐｒ（絶対値）が電力抑制基準しきい値信号値Ｖｔ
ｈ０（絶対値）よりも大きくなると、その超過分の大き
さに比例した電力値だけ進行波電力ＰＦの出力値が減少
する。負荷側インピーダンスの状態が変化しないとき
は、反射係数が同じなので、進行波電力が減少すると反
射波電力も減少する。そのために、通常は、前述したよ
うに電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を設定すれば、
電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも反射波電力検
出信号Ｖｐｒが大きくなるような反射波電力が発生して
も、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘを超えないようにすることができる。
値Ｖｐｒ（絶対値）が電力抑制基準しきい値信号値Ｖｔ
ｈ０（絶対値）よりも大きくなると、その超過分の大き
さに比例した電力値だけ進行波電力ＰＦの出力値が減少
する。負荷側インピーダンスの状態が変化しないとき
は、反射係数が同じなので、進行波電力が減少すると反
射波電力も減少する。そのために、通常は、前述したよ
うに電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を設定すれば、
電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも反射波電力検
出信号Ｖｐｒが大きくなるような反射波電力が発生して
も、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘを超えないようにすることができる。
【００３８】しかし、何らかの理由によって、電力抑制
基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな反射波電力検出
信号Ｖｐｒが検出されるような反射波電力が発生した状
態になり、そのことが原因で、ジャンクション温度Ｔｊ
が絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるような状態にな
るときは、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０の設定値
を小さくして、より保護を強める必要がある。
基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな反射波電力検出
信号Ｖｐｒが検出されるような反射波電力が発生した状
態になり、そのことが原因で、ジャンクション温度Ｔｊ
が絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるような状態にな
るときは、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０の設定値
を小さくして、より保護を強める必要がある。
【００３９】
【発明が解決しようとする課題】（プラズマ放電するま
での問題点）高周波電源装置ＨＰから進行波電力を出力
して電力をプラズマ処理装置５に供給開始したときに、
反射が生じて反射波電力が発生すると、整合装置３がイ
ンピーダンス整合をするように動作をする。しかし、イ
ンピーダンス整合するまでの間は、反射が生じるので効
率よく電力が供給されない。すると、プラズマ処理装置
５に供給される負荷電力が少なくなり、プラズマ放電が
生じにくくなる。このとき、反射波電力検出信号値Ｖｐ
ｒ（絶対値）が、電力抑制基準しきい値信号値Ｖｔｈ０
（絶対値）を超えていると、進行波電力ＰＦの出力値が
抑制されるために、さらにプラズマ処理装置５に供給さ
れる負荷電力が小さくなってしまう。そのために、さら
にプラズマ放電が生じにくくなってしまう。
での問題点）高周波電源装置ＨＰから進行波電力を出力
して電力をプラズマ処理装置５に供給開始したときに、
反射が生じて反射波電力が発生すると、整合装置３がイ
ンピーダンス整合をするように動作をする。しかし、イ
ンピーダンス整合するまでの間は、反射が生じるので効
率よく電力が供給されない。すると、プラズマ処理装置
５に供給される負荷電力が少なくなり、プラズマ放電が
生じにくくなる。このとき、反射波電力検出信号値Ｖｐ
ｒ（絶対値）が、電力抑制基準しきい値信号値Ｖｔｈ０
（絶対値）を超えていると、進行波電力ＰＦの出力値が
抑制されるために、さらにプラズマ処理装置５に供給さ
れる負荷電力が小さくなってしまう。そのために、さら
にプラズマ放電が生じにくくなってしまう。
【００４０】そこで、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０の設定値を大きくして、進行波電力ＰＦの出力値の抑
制を押さえれば、プラズマ処理装置５に供給する電力量
が増えてプラズマ放電させやすくなり上記の問題が改善
される。しかし、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０の
設定値を大きくすると、反射波電力が大きくなったとき
に、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘを超えて増幅素子の破壊を招きやすくなるので、こ
のようなことはできない。
０の設定値を大きくして、進行波電力ＰＦの出力値の抑
制を押さえれば、プラズマ処理装置５に供給する電力量
が増えてプラズマ放電させやすくなり上記の問題が改善
される。しかし、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０の
設定値を大きくすると、反射波電力が大きくなったとき
に、ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘを超えて増幅素子の破壊を招きやすくなるので、こ
のようなことはできない。
【００４１】また、電力出力開始時からすぐにプラズマ
放電しない場合は、整合装置３がインピーダンス整合を
行い、プラズマ処理装置５に供給される電力量を増やし
てプラズマ放電させるのであるが、非整合状態から整合
状態になるまでの過程で、必ずしも高周波電源装置ＨＰ
の出力インピーダンスＺｏと負荷側インピーダンスＺＬ
との差（以下、整合インピーダンス偏差という）が減少
し続けるのではなく、場合によっては、一旦、整合イン
ピーダンス偏差が大きくなるという過程を経ながら最終
的にインピーダンス整合することがある。そのために、
進行波電力の出力開始時と整合動作中のある状態の時と
を比べると、場合によっては、進行波電力の出力開始時
の方が整合インピーダンス偏差が小さいときがある。
放電しない場合は、整合装置３がインピーダンス整合を
行い、プラズマ処理装置５に供給される電力量を増やし
てプラズマ放電させるのであるが、非整合状態から整合
状態になるまでの過程で、必ずしも高周波電源装置ＨＰ
の出力インピーダンスＺｏと負荷側インピーダンスＺＬ
との差（以下、整合インピーダンス偏差という）が減少
し続けるのではなく、場合によっては、一旦、整合イン
ピーダンス偏差が大きくなるという過程を経ながら最終
的にインピーダンス整合することがある。そのために、
進行波電力の出力開始時と整合動作中のある状態の時と
を比べると、場合によっては、進行波電力の出力開始時
の方が整合インピーダンス偏差が小さいときがある。
【００４２】このような状態になると、整合インピーダ
ンス偏差が減少し続けるだけの過程に比べて、インピー
ダンス整合する過程に無駄が生じるので、インピーダン
ス整合するまでの時間（以下、整合時間という）が長く
なる。整合時間が長くなると、ワークの加工時間が長く
なるという問題があった。
ンス偏差が減少し続けるだけの過程に比べて、インピー
ダンス整合する過程に無駄が生じるので、インピーダン
ス整合するまでの時間（以下、整合時間という）が長く
なる。整合時間が長くなると、ワークの加工時間が長く
なるという問題があった。
【００４３】また、高周波電源装置ＨＰから電力を供給
してから整合するまでの許容時間を設定して、設定した
許容時間内に整合しない場合は、整合動作に異常があっ
たと見なしてワークの加工工程を中断させる場合があ
る。このような場合は、ワークの加工時間が長くなるだ
けでなく、ワークの品質低下、加工不良等による歩留ま
りが悪くなることが問題であった。
してから整合するまでの許容時間を設定して、設定した
許容時間内に整合しない場合は、整合動作に異常があっ
たと見なしてワークの加工工程を中断させる場合があ
る。このような場合は、ワークの加工時間が長くなるだ
けでなく、ワークの品質低下、加工不良等による歩留ま
りが悪くなることが問題であった。
【００４４】（プラズマ放電してからの問題点）整合イ
ンピーダンス偏差がなくなるか、または、小さくなると
プラズマ放電が生じてプラズマ放電用ガスが非プラズマ
状態からプラズマ状態になる。そしてワークの加工が開
始される。しかし、プラズマ放電後であっても、プラズ
マが不安定になった場合には反射が生じる。このとき
に、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０の設定値を小さ
くしていると、進行波電力を抑制する度合いが大きくな
るので、プラズマ放電を維持するための電力が不足し
て、プラズマ状態から非プラズマ状態になりやすくな
る。このようにプラズマ状態から非プラズマ状態になっ
た場合も、ワークの加工が中断するので、ワークの加工
時間が長くなるだけでなく、ワークの品質低下、加工不
良等による歩留まりが悪くなることが問題であった。
ンピーダンス偏差がなくなるか、または、小さくなると
プラズマ放電が生じてプラズマ放電用ガスが非プラズマ
状態からプラズマ状態になる。そしてワークの加工が開
始される。しかし、プラズマ放電後であっても、プラズ
マが不安定になった場合には反射が生じる。このとき
に、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０の設定値を小さ
くしていると、進行波電力を抑制する度合いが大きくな
るので、プラズマ放電を維持するための電力が不足し
て、プラズマ状態から非プラズマ状態になりやすくな
る。このようにプラズマ状態から非プラズマ状態になっ
た場合も、ワークの加工が中断するので、ワークの加工
時間が長くなるだけでなく、ワークの品質低下、加工不
良等による歩留まりが悪くなることが問題であった。
【００４５】このように、従来技術のような方法で進行
波電力を制御すると、上述したような各種の問題が生じ
ていた。したがって、本願発明は、増幅素子のジャンク
ション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えて
増幅素子の破壊を招いてしまうことなく、進行波電力の
出力開始直後の進行波電力の抑制を緩和できる高周波電
源装置及び進行波電力の制御方法を提供することを目的
としている。
波電力を制御すると、上述したような各種の問題が生じ
ていた。したがって、本願発明は、増幅素子のジャンク
ション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えて
増幅素子の破壊を招いてしまうことなく、進行波電力の
出力開始直後の進行波電力の抑制を緩和できる高周波電
源装置及び進行波電力の制御方法を提供することを目的
としている。
【００４６】
【課題を解決するための手段】出願時の請求項１の発明
は、図１０に示すように、電力増幅回路で増幅して出力
する進行波電力値ＰＦが、電力目標値になるように制御
する高周波電源の進行波電力制御方法において、上記進
行波電力ＰＦの出力開始時から予め定めた緩和時間（Ｅ
ｔｉｍｅ，Ｅｉｔｉｍｅ）が経過するまでは上記電力増
幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値
になるように上記進行波電力値ＰＦを制御し、上記緩和
時間（Ｅｔｉｍｅ，Ｅｉｔｉｍｅ）が経過した後は上記
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊを絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値になる
ように上記進行波電力値ＰＦを制御する高周波電源の進
行波電力制御方法である。
は、図１０に示すように、電力増幅回路で増幅して出力
する進行波電力値ＰＦが、電力目標値になるように制御
する高周波電源の進行波電力制御方法において、上記進
行波電力ＰＦの出力開始時から予め定めた緩和時間（Ｅ
ｔｉｍｅ，Ｅｉｔｉｍｅ）が経過するまでは上記電力増
幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値
になるように上記進行波電力値ＰＦを制御し、上記緩和
時間（Ｅｔｉｍｅ，Ｅｉｔｉｍｅ）が経過した後は上記
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊを絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値になる
ように上記進行波電力値ＰＦを制御する高周波電源の進
行波電力制御方法である。
【００４７】出願時の請求項２の発明は、図１０に示す
ように、電力増幅回路で増幅して出力する進行波電力値
ＰＦが、電力目標値になるように制御する高周波電源の
進行波電力制御方法において、進行波電力ＰＦの出力開
始時は上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許
容した電力目標値になるように上記進行波電力値ＰＦを
制御し、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記電力増幅回路
の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値になるように上記進
行波電力値ＰＦを制御する高周波電源の進行波電力制御
方法である。
ように、電力増幅回路で増幅して出力する進行波電力値
ＰＦが、電力目標値になるように制御する高周波電源の
進行波電力制御方法において、進行波電力ＰＦの出力開
始時は上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許
容した電力目標値になるように上記進行波電力値ＰＦを
制御し、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記電力増幅回路
の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値になるように上記進
行波電力値ＰＦを制御する高周波電源の進行波電力制御
方法である。
【００４８】出願時の請求項３の発明は、図１０に示す
ように、電力増幅回路で増幅して出力する進行波電力値
ＰＦが、電力目標値になるように制御する高周波電源の
進行波電力制御方法において、進行波電力ＰＦの出力開
始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでは
上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊ
が絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した
電力目標値になるように上記進行波電力値ＰＦを制御
し、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘに達したときは上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
以下にする電力目標値になるように上記進行波電力値Ｐ
Ｆを制御する高周波電源の進行波電力制御方法である。
ように、電力増幅回路で増幅して出力する進行波電力値
ＰＦが、電力目標値になるように制御する高周波電源の
進行波電力制御方法において、進行波電力ＰＦの出力開
始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでは
上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊ
が絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した
電力目標値になるように上記進行波電力値ＰＦを制御
し、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘに達したときは上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
以下にする電力目標値になるように上記進行波電力値Ｐ
Ｆを制御する高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００４９】出願時の請求項４の発明は、図７の高周波
電源装置ＨＰ１１又は図８の高周波電源装置ＨＰ２１の
高周波電源の進行波電力制御方法であって、電力増幅回
路で増幅して出力する進行波電力値ＰＦが、電力目標値
になるように制御する高周波電源の進行波電力制御方法
において、高周波電源装置ＨＰから出力される進行波電
力値ＰＦを検出した進行波電力検出信号Ｖｐｆ及び高周
波電源装置ＨＰに反射入力される反射波電力値ＰＲを検
出した反射波電力検出信号Ｖｐｒを出力する電力検出過
程と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から予め定めた
緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは上記電力増幅回路
の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値に相当
する信号値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい値
信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとする抑制
緩和しきい値設定過程と、上記緩和時間Ｅｔｉｍｅが経
過した後は上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値
を求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとする基準しきい値設
定過程と、上記反射波電力検出信号Ｖｐｒと上記電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈとを用いて進行波電力値ＰＦを抑
制するための電力抑制信号Ｖｓｕｂを演算する電力抑制
信号演算過程と、上記進行波電力値ＰＦの設定値に相当
する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと上記電力抑制信号Ｖ
ｓｕｂとを用いて電力目標値信号Ｖｔｐを演算する電力
目標値信号演算過程と、上記電力目標値信号Ｖｔｐと進
行波電力検出信号Ｖｐｆとを用いて電力制御信号Ｖｃｏ
ｎｔを演算する電力制御信号演算過程とから成り、上記
電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって上記進行波電力値ＰＦ
が電力目標値になるように制御する高周波電源の進行波
電力制御方法である。
電源装置ＨＰ１１又は図８の高周波電源装置ＨＰ２１の
高周波電源の進行波電力制御方法であって、電力増幅回
路で増幅して出力する進行波電力値ＰＦが、電力目標値
になるように制御する高周波電源の進行波電力制御方法
において、高周波電源装置ＨＰから出力される進行波電
力値ＰＦを検出した進行波電力検出信号Ｖｐｆ及び高周
波電源装置ＨＰに反射入力される反射波電力値ＰＲを検
出した反射波電力検出信号Ｖｐｒを出力する電力検出過
程と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から予め定めた
緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは上記電力増幅回路
の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値に相当
する信号値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい値
信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとする抑制
緩和しきい値設定過程と、上記緩和時間Ｅｔｉｍｅが経
過した後は上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値
を求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとする基準しきい値設
定過程と、上記反射波電力検出信号Ｖｐｒと上記電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈとを用いて進行波電力値ＰＦを抑
制するための電力抑制信号Ｖｓｕｂを演算する電力抑制
信号演算過程と、上記進行波電力値ＰＦの設定値に相当
する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと上記電力抑制信号Ｖ
ｓｕｂとを用いて電力目標値信号Ｖｔｐを演算する電力
目標値信号演算過程と、上記電力目標値信号Ｖｔｐと進
行波電力検出信号Ｖｐｆとを用いて電力制御信号Ｖｃｏ
ｎｔを演算する電力制御信号演算過程とから成り、上記
電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって上記進行波電力値ＰＦ
が電力目標値になるように制御する高周波電源の進行波
電力制御方法である。
【００５０】出願時の請求項５の発明は、図２３の高周
波電源装置ＨＰ１２（第８の実施例）又は図２５の高周
波電源装置ＨＰ２２（第９の実施例）であって、電力増
幅回路で増幅して出力する進行波電力値ＰＦが、電力目
標値になるように制御する高周波電源の進行波電力制御
方法において、高周波電源装置ＨＰから出力される進行
波電力値ＰＦを検出した進行波電力検出信号Ｖｐｆ及び
高周波電源装置ＨＰに反射入力される反射波電力値ＰＲ
を検出した反射波電力検出信号Ｖｐｒを出力する電力検
出過程と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から予め定
めた反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは上
記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電
力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑
制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖ
ｔｈとするとともに、上記進行波電力ＰＦの出力開始時
から予め定めた電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過
するまでは上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えること
を許容した電力目標値に相当する信号値を求めるために
用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程
と、上記反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は
上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるた
めに用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈとするとともに、上記電流保護用
緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は上記ジャンクショ
ン温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電
力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑
制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号
Ｖｉｔｈとする基準しきい値設定過程と、上記反射波電
力検出信号Ｖｐｒと上記電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
を用いて進行波電力値ＰＦを抑制するための電力抑制信
号Ｖｓｕｂを演算する電力抑制信号演算過程と、上記電
力増幅回路において増幅のための電力供給源（ＤＰＳ
１，ＤＰＳ２）が出力する電流値に相当する電流検出信
号Ｖｉと上記電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとを用いて
進行波電力値ＰＦを抑制するための電流抑制信号Ｖｉｓ
ｕｂを演算する電流抑制信号演算過程と、上記進行波電
力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅ
ｔと上記電力抑制信号Ｖｓｕｂと上記電流抑制信号Ｖｉ
ｓｕｂとを用いて電力目標値信号Ｖｔｐｉを演算する電
力目標値信号演算過程と、上記電力目標値信号Ｖｔｐｉ
と進行波電力検出信号Ｖｐｆとを用いて電力制御信号Ｖ
ｃｏｎｔを演算する電力制御信号演算過程とから成り、
上記電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって上記進行波電力値
ＰＦが電力目標値になるように制御する高周波電源の進
行波電力制御方法である。
波電源装置ＨＰ１２（第８の実施例）又は図２５の高周
波電源装置ＨＰ２２（第９の実施例）であって、電力増
幅回路で増幅して出力する進行波電力値ＰＦが、電力目
標値になるように制御する高周波電源の進行波電力制御
方法において、高周波電源装置ＨＰから出力される進行
波電力値ＰＦを検出した進行波電力検出信号Ｖｐｆ及び
高周波電源装置ＨＰに反射入力される反射波電力値ＰＲ
を検出した反射波電力検出信号Ｖｐｒを出力する電力検
出過程と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から予め定
めた反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは上
記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電
力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑
制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖ
ｔｈとするとともに、上記進行波電力ＰＦの出力開始時
から予め定めた電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過
するまでは上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えること
を許容した電力目標値に相当する信号値を求めるために
用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程
と、上記反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は
上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるた
めに用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈとするとともに、上記電流保護用
緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は上記ジャンクショ
ン温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電
力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑
制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号
Ｖｉｔｈとする基準しきい値設定過程と、上記反射波電
力検出信号Ｖｐｒと上記電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
を用いて進行波電力値ＰＦを抑制するための電力抑制信
号Ｖｓｕｂを演算する電力抑制信号演算過程と、上記電
力増幅回路において増幅のための電力供給源（ＤＰＳ
１，ＤＰＳ２）が出力する電流値に相当する電流検出信
号Ｖｉと上記電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとを用いて
進行波電力値ＰＦを抑制するための電流抑制信号Ｖｉｓ
ｕｂを演算する電流抑制信号演算過程と、上記進行波電
力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅ
ｔと上記電力抑制信号Ｖｓｕｂと上記電流抑制信号Ｖｉ
ｓｕｂとを用いて電力目標値信号Ｖｔｐｉを演算する電
力目標値信号演算過程と、上記電力目標値信号Ｖｔｐｉ
と進行波電力検出信号Ｖｐｆとを用いて電力制御信号Ｖ
ｃｏｎｔを演算する電力制御信号演算過程とから成り、
上記電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって上記進行波電力値
ＰＦが電力目標値になるように制御する高周波電源の進
行波電力制御方法である。
【００５１】出願時の請求項６の発明は、図２６の高周
波電源装置ＨＰ１３（第１０の実施例）又は図２７の高
周波電源装置ＨＰ２３（第１１の実施例）の高周波電源
の進行波電力制御方法であって、図７又は図８の反射波
電力値ＰＲから電力抑制信号Ｖｓｕｂを演算する代わり
に、電力増幅回路において増幅のための電力供給源（Ｄ
ＰＳ１，ＤＰＳ２）が出力する電流値に相当する電流検
出信号Ｖｉから電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを演算する高周
波電源の進行波電力制御方法であって、電力増幅回路で
増幅して出力する進行波電力値ＰＦが、電力目標値にな
るように制御する高周波電源の進行波電力制御方法にお
いて、高周波電源装置ＨＰから出力される進行波電力値
ＰＦを検出した進行波電力検出信号Ｖｐｆを出力する電
力検出過程と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から予
め定めた緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでは上記電
力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩
和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程と、上記緩和時間
Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は上記ジャンクション温度Ｔ
ｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制基準し
きい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈ
とする基準しきい値設定過程と、上記電力増幅回路にお
いて増幅のための電力供給源（ＤＰＳ１，ＤＰＳ２）が
出力する電流値に相当する電流検出信号Ｖｉと上記電流
抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとを用いて進行波電力値ＰＦ
を抑制するための電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを演算する電
流抑制信号演算過程と、上記進行波電力値ＰＦの設定値
に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと上記電流抑制
信号Ｖｉｓｕｂとを用いて電力目標値信号Ｖｔｉを演算
する電力目標値信号演算過程と、上記電力目標値信号Ｖ
ｔｉと進行波電力検出信号Ｖｐｆとを用いて電力制御信
号Ｖｃｏｎｔを演算する電力制御信号演算過程とから成
り、上記電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって上記進行波電
力値ＰＦが電力目標値になるように制御する高周波電源
の進行波電力制御方法である。
波電源装置ＨＰ１３（第１０の実施例）又は図２７の高
周波電源装置ＨＰ２３（第１１の実施例）の高周波電源
の進行波電力制御方法であって、図７又は図８の反射波
電力値ＰＲから電力抑制信号Ｖｓｕｂを演算する代わり
に、電力増幅回路において増幅のための電力供給源（Ｄ
ＰＳ１，ＤＰＳ２）が出力する電流値に相当する電流検
出信号Ｖｉから電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを演算する高周
波電源の進行波電力制御方法であって、電力増幅回路で
増幅して出力する進行波電力値ＰＦが、電力目標値にな
るように制御する高周波電源の進行波電力制御方法にお
いて、高周波電源装置ＨＰから出力される進行波電力値
ＰＦを検出した進行波電力検出信号Ｖｐｆを出力する電
力検出過程と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から予
め定めた緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでは上記電
力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩
和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程と、上記緩和時間
Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は上記ジャンクション温度Ｔ
ｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制基準し
きい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈ
とする基準しきい値設定過程と、上記電力増幅回路にお
いて増幅のための電力供給源（ＤＰＳ１，ＤＰＳ２）が
出力する電流値に相当する電流検出信号Ｖｉと上記電流
抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとを用いて進行波電力値ＰＦ
を抑制するための電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを演算する電
流抑制信号演算過程と、上記進行波電力値ＰＦの設定値
に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと上記電流抑制
信号Ｖｉｓｕｂとを用いて電力目標値信号Ｖｔｉを演算
する電力目標値信号演算過程と、上記電力目標値信号Ｖ
ｔｉと進行波電力検出信号Ｖｐｆとを用いて電力制御信
号Ｖｃｏｎｔを演算する電力制御信号演算過程とから成
り、上記電力制御信号Ｖｃｏｎｔによって上記進行波電
力値ＰＦが電力目標値になるように制御する高周波電源
の進行波電力制御方法である。
【００５２】出願時の請求項７の発明は、出願時の請求
項４に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電力
ＰＦの出力開始時は上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
とする抑制緩和しきい値設定過程であり、基準しきい値
設定過程が、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記ジャンク
ション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にす
る電力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信
号Ｖｔｈとする基準しきい値設定過程である高周波電源
の進行波電力制御方法である。
項４に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電力
ＰＦの出力開始時は上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
とする抑制緩和しきい値設定過程であり、基準しきい値
設定過程が、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記ジャンク
ション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にす
る電力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信
号Ｖｔｈとする基準しきい値設定過程である高周波電源
の進行波電力制御方法である。
【００５３】出願時の請求項８の発明は、出願時の請求
項５に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電力
ＰＦの出力開始時は上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１及び電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ及び電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程
であり、基準しきい値設定過程が、上記増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
える前に上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
及び電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈ及び電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈと
する基準しきい値設定過程である高周波電源の進行波電
力制御方法である。
項５に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電力
ＰＦの出力開始時は上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１及び電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ及び電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程
であり、基準しきい値設定過程が、上記増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
える前に上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
及び電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈ及び電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈと
する基準しきい値設定過程である高周波電源の進行波電
力制御方法である。
【００５４】出願時の請求項９の発明は、出願時の請求
項６に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電力
ＰＦの出力開始時は上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩
和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程であり、基準しき
い値設定過程が、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔ
ｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記ジャ
ンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下
にする電力目標値に相当する信号値を求めるために用い
る電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しき
い値信号Ｖｉｔｈとする基準しきい値設定過程である高
周波電源の進行波電力制御方法である。
項６に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電力
ＰＦの出力開始時は上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩
和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程であり、基準しき
い値設定過程が、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔ
ｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記ジャ
ンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下
にする電力目標値に相当する信号値を求めるために用い
る電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しき
い値信号Ｖｉｔｈとする基準しきい値設定過程である高
周波電源の進行波電力制御方法である。
【００５５】出願時の請求項１０の発明は、出願時の請
求項４に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電
力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでは上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩和し
きい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとす
る抑制緩和しきい値設定過程であり、基準しきい値設定
過程が、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘに達したときは上記ジャンクション温度Ｔ
ｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制基準し
きい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとす
る基準しきい値設定過程である高周波電源の進行波電力
制御方法である。
求項４に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電
力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでは上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩和し
きい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとす
る抑制緩和しきい値設定過程であり、基準しきい値設定
過程が、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘに達したときは上記ジャンクション温度Ｔ
ｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制基準し
きい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとす
る基準しきい値設定過程である高周波電源の進行波電力
制御方法である。
【００５６】出願時の請求項１１の発明は、出願時の請
求項５に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電
力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでは上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩和し
きい値信号Ｖｔｈ１及び電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ及び電流抑制しき
い値信号Ｖｉｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程であ
り、基準しきい値設定過程が、上記ジャンクション温度
Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは上記
ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるために
用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０及び電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖ
ｔｈ及び電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとする基準しき
い値設定過程である高周波電源の進行波電力制御方法で
ある。
求項５に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電
力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでは上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩和し
きい値信号Ｖｔｈ１及び電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ及び電流抑制しき
い値信号Ｖｉｔｈとする抑制緩和しきい値設定過程であ
り、基準しきい値設定過程が、上記ジャンクション温度
Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは上記
ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるために
用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０及び電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖ
ｔｈ及び電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとする基準しき
い値設定過程である高周波電源の進行波電力制御方法で
ある。
【００５７】出願時の請求項１２の発明は、出願時の請
求項６に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電
力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでは上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩和し
きい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈ
とする抑制緩和しきい値設定過程であり、基準しきい値
設定過程が、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘに達したときは上記ジャンクション温
度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとする基準しきい値設定過程である高周波電源の進
行波電力制御方法である。
求項６に記載の抑制緩和しきい値設定過程が、進行波電
力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでは上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩和し
きい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈ
とする抑制緩和しきい値設定過程であり、基準しきい値
設定過程が、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘに達したときは上記ジャンクション温
度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとする基準しきい値設定過程である高周波電源の進
行波電力制御方法である。
【００５８】出願時の請求項１３の発明は、図１２（図
１１の第１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施
例）に示すように、出願時の請求項４又は出願時の請求
項５又は出願時の請求項７又は出願時の請求項８又は出
願時の請求項１０又は出願時の請求項１１に記載の電力
抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、一定であ
る高周波電源の進行波電力制御方法である。
１１の第１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施
例）に示すように、出願時の請求項４又は出願時の請求
項５又は出願時の請求項７又は出願時の請求項８又は出
願時の請求項１０又は出願時の請求項１１に記載の電力
抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、一定であ
る高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００５９】出願時の請求項１４の発明は、出願時の請
求項５又は出願時の請求項６又は出願時の請求項８又は
出願時の請求項９又は出願時の請求項１１又は出願時の
請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値信号値Ｖｉｔ
ｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電流抑制基準
しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔ
ｈとするまでの間は、一定である高周波電源の進行波電
力制御方法である。
求項５又は出願時の請求項６又は出願時の請求項８又は
出願時の請求項９又は出願時の請求項１１又は出願時の
請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値信号値Ｖｉｔ
ｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電流抑制基準
しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔ
ｈとするまでの間は、一定である高周波電源の進行波電
力制御方法である。
【００６０】出願時の請求項１５の発明は、出願時の請
求項４又は出願時の請求項５又は出願時の請求項７又は
出願時の請求項８又は出願時の請求項１０又は出願時の
請求項１１に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ
１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力抑制基準し
きい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとす
るまでの間は、一定でない高周波電源の進行波電力制御
方法である。
求項４又は出願時の請求項５又は出願時の請求項７又は
出願時の請求項８又は出願時の請求項１０又は出願時の
請求項１１に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ
１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力抑制基準し
きい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとす
るまでの間は、一定でない高周波電源の進行波電力制御
方法である。
【００６１】出願時の請求項１６の発明は、出願時の請
求項５又は出願時の請求項６又は出願時の請求項８又は
出願時の請求項９又は出願時の請求項１１又は出願時の
請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値信号値Ｖｉｔ
ｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電流抑制基準
しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔ
ｈとするまでの間は、一定でない高周波電源の進行波電
力制御方法である。
求項５又は出願時の請求項６又は出願時の請求項８又は
出願時の請求項９又は出願時の請求項１１又は出願時の
請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値信号値Ｖｉｔ
ｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電流抑制基準
しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔ
ｈとするまでの間は、一定でない高周波電源の進行波電
力制御方法である。
【００６２】変形例１の発明は、図１６（図１５の第３
の実施例）に示すように、出願時の請求項４又は出願時
の請求項５又は出願時の請求項７又は出願時の請求項８
又は出願時の請求項１０又は出願時の請求項１１に記載
の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力
ＰＦの出力開始時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、連
続的に減少する高周波電源の進行波電力制御方法であ
る。
の実施例）に示すように、出願時の請求項４又は出願時
の請求項５又は出願時の請求項７又は出願時の請求項８
又は出願時の請求項１０又は出願時の請求項１１に記載
の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力
ＰＦの出力開始時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、連
続的に減少する高周波電源の進行波電力制御方法であ
る。
【００６３】変形例２の発明は、出願時の請求項５又は
出願時の請求項６又は出願時の請求項８又は出願時の請
求項９又は出願時の請求項１１又は出願時の請求項１２
に記載の電流抑制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進
行波電力ＰＦの出力開始時から電流抑制基準しきい値信
号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするま
での間は、連続的に減少する高周波電源の進行波電力制
御方法である。
出願時の請求項６又は出願時の請求項８又は出願時の請
求項９又は出願時の請求項１１又は出願時の請求項１２
に記載の電流抑制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進
行波電力ＰＦの出力開始時から電流抑制基準しきい値信
号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするま
での間は、連続的に減少する高周波電源の進行波電力制
御方法である。
【００６４】変形例３の発明は、図１８（図１７の第４
の実施例）に示すように、出願時の請求項４又は出願時
の請求項５又は出願時の請求項７又は出願時の請求項８
又は出願時の請求項１０又は出願時の請求項１１に記載
の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力
ＰＦの出力開始時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、段
階的に減少する高周波電源の進行波電力制御方法であ
る。
の実施例）に示すように、出願時の請求項４又は出願時
の請求項５又は出願時の請求項７又は出願時の請求項８
又は出願時の請求項１０又は出願時の請求項１１に記載
の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力
ＰＦの出力開始時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、段
階的に減少する高周波電源の進行波電力制御方法であ
る。
【００６５】変形例４の発明は、出願時の請求項５又は
出願時の請求項６又は出願時の請求項８又は出願時の請
求項９又は出願時の請求項１１又は出願時の請求項１２
に記載の電流抑制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進
行波電力ＰＦの出力開始時から電流抑制基準しきい値信
号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするま
での間は、段階的に減少する高周波電源の進行波電力制
御方法である。
出願時の請求項６又は出願時の請求項８又は出願時の請
求項９又は出願時の請求項１１又は出願時の請求項１２
に記載の電流抑制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進
行波電力ＰＦの出力開始時から電流抑制基準しきい値信
号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするま
での間は、段階的に減少する高周波電源の進行波電力制
御方法である。
【００６６】変形例５の発明は、図１２（図１１の第１
の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示す
ように、出願時の請求項４又は出願時の請求項５に記載
の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力
ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するま
での間は、一定である高周波電源の進行波電力制御方法
である。
の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示す
ように、出願時の請求項４又は出願時の請求項５に記載
の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力
ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するま
での間は、一定である高周波電源の進行波電力制御方法
である。
【００６７】変形例６の発明は、出願時の請求項５又は
出願時の請求項６に記載の電流抑制緩和しきい値信号値
Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時
間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの間は、一定である高周
波電源の進行波電力制御方法である。
出願時の請求項６に記載の電流抑制緩和しきい値信号値
Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時
間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの間は、一定である高周
波電源の進行波電力制御方法である。
【００６８】変形例７の発明は、出願時の請求項４又は
出願時の請求項５に記載の電力抑制緩和しきい値信号値
Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間
Ｅｔｉｍｅが経過するまでの間は、一定でない高周波電
源の進行波電力制御方法である。
出願時の請求項５に記載の電力抑制緩和しきい値信号値
Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間
Ｅｔｉｍｅが経過するまでの間は、一定でない高周波電
源の進行波電力制御方法である。
【００６９】変形例８の発明は、出願時の請求項５又は
出願時の請求項６に記載の電流抑制緩和しきい値信号値
Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時
間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの間は、一定でない高周
波電源の進行波電力制御方法である。
出願時の請求項６に記載の電流抑制緩和しきい値信号値
Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時
間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの間は、一定でない高周
波電源の進行波電力制御方法である。
【００７０】変形例９の発明は、図１６（図１５の第３
の実施例）に示すように、出願時の請求項４又は出願時
の請求項５に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ
１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが経過するまでの間は、連続的に減少する高周波電
源の進行波電力制御方法である。
の実施例）に示すように、出願時の請求項４又は出願時
の請求項５に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ
１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが経過するまでの間は、連続的に減少する高周波電
源の進行波電力制御方法である。
【００７１】変形例１０の発明は、出願時の請求項５又
は出願時の請求項６に記載の電流抑制緩和しきい値信号
値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの間は、連続的に減少
する高周波電源の進行波電力制御方法である。
は出願時の請求項６に記載の電流抑制緩和しきい値信号
値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの間は、連続的に減少
する高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００７２】変形例１１の発明は、図１８（図１７の第
４の実施例）に示すように、出願時の請求項４又は出願
時の請求項５に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔ
ｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｔ
ｉｍｅが経過するまでの間は、段階的に減少する高周波
電源の進行波電力制御方法である。
４の実施例）に示すように、出願時の請求項４又は出願
時の請求項５に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔ
ｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｔ
ｉｍｅが経過するまでの間は、段階的に減少する高周波
電源の進行波電力制御方法である。
【００７３】変形例１２の発明は、出願時の請求項５又
は出願時の請求項６に記載の電流抑制緩和しきい値信号
値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの間は、段階的に減少
する高周波電源の進行波電力制御方法である。
は出願時の請求項６に記載の電流抑制緩和しきい値信号
値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの間は、段階的に減少
する高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００７４】変形例１３の発明は、図１２（図１１の第
１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示
すように、出願時の請求項１０又は出願時の請求項１１
に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行
波電力ＰＦの出力開始時から電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでの間は、一定である高周波電源の進行波電
力制御方法である。
１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示
すように、出願時の請求項１０又は出願時の請求項１１
に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行
波電力ＰＦの出力開始時から電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでの間は、一定である高周波電源の進行波電
力制御方法である。
【００７５】変形例１４の発明は、出願時の請求項１１
又は出願時の請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値
信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、一定で
ある高周波電源の進行波電力制御方法である。
又は出願時の請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値
信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、一定で
ある高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００７６】変形例１５の発明は、出願時の請求項１０
又は出願時の請求項１１に記載の電力抑制緩和しきい値
信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電
力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、一定でな
い高周波電源の進行波電力制御方法である。
又は出願時の請求項１１に記載の電力抑制緩和しきい値
信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電
力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、一定でな
い高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００７７】変形例１６の発明は、出願時の請求項１１
又は出願時の請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値
信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、一定で
ない高周波電源の進行波電力制御方法である。
又は出願時の請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値
信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、一定で
ない高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００７８】変形例１７の発明は、図１６（図１５の第
３の実施例）に示すように、出願時の請求項１０又は出
願時の請求項１１に記載の電力抑制緩和しきい値信号値
Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力増幅
回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、連続的に減少す
る高周波電源の進行波電力制御方法である。
３の実施例）に示すように、出願時の請求項１０又は出
願時の請求項１１に記載の電力抑制緩和しきい値信号値
Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力増幅
回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、連続的に減少す
る高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００７９】変形例１８の発明は、出願時の請求項１１
又は出願時の請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値
信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、連続的
に減少する高周波電源の進行波電力制御方法である。
又は出願時の請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値
信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、連続的
に減少する高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００８０】変形例１９の発明は、図１８（図１７の第
４の実施例）に示すように、出願時の請求項１０又は出
願時の請求項１１に記載の電力抑制緩和しきい値信号値
Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力増幅
回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、段階的に減少す
る高周波電源の進行波電力制御方法である。
４の実施例）に示すように、出願時の請求項１０又は出
願時の請求項１１に記載の電力抑制緩和しきい値信号値
Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力増幅
回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、段階的に減少す
る高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００８１】変形例２０の発明は、出願時の請求項１１
又は出願時の請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値
信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、段階的
に減少する高周波電源の進行波電力制御方法である。
又は出願時の請求項１２に記載の電流抑制緩和しきい値
信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、段階的
に減少する高周波電源の進行波電力制御方法である。
【００８２】変形例２１の発明は、出願時の請求項５に
記載の反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅと電流保護用緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅとが同じ時間である高周波電源の進行
波電力制御方法である。
記載の反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅと電流保護用緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅとが同じ時間である高周波電源の進行
波電力制御方法である。
【００８３】変形例２２の発明は、出願時の請求項５に
記載の反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅと電流保護用緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅとが異なる時間である高周波電源の進
行波電力制御方法である。
記載の反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅと電流保護用緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅとが異なる時間である高周波電源の進
行波電力制御方法である。
【００８４】出願時の請求項１７の発明は、図７又は図
８に示すように、電力増幅回路で増幅して出力する進行
波電力値ＰＦが、電力目標値になるように制御する高周
波電源装置において、高周波電源装置ＨＰから出力され
る進行波電力値ＰＦを検出した進行波電力検出信号Ｖｐ
ｆ及び高周波電源装置ＨＰに反射入力される反射波電力
値ＰＲを検出した反射波電力検出信号Ｖｐｒを出力する
電力検出器ＤＥＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
ることを許容した電力目標値に相当する信号値を求める
ために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発生
させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度
Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求
めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を
発生させて、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定め
られた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは、上記電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈとし、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定め
られた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は、電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
とし、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となるよ
うに制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行
波電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖ
ｓｅｔ及び上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制
しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制
信号Ｖｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによって求
めて出力する電力制御手段ＰＣＯＮと、上記電力制御信
号Ｖｃｏｎｔを入力して進行波電力値ＰＦが電力目標値
になるように制御して進行波電力ＰＦを出力する上記電
力増幅回路を含んだ電力出力手段ＰＯＵＴとを備えた高
周波電源装置である。
８に示すように、電力増幅回路で増幅して出力する進行
波電力値ＰＦが、電力目標値になるように制御する高周
波電源装置において、高周波電源装置ＨＰから出力され
る進行波電力値ＰＦを検出した進行波電力検出信号Ｖｐ
ｆ及び高周波電源装置ＨＰに反射入力される反射波電力
値ＰＲを検出した反射波電力検出信号Ｖｐｒを出力する
電力検出器ＤＥＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
ることを許容した電力目標値に相当する信号値を求める
ために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発生
させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度
Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求
めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を
発生させて、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定め
られた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは、上記電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈとし、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定め
られた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は、電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
とし、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となるよ
うに制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行
波電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖ
ｓｅｔ及び上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制
しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制
信号Ｖｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによって求
めて出力する電力制御手段ＰＣＯＮと、上記電力制御信
号Ｖｃｏｎｔを入力して進行波電力値ＰＦが電力目標値
になるように制御して進行波電力ＰＦを出力する上記電
力増幅回路を含んだ電力出力手段ＰＯＵＴとを備えた高
周波電源装置である。
【００８５】出願時の請求項１８の発明は、図２３（第
８の実施例）と図２４又は図２５（第９の実施例）と図
２４とに示すように、電力増幅回路で増幅して出力する
進行波電力値ＰＦが、電力目標値になるように制御する
高周波電源装置において、高周波電源装置ＨＰから出力
される進行波電力値ＰＦを検出した進行波電力検出信号
Ｖｐｆ及び高周波電源装置ＨＰに反射入力される反射波
電力値ＰＲを検出した反射波電力検出信号Ｖｐｒを出力
する電力検出器ＤＥＴと、上記電力増幅回路において増
幅のための電力供給源（ＤＰＳ１，ＤＰＳ２）が出力す
る電流値に相当する電流検出信号Ｖｉを出力する電流検
出器ＩＤＥＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるこ
とを許容した電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及び電流抑
制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジャン
クション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下に
する電力目標値に相当する信号値を求めるために用いる
電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０及び電流抑制基準し
きい値信号Ｖｉｔｈ０を発生させて、上記進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時から定められた反射保護用緩和時間Ｅｔ
ｉｍｅが経過するまでは、電力抑制緩和しきい値信号Ｖ
ｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記進行波
電力ＰＦの出力開始時から定められた反射保護用緩和時
間Ｅｔｉｍｅが経過した後は、電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとするととも
に、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定められた電
流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでは、電流
抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信
号Ｖｉｔｈとし、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から
定められた電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した
後は、電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとし、出力する進行波電力値ＰＦ
が電力目標値となるように制御するための電力制御信号
Ｖｃｏｎｔを上記進行波電力値ＰＦの設定値に相当する
進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ及び上記反射波電力検出信
号値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応
じて変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂ及び上記電流検出信
号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応
じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂ及び進行波電力検
出信号Ｖｐｆによって求めて出力する電力制御手段ＰＣ
ＯＮと、上記電力制御信号Ｖｃｏｎｔを入力して進行波
電力値ＰＦが電力目標値になるように制御して進行波電
力ＰＦを出力する上記電力増幅回路を含んだ電力出力手
段ＰＯＵＴとを備えた高周波電源装置である。
８の実施例）と図２４又は図２５（第９の実施例）と図
２４とに示すように、電力増幅回路で増幅して出力する
進行波電力値ＰＦが、電力目標値になるように制御する
高周波電源装置において、高周波電源装置ＨＰから出力
される進行波電力値ＰＦを検出した進行波電力検出信号
Ｖｐｆ及び高周波電源装置ＨＰに反射入力される反射波
電力値ＰＲを検出した反射波電力検出信号Ｖｐｒを出力
する電力検出器ＤＥＴと、上記電力増幅回路において増
幅のための電力供給源（ＤＰＳ１，ＤＰＳ２）が出力す
る電流値に相当する電流検出信号Ｖｉを出力する電流検
出器ＩＤＥＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるこ
とを許容した電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及び電流抑
制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジャン
クション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下に
する電力目標値に相当する信号値を求めるために用いる
電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０及び電流抑制基準し
きい値信号Ｖｉｔｈ０を発生させて、上記進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時から定められた反射保護用緩和時間Ｅｔ
ｉｍｅが経過するまでは、電力抑制緩和しきい値信号Ｖ
ｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記進行波
電力ＰＦの出力開始時から定められた反射保護用緩和時
間Ｅｔｉｍｅが経過した後は、電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとするととも
に、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定められた電
流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでは、電流
抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信
号Ｖｉｔｈとし、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から
定められた電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した
後は、電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとし、出力する進行波電力値ＰＦ
が電力目標値となるように制御するための電力制御信号
Ｖｃｏｎｔを上記進行波電力値ＰＦの設定値に相当する
進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ及び上記反射波電力検出信
号値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応
じて変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂ及び上記電流検出信
号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応
じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂ及び進行波電力検
出信号Ｖｐｆによって求めて出力する電力制御手段ＰＣ
ＯＮと、上記電力制御信号Ｖｃｏｎｔを入力して進行波
電力値ＰＦが電力目標値になるように制御して進行波電
力ＰＦを出力する上記電力増幅回路を含んだ電力出力手
段ＰＯＵＴとを備えた高周波電源装置である。
【００８６】出願時の請求項１９の発明は、図２６（第
１０の実施例）と図２４又は図２７（第１１の実施例）
と図２４とに示すように、電力増幅回路で増幅して出力
する進行波電力値ＰＦが、電力目標値になるように制御
する高周波電源装置において、高周波電源装置ＨＰから
出力される進行波電力値ＰＦを検出した進行波電力検出
信号Ｖｐｆを出力する進行波電力検出器ＤＥＴｆと、上
記電力増幅回路において増幅のための電力供給源（ＤＰ
Ｓ１，ＤＰＳ２）が出力する電流値に相当する電流検出
信号Ｖｉを出力する電流検出器ＩＤＥＴと、電力増幅回
路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい
値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジャンクション温度
Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標
値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制基準
しきい値信号Ｖｉｔｈ０を発生させて、上記進行波電力
ＰＦの出力開始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉｍｅ
が経過するまでは、電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ
１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記進行波電
力ＰＦの出力開始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉｍ
ｅが経過した後は、電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ
０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、出力する進行
波電力値ＰＦが電力目標値となるように制御するための
電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行波電力値ＰＦの設定
値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ及び上記電流
検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの
差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂ及び進行波
電力検出信号Ｖｐｆによって求めて出力する電力制御手
段ＰＣＯＮと、上記電力制御信号Ｖｃｏｎｔを入力して
進行波電力値ＰＦが電力目標値になるように制御して進
行波電力ＰＦを出力する上記電力増幅回路を含んだ電力
出力手段ＰＯＵＴとを備えた高周波電源装置である。
１０の実施例）と図２４又は図２７（第１１の実施例）
と図２４とに示すように、電力増幅回路で増幅して出力
する進行波電力値ＰＦが、電力目標値になるように制御
する高周波電源装置において、高周波電源装置ＨＰから
出力される進行波電力値ＰＦを検出した進行波電力検出
信号Ｖｐｆを出力する進行波電力検出器ＤＥＴｆと、上
記電力増幅回路において増幅のための電力供給源（ＤＰ
Ｓ１，ＤＰＳ２）が出力する電流値に相当する電流検出
信号Ｖｉを出力する電流検出器ＩＤＥＴと、電力増幅回
路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい
値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジャンクション温度
Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標
値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制基準
しきい値信号Ｖｉｔｈ０を発生させて、上記進行波電力
ＰＦの出力開始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉｍｅ
が経過するまでは、電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ
１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記進行波電
力ＰＦの出力開始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉｍ
ｅが経過した後は、電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ
０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、出力する進行
波電力値ＰＦが電力目標値となるように制御するための
電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行波電力値ＰＦの設定
値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ及び上記電流
検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの
差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂ及び進行波
電力検出信号Ｖｐｆによって求めて出力する電力制御手
段ＰＣＯＮと、上記電力制御信号Ｖｃｏｎｔを入力して
進行波電力値ＰＦが電力目標値になるように制御して進
行波電力ＰＦを出力する上記電力増幅回路を含んだ電力
出力手段ＰＯＵＴとを備えた高周波電源装置である。
【００８７】出願時の請求項２０の発明は、図７又は図
８に示すように、出願時の請求項１７に記載の電力制御
手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるこ
とを許容した電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発生さ
せ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を発
生させて、進行波電力ＰＦの出力開始時は上記電力抑制
緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈとし、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に電力抑制基準しき
い値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、
出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となるように制
御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行波電力
値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
及び上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい
値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖ
ｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによって求めて出
力する電力制御手段ＰＣＯＮである高周波電源装置であ
る。
８に示すように、出願時の請求項１７に記載の電力制御
手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるこ
とを許容した電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発生さ
せ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を発
生させて、進行波電力ＰＦの出力開始時は上記電力抑制
緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈとし、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に電力抑制基準しき
い値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、
出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となるように制
御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行波電力
値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
及び上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい
値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖ
ｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによって求めて出
力する電力制御手段ＰＣＯＮである高周波電源装置であ
る。
【００８８】出願時の請求項２１の発明は、図２３（第
８の実施例）と図２４又は図２５（第９の実施例）と図
２４とに示すように、出願時の請求項１８に記載の電力
制御手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
ることを許容した電力目標値に相当する信号値を求める
ために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及び電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジ
ャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以
下にする電力目標値に相当する信号値を求めるために用
いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０及び電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を発生させて、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時は、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１
を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記増幅素子のジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを
超える前に、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈとするとともに、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時は、電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ
１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘを超える前に、電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０
を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、出力する進行波
電力値ＰＦが電力目標値となるように制御するための電
力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行波電力値ＰＦの設定値
に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ及び上記反射波
電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈ
との差に応じて変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂ及び上記
電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈ
との差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂ及び進
行波電力検出信号Ｖｐｆによって求めて出力する電力制
御手段ＰＣＯＮである高周波電源装置である。
８の実施例）と図２４又は図２５（第９の実施例）と図
２４とに示すように、出願時の請求項１８に記載の電力
制御手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
ることを許容した電力目標値に相当する信号値を求める
ために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及び電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジ
ャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以
下にする電力目標値に相当する信号値を求めるために用
いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０及び電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を発生させて、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時は、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１
を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記増幅素子のジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを
超える前に、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈとするとともに、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時は、電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ
１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘを超える前に、電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０
を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、出力する進行波
電力値ＰＦが電力目標値となるように制御するための電
力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行波電力値ＰＦの設定値
に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ及び上記反射波
電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈ
との差に応じて変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂ及び上記
電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈ
との差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂ及び進
行波電力検出信号Ｖｐｆによって求めて出力する電力制
御手段ＰＣＯＮである高周波電源装置である。
【００８９】出願時の請求項２２の発明は、図２６（第
１０の実施例）と図２４又は図２７（第１１の実施例）
と図２４とに示すように、出願時の請求項１９に記載の
電力制御手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを
超えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求
めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１
を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号
値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０を発生させて、進行波電力ＰＦの出力開始時は、
電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい
値信号Ｖｉｔｈとし、上記増幅素子のジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に、電
流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値
信号Ｖｉｔｈとし、出力する進行波電力値ＰＦが電力目
標値となるように制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎ
ｔを上記進行波電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電
力設定信号Ｖｓｅｔ及び上記電流検出信号値Ｖｉと電流
抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電
流抑制信号Ｖｉｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆに
よって求めて出力する電力制御手段ＰＣＯＮである高周
波電源装置である。
１０の実施例）と図２４又は図２７（第１１の実施例）
と図２４とに示すように、出願時の請求項１９に記載の
電力制御手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを
超えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求
めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１
を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号
値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０を発生させて、進行波電力ＰＦの出力開始時は、
電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい
値信号Ｖｉｔｈとし、上記増幅素子のジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に、電
流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値
信号Ｖｉｔｈとし、出力する進行波電力値ＰＦが電力目
標値となるように制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎ
ｔを上記進行波電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電
力設定信号Ｖｓｅｔ及び上記電流検出信号値Ｖｉと電流
抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電
流抑制信号Ｖｉｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆに
よって求めて出力する電力制御手段ＰＣＯＮである高周
波電源装置である。
【００９０】出願時の請求項２３の発明は、図７又は図
８に示すように、出願時の請求項１７に記載の電力制御
手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるこ
とを許容した電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発生さ
せ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を発
生させて、進行波電力ＰＦの出力開始時から上記ジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達す
るまでは、上記電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記ジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは、
電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値
信号Ｖｔｈとし、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標
値となるように制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔ
を上記進行波電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力
設定信号Ｖｓｅｔ及び上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒ
と電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化す
る電力抑制信号Ｖｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆ
によって求めて出力する電力制御手段ＰＣＯＮである高
周波電源装置である。
８に示すように、出願時の請求項１７に記載の電力制御
手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるこ
とを許容した電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発生さ
せ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を発
生させて、進行波電力ＰＦの出力開始時から上記ジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達す
るまでは、上記電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記ジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは、
電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値
信号Ｖｔｈとし、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標
値となるように制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔ
を上記進行波電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力
設定信号Ｖｓｅｔ及び上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒ
と電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化す
る電力抑制信号Ｖｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆ
によって求めて出力する電力制御手段ＰＣＯＮである高
周波電源装置である。
【００９１】出願時の請求項２４の発明は、図２３（第
８の実施例）と図２４又は図２５（第９の実施例）と図
２４とに示すように、出願時の請求項１８に記載の電力
制御手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
ることを許容した電力目標値に相当する信号値を求める
ために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及び電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジ
ャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以
下にする電力目標値に相当する信号値を求めるために用
いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０及び電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を発生させて、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達
するまでは、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記ジャンクション温度
Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは、電
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信
号Ｖｔｈとするとともに、進行波電力ＰＦの出力開始時
から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度
Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでは、電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値
信号Ｖｉｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは、電流抑制基準
しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔ
ｈとし、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となる
ように制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進
行波電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号
Ｖｓｅｔ及び上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑
制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑
制信号Ｖｓｕｂ及び上記電流検出信号値Ｖｉと電流抑制
しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑
制信号Ｖｉｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによっ
て求めて出力する電力制御手段ＰＣＯＮである高周波電
源装置である。
８の実施例）と図２４又は図２５（第９の実施例）と図
２４とに示すように、出願時の請求項１８に記載の電力
制御手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
ることを許容した電力目標値に相当する信号値を求める
ために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及び電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジ
ャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以
下にする電力目標値に相当する信号値を求めるために用
いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０及び電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を発生させて、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達
するまでは、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記ジャンクション温度
Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは、電
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信
号Ｖｔｈとするとともに、進行波電力ＰＦの出力開始時
から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度
Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでは、電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値
信号Ｖｉｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは、電流抑制基準
しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔ
ｈとし、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となる
ように制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進
行波電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号
Ｖｓｅｔ及び上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑
制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑
制信号Ｖｓｕｂ及び上記電流検出信号値Ｖｉと電流抑制
しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑
制信号Ｖｉｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによっ
て求めて出力する電力制御手段ＰＣＯＮである高周波電
源装置である。
【００９２】出願時の請求項２５の発明は、図２６（第
１０の実施例）と図２４又は図２７（第１１の実施例）
と図２４とに示すように、出願時の請求項１９に記載の
電力制御手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを
超えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求
めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１
を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号
値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０を発生させて、進行波電力ＰＦの出力開始時から
上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊ
が絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでは、電流抑
制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号
Ｖｉｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは、電流抑制基準しき
い値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈと
し、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となるよう
に制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行波
電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓ
ｅｔ及び上記電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信
号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉ
ｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによって求めて出
力する電力制御手段ＰＣＯＮである高周波電源装置であ
る。
１０の実施例）と図２４又は図２７（第１１の実施例）
と図２４とに示すように、出願時の請求項１９に記載の
電力制御手段ＰＣＯＮが、電力増幅回路の増幅素子のジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを
超えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求
めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１
を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号
値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０を発生させて、進行波電力ＰＦの出力開始時から
上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊ
が絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでは、電流抑
制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号
Ｖｉｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは、電流抑制基準しき
い値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈと
し、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となるよう
に制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを上記進行波
電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓ
ｅｔ及び上記電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信
号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉ
ｓｕｂ及び進行波電力検出信号Ｖｐｆによって求めて出
力する電力制御手段ＰＣＯＮである高周波電源装置であ
る。
【００９３】出願時の請求項２６の発明は、第１の実施
例及び第２の実施例に示すように、出願時の請求項１７
に記載の電力制御手段ＰＣＯＮが、出力する進行波電力
値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
を出力する出力電力設定回路ＳＥＴと、進行波電力ＰＦ
を出力開始したときに進行波電力ＰＦを出力開始する前
と異なる所定値の出力開始信号Ｖｓｔを出力する出力開
始信号出力回路ＳＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時から定められた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過
するまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記進行波電力ＰＦの出力
開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は電力抑制
基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈとし、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制し
きい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信
号Ｖｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲＴと、上記進行
波電力設定信号Ｖｓｅｔと電力抑制信号Ｖｓｕｂと進行
波電力検出信号Ｖｐｆとを入力して、出力する進行波電
力値ＰＦが電力目標値となるように制御するための電力
制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する出力設定演算回路ＣＡＬ
とから成る高周波電源装置である。
例及び第２の実施例に示すように、出願時の請求項１７
に記載の電力制御手段ＰＣＯＮが、出力する進行波電力
値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
を出力する出力電力設定回路ＳＥＴと、進行波電力ＰＦ
を出力開始したときに進行波電力ＰＦを出力開始する前
と異なる所定値の出力開始信号Ｖｓｔを出力する出力開
始信号出力回路ＳＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時から定められた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過
するまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記進行波電力ＰＦの出力
開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は電力抑制
基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈとし、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制し
きい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信
号Ｖｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲＴと、上記進行
波電力設定信号Ｖｓｅｔと電力抑制信号Ｖｓｕｂと進行
波電力検出信号Ｖｐｆとを入力して、出力する進行波電
力値ＰＦが電力目標値となるように制御するための電力
制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する出力設定演算回路ＣＡＬ
とから成る高周波電源装置である。
【００９４】出願時の請求項２７の発明は、第８の実施
例及び第９の実施例に示すように、出願時の請求項１８
に記載の電力制御手段ＰＣＯＮが、出力する進行波電力
値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
を出力する出力電力設定回路ＳＥＴと、進行波電力ＰＦ
を出力開始したときに進行波電力ＰＦを出力開始する前
と異なる所定値の出力開始信号Ｖｓｔを出力する出力開
始信号出力回路ＳＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時から定められた反射保護用緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが経過するまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ
１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記進行波電力
ＰＦの出力開始時から反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅが
経過した後は電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記反射波電力検出信号
値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じ
て変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する反射保護回
路ＰＲＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを
許容した電力目標値に相当する信号値を求めるために用
いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、
上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるた
めに用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を発生
させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、
出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進行波
電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦの出力
開始時から定められた電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅ
が経過するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１
を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記進行波電力
ＰＦの出力開始時から電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅ
が経過した後は電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記電流検出信号
値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じ
て変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流保護
回路ＩＰＲＴと、上記進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと電
力抑制信号Ｖｓｕｂと電流抑制信号Ｖｉｓｕｂと進行波
電力検出信号Ｖｐｆとを入力して、出力する進行波電力
値ＰＦが電力目標値となるように制御するための電力制
御信号Ｖｃｏｎｔを出力する出力設定演算回路ＣＡＬと
から成る高周波電源装置である。
例及び第９の実施例に示すように、出願時の請求項１８
に記載の電力制御手段ＰＣＯＮが、出力する進行波電力
値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓｅｔ
を出力する出力電力設定回路ＳＥＴと、進行波電力ＰＦ
を出力開始したときに進行波電力ＰＦを出力開始する前
と異なる所定値の出力開始信号Ｖｓｔを出力する出力開
始信号出力回路ＳＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時から定められた反射保護用緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが経過するまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ
１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記進行波電力
ＰＦの出力開始時から反射保護用緩和時間Ｅｔｉｍｅが
経過した後は電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記反射波電力検出信号
値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じ
て変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する反射保護回
路ＰＲＴと、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを
許容した電力目標値に相当する信号値を求めるために用
いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生させ、
上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるた
めに用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を発生
させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、
出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進行波
電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦの出力
開始時から定められた電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅ
が経過するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１
を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記進行波電力
ＰＦの出力開始時から電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉｍｅ
が経過した後は電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記電流検出信号
値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じ
て変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流保護
回路ＩＰＲＴと、上記進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと電
力抑制信号Ｖｓｕｂと電流抑制信号Ｖｉｓｕｂと進行波
電力検出信号Ｖｐｆとを入力して、出力する進行波電力
値ＰＦが電力目標値となるように制御するための電力制
御信号Ｖｃｏｎｔを出力する出力設定演算回路ＣＡＬと
から成る高周波電源装置である。
【００９５】出願時の請求項２８の発明は、第１０の実
施例及び第１１の実施例に示すように、出願時の請求項
１９に記載の電力制御手段ＰＣＯＮが、出力する進行波
電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓ
ｅｔを出力する出力電力設定回路ＳＥＴと、進行波電力
ＰＦを出力開始したときに進行波電力ＰＦを出力開始す
る前と異なる所定値の出力開始信号Ｖｓｔを出力する出
力開始信号出力回路ＳＴと、電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
を超えることを許容した電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ
１を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信
号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖ
ｉｔｈ０を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓ
ｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったと
きを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波
電力ＰＦの出力開始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉ
ｍｅが経過するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記進行波
電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過
した後は電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑
制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記電流検出信号値Ｖｉ
と電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化
する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流保護回路Ｉ
ＰＲＴと、上記進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと電流抑制
信号Ｖｉｓｕｂと進行波電力検出信号Ｖｐｆとを入力し
て、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となるよう
に制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する出
力設定演算回路ＣＡＬとから成る高周波電源装置であ
る。
施例及び第１１の実施例に示すように、出願時の請求項
１９に記載の電力制御手段ＰＣＯＮが、出力する進行波
電力値ＰＦの設定値に相当する進行波電力設定信号Ｖｓ
ｅｔを出力する出力電力設定回路ＳＥＴと、進行波電力
ＰＦを出力開始したときに進行波電力ＰＦを出力開始す
る前と異なる所定値の出力開始信号Ｖｓｔを出力する出
力開始信号出力回路ＳＴと、電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
を超えることを許容した電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ
１を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信
号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖ
ｉｔｈ０を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓ
ｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったと
きを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波
電力ＰＦの出力開始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉ
ｍｅが経過するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記進行波
電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過
した後は電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑
制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記電流検出信号値Ｖｉ
と電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化
する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流保護回路Ｉ
ＰＲＴと、上記進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと電流抑制
信号Ｖｉｓｕｂと進行波電力検出信号Ｖｐｆとを入力し
て、出力する進行波電力値ＰＦが電力目標値となるよう
に制御するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する出
力設定演算回路ＣＡＬとから成る高周波電源装置であ
る。
【００９６】変形例２３の発明は、第１の実施例及び第
２の実施例に示すように、出願時の請求項２６に記載の
反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時は電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
る前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈとし、上記反射波電力検出信号値Ｖｐ
ｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化
する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲ
Ｔである高周波電源装置である。
２の実施例に示すように、出願時の請求項２６に記載の
反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時は電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
る前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈとし、上記反射波電力検出信号値Ｖｐ
ｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化
する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲ
Ｔである高周波電源装置である。
【００９７】変形例２４の発明は、第８の実施例及び第
９の実施例に示すように、出願時の請求項２７に記載の
反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時は電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
る前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈとし、上記反射波電力検出信号値Ｖｐ
ｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化
する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲ
Ｔであり、電流保護回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増
幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値に相当する
信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい
値信号Ｖｉｔｈ０を発生させるとともに、上記出力開始
信号Ｖｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値に
なったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上
記進行波電力ＰＦの出力開始時は電流抑制緩和しきい値
信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、
上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘを超える前に電流抑制基準しきい値信号
Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記
電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈ
との差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力
する電流保護回路ＩＰＲＴである高周波電源装置であ
る。
９の実施例に示すように、出願時の請求項２７に記載の
反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時は電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、上記増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
る前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈとし、上記反射波電力検出信号値Ｖｐ
ｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化
する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲ
Ｔであり、電流保護回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増
幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値に相当する
信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい
値信号Ｖｉｔｈ０を発生させるとともに、上記出力開始
信号Ｖｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値に
なったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上
記進行波電力ＰＦの出力開始時は電流抑制緩和しきい値
信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、
上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘを超える前に電流抑制基準しきい値信号
Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記
電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈ
との差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力
する電流保護回路ＩＰＲＴである高周波電源装置であ
る。
【００９８】変形例２５の発明は、第１０の実施例及び
第１１の実施例に示すように、出願時の請求項２８に記
載の電流保護回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘを超えることを許容した電力目標値に相当する信号値
を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最
大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する
信号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号
Ｖｉｔｈ０を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖ
ｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になった
ときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行
波電力ＰＦの出力開始時は電流抑制緩和しきい値信号Ｖ
ｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記増
幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘを超える前に電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記電流検
出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差
に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電
流保護回路ＩＰＲＴである高周波電源装置である。
第１１の実施例に示すように、出願時の請求項２８に記
載の電流保護回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘを超えることを許容した電力目標値に相当する信号値
を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最
大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する
信号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号
Ｖｉｔｈ０を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖ
ｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になった
ときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行
波電力ＰＦの出力開始時は電流抑制緩和しきい値信号Ｖ
ｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記増
幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘを超える前に電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記電流検
出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差
に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電
流保護回路ＩＰＲＴである高周波電源装置である。
【００９９】変形例２６の発明は、第１の実施例及び第
２の実施例に示すように、出願時の請求項２６に記載の
反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電力ＰＦの出
力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するま
では電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しき
い値信号Ｖｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは電力抑制基準
しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
し、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい
値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖ
ｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲＴである高周波電源
装置である。
２の実施例に示すように、出願時の請求項２６に記載の
反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電力ＰＦの出
力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するま
では電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しき
い値信号Ｖｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは電力抑制基準
しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
し、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい
値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖ
ｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲＴである高周波電源
装置である。
【０１００】変形例２７の発明は、第８の実施例及び第
９の実施例に示すように、出願時の請求項２７に記載の
反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電力ＰＦの出
力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するま
では電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しき
い値信号Ｖｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは電力抑制基準
しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
し、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい
値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖ
ｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲＴであり、電流保護
回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるこ
とを許容した電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生さ
せ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力し
て、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進
行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電力ＰＦの出力
開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
は電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しき
い値信号Ｖｉｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとし、上記電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値
信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑制信号Ｖ
ｉｓｕｂを出力する電流保護回路ＩＰＲＴである高周波
電源装置である。
９の実施例に示すように、出願時の請求項２７に記載の
反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超
えることを許容した電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を発
生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力
して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記
進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電力ＰＦの出
力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するま
では電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しき
い値信号Ｖｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは電力抑制基準
しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
し、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい
値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖ
ｓｕｂを出力する反射保護回路ＰＲＴであり、電流保護
回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるこ
とを許容した電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を発生さ
せ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力し
て、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進
行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電力ＰＦの出力
開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
は電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しき
い値信号Ｖｉｔｈとし、上記ジャンクション温度Ｔｊが
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとし、上記電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値
信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑制信号Ｖ
ｉｓｕｂを出力する電流保護回路ＩＰＲＴである高周波
電源装置である。
【０１０１】変形例２８の発明は、第１０の実施例及び
第１１の実施例に示すように、出願時の請求項２８に記
載の電流保護回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘを超えることを許容した電力目標値に相当する信号値
を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最
大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する
信号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号
Ｖｉｔｈ０を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖ
ｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になった
ときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電
力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記ジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したとき
は電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しき
い値信号Ｖｉｔｈとし、上記電流検出信号値Ｖｉと電流
抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電
流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流保護回路ＩＰＲＴ
である高周波電源装置である。
第１１の実施例に示すように、出願時の請求項２８に記
載の電流保護回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘを超えることを許容した電力目標値に相当する信号値
を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を発生させ、上記ジャンクション温度Ｔｊを絶対最
大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する
信号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号
Ｖｉｔｈ０を発生させるとともに、上記出力開始信号Ｖ
ｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になった
ときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電
力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとし、上記ジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したとき
は電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しき
い値信号Ｖｉｔｈとし、上記電流検出信号値Ｖｉと電流
抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電
流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流保護回路ＩＰＲＴ
である高周波電源装置である。
【０１０２】変形例２９の発明は、図１２（図１１の第
１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示
すように、上記に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖ
ｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
とするまでの間は、一定である高周波電源装置である。
１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示
すように、上記に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖ
ｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
とするまでの間は、一定である高周波電源装置である。
【０１０３】変形例３０の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするまでの間は、一定
である高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするまでの間は、一定
である高周波電源装置である。
【０１０４】変形例３１の発明は、上記に記載の電力抑
制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出
力開始時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、一定でない
高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出
力開始時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、一定でない
高周波電源装置である。
【０１０５】変形例３２の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするまでの間は、一定
でない高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするまでの間は、一定
でない高周波電源装置である。
【０１０６】変形例３３の発明は、図１６（図１５の第
３の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、連続的に減少する
高周波電源装置である。
３の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、連続的に減少する
高周波電源装置である。
【０１０７】変形例３４の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするまでの間は、連続
的に減少する高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするまでの間は、連続
的に減少する高周波電源装置である。
【０１０８】変形例３５の発明は、図１８（図１７の第
４の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、段階的に減少する
高周波電源装置である。
４の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈとするまでの間は、段階的に減少する
高周波電源装置である。
【０１０９】変形例３６の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするまでの間は、段階
的に減少する高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとするまでの間は、段階
的に減少する高周波電源装置である。
【０１１０】変形例３７の発明は、図１２（図１１の第
１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示
すように、上記に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖ
ｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅ
ｔｉｍｅが経過するまでの間は、一定である高周波電源
装置である。
１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示
すように、上記に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖ
ｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅ
ｔｉｍｅが経過するまでの間は、一定である高周波電源
装置である。
【０１１１】変形例３８の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの
間は、一定である高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの
間は、一定である高周波電源装置である。
【０１１２】変形例３９の発明は、上記に記載の電力抑
制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出
力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでの間
は、一定でない高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出
力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでの間
は、一定でない高周波電源装置である。
【０１１３】変形例４０の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの
間は、一定でない高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの
間は、一定でない高周波電源装置である。
【０１１４】変形例４１の発明は、図１６（図１５の第
３の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでの間は、連続
的に減少する高周波電源装置である。
３の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでの間は、連続
的に減少する高周波電源装置である。
【０１１５】変形例４２の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの
間は、連続的に減少する高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの
間は、連続的に減少する高周波電源装置である。
【０１１６】変形例４３の発明は、図１８（図１７の第
４の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでの間は、段階
的に減少する高周波電源装置である。
４の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでの間は、段階
的に減少する高周波電源装置である。
【０１１７】変形例４４の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの
間は、段階的に減少する高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでの
間は、段階的に減少する高周波電源装置である。
【０１１８】変形例４５の発明は、図１２（図１１の第
１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示
すように、上記に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖ
ｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力増幅回
路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、一定である高周波
電源装置である。
１の実施例）又は図１４（図１３の第２の実施例）に示
すように、上記に記載の電力抑制緩和しきい値信号値Ｖ
ｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始時から電力増幅回
路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、一定である高周波
電源装置である。
【０１１９】変形例４６の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
の間は、一定である高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
の間は、一定である高周波電源装置である。
【０１２０】変形例４７の発明は、上記に記載の電力抑
制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出
力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの
間は、一定でない高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出
力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの
間は、一定でない高周波電源装置である。
【０１２１】変形例４８の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
の間は、一定でない高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
の間は、一定でない高周波電源装置である。
【０１２２】変形例４９の発明は、図１６（図１５の第
３の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔ
ｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、
連続的に減少する高周波電源装置である。
３の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔ
ｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、
連続的に減少する高周波電源装置である。
【０１２３】変形例５０の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
の間は、連続的に減少する高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
の間は、連続的に減少する高周波電源装置である。
【０１２４】変形例５１の発明は、図１８（図１７の第
４の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔ
ｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、
段階的に減少する高周波電源装置である。
４の実施例）に示すように、上記に記載の電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１が、進行波電力ＰＦの出力開始
時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔ
ｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでの間は、
段階的に減少する高周波電源装置である。
【０１２５】変形例５２の発明は、上記に記載の電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
の間は、段階的に減少する高周波電源装置である。
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１が、進行波電力ＰＦの
出力開始時から電力増幅回路の増幅素子のジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまで
の間は、段階的に減少する高周波電源装置である。
【０１２６】変形例５３の発明は、上記に記載の反射保
護用緩和時間Ｅｔｉｍｅと電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉ
ｍｅとが同じ時間である高周波電源装置である。
護用緩和時間Ｅｔｉｍｅと電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉ
ｍｅとが同じ時間である高周波電源装置である。
【０１２７】変形例５４の発明は、上記に記載の反射保
護用緩和時間Ｅｔｉｍｅと電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉ
ｍｅとが異なる時間である高周波電源装置である。
護用緩和時間Ｅｔｉｍｅと電流保護用緩和時間Ｅｉｔｉ
ｍｅとが異なる時間である高周波電源装置である。
【０１２８】変形例５５の発明は、第１の実施例及び第
２の実施例に示すように、出願時の請求項２６又は出願
時の請求項２７に記載の反射保護回路ＰＲＴが、電力増
幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信
号値を求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖ
ｔｈ０を出力する電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０
と、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊ
が絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した
電力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を出力する電力抑制緩和
しきい値設定回路ＴＨ１と、上記電力抑制基準しきい値
信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とを
入力するとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力し
て、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進
行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦの
出力開始時から定められた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過す
るまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制
しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は電
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信
号Ｖｔｈとして出力する電力抑制しきい値切り換え回路
ＣＨと、上記反射波電力検出信号Ｖｐｒ及び電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈを入力して、上記反射波電力検出信号
値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じ
て変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する電力抑制信
号出力回路ＡＤＤ１とから成る高周波電源装置である。
２の実施例に示すように、出願時の請求項２６又は出願
時の請求項２７に記載の反射保護回路ＰＲＴが、電力増
幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力目標値に相当する信
号値を求めるために用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖ
ｔｈ０を出力する電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０
と、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊ
が絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した
電力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を出力する電力抑制緩和
しきい値設定回路ＴＨ１と、上記電力抑制基準しきい値
信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とを
入力するとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力し
て、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進
行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦの
出力開始時から定められた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過す
るまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制
しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は電
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信
号Ｖｔｈとして出力する電力抑制しきい値切り換え回路
ＣＨと、上記反射波電力検出信号Ｖｐｒ及び電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈを入力して、上記反射波電力検出信号
値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈとの差に応じ
て変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する電力抑制信
号出力回路ＡＤＤ１とから成る高周波電源装置である。
【０１２９】変形例５６の発明は、第１の実施例及び第
２の実施例に示すように、変形例５５に記載の電力抑制
しきい値切り換え回路ＣＨが、上記出力開始信号Ｖｓｔ
を入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定値になった
ときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行
波電力ＰＦの出力開始時から定められた緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが経過したときに、進行波電力ＰＦの出力開始時か
ら緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでとは異なる所定値
の電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈを出力する電力
用タイマ回路ＴＭと、上記電力抑制基準しきい値信号Ｖ
ｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とを入力す
るとともに、上記電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈ
を入力して、この電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈ
が所定値のときは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を
電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、電力抑制し
きい値切り換え信号Ｖｃｈが所定値でなければ電力抑制
基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈとして出力する電力用スイッチ回路ＳＷとから成る高
周波電源装置である。
２の実施例に示すように、変形例５５に記載の電力抑制
しきい値切り換え回路ＣＨが、上記出力開始信号Ｖｓｔ
を入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定値になった
ときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行
波電力ＰＦの出力開始時から定められた緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが経過したときに、進行波電力ＰＦの出力開始時か
ら緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでとは異なる所定値
の電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈを出力する電力
用タイマ回路ＴＭと、上記電力抑制基準しきい値信号Ｖ
ｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とを入力す
るとともに、上記電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈ
を入力して、この電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈ
が所定値のときは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を
電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、電力抑制し
きい値切り換え信号Ｖｃｈが所定値でなければ電力抑制
基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈとして出力する電力用スイッチ回路ＳＷとから成る高
周波電源装置である。
【０１３０】変形例５７の発明は、第３の実施例に示す
ように、出願時の請求項２６又は出願時の請求項２７に
記載の反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を出力する
電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０と、電力増幅回路
の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値を求め
るために用いられ、かつ、上記出力開始信号Ｖｓｔが所
定値になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時と
して、進行波電力ＰＦの出力開始時では上記電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな信号であり、時間
の経過とともに信号値が減少する電力抑制緩和しきい値
信号Ｖｔｈ１を出力する電力抑制緩和しきい値設定回路
ＴＨ１と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定めら
れた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは電力抑制緩和
しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
して出力し、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和
時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力す
る電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨと、上記反射波電
力検出信号Ｖｐｒ及び電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを入
力して、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制し
きい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信
号Ｖｓｕｂを出力する電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１と
から成る高周波電源装置である。
ように、出願時の請求項２６又は出願時の請求項２７に
記載の反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を出力する
電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０と、電力増幅回路
の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値を求め
るために用いられ、かつ、上記出力開始信号Ｖｓｔが所
定値になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時と
して、進行波電力ＰＦの出力開始時では上記電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな信号であり、時間
の経過とともに信号値が減少する電力抑制緩和しきい値
信号Ｖｔｈ１を出力する電力抑制緩和しきい値設定回路
ＴＨ１と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定めら
れた緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは電力抑制緩和
しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
して出力し、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和
時間Ｅｔｉｍｅが経過した後は電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力す
る電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨと、上記反射波電
力検出信号Ｖｐｒ及び電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを入
力して、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制し
きい値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信
号Ｖｓｕｂを出力する電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１と
から成る高周波電源装置である。
【０１３１】変形例５８の発明は、第４の実施例に示す
ように、出願時の請求項２６又は出願時の請求項２７に
記載の反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０出力する電
力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０と、電力増幅回路の
増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度
Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値を求める
ために用いられ、かつ、それぞれが異なるしきい値の電
力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を出力する複数の電力
抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１と、上記複数の電力抑
制緩和しきい値設定回路ＴＨ１と同数あり、かつ、上記
複数の電力抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１から出力さ
れる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を信号値が降順
になるように並べたときに、それぞれが降順に並べた電
力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１と１対１で対応すると
ともに、その順序ではそれぞれに定められた緩和時間Ｅ
ｔｉｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上記出力開
始信号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖｓｔが所
定値になったときを進行波電力ＰＦの出力開始時とし、
上記進行波電力ＰＦの出力開始時からそれぞれにおいて
緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過したときに、進行波電力ＰＦ
の出力開始時からそれぞれにおいて緩和時間Ｅｔｉｍｅ
が経過するまでとは異なる所定値の電力抑制しきい値切
り換え信号Ｖｃｈをそれぞれ出力する複数の電力用タイ
マ回路ＴＭと、上記複数の電力用タイマ回路ＴＭと同数
で各電力用タイマ回路ＴＭに１対１で対応する複数のス
イッチを有し、上記電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
と複数の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とを入力す
るとともに、上記複数の電力用タイマ回路ＴＭからそれ
ぞれ出力される電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈを
入力して、電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈが所定
値のときは対応するスイッチを電力抑制緩和しきい値信
号Ｖｔｈ１が遮断状態になるように切り換えて、電力抑
制基準しきい値信号Ｖｔｈ０および遮断状態でない電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１の内で最もしきい値が大
きい信号を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する
電力用スイッチ回路ＳＷと、上記反射波電力検出信号Ｖ
ｐｒ及び電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを入力して、上記
反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値
Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを
出力する電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１とから成る高周
波電源装置である。
ように、出願時の請求項２６又は出願時の請求項２７に
記載の反射保護回路ＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０出力する電
力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０と、電力増幅回路の
増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度
Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値を求める
ために用いられ、かつ、それぞれが異なるしきい値の電
力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を出力する複数の電力
抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１と、上記複数の電力抑
制緩和しきい値設定回路ＴＨ１と同数あり、かつ、上記
複数の電力抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１から出力さ
れる電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を信号値が降順
になるように並べたときに、それぞれが降順に並べた電
力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１と１対１で対応すると
ともに、その順序ではそれぞれに定められた緩和時間Ｅ
ｔｉｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上記出力開
始信号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖｓｔが所
定値になったときを進行波電力ＰＦの出力開始時とし、
上記進行波電力ＰＦの出力開始時からそれぞれにおいて
緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過したときに、進行波電力ＰＦ
の出力開始時からそれぞれにおいて緩和時間Ｅｔｉｍｅ
が経過するまでとは異なる所定値の電力抑制しきい値切
り換え信号Ｖｃｈをそれぞれ出力する複数の電力用タイ
マ回路ＴＭと、上記複数の電力用タイマ回路ＴＭと同数
で各電力用タイマ回路ＴＭに１対１で対応する複数のス
イッチを有し、上記電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
と複数の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とを入力す
るとともに、上記複数の電力用タイマ回路ＴＭからそれ
ぞれ出力される電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈを
入力して、電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈが所定
値のときは対応するスイッチを電力抑制緩和しきい値信
号Ｖｔｈ１が遮断状態になるように切り換えて、電力抑
制基準しきい値信号Ｖｔｈ０および遮断状態でない電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１の内で最もしきい値が大
きい信号を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する
電力用スイッチ回路ＳＷと、上記反射波電力検出信号Ｖ
ｐｒ及び電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを入力して、上記
反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値
Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを
出力する電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１とから成る高周
波電源装置である。
【０１３２】変形例５９の発明は、変形例５８に記載の
電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１が、上記反射波電力検出
信号値Ｖｐｒが電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈよりも大
きいときに、反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制し
きい値信号値Ｖｔｈの差に応じて変化する電力抑制信号
Ｖｓｕｂを出力し、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒが
電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈ以下のときに、０レベル
の電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する回路である高周波電
源装置である。
電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１が、上記反射波電力検出
信号値Ｖｐｒが電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈよりも大
きいときに、反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制し
きい値信号値Ｖｔｈの差に応じて変化する電力抑制信号
Ｖｓｕｂを出力し、上記反射波電力検出信号値Ｖｐｒが
電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈ以下のときに、０レベル
の電力抑制信号Ｖｓｕｂを出力する回路である高周波電
源装置である。
【０１３３】変形例６０の発明は、第１の実施例及び第
２の実施例及び第８の実施例及び第９の実施例に示すよ
うに、出願時の請求項２７又は出願時の請求項２８に記
載の電流保護回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を出力す
る電流抑制基準しきい値設定回路ＩＴＨ０と、電力増幅
回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値に
相当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しき
い値信号Ｖｉｔｈ１を出力する電流抑制緩和しきい値設
定回路ＩＴＨ１と、上記電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０と電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１とを入力
するとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、出
力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進行波電
力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦの出力開
始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するま
では電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制し
きい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は
電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい
値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流抑制しきい値切り換
え回路ＩＣＨと、上記電流検出信号Ｖｉ及び電流抑制し
きい値信号Ｖｉｔｈを入力して、上記電流検出信号値Ｖ
ｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変
化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流抑制信号
出力回路ＩＡＤＤ１とから成る高周波電源装置である。
２の実施例及び第８の実施例及び第９の実施例に示すよ
うに、出願時の請求項２７又は出願時の請求項２８に記
載の電流保護回路ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘ以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を出力す
る電流抑制基準しきい値設定回路ＩＴＨ０と、電力増幅
回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定
格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容した電力目標値に
相当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しき
い値信号Ｖｉｔｈ１を出力する電流抑制緩和しきい値設
定回路ＩＴＨ１と、上記電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０と電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１とを入力
するとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、出
力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進行波電
力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦの出力開
始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するま
では電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制し
きい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、上記進行波電力ＰＦ
の出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は
電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい
値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流抑制しきい値切り換
え回路ＩＣＨと、上記電流検出信号Ｖｉ及び電流抑制し
きい値信号Ｖｉｔｈを入力して、上記電流検出信号値Ｖ
ｉと電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変
化する電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流抑制信号
出力回路ＩＡＤＤ１とから成る高周波電源装置である。
【０１３４】変形例６１の発明は、第１の実施例及び第
２の実施例及び第８の実施例及び第９の実施例に示すよ
うに、変形例６０記載の電流抑制しきい値切り換え回路
ＩＣＨが、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、この出
力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進行波電
力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦの出力開
始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過したと
きに、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｉｔ
ｉｍｅが経過するまでとは異なる所定値の電流抑制しき
い値切り換え信号Ｖｉｃｈを出力する電流用タイマ回路
ＩＴＭと、上記電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と
電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１とを入力するとと
もに、上記電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈを入
力して、この電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈが
所定値のときは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、電流抑制
しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値でなければ電流
抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信
号Ｖｉｔｈとして出力する電流用スイッチ回路ＩＳＷと
から成る高周波電源装置である。
２の実施例及び第８の実施例及び第９の実施例に示すよ
うに、変形例６０記載の電流抑制しきい値切り換え回路
ＩＣＨが、上記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、この出
力開始信号Ｖｓｔが所定値になったときを上記進行波電
力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電力ＰＦの出力開
始時から定められた緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過したと
きに、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｉｔ
ｉｍｅが経過するまでとは異なる所定値の電流抑制しき
い値切り換え信号Ｖｉｃｈを出力する電流用タイマ回路
ＩＴＭと、上記電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と
電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１とを入力するとと
もに、上記電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈを入
力して、この電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈが
所定値のときは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を
電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、電流抑制
しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値でなければ電流
抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信
号Ｖｉｔｈとして出力する電流用スイッチ回路ＩＳＷと
から成る高周波電源装置である。
【０１３５】変形例６２の発明は、第３の実施例及び第
８の実施例及び第９の実施例に示すように、出願時の請
求項２７又は出願時の請求項２８に記載の電流保護回路
ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力
目標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を出力する電流抑制基準し
きい値設定回路ＩＴＨ０と、電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
を超えることを許容した電力目標値を求めるために用い
られ、かつ、上記出力開始信号Ｖｓｔが所定値になった
ときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時として、進行波
電力ＰＦの出力開始時では上記電流抑制基準しきい値信
号Ｖｉｔｈ０よりも大きな信号であり、時間の経過とと
もに信号値が減少する電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を出力する電流抑制緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１
と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定められた緩
和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでは電流抑制緩和しき
い値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈと
して出力し、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は電流抑制基準しきい値
信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして
出力する電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨと、上記
電流検出信号Ｖｉ及び電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈを
入力して、上記電流検出値Ｖｉと電流抑制しきい値信号
値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓ
ｕｂを出力する電流抑制信号出力回路ＩＡＤＤ１とから
成る高周波電源装置である。
８の実施例及び第９の実施例に示すように、出願時の請
求項２７又は出願時の請求項２８に記載の電流保護回路
ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力
目標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を出力する電流抑制基準し
きい値設定回路ＩＴＨ０と、電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
を超えることを許容した電力目標値を求めるために用い
られ、かつ、上記出力開始信号Ｖｓｔが所定値になった
ときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時として、進行波
電力ＰＦの出力開始時では上記電流抑制基準しきい値信
号Ｖｉｔｈ０よりも大きな信号であり、時間の経過とと
もに信号値が減少する電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を出力する電流抑制緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１
と、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から定められた緩
和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでは電流抑制緩和しき
い値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈと
して出力し、上記進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は電流抑制基準しきい値
信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして
出力する電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨと、上記
電流検出信号Ｖｉ及び電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈを
入力して、上記電流検出値Ｖｉと電流抑制しきい値信号
値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉｓ
ｕｂを出力する電流抑制信号出力回路ＩＡＤＤ１とから
成る高周波電源装置である。
【０１３６】変形例６３の発明は、第４の実施例及び第
８の実施例及び第９の実施例に示すように、出願時の請
求項２７又は出願時の請求項２８に記載の電流保護回路
ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力
目標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を出力する電流抑制基準し
きい値設定回路ＩＴＨ０と、電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
を超えることを許容した電力目標値を求めるために用い
られ、かつ、それぞれが異なるしきい値の電流抑制緩和
しきい値信号Ｖｉｔｈ１を出力する複数の電流抑制緩和
しきい値設定回路ＩＴＨ１と、上記複数の電流抑制緩和
しきい値設定回路ＩＴＨ１と同数あり、かつ、上記複数
の電流抑制緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１から出力され
る電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を信号値が降順
になるように並べたときに、それぞれが降順に並べた電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１と１対１で対応する
とともに、その順序ではそれぞれに定められた緩和時間
Ｅｉｔｉｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上記出
力開始信号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖｓｔ
が所定値になったときを進行波電力ＰＦの出力開始時と
し、上記進行波電力ＰＦの出力開始時からそれぞれにお
いて緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過したときに、進行波電
力ＰＦの出力開始時からそれぞれにおいて緩和時間Ｅｉ
ｔｉｍｅが経過するまでとは異なる所定値の電流抑制し
きい値切り換え信号Ｖｉｃｈをそれぞれ出力する複数の
電流用タイマ回路ＩＴＭと、上記複数の電流用タイマ回
路ＩＴＭと同数で各電流用タイマ回路ＩＴＭに１対１で
対応する複数のスイッチを有し、上記電流抑制基準しき
い値信号Ｖｉｔｈ０と複数の電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、上記複数の電流用タ
イマ回路ＩＴＭからそれぞれ出力される電流抑制しきい
値切り換え信号Ｖｉｃｈを入力して、電流抑制しきい値
切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値のときは対応するスイッ
チを電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１が遮断状態に
なるように切り換えて、電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０および遮断状態でない電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１の内で最もしきい値が大きい信号を電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流用スイッチ回
路ＩＳＷと、上記電流検出信号Ｖｉ及び電流抑制しきい
値信号Ｖｉｔｈを入力して、上記電流検出値Ｖｉと電流
抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電
流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流抑制信号出力回路
ＩＡＤＤ１とから成る高周波電源装置である。
８の実施例及び第９の実施例に示すように、出願時の請
求項２７又は出願時の請求項２８に記載の電流保護回路
ＩＰＲＴが、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション
温度Ｔｊを絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ以下にする電力
目標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を出力する電流抑制基準し
きい値設定回路ＩＴＨ０と、電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
を超えることを許容した電力目標値を求めるために用い
られ、かつ、それぞれが異なるしきい値の電流抑制緩和
しきい値信号Ｖｉｔｈ１を出力する複数の電流抑制緩和
しきい値設定回路ＩＴＨ１と、上記複数の電流抑制緩和
しきい値設定回路ＩＴＨ１と同数あり、かつ、上記複数
の電流抑制緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１から出力され
る電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を信号値が降順
になるように並べたときに、それぞれが降順に並べた電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１と１対１で対応する
とともに、その順序ではそれぞれに定められた緩和時間
Ｅｉｔｉｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上記出
力開始信号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖｓｔ
が所定値になったときを進行波電力ＰＦの出力開始時と
し、上記進行波電力ＰＦの出力開始時からそれぞれにお
いて緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過したときに、進行波電
力ＰＦの出力開始時からそれぞれにおいて緩和時間Ｅｉ
ｔｉｍｅが経過するまでとは異なる所定値の電流抑制し
きい値切り換え信号Ｖｉｃｈをそれぞれ出力する複数の
電流用タイマ回路ＩＴＭと、上記複数の電流用タイマ回
路ＩＴＭと同数で各電流用タイマ回路ＩＴＭに１対１で
対応する複数のスイッチを有し、上記電流抑制基準しき
い値信号Ｖｉｔｈ０と複数の電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、上記複数の電流用タ
イマ回路ＩＴＭからそれぞれ出力される電流抑制しきい
値切り換え信号Ｖｉｃｈを入力して、電流抑制しきい値
切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値のときは対応するスイッ
チを電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１が遮断状態に
なるように切り換えて、電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０および遮断状態でない電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１の内で最もしきい値が大きい信号を電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流用スイッチ回
路ＩＳＷと、上記電流検出信号Ｖｉ及び電流抑制しきい
値信号Ｖｉｔｈを入力して、上記電流検出値Ｖｉと電流
抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電
流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する電流抑制信号出力回路
ＩＡＤＤ１とから成る高周波電源装置である。
【０１３７】変形例６４の発明は、第８の実施例に示す
ように、変形例６３に記載の電流抑制信号出力回路ＩＡ
ＤＤ１が、上記電流検出値Ｖｉが電流抑制しきい値信号
値Ｖｉｔｈよりも大きいときに、電流検出信号値Ｖｉと
電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化す
る電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力し、上記電流検出信号
値Ｖｉが電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈ以下のとき
に、０レベルの電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する回路
である高周波電源装置である。
ように、変形例６３に記載の電流抑制信号出力回路ＩＡ
ＤＤ１が、上記電流検出値Ｖｉが電流抑制しきい値信号
値Ｖｉｔｈよりも大きいときに、電流検出信号値Ｖｉと
電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化す
る電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力し、上記電流検出信号
値Ｖｉが電流抑制しきい値信号値Ｖｉｔｈ以下のとき
に、０レベルの電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する回路
である高周波電源装置である。
【０１３８】変形例６５の発明は、変形例５５に記載の
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖ
ｔｈ１とを入力するとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔ
を入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったとき
を上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電
力ＰＦの出力開始時は電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ
１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記増
幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘを超える前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する電力抑
制しきい値切り換え回路ＣＨである高周波電源装置であ
る。
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖ
ｔｈ１とを入力するとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔ
を入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったとき
を上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進行波電
力ＰＦの出力開始時は電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ
１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記増
幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘを超える前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ
０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する電力抑
制しきい値切り換え回路ＣＨである高周波電源装置であ
る。
【０１３９】変形例６６の発明は、変形例６５に記載の
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記出力開始信
号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定値
になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、
上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記進行波電力ＰＦの出力
開始時とは異なる所定値の電力抑制しきい値切り換え信
号Ｖｃｈを出力する電力用タイマ回路ＴＭと、上記電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値
信号Ｖｔｈ１とを入力するとともに、上記電力抑制しき
い値切り換え信号Ｖｃｈを入力して、この電力抑制しき
い値切り換え信号Ｖｃｈが所定値のときは電力抑制緩和
しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
して出力し、電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈが所
定値でなければ電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する電力用スイッ
チ回路ＳＷとから成る高周波電源装置である。
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記出力開始信
号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定値
になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、
上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記進行波電力ＰＦの出力
開始時とは異なる所定値の電力抑制しきい値切り換え信
号Ｖｃｈを出力する電力用タイマ回路ＴＭと、上記電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値
信号Ｖｔｈ１とを入力するとともに、上記電力抑制しき
い値切り換え信号Ｖｃｈを入力して、この電力抑制しき
い値切り換え信号Ｖｃｈが所定値のときは電力抑制緩和
しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈと
して出力し、電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈが所
定値でなければ電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する電力用スイッ
チ回路ＳＷとから成る高周波電源装置である。
【０１４０】変形例６７の発明は、変形例５７に記載の
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記進行波電力
ＰＦの出力開始時は電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１
を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記増幅
素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊ
ｍａｘを超える前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する電力抑制
しきい値切り換え回路ＣＨである高周波電源装置であ
る。
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記進行波電力
ＰＦの出力開始時は電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１
を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記増幅
素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊ
ｍａｘを超える前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する電力抑制
しきい値切り換え回路ＣＨである高周波電源装置であ
る。
【０１４１】変形例６８の発明は、変形例５８に記載の
複数の電力用タイマ回路ＴＭが、上記複数の電力抑制緩
和しきい値設定回路ＴＨ１と同数あり、かつ、上記複数
の電力抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１から出力される
電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を信号値が降順にな
るように並べたときに、それぞれが降順に並べた電力抑
制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１と１対１で対応するととも
に、その順序ではそれぞれに定められた緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上記出力開始信
号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖｓｔが所定値
になったときを進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記
増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度
Ｔｊｍａｘを超える前に上記進行波電力ＰＦの出力開始
時とは異なる所定値の電力抑制しきい値切り換え信号Ｖ
ｃｈをそれぞれ出力する複数の電力用タイマ回路ＴＭで
ある高周波電源装置である。
複数の電力用タイマ回路ＴＭが、上記複数の電力抑制緩
和しきい値設定回路ＴＨ１と同数あり、かつ、上記複数
の電力抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１から出力される
電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を信号値が降順にな
るように並べたときに、それぞれが降順に並べた電力抑
制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１と１対１で対応するととも
に、その順序ではそれぞれに定められた緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上記出力開始信
号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖｓｔが所定値
になったときを進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記
増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度
Ｔｊｍａｘを超える前に上記進行波電力ＰＦの出力開始
時とは異なる所定値の電力抑制しきい値切り換え信号Ｖ
ｃｈをそれぞれ出力する複数の電力用タイマ回路ＴＭで
ある高周波電源装置である。
【０１４２】変形例６９の発明は、変形例６０に記載の
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩和しきい値信
号Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、上記出力開始信号
Ｖｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になっ
たときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進
行波電力ＰＦの出力開始時は電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力
し、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に電流抑制基準しきい値
信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして
出力する電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨである高
周波電源装置である。
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩和しきい値信
号Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、上記出力開始信号
Ｖｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になっ
たときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記進
行波電力ＰＦの出力開始時は電流抑制緩和しきい値信号
Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力
し、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に電流抑制基準しきい値
信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして
出力する電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨである高
周波電源装置である。
【０１４３】変形例７０の発明は、変形例６１に記載の
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記出力開始
信号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定
値になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時と
し、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記進行波電力ＰＦの
出力開始時とは異なる所定値の電流抑制しきい値切り換
え信号Ｖｉｃｈを出力する電流用タイマ回路ＩＴＭと、
上記電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩
和しきい値信号Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、上記
電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈを入力して、こ
の電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値のと
きは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制し
きい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、電流抑制しきい値切
り換え信号Ｖｉｃｈが所定値でなければ電流抑制基準し
きい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈ
として出力する電流用スイッチ回路ＩＳＷとから成る高
周波電源装置である。
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記出力開始
信号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定
値になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時と
し、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記進行波電力ＰＦの
出力開始時とは異なる所定値の電流抑制しきい値切り換
え信号Ｖｉｃｈを出力する電流用タイマ回路ＩＴＭと、
上記電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩
和しきい値信号Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、上記
電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈを入力して、こ
の電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値のと
きは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制し
きい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、電流抑制しきい値切
り換え信号Ｖｉｃｈが所定値でなければ電流抑制基準し
きい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈ
として出力する電流用スイッチ回路ＩＳＷとから成る高
周波電源装置である。
【０１４４】変形例７１の発明は、変形例６２に記載の
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記進行波電
力ＰＦの出力開始時は電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、上
記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘを超える前に電流抑制基準しきい値信号Ｖ
ｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力す
る電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨである高周波電
源装置である。
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記進行波電
力ＰＦの出力開始時は電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔ
ｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、上
記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘを超える前に電流抑制基準しきい値信号Ｖ
ｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力す
る電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨである高周波電
源装置である。
【０１４５】変形例７２の発明は、変形例６３に記載の
複数の電流用タイマ回路ＩＴＭが、上記複数の電流抑制
緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１と同数あり、かつ、上記
複数の電流抑制緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１から出力
される電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を信号値が
降順になるように並べたときに、それぞれが降順に並べ
た電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１と１対１で対応
するとともに、その順序ではそれぞれに定められた緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上
記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖ
ｓｔが所定値になったときを進行波電力ＰＦの出力開始
時とし、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時とは異なる所定値の電流抑制しきい値切
り換え信号Ｖｉｃｈをそれぞれ出力する複数の電流用タ
イマ回路ＩＴＭである高周波電源装置である。
複数の電流用タイマ回路ＩＴＭが、上記複数の電流抑制
緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１と同数あり、かつ、上記
複数の電流抑制緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１から出力
される電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を信号値が
降順になるように並べたときに、それぞれが降順に並べ
た電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１と１対１で対応
するとともに、その順序ではそれぞれに定められた緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上
記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖ
ｓｔが所定値になったときを進行波電力ＰＦの出力開始
時とし、上記増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に上記進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時とは異なる所定値の電流抑制しきい値切
り換え信号Ｖｉｃｈをそれぞれ出力する複数の電流用タ
イマ回路ＩＴＭである高周波電源装置である。
【０１４６】変形例７３の発明は、変形例５５に記載の
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖ
ｔｈ１とを入力するとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔ
を入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったとき
を上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達
するまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記ジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したとき
は電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい
値信号Ｖｔｈとして出力する電力抑制しきい値切り換え
回路ＣＨである高周波電源装置である。
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖ
ｔｈ１とを入力するとともに、上記出力開始信号Ｖｓｔ
を入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になったとき
を上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達
するまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記ジャンクショ
ン温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したとき
は電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい
値信号Ｖｔｈとして出力する電力抑制しきい値切り換え
回路ＣＨである高周波電源装置である。
【０１４７】変形例７４の発明は、変形例７３に記載の
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記出力開始信
号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定値
になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、
上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘに達したときは進行波電力ＰＦの出力開始時から上
記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでとは異なる所
定値の電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈを出力する
電力用タイマ回路ＴＭと、上記電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とを入
力するとともに、上記電力抑制しきい値切り換え信号Ｖ
ｃｈを入力して、この電力抑制しきい値切り換え信号Ｖ
ｃｈが所定値のときは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ
１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、電力抑
制しきい値切り換え信号Ｖｃｈが所定値でなければ電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈとして出力する電力用スイッチ回路ＳＷとから成
る高周波電源装置である。
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、上記出力開始信
号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定値
になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、
上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍ
ａｘに達したときは進行波電力ＰＦの出力開始時から上
記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが
絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでとは異なる所
定値の電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈを出力する
電力用タイマ回路ＴＭと、上記電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とを入
力するとともに、上記電力抑制しきい値切り換え信号Ｖ
ｃｈを入力して、この電力抑制しきい値切り換え信号Ｖ
ｃｈが所定値のときは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ
１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、電力抑
制しきい値切り換え信号Ｖｃｈが所定値でなければ電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈとして出力する電力用スイッチ回路ＳＷとから成
る高周波電源装置である。
【０１４８】変形例７５の発明は、変形例５７に記載の
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、進行波電力ＰＦ
の出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達す
るまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制
しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記ジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは
電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値
信号Ｖｔｈとして出力する電力抑制しきい値切り換え回
路ＣＨである高周波電源装置である。
電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨが、進行波電力ＰＦ
の出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達す
るまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制
しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、上記ジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達したときは
電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい値
信号Ｖｔｈとして出力する電力抑制しきい値切り換え回
路ＣＨである高周波電源装置である。
【０１４９】変形例７６の発明は、変形例５８に記載の
複数の電力用タイマ回路ＴＭが、上記複数の電力抑制緩
和しきい値設定回路ＴＨ１と同数あり、かつ、上記複数
の電力抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１から出力される
電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を信号値が降順にな
るように並べたときに、それぞれが降順に並べた電力抑
制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１と１対１で対応するととも
に、その順序ではそれぞれに定められた緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上記出力開始信
号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖｓｔが所定値
になったときを進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達したときは進行波電力ＰＦの出力開始時から上記電
力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでとは異なる所定値
の電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈをそれぞれ出力
する複数の電力用タイマ回路ＴＭである高周波電源装置
である。
複数の電力用タイマ回路ＴＭが、上記複数の電力抑制緩
和しきい値設定回路ＴＨ１と同数あり、かつ、上記複数
の電力抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１から出力される
電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を信号値が降順にな
るように並べたときに、それぞれが降順に並べた電力抑
制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１と１対１で対応するととも
に、その順序ではそれぞれに定められた緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上記出力開始信
号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖｓｔが所定値
になったときを進行波電力ＰＦの出力開始時とし、上記
ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘ
に達したときは進行波電力ＰＦの出力開始時から上記電
力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対
最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでとは異なる所定値
の電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈをそれぞれ出力
する複数の電力用タイマ回路ＴＭである高周波電源装置
である。
【０１５０】変形例７７の発明は、変形例６０に記載の
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩和しきい値信
号Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、上記出力開始信号
Ｖｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になっ
たときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波
電力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘに達するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１
を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、上記ジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに
達したときは電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電
流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流抑制し
きい値切り換え回路ＩＣＨである高周波電源装置であ
る。
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記電流抑制
基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩和しきい値信
号Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、上記出力開始信号
Ｖｓｔを入力して、出力開始信号Ｖｓｔが所定値になっ
たときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時とし、進行波
電力ＰＦの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａ
ｘに達するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１
を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、上記ジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに
達したときは電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電
流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流抑制し
きい値切り換え回路ＩＣＨである高周波電源装置であ
る。
【０１５１】変形例７８の発明は、変形例６１に記載の
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記出力開始
信号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定
値になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時と
し、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘに達したときは進行波電力ＰＦの出力開始時か
ら上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔ
ｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでとは異な
る所定値の電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈを出
力する電流用タイマ回路ＩＴＭと、上記電流抑制基準し
きい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ１とを入力するとともに、上記電流抑制しきい値切
り換え信号Ｖｉｃｈを入力して、この電流抑制しきい値
切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値のときは電流抑制緩和し
きい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈ
として出力し、電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈ
が所定値でなければ電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ
０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流
用スイッチ回路ＩＳＷとから成る高周波電源装置であ
る。
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、上記出力開始
信号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号Ｖｓｔが所定
値になったときを上記進行波電力ＰＦの出力開始時と
し、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔ
ｊｍａｘに達したときは進行波電力ＰＦの出力開始時か
ら上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔ
ｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでとは異な
る所定値の電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈを出
力する電流用タイマ回路ＩＴＭと、上記電流抑制基準し
きい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ１とを入力するとともに、上記電流抑制しきい値切
り換え信号Ｖｉｃｈを入力して、この電流抑制しきい値
切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値のときは電流抑制緩和し
きい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈ
として出力し、電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈ
が所定値でなければ電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ
０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流
用スイッチ回路ＩＳＷとから成る高周波電源装置であ
る。
【０１５２】変形例７９の発明は、変形例６２に記載の
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達
するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流
抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、上記ジャンク
ション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達した
ときは電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流抑制しきい値
切り換え回路ＩＣＨである高周波電源装置である。
電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣＨが、進行波電力Ｐ
Ｆの出力開始時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達
するまでは電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流
抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力し、上記ジャンク
ション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達した
ときは電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制
しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する電流抑制しきい値
切り換え回路ＩＣＨである高周波電源装置である。
【０１５３】変形例８０の発明は、変形例６３に記載の
複数の電流用タイマ回路ＩＴＭが、上記複数の電流抑制
緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１と同数あり、かつ、上記
複数の電流抑制緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１から出力
される電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を信号値が
降順になるように並べたときに、それぞれが降順に並べ
た電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１と１対１で対応
するとともに、その順序ではそれぞれに定められた緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上
記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖ
ｓｔが所定値になったときを進行波電力ＰＦの出力開始
時とし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘに達したときは進行波電力ＰＦの出力開始
時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでとは
異なる所定値の電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈ
をそれぞれ出力する複数の電流用タイマ回路ＩＴＭであ
る高周波電源装置である。
複数の電流用タイマ回路ＩＴＭが、上記複数の電流抑制
緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１と同数あり、かつ、上記
複数の電流抑制緩和しきい値設定回路ＩＴＨ１から出力
される電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を信号値が
降順になるように並べたときに、それぞれが降順に並べ
た電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１と１対１で対応
するとともに、その順序ではそれぞれに定められた緩和
時間Ｅｉｔｉｍｅが昇順になり、さらに、それぞれが上
記出力開始信号Ｖｓｔを入力して、その出力開始信号Ｖ
ｓｔが所定値になったときを進行波電力ＰＦの出力開始
時とし、上記ジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温
度Ｔｊｍａｘに達したときは進行波電力ＰＦの出力開始
時から上記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘに達するまでとは
異なる所定値の電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈ
をそれぞれ出力する複数の電流用タイマ回路ＩＴＭであ
る高周波電源装置である。
【０１５４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図面を参照
して説明する。図１は本出願に係る発明の特徴を最もよ
く表す図である。図１は後述する図９と同じなので、説
明は図９で後述する。
して説明する。図１は本出願に係る発明の特徴を最もよ
く表す図である。図１は後述する図９と同じなので、説
明は図９で後述する。
【０１５５】図７は、定電圧出力直流電源回路ＤＰＳ１
を採用した本願発明の反射保護形高周波電源装置ＨＰ１
１（以下、高周波電源装置ＨＰ１１という）の構成を示
すブロック図であり、図３に示した従来技術の高周波電
源装置ＨＰ１の構成を示すブロック図に対応する。図８
は、可変電圧出力直流電源回路ＤＰＳ１を採用した本願
発明の反射保護形高周波電源装置ＨＰ２１（以下、高周
波電源装置ＨＰ２１という）の構成を示すブロック図で
あり、図４に示した従来技術の高周波電源装置ＨＰ２の
構成を示すブロック図に対応する。図７及び図８に示し
た高周波電源装置ＨＰ１１及びＨＰ２１の構成を示すブ
ロック図は、それぞれ図３及び図４に示した従来技術の
高周波電源装置ＨＰ１及びＨＰ２の構成を示すブロック
図に、出力開始信号出力回路ＳＴが追加されている。な
お、図７及び図８で、それぞれ図３及び図４と同様の部
分については説明を省略する。
を採用した本願発明の反射保護形高周波電源装置ＨＰ１
１（以下、高周波電源装置ＨＰ１１という）の構成を示
すブロック図であり、図３に示した従来技術の高周波電
源装置ＨＰ１の構成を示すブロック図に対応する。図８
は、可変電圧出力直流電源回路ＤＰＳ１を採用した本願
発明の反射保護形高周波電源装置ＨＰ２１（以下、高周
波電源装置ＨＰ２１という）の構成を示すブロック図で
あり、図４に示した従来技術の高周波電源装置ＨＰ２の
構成を示すブロック図に対応する。図７及び図８に示し
た高周波電源装置ＨＰ１１及びＨＰ２１の構成を示すブ
ロック図は、それぞれ図３及び図４に示した従来技術の
高周波電源装置ＨＰ１及びＨＰ２の構成を示すブロック
図に、出力開始信号出力回路ＳＴが追加されている。な
お、図７及び図８で、それぞれ図３及び図４と同様の部
分については説明を省略する。
【０１５６】出力開始信号出力回路ＳＴは、電力出力手
段ＰＯＵＴが進行波電力を出力開始したときを検知し
て、このときに進行波電力を出力開始する前と異なる所
定値の出力開始信号を出力する。なお、出力開始信号Ｖ
ｓｔの大きさを、以下、出力開始信号値Ｖｓｔという。
この出力開始信号Ｖｓｔは、例えば、進行波電力が出力
されていないときはＬｏｗレベルの信号、進行波電力が
出力されているときはＨｉｇｈレベルの信号である。な
お、この図７、図８では、本発明に適用するしきい値切
換反射保護回路ＰＲＴ（以下、反射保護回路ＰＲＴとい
う）と出力設定演算回路ＣＡＬと出力電力設定回路ＳＥ
Ｔと出力開始信号出力回路ＳＴとによって進行波電力Ｐ
Ｆを制御する電力制御手段ＰＣＯＮが構成されている。
段ＰＯＵＴが進行波電力を出力開始したときを検知し
て、このときに進行波電力を出力開始する前と異なる所
定値の出力開始信号を出力する。なお、出力開始信号Ｖ
ｓｔの大きさを、以下、出力開始信号値Ｖｓｔという。
この出力開始信号Ｖｓｔは、例えば、進行波電力が出力
されていないときはＬｏｗレベルの信号、進行波電力が
出力されているときはＨｉｇｈレベルの信号である。な
お、この図７、図８では、本発明に適用するしきい値切
換反射保護回路ＰＲＴ（以下、反射保護回路ＰＲＴとい
う）と出力設定演算回路ＣＡＬと出力電力設定回路ＳＥ
Ｔと出力開始信号出力回路ＳＴとによって進行波電力Ｐ
Ｆを制御する電力制御手段ＰＣＯＮが構成されている。
【０１５７】図９は、本願発明の反射保護回路ＰＲＴの
一例を示す回路図である。この反射保護回路ＰＲＴは、
電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０と電力抑制緩和し
きい値設定回路ＴＨ１と電力抑制しきい値切り換え回路
ＣＨと電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１とから構成されて
いる。電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１は、従来技術と同
じである。また、電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０
は、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を出力する回路
であり、従来技術と同じである。電力抑制緩和しきい値
設定回路ＴＨ１は、電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ
０と同様の回路構成であり、電圧（アースを基準にした
電位）がＶｅの制御電圧源Ｅｃと抵抗器Ｒｔ０１と（一
方がアースに接続される）抵抗器Ｒｔ０２とから成る。
そして、制御電圧源Ｅｃの電圧Ｖｅを抵抗器Ｒｔ１１及
びＲｔ１２によって分圧した電圧信号である電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を出力する。なお、電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１の大きさ（以下、電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１という）が、電力抑制基準しき
い値信号値Ｖｔｈ０よりも大きくなるように（Ｖｔｈ０
＜Ｖｔｈ１）、電力抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１の
各抵抗値を設定する。
一例を示す回路図である。この反射保護回路ＰＲＴは、
電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０と電力抑制緩和し
きい値設定回路ＴＨ１と電力抑制しきい値切り換え回路
ＣＨと電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１とから構成されて
いる。電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１は、従来技術と同
じである。また、電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ０
は、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を出力する回路
であり、従来技術と同じである。電力抑制緩和しきい値
設定回路ＴＨ１は、電力抑制基準しきい値設定回路ＴＨ
０と同様の回路構成であり、電圧（アースを基準にした
電位）がＶｅの制御電圧源Ｅｃと抵抗器Ｒｔ０１と（一
方がアースに接続される）抵抗器Ｒｔ０２とから成る。
そして、制御電圧源Ｅｃの電圧Ｖｅを抵抗器Ｒｔ１１及
びＲｔ１２によって分圧した電圧信号である電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を出力する。なお、電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１の大きさ（以下、電力抑制緩和
しきい値信号値Ｖｔｈ１という）が、電力抑制基準しき
い値信号値Ｖｔｈ０よりも大きくなるように（Ｖｔｈ０
＜Ｖｔｈ１）、電力抑制緩和しきい値設定回路ＴＨ１の
各抵抗値を設定する。
【０１５８】なお、図９の例では、電力抑制緩和しきい
値設定回路は１つで、電力抑制緩和しきい値信号は１つ
の値であるが、これに限定されるものではない。例え
ば、後述する第３の実施例に示すように、電力抑制緩和
しきい値信号が時間の経過とともに変化するように回路
を構成してもよいし、後述する第４の実施例に示すよう
に電力抑制緩和しきい値信号が複数の値をもつように回
路を構成してもよい。
値設定回路は１つで、電力抑制緩和しきい値信号は１つ
の値であるが、これに限定されるものではない。例え
ば、後述する第３の実施例に示すように、電力抑制緩和
しきい値信号が時間の経過とともに変化するように回路
を構成してもよいし、後述する第４の実施例に示すよう
に電力抑制緩和しきい値信号が複数の値をもつように回
路を構成してもよい。
【０１５９】また、電力抑制基準しきい値信号及び電力
抑制緩和しきい値信号を総称して電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈといい、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈの大きさ
（以下、電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈという）を設定
して電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを出力する回路を総称
して電力しきい値設定回路ＴＨという。なお、反射保護
回路ＰＲＴ内でみれば、電力しきい値設定回路ＴＨ部に
よって電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが発生することにな
る。
抑制緩和しきい値信号を総称して電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈといい、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈの大きさ
（以下、電力抑制しきい値信号値Ｖｔｈという）を設定
して電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを出力する回路を総称
して電力しきい値設定回路ＴＨという。なお、反射保護
回路ＰＲＴ内でみれば、電力しきい値設定回路ＴＨ部に
よって電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが発生することにな
る。
【０１６０】電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨは、電
力用タイマ回路ＴＭと電力用スイッチ回路ＳＷとから構
成されている。電力用タイマ回路ＴＭは、出力開始信号
Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号が所定値になった
ときを進行波電力の出力開始時とし、進行波電力の出力
開始時から電力用タイマ回路ＴＭの回路定数等で定まる
所定の時間（以下、緩和時間Ｅｔｉｍｅという）が経過
したときに、進行波電力の出力開始時から緩和時間Ｅｔ
ｉｍｅが経過するまでとは異なる所定値の電力抑制しき
い値切り換え信号Ｖｃｈを出力する回路である。なお、
電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈの大きさを、以
下、電力抑制しきい値切り換え信号値Ｖｃｈという。
力用タイマ回路ＴＭと電力用スイッチ回路ＳＷとから構
成されている。電力用タイマ回路ＴＭは、出力開始信号
Ｖｓｔを入力して、この出力開始信号が所定値になった
ときを進行波電力の出力開始時とし、進行波電力の出力
開始時から電力用タイマ回路ＴＭの回路定数等で定まる
所定の時間（以下、緩和時間Ｅｔｉｍｅという）が経過
したときに、進行波電力の出力開始時から緩和時間Ｅｔ
ｉｍｅが経過するまでとは異なる所定値の電力抑制しき
い値切り換え信号Ｖｃｈを出力する回路である。なお、
電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈの大きさを、以
下、電力抑制しきい値切り換え信号値Ｖｃｈという。
【０１６１】電力用スイッチ回路ＳＷは、電力抑制基準
しきい値信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔ
ｈ１とを入力するとともに、前述したように電力抑制し
きい値切り換え信号Ｖｃｈを入力して、この電力抑制し
きい値切り換え信号Ｖｃｈが所定値のときは電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
として出力し、電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈが
所定値でなければ電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を
電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する回路であ
る。すなわち、電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨは、
進行波電力の出力開始時から定められた緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが経過するまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ
１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、進行波
電力の出力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後
は電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい
値信号Ｖｔｈとして出力する。
しきい値信号Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔ
ｈ１とを入力するとともに、前述したように電力抑制し
きい値切り換え信号Ｖｃｈを入力して、この電力抑制し
きい値切り換え信号Ｖｃｈが所定値のときは電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
として出力し、電力抑制しきい値切り換え信号Ｖｃｈが
所定値でなければ電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を
電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力する回路であ
る。すなわち、電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨは、
進行波電力の出力開始時から定められた緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅが経過するまでは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ
１を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力し、進行波
電力の出力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後
は電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を電力抑制しきい
値信号Ｖｔｈとして出力する。
【０１６２】電力抑制信号出力回路ＡＤＤ１は、反射波
電力検出信号Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとを
入力して、反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しき
い値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号
Ｖｓｕｂを出力する。なお、前述したように、電力抑制
しきい値信号Ｖｔｈが大きい程、進行波電力の抑制が緩
和される。ここで、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
＜電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１なので、緩和時間
Ｅｔｉｍｅが経過するまでは、従来技術の場合よりも進
行波電力の抑制度合いが少ないことになる。よって、反
射が生じた場合に、従来技術よりもプラズマ処理装置５
に大きな負荷電力を供給できる。その結果、進行波電力
を出力開始してから緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまで
の間に、従来技術よりもプラズマ放電が生じ易くなる。
電力検出信号Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとを
入力して、反射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しき
い値信号値Ｖｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号
Ｖｓｕｂを出力する。なお、前述したように、電力抑制
しきい値信号Ｖｔｈが大きい程、進行波電力の抑制が緩
和される。ここで、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
＜電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１なので、緩和時間
Ｅｔｉｍｅが経過するまでは、従来技術の場合よりも進
行波電力の抑制度合いが少ないことになる。よって、反
射が生じた場合に、従来技術よりもプラズマ処理装置５
に大きな負荷電力を供給できる。その結果、進行波電力
を出力開始してから緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまで
の間に、従来技術よりもプラズマ放電が生じ易くなる。
【０１６３】また、これまでの説明で分かるように、電
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０は、進行波電力値ＰＦ
を抑制しないですむ反射波電力検出信号Ｖｐｒの上限の
基準を示す信号である。そして、電力抑制緩和しきい値
信号Ｖｔｈ１は、進行波電力値ＰＦを抑制しないですむ
反射波電力検出信号Ｖｐｒの上限を示す電力抑制基準し
きい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな信号である。さらに、
後述する電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０は、進行
波電力値ＰＦを抑制しないですむ電流検出信号Ｖｉの上
限の基準を示す信号である。同様に、後述する電流抑制
緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１は、行波電力値ＰＦを抑制
しないですむ電流検出信号Ｖｉの上限を示す電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０よりも大きな信号である。
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０は、進行波電力値ＰＦ
を抑制しないですむ反射波電力検出信号Ｖｐｒの上限の
基準を示す信号である。そして、電力抑制緩和しきい値
信号Ｖｔｈ１は、進行波電力値ＰＦを抑制しないですむ
反射波電力検出信号Ｖｐｒの上限を示す電力抑制基準し
きい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな信号である。さらに、
後述する電流抑制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０は、進行
波電力値ＰＦを抑制しないですむ電流検出信号Ｖｉの上
限の基準を示す信号である。同様に、後述する電流抑制
緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１は、行波電力値ＰＦを抑制
しないですむ電流検出信号Ｖｉの上限を示す電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０よりも大きな信号である。
【０１６４】図１０は、同一条件下で従来技術と本発明
とを用いた場合におけるジャンクション温度Ｔｊの進行
波電力出力開始時からの温度上昇曲線の比較図である。
ジャンクション温度Ｔｊの温度上昇度合いは、そのとき
の条件によって異なるが、図１０に示すように、従来技
術では電力出力開始直後にジャンクション温度Ｔｊが最
高温度になるのではなく、徐々に温度が高くなり最高温
度に達する。よって、ジャンクション温度Ｔｊが低い
間、すなわち、進行波電力出力開始直後だけを考えれ
ば、増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘを超えるまでに温度余裕があるので、電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈの設定値を大きくして、進行
波電力の抑制を緩和することによって損失が増大して
も、増幅素子の破壊を防止できる。
とを用いた場合におけるジャンクション温度Ｔｊの進行
波電力出力開始時からの温度上昇曲線の比較図である。
ジャンクション温度Ｔｊの温度上昇度合いは、そのとき
の条件によって異なるが、図１０に示すように、従来技
術では電力出力開始直後にジャンクション温度Ｔｊが最
高温度になるのではなく、徐々に温度が高くなり最高温
度に達する。よって、ジャンクション温度Ｔｊが低い
間、すなわち、進行波電力出力開始直後だけを考えれ
ば、増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格
温度Ｔｊｍａｘを超えるまでに温度余裕があるので、電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈの設定値を大きくして、進行
波電力の抑制を緩和することによって損失が増大して
も、増幅素子の破壊を防止できる。
【０１６５】したがって、前述したように、電力抑制基
準しきい値設定回路ＴＨ０とは別に電力抑制緩和しきい
値設定回路ＴＨ１を設けて、進行波電力の出力開始直後
には電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈを使用し、緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅが経過した後に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を
使用するようにしても、図１０の本発明の温度上昇曲線
が示すように、増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えないようにできる。そ
の結果、進行波電力出力開始直後に、従来技術よりも大
きな進行波電力を出力できるようになるので、従来技術
よりもプラズマ放電が生じ易くなる。
準しきい値設定回路ＴＨ０とは別に電力抑制緩和しきい
値設定回路ＴＨ１を設けて、進行波電力の出力開始直後
には電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈを使用し、緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅが経過した後に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を
使用するようにしても、図１０の本発明の温度上昇曲線
が示すように、増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えないようにできる。そ
の結果、進行波電力出力開始直後に、従来技術よりも大
きな進行波電力を出力できるようになるので、従来技術
よりもプラズマ放電が生じ易くなる。
【０１６６】ここで、緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過した後
も、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切り換えない
で、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈを使用すると、図１０に示す
ように、増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えてしまうので、増幅素子のジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを
超える前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切り換
える必要がある。
も、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切り換えない
で、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも大きな電
力抑制しきい値信号Ｖｔｈを使用すると、図１０に示す
ように、増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えてしまうので、増幅素子のジ
ャンクション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを
超える前に電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切り換
える必要がある。
【０１６７】なお、これまでの説明で分かるように、電
力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及び後述する電流抑制
緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を使用し続けると、電力増
幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容してしまう。し
たがって、特許請求の範囲に記載した「ジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを
許容した」とは、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及
び後述する電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を説明
するための記載であって、本発明ではジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０又は後述する電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０に切り換えるので、本発明を
用いたときに、増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるという意味ではな
い。また、上記の記載から、電力抑制基準しきい値信号
値Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１とを
比較すると、Ｖｔｈ０＜Ｖｔｈ１であり、また、後述す
る電流抑制基準しきい値信号値Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩
和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１とを比較すると、Ｖｉｔｈ
０＜Ｖｉｔｈ１であることが分かる。
力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及び後述する電流抑制
緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を使用し続けると、電力増
幅回路の増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶対最大
定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを許容してしまう。し
たがって、特許請求の範囲に記載した「ジャンクション
温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えることを
許容した」とは、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１及
び後述する電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を説明
するための記載であって、本発明ではジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超える前に電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０又は後述する電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０に切り換えるので、本発明を
用いたときに、増幅素子のジャンクション温度Ｔｊが絶
対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えるという意味ではな
い。また、上記の記載から、電力抑制基準しきい値信号
値Ｖｔｈ０と電力抑制緩和しきい値信号値Ｖｔｈ１とを
比較すると、Ｖｔｈ０＜Ｖｔｈ１であり、また、後述す
る電流抑制基準しきい値信号値Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩
和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１とを比較すると、Ｖｉｔｈ
０＜Ｖｉｔｈ１であることが分かる。
【０１６８】また、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを用い
て電力抑制信号Ｖｓｕｂを求め、この電力抑制信号Ｖｓ
ｕｂを用いて電力目標値に相当する信号値である電力目
標値信号値を求めている。すなわち、電力目標値に相当
する信号値である電力目標値信号値を求めるために電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈを用いている。また、同様に電
力目標値に相当する信号値である電力目標値信号値を求
めるために電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈを用いてい
る。
て電力抑制信号Ｖｓｕｂを求め、この電力抑制信号Ｖｓ
ｕｂを用いて電力目標値に相当する信号値である電力目
標値信号値を求めている。すなわち、電力目標値に相当
する信号値である電力目標値信号値を求めるために電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈを用いている。また、同様に電
力目標値に相当する信号値である電力目標値信号値を求
めるために電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈを用いてい
る。
【０１６９】なお、緩和時間Ｅｔｉｍｅ及び電力抑制し
きい値信号Ｖｔｈは、高周波電源装置ＨＰ１１又はＨＰ
２１の使用環境等に応じた最適な値になるように設定す
ればよい。また、電力しきい値設定回路ＴＨでは、２つ
の抵抗器によって電力しきい値を設定しているが、少な
くとも一方を可変抵抗器にしてもよい。以下、具体的な
実施例を用いて、詳細に説明する。
きい値信号Ｖｔｈは、高周波電源装置ＨＰ１１又はＨＰ
２１の使用環境等に応じた最適な値になるように設定す
ればよい。また、電力しきい値設定回路ＴＨでは、２つ
の抵抗器によって電力しきい値を設定しているが、少な
くとも一方を可変抵抗器にしてもよい。以下、具体的な
実施例を用いて、詳細に説明する。
【０１７０】
【実施例】（第１の実施例）本願発明は高周波電源装置
で、そのブロック図が前述した図７又は図８である。こ
の図７又は図８に示す「反射保護回路ＰＲＴ」が前述し
た図９である。さらに、この図９に示す「電力抑制しき
い値切り換え回路ＣＨ」の回路構成図が図１１で、第１
の実施例とする。図１１は、図９に示した電力抑制しき
い値切り換え回路ＣＨの第１の実施例を示す回路構成図
である。図１２は、図１１に示す電力抑制しきい値切り
換え回路ＣＨを使用したときのタイムチャートである。
この図１１及び図１２を参照して、第１の実施例を説明
する。図１１の電力用タイマ回路ＴＭは、図示のよう
に、抵抗器、コンデンサ、トランジスタ、コンパレータ
等によって構成されている。そして、電力用スイッチ回
路ＳＷは、ダイオード及びＦＥＴによって構成されてい
る。
で、そのブロック図が前述した図７又は図８である。こ
の図７又は図８に示す「反射保護回路ＰＲＴ」が前述し
た図９である。さらに、この図９に示す「電力抑制しき
い値切り換え回路ＣＨ」の回路構成図が図１１で、第１
の実施例とする。図１１は、図９に示した電力抑制しき
い値切り換え回路ＣＨの第１の実施例を示す回路構成図
である。図１２は、図１１に示す電力抑制しきい値切り
換え回路ＣＨを使用したときのタイムチャートである。
この図１１及び図１２を参照して、第１の実施例を説明
する。図１１の電力用タイマ回路ＴＭは、図示のよう
に、抵抗器、コンデンサ、トランジスタ、コンパレータ
等によって構成されている。そして、電力用スイッチ回
路ＳＷは、ダイオード及びＦＥＴによって構成されてい
る。
【０１７１】進行波電力が出力されていないときは、出
力開始信号ＶｓｔがＬｏｗレベルであるので、トランジ
スタＴｒ１がＯＦＦして、コンパレータＣＯ１に入力す
るコンパレータ入力電圧Ｖ１は、制御電圧源Ｅｃの電圧
Ｖｅに維持される。それに対して、比較電圧Ｖ２は、制
御電圧源Ｅｃの電圧Ｖｅを分圧した電圧（Ｖ１＞Ｖ２）
であるので、コンパレータから出力するコンパレータ出
力電圧Ｖ３はＨｉｇｈレベルになる。従って、電界効果
トランジスタＦＥＴ１がＯＮする。すると、Ｖｔｈ１＞
Ｖｔｈ０であるので、２つのダイオードＤｓ０及びＤｓ
１により、Ｖｔｈ＝Ｖｔｈ１となる（図１２（ｄ）参
照）。このように、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
及び電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１の出力側にダイ
オードが接続され、かつ、これらのダイオードが並列に
接続されていれば、ダイオードから出力される信号の内
で最も大きさが大きい信号が電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈとして出力される。なお、電界効果トランジスタＦＥ
Ｔ１が電力用スイッチ回路ＳＷ内にあるスイッチに相当
し、電界効果トランジスタＦＥＴ１がＯＦＦのときは電
力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１が遮断状態になり、Ｏ
Ｎのときは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１がダイオ
ード側に伝わる。
力開始信号ＶｓｔがＬｏｗレベルであるので、トランジ
スタＴｒ１がＯＦＦして、コンパレータＣＯ１に入力す
るコンパレータ入力電圧Ｖ１は、制御電圧源Ｅｃの電圧
Ｖｅに維持される。それに対して、比較電圧Ｖ２は、制
御電圧源Ｅｃの電圧Ｖｅを分圧した電圧（Ｖ１＞Ｖ２）
であるので、コンパレータから出力するコンパレータ出
力電圧Ｖ３はＨｉｇｈレベルになる。従って、電界効果
トランジスタＦＥＴ１がＯＮする。すると、Ｖｔｈ１＞
Ｖｔｈ０であるので、２つのダイオードＤｓ０及びＤｓ
１により、Ｖｔｈ＝Ｖｔｈ１となる（図１２（ｄ）参
照）。このように、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
及び電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１の出力側にダイ
オードが接続され、かつ、これらのダイオードが並列に
接続されていれば、ダイオードから出力される信号の内
で最も大きさが大きい信号が電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈとして出力される。なお、電界効果トランジスタＦＥ
Ｔ１が電力用スイッチ回路ＳＷ内にあるスイッチに相当
し、電界効果トランジスタＦＥＴ１がＯＦＦのときは電
力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１が遮断状態になり、Ｏ
Ｎのときは電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１がダイオ
ード側に伝わる。
【０１７２】次に、進行波電力が出力されると、出力開
始信号ＶｓｔがＨｉｇｈレベルになるので、トランジス
タＴｒ１がＯＮして、抵抗器Ｒｍ１１を通してコンデン
サＣｍ１１が放電を開始する。そして、コンデンサＣｍ
１１の放電が進むと、コンパレータ入力電圧Ｖ１が図１
２（ｂ）に示すように小さくなる。なお、コンパレータ
入力電圧Ｖ１は、抵抗器Ｒｍ１１及びコンデンサＣｍ１
１の時定数によって定まる特性に従って小さくなる。
始信号ＶｓｔがＨｉｇｈレベルになるので、トランジス
タＴｒ１がＯＮして、抵抗器Ｒｍ１１を通してコンデン
サＣｍ１１が放電を開始する。そして、コンデンサＣｍ
１１の放電が進むと、コンパレータ入力電圧Ｖ１が図１
２（ｂ）に示すように小さくなる。なお、コンパレータ
入力電圧Ｖ１は、抵抗器Ｒｍ１１及びコンデンサＣｍ１
１の時定数によって定まる特性に従って小さくなる。
【０１７３】さらにコンデンサＣｍ１１の放電が進ん
で、コンパレータ入力電圧Ｖ１が比較電圧Ｖ２よりも小
さくなる（Ｖ１＜Ｖ２）と、コンパレータ出力電圧Ｖ３
がＬｏｗレベルに変化するので、電界効果トランジスタ
ＦＥＴ１がＯＦＦする。このように電界効果トランジス
タＦＥＴ１がＯＦＦのときは、電力抑制緩和しきい値信
号Ｖｔｈ１が遮断状態になるので、Ｖｔｈ＝Ｖｔｈ０と
なる。この第１の実施例の場合、進行波電力が出力され
てから、コンパレータ入力電圧Ｖ１が比較電圧Ｖ２より
も小さくなるまでの時間が、緩和時間Ｅｔｉｍｅとな
る。このように、図１１に示すような抵抗器とコンデン
サとを用いた時定数回路を使用することによって、図１
２（ａ）に示すように、出力開始信号Ｖｓｔが所定値に
変化したときから、図１２（ｂ）に示すように、コンパ
レータ入力電圧Ｖ１が減少し始めて、コンパレータ入力
電圧Ｖ１が比較電圧Ｖ２よりも小さくなる（Ｖ１＜Ｖ
２）と、図１２（ｃ）に示すように、コンパレータ出力
電圧Ｖ３が変化するので、図１２（ｄ）に示すように、
電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを電力抑制緩和しきい値信
号Ｖｔｈ１から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切
り換えることができる。
で、コンパレータ入力電圧Ｖ１が比較電圧Ｖ２よりも小
さくなる（Ｖ１＜Ｖ２）と、コンパレータ出力電圧Ｖ３
がＬｏｗレベルに変化するので、電界効果トランジスタ
ＦＥＴ１がＯＦＦする。このように電界効果トランジス
タＦＥＴ１がＯＦＦのときは、電力抑制緩和しきい値信
号Ｖｔｈ１が遮断状態になるので、Ｖｔｈ＝Ｖｔｈ０と
なる。この第１の実施例の場合、進行波電力が出力され
てから、コンパレータ入力電圧Ｖ１が比較電圧Ｖ２より
も小さくなるまでの時間が、緩和時間Ｅｔｉｍｅとな
る。このように、図１１に示すような抵抗器とコンデン
サとを用いた時定数回路を使用することによって、図１
２（ａ）に示すように、出力開始信号Ｖｓｔが所定値に
変化したときから、図１２（ｂ）に示すように、コンパ
レータ入力電圧Ｖ１が減少し始めて、コンパレータ入力
電圧Ｖ１が比較電圧Ｖ２よりも小さくなる（Ｖ１＜Ｖ
２）と、図１２（ｃ）に示すように、コンパレータ出力
電圧Ｖ３が変化するので、図１２（ｄ）に示すように、
電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを電力抑制緩和しきい値信
号Ｖｔｈ１から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切
り換えることができる。
【０１７４】（第２の実施例）図１３は、前述した図１
１に示した第１の実施例の電力抑制しきい値切り換え回
路ＣＨと同様に、図９に示した電力抑制しきい値切り換
え回路ＣＨの第２の実施例を示す回路構成図である。図
１４は、図１３に示す電力抑制しきい値切り換え回路Ｃ
Ｈを使用したときのタイムチャートである。この図１３
及び図１４を使用して、第２の実施例を説明する。図１
３の電力用タイマ回路ＴＭは市販のタイマＩＣ（例え
ば、型式ＮＥ５５５等）と制御電圧源Ｅｃと抵抗器Ｒｍ
４と（一方がアースに接続される）コンデンサＣｍ４と
から成る。上記のタイマＩＣは、トリガー端子Ｔｒｇに
Ｈｉｇｈレベルの信号を入力したときから、設定された
タイマ時間だけ経過したときに、出力端子Ｏｕｔから出
力される切り換え信号Ｖｃｈのレベルが変化するＩＣで
あり、外付けの抵抗器Ｒｍ４の抵抗値又はコンデンサＣ
ｍ４の容量値を変化させることによって、タイマ時間を
変化させることができる。なお、設定したタイマ時間
が、前述した緩和時間Ｅｔｉｍｅとなる。また、出力開
始信号Ｖｓｔがトリガ信号になる。
１に示した第１の実施例の電力抑制しきい値切り換え回
路ＣＨと同様に、図９に示した電力抑制しきい値切り換
え回路ＣＨの第２の実施例を示す回路構成図である。図
１４は、図１３に示す電力抑制しきい値切り換え回路Ｃ
Ｈを使用したときのタイムチャートである。この図１３
及び図１４を使用して、第２の実施例を説明する。図１
３の電力用タイマ回路ＴＭは市販のタイマＩＣ（例え
ば、型式ＮＥ５５５等）と制御電圧源Ｅｃと抵抗器Ｒｍ
４と（一方がアースに接続される）コンデンサＣｍ４と
から成る。上記のタイマＩＣは、トリガー端子Ｔｒｇに
Ｈｉｇｈレベルの信号を入力したときから、設定された
タイマ時間だけ経過したときに、出力端子Ｏｕｔから出
力される切り換え信号Ｖｃｈのレベルが変化するＩＣで
あり、外付けの抵抗器Ｒｍ４の抵抗値又はコンデンサＣ
ｍ４の容量値を変化させることによって、タイマ時間を
変化させることができる。なお、設定したタイマ時間
が、前述した緩和時間Ｅｔｉｍｅとなる。また、出力開
始信号Ｖｓｔがトリガ信号になる。
【０１７５】また、電力用スイッチ回路ＳＷには、アナ
ログスイッチ（例えば、型式ＡＤ７５１２ＤＩ等）が使
用できる。このアナログスイッチは、切り換え信号Ｖｃ
ｈのレベルによってスイッチが切り換わる。図１３及び
図１４に示した例では、切り換え信号ＶｃｈがＨｉｇｈ
レベルのときにＶｔｈ１を出力するようにスイッチを切
り換えて、切り換え信号ＶｃｈがＬｏｗレベルのときに
Ｖｔｈ０を出力するようにスイッチを切り換える。
ログスイッチ（例えば、型式ＡＤ７５１２ＤＩ等）が使
用できる。このアナログスイッチは、切り換え信号Ｖｃ
ｈのレベルによってスイッチが切り換わる。図１３及び
図１４に示した例では、切り換え信号ＶｃｈがＨｉｇｈ
レベルのときにＶｔｈ１を出力するようにスイッチを切
り換えて、切り換え信号ＶｃｈがＬｏｗレベルのときに
Ｖｔｈ０を出力するようにスイッチを切り換える。
【０１７６】進行波電力が出力されていないときは、出
力開始信号ＶｓｔがＬｏｗレベルであり、切り換え信号
ＶｃｈがＨｉｇｈレベルである。その結果、スイッチ
は、Ｖｔｈ１側に切り換わっているので、Ｖｔｈ＝Ｖｔ
ｈ１となる。
力開始信号ＶｓｔがＬｏｗレベルであり、切り換え信号
ＶｃｈがＨｉｇｈレベルである。その結果、スイッチ
は、Ｖｔｈ１側に切り換わっているので、Ｖｔｈ＝Ｖｔ
ｈ１となる。
【０１７７】次に、進行波電力が出力されると、出力開
始信号ＶｓｔがＨｉｇｈレベルになるので、タイマＩＣ
が動作を開始する。なお、緩和時間Ｅｔｉｍｅ（タイマ
時間）が経過するまでは、切り換え信号ＶｃｈがＨｉｇ
ｈレベル，Ｖｔｈ＝Ｖｔｈ１のままである。
始信号ＶｓｔがＨｉｇｈレベルになるので、タイマＩＣ
が動作を開始する。なお、緩和時間Ｅｔｉｍｅ（タイマ
時間）が経過するまでは、切り換え信号ＶｃｈがＨｉｇ
ｈレベル，Ｖｔｈ＝Ｖｔｈ１のままである。
【０１７８】タイマＩＣの動作が進んで緩和時間Ｅｔｉ
ｍｅ（タイマ時間）が経過すると、切り換え信号Ｖｃｈ
がＬｏｗレベルに変化するので、電力用スイッチ回路Ｓ
Ｗ内のスイッチが、Ｖｔｈ０側に切り換わりＶｔｈ＝Ｖ
ｔｈ１となる。このように、図１３に示すようなタイマ
ＩＣ等を用いた回路を使用することによって、図１４
（ａ）に示すように、出力開始信号Ｖｓｔが所定値に変
化したときから、図１４（ｂ）に示すように、緩和時間
が経過したときに切り換え信号Ｖｃｈが変化するので、
図１４（ｃ）に示すように、電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈを電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０に切り換えることができる。
ｍｅ（タイマ時間）が経過すると、切り換え信号Ｖｃｈ
がＬｏｗレベルに変化するので、電力用スイッチ回路Ｓ
Ｗ内のスイッチが、Ｖｔｈ０側に切り換わりＶｔｈ＝Ｖ
ｔｈ１となる。このように、図１３に示すようなタイマ
ＩＣ等を用いた回路を使用することによって、図１４
（ａ）に示すように、出力開始信号Ｖｓｔが所定値に変
化したときから、図１４（ｂ）に示すように、緩和時間
が経過したときに切り換え信号Ｖｃｈが変化するので、
図１４（ｃ）に示すように、電力抑制しきい値信号Ｖｔ
ｈを電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電力抑制基
準しきい値信号Ｖｔｈ０に切り換えることができる。
【０１７９】（第３の実施例）図１５は、前述した図１
１に示した第１の実施例及び図１３に示した第２の実施
例の電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨと同様に、図９
に示した電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨの第３の実
施例を示す回路構成図である。図１６は、図１５に示す
回路を使用したときのタイムチャートである。この図１
５及び図１６を参照して、第３の実施例を説明する。図
１５に示した実施例では、電力用スイッチ回路ＳＷ内の
スイッチが制御電圧源Ｅｃ側に切り換わっている状態の
ときに制御電圧源Ｅｃの電圧Ｖｅを抵抗器Ｒｍ５１と抵
抗器Ｒｍ５２とで分圧した電圧信号Ｖｔｈ１を電力抑制
緩和しきい値信号とする。また、制御電圧源Ｅｃの電圧
Ｖｅを抵抗器Ｒｍ５３と抵抗器Ｒｍ５４とで分圧した電
圧信号Ｖｔｈ０を電力抑制基準しきい値信号とする。さ
らに、Ｖｔｈ１＞Ｖｔｈ０となるように、抵抗器Ｒｍ５
１乃至Ｒｍ５４の抵抗値を定める。電力用スイッチ回路
ＳＷは、出力開始信号Ｖｓｔの信号レベルが、Ｌｏｗレ
ベルのときに制御電圧源Ｅｃ側に切り換わり、Ｈｉｇｈ
レベルのときに他方（未接続側）に切り換わる。
１に示した第１の実施例及び図１３に示した第２の実施
例の電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨと同様に、図９
に示した電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨの第３の実
施例を示す回路構成図である。図１６は、図１５に示す
回路を使用したときのタイムチャートである。この図１
５及び図１６を参照して、第３の実施例を説明する。図
１５に示した実施例では、電力用スイッチ回路ＳＷ内の
スイッチが制御電圧源Ｅｃ側に切り換わっている状態の
ときに制御電圧源Ｅｃの電圧Ｖｅを抵抗器Ｒｍ５１と抵
抗器Ｒｍ５２とで分圧した電圧信号Ｖｔｈ１を電力抑制
緩和しきい値信号とする。また、制御電圧源Ｅｃの電圧
Ｖｅを抵抗器Ｒｍ５３と抵抗器Ｒｍ５４とで分圧した電
圧信号Ｖｔｈ０を電力抑制基準しきい値信号とする。さ
らに、Ｖｔｈ１＞Ｖｔｈ０となるように、抵抗器Ｒｍ５
１乃至Ｒｍ５４の抵抗値を定める。電力用スイッチ回路
ＳＷは、出力開始信号Ｖｓｔの信号レベルが、Ｌｏｗレ
ベルのときに制御電圧源Ｅｃ側に切り換わり、Ｈｉｇｈ
レベルのときに他方（未接続側）に切り換わる。
【０１８０】図１６に示すように、進行波電力出力開始
までは、出力開始信号ＶｓｔがＬｏｗレベルなので、電
力用スイッチ回路ＳＷは、制御電圧源Ｅｃ側に切り換わ
っているので、コンデンサＣｍ５に電荷がチャージ（充
電）される。また、Ｖｔｈ１＞Ｖｔｈ０であるので、２
つのダイオードＤｓ０及びＤｓ１により、Ｖｔｈ１がＶ
ｔｈとして出力される。
までは、出力開始信号ＶｓｔがＬｏｗレベルなので、電
力用スイッチ回路ＳＷは、制御電圧源Ｅｃ側に切り換わ
っているので、コンデンサＣｍ５に電荷がチャージ（充
電）される。また、Ｖｔｈ１＞Ｖｔｈ０であるので、２
つのダイオードＤｓ０及びＤｓ１により、Ｖｔｈ１がＶ
ｔｈとして出力される。
【０１８１】次に進行波電力を出力開始すると、出力開
始信号ＶｓｔがＨｉｇｈレベルになるので、電力用スイ
ッチ回路ＳＷは、他方（未接続側）に切り換わる。そう
なると、コンデンサＣｍ５にチャージ（充電）された電
荷は、抵抗器Ｒｍ５２を通して放電されるので、放電が
進むにしたがって電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１の
値が小さくなる（図１６（ｂ）参照）。そして、Ｖｔｈ
１＜Ｖｔｈ０になると、２つのダイオードＤｓ０及びＤ
ｓ１により、Ｖｔｈ０がＶｔｈとして出力される。この
図１５の場合、制御電圧源Ｅｃと抵抗器Ｒｍ５１と抵抗
器Ｒｍ５２とコンデンサＣｍ５と電力用スイッチ回路Ｓ
Ｗとによって電力抑制緩和しきい値設定回路及び電力用
タイマ回路ＴＭが構成されている。このように、時間の
経過とともに信号値が減少する電力抑制緩和しきい値信
号を出力する電力抑制緩和しきい値設定回路を使用する
ことによっても、図１６（ａ）に示すように、出力開始
信号Ｖｓｔが所定値に変化したときから、図１６（ｂ）
に示すように、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１が減
少し始めて、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１が電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも小さくなる（Ｖｔ
ｈ１＜Ｖｔｈ０）と電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
が電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力されるので、
電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを電力抑制緩和しきい値信
号Ｖｔｈ１から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切
り換えることができる。なお、この第３の実施例は、前
述した第１の実施例、第２の実施例とは異なり、電力抑
制緩和しきい値設定回路ＴＨ１及び電力用タイマ回路Ｔ
Ｍ内に電力用スイッチ回路ＳＷが組み込まれているの
で、図９に示した電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨと
は少し異なることになる。
始信号ＶｓｔがＨｉｇｈレベルになるので、電力用スイ
ッチ回路ＳＷは、他方（未接続側）に切り換わる。そう
なると、コンデンサＣｍ５にチャージ（充電）された電
荷は、抵抗器Ｒｍ５２を通して放電されるので、放電が
進むにしたがって電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１の
値が小さくなる（図１６（ｂ）参照）。そして、Ｖｔｈ
１＜Ｖｔｈ０になると、２つのダイオードＤｓ０及びＤ
ｓ１により、Ｖｔｈ０がＶｔｈとして出力される。この
図１５の場合、制御電圧源Ｅｃと抵抗器Ｒｍ５１と抵抗
器Ｒｍ５２とコンデンサＣｍ５と電力用スイッチ回路Ｓ
Ｗとによって電力抑制緩和しきい値設定回路及び電力用
タイマ回路ＴＭが構成されている。このように、時間の
経過とともに信号値が減少する電力抑制緩和しきい値信
号を出力する電力抑制緩和しきい値設定回路を使用する
ことによっても、図１６（ａ）に示すように、出力開始
信号Ｖｓｔが所定値に変化したときから、図１６（ｂ）
に示すように、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１が減
少し始めて、電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１が電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０よりも小さくなる（Ｖｔ
ｈ１＜Ｖｔｈ０）と電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０
が電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出力されるので、
電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを電力抑制緩和しきい値信
号Ｖｔｈ１から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切
り換えることができる。なお、この第３の実施例は、前
述した第１の実施例、第２の実施例とは異なり、電力抑
制緩和しきい値設定回路ＴＨ１及び電力用タイマ回路Ｔ
Ｍ内に電力用スイッチ回路ＳＷが組み込まれているの
で、図９に示した電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨと
は少し異なることになる。
【０１８２】（第４の実施例）図１７は、前述した図１
１に示した第１の実施例及び図１３に示した第２の実施
例及び図１５に示した第３の実施例の電力抑制しきい値
切り換え回路ＣＨと同様に、図９に示した電力抑制しき
い値切り換え回路ＣＨの第４の実施例を示す回路構成図
である。図１８は、図１７に示す回路を使用したときの
タイムチャートである。この図１７及び図１８を参照し
て、第４の実施例を説明する。図１７に示す回路は、図
１１に示した第１の実施例の変形例であり、図１１の電
力用タイマ回路ＴＭの内部の回路定数が異なる３種類の
電力用タイマ回路ＴＭ１、ＴＭ２及びＴＭ３と第１乃至
第３の電力抑制緩和しきい値信号とを用いている。
１に示した第１の実施例及び図１３に示した第２の実施
例及び図１５に示した第３の実施例の電力抑制しきい値
切り換え回路ＣＨと同様に、図９に示した電力抑制しき
い値切り換え回路ＣＨの第４の実施例を示す回路構成図
である。図１８は、図１７に示す回路を使用したときの
タイムチャートである。この図１７及び図１８を参照し
て、第４の実施例を説明する。図１７に示す回路は、図
１１に示した第１の実施例の変形例であり、図１１の電
力用タイマ回路ＴＭの内部の回路定数が異なる３種類の
電力用タイマ回路ＴＭ１、ＴＭ２及びＴＭ３と第１乃至
第３の電力抑制緩和しきい値信号とを用いている。
【０１８３】図１７に示すように、３種類の電力用タイ
マ回路ＴＭ１、電力用タイマ回路ＴＭ２及び電力用タイ
マ回路ＴＭ３は、並列に接続されており、それぞれ、図
１１の電力用タイマ回路ＴＭと同様に抵抗器とコンデン
サとを用いた時定数回路等を用いて、第１乃至第３の緩
和時間Ｅｔｉｍｅを定めている。なお、Ｅｔｉｍｅ１を
第１の緩和時間、Ｅｔｉｍｅ２を第２の緩和時間、Ｅｔ
ｉｍｅ３を第３の緩和時間、Ｖｔｈ１１を第１の電力抑
制緩和しきい値信号、Ｖｔｈ１２を第２の電力抑制緩和
しきい値信号及びＶｔｈ１３を第３の電力抑制緩和しき
い値信号とする。
マ回路ＴＭ１、電力用タイマ回路ＴＭ２及び電力用タイ
マ回路ＴＭ３は、並列に接続されており、それぞれ、図
１１の電力用タイマ回路ＴＭと同様に抵抗器とコンデン
サとを用いた時定数回路等を用いて、第１乃至第３の緩
和時間Ｅｔｉｍｅを定めている。なお、Ｅｔｉｍｅ１を
第１の緩和時間、Ｅｔｉｍｅ２を第２の緩和時間、Ｅｔ
ｉｍｅ３を第３の緩和時間、Ｖｔｈ１１を第１の電力抑
制緩和しきい値信号、Ｖｔｈ１２を第２の電力抑制緩和
しきい値信号及びＶｔｈ１３を第３の電力抑制緩和しき
い値信号とする。
【０１８４】また、第１の緩和時間Ｅｔｉｍｅ１＜第２
の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２＜第３の緩和時間Ｅｔｉｍｅ３
となるように、各回路の時定数が、Ｒｍ１１×Ｃｍ１１
＜ Ｒｍ２１×Ｃｍ２１ ＜ Ｒｍ３１×Ｃｍ３１の関係
になるように設定する。なお、上式は便宜上、Ｒｍ１
１、Ｒｍ２１及びＲｍ３１を抵抗値とし、Ｃｍ１１、Ｃ
ｍ２１及びＣｍ３１をコンデンサの容量値としている。
また、 Ｖｔｈ１１ ＞ Ｖｔｈ１２ ＞ Ｖｔｈ１３ ＞ Ｖｔｈ０ の関係になるように第１乃至第３の電力抑制緩和しきい
値信号を設定する。なお、Ｖｔｈ０、Ｖｔｈ１、Ｖｔｈ
２及びＶｔｈ３を設定するための回路例は図１７には図
示していないが、図９のＴＨ０及びＴＨ１と同様であ
り、上記の大小関係になるように抵抗値を設定すればよ
い。
の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２＜第３の緩和時間Ｅｔｉｍｅ３
となるように、各回路の時定数が、Ｒｍ１１×Ｃｍ１１
＜ Ｒｍ２１×Ｃｍ２１ ＜ Ｒｍ３１×Ｃｍ３１の関係
になるように設定する。なお、上式は便宜上、Ｒｍ１
１、Ｒｍ２１及びＲｍ３１を抵抗値とし、Ｃｍ１１、Ｃ
ｍ２１及びＣｍ３１をコンデンサの容量値としている。
また、 Ｖｔｈ１１ ＞ Ｖｔｈ１２ ＞ Ｖｔｈ１３ ＞ Ｖｔｈ０ の関係になるように第１乃至第３の電力抑制緩和しきい
値信号を設定する。なお、Ｖｔｈ０、Ｖｔｈ１、Ｖｔｈ
２及びＶｔｈ３を設定するための回路例は図１７には図
示していないが、図９のＴＨ０及びＴＨ１と同様であ
り、上記の大小関係になるように抵抗値を設定すればよ
い。
【０１８５】次にこの実施例の動作を説明する。なお、
前述したように、図１７の第４の実施例は図１１に示し
た第１の実施例の変形例であるので、同様の部分につい
ての説明を省略する。進行波電力が出力されていないと
きは、出力開始信号ＶｓｔがＬｏｗレベルであるので、
トランジスタＴｒ１乃至Ｔｒ３がＯＦＦし、コンパレー
タＣｏ１乃至Ｃｏ３の出力信号はＨｉｇｈレベルにな
る。従って、図１１と同様に電界効果トランジスタＦＥ
Ｔ１乃至ＦＥＴ３がＯＮする。従って、ＦＥＴ１からＶ
ｔｈ１１が出力され、ＦＥＴ２からＶｔｈ１２が出力さ
れ、ＦＥＴ３からＶｔｈ１３が出力されるが、上述した
ように、Ｖｔｈ１１＞Ｖｔｈ１２＞Ｖｔｈ１３＞Ｖｔｈ
０であるので、４つのダイオードＤｓ０乃至Ｄｓ３によ
り、Ｖｔｈ１１が電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出
力される。
前述したように、図１７の第４の実施例は図１１に示し
た第１の実施例の変形例であるので、同様の部分につい
ての説明を省略する。進行波電力が出力されていないと
きは、出力開始信号ＶｓｔがＬｏｗレベルであるので、
トランジスタＴｒ１乃至Ｔｒ３がＯＦＦし、コンパレー
タＣｏ１乃至Ｃｏ３の出力信号はＨｉｇｈレベルにな
る。従って、図１１と同様に電界効果トランジスタＦＥ
Ｔ１乃至ＦＥＴ３がＯＮする。従って、ＦＥＴ１からＶ
ｔｈ１１が出力され、ＦＥＴ２からＶｔｈ１２が出力さ
れ、ＦＥＴ３からＶｔｈ１３が出力されるが、上述した
ように、Ｖｔｈ１１＞Ｖｔｈ１２＞Ｖｔｈ１３＞Ｖｔｈ
０であるので、４つのダイオードＤｓ０乃至Ｄｓ３によ
り、Ｖｔｈ１１が電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとして出
力される。
【０１８６】次に、進行波電力が出力されると、出力開
始信号ＶｓｔがＨｉｇｈレベルになるので、トランジス
タＴｒ１乃至Ｔｒ３がＯＮする。次に、電力用タイマ回
路ＴＭ１は第１の緩和時間Ｅｔｉｍｅ１が経過したとき
に、ＦＥＴ１がＯＦＦする。また、電力用タイマ回路Ｔ
Ｍ２は第２の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２が経過したときに，
ＦＥＴ２がＯＦＦする。また、電力用タイマ回路ＴＭ３
は第３の緩和時間Ｅｔｉｍｅ３が経過したときに、ＦＥ
Ｔ３がＯＦＦする。上述したように、第１の緩和時間Ｅ
ｔｉｍｅ１＜第２の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２＜第３の緩和
時間Ｅｔｉｍｅ３であるので、第１の緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅ１が経過してＦＥＴ１がＯＦＦすると、Ｖｔｈ１２が
一番大きな信号になるので、４つのダイオードＤｓ０乃
至Ｄｓ３により、Ｖｔｈ１２が電力抑制しきい値信号Ｖ
ｔｈとして出力される。また、第２の緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅ２が経過してＦＥＴ２がＯＦＦすると、Ｖｔｈ１３が
一番大きな信号になるので、４つのダイオードＤｓ０乃
至Ｄｓ３により、Ｖｔｈ１３が電力抑制しきい値信号Ｖ
ｔｈとして出力される。また、第３の緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅ３が経過してＦＥＴ３がＯＦＦすると、Ｖｔｈ０が一
番大きな信号になるので、４つのダイオードＤｓ０乃至
Ｄｓ３により、Ｖｔｈ０が電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
として出力される。
始信号ＶｓｔがＨｉｇｈレベルになるので、トランジス
タＴｒ１乃至Ｔｒ３がＯＮする。次に、電力用タイマ回
路ＴＭ１は第１の緩和時間Ｅｔｉｍｅ１が経過したとき
に、ＦＥＴ１がＯＦＦする。また、電力用タイマ回路Ｔ
Ｍ２は第２の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２が経過したときに，
ＦＥＴ２がＯＦＦする。また、電力用タイマ回路ＴＭ３
は第３の緩和時間Ｅｔｉｍｅ３が経過したときに、ＦＥ
Ｔ３がＯＦＦする。上述したように、第１の緩和時間Ｅ
ｔｉｍｅ１＜第２の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２＜第３の緩和
時間Ｅｔｉｍｅ３であるので、第１の緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅ１が経過してＦＥＴ１がＯＦＦすると、Ｖｔｈ１２が
一番大きな信号になるので、４つのダイオードＤｓ０乃
至Ｄｓ３により、Ｖｔｈ１２が電力抑制しきい値信号Ｖ
ｔｈとして出力される。また、第２の緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅ２が経過してＦＥＴ２がＯＦＦすると、Ｖｔｈ１３が
一番大きな信号になるので、４つのダイオードＤｓ０乃
至Ｄｓ３により、Ｖｔｈ１３が電力抑制しきい値信号Ｖ
ｔｈとして出力される。また、第３の緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅ３が経過してＦＥＴ３がＯＦＦすると、Ｖｔｈ０が一
番大きな信号になるので、４つのダイオードＤｓ０乃至
Ｄｓ３により、Ｖｔｈ０が電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
として出力される。
【０１８７】このように、図１７に示すような回路を使
用することによって、図１８（ａ）に示すように、出力
開始信号Ｖｓｔが所定値に変化したときから、図１８
（ｂ）に示すように、第１の緩和時間Ｅｔｉｍｅ１、第
２の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２及び第３の緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅ３が経過するごとに電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが切
り換わるので、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを４段階に
切り換えることができる。なお、図１７の実施例は、Ｖ
ｔｈを４段階に切り換える第４の実施例であるが、電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈが変化する段数は、並列接続す
る電力しきい値設定回路ＴＨ及び電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈの数によって自在に定めることができる。また、
緩和時間Ｅｔｉｍｅは抵抗値とコンデンサの容量値との
時定数によって自在に定めることができる。
用することによって、図１８（ａ）に示すように、出力
開始信号Ｖｓｔが所定値に変化したときから、図１８
（ｂ）に示すように、第１の緩和時間Ｅｔｉｍｅ１、第
２の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２及び第３の緩和時間Ｅｔｉｍ
ｅ３が経過するごとに電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが切
り換わるので、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを４段階に
切り換えることができる。なお、図１７の実施例は、Ｖ
ｔｈを４段階に切り換える第４の実施例であるが、電力
抑制しきい値信号Ｖｔｈが変化する段数は、並列接続す
る電力しきい値設定回路ＴＨ及び電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈの数によって自在に定めることができる。また、
緩和時間Ｅｔｉｍｅは抵抗値とコンデンサの容量値との
時定数によって自在に定めることができる。
【０１８８】（第５の実施例）図７及び図８の高周波電
源装置ＨＰ１１又はＨＰ２１を構成する反射保護回路Ｐ
ＲＴの全ての機能をマイクロコンピュータとソフトウェ
アとで構成して、本願発明の機能を付加することもでき
る。図１９は、反射保護回路ＰＲＴをマイクロコンピュ
ータとソフトウェアとで構成したときの構成図である。
この図１９に示すように、反射保護回路ＰＲＴの全ての
機能をマイクロコンピュータとソフトウェアとで構成す
る場合、取り扱う信号はディジタル信号にする必要があ
る。そのために、反射波電力検出信号Ｖｐｒがアナログ
信号である場合は、アナログ信号をＡ／Ｄ変換してディ
ジタル信号にした後にマイクロコンピュータで用いれば
よい。また、反射保護回路ＰＲＴから出力する電力抑制
信号Ｖｓｕｂをアナログ信号で出力する場合は、ディジ
タル信号をＤ／Ａ変換してアナログ信号にすればよい。
源装置ＨＰ１１又はＨＰ２１を構成する反射保護回路Ｐ
ＲＴの全ての機能をマイクロコンピュータとソフトウェ
アとで構成して、本願発明の機能を付加することもでき
る。図１９は、反射保護回路ＰＲＴをマイクロコンピュ
ータとソフトウェアとで構成したときの構成図である。
この図１９に示すように、反射保護回路ＰＲＴの全ての
機能をマイクロコンピュータとソフトウェアとで構成す
る場合、取り扱う信号はディジタル信号にする必要があ
る。そのために、反射波電力検出信号Ｖｐｒがアナログ
信号である場合は、アナログ信号をＡ／Ｄ変換してディ
ジタル信号にした後にマイクロコンピュータで用いれば
よい。また、反射保護回路ＰＲＴから出力する電力抑制
信号Ｖｓｕｂをアナログ信号で出力する場合は、ディジ
タル信号をＤ／Ａ変換してアナログ信号にすればよい。
【０１８９】図２０は、反射保護回路ＰＲＴをマイクロ
コンピュータとソフトウェアとで構成した場合の第１の
フローチャートである。なお、この図２０に示したフロ
ーチャートは、電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨとし
て、図１１に示す第１の実施例及び図１３に示す第２の
実施例を採用した場合の実行手順を示し、以下、第５の
実施例とする。以下、この図２０を参照して、第５の実
施例について説明する。
コンピュータとソフトウェアとで構成した場合の第１の
フローチャートである。なお、この図２０に示したフロ
ーチャートは、電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨとし
て、図１１に示す第１の実施例及び図１３に示す第２の
実施例を採用した場合の実行手順を示し、以下、第５の
実施例とする。以下、この図２０を参照して、第５の実
施例について説明する。
【０１９０】ステップ１は、進行波電力出力開始前の状
態、すなわちスタンバイ状態を示す。ステップ２は、後
に使用するｔｉｍｅｒ及び電力抑制信号Ｖｓｕｂを、０
に初期化するステップである。なお、ｔｉｍｅｒは、進
行波電力が出力開始してからの時間を示す。また、Ｖｓ
ｕｂは電力抑制信号を示す。ステップ３は、進行波電力
が出力開始されたか否かを判別するステップである。ス
テップ３で、進行波電力が出力開始していない状態のと
きは、再度、進行波電力が出力開始されたか否かを判別
するためのステップ３を繰り返す。また、ステップ３で
進行波電力が出力開始していれば、ステップ４に進む。
態、すなわちスタンバイ状態を示す。ステップ２は、後
に使用するｔｉｍｅｒ及び電力抑制信号Ｖｓｕｂを、０
に初期化するステップである。なお、ｔｉｍｅｒは、進
行波電力が出力開始してからの時間を示す。また、Ｖｓ
ｕｂは電力抑制信号を示す。ステップ３は、進行波電力
が出力開始されたか否かを判別するステップである。ス
テップ３で、進行波電力が出力開始していない状態のと
きは、再度、進行波電力が出力開始されたか否かを判別
するためのステップ３を繰り返す。また、ステップ３で
進行波電力が出力開始していれば、ステップ４に進む。
【０１９１】ステップ４は、マイクロコンピュータに入
力した反射波電力検出信号Ｖｐｒが、電力抑制緩和しき
い値信号Ｖｔｈ１よりも大きいか否かを判別するステッ
プである。なお、反射波電力検出信号Ｖｐｒは、随時に
マイクロコンピュータに取り込まれる信号であり、電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１は予め値が設定された信
号である。ステップ４で、Ｖｐｒ＞Ｖｔｈ１が不成立な
らば、進行波電力の抑制をしないので、ステップ５に
て、電力抑制信号Ｖｓｕｂ＝０とした後にステップ７に
進む。ステップ４で、Ｖｐｒ＞Ｖｔｈ１が成立すれば、
進行波電力を抑制するので、ステップ６に進む。ステッ
プ６は、反射波電力検出信号Ｖｐｒと電力抑制緩和しき
い値信号Ｖｔｈ１とを用いて電力抑制信号Ｖｓｕｂを演
算するステップであり、第１の実施例と同様に、反射波
電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制緩和しきい値信号値Ｖ
ｔｈ１との差に応じて変化する値を電力抑制信号Ｖｓｕ
ｂとする。この図２０の場合、例えば、Ｋ３を比例定数
として、 Ｖｓｕｂ ＝ Ｋ３×（Ｖｐｒ−Ｖｔｈ１） のように一次関数を用いてＶｓｕｂを演算すればよい。
なお、使用する関数は一次関数に限定されるものではな
く、指数関数等を用いてもよい。
力した反射波電力検出信号Ｖｐｒが、電力抑制緩和しき
い値信号Ｖｔｈ１よりも大きいか否かを判別するステッ
プである。なお、反射波電力検出信号Ｖｐｒは、随時に
マイクロコンピュータに取り込まれる信号であり、電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１は予め値が設定された信
号である。ステップ４で、Ｖｐｒ＞Ｖｔｈ１が不成立な
らば、進行波電力の抑制をしないので、ステップ５に
て、電力抑制信号Ｖｓｕｂ＝０とした後にステップ７に
進む。ステップ４で、Ｖｐｒ＞Ｖｔｈ１が成立すれば、
進行波電力を抑制するので、ステップ６に進む。ステッ
プ６は、反射波電力検出信号Ｖｐｒと電力抑制緩和しき
い値信号Ｖｔｈ１とを用いて電力抑制信号Ｖｓｕｂを演
算するステップであり、第１の実施例と同様に、反射波
電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制緩和しきい値信号値Ｖ
ｔｈ１との差に応じて変化する値を電力抑制信号Ｖｓｕ
ｂとする。この図２０の場合、例えば、Ｋ３を比例定数
として、 Ｖｓｕｂ ＝ Ｋ３×（Ｖｐｒ−Ｖｔｈ１） のように一次関数を用いてＶｓｕｂを演算すればよい。
なお、使用する関数は一次関数に限定されるものではな
く、指数関数等を用いてもよい。
【０１９２】ステップ７は、進行波電力が出力開始して
からの時間を示すｔｉｍｅｒが、緩和時間Ｅｔｉｍｅよ
りも大きいか否かを判別するステップである。なお、緩
和時間Ｅｔｉｍｅは予め値が設定された信号である。ま
た、この緩和時間Ｅｔｉｍｅは、ソフトウェアの処理時
間にあわせて適切な値を設定すればよい。例えば、実際
に進行波電力を抑制したい緩和時間Ｅｔｉｍｅを、後述
するステップ８にてｔｉｍｅｒの値が１増える（インク
リメント）ために必要なループ時間で除算すればよい。
ステップ７で、ｔｉｍｅｒ＞緩和時間Ｅｔｉｍｅが不成
立ならば、ステップ８にて、ｔｉｍｅｒ＝ｔｉｍｅｒ＋
１とした後にステップ４に戻る。以降はステップ７で、
ｔｉｍｅｒ＞緩和時間Ｅｔｉｍｅが成立するまでステッ
プ４乃至ステップ７を繰り返す。ステップ７で、ｔｉｍ
ｅｒ＞緩和時間Ｅｔｉｍｅが成立すれば、ステップ９に
進む。なお、ステップ９以降は、電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈが電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電力抑
制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切り換わる。また、電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０は予め値が設定された信
号である。
からの時間を示すｔｉｍｅｒが、緩和時間Ｅｔｉｍｅよ
りも大きいか否かを判別するステップである。なお、緩
和時間Ｅｔｉｍｅは予め値が設定された信号である。ま
た、この緩和時間Ｅｔｉｍｅは、ソフトウェアの処理時
間にあわせて適切な値を設定すればよい。例えば、実際
に進行波電力を抑制したい緩和時間Ｅｔｉｍｅを、後述
するステップ８にてｔｉｍｅｒの値が１増える（インク
リメント）ために必要なループ時間で除算すればよい。
ステップ７で、ｔｉｍｅｒ＞緩和時間Ｅｔｉｍｅが不成
立ならば、ステップ８にて、ｔｉｍｅｒ＝ｔｉｍｅｒ＋
１とした後にステップ４に戻る。以降はステップ７で、
ｔｉｍｅｒ＞緩和時間Ｅｔｉｍｅが成立するまでステッ
プ４乃至ステップ７を繰り返す。ステップ７で、ｔｉｍ
ｅｒ＞緩和時間Ｅｔｉｍｅが成立すれば、ステップ９に
進む。なお、ステップ９以降は、電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈが電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電力抑
制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に切り換わる。また、電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０は予め値が設定された信
号である。
【０１９３】ステップ９は、マイクロコンピュータに入
力した反射波電力検出信号Ｖｐｒが、電力抑制基準しき
い値信号Ｖｔｈ０よりも大きいか否かを判別するステッ
プである。なお、反射波電力検出信号Ｖｐｒは、随時に
マイクロコンピュータに取り込まれる信号であり、電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０は予め値が設定された信
号である。ステップ９で、Ｖｐｒ＞Ｖｔｈ０が不成立な
らば、進行波電力の抑制をしないので、ステップ９に
て、電力抑制信号Ｖｓｕｂ＝０とした後にステップ９に
戻る。ステップ９で、反射波電力検出信号Ｖｐｒ＞Ｖｔ
ｈ０が成立すれば、進行波電力を抑制するので、ステッ
プ１１に進む。
力した反射波電力検出信号Ｖｐｒが、電力抑制基準しき
い値信号Ｖｔｈ０よりも大きいか否かを判別するステッ
プである。なお、反射波電力検出信号Ｖｐｒは、随時に
マイクロコンピュータに取り込まれる信号であり、電力
抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０は予め値が設定された信
号である。ステップ９で、Ｖｐｒ＞Ｖｔｈ０が不成立な
らば、進行波電力の抑制をしないので、ステップ９に
て、電力抑制信号Ｖｓｕｂ＝０とした後にステップ９に
戻る。ステップ９で、反射波電力検出信号Ｖｐｒ＞Ｖｔ
ｈ０が成立すれば、進行波電力を抑制するので、ステッ
プ１１に進む。
【０１９４】ステップ１１は、反射波電力検出信号Ｖｐ
ｒと電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０とを用いて電力
抑制信号Ｖｓｕｂを演算するステップであり、ステップ
６と同様である。
ｒと電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０とを用いて電力
抑制信号Ｖｓｕｂを演算するステップであり、ステップ
６と同様である。
【０１９５】なお、ステップ１２に示すように、ステッ
プ２乃至ステップ１１において、進行波電力出力停止コ
マンドが出された場合は、進行波電力の出力を停止し
て、ステップ１のスタンバイ状態に戻る。
プ２乃至ステップ１１において、進行波電力出力停止コ
マンドが出された場合は、進行波電力の出力を停止し
て、ステップ１のスタンバイ状態に戻る。
【０１９６】以上説明したように、進行波電力出力開始
から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは、電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を用いて進行波電力を抑制し、
また、進行波電力出力開始から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経
過した後は、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を用い
て進行波電力を抑制することができる。
から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは、電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を用いて進行波電力を抑制し、
また、進行波電力出力開始から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経
過した後は、電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０を用い
て進行波電力を抑制することができる。
【０１９７】（第６の実施例）図２１は、図２０と同様
に反射保護回路ＰＲＴをマイクロコンピュータとソフト
ウェアとで構成した場合の第２のフローチャートであ
る。この図２１に示したフローチャートは、電力抑制し
きい値切り換え回路ＣＨとして、図１５に示す第３の実
施例を採用した場合の実行手順を示し、以下、第６の実
施例とする。ここで電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨ
について補足説明をすると、第１の実施例では、図１２
（ｄ）に示すように、また第２の実施例では、図１４
（ｃ）に示すように、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが進
行波電力出力開始から緩和時間Ｅｔｉｍｅを経過したと
きに段階的に電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に変化する。これに対
して、第３の実施例では、図１４（ｃ）に示すような段
階的に電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電力抑制
基準しきい値信号Ｖｔｈ０への変化するのではなく、図
１６（ｂ）に示すように、進行波電力の出力を開始した
ときから時間の経過とともに電力抑制緩和しきい値信号
Ｖｔｈ１が減少をし始めて緩和時間Ｅｔｉｍｅだけ経過
したときに電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０になるよ
うに連続的に変化する。
に反射保護回路ＰＲＴをマイクロコンピュータとソフト
ウェアとで構成した場合の第２のフローチャートであ
る。この図２１に示したフローチャートは、電力抑制し
きい値切り換え回路ＣＨとして、図１５に示す第３の実
施例を採用した場合の実行手順を示し、以下、第６の実
施例とする。ここで電力抑制しきい値切り換え回路ＣＨ
について補足説明をすると、第１の実施例では、図１２
（ｄ）に示すように、また第２の実施例では、図１４
（ｃ）に示すように、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが進
行波電力出力開始から緩和時間Ｅｔｉｍｅを経過したと
きに段階的に電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電
力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に変化する。これに対
して、第３の実施例では、図１４（ｃ）に示すような段
階的に電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電力抑制
基準しきい値信号Ｖｔｈ０への変化するのではなく、図
１６（ｂ）に示すように、進行波電力の出力を開始した
ときから時間の経過とともに電力抑制緩和しきい値信号
Ｖｔｈ１が減少をし始めて緩和時間Ｅｔｉｍｅだけ経過
したときに電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０になるよ
うに連続的に変化する。
【０１９８】以下、図２１を参照して、第６の実施例に
ついて説明する。なお、この図２１は、図２０のステッ
プ３とステップ４との間に、図２１のステップＡを追加
したフローチャートである。そのために、ステップ１乃
至ステップ３は、図２０と同じなので説明を省略する。
また、ステップ４乃至ステップ１２は、図２０のステッ
プ４乃至ステップ１２と同じなので説明を省略する。従
って、ステップＡを中心に説明をする。
ついて説明する。なお、この図２１は、図２０のステッ
プ３とステップ４との間に、図２１のステップＡを追加
したフローチャートである。そのために、ステップ１乃
至ステップ３は、図２０と同じなので説明を省略する。
また、ステップ４乃至ステップ１２は、図２０のステッ
プ４乃至ステップ１２と同じなので説明を省略する。従
って、ステップＡを中心に説明をする。
【０１９９】ステップＡは、電力抑制緩和しきい値信号
Ｖｔｈ１を連続的に減少さるためのステップであり、そ
れまでの電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とｔｉｍｅ
ｒとを用いて新たな電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１
を演算するステップである。具体的には、図１６（ｂ）
に示すように、指数関数曲線になるような関数で新たな
電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を演算してもよい
し、直線的に減少するような一次関数で新たな電力抑制
緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を演算してもよい。また、そ
れまでの電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１よりも増加
しないようにすれば、他の特性の式で新たな電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を演算してもよい。
Ｖｔｈ１を連続的に減少さるためのステップであり、そ
れまでの電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１とｔｉｍｅ
ｒとを用いて新たな電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１
を演算するステップである。具体的には、図１６（ｂ）
に示すように、指数関数曲線になるような関数で新たな
電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を演算してもよい
し、直線的に減少するような一次関数で新たな電力抑制
緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を演算してもよい。また、そ
れまでの電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１よりも増加
しないようにすれば、他の特性の式で新たな電力抑制緩
和しきい値信号Ｖｔｈ１を演算してもよい。
【０２００】このようにすることで電力抑制緩和しきい
値信号Ｖｔｈ１を連続的に減少させて、進行波電力出力
開始から緩和時間Ｅｔｉｍｅを経過したときに電力抑制
緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０に切り換わるようにすることができる。
値信号Ｖｔｈ１を連続的に減少させて、進行波電力出力
開始から緩和時間Ｅｔｉｍｅを経過したときに電力抑制
緩和しきい値信号Ｖｔｈ１から電力抑制基準しきい値信
号Ｖｔｈ０に切り換わるようにすることができる。
【０２０１】（第７の実施例）図２２は、図２０及び図
２１と同様に反射保護回路ＰＲＴをマイクロコンピュー
タとソフトウェアとで構成した場合の第３のフローチャ
ートである。この図２２に示したフローチャートは、電
力抑制しきい値切り換え回路ＣＨとして、図１７に示す
第４の実施例を採用した場合の実行手順を示し、以下、
第７の実施例とする。ここで電力抑制しきい値切り換え
回路ＣＨについて補足説明をすると、第１の実施例で
は、図１２（ｄ）に示すように、第２の実施例では、図
１４（ｃ）に示すように、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
が進行波電力出力開始から緩和時間Ｅｔｉｍｅを経過し
たときに段階的に電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１か
ら電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に変化する。これ
に対して、第４の実施例では、図１８（ｂ）に示すよう
に、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが進行波電力出力開始
から第１の緩和時間Ｅｔｉｍｅ１を経過したときに第１
の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１１から第２の電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１２に変化し、進行波電力
出力開始から第２の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２を経過したと
きに第２の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１２から第
３の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１３に変化し、進
行波電力出力開始から第３の緩和時間Ｅｔｉｍｅ３を経
過したときに第３の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１
３から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に変化する。
すなわち、複数段階的に電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが
変化する。
２１と同様に反射保護回路ＰＲＴをマイクロコンピュー
タとソフトウェアとで構成した場合の第３のフローチャ
ートである。この図２２に示したフローチャートは、電
力抑制しきい値切り換え回路ＣＨとして、図１７に示す
第４の実施例を採用した場合の実行手順を示し、以下、
第７の実施例とする。ここで電力抑制しきい値切り換え
回路ＣＨについて補足説明をすると、第１の実施例で
は、図１２（ｄ）に示すように、第２の実施例では、図
１４（ｃ）に示すように、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈ
が進行波電力出力開始から緩和時間Ｅｔｉｍｅを経過し
たときに段階的に電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１か
ら電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に変化する。これ
に対して、第４の実施例では、図１８（ｂ）に示すよう
に、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが進行波電力出力開始
から第１の緩和時間Ｅｔｉｍｅ１を経過したときに第１
の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１１から第２の電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１２に変化し、進行波電力
出力開始から第２の緩和時間Ｅｔｉｍｅ２を経過したと
きに第２の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１２から第
３の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１３に変化し、進
行波電力出力開始から第３の緩和時間Ｅｔｉｍｅ３を経
過したときに第３の電力抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１
３から電力抑制基準しきい値信号Ｖｔｈ０に変化する。
すなわち、複数段階的に電力抑制しきい値信号Ｖｔｈが
変化する。
【０２０２】以下、図２２を参照して、第７の実施例に
ついて説明する。なお、この図２２は、図２０のステッ
プ７からステップ９へ進む間に、図２２のステップＢ乃
至ステップＧを追加したフローチャートである。そのた
めに、ステップ１乃至ステップ８は、図２０と同じなの
で説明を省略する。また、ステップ９乃至ステップ１２
は、図２０のステップ９乃至ステップ１２と同じなので
説明を省略する。従って、ステップＢ乃至ステップＧを
中心に説明する。
ついて説明する。なお、この図２２は、図２０のステッ
プ７からステップ９へ進む間に、図２２のステップＢ乃
至ステップＧを追加したフローチャートである。そのた
めに、ステップ１乃至ステップ８は、図２０と同じなの
で説明を省略する。また、ステップ９乃至ステップ１２
は、図２０のステップ９乃至ステップ１２と同じなので
説明を省略する。従って、ステップＢ乃至ステップＧを
中心に説明する。
【０２０３】ステップ４乃至ステップ８及びステップＢ
乃至ステップＧは、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを複数
段階的に変化させるステップである。この内、ステップ
４乃至ステップ８は、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを段
階的に変化させる役割を持つステップ群であり、それぞ
れのステップについては図２０で説明した通りである。
このステップ４乃至ステップ８を１つのブロック（以
下、分割ブロック）として、分割したい段数に応じて分
割ブロックをフローチャートの下方に直列に繋げると、
複数段階的に電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを変化させる
ことができる。例えば、図１８（ｂ）のように第１乃至
第３の緩和時間Ｅｔｉｍｅを設定するときは、３つの分
割ブロックをフローチャートの下方に直列に繋げればよ
い。ただし、緩和時間Ｅｔｉｍｅは、それぞれの分割ブ
ロックに適した値に設定する必要がある。
乃至ステップＧは、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを複数
段階的に変化させるステップである。この内、ステップ
４乃至ステップ８は、電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを段
階的に変化させる役割を持つステップ群であり、それぞ
れのステップについては図２０で説明した通りである。
このステップ４乃至ステップ８を１つのブロック（以
下、分割ブロック）として、分割したい段数に応じて分
割ブロックをフローチャートの下方に直列に繋げると、
複数段階的に電力抑制しきい値信号Ｖｔｈを変化させる
ことができる。例えば、図１８（ｂ）のように第１乃至
第３の緩和時間Ｅｔｉｍｅを設定するときは、３つの分
割ブロックをフローチャートの下方に直列に繋げればよ
い。ただし、緩和時間Ｅｔｉｍｅは、それぞれの分割ブ
ロックに適した値に設定する必要がある。
【０２０４】図２２のステップＢは、第２段目の分割ブ
ロック乃至Ｎ−１段目の分割ブロックを示す（分割ブロ
ックが合計でＮ個ある場合）。なお、紙面の都合上、細
部を省略している。また、分割ブロックの合計が２個の
場合は、このステップＢは不要である。
ロック乃至Ｎ−１段目の分割ブロックを示す（分割ブロ
ックが合計でＮ個ある場合）。なお、紙面の都合上、細
部を省略している。また、分割ブロックの合計が２個の
場合は、このステップＢは不要である。
【０２０５】ステップＣ乃至ステップＧは、Ｎ段目の分
割ブロックを示す。このＮ段目の分割ブロックの処理が
終わると、電力抑制しきい値信号が第Ｎの電力抑制緩和
しきい値信号Ｖｔｈ１Ｎから電力抑制基準しきい値信号
Ｖｔｈ０に切り換わる。なお、第Ｎの電力抑制緩和しき
い値信号Ｖｔｈ１Ｎは、予め値が設定された信号であ
る。
割ブロックを示す。このＮ段目の分割ブロックの処理が
終わると、電力抑制しきい値信号が第Ｎの電力抑制緩和
しきい値信号Ｖｔｈ１Ｎから電力抑制基準しきい値信号
Ｖｔｈ０に切り換わる。なお、第Ｎの電力抑制緩和しき
い値信号Ｖｔｈ１Ｎは、予め値が設定された信号であ
る。
【０２０６】次にステップ８及びステップＧのｔｉｍｅ
ｒについて説明する。なお、細部が省略されているステ
ップＢで使用されるｔｉｍｅｒも同様である。ｔｉｍｅ
ｒは、ステップ２で０に初期化され、その後、ステップ
８で値が１増える。そして、ステップ７で第１の緩和時
間Ｅｔｉｍｅ１よりも大きくなれば、次の分割ブロック
に進むが、このときにｔｉｍｅｒは０に初期化されな
い。以降の分割ブロックでも同様である。そのために、
ｔｉｍｅｒは、進行波電力出力開始からの時間を示すこ
とになるので、このｔｉｍｅｒを用いて、緩和時間Ｅｔ
ｉｍｅの制御ができる。その結果、複数段階的に電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈを変化させることができる
ｒについて説明する。なお、細部が省略されているステ
ップＢで使用されるｔｉｍｅｒも同様である。ｔｉｍｅ
ｒは、ステップ２で０に初期化され、その後、ステップ
８で値が１増える。そして、ステップ７で第１の緩和時
間Ｅｔｉｍｅ１よりも大きくなれば、次の分割ブロック
に進むが、このときにｔｉｍｅｒは０に初期化されな
い。以降の分割ブロックでも同様である。そのために、
ｔｉｍｅｒは、進行波電力出力開始からの時間を示すこ
とになるので、このｔｉｍｅｒを用いて、緩和時間Ｅｔ
ｉｍｅの制御ができる。その結果、複数段階的に電力抑
制しきい値信号Ｖｔｈを変化させることができる
【０２０７】（第８の実施例）これまでは、反射波電力
が電力しきい値よりも大きくなったときに増幅素子の温
度上昇を緩和するための反射保護回路ＰＲＴについて説
明をしたが、本願発明は、増幅素子の過温度を防止する
ための他の用途にも適用できる。図２３は、図７に示し
た高周波電源装置ＨＰ１１の構成を示すブロック図に電
流検出器ＩＤＥＴと電流保護回路ＩＰＲＴとを追加した
本願発明の反射及び電流保護形高周波電源装置ＨＰ１２
（以下、高周波電源装置ＨＰ１２という）の構成を示す
ブロック図である。以下、この図２３の高周波電源装置
ＨＰ１２の構成を示すブロック図を第８の実施例とす
る。
が電力しきい値よりも大きくなったときに増幅素子の温
度上昇を緩和するための反射保護回路ＰＲＴについて説
明をしたが、本願発明は、増幅素子の過温度を防止する
ための他の用途にも適用できる。図２３は、図７に示し
た高周波電源装置ＨＰ１１の構成を示すブロック図に電
流検出器ＩＤＥＴと電流保護回路ＩＰＲＴとを追加した
本願発明の反射及び電流保護形高周波電源装置ＨＰ１２
（以下、高周波電源装置ＨＰ１２という）の構成を示す
ブロック図である。以下、この図２３の高周波電源装置
ＨＰ１２の構成を示すブロック図を第８の実施例とす
る。
【０２０８】この図２３では、反射保護回路ＰＲＴと出
力設定演算回路ＣＡＬと出力電力設定回路ＳＥＴと出力
開始信号出力回路ＳＴと電流保護回路ＩＰＲＴとによっ
て進行波電力ＰＦを制御する電力制御手段ＰＣＯＮが構
成されている。この図２３参照して、第８の実施例を説
明する。なお、図３及び図７と同様の部分については、
説明を省略する。
力設定演算回路ＣＡＬと出力電力設定回路ＳＥＴと出力
開始信号出力回路ＳＴと電流保護回路ＩＰＲＴとによっ
て進行波電力ＰＦを制御する電力制御手段ＰＣＯＮが構
成されている。この図２３参照して、第８の実施例を説
明する。なお、図３及び図７と同様の部分については、
説明を省略する。
【０２０９】直流電源回路ＤＰＳ１は、図３で説明した
ので省略する。電流検出器ＩＤＥＴは、直流電源回路Ｄ
ＰＳ１から出力される出力電流値を検出して電流検出信
号Ｖｉを出力する。なお、直流電源回路ＤＰＳ１の出力
電圧ＤＣ１は、そのままの大きさ又は殆ど減衰すること
なく電力増幅回路ＡＭＰ１に入力される。ここで、電力
増幅回路ＡＭＰ１が入力する電流値が大きいほど、電力
増幅回路ＡＭＰ１での損失が大きくなって、増幅素子の
温度上昇度が高くなる。そのために、反射波電力が発生
した場合と同様の保護をすることが望ましい。
ので省略する。電流検出器ＩＤＥＴは、直流電源回路Ｄ
ＰＳ１から出力される出力電流値を検出して電流検出信
号Ｖｉを出力する。なお、直流電源回路ＤＰＳ１の出力
電圧ＤＣ１は、そのままの大きさ又は殆ど減衰すること
なく電力増幅回路ＡＭＰ１に入力される。ここで、電力
増幅回路ＡＭＰ１が入力する電流値が大きいほど、電力
増幅回路ＡＭＰ１での損失が大きくなって、増幅素子の
温度上昇度が高くなる。そのために、反射波電力が発生
した場合と同様の保護をすることが望ましい。
【０２１０】図２４は、電流保護回路ＩＰＲＴの一例を
示す回路図である。この電流保護回路ＩＰＲＴは、図９
で示した反射保護回路ＰＲＴと同様であり、電流抑制基
準しきい値設定回路ＩＴＨ０と、電流抑制緩和しきい値
設定回路ＩＴＨ１と、電流抑制しきい値切り換え回路Ｉ
ＣＨと、電流抑制信号出力回路ＩＡＤＤ１とから成る。
示す回路図である。この電流保護回路ＩＰＲＴは、図９
で示した反射保護回路ＰＲＴと同様であり、電流抑制基
準しきい値設定回路ＩＴＨ０と、電流抑制緩和しきい値
設定回路ＩＴＨ１と、電流抑制しきい値切り換え回路Ｉ
ＣＨと、電流抑制信号出力回路ＩＡＤＤ１とから成る。
【０２１１】また、電流抑制しきい値切り換え回路ＩＣ
Ｈは、出力開始信号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信
号Ｖｓｔが所定値になったときを進行波電力ＰＦの出力
開始時とし、進行波電力ＰＦの出力開始時から定められ
た緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過したときに、進行波電力
ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過する
までとは異なる所定値の電流抑制しきい値切り換え信号
Ｖｉｃｈを出力する電流用タイマ回路ＩＴＭと、電流抑
制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩和しきい値
信号Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、電流抑制しきい
値切り換え信号Ｖｉｃｈを入力して、この電流抑制しき
い値切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値のときは電流抑制緩
和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとして出力し、電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉ
ｃｈが所定値でなければ電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する
電流用スイッチ回路ＩＳＷとから成る。なお、電流抑制
しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈの大きさを、以下、電流
抑制しきい値切り換え信号値Ｖｉｃｈという。
Ｈは、出力開始信号Ｖｓｔを入力して、この出力開始信
号Ｖｓｔが所定値になったときを進行波電力ＰＦの出力
開始時とし、進行波電力ＰＦの出力開始時から定められ
た緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過したときに、進行波電力
ＰＦの出力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過する
までとは異なる所定値の電流抑制しきい値切り換え信号
Ｖｉｃｈを出力する電流用タイマ回路ＩＴＭと、電流抑
制基準しきい値信号Ｖｉｔｈ０と電流抑制緩和しきい値
信号Ｖｉｔｈ１とを入力するとともに、電流抑制しきい
値切り換え信号Ｖｉｃｈを入力して、この電流抑制しき
い値切り換え信号Ｖｉｃｈが所定値のときは電流抑制緩
和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値信号Ｖｉ
ｔｈとして出力し、電流抑制しきい値切り換え信号Ｖｉ
ｃｈが所定値でなければ電流抑制基準しきい値信号Ｖｉ
ｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈとして出力する
電流用スイッチ回路ＩＳＷとから成る。なお、電流抑制
しきい値切り換え信号Ｖｉｃｈの大きさを、以下、電流
抑制しきい値切り換え信号値Ｖｉｃｈという。
【０２１２】そして、直流電源回路ＤＰＳ１の出力電流
の電流検出信号Ｖｉを入力し、入力した電流検出信号Ｖ
ｉの大きさ（以下、電流検出信号値Ｖｉという）が電流
抑制しきい値信号Ｖｉｔｈの大きさ（以下、電流抑制し
きい値信号値Ｖｉｔｈという）よりも大きくなったとき
に、電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する。なお、電流抑
制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１の大きさ（以下、電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１という）と電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０の大きさ（以下、電流抑制基
準しきい値信号値Ｖｉｔｈ０という）とは、Ｖｉｔｈ１
＞Ｖｉｔｈ０の関係がある。また、電流抑制基準しきい
値信号Ｖｉｔｈ０等のレベルは、電流検出信号値Ｖｉ等
に応じて適切に設定すればよい。
の電流検出信号Ｖｉを入力し、入力した電流検出信号Ｖ
ｉの大きさ（以下、電流検出信号値Ｖｉという）が電流
抑制しきい値信号Ｖｉｔｈの大きさ（以下、電流抑制し
きい値信号値Ｖｉｔｈという）よりも大きくなったとき
に、電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する。なお、電流抑
制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１の大きさ（以下、電流抑
制緩和しきい値信号値Ｖｉｔｈ１という）と電流抑制基
準しきい値信号Ｖｉｔｈ０の大きさ（以下、電流抑制基
準しきい値信号値Ｖｉｔｈ０という）とは、Ｖｉｔｈ１
＞Ｖｉｔｈ０の関係がある。また、電流抑制基準しきい
値信号Ｖｉｔｈ０等のレベルは、電流検出信号値Ｖｉ等
に応じて適切に設定すればよい。
【０２１３】電流保護回路ＩＰＲＴ用の（電流保護用）
緩和時間Ｅｉｔｉｍｅは、前述した反射保護回路ＰＲＴ
用の（反射保護用）緩和時間Ｅｔｉｍｅと同様である
が、反射保護回路ＰＲＴの緩和時間Ｅｔｉｍｅと同じ時
間にしても、別の時間にしてもよい。
緩和時間Ｅｉｔｉｍｅは、前述した反射保護回路ＰＲＴ
用の（反射保護用）緩和時間Ｅｔｉｍｅと同様である
が、反射保護回路ＰＲＴの緩和時間Ｅｔｉｍｅと同じ時
間にしても、別の時間にしてもよい。
【０２１４】なお、この図２４の電流保護回路ＩＰＲＴ
は、図９の反射保護回路ＰＲＴと同様であるので、詳細
な説明は省略する。また、具体的な回路構成等は、これ
まで説明した第１乃至第７の実施例の回路及びフローチ
ャートが適用できる。そのために、これらの具体的な回
路構成等についても、説明を省略する。
は、図９の反射保護回路ＰＲＴと同様であるので、詳細
な説明は省略する。また、具体的な回路構成等は、これ
まで説明した第１乃至第７の実施例の回路及びフローチ
ャートが適用できる。そのために、これらの具体的な回
路構成等についても、説明を省略する。
【０２１５】なお、図２３の場合、進行波電力ＰＦの設
定値から、電力抑制信号値Ｖｓｕｂ及び電流抑制信号値
Ｖｉｓｕｂの大きさ（以下、電流抑制信号値Ｖｉｓｕｂ
という）に相当する電力値を減算した電力値が電力目標
値となる。また、電力目標値に相当する信号（以下、電
力目標値信号Ｖｔｐｉという）の大きさ（以下、電力目
標値信号値Ｖｔｐｉという）は、Ｋ１を比例定数として
次式で表される。 Ｖｔｐｉ＝Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｓｕｂ−Ｖｉｓｕｂ）
定値から、電力抑制信号値Ｖｓｕｂ及び電流抑制信号値
Ｖｉｓｕｂの大きさ（以下、電流抑制信号値Ｖｉｓｕｂ
という）に相当する電力値を減算した電力値が電力目標
値となる。また、電力目標値に相当する信号（以下、電
力目標値信号Ｖｔｐｉという）の大きさ（以下、電力目
標値信号値Ｖｔｐｉという）は、Ｋ１を比例定数として
次式で表される。 Ｖｔｐｉ＝Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｓｕｂ−Ｖｉｓｕｂ）
【０２１６】また、図２３の場合、出力設定演算回路Ｃ
ＡＬでは、進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと電力抑制信号
Ｖｓｕｂと電流抑制信号Ｖｉｓｕｂと進行波電力検出信
号Ｖｐｆとを入力し、電力出力手段ＰＯＵＴから出力す
る進行波電力値ＰＦが、電力目標値となるように、電力
出力手段ＰＯＵＴから出力する進行波電力値ＰＦを制御
するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する。なお、
電力制御信号Ｖｃｏｎｔの大きさ（以下、電力制御信号
値Ｖｃｏｎｔという）は、Ｋ１及びＫ２を比例定数とし
て次式で表すことができる。また、次式の各信号値は絶
対値で表した値である。 Ｖｃｏｎｔ＝Ｋ２×（Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｓｕｂ−Ｖｉｓｕｂ）−Ｖｐｆ） ＝Ｋ２×（Ｖｔｐｉ−Ｖｐｆ）
ＡＬでは、進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと電力抑制信号
Ｖｓｕｂと電流抑制信号Ｖｉｓｕｂと進行波電力検出信
号Ｖｐｆとを入力し、電力出力手段ＰＯＵＴから出力す
る進行波電力値ＰＦが、電力目標値となるように、電力
出力手段ＰＯＵＴから出力する進行波電力値ＰＦを制御
するための電力制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する。なお、
電力制御信号Ｖｃｏｎｔの大きさ（以下、電力制御信号
値Ｖｃｏｎｔという）は、Ｋ１及びＫ２を比例定数とし
て次式で表すことができる。また、次式の各信号値は絶
対値で表した値である。 Ｖｃｏｎｔ＝Ｋ２×（Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｓｕｂ−Ｖｉｓｕｂ）−Ｖｐｆ） ＝Ｋ２×（Ｖｔｐｉ−Ｖｐｆ）
【０２１７】図２３に示したように高周波電源装置ＨＰ
１２の構成を変更することで、直流電源回路ＤＰＳ１の
出力電流値を示す電流検出信号値Ｖｉが電流抑制しきい
値信号値Ｖｉｔｈよりも大きくなったときに高周波電源
装置から出力する進行波電力を抑制するための電流抑制
信号Ｖｉｓｕｂを出力する。進行波電力が抑制されれ
ば、直流電源回路ＤＰＳ１から出力される電流値が小さ
くなるので、直流電源回路ＤＰＳ１の出力電流による増
幅素子の温度上昇を緩和することができる。
１２の構成を変更することで、直流電源回路ＤＰＳ１の
出力電流値を示す電流検出信号値Ｖｉが電流抑制しきい
値信号値Ｖｉｔｈよりも大きくなったときに高周波電源
装置から出力する進行波電力を抑制するための電流抑制
信号Ｖｉｓｕｂを出力する。進行波電力が抑制されれ
ば、直流電源回路ＤＰＳ１から出力される電流値が小さ
くなるので、直流電源回路ＤＰＳ１の出力電流による増
幅素子の温度上昇を緩和することができる。
【０２１８】（第９の実施例）図２５は、図８に示した
高周波電源装置ＨＰ２１の構成を示すブロック図に電流
検出器ＩＤＥＴと電流保護回路ＩＰＲＴとを追加した本
願発明の反射及び電流保護形高周波電源装置ＨＰ２２
（以下、高周波電源装置ＨＰ２２という）の構成を示す
ブロック図である。なお、この図２５では、反射保護回
路ＰＲＴと出力設定演算回路ＣＡＬと出力電力設定回路
ＳＥＴと出力開始信号出力回路ＳＴと電流保護回路ＩＰ
ＲＴとによって進行波電力ＰＦを制御する電力制御手段
ＰＣＯＮが構成されている。この図２５が示すように、
第８の実施例で説明した電流検出器ＩＤＥＴ及び電流保
護回路ＩＰＲＴは図２５の高周波電源装置ＨＰ２２にも
適用できる。図２５に示したように高周波電源装置ＨＰ
２２の構成を変更することで、直流電源回路ＤＰＳ２の
出力電流値を示す電流検出信号値Ｖｉが電流抑制しきい
値信号値Ｖｉｔｈよりも大きくなったときに直流電源回
路ＤＰＳ２から出力する出力電圧値ＤＣ２を抑制するた
めの電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する。直流電源回路
ＤＰＳ２から出力する出力電圧値ＤＣ２が抑制されれ
ば、直流電源回路ＤＰＳ２から出力される電流値も小さ
くなるので、直流電源回路ＤＰＳ２の出力電流による増
幅素子の温度上昇を緩和することができる。なお、この
第９の実施例は、図８のブロック図に第８の実施例と同
様の回路を追加しただけなので、詳細な説明は省略す
る。
高周波電源装置ＨＰ２１の構成を示すブロック図に電流
検出器ＩＤＥＴと電流保護回路ＩＰＲＴとを追加した本
願発明の反射及び電流保護形高周波電源装置ＨＰ２２
（以下、高周波電源装置ＨＰ２２という）の構成を示す
ブロック図である。なお、この図２５では、反射保護回
路ＰＲＴと出力設定演算回路ＣＡＬと出力電力設定回路
ＳＥＴと出力開始信号出力回路ＳＴと電流保護回路ＩＰ
ＲＴとによって進行波電力ＰＦを制御する電力制御手段
ＰＣＯＮが構成されている。この図２５が示すように、
第８の実施例で説明した電流検出器ＩＤＥＴ及び電流保
護回路ＩＰＲＴは図２５の高周波電源装置ＨＰ２２にも
適用できる。図２５に示したように高周波電源装置ＨＰ
２２の構成を変更することで、直流電源回路ＤＰＳ２の
出力電流値を示す電流検出信号値Ｖｉが電流抑制しきい
値信号値Ｖｉｔｈよりも大きくなったときに直流電源回
路ＤＰＳ２から出力する出力電圧値ＤＣ２を抑制するた
めの電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを出力する。直流電源回路
ＤＰＳ２から出力する出力電圧値ＤＣ２が抑制されれ
ば、直流電源回路ＤＰＳ２から出力される電流値も小さ
くなるので、直流電源回路ＤＰＳ２の出力電流による増
幅素子の温度上昇を緩和することができる。なお、この
第９の実施例は、図８のブロック図に第８の実施例と同
様の回路を追加しただけなので、詳細な説明は省略す
る。
【０２１９】（第１０及び第１１の実施例）図２６は、
図２３に示した高周波電源装置ＨＰ１２の構成を示すブ
ロック図から反射保護回路ＰＲＴを取り除いた電流保護
形高周波電源装置ＨＰ１３（以下、高周波電源装置ＨＰ
１３という）のブロック図である。図２７は、図２５に
示した高周波電源装置ＨＰ１３の構成を示すブロック図
から反射保護回路ＰＲＴを取り除いた電流保護形高周波
電源装置ＨＰ２３（以下、高周波電源装置ＨＰ２３とい
う）のブロック図である。そのために、進行波電力検出
器ＤＥＴｆは、進行波電力検出信号Ｖｐｆを出力できれ
ばよい。なお、この図２６及び図２７では、出力設定演
算回路ＣＡＬと出力電力設定回路ＳＥＴと出力開始信号
出力回路ＳＴと電流保護回路ＩＰＲＴとによって進行波
電力ＰＦを制御する電力制御手段ＰＣＯＮが構成されて
いる。
図２３に示した高周波電源装置ＨＰ１２の構成を示すブ
ロック図から反射保護回路ＰＲＴを取り除いた電流保護
形高周波電源装置ＨＰ１３（以下、高周波電源装置ＨＰ
１３という）のブロック図である。図２７は、図２５に
示した高周波電源装置ＨＰ１３の構成を示すブロック図
から反射保護回路ＰＲＴを取り除いた電流保護形高周波
電源装置ＨＰ２３（以下、高周波電源装置ＨＰ２３とい
う）のブロック図である。そのために、進行波電力検出
器ＤＥＴｆは、進行波電力検出信号Ｖｐｆを出力できれ
ばよい。なお、この図２６及び図２７では、出力設定演
算回路ＣＡＬと出力電力設定回路ＳＥＴと出力開始信号
出力回路ＳＴと電流保護回路ＩＰＲＴとによって進行波
電力ＰＦを制御する電力制御手段ＰＣＯＮが構成されて
いる。
【０２２０】第１０の実施例は、図２６に示すように、
反射保護回路ＰＲＴを用いないで、第８の実施例で説明
した電流保護回路ＩＰＲＴを用いて増幅素子の温度上昇
を緩和させる構成を示している。第１１の実施例は、図
２７に示すように、反射保護回路ＰＲＴを用いないで、
第９の実施例で説明した電流保護回路ＩＰＲＴを用いて
増幅素子の温度上昇を緩和させる構成を示している。こ
のように、反射保護回路ＰＲＴを用いないでも増幅素子
の温度上昇を緩和させることができる。なお、図２６及
び図２７の各部分については、これまで説明した部分と
同様であるので、説明は省略する。
反射保護回路ＰＲＴを用いないで、第８の実施例で説明
した電流保護回路ＩＰＲＴを用いて増幅素子の温度上昇
を緩和させる構成を示している。第１１の実施例は、図
２７に示すように、反射保護回路ＰＲＴを用いないで、
第９の実施例で説明した電流保護回路ＩＰＲＴを用いて
増幅素子の温度上昇を緩和させる構成を示している。こ
のように、反射保護回路ＰＲＴを用いないでも増幅素子
の温度上昇を緩和させることができる。なお、図２６及
び図２７の各部分については、これまで説明した部分と
同様であるので、説明は省略する。
【０２２１】なお、図２６、図２７の場合、進行波電力
ＰＦの設定値から電流抑制信号値Ｖｉｓｕｂに相当する
電力値を減算した電力値が電力目標値となる。また、電
力目標値に相当する信号（以下、電力目標値信号Ｖｔｉ
という）の大きさ（以下、電力目標値信号値Ｖｔｉとい
う）は、Ｋ１を比例定数として次式で表される。 Ｖｔｉ＝Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｉｓｕｂ） なお、電力目標値信号Ｖｔｉの大きさを、以下、電力目
標値信号値Ｖｔｉという。
ＰＦの設定値から電流抑制信号値Ｖｉｓｕｂに相当する
電力値を減算した電力値が電力目標値となる。また、電
力目標値に相当する信号（以下、電力目標値信号Ｖｔｉ
という）の大きさ（以下、電力目標値信号値Ｖｔｉとい
う）は、Ｋ１を比例定数として次式で表される。 Ｖｔｉ＝Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｉｓｕｂ） なお、電力目標値信号Ｖｔｉの大きさを、以下、電力目
標値信号値Ｖｔｉという。
【０２２２】また、図２６、図２７の場合、出力設定演
算回路ＣＡＬでは、進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと電流
抑制信号Ｖｉｓｕｂと進行波電力検出信号Ｖｐｆとを入
力し、電力出力手段ＰＯＵＴから出力する進行波電力値
ＰＦが、電力目標値となるように、電力出力手段ＰＯＵ
Ｔから出力する進行波電力値ＰＦを制御するための電力
制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する。なお、電力制御信号Ｖ
ｃｏｎｔの大きさ（以下、電力制御信号値Ｖｃｏｎｔと
いう）は、Ｋ１及びＫ２を比例定数として次式で表すこ
とができる。また、次式の各信号値は絶対値で表した値
である。 Ｖｃｏｎｔ＝Ｋ２×（Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｉｓｕｂ）−Ｖｐｆ） ＝Ｋ２×（Ｖｔｉ−Ｖｐｆ）
算回路ＣＡＬでは、進行波電力設定信号Ｖｓｅｔと電流
抑制信号Ｖｉｓｕｂと進行波電力検出信号Ｖｐｆとを入
力し、電力出力手段ＰＯＵＴから出力する進行波電力値
ＰＦが、電力目標値となるように、電力出力手段ＰＯＵ
Ｔから出力する進行波電力値ＰＦを制御するための電力
制御信号Ｖｃｏｎｔを出力する。なお、電力制御信号Ｖ
ｃｏｎｔの大きさ（以下、電力制御信号値Ｖｃｏｎｔと
いう）は、Ｋ１及びＫ２を比例定数として次式で表すこ
とができる。また、次式の各信号値は絶対値で表した値
である。 Ｖｃｏｎｔ＝Ｋ２×（Ｋ１×（Ｖｓｅｔ−Ｖｉｓｕｂ）−Ｖｐｆ） ＝Ｋ２×（Ｖｔｉ−Ｖｐｆ）
【０２２３】なお、第８乃至第１１の実施例で説明した
ような直流電源回路ＤＰＳ１又はＤＰＳ２の出力電流値
を示す電流検出信号値Ｖｉが電流抑制しきい値信号値Ｖ
ｉｔｈよりも大きくなったときに電流抑制信号Ｖｉｓｕ
ｂを出力し、この電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを用いて、増
幅素子の温度上昇を緩和する制御方法は、本願発明の高
周波電源装置に限らず、インバータ、モータドライバ等
で過渡的な大出力が必要なアプリケーションに使用され
るパワー半導体の過温度保護にも適用できる。
ような直流電源回路ＤＰＳ１又はＤＰＳ２の出力電流値
を示す電流検出信号値Ｖｉが電流抑制しきい値信号値Ｖ
ｉｔｈよりも大きくなったときに電流抑制信号Ｖｉｓｕ
ｂを出力し、この電流抑制信号Ｖｉｓｕｂを用いて、増
幅素子の温度上昇を緩和する制御方法は、本願発明の高
周波電源装置に限らず、インバータ、モータドライバ等
で過渡的な大出力が必要なアプリケーションに使用され
るパワー半導体の過温度保護にも適用できる。
【０２２４】
【発明の効果】本願発明のように、進行波電力ＰＦの出
力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈとし、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間
Ｅｔｉｍｅが経過した後は電力抑制基準しきい値信号Ｖ
ｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、前述した反
射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖ
ｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを用
いて進行波電力の抑制を行っても、図１０の本発明の温
度上昇曲線が示すように、増幅素子のジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えないように
できる。
力開始時から緩和時間Ｅｔｉｍｅが経過するまでは電力
抑制緩和しきい値信号Ｖｔｈ１を電力抑制しきい値信号
Ｖｔｈとし、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩和時間
Ｅｔｉｍｅが経過した後は電力抑制基準しきい値信号Ｖ
ｔｈ０を電力抑制しきい値信号Ｖｔｈとし、前述した反
射波電力検出信号値Ｖｐｒと電力抑制しきい値信号値Ｖ
ｔｈとの差に応じて変化する電力抑制信号Ｖｓｕｂを用
いて進行波電力の抑制を行っても、図１０の本発明の温
度上昇曲線が示すように、増幅素子のジャンクション温
度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超えないように
できる。
【０２２５】そのために、出力開始時から緩和時間Ｅｔ
ｉｍｅが経過するまでは、反射が生じた場合に行う進行
波電力の抑制度合いを少なくできるので、従来技術より
もプラズマ処理装置５に大きな負荷電力を供給できる。
そのために、従来技術よりもプラズマ放電が生じ易くな
る。その結果、従来ならば進行波電力の出力開始直後に
プラズマ放電しなかった条件でも、本願発明を用いれ
ば、進行波電力の出力開始直後にプラズマ放電がし易く
なる。そのために、ワークの加工時間の短縮が可能にな
る。また、ワークの品質低下の防止、加工不良の防止等
が可能になる。さらに、ワークの品質低下、加工不良等
による歩留まりの改善が可能になる。
ｉｍｅが経過するまでは、反射が生じた場合に行う進行
波電力の抑制度合いを少なくできるので、従来技術より
もプラズマ処理装置５に大きな負荷電力を供給できる。
そのために、従来技術よりもプラズマ放電が生じ易くな
る。その結果、従来ならば進行波電力の出力開始直後に
プラズマ放電しなかった条件でも、本願発明を用いれ
ば、進行波電力の出力開始直後にプラズマ放電がし易く
なる。そのために、ワークの加工時間の短縮が可能にな
る。また、ワークの品質低下の防止、加工不良の防止等
が可能になる。さらに、ワークの品質低下、加工不良等
による歩留まりの改善が可能になる。
【０２２６】さらに、進行波電力の出力開始直後にプラ
ズマ放電しないと、前述したようにインピーダンス整合
する過程に無駄が生じて整合時間が長くなることがあっ
た。しかし、本願発明を用いれば、進行波電力の出力開
始直後にプラズマ放電が生じ易くなるので整合時間の短
縮が可能になる。
ズマ放電しないと、前述したようにインピーダンス整合
する過程に無駄が生じて整合時間が長くなることがあっ
た。しかし、本願発明を用いれば、進行波電力の出力開
始直後にプラズマ放電が生じ易くなるので整合時間の短
縮が可能になる。
【０２２７】また、前述したように高周波電源装置ＨＰ
から電力を供給してから整合するまでの許容時間を設定
して、設定した許容時間内に整合しない場合は、整合動
作に異常があったと見なしてワークの加工工程を中断さ
せる場合がある。本願発明では、緩和時間の間は、負荷
電力が従来よりも大きくなるので、従来技術では許容時
間内にインピーダンス整合ができなかったようなプロセ
ス条件でも、許容時間内にインピーダンス整合ができる
ようになることが期待できる。また、そうなれば、ワー
クの加工工程が中断しないので、このような場合もワー
クの加工時間の短縮が可能になる。さらに、ワークの品
質低下、加工不良等による歩留まりの改善が可能にな
る。
から電力を供給してから整合するまでの許容時間を設定
して、設定した許容時間内に整合しない場合は、整合動
作に異常があったと見なしてワークの加工工程を中断さ
せる場合がある。本願発明では、緩和時間の間は、負荷
電力が従来よりも大きくなるので、従来技術では許容時
間内にインピーダンス整合ができなかったようなプロセ
ス条件でも、許容時間内にインピーダンス整合ができる
ようになることが期待できる。また、そうなれば、ワー
クの加工工程が中断しないので、このような場合もワー
クの加工時間の短縮が可能になる。さらに、ワークの品
質低下、加工不良等による歩留まりの改善が可能にな
る。
【０２２８】また、前述したように、プラズマ放電後で
あっても、プラズマが不安定になった場合には反射が生
じる。このような場合、従来技術ではプラズマ放電した
直後にプラズマ放電を維持するための電力が不足して、
プラズマ状態から非プラズマ状態になり易くなる。しか
し、本願発明を用いて、プラズマ放電が安定するまで進
行波電力の抑制度合いを少なくすれば、プラズマ状態か
ら非プラズマ状態になりにくくなる。プラズマ放電を維
持してプラズマ状態から非プラズマ状態になるのを防止
できれば、ワークの加工が中断しないので、このような
場合もワークの加工時間の短縮が可能になる。さらに、
ワークの品質低下、加工不良等による歩留まりの改善が
可能になる。
あっても、プラズマが不安定になった場合には反射が生
じる。このような場合、従来技術ではプラズマ放電した
直後にプラズマ放電を維持するための電力が不足して、
プラズマ状態から非プラズマ状態になり易くなる。しか
し、本願発明を用いて、プラズマ放電が安定するまで進
行波電力の抑制度合いを少なくすれば、プラズマ状態か
ら非プラズマ状態になりにくくなる。プラズマ放電を維
持してプラズマ状態から非プラズマ状態になるのを防止
できれば、ワークの加工が中断しないので、このような
場合もワークの加工時間の短縮が可能になる。さらに、
ワークの品質低下、加工不良等による歩留まりの改善が
可能になる。
【０２２９】さらに、本願発明は、進行波電力ＰＦの出
力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでは電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値
信号Ｖｉｔｈとし、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩
和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は電流抑制基準しきい
値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈと
し、前述した電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信
号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉ
ｓｕｂを用いて進行波電力の抑制を行っても、図１０の
本発明の温度上昇曲線が示すように、増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
ないようにできる。また、電力抑制信号Ｖｓｕｂを用い
て進行波電力の抑制を行うか、電流抑制信号Ｖｉｓｕｂ
を用いて進行波電力の抑制を行うかだけでなく、両者を
組み合わせて進行波電力の抑制を行うことができる。な
お、これらのようにしても、前述した効果と同様の効果
を得ることができることはもちろんである。
力開始時から緩和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過するまでは電
流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を電流抑制しきい値
信号Ｖｉｔｈとし、進行波電力ＰＦの出力開始時から緩
和時間Ｅｉｔｉｍｅが経過した後は電流抑制基準しきい
値信号Ｖｉｔｈ０を電流抑制しきい値信号Ｖｉｔｈと
し、前述した電流検出信号値Ｖｉと電流抑制しきい値信
号値Ｖｉｔｈとの差に応じて変化する電流抑制信号Ｖｉ
ｓｕｂを用いて進行波電力の抑制を行っても、図１０の
本発明の温度上昇曲線が示すように、増幅素子のジャン
クション温度Ｔｊが絶対最大定格温度Ｔｊｍａｘを超え
ないようにできる。また、電力抑制信号Ｖｓｕｂを用い
て進行波電力の抑制を行うか、電流抑制信号Ｖｉｓｕｂ
を用いて進行波電力の抑制を行うかだけでなく、両者を
組み合わせて進行波電力の抑制を行うことができる。な
お、これらのようにしても、前述した効果と同様の効果
を得ることができることはもちろんである。
【０２３０】さらに、本願発明では、緩和時間（Ｅｉｔ
ｉｍｅ，Ｅｉｔｉｍｅ）及び電力抑制緩和しきい値信号
Ｖｔｈ１及び電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を自
在に定めることができるので、使用する条件に応じて最
適な制御が可能となる。
ｉｍｅ，Ｅｉｔｉｍｅ）及び電力抑制緩和しきい値信号
Ｖｔｈ１及び電流抑制緩和しきい値信号Ｖｉｔｈ１を自
在に定めることができるので、使用する条件に応じて最
適な制御が可能となる。
【図１】 図１は本出願に係る発明の特徴を最もよく表
す図である。
す図である。
【図２】 図２は、高周波電源装置ＨＰ及びその周辺装
置の一例を示すブロック図である。
置の一例を示すブロック図である。
【図３】 図３は、従来技術の高周波電源装置ＨＰ１の
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図４】 図４は、従来技術の高周波電源装置ＨＰ２の
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図５】 図５は、従来技術のしきい値固定の反射保護
回路ＰＲＴｐの回路図である。
回路ＰＲＴｐの回路図である。
【図６】 図６は、出力設定演算回路ＣＡＬの回路構成
図である。
図である。
【図７】 図７は、本願発明の高周波電源装置ＨＰ１１
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図８】 図８は、本願発明の高周波電源装置ＨＰ２１
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図９】 図９は、本願発明の反射保護回路ＰＲＴの一
例を示す回路図である。
例を示す回路図である。
【図１０】 図１０は、同一条件下で従来技術と本発明
とを用いた場合におけるジャンクション温度Ｔｊの進行
波電力出力開始時からの温度上昇曲線の比較図である。
とを用いた場合におけるジャンクション温度Ｔｊの進行
波電力出力開始時からの温度上昇曲線の比較図である。
【図１１】 図１１は、図９に示した電力抑制しきい値
切り換え回路ＣＨの第１の実施例を示す回路構成図であ
る。
切り換え回路ＣＨの第１の実施例を示す回路構成図であ
る。
【図１２】 図１２は、図１１に示す電力抑制しきい値
切り換え回路ＣＨを使用したときのタイムチャートであ
る。
切り換え回路ＣＨを使用したときのタイムチャートであ
る。
【図１３】 図１３は、図９に示した電力抑制しきい値
切り換え回路ＣＨの第２の実施例を示す回路構成図であ
る。
切り換え回路ＣＨの第２の実施例を示す回路構成図であ
る。
【図１４】 図１４は、図１３に示す電力抑制しきい値
切り換え回路ＣＨを使用したときのタイムチャートであ
る。
切り換え回路ＣＨを使用したときのタイムチャートであ
る。
【図１５】 図１５は、図９に示した電力抑制しきい値
切り換え回路ＣＨの第３の実施例を示す回路構成図であ
る。
切り換え回路ＣＨの第３の実施例を示す回路構成図であ
る。
【図１６】 図１６は、図１５に示す回路を使用したと
きのタイムチャートである。
きのタイムチャートである。
【図１７】 図１７は、図９に示した電力抑制しきい値
切り換え回路ＣＨの第４の実施例を示す回路構成図であ
る。
切り換え回路ＣＨの第４の実施例を示す回路構成図であ
る。
【図１８】 図１８は、図１７に示す回路を使用したと
きのタイムチャートである。
きのタイムチャートである。
【図１９】 図１９は、反射保護回路ＰＲＴをマイクロ
コンピュータとソフトウェアとで構成したときの構成図
である。
コンピュータとソフトウェアとで構成したときの構成図
である。
【図２０】 図２０は、反射保護回路ＰＲＴをマイクロ
コンピュータとソフトウェアとで構成した場合の第１の
フローチャートである。
コンピュータとソフトウェアとで構成した場合の第１の
フローチャートである。
【図２１】 図２１は、反射保護回路ＰＲＴをマイクロ
コンピュータとソフトウェアとで構成した場合の第２の
フローチャートである。
コンピュータとソフトウェアとで構成した場合の第２の
フローチャートである。
【図２２】 図２２は、反射保護回路ＰＲＴをマイクロ
コンピュータとソフトウェアとで構成した場合の第３の
フローチャートである。
コンピュータとソフトウェアとで構成した場合の第３の
フローチャートである。
【図２３】 図２３は、図７に示した高周波電源装置Ｈ
Ｐ１１の構成を示すブロック図に電流検出器ＩＤＥＴと
電流保護回路ＩＰＲＴとを追加した本願発明の高周波電
源装置ＨＰ１２の構成を示すブロック図である。
Ｐ１１の構成を示すブロック図に電流検出器ＩＤＥＴと
電流保護回路ＩＰＲＴとを追加した本願発明の高周波電
源装置ＨＰ１２の構成を示すブロック図である。
【図２４】 図２４は、電流保護回路ＩＰＲＴの一例を
示す回路図である。
示す回路図である。
【図２５】 図２５は、図８に示した高周波電源装置Ｈ
Ｐ２１の構成を示すブロック図に電流検出器ＩＤＥＴと
電流保護回路ＩＰＲＴとを追加した本願発明の高周波電
源装置ＨＰ２２の構成を示すブロック図である。
Ｐ２１の構成を示すブロック図に電流検出器ＩＤＥＴと
電流保護回路ＩＰＲＴとを追加した本願発明の高周波電
源装置ＨＰ２２の構成を示すブロック図である。
【図２６】 図２６は、図２３に示した高周波電源装置
ＨＰ１２の構成を示すブロック図から反射保護回路ＰＲ
Ｔを取り除いた高周波電源装置ＨＰ１３のブロック図で
ある。
ＨＰ１２の構成を示すブロック図から反射保護回路ＰＲ
Ｔを取り除いた高周波電源装置ＨＰ１３のブロック図で
ある。
【図２７】 図２７は、図２５に示した高周波電源装置
ＨＰ２２の構成を示すブロック図から反射保護回路ＰＲ
Ｔを取り除いた高周波電源装置ＨＰ２３のブロック図で
ある。
ＨＰ２２の構成を示すブロック図から反射保護回路ＰＲ
Ｔを取り除いた高周波電源装置ＨＰ２３のブロック図で
ある。
ＨＰ 高周波電源装置
ＨＰ１ （従来技術の定直流電圧入力形）高周波
電源装置（図３） ＨＰ２ （従来技術の可変直流電圧入力形）高周
波電源装置（図４） ＨＰ１１ （本発明の定直流電圧入力・反射保護
形）高周波電源装置（図７） ＨＰ２１ （本発明の可変直流電圧入力・反射保護
形）高周波電源装置（図８） ＨＰ１２ （本発明の定直流電圧入力・反射及び電
流護形）高周波電源装置（図２３） ＨＰ２２ （本発明の可変直流電圧入力・反射及び
電流保護形）高周波電源装置（２５図） ＨＰ１３ （本発明の定直流電圧入力・電流保護
形）高周波電源装置（図２６） ＨＰ２３ （本発明の可変直流電圧入力・電流保護
形）高周波電源装置（図２７） ２ 電力伝送線路 ３ 整合装置 ４ 電力伝送線路 ５ プラズマ処理装置 Ｚｏ 出力インピーダンス ＺＬ 負荷側インピーダンス ＡＣ１ 高周波電圧／高周波信号 ＡＣ２ 高周波電圧／高周波信号 ＡＤＤ１ 電力抑制信号出力回路 ＣＡＬ 出力設定演算回路 ＣＨ 電力抑制しきい値切り換え回路 ＤＣ１ 出力電圧／出力電圧値 ＤＣ２ 出力電圧／出力電圧値 ＤＥＴ （進行波・反射波）電力検出器 ＤＥＴｆ 進行波電力検出器 ＤＰＳ１ （定電圧出力）直流電源回路 ＤＰＳ２ （可変電圧出力）直流電源回路 Ｅｉｔｉｍｅ 緩和時間／電流保護用緩和時間 Ｅｔｉｍｅ 緩和時間／反射保護用緩和時間 ＩＡＤＤ１ 電流抑制信号出力回路 ＩＣＨ 電流抑制しきい値切り換え回路 ＩＤＥＴ 電流検出器 ＩＰＲＴ 電流保護回路 ＩＳＷ 電流用スイッチ回路 ＩＴＨ０ 電流抑制基準しきい値設定回路 ＩＴＨ１ 電流抑制緩和しきい値設定回路 ＩＴＭ 電流用タイマ回路 ＰＣＯＮ 電力制御手段 ＰＦ 進行波電力／進行波電力値 ＰＯＵＴ 電力出力手段 ＰＲ 反射波電力／反射波電力値 ＰＲＴ （本発明の）しきい値切換の反射保護回
路 ＰＲＴｐ （従来技術の）しきい値固定の反射保護
回路 ＳＥＴ 出力電力設定回路 ＳＴ 出力開始信号出力回路 ＳＷ 電力用スイッチ回路 ＴＨ０ 電力抑制基準しきい値設定回路 ＴＨ１ 電力抑制緩和しきい値設定回路 ＴＭ 電力用タイマ回路 Ｖｃｈ 電力抑制しきい値切り換え信号／電力抑
制しきい値切り換え信号値 Ｖｃｏｎｔ 電力制御信号／電力制御信号値 Ｖｉ 電流検出信号／電流検出信号値 Ｖｉｃｈ 電流抑制しきい値切り換え信号／電流抑
制しきい値切り換え信号値 Ｖｉｓｕｂ 電流抑制信号／電流抑制信号値 Ｖｉｔｈ 電流抑制しきい値信号／電流抑制しきい
値信号値 Ｖｉｔｈ０ 電流抑制基準しきい値信号／電流抑制基
準しきい値信号値 Ｖｉｔｈ１ 電流抑制緩和しきい値信号／電流抑制緩
和しきい値信号値 Ｖｐｆ 進行波電力検出信号／進行波電力検出信
号値 Ｖｐｒ 反射波電力検出信号／反射波電力検出信
号値 Ｖｓｅｔ 進行波電力設定信号／進行波電力設定信
号値 Ｖｓｔ 出力開始信号／出力開始信号 Ｖｓｕｂ 電力抑制信号／電力抑制信号値 Ｖｔｈ 電力抑制しきい値信号／電力抑制しきい
値信号値 Ｖｔｈ０ 電力抑制基準しきい値信号／電力抑制基
準しきい値信号値 Ｖｔｈ１ 電力抑制緩和しきい値信号／電力抑制緩
和しきい値信号値 Ｖｔｉ （電流保護用）電力目標値信号／（電流
保護用）電力目標値信号値 Ｖｔｐ （反射保護用）電力目標値信号／（反射
保護用）電力目標値信号値 Ｖｔｐｉ （反射・電流保護用）電力目標値信号／
（反射・電流保護用）電力目標値信号値
電源装置（図３） ＨＰ２ （従来技術の可変直流電圧入力形）高周
波電源装置（図４） ＨＰ１１ （本発明の定直流電圧入力・反射保護
形）高周波電源装置（図７） ＨＰ２１ （本発明の可変直流電圧入力・反射保護
形）高周波電源装置（図８） ＨＰ１２ （本発明の定直流電圧入力・反射及び電
流護形）高周波電源装置（図２３） ＨＰ２２ （本発明の可変直流電圧入力・反射及び
電流保護形）高周波電源装置（２５図） ＨＰ１３ （本発明の定直流電圧入力・電流保護
形）高周波電源装置（図２６） ＨＰ２３ （本発明の可変直流電圧入力・電流保護
形）高周波電源装置（図２７） ２ 電力伝送線路 ３ 整合装置 ４ 電力伝送線路 ５ プラズマ処理装置 Ｚｏ 出力インピーダンス ＺＬ 負荷側インピーダンス ＡＣ１ 高周波電圧／高周波信号 ＡＣ２ 高周波電圧／高周波信号 ＡＤＤ１ 電力抑制信号出力回路 ＣＡＬ 出力設定演算回路 ＣＨ 電力抑制しきい値切り換え回路 ＤＣ１ 出力電圧／出力電圧値 ＤＣ２ 出力電圧／出力電圧値 ＤＥＴ （進行波・反射波）電力検出器 ＤＥＴｆ 進行波電力検出器 ＤＰＳ１ （定電圧出力）直流電源回路 ＤＰＳ２ （可変電圧出力）直流電源回路 Ｅｉｔｉｍｅ 緩和時間／電流保護用緩和時間 Ｅｔｉｍｅ 緩和時間／反射保護用緩和時間 ＩＡＤＤ１ 電流抑制信号出力回路 ＩＣＨ 電流抑制しきい値切り換え回路 ＩＤＥＴ 電流検出器 ＩＰＲＴ 電流保護回路 ＩＳＷ 電流用スイッチ回路 ＩＴＨ０ 電流抑制基準しきい値設定回路 ＩＴＨ１ 電流抑制緩和しきい値設定回路 ＩＴＭ 電流用タイマ回路 ＰＣＯＮ 電力制御手段 ＰＦ 進行波電力／進行波電力値 ＰＯＵＴ 電力出力手段 ＰＲ 反射波電力／反射波電力値 ＰＲＴ （本発明の）しきい値切換の反射保護回
路 ＰＲＴｐ （従来技術の）しきい値固定の反射保護
回路 ＳＥＴ 出力電力設定回路 ＳＴ 出力開始信号出力回路 ＳＷ 電力用スイッチ回路 ＴＨ０ 電力抑制基準しきい値設定回路 ＴＨ１ 電力抑制緩和しきい値設定回路 ＴＭ 電力用タイマ回路 Ｖｃｈ 電力抑制しきい値切り換え信号／電力抑
制しきい値切り換え信号値 Ｖｃｏｎｔ 電力制御信号／電力制御信号値 Ｖｉ 電流検出信号／電流検出信号値 Ｖｉｃｈ 電流抑制しきい値切り換え信号／電流抑
制しきい値切り換え信号値 Ｖｉｓｕｂ 電流抑制信号／電流抑制信号値 Ｖｉｔｈ 電流抑制しきい値信号／電流抑制しきい
値信号値 Ｖｉｔｈ０ 電流抑制基準しきい値信号／電流抑制基
準しきい値信号値 Ｖｉｔｈ１ 電流抑制緩和しきい値信号／電流抑制緩
和しきい値信号値 Ｖｐｆ 進行波電力検出信号／進行波電力検出信
号値 Ｖｐｒ 反射波電力検出信号／反射波電力検出信
号値 Ｖｓｅｔ 進行波電力設定信号／進行波電力設定信
号値 Ｖｓｔ 出力開始信号／出力開始信号 Ｖｓｕｂ 電力抑制信号／電力抑制信号値 Ｖｔｈ 電力抑制しきい値信号／電力抑制しきい
値信号値 Ｖｔｈ０ 電力抑制基準しきい値信号／電力抑制基
準しきい値信号値 Ｖｔｈ１ 電力抑制緩和しきい値信号／電力抑制緩
和しきい値信号値 Ｖｔｉ （電流保護用）電力目標値信号／（電流
保護用）電力目標値信号値 Ｖｔｐ （反射保護用）電力目標値信号／（反射
保護用）電力目標値信号値 Ｖｔｐｉ （反射・電流保護用）電力目標値信号／
（反射・電流保護用）電力目標値信号値
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Ｆターム(参考） 5J091 AA01 AA41 CA02 CA57 FA01
HA09 HA19 HA25 HA29 HA38
KA00 KA01 KA28 KA32 KA34
KA47 MA11 MA21 SA00 TA01
TA06 TA07
5J100 JA01 LA00 LA10 LA11 LA12
QA02 SA00
5J500 AA01 AA41 AC02 AC57 AF01
AH09 AH19 AH25 AH29 AH38
AK00 AK01 AK28 AK32 AK34
AK47 AM11 AM21 AS00 AT01
AT06 AT07
Claims (28)
- 【請求項１】 電力増幅回路で増幅して出力する進行波
電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電源
の進行波電力制御方法において、前記進行波電力の出力
開始時から予め定めた緩和時間が経過するまでは前記電
力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最大
定格温度を超えることを許容した電力目標値になるよう
に前記進行波電力値を制御し、前記緩和時間が経過した
後は前記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度
を絶対最大定格温度以下にする電力目標値になるように
前記進行波電力値を制御する高周波電源の進行波電力制
御方法。 - 【請求項２】 電力増幅回路で増幅して出力する進行波
電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電源
の進行波電力制御方法において、進行波電力の出力開始
時は前記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度
が絶対最大定格温度を超えることを許容した電力目標値
になるように前記進行波電力値を制御し、前記増幅素子
のジャンクション温度が絶対最大定格温度を超える前に
前記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度を絶
対最大定格温度以下にする電力目標値になるように前記
進行波電力値を制御する高周波電源の進行波電力制御方
法。 - 【請求項３】 電力増幅回路で増幅して出力する進行波
電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電源
の進行波電力制御方法において、進行波電力の出力開始
時から前記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温
度が絶対最大定格温度に達するまでは前記電力増幅回路
の増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度を
超えることを許容した電力目標値になるように前記進行
波電力値を制御し、前記ジャンクション温度が絶対最大
定格温度に達したときは前記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度を絶対最大定格温度以下にする電力
目標値になるように前記進行波電力値を制御する高周波
電源の進行波電力制御方法。 - 【請求項４】 電力増幅回路で増幅して出力する進行波
電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電源
の進行波電力制御方法において、高周波電源装置から出
力される進行波電力値を検出した進行波電力検出信号及
び高周波電源装置に反射入力される反射波電力値を検出
した反射波電力検出信号を出力する電力検出過程と、前
記進行波電力の出力開始時から予め定めた緩和時間が経
過するまでは前記電力増幅回路の増幅素子のジャンクシ
ョン温度が絶対最大定格温度を超えることを許容した電
力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑
制緩和しきい値信号を電力抑制しきい値信号とする抑制
緩和しきい値設定過程と、前記緩和時間が経過した後は
前記ジャンクション温度を絶対最大定格温度以下にする
電力目標値に相当する信号値を求めるために用いる電力
抑制基準しきい値信号を電力抑制しきい値信号とする基
準しきい値設定過程と、前記反射波電力検出信号と前記
電力抑制しきい値信号とを用いて進行波電力値を抑制す
るための電力抑制信号を演算する電力抑制信号演算過程
と、前記進行波電力値の設定値に相当する進行波電力設
定信号と前記電力抑制信号とを用いて電力目標値信号を
演算する電力目標値信号演算過程と、前記電力目標値信
号と進行波電力検出信号とを用いて電力制御信号を演算
する電力制御信号演算過程とから成り、前記電力制御信
号によって前記進行波電力値が電力目標値になるように
制御する高周波電源の進行波電力制御方法。 - 【請求項５】 電力増幅回路で増幅して出力する進行波
電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電源
の進行波電力制御方法において、高周波電源装置から出
力される進行波電力値を検出した進行波電力検出信号及
び高周波電源装置に反射入力される反射波電力値を検出
した反射波電力検出信号を出力する電力検出過程と、前
記進行波電力の出力開始時から予め定めた反射保護用緩
和時間が経過するまでは前記電力増幅回路の増幅素子の
ジャンクション温度が絶対最大定格温度を超えることを
許容した電力目標値に相当する信号値を求めるために用
いる電力抑制緩和しきい値信号を電力抑制しきい値信号
とするとともに、前記進行波電力の出力開始時から予め
定めた電流保護用緩和時間が経過するまでは前記電力増
幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格
温度を超えることを許容した電力目標値に相当する信号
値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号を電
流抑制しきい値信号とする抑制緩和しきい値設定過程
と、前記反射保護用緩和時間が経過した後は前記ジャン
クション温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標値
に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制基準し
きい値信号を電力抑制しきい値信号とするとともに、前
記電流保護用緩和時間が経過した後は前記ジャンクショ
ン温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標値に相当
する信号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値
信号を電流抑制しきい値信号とする基準しきい値設定過
程と、前記反射波電力検出信号と前記電力抑制しきい値
信号とを用いて進行波電力値を抑制するための電力抑制
信号を演算する電力抑制信号演算過程と、前記電力増幅
回路において増幅のための電力供給源が出力する電流値
に相当する電流検出信号と前記電流抑制しきい値信号と
を用いて進行波電力値を抑制するための電流抑制信号を
演算する電流抑制信号演算過程と、前記進行波電力値の
設定値に相当する進行波電力設定信号と前記電力抑制信
号と前記電流抑制信号とを用いて電力目標値信号を演算
する電力目標値信号演算過程と、前記電力目標値信号と
進行波電力検出信号とを用いて電力制御信号を演算する
電力制御信号演算過程とから成り、前記電力制御信号に
よって前記進行波電力値が電力目標値になるように制御
する高周波電源の進行波電力制御方法。 - 【請求項６】 電力増幅回路で増幅して出力する進行波
電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電源
の進行波電力制御方法において、高周波電源装置から出
力される進行波電力値を検出した進行波電力検出信号を
出力する電力検出過程と、前記進行波電力の出力開始時
から予め定めた緩和時間が経過するまでは前記電力増幅
回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温
度を超えることを許容した電力目標値に相当する信号値
を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号を電流
抑制しきい値信号とする抑制緩和しきい値設定過程と、
前記緩和時間が経過した後は前記ジャンクション温度を
絶対最大定格温度以下にする電力目標値に相当する信号
値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値信号を電
流抑制しきい値信号とする基準しきい値設定過程と、前
記電力増幅回路において増幅のための電力供給源が出力
する電流値に相当する電流検出信号と前記電流抑制しき
い値信号とを用いて進行波電力値を抑制するための電流
抑制信号を演算する電流抑制信号演算過程と、前記進行
波電力値の設定値に相当する進行波電力設定信号と前記
電流抑制信号とを用いて電力目標値信号を演算する電力
目標値信号演算過程と、前記電力目標値信号と進行波電
力検出信号とを用いて電力制御信号を演算する電力制御
信号演算過程とから成り、前記電力制御信号によって前
記進行波電力値が電力目標値になるように制御する高周
波電源の進行波電力制御方法。 - 【請求項７】 請求項４に記載の抑制緩和しきい値設定
過程が、進行波電力の出力開始時は前記ジャンクション
温度が絶対最大定格温度を超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩
和しきい値信号を電力抑制しきい値信号とする抑制緩和
しきい値設定過程であり、基準しきい値設定過程が、前
記増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度を
超える前に前記ジャンクション温度を絶対最大定格温度
以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるために
用いる電力抑制基準しきい値信号を電力抑制しきい値信
号とする基準しきい値設定過程である高周波電源の進行
波電力制御方法。 - 【請求項８】 請求項５に記載の抑制緩和しきい値設定
過程が、進行波電力の出力開始時は前記ジャンクション
温度が絶対最大定格温度を超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩
和しきい値信号及び電流抑制緩和しきい値信号を電力抑
制しきい値信号及び電流抑制しきい値信号とする抑制緩
和しきい値設定過程であり、基準しきい値設定過程が、
前記増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度
を超える前に前記ジャンクション温度を絶対最大定格温
度以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるため
に用いる電力抑制基準しきい値信号及び電流抑制基準し
きい値信号を電力抑制しきい値信号及び電流抑制しきい
値信号とする基準しきい値設定過程である高周波電源の
進行波電力制御方法。 - 【請求項９】 請求項６に記載の抑制緩和しきい値設定
過程が、進行波電力の出力開始時は前記ジャンクション
温度が絶対最大定格温度を超えることを許容した電力目
標値に相当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩
和しきい値信号を電流抑制しきい値信号とする抑制緩和
しきい値設定過程であり、基準しきい値設定過程が、前
記増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度を
超える前に前記ジャンクション温度を絶対最大定格温度
以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるために
用いる電流抑制基準しきい値信号を電流抑制しきい値信
号とする基準しきい値設定過程である高周波電源の進行
波電力制御方法。 - 【請求項１０】 請求項４に記載の抑制緩和しきい値設
定過程が、進行波電力の出力開始時から前記電力増幅回
路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度
に達するまでは前記ジャンクション温度が絶対最大定格
温度を超えることを許容した電力目標値に相当する信号
値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい値信号を電
力抑制しきい値信号とする抑制緩和しきい値設定過程で
あり、基準しきい値設定過程が、前記ジャンクション温
度が絶対最大定格温度に達したときは前記ジャンクショ
ン温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標値に相当
する信号値を求めるために用いる電力抑制基準しきい値
信号を電力抑制しきい値信号とする基準しきい値設定過
程である高周波電源の進行波電力制御方法。 - 【請求項１１】 請求項５に記載の抑制緩和しきい値設
定過程が、進行波電力の出力開始時から前記電力増幅回
路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度
に達するまでは前記ジャンクション温度が絶対最大定格
温度を超えることを許容した電力目標値に相当する信号
値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい値信号及び
電流抑制緩和しきい値信号を電力抑制しきい値信号及び
電流抑制しきい値信号とする抑制緩和しきい値設定過程
であり、基準しきい値設定過程が、前記ジャンクション
温度が絶対最大定格温度に達したときは前記ジャンクシ
ョン温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電力抑制基準しきい
値信号及び電流抑制基準しきい値信号を電力抑制しきい
値信号及び電流抑制しきい値信号とする基準しきい値設
定過程である高周波電源の進行波電力制御方法。 - 【請求項１２】 請求項６に記載の抑制緩和しきい値設
定過程が、進行波電力の出力開始時から前記電力増幅回
路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度
に達するまでは前記ジャンクション温度が絶対最大定格
温度を超えることを許容した電力目標値に相当する信号
値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信号を電
流抑制しきい値信号とする抑制緩和しきい値設定過程で
あり、基準しきい値設定過程が、前記ジャンクション温
度が絶対最大定格温度に達したときは前記ジャンクショ
ン温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標値に相当
する信号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい値
信号を電流抑制しきい値信号とする基準しきい値設定過
程である高周波電源の進行波電力制御方法。 - 【請求項１３】 請求項４又は請求項５又は請求項７又
は請求項８又は請求項１０又は請求項１１に記載の電力
抑制緩和しきい値信号値が、進行波電力の出力開始時か
ら電力抑制基準しきい値信号を電力抑制しきい値信号と
するまでの間は、一定である高周波電源の進行波電力制
御方法。 - 【請求項１４】 請求項５又は請求項６又は請求項８又
は請求項９又は請求項１１又は請求項１２に記載の電流
抑制緩和しきい値信号値が、進行波電力の出力開始時か
ら電流抑制基準しきい値信号を電流抑制しきい値信号と
するまでの間は、一定である高周波電源の進行波電力制
御方法。 - 【請求項１５】 請求項４又は請求項５又は請求項７又
は請求項８又は請求項１０又は請求項１１に記載の電力
抑制緩和しきい値信号値が、進行波電力の出力開始時か
ら電力抑制基準しきい値信号を電力抑制しきい値信号と
するまでの間は、一定でない高周波電源の進行波電力制
御方法。 - 【請求項１６】 請求項５又は請求項６又は請求項８又
は請求項９又は請求項１１又は請求項１２に記載の電流
抑制緩和しきい値信号値が、進行波電力の出力開始時か
ら電流抑制基準しきい値信号を電流抑制しきい値信号と
するまでの間は、一定でない高周波電源の進行波電力制
御方法。 - 【請求項１７】 電力増幅回路で増幅して出力する進行
波電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電
源装置において、高周波電源装置から出力される進行波
電力値を検出した進行波電力検出信号及び高周波電源装
置に反射入力される反射波電力値を検出した反射波電力
検出信号を出力する電力検出器と、電力増幅回路の増幅
素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度を超える
ことを許容した電力目標値に相当する信号値を求めるた
めに用いる電力抑制緩和しきい値信号を発生させ、前記
ジャンクション温度を絶対最大定格温度以下にする電力
目標値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制
基準しきい値信号を発生させて、前記進行波電力の出力
開始時から定められた緩和時間が経過するまでは、前記
電力抑制緩和しきい値信号を電力抑制しきい値信号と
し、前記進行波電力の出力開始時から定められた緩和時
間が経過した後は、電力抑制基準しきい値信号を電力抑
制しきい値信号とし、出力する進行波電力値が電力目標
値となるように制御するための電力制御信号を前記進行
波電力値の設定値に相当する進行波電力設定信号及び前
記反射波電力検出信号値と電力抑制しきい値信号値との
差に応じて変化する電力抑制信号及び進行波電力検出信
号によって求めて出力する電力制御手段と、前記電力制
御信号を入力して進行波電力値が電力目標値になるよう
に制御して進行波電力を出力する前記電力増幅回路を含
んだ電力出力手段とを備えた高周波電源装置。 - 【請求項１８】 電力増幅回路で増幅して出力する進行
波電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電
源装置において、高周波電源装置から出力される進行波
電力値を検出した進行波電力検出信号及び高周波電源装
置に反射入力される反射波電力値を検出した反射波電力
検出信号を出力する電力検出器と、前記電力増幅回路に
おいて増幅のための電力供給源が出力する電流値に相当
する電流検出信号を出力する電流検出器と、電力増幅回
路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度
を超えることを許容した電力目標値に相当する信号値を
求めるために用いる電力抑制緩和しきい値信号及び電流
抑制緩和しきい値信号を発生させ、前記ジャンクション
温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標値に相当す
る信号値を求めるために用いる電力抑制基準しきい値信
号及び電流抑制基準しきい値信号を発生させて、前記進
行波電力の出力開始時から定められた反射保護用緩和時
間が経過するまでは、電力抑制緩和しきい値信号を電力
抑制しきい値信号とし、前記進行波電力の出力開始時か
ら定められた反射保護用緩和時間が経過した後は、電力
抑制基準しきい値信号を電力抑制しきい値信号とすると
ともに、前記進行波電力の出力開始時から定められた電
流保護用緩和時間が経過するまでは、電流抑制緩和しき
い値信号を電流抑制しきい値信号とし、前記進行波電力
の出力開始時から定められた電流保護用緩和時間が経過
した後は、電流抑制基準しきい値信号を電流抑制しきい
値信号とし、出力する進行波電力値が電力目標値となる
ように制御するための電力制御信号を前記進行波電力値
の設定値に相当する進行波電力設定信号及び前記反射波
電力検出信号値と電力抑制しきい値信号値との差に応じ
て変化する電力抑制信号及び前記電流検出信号値と電流
抑制しきい値信号値との差に応じて変化する電流抑制信
号及び進行波電力検出信号によって求めて出力する電力
制御手段と、前記電力制御信号を入力して進行波電力値
が電力目標値になるように制御して進行波電力を出力す
る前記電力増幅回路を含んだ電力出力手段とを備えた高
周波電源装置。 - 【請求項１９】 電力増幅回路で増幅して出力する進行
波電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電
源装置において、高周波電源装置から出力される進行波
電力値を検出した進行波電力検出信号を出力する進行波
電力検出器と、前記電力増幅回路において増幅のための
電力供給源が出力する電流値に相当する電流検出信号を
出力する電流検出器と、電力増幅回路の増幅素子のジャ
ンクション温度が絶対最大定格温度を超えることを許容
した電力目標値に相当する信号値を求めるために用いる
電流抑制緩和しきい値信号を発生させ、前記ジャンクシ
ョン温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電流抑制基準しきい
値信号を発生させて、前記進行波電力の出力開始時から
定められた緩和時間が経過するまでは、電流抑制緩和し
きい値信号を電流抑制しきい値信号とし、前記進行波電
力の出力開始時から定められた緩和時間が経過した後
は、電流抑制基準しきい値信号を電流抑制しきい値信号
とし、出力する進行波電力値が電力目標値となるように
制御するための電力制御信号を前記進行波電力値の設定
値に相当する進行波電力設定信号及び前記電流検出信号
値と電流抑制しきい値信号値との差に応じて変化する電
流抑制信号及び進行波電力検出信号によって求めて出力
する電力制御手段と、前記電力制御信号を入力して進行
波電力値が電力目標値になるように制御して進行波電力
を出力する前記電力増幅回路を含んだ電力出力手段とを
備えた高周波電源装置。 - 【請求項２０】 請求項１７に記載の電力制御手段が、
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最
大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相当す
る信号値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい値信
号を発生させ、前記ジャンクション温度を絶対最大定格
温度以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるた
めに用いる電力抑制基準しきい値信号を発生させて、進
行波電力の出力開始時は前記電力抑制緩和しきい値信号
を電力抑制しきい値信号とし、前記増幅素子のジャンク
ション温度が絶対最大定格温度を超える前に電力抑制基
準しきい値信号を電力抑制しきい値信号とし、出力する
進行波電力値が電力目標値となるように制御するための
電力制御信号を前記進行波電力値の設定値に相当する進
行波電力設定信号及び前記反射波電力検出信号値と電力
抑制しきい値信号値との差に応じて変化する電力抑制信
号及び進行波電力検出信号によって求めて出力する電力
制御手段である高周波電源装置。 - 【請求項２１】 請求項１８に記載の電力制御手段が、
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最
大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相当す
る信号値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい値信
号及び電流抑制緩和しきい値信号を発生させ、前記ジャ
ンクション温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標
値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制基準
しきい値信号及び電流抑制基準しきい値信号を発生させ
て、進行波電力の出力開始時は、電力抑制緩和しきい値
信号を電力抑制しきい値信号とし、前記増幅素子のジャ
ンクション温度が絶対最大定格温度を超える前に、電力
抑制基準しきい値信号を電力抑制しきい値信号とすると
ともに、進行波電力の出力開始時は、電流抑制緩和しき
い値信号を電流抑制しきい値信号とし、前記増幅素子の
ジャンクション温度が絶対最大定格温度を超える前に、
電流抑制基準しきい値信号を電流抑制しきい値信号と
し、出力する進行波電力値が電力目標値となるように制
御するための電力制御信号を前記進行波電力値の設定値
に相当する進行波電力設定信号及び前記反射波電力検出
信号値と電力抑制しきい値信号値との差に応じて変化す
る電力抑制信号及び前記電流検出信号値と電流抑制しき
い値信号値との差に応じて変化する電流抑制信号及び進
行波電力検出信号によって求めて出力する電力制御手段
である高周波電源装置。 - 【請求項２２】 請求項１９に記載の電力制御手段が、
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最
大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相当す
る信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信
号を発生させ、前記ジャンクション温度を絶対最大定格
温度以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるた
めに用いる電流抑制基準しきい値信号を発生させて、進
行波電力の出力開始時は、電流抑制緩和しきい値信号を
電流抑制しきい値信号とし、前記増幅素子のジャンクシ
ョン温度が絶対最大定格温度を超える前に、電流抑制基
準しきい値信号を電流抑制しきい値信号とし、出力する
進行波電力値が電力目標値となるように制御するための
電力制御信号を前記進行波電力値の設定値に相当する進
行波電力設定信号及び前記電流検出信号値と電流抑制し
きい値信号値との差に応じて変化する電流抑制信号及び
進行波電力検出信号によって求めて出力する電力制御手
段である高周波電源装置。 - 【請求項２３】 請求項１７に記載の電力制御手段が、
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最
大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相当す
る信号値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい値信
号を発生させ、前記ジャンクション温度を絶対最大定格
温度以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるた
めに用いる電力抑制基準しきい値信号を発生させて、進
行波電力の出力開始時から前記ジャンクション温度が絶
対最大定格温度に達するまでは、前記電力抑制緩和しき
い値信号を電力抑制しきい値信号とし、前記ジャンクシ
ョン温度が絶対最大定格温度に達したときは、電力抑制
基準しきい値信号を電力抑制しきい値信号とし、出力す
る進行波電力値が電力目標値となるように制御するため
の電力制御信号を前記進行波電力値の設定値に相当する
進行波電力設定信号及び前記反射波電力検出信号値と電
力抑制しきい値信号値との差に応じて変化する電力抑制
信号及び進行波電力検出信号によって求めて出力する電
力制御手段である高周波電源装置。 - 【請求項２４】 請求項１８に記載の電力制御手段が、
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最
大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相当す
る信号値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい値信
号及び電流抑制緩和しきい値信号を発生させ、前記ジャ
ンクション温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標
値に相当する信号値を求めるために用いる電力抑制基準
しきい値信号及び電流抑制基準しきい値信号を発生させ
て、進行波電力の出力開始時から前記電力増幅回路の増
幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度に達す
るまでは、電力抑制緩和しきい値信号を電力抑制しきい
値信号とし、前記ジャンクション温度が絶対最大定格温
度に達したときは、電力抑制基準しきい値信号を電力抑
制しきい値信号とするとともに、進行波電力の出力開始
時から前記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温
度が絶対最大定格温度に達するまでは、電流抑制緩和し
きい値信号を電流抑制しきい値信号とし、前記ジャンク
ション温度が絶対最大定格温度に達したときは、電流抑
制基準しきい値信号を電流抑制しきい値信号とし、出力
する進行波電力値が電力目標値となるように制御するた
めの電力制御信号を前記進行波電力値の設定値に相当す
る進行波電力設定信号及び前記反射波電力検出信号値と
電力抑制しきい値信号値との差に応じて変化する電力抑
制信号及び前記電流検出信号値と電流抑制しきい値信号
値との差に応じて変化する電流抑制信号及び進行波電力
検出信号によって求めて出力する電力制御手段である高
周波電源装置。 - 【請求項２５】 請求項１９に記載の電力制御手段が、
電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最
大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相当す
る信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい値信
号を発生させ、前記ジャンクション温度を絶対最大定格
温度以下にする電力目標値に相当する信号値を求めるた
めに用いる電流抑制基準しきい値信号を発生させて、進
行波電力の出力開始時から前記電力増幅回路の増幅素子
のジャンクション温度が絶対最大定格温度に達するまで
は、電流抑制緩和しきい値信号を電流抑制しきい値信号
とし、前記ジャンクション温度が絶対最大定格温度に達
したときは、電流抑制基準しきい値信号を電流抑制しき
い値信号とし、出力する進行波電力値が電力目標値とな
るように制御するための電力制御信号を前記進行波電力
値の設定値に相当する進行波電力設定信号及び前記電流
検出信号値と電流抑制しきい値信号値との差に応じて変
化する電流抑制信号及び進行波電力検出信号によって求
めて出力する電力制御手段である高周波電源装置。 - 【請求項２６】 請求項１７に記載の電力制御手段が、
出力する進行波電力値の設定値に相当する進行波電力設
定信号を出力する出力電力設定回路と、進行波電力を出
力開始したときに進行波電力を出力開始する前と異なる
所定値の出力開始信号を出力する出力開始信号出力回路
と、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶
対最大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい
値信号を発生させ、前記ジャンクション温度を絶対最大
定格温度以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制基準しきい値信号を発生させる
とともに、前記出力開始信号を入力して、出力開始信号
が所定値になったときを前記進行波電力の出力開始時と
し、前記進行波電力の出力開始時から定められた緩和時
間が経過するまでは電力抑制緩和しきい値信号を電力抑
制しきい値信号とし、前記進行波電力の出力開始時から
緩和時間が経過した後は電力抑制基準しきい値信号を電
力抑制しきい値信号とし、前記反射波電力検出信号値と
電力抑制しきい値信号値との差に応じて変化する電力抑
制信号を出力する反射保護回路と、前記進行波電力設定
信号と電力抑制信号と進行波電力検出信号とを入力し
て、出力する進行波電力値が電力目標値となるように制
御するための電力制御信号を出力する出力設定演算回路
とから成る高周波電源装置。 - 【請求項２７】 請求項１８に記載の電力制御手段が、
出力する進行波電力値の設定値に相当する進行波電力設
定信号を出力する出力電力設定回路と、進行波電力を出
力開始したときに進行波電力を出力開始する前と異なる
所定値の出力開始信号を出力する出力開始信号出力回路
と、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶
対最大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電力抑制緩和しきい
値信号を発生させ、前記ジャンクション温度を絶対最大
定格温度以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電力抑制基準しきい値信号を発生させる
とともに、前記出力開始信号を入力して、出力開始信号
が所定値になったときを前記進行波電力の出力開始時と
し、前記進行波電力の出力開始時から定められた反射保
護用緩和時間が経過するまでは電力抑制緩和しきい値信
号を電力抑制しきい値信号とし、前記進行波電力の出力
開始時から反射保護用緩和時間が経過した後は電力抑制
基準しきい値信号を電力抑制しきい値信号とし、前記反
射波電力検出信号値と電力抑制しきい値信号値との差に
応じて変化する電力抑制信号を出力する反射保護回路
と、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶
対最大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい
値信号を発生させ、前記ジャンクション温度を絶対最大
定格温度以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電流抑制基準しきい値信号を発生させる
とともに、前記出力開始信号を入力して、出力開始信号
が所定値になったときを前記進行波電力の出力開始時と
し、前記進行波電力の出力開始時から定められた電流保
護用緩和時間が経過するまでは電流抑制緩和しきい値信
号を電流抑制しきい値信号とし、前記進行波電力の出力
開始時から電流保護用緩和時間が経過した後は電流抑制
基準しきい値信号を電流抑制しきい値信号とし、前記電
流検出信号値と電流抑制しきい値信号値との差に応じて
変化する電流抑制信号を出力する電流保護回路と、前記
進行波電力設定信号と電力抑制信号と電流抑制信号と進
行波電力検出信号とを入力して、出力する進行波電力値
が電力目標値となるように制御するための電力制御信号
を出力する出力設定演算回路とから成る高周波電源装
置。 - 【請求項２８】 請求項１９に記載の電力制御手段が、
出力する進行波電力値の設定値に相当する進行波電力設
定信号を出力する出力電力設定回路と、進行波電力を出
力開始したときに進行波電力を出力開始する前と異なる
所定値の出力開始信号を出力する出力開始信号出力回路
と、電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶
対最大定格温度を超えることを許容した電力目標値に相
当する信号値を求めるために用いる電流抑制緩和しきい
値信号を発生させ、前記ジャンクション温度を絶対最大
定格温度以下にする電力目標値に相当する信号値を求め
るために用いる電流抑制基準しきい値信号を発生させる
とともに、前記出力開始信号を入力して、出力開始信号
が所定値になったときを前記進行波電力の出力開始時と
し、前記進行波電力の出力開始時から定められた緩和時
間が経過するまでは電流抑制緩和しきい値信号を電流抑
制しきい値信号とし、前記進行波電力の出力開始時から
緩和時間が経過した後は電流抑制基準しきい値信号を電
流抑制しきい値信号とし、前記電流検出信号値と電流抑
制しきい値信号値との差に応じて変化する電流抑制信号
を出力する電流保護回路と、前記進行波電力設定信号と
電流抑制信号と進行波電力検出信号とを入力して、出力
する進行波電力値が電力目標値となるように制御するた
めの電力制御信号を出力する出力設定演算回路とから成
る高周波電源装置。
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| JP2002013544A JP3998986B2 (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | 高周波電源の進行波電力制御方法及び高周波電源装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
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