JP2003226576A - ガラス状炭素製円筒体の製造方法 - Google Patents
ガラス状炭素製円筒体の製造方法Info
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真円度の高いガラス状炭素製円筒体を得るた
めの製造方法を提供すること。 【解決手段】 熱硬化樹脂製円筒体を不活性雰囲気中に
て８００〜１３００℃の温度で熱処理して高温熱処理前
のガラス状炭素製円筒体２を得、次いで前記高温熱処理
前のガラス状炭素製円筒体２の外側に真円度矯正型４を
はめて配置し、しかる後、不活性雰囲気中にて前記高温
熱処理前のガラス状炭素製円筒体２を前記真円度矯正型
４とともに１５００℃以上で高温熱処理することを特徴
とするガラス状炭素製円筒体の製造方法。
めの製造方法を提供すること。 【解決手段】 熱硬化樹脂製円筒体を不活性雰囲気中に
て８００〜１３００℃の温度で熱処理して高温熱処理前
のガラス状炭素製円筒体２を得、次いで前記高温熱処理
前のガラス状炭素製円筒体２の外側に真円度矯正型４を
はめて配置し、しかる後、不活性雰囲気中にて前記高温
熱処理前のガラス状炭素製円筒体２を前記真円度矯正型
４とともに１５００℃以上で高温熱処理することを特徴
とするガラス状炭素製円筒体の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】ガラス状炭素製円筒体は、気
相反応炉の炉心管や、半導体製造用ＣＶＤ装置のインナ
ーチューブなどとして好適に用いられるものである。本
発明は、真円度の高いガラス状炭素製円筒体を得るため
の製造方法に関するものである。
相反応炉の炉心管や、半導体製造用ＣＶＤ装置のインナ
ーチューブなどとして好適に用いられるものである。本
発明は、真円度の高いガラス状炭素製円筒体を得るため
の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ガラス状炭素は熱硬化性樹脂を熱処理し
て得られる炭素材料であり、ガラス状の非常に均質、緻
密な構造を有している。この材料は、一般の炭素材料の
特徴である熱伝導性、化学的安定性、耐熱性、高純度な
どの性質に加え、構成粒子の脱落がないという優れた特
徴を備えていることから、半導体製造装置部材などの用
途に用いられている。
て得られる炭素材料であり、ガラス状の非常に均質、緻
密な構造を有している。この材料は、一般の炭素材料の
特徴である熱伝導性、化学的安定性、耐熱性、高純度な
どの性質に加え、構成粒子の脱落がないという優れた特
徴を備えていることから、半導体製造装置部材などの用
途に用いられている。
【０００３】ガラス状炭素からなるガラス状炭素製円筒
体は、熱硬化性樹脂製円筒体を作製し、これを不活性雰
囲気中にて熱処理することにより得られる。すなわち、
不活性雰囲気中において、通常、８００℃以上の温度、
好ましくは１０００〜１２００℃、さらに好ましくは１
３００〜２５００℃で熱処理することにより、ガラス状
炭素製円筒体を得るようにしている。
体は、熱硬化性樹脂製円筒体を作製し、これを不活性雰
囲気中にて熱処理することにより得られる。すなわち、
不活性雰囲気中において、通常、８００℃以上の温度、
好ましくは１０００〜１２００℃、さらに好ましくは１
３００〜２５００℃で熱処理することにより、ガラス状
炭素製円筒体を得るようにしている。
【０００４】ところが、ガラス状炭素は熱硬化性樹脂製
円筒体を炭化焼成する過程で大きく収縮し、２０％程度
の体積収縮があることから、真円度の高い（真円性の良
好な）ガラス状炭素製円筒体を得ることは難しかった。
円筒体を炭化焼成する過程で大きく収縮し、２０％程度
の体積収縮があることから、真円度の高い（真円性の良
好な）ガラス状炭素製円筒体を得ることは難しかった。
【０００５】そこで、真円度を確保する目的で、例えば
特開平１１−１８９４７０号公報及び特開平１１−１８
９４７１号公報には、黒鉛製の中子を炭化焼成前の熱硬
化性樹脂製円筒体の内部に配置し、また、黒鉛製の中子
を高温熱処理前のガラス状炭素製円筒体の内部に配置す
るようにした方法が提案されている。具体的には、炭化
焼成時における熱硬化性樹脂製円筒体の収縮を見込ん
で、目的とするガラス状炭素製円筒体の内径と同じ外径
を有する中子を使用している。
特開平１１−１８９４７０号公報及び特開平１１−１８
９４７１号公報には、黒鉛製の中子を炭化焼成前の熱硬
化性樹脂製円筒体の内部に配置し、また、黒鉛製の中子
を高温熱処理前のガラス状炭素製円筒体の内部に配置す
るようにした方法が提案されている。具体的には、炭化
焼成時における熱硬化性樹脂製円筒体の収縮を見込ん
で、目的とするガラス状炭素製円筒体の内径と同じ外径
を有する中子を使用している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者が検討したところ、中子を用いる前記従来の方法で
は、真円度の高い（真円性の良好な）ガラス状炭素製円
筒体が必ず得られるとは限らないことがわかった。そし
て、本発明者は、真円度が向上しない原因として、炭化
焼成後に行う高温熱処理においてガラス状炭素製円筒体
が１２００℃以上の温度で膨張するという点にあること
を見出した。
者が検討したところ、中子を用いる前記従来の方法で
は、真円度の高い（真円性の良好な）ガラス状炭素製円
筒体が必ず得られるとは限らないことがわかった。そし
て、本発明者は、真円度が向上しない原因として、炭化
焼成後に行う高温熱処理においてガラス状炭素製円筒体
が１２００℃以上の温度で膨張するという点にあること
を見出した。
【０００７】本発明は前記知見に基づいて創案されたも
のであり、その目的は高い真円度を有するガラス状炭素
製円筒体の製造方法を提供することにある。
のであり、その目的は高い真円度を有するガラス状炭素
製円筒体の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、熱硬化樹脂製円筒体を不活性雰
囲気中にて８００〜１３００℃の温度で熱処理して高温
熱処理前のガラス状炭素製円筒体を得、次いで前記高温
熱処理前のガラス状炭素製円筒体の外側に真円度矯正型
をはめて配置し、しかる後、不活性雰囲気中にて前記高
温熱処理前のガラス状炭素製円筒体を前記真円度矯正型
とともに１５００℃以上の温度で高温熱処理することを
特徴とするガラス状炭素製円筒体の製造方法である。
に、請求項１の発明は、熱硬化樹脂製円筒体を不活性雰
囲気中にて８００〜１３００℃の温度で熱処理して高温
熱処理前のガラス状炭素製円筒体を得、次いで前記高温
熱処理前のガラス状炭素製円筒体の外側に真円度矯正型
をはめて配置し、しかる後、不活性雰囲気中にて前記高
温熱処理前のガラス状炭素製円筒体を前記真円度矯正型
とともに１５００℃以上の温度で高温熱処理することを
特徴とするガラス状炭素製円筒体の製造方法である。
【０００９】請求項２の発明は、前記請求項１のガラス
状炭素製円筒体の製造方法において、前記真円度矯正型
が黒鉛からなるものであることを特徴とする。
状炭素製円筒体の製造方法において、前記真円度矯正型
が黒鉛からなるものであることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明について説明する。
本発明によるガラス状炭素製円筒体の製造方法では、ま
ず、熱硬化樹脂製円筒体を不活性雰囲気中にて８００〜
１３００℃の温度で熱処理（炭化焼成）することによ
り、熱硬化樹脂製円筒体は、体積収縮し、ガラス状炭素
化されて高温熱処理前のガラス状炭素製円筒体となる。
この場合、前記熱処理（炭化焼成）にあたり、真円度を
確保する点から、熱硬化樹脂製円筒体の内側に円筒状中
子を配置して熱処理を行うことがよい。次いで、この高
温熱処理前のガラス状炭素製円筒体の外側に、これを囲
繞するように真円度矯正型を配置する。しかる後、不活
性雰囲気中にて前記高温熱処理前のガラス状炭素製円筒
体を前記真円度矯正型とともに１５００℃以上の温度、
例えば１５００℃で高温熱処理する。この高温での熱処
理が施されることで、１２００〜１５００℃の温度域を
通過することにより、真円度矯正型は単に熱膨張する一
方、ガラス状炭素製円筒体は、熱膨張することに加え、
炭素の構造変化による膨張を起こす。その結果、高温熱
処理後のガラス状炭素製円筒体は、真円度矯正型の円形
内周壁面の形状に固定されて（円形内周壁面の形状に倣
って）、真円度の高いものとなる。
本発明によるガラス状炭素製円筒体の製造方法では、ま
ず、熱硬化樹脂製円筒体を不活性雰囲気中にて８００〜
１３００℃の温度で熱処理（炭化焼成）することによ
り、熱硬化樹脂製円筒体は、体積収縮し、ガラス状炭素
化されて高温熱処理前のガラス状炭素製円筒体となる。
この場合、前記熱処理（炭化焼成）にあたり、真円度を
確保する点から、熱硬化樹脂製円筒体の内側に円筒状中
子を配置して熱処理を行うことがよい。次いで、この高
温熱処理前のガラス状炭素製円筒体の外側に、これを囲
繞するように真円度矯正型を配置する。しかる後、不活
性雰囲気中にて前記高温熱処理前のガラス状炭素製円筒
体を前記真円度矯正型とともに１５００℃以上の温度、
例えば１５００℃で高温熱処理する。この高温での熱処
理が施されることで、１２００〜１５００℃の温度域を
通過することにより、真円度矯正型は単に熱膨張する一
方、ガラス状炭素製円筒体は、熱膨張することに加え、
炭素の構造変化による膨張を起こす。その結果、高温熱
処理後のガラス状炭素製円筒体は、真円度矯正型の円形
内周壁面の形状に固定されて（円形内周壁面の形状に倣
って）、真円度の高いものとなる。
【００１１】図１は、高温熱処理前のガラス状炭素製成
形体を加熱した場合の温度と長さ変化との関係の一例を
示すグラフである。昇温速度は２００℃／ｈである。な
お、厚み２ｍｍ×幅２ｍｍ×長さ２０ｍｍの直方体をな
すガラス状炭素製成形体（試験片）は、温度９００℃で
熱処理（炭化焼成）されたものである。
形体を加熱した場合の温度と長さ変化との関係の一例を
示すグラフである。昇温速度は２００℃／ｈである。な
お、厚み２ｍｍ×幅２ｍｍ×長さ２０ｍｍの直方体をな
すガラス状炭素製成形体（試験片）は、温度９００℃で
熱処理（炭化焼成）されたものである。
【００１２】図１からわかるように、ガラス状炭素製成
形体は、約９５０℃までは膨張した後、９５０〜１２０
０℃の間では収縮し、さらに、１２００℃以上では０〜
９００℃における増加勾配よりも大なる増加勾配にて再
び膨張するという挙動を示している。０〜９００℃にお
けるガラス状炭素製成形体の線膨張係数は、３×１０ -6
（Ｋ-1）である。一方、１２００〜１５００℃の間では
ガラス状炭素製成形体は、約１０×１０-6（Ｋ-1）の線
膨張係数を示しており、該線膨張係数値と前記線膨張係
数３×１０-6（Ｋ-1）との差が、この温度領域１２００
〜１５００℃に特有の構造変化によるものである。つま
り、ガラス状炭素製成形体（この例では９００℃で炭化
焼成されたもの）は、１２００〜１５００℃の温度域を
初めて通過するとき、膨張を起こす。この膨張という変
化が起こる機構については明らかでないが、炭素の構造
変化によるものと考えられる。
形体は、約９５０℃までは膨張した後、９５０〜１２０
０℃の間では収縮し、さらに、１２００℃以上では０〜
９００℃における増加勾配よりも大なる増加勾配にて再
び膨張するという挙動を示している。０〜９００℃にお
けるガラス状炭素製成形体の線膨張係数は、３×１０ -6
（Ｋ-1）である。一方、１２００〜１５００℃の間では
ガラス状炭素製成形体は、約１０×１０-6（Ｋ-1）の線
膨張係数を示しており、該線膨張係数値と前記線膨張係
数３×１０-6（Ｋ-1）との差が、この温度領域１２００
〜１５００℃に特有の構造変化によるものである。つま
り、ガラス状炭素製成形体（この例では９００℃で炭化
焼成されたもの）は、１２００〜１５００℃の温度域を
初めて通過するとき、膨張を起こす。この膨張という変
化が起こる機構については明らかでないが、炭素の構造
変化によるものと考えられる。
【００１３】このようなことから、高温熱処理に供する
ガラス状炭素製円筒体を得るときの熱処理（炭化焼成）
温度は、次の高温熱処理で１２００〜１５００℃を初め
て、しかもできるだけ長く経験させることができるよう
な温度、図１からは１２００℃以下がよく、原料樹脂に
より多少のバラツキがあることを考慮して、その上限値
を１３００℃とした。また、前記熱処理（炭化焼成）温
度の下限値は、熱硬化樹脂製円筒体がガラス状炭素化さ
れる８００℃とした。この場合、この下限値は、材料収
縮がほぼ終了していることが望ましいので（９００℃で
熱処理されたガラス状炭素製成形体では、図１に示すよ
うに、９５０〜１２００℃の間で材料収縮が起きてい
る）、１２００℃にできるだけ近い値であることが好ま
しい。なぜなら、高温熱処理においてこの９５０〜１２
００℃の温度域を通過するときのガラス状炭素製円筒体
の収縮が大きいと、該ガラス状炭素製円筒体がこれを囲
繞する真円度矯正型の円形内周面から離れ過ぎてしま
い、その後の膨張現象による矯正効果が得られなくなる
からである。なお、高温熱処理で温度１５００℃以上と
する理由は、この温度を下回ると前記構造変化に起因す
る膨張現象による真円度矯正効果が十分に得られないか
らである。高温熱処理の温度範囲の上限値は、目的とす
るガラス状炭素製円筒体の品質や使用温度などによる
が、通常は２５００℃である。
ガラス状炭素製円筒体を得るときの熱処理（炭化焼成）
温度は、次の高温熱処理で１２００〜１５００℃を初め
て、しかもできるだけ長く経験させることができるよう
な温度、図１からは１２００℃以下がよく、原料樹脂に
より多少のバラツキがあることを考慮して、その上限値
を１３００℃とした。また、前記熱処理（炭化焼成）温
度の下限値は、熱硬化樹脂製円筒体がガラス状炭素化さ
れる８００℃とした。この場合、この下限値は、材料収
縮がほぼ終了していることが望ましいので（９００℃で
熱処理されたガラス状炭素製成形体では、図１に示すよ
うに、９５０〜１２００℃の間で材料収縮が起きてい
る）、１２００℃にできるだけ近い値であることが好ま
しい。なぜなら、高温熱処理においてこの９５０〜１２
００℃の温度域を通過するときのガラス状炭素製円筒体
の収縮が大きいと、該ガラス状炭素製円筒体がこれを囲
繞する真円度矯正型の円形内周面から離れ過ぎてしま
い、その後の膨張現象による矯正効果が得られなくなる
からである。なお、高温熱処理で温度１５００℃以上と
する理由は、この温度を下回ると前記構造変化に起因す
る膨張現象による真円度矯正効果が十分に得られないか
らである。高温熱処理の温度範囲の上限値は、目的とす
るガラス状炭素製円筒体の品質や使用温度などによる
が、通常は２５００℃である。
【００１４】本発明で用いる真円度矯正型の材料として
は、耐熱性を有し、高温熱処理されるガラス状炭素製円
筒体と線膨張係数ができるだけ近いものが望ましく、黒
鉛がよい。その他に、ガラス状炭素、カーボンファイバ
ー成形体を挙げることができる。
は、耐熱性を有し、高温熱処理されるガラス状炭素製円
筒体と線膨張係数ができるだけ近いものが望ましく、黒
鉛がよい。その他に、ガラス状炭素、カーボンファイバ
ー成形体を挙げることができる。
【００１５】
【実施例】次に、実施例について説明する。まず、厚み
２．５ｍｍ、外径３３０ｍｍ、長さ１２００ｍｍのフェ
ノール樹脂製円筒体１を作製した。樹脂原料としては、
市販のフェノール樹脂（群栄化学製ＰＬ−４８０４）を
脱水処理して使用し、遠心成形用金型を備えた遠心成形
機を用いて、遠心成形法によりフェノール樹脂製円筒体
１を作製した。遠心成形法は、遠心力により溶融状態の
熱硬化性樹脂を遠心成形用金型の内面側に流動させ硬化
させる方法である。遠心成形法によれば、外径３００ｍ
ｍ、長さ１０００ｍｍを超えるような大口径・長尺の熱
硬化性樹脂製円筒体の成形が容易であるとともに、寸法
精度の良い円筒体が得られ、さらには成形時には内面側
が解放されているのでガス抜けが良好で内部に気孔欠陥
のない熱硬化性樹脂製円筒体を得ることができる。
２．５ｍｍ、外径３３０ｍｍ、長さ１２００ｍｍのフェ
ノール樹脂製円筒体１を作製した。樹脂原料としては、
市販のフェノール樹脂（群栄化学製ＰＬ−４８０４）を
脱水処理して使用し、遠心成形用金型を備えた遠心成形
機を用いて、遠心成形法によりフェノール樹脂製円筒体
１を作製した。遠心成形法は、遠心力により溶融状態の
熱硬化性樹脂を遠心成形用金型の内面側に流動させ硬化
させる方法である。遠心成形法によれば、外径３００ｍ
ｍ、長さ１０００ｍｍを超えるような大口径・長尺の熱
硬化性樹脂製円筒体の成形が容易であるとともに、寸法
精度の良い円筒体が得られ、さらには成形時には内面側
が解放されているのでガス抜けが良好で内部に気孔欠陥
のない熱硬化性樹脂製円筒体を得ることができる。
【００１６】次いで、図２に示すように、内側にカーボ
ンファイバー製フェルト付き中子（以下、単にフェルト
付き中子という）３が配されたフェノール樹脂製円筒体
１を１２００℃の温度で炭化焼成して、ガラス状炭素製
円筒体２を得た。すなわち、内側にフェルト付き中子３
が配されたフェノール樹脂製円筒体１を電気炉に入れ、
窒素雰囲気中において２℃／ｈの昇温速度で１２００℃
まで昇温し、この１２００℃に１時間保持することによ
りフェノール樹脂製円筒体１を炭化焼成し、しかる後に
フェルト付き中子３を取り外し、厚み１．９ｍｍ、真円
換算で外径２４９ｍｍ、長さ９００ｍｍの高温熱処理前
のガラス状炭素製円筒体２を得た。ここで、前記フェル
ト付き中子３は、図２に示すように、厚み１５ｍｍ、外
径２４０ｍｍ、長さ約１２００ｍｍの黒鉛製円筒体３ａ
の外周面に、厚み３ｍｍのカーボンファイバー製フェル
ト３ｂを１層巻き付けてなるものである。
ンファイバー製フェルト付き中子（以下、単にフェルト
付き中子という）３が配されたフェノール樹脂製円筒体
１を１２００℃の温度で炭化焼成して、ガラス状炭素製
円筒体２を得た。すなわち、内側にフェルト付き中子３
が配されたフェノール樹脂製円筒体１を電気炉に入れ、
窒素雰囲気中において２℃／ｈの昇温速度で１２００℃
まで昇温し、この１２００℃に１時間保持することによ
りフェノール樹脂製円筒体１を炭化焼成し、しかる後に
フェルト付き中子３を取り外し、厚み１．９ｍｍ、真円
換算で外径２４９ｍｍ、長さ９００ｍｍの高温熱処理前
のガラス状炭素製円筒体２を得た。ここで、前記フェル
ト付き中子３は、図２に示すように、厚み１５ｍｍ、外
径２４０ｍｍ、長さ約１２００ｍｍの黒鉛製円筒体３ａ
の外周面に、厚み３ｍｍのカーボンファイバー製フェル
ト３ｂを１層巻き付けてなるものである。
【００１７】図３は本発明の実施に使用される真円度矯
正型の一例を示す図であって、その（ａ）は平面図、そ
の（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。黒鉛製の真円
度矯正型４は、図３に示すように、外形が一辺３００ｍ
ｍの正方形で厚みが３０ｍｍの平板状をなし、その中心
部分に直径２５０ｍｍの円形貫通孔４ａを有している。
この円形貫通孔４ａ内に前記ガラス状炭素製円筒体２を
さし入れることが可能となっている。
正型の一例を示す図であって、その（ａ）は平面図、そ
の（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。黒鉛製の真円
度矯正型４は、図３に示すように、外形が一辺３００ｍ
ｍの正方形で厚みが３０ｍｍの平板状をなし、その中心
部分に直径２５０ｍｍの円形貫通孔４ａを有している。
この円形貫通孔４ａ内に前記ガラス状炭素製円筒体２を
さし入れることが可能となっている。
【００１８】そして、図４に示すように、前記ガラス状
炭素製円筒体２の一端部分の外側に真円度矯正型４をは
めて配置し、このものを電気炉に入れて高温熱処理を行
った。すなわち、窒素雰囲気中において、２０℃／ｈの
昇温速度で１２００℃まで昇温し、さらに１２００℃か
ら２℃／ｈの昇温速度で１５００℃まで昇温し、この１
５００℃に１時間保持して、高温熱処理がなされた大口
径・長尺のガラス状炭素製円筒体を得た。高温熱処理
後、真円度矯正型４を取り外した。
炭素製円筒体２の一端部分の外側に真円度矯正型４をは
めて配置し、このものを電気炉に入れて高温熱処理を行
った。すなわち、窒素雰囲気中において、２０℃／ｈの
昇温速度で１２００℃まで昇温し、さらに１２００℃か
ら２℃／ｈの昇温速度で１５００℃まで昇温し、この１
５００℃に１時間保持して、高温熱処理がなされた大口
径・長尺のガラス状炭素製円筒体を得た。高温熱処理
後、真円度矯正型４を取り外した。
【００１９】前記得られたガラス状炭素製円筒体の前記
真円度矯正型４が配されていた側の端部における外径の
偏差（外径最大寸法と外径最小寸法との差）は、０．３
ｍｍであった。このように、高い真円度を有し、大口径
・長尺のガラス状炭素製円筒体が得られた。このガラス
状炭素製円筒体は、円筒体の一端側に特に高い真円度が
要求される半導体製造用プラズマＣＶＤ装置のインナー
チューブとして好適なものである。
真円度矯正型４が配されていた側の端部における外径の
偏差（外径最大寸法と外径最小寸法との差）は、０．３
ｍｍであった。このように、高い真円度を有し、大口径
・長尺のガラス状炭素製円筒体が得られた。このガラス
状炭素製円筒体は、円筒体の一端側に特に高い真円度が
要求される半導体製造用プラズマＣＶＤ装置のインナー
チューブとして好適なものである。
【００２０】次に、比較例について説明する。まず、実
施例と同様にして、厚み２．５ｍｍ、外径３３０ｍｍ、
長さ１２００ｍｍのフェノール樹脂製円筒体を作製し
た。次いで、このフェノール樹脂製円筒体の内側にフェ
ルト付き中子３を配置して、熱処理を行った。
施例と同様にして、厚み２．５ｍｍ、外径３３０ｍｍ、
長さ１２００ｍｍのフェノール樹脂製円筒体を作製し
た。次いで、このフェノール樹脂製円筒体の内側にフェ
ルト付き中子３を配置して、熱処理を行った。
【００２１】すなわち、内側にフェルト付き中子３が配
された前記フェノール樹脂製円筒体を電気炉に入れて、
窒素雰囲気中において、２℃／ｈの昇温速度で１５００
℃まで昇温し、１５００℃に１時間保持して熱処理を行
った。得られた比較例のガラス状炭素製円筒体は、その
外径の偏差（外径最大寸法と外径最小寸法との差）が
１．２ｍｍであり、実施例に比べて真円度が低いもので
あった。
された前記フェノール樹脂製円筒体を電気炉に入れて、
窒素雰囲気中において、２℃／ｈの昇温速度で１５００
℃まで昇温し、１５００℃に１時間保持して熱処理を行
った。得られた比較例のガラス状炭素製円筒体は、その
外径の偏差（外径最大寸法と外径最小寸法との差）が
１．２ｍｍであり、実施例に比べて真円度が低いもので
あった。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によるガラス
状炭素製円筒体の製造方法によれば、半導体製造用プラ
ズマＣＶＤ装置のインナーチューブなどとして好適な、
高い真円度を有するガラス状炭素製円筒体を得ることが
できる。
状炭素製円筒体の製造方法によれば、半導体製造用プラ
ズマＣＶＤ装置のインナーチューブなどとして好適な、
高い真円度を有するガラス状炭素製円筒体を得ることが
できる。
【図１】高温熱処理前のガラス状炭素製成形体を加熱し
た場合の温度と長さ変化との関係の一例を示すグラフで
ある。
た場合の温度と長さ変化との関係の一例を示すグラフで
ある。
【図２】実施例において、フェノール樹脂製円筒体の内
部にカーボンファイバー製フェルト付き中子を配置した
様子を示す断面図である。
部にカーボンファイバー製フェルト付き中子を配置した
様子を示す断面図である。
【図３】本発明の実施に使用される真円度矯正型の一例
を示す図であって、その（ａ）は平面図、その（ｂ）は
Ａ−Ａ断面図である。
を示す図であって、その（ａ）は平面図、その（ｂ）は
Ａ−Ａ断面図である。
【図４】実施例において、高温熱処理前のガラス状炭素
製円筒体の外側に真円度矯正型をはめて配置した様子を
示す断面図である。
製円筒体の外側に真円度矯正型をはめて配置した様子を
示す断面図である。
１…フェノール樹脂製円筒体 ２…高温熱処理前のガラ
ス状炭素製円筒体 ３…カーボンファイバー製フェルト
付き中子 ３ａ…黒鉛製円筒体 ３ｂ…カーボンファイ
バー製フェルト ４…真円度矯正型 ４ａ…円形貫通孔
ス状炭素製円筒体 ３…カーボンファイバー製フェルト
付き中子 ３ａ…黒鉛製円筒体 ３ｂ…カーボンファイ
バー製フェルト ４…真円度矯正型 ４ａ…円形貫通孔
Claims (2)
- 【請求項１】 熱硬化樹脂製円筒体を不活性雰囲気中に
て８００〜１３００℃の温度で熱処理して高温熱処理前
のガラス状炭素製円筒体を得、次いで前記高温熱処理前
のガラス状炭素製円筒体の外側に真円度矯正型をはめて
配置し、しかる後、不活性雰囲気中にて前記高温熱処理
前のガラス状炭素製円筒体を前記真円度矯正型とともに
１５００℃以上の温度で高温熱処理することを特徴とす
るガラス状炭素製円筒体の製造方法。 - 【請求項２】 前記真円度矯正型が黒鉛からなるもので
あることを特徴とする請求項１記載のガラス状炭素製円
筒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002026859A JP2003226576A (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | ガラス状炭素製円筒体の製造方法 |
| TW92121195A TWI249513B (en) | 2002-02-04 | 2003-08-01 | Component of glass-like carbon for CVD apparatus and process for production thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002026859A JP2003226576A (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | ガラス状炭素製円筒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003226576A true JP2003226576A (ja) | 2003-08-12 |
Family
ID=27748561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002026859A Pending JP2003226576A (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | ガラス状炭素製円筒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003226576A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100755575B1 (ko) | 2004-03-24 | 2007-09-06 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 유리상 탄소제 이형 성형체, 그의 제조 방법 및 유리상 탄소제 성형체에의 연결 부재의 결합 구조 |
| CN117433291A (zh) * | 2023-06-07 | 2024-01-23 | 宿迁项王机械设备有限公司 | 一种氮气循环呋喃树脂制玻璃碳裂解炉装置 |
-
2002
- 2002-02-04 JP JP2002026859A patent/JP2003226576A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100755575B1 (ko) | 2004-03-24 | 2007-09-06 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 유리상 탄소제 이형 성형체, 그의 제조 방법 및 유리상 탄소제 성형체에의 연결 부재의 결합 구조 |
| CN117433291A (zh) * | 2023-06-07 | 2024-01-23 | 宿迁项王机械设备有限公司 | 一种氮气循环呋喃树脂制玻璃碳裂解炉装置 |
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