JP2003227482A - 内部圧縮式ルーツ型回転機械 - Google Patents
内部圧縮式ルーツ型回転機械Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】従来型ルーツ回転機械の最大の課題である内部
圧縮式でない構造を改善し、運転騒音と脈動の半減、動
力の軽減を目的とした。 【構成】ケーシングには吐出口を設けず、従来型の吐出
口位置に山形突起を設け、サイドカバーに吐出孔を設け
て、内部圧縮構造を設定し、ケーシング吐出方向には2
重の防音遮壁を設けた。 【効果】吐出圧力のケーシング内への逆流は半減され、
脈動が著しく押さえられ、脈動音が低くなった。体積効
率が良くなり動力が軽くなった。全体騒音が機械本体か
ら外部へ出にくく、全体騒音が低くなった。
圧縮式でない構造を改善し、運転騒音と脈動の半減、動
力の軽減を目的とした。 【構成】ケーシングには吐出口を設けず、従来型の吐出
口位置に山形突起を設け、サイドカバーに吐出孔を設け
て、内部圧縮構造を設定し、ケーシング吐出方向には2
重の防音遮壁を設けた。 【効果】吐出圧力のケーシング内への逆流は半減され、
脈動が著しく押さえられ、脈動音が低くなった。体積効
率が良くなり動力が軽くなった。全体騒音が機械本体か
ら外部へ出にくく、全体騒音が低くなった。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ブロワ、真空ポン
プ等に用いられるルーツ型回転機械のうち、内部圧縮式
ルーツ型回転機械に関するものである。 【0002】 【従来の技術】ルーツ型回転機械によって、ブロワ、真
空ポンプとして実用されている構成は、図6で3葉ロー
タによる圧力運転の通常の構造を示している。該図にあ
って、2軸によるロータは係合によって、ケーシング内
で矢印方向に回転させることにより、10,吸入口より
の流入気体は、16,吐出口へ1,ケーシングの内面に
沿って移送されるのは、衆知の通りである。すなわち、
ケーシングと2つのロータ間には、圧縮作用が行われな
いで吸入側から吐出側へは吸入圧力の気体を移送するの
みである。この状況の流体を、吐出側に圧力気体として
取出すためには18,止弁の開閉によって、17,吐出
管に必要とする気体圧力を発生させ、最終使用に連結さ
せている。このことは無理に装置上で外力を加え機構を
度外視した使用方法を実施しているものに外ならない。
このように従来構造のルーツ型回転機械には元来、圧縮
構造が付加されていないものを構造以上の使用条件、す
なわち止弁等の外力で圧力気体を発生させているもので
ある。故に機能については勿論のこと、性能についても
種々の問題点が温存されている。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】従来の技術に示したよ
うに、幾多の問題点を図6で掘りさげれば、本発明が解
決しようとしている次の如き課題がある。図に示すよう
に2,ロータの回転によって3葉ロータの2つのロータ
片に圍まれたA,吸入容積が一回転に6ケ所創成され、
合計が理論吐出量となる。然るに右ロータに見るように
ロータ先端が吐出側の1,ケーシング内壁を離れた時点
で、18,止弁の操作で必要圧力になっている。16,
吐出口内の圧力気体はA,吸入容積に逆流し、吸入圧力
であったA,吸入容積は吐出圧力と等しくなる現象を起
す。これがB′の混合した容積になる。 【0004】この逆流は一回転で6ケ所起こるので、逆
流する衝撃と、反作用となってこの気体を排出するロー
タ片に掛る気体圧力とで断続する大きな回転脈動音を発
生させる。又、A,吸入容積には諸に吐出圧力が作用す
るのでロータ軸には大きな荷重が作用し、運転動力の過
大現象が発生する。この逆流と反作用の排出作動は、1
6,吐出口の圧力気体を繰返し再圧縮、圧送することに
なり吐出気体の温度を異常に昇温させる原因になる。故
に課題として解決しなければならない事は、機能として
は脈動音が大きい。故に吐出温度が普通の吐出圧力で発
生する通常温度以上の異常温度になる。機械全体の振動
が発生し易い。ロータ軸径が大きくなる。などである。
次に性能としては、ロータ、シール線前後の圧力差が大
きいからロータ先端とケーシング間すきまや、ロータと
サイドカバーとのすきまよりブローバイが起り易い。そ
のため体積効率が低下する。体積効率が低下すれば必然
的に全断熱効率が低下し動力が増加する。内部圧縮式で
ないので圧縮比は小さくて、小さい圧縮比仕様のものし
か使用できないことなどの課題が残る。本発明は以上の
課題を解決した内部圧縮式ルーツ型回転機械を提供する
ことにある。 【0005】 【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、ケーシング内で互いに反対方向に回転する
2軸から成り、同形状の2葉、若しくは、3葉のロータ
によって、吸入側より吐出側へ気体を圧送、排出するル
ーツ型回転機械にあって、内部圧縮式のルーツ型回転機
械を構成するのが最良との判断からケーシングには吸入
口を設けるが、吐出口を配設せずに、従来の吐出口位置
にはケーシング外胴のケーシング厚みをロータ先端の回
転軌跡に従がって、連なる山形突起をケーシング巾に渉
って構成すると共に、両側のサイドカバーには2つのロ
ータとケーシング、サイドカバーで成る圧縮容積を確保
するための吐出孔を設けるのを特徴とし、手段とした。 【0006】 【作用】ルーツ型回転機械を上記の如く内部圧縮式に構
成することにより、サイドカバーに設ける吐出孔はルー
ツ型回転機械の構成仕様に応じて、その位置、大きさ、
形状を選定できる。更にケーシングに設ける山形突起と
合わせて、サイドカバーからの吐出空管を接続する吐出
金具の上部遮壁と、ケーシング内遮壁にて吐出方向に二
重の防音機構をもった構成も保持することができる。
又、内部圧縮がケーシング外胴から離れた内部位置で行
われるので、ケーシング外部に騒音を伝播されにくい構
成であり、機械音全般を低騒音にできる作用がある。 【0007】 【実施例】次に本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図1、図2、図4は本発明に係る3葉ルーツの内部
圧縮式ルーツ型回転機械の構成と作動を示す図である。
図示する形状は押しのけ容積が大きくとれる円弧型を示
したもので、ピッチ円直径Rとピッチ円外側および内側
部分の円弧の半径a、との関係をR=4a、ロータ直径
D=1.5 R=6a,2軸中心距離、N=Rとした場
合のもので、3葉ルーツ型回転機械の代表的な構成を示
す。図示するように1,ケーシングはその中心線上に1
0,吸入口を設け、該吸入口の180°反対側には従来
型の如き、吐出口を設定せず、2,ロータの先端が画く
回転軌跡で、ケーシング外胴より連なる3,山形突起を
ロータ中心線よりケーシング中心方向に構築し、ケーシ
ング両側面に11,12,のサイドカバーを装着し、該
サイドカバーに設けた7,7′,吐出孔はA,吸入容積
とB,圧縮容積との比が、A:B=1:0.75〜0.
8になる2、ロータ回転位置で開口する如く設ける。尚
この容積比は通常は吐出圧力仕様によって変わるが圧縮
した容積の圧力を概略、0.2〜0.25kgG/cm
2位にする。8,吐出空管でサイドカバーに設ける。4
は吐出金具で9,吐出接続管を通じてサイドカバーの吐
出空管に連結する。5,ケーシング内遮壁、6は吐出金
具の上部遮壁でケーシング内部に発生した吐出方向の運
転騒音を防音する。 【0008】次に図4にて作動の説明をする。C断面は
右ロータが縦中心線より30°回転した時で、A,吸入
容積は左ロータのB,圧縮容積の大きさに内部圧縮さ
れ、Bの容積圧力が0.2〜0.25kgG/cm2に
なったとき、7,吐出孔が開口する状態を示している。
D断面はロータが更に15°回転し、45°移動した状
況を示し、B,圧縮容積内気体は7,吐出孔より排出し
ている作動を示している。E断面は右ロータが更に30
°回転して75°移動したロータ断面プロフィルで、
B,圧縮容積は殆んど吐出を完了させ、A,吸入容積は
これから圧縮されようとしている。F断面,右ロータを
90°回転させたロータ位置を示しC断面と同じ作動で
E断面に於けるA,吸入容積は内部圧縮されて右ロータ
部でB,圧縮容積になり0.2〜0.25kgG/cm
2になって、7′,吐出孔が開口する。以上の作動を1
回転に3回実行される。 【0009】図3,図5は本発明に係る2葉ルーツの内
部圧縮式ルーツ型回転機械の構成と作動を示す図であ
る。図示する形状は一部円弧を使ったプロフィルのエン
ペローブ型で、一方のロータのピッチ円直径Rの内側部
分、すなわち腹面の曲線を他方のロータの先端部のエン
ペローブ、すなわち包絡線として作製したもので、ピッ
チ円直径Rの外側は円弧を用い、b,c,d点を通る円
弧rで創成する。円弧rが示すa=R/4,2軸中心距
離N=Rとした場合のもので、エンペローブ型2葉ルー
ツの内部圧縮式ルーツ型回転機械を示す。この2葉ルー
ツの内部圧縮式ルーツ型回転機械の構成部品たる1,ケ
ーシング、2,ロータ、3,山形突起、4,吐出金具、
7,吐出孔は3葉ルーツと同一構成で、組立構造も殆ん
ど変わりない。従って構成、構造及び作動も3葉ルーツ
の内部圧縮式ルーツ型回転機械と大差ない故、本項での
説明は省略する。 【0010】ルーツ型回転機械にあって、ロータのプロ
フィル形状は本発明の実施例で示した円弧型、エンベロ
ープ型の外、インボリュート型、サイクロイド型或いは
2つの型の合成型と存在するが、本発明構成は如何なる
ロータのプロフィル形状にも又、2葉ルーツ、3葉ルー
ツのロータ数にこだわりなく対応できるものである。 【0011】 【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば下
記に示すような優れた効果が得られる。ケーシング内の
吐出側に山形突起を設け、サイドカバーに吐出孔を穿孔
したことによって、従来のルーツ型回転機械には成し得
なかったケーシング内での内部圧縮が出来得るので、次
の如き効果が確認できる。吐出圧力のケーシング内へ
の逆流は内部圧縮空間迄になり、脈動が著しく減殺され
る。脈動音が極めて低くなる。ロータが吐出圧力と
同じケーシング内圧力になる回転角度が、従来構造のル
ーツ型回転機械の半分以下になるのでロータ先端部やロ
ータサイドより吸入側への流体のブローバイは半減する
ことになり体積効率が向上する。体積効率の向上によ
って全断熱効率が向上、改善され、動力が軽くなる。
ケーシングの山形突起とケーシング内の遮壁、吐出金具
の上部遮壁とで二重の防音機構によって全体の防音効果
が向上する。脈動が減少することによって異常昇温は
押さえられる。等の大きい効果特徴をもっている。 【0012】
プ等に用いられるルーツ型回転機械のうち、内部圧縮式
ルーツ型回転機械に関するものである。 【0002】 【従来の技術】ルーツ型回転機械によって、ブロワ、真
空ポンプとして実用されている構成は、図6で3葉ロー
タによる圧力運転の通常の構造を示している。該図にあ
って、2軸によるロータは係合によって、ケーシング内
で矢印方向に回転させることにより、10,吸入口より
の流入気体は、16,吐出口へ1,ケーシングの内面に
沿って移送されるのは、衆知の通りである。すなわち、
ケーシングと2つのロータ間には、圧縮作用が行われな
いで吸入側から吐出側へは吸入圧力の気体を移送するの
みである。この状況の流体を、吐出側に圧力気体として
取出すためには18,止弁の開閉によって、17,吐出
管に必要とする気体圧力を発生させ、最終使用に連結さ
せている。このことは無理に装置上で外力を加え機構を
度外視した使用方法を実施しているものに外ならない。
このように従来構造のルーツ型回転機械には元来、圧縮
構造が付加されていないものを構造以上の使用条件、す
なわち止弁等の外力で圧力気体を発生させているもので
ある。故に機能については勿論のこと、性能についても
種々の問題点が温存されている。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】従来の技術に示したよ
うに、幾多の問題点を図6で掘りさげれば、本発明が解
決しようとしている次の如き課題がある。図に示すよう
に2,ロータの回転によって3葉ロータの2つのロータ
片に圍まれたA,吸入容積が一回転に6ケ所創成され、
合計が理論吐出量となる。然るに右ロータに見るように
ロータ先端が吐出側の1,ケーシング内壁を離れた時点
で、18,止弁の操作で必要圧力になっている。16,
吐出口内の圧力気体はA,吸入容積に逆流し、吸入圧力
であったA,吸入容積は吐出圧力と等しくなる現象を起
す。これがB′の混合した容積になる。 【0004】この逆流は一回転で6ケ所起こるので、逆
流する衝撃と、反作用となってこの気体を排出するロー
タ片に掛る気体圧力とで断続する大きな回転脈動音を発
生させる。又、A,吸入容積には諸に吐出圧力が作用す
るのでロータ軸には大きな荷重が作用し、運転動力の過
大現象が発生する。この逆流と反作用の排出作動は、1
6,吐出口の圧力気体を繰返し再圧縮、圧送することに
なり吐出気体の温度を異常に昇温させる原因になる。故
に課題として解決しなければならない事は、機能として
は脈動音が大きい。故に吐出温度が普通の吐出圧力で発
生する通常温度以上の異常温度になる。機械全体の振動
が発生し易い。ロータ軸径が大きくなる。などである。
次に性能としては、ロータ、シール線前後の圧力差が大
きいからロータ先端とケーシング間すきまや、ロータと
サイドカバーとのすきまよりブローバイが起り易い。そ
のため体積効率が低下する。体積効率が低下すれば必然
的に全断熱効率が低下し動力が増加する。内部圧縮式で
ないので圧縮比は小さくて、小さい圧縮比仕様のものし
か使用できないことなどの課題が残る。本発明は以上の
課題を解決した内部圧縮式ルーツ型回転機械を提供する
ことにある。 【0005】 【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、ケーシング内で互いに反対方向に回転する
2軸から成り、同形状の2葉、若しくは、3葉のロータ
によって、吸入側より吐出側へ気体を圧送、排出するル
ーツ型回転機械にあって、内部圧縮式のルーツ型回転機
械を構成するのが最良との判断からケーシングには吸入
口を設けるが、吐出口を配設せずに、従来の吐出口位置
にはケーシング外胴のケーシング厚みをロータ先端の回
転軌跡に従がって、連なる山形突起をケーシング巾に渉
って構成すると共に、両側のサイドカバーには2つのロ
ータとケーシング、サイドカバーで成る圧縮容積を確保
するための吐出孔を設けるのを特徴とし、手段とした。 【0006】 【作用】ルーツ型回転機械を上記の如く内部圧縮式に構
成することにより、サイドカバーに設ける吐出孔はルー
ツ型回転機械の構成仕様に応じて、その位置、大きさ、
形状を選定できる。更にケーシングに設ける山形突起と
合わせて、サイドカバーからの吐出空管を接続する吐出
金具の上部遮壁と、ケーシング内遮壁にて吐出方向に二
重の防音機構をもった構成も保持することができる。
又、内部圧縮がケーシング外胴から離れた内部位置で行
われるので、ケーシング外部に騒音を伝播されにくい構
成であり、機械音全般を低騒音にできる作用がある。 【0007】 【実施例】次に本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図1、図2、図4は本発明に係る3葉ルーツの内部
圧縮式ルーツ型回転機械の構成と作動を示す図である。
図示する形状は押しのけ容積が大きくとれる円弧型を示
したもので、ピッチ円直径Rとピッチ円外側および内側
部分の円弧の半径a、との関係をR=4a、ロータ直径
D=1.5 R=6a,2軸中心距離、N=Rとした場
合のもので、3葉ルーツ型回転機械の代表的な構成を示
す。図示するように1,ケーシングはその中心線上に1
0,吸入口を設け、該吸入口の180°反対側には従来
型の如き、吐出口を設定せず、2,ロータの先端が画く
回転軌跡で、ケーシング外胴より連なる3,山形突起を
ロータ中心線よりケーシング中心方向に構築し、ケーシ
ング両側面に11,12,のサイドカバーを装着し、該
サイドカバーに設けた7,7′,吐出孔はA,吸入容積
とB,圧縮容積との比が、A:B=1:0.75〜0.
8になる2、ロータ回転位置で開口する如く設ける。尚
この容積比は通常は吐出圧力仕様によって変わるが圧縮
した容積の圧力を概略、0.2〜0.25kgG/cm
2位にする。8,吐出空管でサイドカバーに設ける。4
は吐出金具で9,吐出接続管を通じてサイドカバーの吐
出空管に連結する。5,ケーシング内遮壁、6は吐出金
具の上部遮壁でケーシング内部に発生した吐出方向の運
転騒音を防音する。 【0008】次に図4にて作動の説明をする。C断面は
右ロータが縦中心線より30°回転した時で、A,吸入
容積は左ロータのB,圧縮容積の大きさに内部圧縮さ
れ、Bの容積圧力が0.2〜0.25kgG/cm2に
なったとき、7,吐出孔が開口する状態を示している。
D断面はロータが更に15°回転し、45°移動した状
況を示し、B,圧縮容積内気体は7,吐出孔より排出し
ている作動を示している。E断面は右ロータが更に30
°回転して75°移動したロータ断面プロフィルで、
B,圧縮容積は殆んど吐出を完了させ、A,吸入容積は
これから圧縮されようとしている。F断面,右ロータを
90°回転させたロータ位置を示しC断面と同じ作動で
E断面に於けるA,吸入容積は内部圧縮されて右ロータ
部でB,圧縮容積になり0.2〜0.25kgG/cm
2になって、7′,吐出孔が開口する。以上の作動を1
回転に3回実行される。 【0009】図3,図5は本発明に係る2葉ルーツの内
部圧縮式ルーツ型回転機械の構成と作動を示す図であ
る。図示する形状は一部円弧を使ったプロフィルのエン
ペローブ型で、一方のロータのピッチ円直径Rの内側部
分、すなわち腹面の曲線を他方のロータの先端部のエン
ペローブ、すなわち包絡線として作製したもので、ピッ
チ円直径Rの外側は円弧を用い、b,c,d点を通る円
弧rで創成する。円弧rが示すa=R/4,2軸中心距
離N=Rとした場合のもので、エンペローブ型2葉ルー
ツの内部圧縮式ルーツ型回転機械を示す。この2葉ルー
ツの内部圧縮式ルーツ型回転機械の構成部品たる1,ケ
ーシング、2,ロータ、3,山形突起、4,吐出金具、
7,吐出孔は3葉ルーツと同一構成で、組立構造も殆ん
ど変わりない。従って構成、構造及び作動も3葉ルーツ
の内部圧縮式ルーツ型回転機械と大差ない故、本項での
説明は省略する。 【0010】ルーツ型回転機械にあって、ロータのプロ
フィル形状は本発明の実施例で示した円弧型、エンベロ
ープ型の外、インボリュート型、サイクロイド型或いは
2つの型の合成型と存在するが、本発明構成は如何なる
ロータのプロフィル形状にも又、2葉ルーツ、3葉ルー
ツのロータ数にこだわりなく対応できるものである。 【0011】 【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば下
記に示すような優れた効果が得られる。ケーシング内の
吐出側に山形突起を設け、サイドカバーに吐出孔を穿孔
したことによって、従来のルーツ型回転機械には成し得
なかったケーシング内での内部圧縮が出来得るので、次
の如き効果が確認できる。吐出圧力のケーシング内へ
の逆流は内部圧縮空間迄になり、脈動が著しく減殺され
る。脈動音が極めて低くなる。ロータが吐出圧力と
同じケーシング内圧力になる回転角度が、従来構造のル
ーツ型回転機械の半分以下になるのでロータ先端部やロ
ータサイドより吸入側への流体のブローバイは半減する
ことになり体積効率が向上する。体積効率の向上によ
って全断熱効率が向上、改善され、動力が軽くなる。
ケーシングの山形突起とケーシング内の遮壁、吐出金具
の上部遮壁とで二重の防音機構によって全体の防音効果
が向上する。脈動が減少することによって異常昇温は
押さえられる。等の大きい効果特徴をもっている。 【0012】
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係わる内部圧縮式3葉ルーツ型回転
機械の横断面図。 【図2】 図1のルーツ型回転機械に於けるA′−B′
−C′−D′縦断面図 【図3】 本発明に係わる内部圧縮式2葉ルーツ型回転
機械の横断面図。 【図4】 本発明に係わる内部圧縮式3葉ルーツ型回転
機械の作動説明図。 【図5】 本発明に係わる内部圧縮式2葉ルーツ型回転
機械の作動説明図。 【図6】 従来構造の3葉ルーツ型回転機械の横断面
図。 【0013】 【符号の説明】 1……ケーシング 2……ロータ 3……山形突起 4……吐出金具 5……ケーシング内遮壁 6……吐出金具の上部
遮壁 7……吐出孔(左) 7′……吐出孔(右) 8……吐出空管 9……吐出接続管 10……吸入口 11、12……サイド
カバー 13……ロータ軸 14……軸受部 15……ギャーケース A……吸入容積 B……圧縮容積 B′……混合した容積 16……従来型の吐出口 17……吐出連結管 18……止弁
機械の横断面図。 【図2】 図1のルーツ型回転機械に於けるA′−B′
−C′−D′縦断面図 【図3】 本発明に係わる内部圧縮式2葉ルーツ型回転
機械の横断面図。 【図4】 本発明に係わる内部圧縮式3葉ルーツ型回転
機械の作動説明図。 【図5】 本発明に係わる内部圧縮式2葉ルーツ型回転
機械の作動説明図。 【図6】 従来構造の3葉ルーツ型回転機械の横断面
図。 【0013】 【符号の説明】 1……ケーシング 2……ロータ 3……山形突起 4……吐出金具 5……ケーシング内遮壁 6……吐出金具の上部
遮壁 7……吐出孔(左) 7′……吐出孔(右) 8……吐出空管 9……吐出接続管 10……吸入口 11、12……サイド
カバー 13……ロータ軸 14……軸受部 15……ギャーケース A……吸入容積 B……圧縮容積 B′……混合した容積 16……従来型の吐出口 17……吐出連結管 18……止弁
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】ケーシング内に相反する方向に回転する2
軸から成る、同形状の2葉若しくは3葉のロータによっ
て、吸入側より吐出側へ気体を圧送、排出するルーツ型
回転機械において、ケーシング吸入口の180°反対側
には吐出口を設定せずに、該吐出側にはロータ回転軌跡
でケーシング外胴に連なる山形突起をケーシング巾に渉
って構成し、ケーシングの両側面に設けたサイドカバー
に吐出孔を設け、ロータの回転によって、2軸のロータ
とケーシングの山形突起とサイドカバーによって保持さ
れる吸入容積を必要とする圧力まで圧縮ができるロータ
回転位置で、サイドカバーに設けた前記、吐出孔を開口
させる構成を特徴とする内部圧縮式ルーツ型回転機械。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002064508A JP2003227482A (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 内部圧縮式ルーツ型回転機械 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002064508A JP2003227482A (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 内部圧縮式ルーツ型回転機械 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003227482A true JP2003227482A (ja) | 2003-08-15 |
Family
ID=27751277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002064508A Pending JP2003227482A (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 内部圧縮式ルーツ型回転機械 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003227482A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102767523A (zh) * | 2012-08-14 | 2012-11-07 | 南通大学 | 一种扭叶罗茨鼓风机转子型线的设计方法 |
| JP2012215078A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Orion Machinery Co Ltd | ロータ非接触型の真空ポンプの排気消音構造 |
| TWI407014B (ja) * | 2010-04-02 | 2013-09-01 | ||
| JP2016008531A (ja) * | 2014-06-23 | 2016-01-18 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ装置 |
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-
2002
- 2002-01-31 JP JP2002064508A patent/JP2003227482A/ja active Pending
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