JP2003228938A - 記録担体に対向して浮上するスライダの浮上面の形状を調節する方法 - Google Patents

記録担体に対向して浮上するスライダの浮上面の形状を調節する方法

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JP2003228938A JP2002024649A JP2002024649A JP2003228938A JP 2003228938 A JP2003228938 A JP 2003228938A JP 2002024649 A JP2002024649 A JP 2002024649A JP 2002024649 A JP2002024649 A JP 2002024649A JP 2003228938 A JP2003228938 A JP 2003228938A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＡＢＳの形状評価結果からＡＢＳの形状を高
速かつ容易に補正加工するスライダの製造方法を提供す
る。 【解決手段】 記録担体に記録再生を施すヘッドと、前
記記録担体に対向して浮上する浮上面とを有するスライ
ダの製造方法であって、予め加工された前記浮上面の中
央を中心とする直交座標系を利用して、当該直交座標系
によって設定された複数の位置の平坦度が許容範囲にな
るように、レーザにより前記浮上面の裏面を走査するこ
とによって前記浮上面の形状を調節するステップを有す
ることを特徴とする方法を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般にヘッド及びその
製造方法に係り、特にディスク面から浮上するヘッドの
浮上量制御に関する。本発明は、例えば、ハードディス
クドライブ（以下、「ＨＤＤ」という。）において磁気
ディスクから浮上するスライダの製造方法に好適であ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、インターネット等の急速な発達に
伴い、利用される電子情報量は爆発的な勢いで増加して
いる。このため、ＨＤＤに代表される磁気ディスク装置
は大量の情報を保存しておくため、小型、大容量化への
要求がますます高まっている。ＨＤＤの小型・大容量化
を進めるためには、単位長さ当たりのデータトラック数
（ＴＰＩ）の増加、つまり、トラックの幅を狭くするこ
とが不可欠である。また、狭いトラックに対してデータ
の読み書きが正確に行うためには、ヘッドを搭載したス
ライダの浮上量制御と姿勢制御（本出願では、便宜上、
特に断らない限り、「浮上量」という用語は浮上量と浮
上姿勢を含むものとする。）を一層向上させる必要があ
る。特に、近年では、スライダの浮上量はますます小さ
くなっており、安定した記録再生動作のためには安定し
た浮上量の制御が必要となる。ヘッドは、浮上量が大き
すぎると記録再生用の磁界が距離の二乗に比例して小さ
くなることからディスクに対して記録再生を行えず、浮
上量が小さすぎるとヘッドがディスクに衝突してクラッ
シュ（ディスクに傷をつけること）をもたらす。
【０００３】スライダはディスクと対向する面に浮上面
を構成する空気軸受け面（ＡｉｒＢｅａｒｉｎｇ Ｓｕ
ｒｆａｃｅ：ＡＢＳ）を有し、ＡＢＳ形状又はパターン
が浮上量の安定化をもたらすことが知られている。しか
し、スライダの背面加工やＡＢＳの加工時に発生する残
留応力やサスペンション接着時に発生する背面の表面応
力により、ＡＢＳが楕円面、放物面又は双曲面にそりを
起こして所望の形状から変形する。このため、ＡＢＳの
形状の測定を行って形状不良と判定されたＡＢＳを正常
な形状に修正又は微調整する必要がある。
【０００４】ＡＢＳの形状を調整する方法としては、例
えば、公開特許平成６年第８４３１２号公報に開示され
ているように、レーザをＡＢＳの裏面に照射して熱応力
を発生させて微小変形させ、ＡＢＳの形状を調整する方
法がある。かかる調整方法はＡＢＳが所望の平坦な形状
になるようにレーザを照射して、クラウン又はキャンバ
に予測した変化量を生じさせるものである。ここで、ク
ラウンはスライダの長手方向の膨らみ高さ、キャンバ
（「クロスクラウン」と呼ばれる場合もある）はスライ
ダの横手方向の膨らみ高さである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の公報
は、ＡＢＳの形状評価がなされた場合に、即ち、ある許
容範囲外のクラウン及び／又はキャンバが測定された場
合に、ＡＢＳが平坦な形状になるようにレーザの照射条
件と発振条件（本出願では、両者を「レーザの照射条
件」として総括する。）を具体的にどのように設定する
のかについては開示していない。このため、形状補正加
工には熟練を要し、補正の困難性とそれによる補正時間
の増加を招いていた。特に、クラウンとキャンバは互い
に関連している。例えば、クラウンが許容範囲内にあっ
てキャンバが許容範囲外にある場合、レーザの照射条件
を任意に行ってキャンバを補正しようとするとクラウン
が許容範囲外になる場合もある。従って、補正加工に際
しては両者の関係も考慮される必要があり、補正はより
一層困難になり、時間もかかることになる。
【０００６】そこで、本発明は、ＡＢＳの形状評価結果
からＡＢＳの形状を高速かつ容易に補正加工するスライ
ダの製造方法を提供することを例示的な目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明の一側面としてのスライダの製造方法は、
記録担体に記録再生を施すヘッドと、前記記録担体に対
向して浮上する浮上面とを有するスライダの製造方法で
あって、予め加工された前記浮上面の中央を中心とする
直交座標系を利用して、当該直交座標系によって設定さ
れた複数の位置の平坦度が許容範囲になるように、レー
ザにより前記浮上面の裏面に走査することによって前記
浮上面の形状を調節するステップを有することを特徴と
する。かかる方法は、直交座標系と当該直交座標系によ
って定義された有限の位置に関する平坦度に基づいてレ
ーザの走査制御を行うことができる。本発明は、浮上面
の全面ではなく有限な位置に関して平坦度を要求して形
状調節を単純化している。また、このような直交座標系
は、レーザを走査角度を簡単に設定することができるの
で好ましい。
【０００８】前記調節ステップは、前記中心に関して所
定の径を有する円の範囲内には前記レーザの照射を行わ
ない。この範囲内にレーザ照射を行っても浮上面の形状
調節には余り効果がないことが実験的に認められたから
である。所定の径は実験的に求められるが、例えば、浮
上面の裏面のレーザ照射範囲が正方形形状である場合
に、直交座標の長さの５０％以下の径である。
【０００９】また、本発明の別の側面としてのスライダ
の製造方法は、記録担体に記録再生を施すヘッドと、前
記記録担体に対向して浮上する浮上面とを有するスライ
ダの製造方法であって、予め加工された前記浮上面の、
長手方向の変形を表すクラウンと、前記長手方向に直交
する短手方向の変形を表すキャンバと、対角方向の変形
を表すツイストのパラメータに関する測定結果のうちの
少なくとも一が許容範囲を超えている場合に、前記パラ
メータの中から補正対象を決定するステップと、前記パ
ラメータを補正するためにレーザの照射条件を設定する
ステップと、前記設定ステップによって設定された前記
照射条件に従って、前記浮上面の裏面に前記レーザを照
射して前記浮上面の形状を調節するステップとを有する
ことを特徴とする方法。かかる方法によれば、クラウ
ン、キャンバ及びツイストの少なくとも一つ、例えば、
許容範囲からの誤差が最も大きなパラメータに関して浮
上面の形状を修正するようにレーザの照射条件を設定す
ることができる。
【００１０】前記レーザの照射によって前記補正対象以
外の前記パラメータが影響を受けるかどうかを判断する
ステップと、前記判断ステップが影響ありと判断した場
合に同様の効果を有する他の照射条件に変更するステッ
プを更に有してもよい。前記クラウン、キャンバ及びツ
イストは互いに関連しているためにそのうちの一つを補
正することによって残りが許容範囲外となる事態を回避
するためである。
【００１１】前記レーザの照射によって前記補正対象以
外の前記パラメータが影響を受けるかどうかを判断する
ステップと、前記判断ステップが影響ありと判断した場
合に同様の効果を有する他の照射条件が存在するかどう
かを判断するステップと、前記他の照射条件が存在する
かどうかを判断するステップが、前記他の照射条件が存
在しないと判断した場合に、前記照射条件に対して所定
のオフセット量だけ加算及び減算した照射条件のうち前
記補正対象以外の前記パラメータの影響がより少ない照
射条件を選択するステップとを更に有してもよい。前記
クラウン、キャンバ及びツイストは互いに関連している
ためにそのうちの一つを補正することによって残りが許
容範囲外となる事態を回避するためである。
【００１２】前記照射条件は、前記レーザを走査する角
度及び長さ、前記レーザのレーザスポット間隔、パルス
数、パルスエネルギー、フォーカス、前記レーザの照射
を同一位置に複数回施す場合の前記位置及び回数、前記
レーザを走査する角度を一定にして走査方向に垂直な方
向に移動させて複数回施す場合の前記角度、移動方向及
び回数、前記レーザを走査する角度を一定にして走査方
向に垂直な方向に移動する量を変更する場合の前記角度
及び移動量、前記レーザを走査する角度を複数設定する
場合の前記角度、前記レーザを走査する角度に対して複
数の走査長さを設定する場合の前記角度及び前記走査長
さ、前記レーザのレーザスポット間隔を複数設定する場
合の前記レーザスポット間隔及び回数等を含む。
【００１３】上述のいずれか一項記載の方法を実行する
プログラムや、上述のいずれかの方法を使用して製造さ
れたスライダを有し、前記記録担体を駆動可能なドライ
ブも本発明の一側面を構成する。
【００１４】本発明の他の目的と更なる特徴は、以下、
添付図面を参照して説明される実施例において明らかに
なるであろう。
【００１５】
【発明の実施形態】以下、添付図面を参照して本発明の
一実施形態としてのハードディスクドライブ（以下、
「ＨＤＤ」という。）１１を説明する。ＨＤＤ１１は、
図１に示すように、筐体１２内に、記録担体としての複
数の磁気ディスク１３と、スピンドルモータ１４と、磁
気ヘッド部とを収納する。ここで，図１は、ＨＤＤ１１
の内部構造の概略平面図である。
【００１６】筐体１２は、例えば、アルミダイカストベ
ースやステンレスなどから構成され、直方体形状を有
し、内部空間を密閉する図示しないカバーが結合され
る。本実施形態の磁気ディスク１３は高い面記録密度、
例えば、１００Ｇｂ／ｉｎ２以上を有する。磁気ディス
ク１３は、その中央に設けられた孔を介してスピンドル
モータ１４のスピンドルに装着される。
【００１７】スピンドルモータ１４は、例えば、７２０
０ｒｐｍや１００００ｒｐｍなどの高速で磁気ディスク
１３を回転し、例えば、図示しないブラシレスＤＣモー
タとそのロータ部分であるスピンドルを有する。例え
ば、２枚の磁気ディスク１３を使用する場合、スピンド
ルには、ディスク、スペーサー、ディスク、クランプと
順に積まれてスピンドルと締結したボルトによって固定
される。本実施形態と異なり、磁気ディスク１３は中央
孔を有さずにハブ有するディスクであってもよく、その
場合、スピンドルはハブを介してディスクを回転する。
【００１８】磁気ヘッド部は、スライダ１９と、スライ
ダ１９の位置決め及び駆動機構として機能するアクチュ
エータ２１とを有する。
【００１９】スライダ１９は、図２に示すように、略直
方体に形成されるＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）製
のスライダ本体２２と、スライダ本体２２の空気流出端
に接合されて、読み出し及び書き込み用のヘッド２３を
内蔵するＡｌ２Ｏ３（アルミナ）製のヘッド素子内蔵膜
２４とを備える。ここで、図２は、スライダ１９の拡大
斜視図である。スライダ本体２２及びヘッド素子内蔵膜
２４には、磁気ディスク１３に対向する媒体対向面、即
ち、浮上面２５が規定される。磁気ディスク１３の回転
に基づき生成される気流２６は浮上面２５に受け止めら
れる。
【００２０】浮上面２５には、空気流入端から空気流出
端に向かって延びる２筋のレール２７が形成される。各
レール２７の頂上面にはいわゆるＡＢＳ（空気軸受け
面）２８が規定される。ＡＢＳ２８では気流２６の働き
に応じて浮力が生成される。ヘッド素子内蔵膜２４に埋
め込まれたヘッド２３はＡＢＳ２８で露出する。なお、
スライダ１９の浮上方式はかかる形態に限られず、既知
の動圧潤滑方式、静圧潤滑方式、ピエゾ制御方式、その
他の浮上方式を適用することができる。また、停止時に
スライダ１９がディスク１３に接触するコンタクトスタ
ートストップ方式を採用する本実施形態とは異なり、ダ
イナミックローディング又はランプロード方式のよう
に、停止時にスライダ１９をディスク１３から持ち上げ
てディスク１３の外側にある保持部（ランプと呼ばれる
場合もある）でスライダ１９をディスク１３と非接触に
保持し、起動時に保持部からディスク１３上に落として
もよい。
【００２１】ヘッド２３は、導電コイルパターン（図示
せず）で生起される磁界を利用して磁気ディスク１３に
２値情報を書き込む誘導書き込みヘッド素子（以下、
「インダクティブヘッド素子」という。）と、磁気ディ
スク１３から作用する磁界に応じて変化する抵抗に基づ
き２値情報を読み取る磁気抵抗効果（以下、「ＭＲ」と
いう。）ヘッド素子とを有するＭＲインダクティブ複合
ヘッドである。ＭＲヘッド素子は、（ＣＩＰ（Ｃｕｒｒ
ｅｎｔ ｉｎ Ｐｌａｎｅ）構造を利用したＧＭＲ、Ｃ
ＰＰ（Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒ
ｔｏ Ｐｌａｎｅ）構造を利用したＧＭＲを含む）ＧＭ
Ｒ（巨大磁気抵抗：Ｇｉａｎｔ Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓ
ｉｓｔｉｖｅ）、ＴＭＲ（Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ Ｍａｇ
ｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）、ＡＭＲ（ａｎｉｓｏｔ
ｒｏｐｉｃ Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）等種
類を問わない。
【００２２】図２に示すように、クラウンはスライダ１
９の長手方向Ｌの変形又は膨らみを表し、キャンバはス
ライダ１９の長手方向Ｌに直交する短手方向Ｓの変形又
は膨らみを表し、ツイストは、スライダ１９の対角方向
Ｄの膨らみを表す。クラウン、キャンバ及びツイストの
変形例は各方向の点線で示すが、これと対向する方向に
変形する場合もあり、一方を正、他方を負として区別し
ている。このように、本実施形態では、ＡＢＳ２８の形
状判定又は形状評価にクラウン、キャンバ及びツイスト
を採用している。測定装置には光干渉縞を使用した高さ
又は形状測定装置を使用することができ、このような測
定装置はザイゴ（Ｚｙｇｏ）社の干渉システムやビーコ
（Ｖｅｅｃｏ）社のＷＹＫＯシリーズなど、商業的に利
用可能である。
【００２３】判定に際しては、例えば、クラウン等が通
常はゼロである基準値を中心とする交差としての許容範
囲内（例えば、±８ｎｍ）であれば良品と判定し、許容
範囲外であれば不良品と判定する。また、本実施形態の
形状判定方法は浮上面２５の中央を中心として方向ＬＤ
及びＳＤをそれぞれＸ軸及びＹ軸する直交座標系Ｋを設
定する。測定は、直交座標系Ｋによって設定される複数
の有限な位置（例えば、図２に示す８箇所のｘ点など）
に関して行われる。なお、後述する浮上面２５の調節方
法はＡＢＳ２８の裏面にレーザを照射するために通常浮
上面２５の裏面２５ａの中央に直交座標系ＲＣが形成さ
れるが、形状判定方法において設定される直交座標系Ｋ
は浮上面２５の表裏面のどちらに形成されてもよい。
【００２４】以下、スライダ１９の製造方法を、図３を
参照して説明する。ここで、図３は、スライダ１９の製
造方法の概略を説明するためのフローチャートである。
同図に示すように、スライダ１９の製造方法は、まず、
ヘッド形成工程において、上述のヘッド２３を形成する
（ステップ１０００）。次いで、ラッピング工程におい
て、レール状のＡＢＳ２８を形成する前にヘッド２３の
磁気特性が所望の特性となる寸法にまで研磨する（ステ
ップ１１００）。次いで、ＡＢＳ形状調節工程におい
て、浮上面２５にレール２７を形成する（ステップ１２
００)。次いで、上述の形状判定方法を使用して浮上面
２５の形状の判定を行う（ステップ１３００）。形状判
定の結果、クラウン、キャンバ及びツイストのそれぞれ
が所定の許容範囲内に収まっていればスライダは完成し
（ステップ１４００）、サスペンション１８への取り付
けやヘッド２３と配線との接続がなされたりする。ステ
ップ１０００乃至１２００については当業界で周知のい
かなる方法をも適用することができるので、ここでは詳
しい説明は省略する。
【００２５】形状判定の結果、クラウン、キャンバ及び
ツイストのうちの一又は複数が所定の許容範囲外であれ
ば、浮上面２５の形状を調節する（ステップ１５０
０）。ステップ１５００には本発明の形状調節方法が適
用される。ステップ１５００後に、再度、浮上面２５の
形状判定工程（ステップ１３００）に帰還して上述の処
理を繰り返す。
【００２６】以下、本発明の形状調節方法を説明する。
ここで、図４は、浮上面２５の裏面２５ａの中央に設定
された直交座標系ＲＣを使用してレーザの照射条件を設
定する方法を説明するための平面図である。
【００２７】本実施形態では、浮上面２５の裏面２５ａ
の中央に設定された直交座標系ＲＣを使用している。上
述したように、クラウン、キャンバ及びツイストからな
るパラメータを測定する際にも直交座標系Ｋが使用され
る。直交座標系と有限の測定位置を設定することは形状
調節すべき対象を単純化して、ある許容範囲外のパラメ
ータに対して浮上面２５の形状調節を行うために必要な
レーザの照射位置と照射角度を簡単かつ短時間に設定す
ることを可能にする。
【００２８】例えば、ステップ１３００の形状判定で
は、図２に示す８ヶ所のｘ点においてクラウン、キャン
バ及びツイストを測定し、これらの点に関してクラウ
ン、キャンバ及びツイストが許容範囲内であればその間
にうねりなどの凹凸があっても良品として取り扱う。同
様に、ステップ１５００で形状を補正する際もこれらの
点に関してクラウン、キャンバ及びツイストが許容範囲
内であればその間にうねりなどの凹凸があっても良品と
して取り扱う。
【００２９】一方、直交座標系を設定して直交座標系に
よって定義された複数の位置の平坦度が許容範囲になる
ように形状調節をしなければ、例えば、浮上面２５の平
坦度を平面的に解析しなければならなくなりステップ１
３００の良品判定に時間がかかる。また、ステップ１５
００においては、浮上面２５の全領域が平面として所定
の平坦度を有するように形状調節をしなければならなく
なる。これでは形状調節に必要なレーザの照射条件を容
易に設定することができないため、浮上面２５を補正加
工することは熟練を必要として困難である。特に、クラ
ウン、キャンバ及びツイストは互いに関連するからこれ
らの関係を考慮すれば加工は更に困難になる。また、加
工に時間もかかってスライダ１９の製造の歩留りも低下
する。
【００３０】これに対して、本実施形態は、浮上面２５
の平坦度を直交座標系によって定義された有限数の位置
において測定し、かかる点におけるクラウン、キャンバ
及びツイストが許容範囲内であれば浮上面２５全体が平
坦であると擬制し、これによって良品判定（ステップ１
３００）及び形状調節（ステップ１５００）を単純化し
ている。従って、本実施形態のように直交座標系を設定
することは測定時間の短縮と、形状調節の画一的な処理
と加工時間の短縮に寄与する。また、後述するように、
本実施形態の形状調節方法ではレーザを走査する角度が
重要であり、直交座標系は走査角度を簡単に設定するこ
とができるので好ましい。
【００３１】図４に示すように、裏面２５ａは、網目模
様と点線で規定されているように、レーザの照射可能な
範囲ＩＲを有する。浮上面２５には平滑性が要求される
こと、レーザ照射による粉塵がクラッシュの原因となる
ことから、本実施形態では浮上面２５ではなく、裏面２
５ａにレーザを照射する。
【００３２】本実施形態では、赤外線及び近赤外線領域
のレーザを使用しており、例えば、波長１０６４ｎｍの
ＹＡＧレーザを使用している。これはレーザで裏面２５
ａの表面を加熱して熱膨張を起こさせるためであるた
め、出力の小さい可視光や紫外光領域よりも加工時間の
短縮の点から好ましいからである。なお、レーザは裏面
２５ａを破壊や削りを伴わないレーザを選択することが
好ましい。
【００３３】レーザの照射条件は、レーザの発振条件を
も含む概念である。レーザを走査する角度（図４に示す
θ１）、レーザを走査する長さ（図４に示すＬ１）、レ
ーザのレーザスポットＬＳの間隔（図４に示すＰ１）、
パルス数、パルスエネルギー、フォーカス、前記レーザ
の照射を同一位置に複数回施す場合の前記位置及び回
数、前記レーザを走査する角度を一定にして走査方向に
垂直な方向に移動させて複数回施す場合の前記角度、移
動方向及び回数、前記レーザを走査する角度を一定にし
て走査方向に垂直な方向に移動する量を変更する場合の
前記角度及び移動量、前記レーザを走査する角度を複数
設定する場合の前記角度、前記レーザを走査する角度に
対して複数の走査長さを設定する場合の前記角度及び前
記走査長さ、前記レーザのレーザスポット間隔を複数設
定する場合の前記レーザスポット間隔及び回数等を含
む。
【００３４】以下、図５及び図６を参照して、走査角度
θ１を変更することによって浮上面２５を補正する実施
形態について説明する。本実施形態はレーザ照射条件の
中でレーザ走査する角度を重視して照射位置を決定する
ことを特徴としている。なお、浮上面２５は、一対のレ
ール２７としてのＡＢＳ２８とその間の溝をも含むが、
実質的な形状調節対象はＡＢＳ２８である。ここで、図
５は、図４に示すレーザを走査する角度を変更してレー
ザの照射範囲ＩＲの全域に亘ってレーザを照射した場合
の形状変化をクラウン、キャンバ及びツイストに関して
示したグラフである。図６は、図５に示すステップ１５
００の一例を説明するためのフローチャートである。
【００３５】本実施形態では、まず、浮上面２５の裏面
２５ａにレーザを所定の照射条件（本実施形態ではレー
ザを照射する角度）で照射した場合のクラウン、キャン
バ及びツイストの関係、即ち、図５に示すデータを取得
する（ステップ１５０１）。図５に示すデータは、スラ
イダ１９の材質や形状などによって変化する。図５に示
すグラフは、材質、形状などが決定された評価対象とし
てのスライダに対して、レーザのパルスエネルギー、パ
ルス幅などを一定にし、レーザを走査する角度のみを変
化させることによってクラウン、キャンバ及びツイスト
に関して実験することによって得られる。かかるグラフ
を得ることも本発明の一側面を構成する。
【００３６】次に、クラウン、キャンバ及びツイストの
中で補正対象パラメータを決定する（ステップ１５０
２）。補正対象パラメータには、本実施形態では一つで
あり、通常は、形状判定において許容範囲外となったも
のが選択される。２つ以上のパラメータが許容範囲外と
なった場合には、通常は、許容範囲からより大きく外れ
たパラメータが補正対象パラメータに選択される。本発
明は必ずしも補正対象パラメータを一つに限定しない
が、補正対象パラメータを一つに限定すれば形状調節処
理が容易になるという効果を有する。
【００３７】次に、本実施形態では照射条件としての走
査角度を選択する（ステップ１５０４）。例えば、ツイ
ストが許容範囲外でクラウンとキャンバが許容範囲内で
ある場合、ツイストが補正対象に選択される。例えば、
ツイストの測定結果が図５において−５目盛りであれ
ば、図５においてツイストを＋５目盛りに変形させるよ
うなレーザ照射を行わなければならない。このため、例
えば、ツイストを＋５目盛り移動させるＡ点が選択さ
れ、Ａ点に対応する走査角度（図５では約３１５°）が
選択される。なお、他の実施形態においては一又は複数
の照射条件を選択することになる。例えば、照射回数と
走査角度が組み合わされた別の実施形態においては、ス
テップ１５０４において、照射回数を５回に設定して各
回においてツイストを＋１目盛り変形させるようなレー
ザ照射を行う。
【００３８】次に、かかる走査角度による他のパラメー
タによる影響があるかどうかが判断される（ステップ１
５０６）。例えば、Ａ点に対応する走査角度である約３
１５°が選択された場合、ツイストを補正することによ
ってクラウン及びキャンバはそれぞれ約＋３．３及び約
＋０．７変化することになるが、かかる変化が生じても
クラウン及びキャンバが依然として許容範囲内にあるか
どうかをステップ１５０６は判断する。
【００３９】ステップ１５０６が影響がないと判断すれ
ば、本実施形態では、例えば、ツイストを補正すること
によってクラウン及びキャンバは依然として許容範囲内
にあると判断すれば、図４におけるθ１を約３１５に設
定してレーザ走査を行う（ステップ１５０８）。
【００４０】本実施形態のステップ１５０８において
は、図４に示すレーザ走査の長さＬ１、レーザスポット
間隔Ｐ１、レーザフォーカス等の照射条件を設定する。
照射されるレーザのパルスエネルギー、パルス幅、波形
制御等のレーザ発振条件は予め設定されている。
【００４１】一方、ステップ１５０６が影響があると判
断すれば、同様の効果を有する角度変更が可能かどうか
を判断する（ステップ１５１０）。例えば、ツイストを
補正することによってクラウンが許容範囲外にあると判
断すれば、ツイストに同様に＋５を付与すると共にクラ
ウンに対する影響がより少ないＢ点に対応する角度（図
５では約２２５°）を選択することができるかどうかを
判断する。Ｂ点を選択してもクラウンを許容範囲内に維
持することができると判断すれば、走査角度を約３１５
°から約２２５°に変更し（ステップ１５１２）、同様
にレーザ走査を行う（ステップ１５０８）。
【００４２】一方、ステップ１５１０が同様の効果を有
する角度変更が不可能であると判断すると、所定のオフ
セット値を加減した値のうち他のパラメータへの影響が
少ない者を選択する（ステップ１５１４）。例えば、ス
テップ１５１０が、Ｂ点に相当する角度である約２２５
°を選択しても依然としてクラウンが許容範囲外になる
と判断した場合やクラウンは許容範囲内になるがキャン
バが許容範囲外になると判断した場合にはツイストに対
してＡ点と同様の効果をＢ点への角度変更は不可能であ
ると判断する。この場合、例えば、ステップ１５１４
は、Ａ点に対して所定のオフセット角度（例えば、±１
０°）に対するＣ点及びＤ点のうちＣ点を選択する。こ
れは、Ｃ点の方がＤ点よりもクラウン値が低く、クラウ
ンへの影響が少ないためである。オフセット量又は角度
はスライダ１９の材質その他の条件に応じて設定され
る。Ｃ点は＋５．２程度であるが、初期の補正値（ここ
では＋５）に大きく満たない場合には複数回同一のレー
ザ走査を繰り返すことになる（ステップ１５０８）。
【００４３】なお、別の実施形態においては、ステップ
１５１４の代わりに、ステップ１５０２の補正対象パラ
メータを変更してもよい。また、本実施形態ではステッ
プ１５０４の照射条件を変更してもよい。
【００４４】なお、ステップ１５０８において、図７に
示すように、中心に関して所定の径を有する円の範囲内
には前記レーザの照射を行わなくてもよい。レール２７
が中心から離れているために、この範囲内にレーザ照射
を行ってもＡＢＳ２８の形状調節には余り効果がないこ
とが実験的に認められたからである。所定の径は実験的
に求められる。例えば、所定の径を有する円は、図４に
示す正方形状の照射範囲ＩＲの輪郭が直交座標系ＲＣに
関して中心から距離ｒである場合に、かかる中心を中心
とする半径ｒ／２以下の円である。かかる円を図７に示
す。
【００４５】以下、上述した他の照射条件を使用した形
状調節方法について説明する。
【００４６】図８は、レーザのパルスエネルギーを変更
し、他のレーザ発振条件やレーザ照射条件は一定とした
場合の形状変化を示したグラフである。図８は、キャン
バは省略している。また、本発明者は、レーザパルスエ
ネルギーの代りにレーザフォーカスを変化させた場合
も、パルスエネルギーを変化させた場合の形状変化と同
傾向にあることを確認している。レーザパルスエネルギ
ーやレーザフォーカスを変更する場合は、図６における
ステップ１５０４、１５１０、１５１２における角度は
レーザパルスエネルギーやレーザフォーカスに置き換え
られることになる。また、図６におけるステップ１５０
１はパルスエネルギーのみを変化させた場合の形状変化
をクラウン、キャンバ及びツイストに関して測定するこ
とになる。
【００４７】図９は、図４に示す走査角度θ１の法線方
向にオフセットＭだけ移動して同じ条件でレーザ走査を
繰り返した場合の平面図で、図１０はそのレーザ走査に
よる形状変形を示すグラフである。図９及び図１０も、
キャンバは省略している。繰り返し加工をする場合は、
図６におけるステップ１５０４、１５１０、１５１２に
おける角度は角度、オフセットＭ、走査長さＬ、及び繰
り返し回数ｎに置き換えられることになる。形状変化は
加工の繰返し回数ｎに比例する。
【００４８】図１１乃至図１３はこれまで説明した形状
変形条件のレーザ走査角度θ、レーザ照射間隔Ｐ、レー
ザ走査長さＬ、オフセットＭ等の条件をいくつか組み合
わせたレーザ走査の例を示す平面図である。
【００４９】図１１においては、図７を参照して説明し
たように、中央部の長さＰ２にはレーザを照射せず、レ
ーザ走査角度θ１、レーザ走査長さＬ１、レーザスポッ
トを間隔Ｐ１で走査している。
【００５０】図１２においては、直交座標系ＲＣの中心
を通るレーザ走査については、レーザ走査角度θ１、レ
ーザ走査長さＬ１、レーザスポット間隔Ｐ１で走査して
いる。また、走査角度θ１の法線方向（左上方向）にオ
フセットＭ１だけ移動して、中央部の長さＰ２にはレー
ザを照射せずに、その他は直交座標系ＲＣの中心を通る
レーザ走査と同様の条件でレーザ走査をしている。更
に、走査角度θ１の法線方向（右下方向）にオフセット
Ｍ２だけ移動して、直交座標系ＲＣの縦軸よりも右側に
はレーザを照射せずに、その他は直交座標系ＲＣの中心
を通るレーザ走査と同様の条件でレーザ走査をしてい
る。
【００５１】図１３においては、直交座標系ＲＣの中心
を通る２つのレーザ走査の一方については、レーザ走査
角度θ１、レーザ走査長さＬ１、レーザスポット間隔Ｐ
１で走査し、他方については、レーザ走査角度θ２、レ
ーザ走査長さＬ２、レーザスポット間隔Ｐ２で走査して
いる。
【００５２】再び図１に戻って、アクチュエータ２１
は、図１には図示しないボイスコイルモータと、支軸１
５と、キャリッジ１６とを有する。
【００５３】ボイスコイルモータには当業界で既知のい
かなる技術をも適用することができ、ここでは詳しい構
造の説明は省略する。例えば、ボイスコイルモータは、
筐体１２内に固定された鉄板に固定された永久磁石と、
キャリッジ１６に固定された可動磁石を有する。支軸１
５は、キャリッジ１６に設けられた円筒中空孔に嵌合
し、筐体１２内に図１の紙面に垂直に延びるように配置
される。
【００５４】キャリッジ１６は、支軸１５の周りに回転
又は揺動可能に設けられる剛体のアーム１７と、このア
ーム１７の先端に取り付けられてアーム１７から前方に
延びるサスペンション１８とを備える。サスペンション
１８は、例えば、ステンレス製のワトラス形サスペンシ
ョンであり、図示しないジンバルばねによってスライダ
１９を片持ち支持する。また、サスペンション１８はス
ライダ１９にリード線などを介して接続される配線部も
支持する。配線部は小さいので図１では省略されてい
る。かかるリード線を介して、ヘッド２３と配線部との
間でセンス電流、書き込み情報及び読み出し情報が供給
及び出力される。スライダ１９には、磁気ディスク１３
の表面に抗して弾性力がサスペンション１８から加えら
れている。
【００５５】ＨＤＤ１１は、図示しない制御系として、
制御部、インターフェース、ハードディスクコントロー
ラ（以下、「ＨＤＣ」という。）、ライト変調部、リー
ド復調部、ヘッドＩＣを有する。制御部は、ＣＰＵ、Ｍ
ＰＵなど名称の如何を問わずいかなる処理部を含み、制
御系の各部を制御する。インターフェースは、例えば、
ＨＤＤ１を上位装置であるパーソナルコンピュータ（以
下、「ＰＣ」という。）などの外部装置に接続する。Ｈ
ＤＣは、リード復調部によって復調されたデータを制御
部に送信したり、ライト変調部にデータを送信したりす
る。また、制御部又はＨＤＣはスピンドルモータ１４と
アクチュエータ２１（のモータ）をサーボ制御する。ラ
イト変調部は、例えば、インターフェースを介して上位
装置から供給され、インダクティブヘッドによって磁気
ディスク１３に書き込まれるデータを変調してヘッドＩ
Ｃに供給する。リード復調部はＭＲヘッド素子が磁気デ
ィスク１３読み取ったデータをサンプリングして元の信
号に復調する。ライト変調部とリード復調部が一体の信
号処理部として把握されてもよい。ヘッドＩＣはプリア
ンプとして機能する。
【００５６】ＨＤＤ１１の動作において、制御部は、ス
ピンドルモータ１４を駆動してディスク１３を回転させ
る。ディスク１３の回転に伴う空気流をスライダ１９と
ディスク１３との間に巻き込み微小な空気膜を形成し、
スライダ１９にはディスク面から浮上する浮力が作用す
る。一方、サスペンション１８はスライダ１９の浮力と
対向する方向に弾性押付力をスライダ１９に加えてい
る。かかる浮力と弾性力との釣り合いにより、スライダ
１９とディスク１３との間が一定に離間する。上述した
ように、スライダ１９の浮上面２５（特に、ＡＢＳ２
８）は本発明の方法によって形状加工されて所望の平坦
度を有するのでスライダ１９は安定した浮上量を確保す
ることができる。
【００５７】次に、制御部は、キャリッジ１６を支軸１
５回りに回動させ、ヘッド２３をディスク１３の目的の
トラック上にシークさせる。本実施形態は、このように
スライダ１９の軌跡が支軸１５の周りに円弧を描くスイ
ングアーム式であるが、本発明は、スライダ１９の軌跡
が直線状であるリニア式の適用を妨げるものではない。
上述したように、スライダ１９の浮上量は安定している
ので安定した短時間のシークを達成することができる。
【００５８】書き込み時には、図示しない制御部は、イ
ンターフェースを介して上位装置から得たデータを受信
し、インダクティブヘッド素子を選択し、ＨＤＣを介し
てライト変調部に送信する。これに応答して、ライト変
調部はデータを変調した後に当該変調されたデータをヘ
ッドＩＣに送信する。ヘッドＩＣは、かかる変調された
データを増幅した後でインダクティブヘッド素子に書き
込み電流として供給する。これにより、インダクティブ
ヘッド素子は目的のトラックにデータを書き込む。
【００５９】読み出し時には、図示しない制御部は、Ｍ
Ｒヘッド素子を選択し、所定のセンス電流を、ＨＤＣを
介してＭＲヘッド素子に供給する。信号磁界に応じて変
化するＭＲヘッド素子の電気抵抗変化に基づくデータ
は、ヘッドＩＣによって増幅され、その後、リード復調
部に供給されて元の信号に復調される。復調された信号
は、ＨＤＣ、制御部、インターフェースを介して、図示
しない上位装置に送信される。
【００６０】本実施形態においては、スライダ１９の浮
上量は安定しているので記録再生動作も安定し、読み取
り不能や書き込み不良を回避することができる。
【００６１】上述したように、本実施形態の加工方法
は、スライダ形状に対し、適正な形状を得るための微小
な形状変形を与えることができ、安定した浮上量を有す
るスライダを提供、対応することが可能となる。
【００６２】以上、本発明の実施の形態を説明したが、
本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の
範囲内で様々な変形及び変更が可能である。例えば、照
射条件の組み合わせは上述の実施形態に限定されない。
また、本実施形態はＨＤＤについて説明したが、本発明
はその他の種類のディスク装置（光ディスク装置など）
にも適用可能である。
【００６３】（付記１） 記録担体に記録再生を施すヘ
ッドと、前記記録担体に対向して浮上する浮上面とを有
するスライダの製造方法であって、予め加工された前記
浮上面の中央を中心とする直交座標系を利用して、当該
直交座標系によって設定された複数の位置の平坦度が許
容範囲になるように、レーザにより前記浮上面の裏面を
走査することによって前記浮上面の形状を調節するステ
ップを有することを特徴とする方法。（１） （付記２） 前記調節ステップは、前記中心に関して所
定の径を有する円の範囲内には前記レーザの照射を行わ
ない付記１記載の方法。
【００６４】（付記３） 記録担体に記録再生を施すヘ
ッドと、前記記録担体に対向して浮上する浮上面とを有
するスライダの製造方法であって、予め加工された前記
浮上面の、長手方向の変形を表すクラウンと、前記長手
方向に直交する短手方向の変形を表すキャンバと、対角
方向の変形を表すツイストのパラメータに関する測定結
果のうちの少なくとも一が許容範囲を超えている場合
に、前記パラメータの中から補正対象を決定するステッ
プと、前記パラメータを補正するためにレーザの照射条
件を設定するステップと、前記設定ステップによって設
定された前記照射条件に従って、前記浮上面の裏面に前
記レーザを照射して前記浮上面の形状を調節するステッ
プとを有することを特徴とする方法。（２） （付記４） 前記レーザの照射によって前記補正対象以
外の前記パラメータが影響を受けるかどうかを判断する
ステップと、前記判断ステップが影響ありと判断した場
合に同様の効果を有する他の照射条件に変更するステッ
プを更に有する付記３記載の方法。
【００６５】（付記５） 前記レーザの照射によって前
記補正対象以外の前記パラメータが影響を受けるかどう
かを判断するステップと、前記判断ステップが影響あり
と判断した場合に同様の効果を有する他の照射条件が存
在するかどうかを判断するステップと、前記他の照射条
件が存在するかどうかを判断するステップが、前記他の
照射条件が存在しないと判断した場合に、前記照射条件
に対して所定のオフセット量だけ加算及び減算した照射
条件のうち前記補正対象以外の前記パラメータの影響が
より少ない照射条件を選択するステップとを更に有する
付記３記載の方法。
【００６６】（付記６） 前記照射条件は、前記レーザ
を走査する角度である付記３記載の方法。
【００６７】（付記７） 前記照射条件は、前記レーザ
を走査する長さである付記３記載の方法。
【００６８】（付記８） 前記照射条件は、前記レーザ
のレーザスポット間隔である付記３記載の方法。
【００６９】（付記９） 前記照射条件は、前記レーザ
のパルス数である付記３記載の方法。
【００７０】（付記１０） 前記照射条件は、前記レー
ザのパルスエネルギーである付記３記載の方法。
【００７１】（付記１１） 前記照射条件は、前記レー
ザのフォーカスである付記３記載の方法。
【００７２】（付記１２） 前記照射条件は、前記レー
ザの照射を同一位置に複数回施す場合の前記位置及び回
数である付記３記載の方法。
【００７３】（付記１３） 前記照射条件は、前記レー
ザを走査する角度を一定にして走査方向に垂直な方向に
移動させて複数回施す場合の前記角度、移動方向及び回
数である付記３記載の方法。
【００７４】（付記１４） 前記照射条件は、前記レー
ザを走査する角度を一定にして走査方向に垂直な方向に
移動する量を変更する場合の前記角度及び移動量である
付記３記載の方法。
【００７５】（付記１５） 前記照射条件は、前記レー
ザを走査する角度を複数設定する場合の前記角度である
付記３記載の方法。
【００７６】（付記１６） 前記照射条件は、前記レー
ザを走査する角度に対して複数の走査長さを設定する場
合の前記角度及び前記走査長さである付記３記載の方
法。
【００７７】（付記１７） 前記照射条件は、前記レー
ザのレーザスポット間隔を複数設定する場合の前記レー
ザスポット間隔と回数の関係である付記２記載の方法。
【００７８】（付記１８） 記録担体に記録再生を施す
ヘッドと、前記記録担体に対向して浮上する浮上面とを
有するスライダの製造方法であって、前記浮上面の裏面
にレーザを所定の照射条件で照射した場合の、長手方向
の変形を表すクラウンと、前記長手方向に直交する短手
方向の変形を表すキャンバと、対角方向の変形を表すツ
イストとの関係を取得するステップと、予め加工された
前記浮上面の前記クラウンと、前記キャンバと、前記ツ
イストのうちの少なくとも一が許容範囲を超えている場
合に、前記関係を利用して前記浮上面の形状を調節する
ステップとを有する方法。（３） （付記１９） 付記１乃至１８のうちいずれか一項記載
の方法を実行することを特徴とするプログラム。（４） （付記２０） 付記１乃至１８の方法のうちいずれか一
項記載の方法を使用して製造されたスライダを有し、前
記記録担体を駆動可能なドライブ。（５）
【００７９】
【発明の効果】本発明のスライダの製造方法によれば、
記録担体に対して所望の浮上量を有するスライダを提供
することができる。また、本発明は、直交座標系を利用
して、又は、クラウン、キャンバ及びツイストの測定結
果から画一的処理を行って比較的短時間でスライダの形
状調節を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一例としてのハードディスクドライ
ブの内部構造を示す平面図である。
【図２】 図１に示すハードディスクドライブのスライ
ダの拡大斜視図である。
【図３】 図１に示すスライダの製造方法の概略を説明
するためのフローチャートである。
【図４】 図２に示すスライダの浮上面の裏面の中央に
設定された直交座標系を使用してレーザの照射条件を設
定する方法を説明するための平面図である。
【図５】 図４に示すレーザを走査する角度を変更して
レーザを照射した場合の形状変化をクラウン、キャンバ
及びツイストに関して示したグラフである。
【図６】 図５に示すステップ１５００の一実施形態を
説明するためのフローチャートである。
【図７】 図４に示すレーザの照射範囲を限定する実施
形態を示す平面図である。
【図８】 レーザパルスエネルギーを変更してレーザを
照射した場合の形状変化をクラウン及びツイストに関し
て示したグラフである。
【図９】 図４に示す走査角度の法線方向にオフセット
だけ移動して同じ条件でレーザ走査を繰り返した実施形
態を示す平面図である。
【図１０】 図９に示す実施形態におけるレーザ走査に
よる形状変形を示すグラフである。
【図１１】 レーザの照射条件の幾つかを組み合わせた
実施形態を示す平面図である。
【図１２】 レーザの照射条件の幾つかを組み合わせた
別の実施形態を示す平面図である。
【図１３】 レーザの照射条件の幾つかを組み合わせた
更に別の実施形態を示す平面図である。
【符号の説明】
１１ ハードディスクドライブ １９ スライダ ２３ ヘッド

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 記録担体に記録再生を施すヘッドと、前
    記記録担体に対向して浮上する浮上面とを有するスライ
    ダの製造方法であって、 予め加工された前記浮上面の中央を中心とする直交座標
    系を利用して、当該直交座標系によって設定された複数
    の位置の平坦度が許容範囲になるように、レーザにより
    前記浮上面の裏面を走査することによって前記浮上面の
    形状を調節するステップを有することを特徴とする方
    法。
  2. 【請求項２】 記録担体に記録再生を施すヘッドと、前
    記記録担体に対向して浮上する浮上面とを有するスライ
    ダの製造方法であって、 予め加工された前記浮上面の、長手方向の変形を表すク
    ラウンと、前記長手方向に直交する短手方向の変形を表
    すキャンバと、対角方向の変形を表すツイストのパラメ
    ータに関する測定結果のうちの少なくとも一が許容範囲
    を超えている場合に、前記パラメータの中から補正対象
    を決定するステップと、 前記パラメータを補正するためにレーザの照射条件を設
    定するステップと、 前記設定ステップによって設定された前記照射条件に従
    って、前記浮上面の裏面に前記レーザを照射して前記浮
    上面の形状を調節するステップとを有することを特徴と
    する方法。
  3. 【請求項３】 記録担体に記録再生を施すヘッドと、前
    記記録担体に対向して浮上する浮上面とを有するスライ
    ダの製造方法であって、 前記浮上面の裏面にレーザを所定の照射条件で照射した
    場合の、長手方向の変形を表すクラウンと、前記長手方
    向に直交する短手方向の変形を表すキャンバと、対角方
    向の変形を表すツイストとの関係を取得するステップ
    と、 予め加工された前記浮上面の前記クラウンと、前記キャ
    ンバと、前記ツイストのうちの少なくとも一が許容範囲
    を超えている場合に、前記関係を利用して前記浮上面の
    形状を調節するステップとを有する方法。
  4. 【請求項４】 請求項１乃至３のうちいずれか一項記載
    の方法を実行することを特徴とするプログラム。
  5. 【請求項５】 請求項１乃至３の方法のうちいずれか一
    項記載の方法を使用して製造されたスライダを有し、前
    記記録担体を駆動可能なドライブ。
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