JP2003232352A - エアパッド、このエアパッドを用いたステージ装置及びこのステージ装置を備える露光装置 - Google Patents
エアパッド、このエアパッドを用いたステージ装置及びこのステージ装置を備える露光装置Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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- G03F7/70716—Stages
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エアスライドの傾きや駆動時の微振動の発生
を防止することができるエアパッド、このエアパッドを
用いたステージ及びこのステージを備える露光装置を提
供する。 【解決手段】 エアパッド本体５１と、このエアパッド
本体５１に形成され、圧縮流体を吐出させるオリフィス
６５とを備えているエアパッド５０において、 オリフ
ィス６５の断面積を出口６６に向かって緩やかに絞っ
た。
を防止することができるエアパッド、このエアパッドを
用いたステージ及びこのステージを備える露光装置を提
供する。 【解決手段】 エアパッド本体５１と、このエアパッド
本体５１に形成され、圧縮流体を吐出させるオリフィス
６５とを備えているエアパッド５０において、 オリフ
ィス６５の断面積を出口６６に向かって緩やかに絞っ
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はエアパッド、この
エアパッドを用いたステージ及びこのステージを備える
露光装置に関する。
エアパッドを用いたステージ及びこのステージを備える
露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、エアスピンドルやエアスライド等
に用いられるエアパッドにはオリフィス絞り、表面絞り
又はオリフィス絞りと表面絞りとを組み合わせた複合絞
りが設けられている。
に用いられるエアパッドにはオリフィス絞り、表面絞り
又はオリフィス絞りと表面絞りとを組み合わせた複合絞
りが設けられている。
【０００３】オリフィス絞りはエアパッド本体に機械加
工によって直接形成されたり、エアパッド本体とは別体
のオリフィスブッシュに形成されたりする。
工によって直接形成されたり、エアパッド本体とは別体
のオリフィスブッシュに形成されたりする。
【０００４】オリフィスブッシュは円筒形であり、エア
パッド本体に形成されたオリフィスブッシュと同じ円形
断面の孔に嵌合されるとともに、接着剤によってエアパ
ッド本体に固定されている。
パッド本体に形成されたオリフィスブッシュと同じ円形
断面の孔に嵌合されるとともに、接着剤によってエアパ
ッド本体に固定されている。
【０００５】オリフィスブッシュは金属やセラミックス
で製作され、このオリフィスブッシュには機械加工によ
ってオリフィスが形成されている。
で製作され、このオリフィスブッシュには機械加工によ
ってオリフィスが形成されている。
【０００６】従来、オリフィスの形状としては以下に示
すものが知られている。
すものが知られている。
【０００７】図８（ａ）〜（ｃ）は従来のエアパッドの
一部を構成するオリフィスブッシュの断面図である。
一部を構成するオリフィスブッシュの断面図である。
【０００８】図８（ａ）のオリフィス５６５は、円筒形
のオリフィスブッシュ５６０の軸方向へ延び、入口から
出口まで同じ横断面積の小径孔５６５ａで構成されてい
る。
のオリフィスブッシュ５６０の軸方向へ延び、入口から
出口まで同じ横断面積の小径孔５６５ａで構成されてい
る。
【０００９】図８（ｂ）のオリフィス６６５は、円筒形
のオリフィスブッシュ６６０の軸方向へ延び、大径孔６
６５ｂと大径孔６６５ｂに連なる小径孔６６５ａとで構
成されている。
のオリフィスブッシュ６６０の軸方向へ延び、大径孔６
６５ｂと大径孔６６５ｂに連なる小径孔６６５ａとで構
成されている。
【００１０】図８（ｃ）のオリフィス７６５は、円筒形
のオリフィスブッシュ７６０の軸方向へ延び、大径孔７
６５ｂと、小径孔７６５ａと、大径孔７６５ｂと小径孔
７６５ａとの間に形成されたテーパ部７６５ｃとで構成
されている。
のオリフィスブッシュ７６０の軸方向へ延び、大径孔７
６５ｂと、小径孔７６５ａと、大径孔７６５ｂと小径孔
７６５ａとの間に形成されたテーパ部７６５ｃとで構成
されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のオリフィス
ブッシュ５６０，６６０，７６０には以下の問題があ
る。
ブッシュ５６０，６６０，７６０には以下の問題があ
る。
【００１２】図８（ａ）のオリフィスブッシュ５６０の
場合、小径孔５６５ａの径が極めて小さい（内径０．１
５ｍｍ程度）ため、機械加工による孔加工は難しく、ま
た圧縮流体の圧力損失が大きい。
場合、小径孔５６５ａの径が極めて小さい（内径０．１
５ｍｍ程度）ため、機械加工による孔加工は難しく、ま
た圧縮流体の圧力損失が大きい。
【００１３】図８（ｂ）、図８（ｃ）のオリフィスブッ
シュ６６０，７６０の場合、小径孔６６５ａ，７６５ａ
の断面積が急激に絞られるため、流体の流れがスムーズ
でなく、また機械加工による孔加工では小径孔６６５
ａ，７６５ａを常に同一形状とすることは難しいため、
加工誤差による流体の圧力損失のバラツキが大きい。
シュ６６０，７６０の場合、小径孔６６５ａ，７６５ａ
の断面積が急激に絞られるため、流体の流れがスムーズ
でなく、また機械加工による孔加工では小径孔６６５
ａ，７６５ａを常に同一形状とすることは難しいため、
加工誤差による流体の圧力損失のバラツキが大きい。
【００１４】その結果、エアパッドは優れた特性（エア
ギャップに対する負荷容量及び剛性）を得ることができ
ず、またエアパッドの特性にバラツキが生じ、複数個の
エアパッドを有するエアスライド要素部材（図１，２参
照）ではエアスライド要素部材が傾いてしまう。また、
エアスライド要素部材を駆動（ＸＹ方向へ移動させたと
き）したとき、エアスライド要素部材が微振動し、最悪
の場合にはエアスライド要素部材とガイド部材との間に
カジリが発生し、エアスライド要素部材やガイド部材に
傷がつくおそれがある（図１参照）。
ギャップに対する負荷容量及び剛性）を得ることができ
ず、またエアパッドの特性にバラツキが生じ、複数個の
エアパッドを有するエアスライド要素部材（図１，２参
照）ではエアスライド要素部材が傾いてしまう。また、
エアスライド要素部材を駆動（ＸＹ方向へ移動させたと
き）したとき、エアスライド要素部材が微振動し、最悪
の場合にはエアスライド要素部材とガイド部材との間に
カジリが発生し、エアスライド要素部材やガイド部材に
傷がつくおそれがある（図１参照）。
【００１５】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はエアスライド要素部材の傾きや駆
動時の微振動の発生を防止することができるエアパッ
ド、このエアパッドを用いたステージ及びこのステージ
を備える露光装置を提供することである。
たもので、その課題はエアスライド要素部材の傾きや駆
動時の微振動の発生を防止することができるエアパッ
ド、このエアパッドを用いたステージ及びこのステージ
を備える露光装置を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１に記載の発明は、エアパッド本体と、このエ
アパッド本体に形成され、圧縮流体を吐出させるオリフ
ィスとを備えているエアパッドにおいて、前記オリフィ
スの断面積は出口に向かって緩やかに絞られることを特
徴とする。
に請求項１に記載の発明は、エアパッド本体と、このエ
アパッド本体に形成され、圧縮流体を吐出させるオリフ
ィスとを備えているエアパッドにおいて、前記オリフィ
スの断面積は出口に向かって緩やかに絞られることを特
徴とする。
【００１７】請求項２に記載の発明は、請求項１記載の
エアパッドにおいて、前記オリフィスは前記パッド本体
と別体のブッシュに形成され、このブッシュは前記パッ
ド本体に形成された孔に固定されることを特徴とする。
エアパッドにおいて、前記オリフィスは前記パッド本体
と別体のブッシュに形成され、このブッシュは前記パッ
ド本体に形成された孔に固定されることを特徴とする。
【００１８】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
記載のエアパッドにおいて、前記ブッシュは射出成形で
製造されることを特徴とする。
記載のエアパッドにおいて、前記ブッシュは射出成形で
製造されることを特徴とする。
【００１９】請求項４に記載の発明は、請求項１、２又
は３記載のエアパッドを用いたことを特徴とするステー
ジ装置である。
は３記載のエアパッドを用いたことを特徴とするステー
ジ装置である。
【００２０】請求項５に記載の発明は、請求項４記載の
ステージ装置を備えていることを特徴とする露光装置で
ある。
ステージ装置を備えていることを特徴とする露光装置で
ある。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００２２】図１はこの発明のエアパッドを備えるＸＹ
ステージの構成を示す斜視図である。
ステージの構成を示す斜視図である。
【００２３】このＸＹステージ（ステージ装置）１０は
定盤２０とＸガイドバー３０とエアスライド要素部材４
０とを備えている。
定盤２０とＸガイドバー３０とエアスライド要素部材４
０とを備えている。
【００２４】Ｘガイドバー３０は矩形状の定盤２０の上
面に設けられ、エアスライド要素部材４０をＸ軸方向へ
ガイドする。
面に設けられ、エアスライド要素部材４０をＸ軸方向へ
ガイドする。
【００２５】エアスライド要素部材４０はＸ方向スライ
ド部材とＹ方向スライド部材とを有する。
ド部材とＹ方向スライド部材とを有する。
【００２６】Ｘ方向スライド部材は第１部材４１と第２
部材４２とＹガイドバー４３とを有する。Ｘガイドバー
３０に沿ってＸ軸方向へ移動する第１部材４１は第２部
材４２に平行であり、第１部材４１と第２部材４２とは
それぞれＸ方向へ延びる。
部材４２とＹガイドバー４３とを有する。Ｘガイドバー
３０に沿ってＸ軸方向へ移動する第１部材４１は第２部
材４２に平行であり、第１部材４１と第２部材４２とは
それぞれＸ方向へ延びる。
【００２７】Ｙガイドバー４３はＹ軸方向へ延び、Ｙガ
イドバー４３の両端は第１部材４１の中間部及び第２部
材４２の中間部にそれぞれ固定されている。すなわち、
Ｘ方向スライド部材はほぼＨ形をしている。
イドバー４３の両端は第１部材４１の中間部及び第２部
材４２の中間部にそれぞれ固定されている。すなわち、
Ｘ方向スライド部材はほぼＨ形をしている。
【００２８】第１部材４１の下面及び第２部材４２の下
面には後述するエアパッド５０が設けられ、エアパッド
５０のオリフィスから吐出される圧縮空気によって第１
部材４１及び第２部材４２は定盤２０から浮いている。
面には後述するエアパッド５０が設けられ、エアパッド
５０のオリフィスから吐出される圧縮空気によって第１
部材４１及び第２部材４２は定盤２０から浮いている。
【００２９】Ｙ方向スライド部材は一対の第３部材４５
とベース４６とを有する。Ｙ軸方向へ延びる一対の第３
部材４５はベース４６の上面に一体に設けられ、一対の
第３部材４５によってガイド溝が形成されている。ガイ
ド溝はＹガイドバー４３と係合し、第３部材４５はＹガ
イドバー４３にガイドされてベース４６とともにＹ軸方
向へ移動する。
とベース４６とを有する。Ｙ軸方向へ延びる一対の第３
部材４５はベース４６の上面に一体に設けられ、一対の
第３部材４５によってガイド溝が形成されている。ガイ
ド溝はＹガイドバー４３と係合し、第３部材４５はＹガ
イドバー４３にガイドされてベース４６とともにＹ軸方
向へ移動する。
【００３０】ベース４６の下面にはエアパッド５０が設
けられ、エアパッド５０のオリフィスから吐出される圧
縮空気によってベース４６は定盤２０から浮いている。
けられ、エアパッド５０のオリフィスから吐出される圧
縮空気によってベース４６は定盤２０から浮いている。
【００３１】なお、エアスライド要素部材４０（第３部
材４５）の上部にはウエハＷを載置し、ウエハをＺ軸方
向へ移動させるためのテーブル１５０が設けられる（図
７参照）。
材４５）の上部にはウエハＷを載置し、ウエハをＺ軸方
向へ移動させるためのテーブル１５０が設けられる（図
７参照）。
【００３２】図２は第２部材を斜め下方から見た斜視
図、図３は図２のIII−III線に沿う断面図である。
図、図３は図２のIII−III線に沿う断面図である。
【００３３】第２部材４２にはエアパッド５０が設けら
れている。エアパッド５０を構成するエアパッド本体５
１は例えばアルミナセラミクスで製造される。
れている。エアパッド５０を構成するエアパッド本体５
１は例えばアルミナセラミクスで製造される。
【００３４】エアパッド本体５１の表面には田の字状に
絞り溝（表面絞り）５２が形成されている。絞り溝５２
の幅及び深さは、例えばそれぞれ１ｍｍ及び１０μｍで
ある。
絞り溝（表面絞り）５２が形成されている。絞り溝５２
の幅及び深さは、例えばそれぞれ１ｍｍ及び１０μｍで
ある。
【００３５】絞り溝５２が交差するエアパッド本体５１
の中心にはオリフィス６５の出口６６が開口している。
の中心にはオリフィス６５の出口６６が開口している。
【００３６】オリフィス６５はエアパッド本体５１とは
別体のオリフィスブッシュ（ブッシュ）６０に形成され
ている。
別体のオリフィスブッシュ（ブッシュ）６０に形成され
ている。
【００３７】このオリフィスブッシュ６０はエアパッド
本体５１の中心に形成された、オリフィスブッシュ６０
と同じ円形断面の孔５３に嵌合される。エアパッド本体
５１の外周面にはオリフィスブッシュ６０をエアパッド
本体５１に固定するための接着剤を充填する溝６１が形
成されている。
本体５１の中心に形成された、オリフィスブッシュ６０
と同じ円形断面の孔５３に嵌合される。エアパッド本体
５１の外周面にはオリフィスブッシュ６０をエアパッド
本体５１に固定するための接着剤を充填する溝６１が形
成されている。
【００３８】図４（ａ）〜（ｄ）はこの発明のエアパッ
ドの一部を構成するオリフィスブッシュの断面図であ
る。
ドの一部を構成するオリフィスブッシュの断面図であ
る。
【００３９】なお、図４（ａ）〜（ｄ）のオリフィスブ
ッシュ６０，１６０，２６０，３６０の溝の図示は省略
されている。
ッシュ６０，１６０，２６０，３６０の溝の図示は省略
されている。
【００４０】図４（ａ）のオリフィスブッシュ６０は円
筒形であり、中心軸上にオリフィス６５が形成されてい
る。オリフィスブッシュ６０の外径及び長さはそれぞれ
４ｍｍ及び４ｍｍである。
筒形であり、中心軸上にオリフィス６５が形成されてい
る。オリフィスブッシュ６０の外径及び長さはそれぞれ
４ｍｍ及び４ｍｍである。
【００４１】オリフィス６５は大径部６５ｂと小径部６
５ａと大径部６５ｂと小径部６５ａとを結ぶ曲線部６５
ｃとで構成され、オリフィス６５の断面積は出口６６に
向かって緩やかに絞られている。
５ａと大径部６５ｂと小径部６５ａとを結ぶ曲線部６５
ｃとで構成され、オリフィス６５の断面積は出口６６に
向かって緩やかに絞られている。
【００４２】オリフィス６５の出口６６の内径は０．１
５〜０．４ｍｍである。
５〜０．４ｍｍである。
【００４３】オリフィス６５の出口６６の縁には丸みを
与えず、薄刃（シャープエッジ）に作り、空気の流れが
出口６６に付着することなく、完全な縮流を生じさせる
ようにする。
与えず、薄刃（シャープエッジ）に作り、空気の流れが
出口６６に付着することなく、完全な縮流を生じさせる
ようにする。
【００４４】オリフィスブッシュ６０は例えばエアパッ
ド本体５１と同じ材料であるアルミナセラミクスであ
り、セラミクス射出成形によって製造される。
ド本体５１と同じ材料であるアルミナセラミクスであ
り、セラミクス射出成形によって製造される。
【００４５】オリフィス６５は金型（図示せず）のコア
型に設けられた、大径部６５ｂ、小径部６５ａ及び曲線
部６５ｃの形状に対応したピン（図示せず）によって形
成される。同一ピンを用いた射出成形によってオリフィ
スブッシュ６０を複数製造したとき、オリフィスブッシ
ュ６０には常に同一形状のオリフィス６５が精度良く形
成される。
型に設けられた、大径部６５ｂ、小径部６５ａ及び曲線
部６５ｃの形状に対応したピン（図示せず）によって形
成される。同一ピンを用いた射出成形によってオリフィ
スブッシュ６０を複数製造したとき、オリフィスブッシ
ュ６０には常に同一形状のオリフィス６５が精度良く形
成される。
【００４６】なお、セラミクスとしてはアルミナに限る
ものではなく、ジルコニアでもよい。
ものではなく、ジルコニアでもよい。
【００４７】また、エアパッドの寿命が短くても安価で
あることが要求される場合には、セラミクス射出成形に
代えてプラスチック射出成形によってオリフィスブッシ
ュ６０を製造してもよい。
あることが要求される場合には、セラミクス射出成形に
代えてプラスチック射出成形によってオリフィスブッシ
ュ６０を製造してもよい。
【００４８】図４（ｂ）のオリフィスブッシュ１６０の
オリフィス１６５は曲線部１６５ｃと小径部１６５ａと
で構成されている点で図４（ａ）のオリフィスブッシュ
６０のオリフィス６５と相違する。オリフィス１６５の
断面積は出口１６６に向かって緩やかに絞られている。
オリフィス１６５は曲線部１６５ｃと小径部１６５ａと
で構成されている点で図４（ａ）のオリフィスブッシュ
６０のオリフィス６５と相違する。オリフィス１６５の
断面積は出口１６６に向かって緩やかに絞られている。
【００４９】このオリフィスブッシュ１６０はオリフィ
スブッシュ６０と同様にセラミクス射出成形又はプラス
チック射出成形によって製造される。
スブッシュ６０と同様にセラミクス射出成形又はプラス
チック射出成形によって製造される。
【００５０】図４（ｃ）のオリフィスブッシュ２６０の
オリフィス２６５は曲線部２６５ｃと小径部２６５ａと
曲線部２６５ｃに連なる大径部２６５ｂとで構成されて
いる（曲線部２６５ｃと大径部２６５ｂとの接続部は図
４（ａ）の方が緩やかである）点で図４（ａ）のオリフ
ィスブッシュ６０のオリフィス６５と相違する。オリフ
ィス２６５の断面積は出口２６６に向かって緩やかに絞
られている。
オリフィス２６５は曲線部２６５ｃと小径部２６５ａと
曲線部２６５ｃに連なる大径部２６５ｂとで構成されて
いる（曲線部２６５ｃと大径部２６５ｂとの接続部は図
４（ａ）の方が緩やかである）点で図４（ａ）のオリフ
ィスブッシュ６０のオリフィス６５と相違する。オリフ
ィス２６５の断面積は出口２６６に向かって緩やかに絞
られている。
【００５１】このオリフィスブッシュ２６０はオリフィ
スブッシュ６０と同様にセラミクス射出成形又はプラス
チック射出成形によって製造される。
スブッシュ６０と同様にセラミクス射出成形又はプラス
チック射出成形によって製造される。
【００５２】図４（ｄ）のオリフィスブッシュ３６０の
オリフィス３６５は大径部３６５ｂと曲線部３６５ｃと
で構成されている点で図４（ａ）のオリフィスブッシュ
６０のオリフィス６５と相違する。オリフィス３６５の
断面積は出口３６６に向かって緩やかに絞られている。
オリフィス３６５は大径部３６５ｂと曲線部３６５ｃと
で構成されている点で図４（ａ）のオリフィスブッシュ
６０のオリフィス６５と相違する。オリフィス３６５の
断面積は出口３６６に向かって緩やかに絞られている。
【００５３】このオリフィスブッシュ３６０はオリフィ
スブッシュ６０と同様にセラミクス射出成形又はプラス
チック射出成形によって製造される。
スブッシュ６０と同様にセラミクス射出成形又はプラス
チック射出成形によって製造される。
【００５４】オリフィス６５，１６５，２６５，３６５
によれば、従来例のように断面積が急激に絞られないた
め、空気の流れがスムーズになり、図５（ａ），（ｂ）
に示すように、特性が向上するとともに、特性のバラツ
キが小さくなる。
によれば、従来例のように断面積が急激に絞られないた
め、空気の流れがスムーズになり、図５（ａ），（ｂ）
に示すように、特性が向上するとともに、特性のバラツ
キが小さくなる。
【００５５】図５（ａ）はこの発明のエアパッドと従来
のエアパッドとの特性の比較を示す図、図５（ｂ）はこ
の発明のエアパッドと従来のエアパッドとの特性のバラ
ツキを示す図である。
のエアパッドとの特性の比較を示す図、図５（ｂ）はこ
の発明のエアパッドと従来のエアパッドとの特性のバラ
ツキを示す図である。
【００５６】図５（ａ）から、従来のエアパッドの負荷
容量及び剛性のピークをそれぞれ１としたとき、この発
明のエアパッドの負荷容量及び剛性のピークがそれぞれ
１．２となり、この発明のエアパッドでは空気の流れ効
率が向上していることがわかる。
容量及び剛性のピークをそれぞれ１としたとき、この発
明のエアパッドの負荷容量及び剛性のピークがそれぞれ
１．２となり、この発明のエアパッドでは空気の流れ効
率が向上していることがわかる。
【００５７】図５（ｂ）から、従来のエアパッドでは負
荷容量バラツキ幅及び剛性のバラツキ幅がそれぞれ±１
０％と±２０％であったが、この発明のエアパッドでは
負荷容量バラツキ幅及び剛性のバラツキ幅がそれぞれ±
５％と±１０％となり、特性のバラツキが低減（半減）
されていることがわかる。
荷容量バラツキ幅及び剛性のバラツキ幅がそれぞれ±１
０％と±２０％であったが、この発明のエアパッドでは
負荷容量バラツキ幅及び剛性のバラツキ幅がそれぞれ±
５％と±１０％となり、特性のバラツキが低減（半減）
されていることがわかる。
【００５８】この実施形態によれば、特性に優れ、特性
のバラツキが少ないエアパッドを得ることができるた
め、エアスライド要素部材４０の傾きや駆動時における
微振動を防止することができる。
のバラツキが少ないエアパッドを得ることができるた
め、エアスライド要素部材４０の傾きや駆動時における
微振動を防止することができる。
【００５９】更に、射出成形法によってオリフィスブッ
シュ６０，１６０，２６０，３６０を製造することがで
きるため、オリフィス６５，１６５，２６５，３６５を
成形するためのピンを高精度に製造しておけば、機械加
工による孔加工に比べて高精度かつ形状のバラツキの少
ないオリフィス６５，１６５，２６５，３６５を形成す
ることができる。
シュ６０，１６０，２６０，３６０を製造することがで
きるため、オリフィス６５，１６５，２６５，３６５を
成形するためのピンを高精度に製造しておけば、機械加
工による孔加工に比べて高精度かつ形状のバラツキの少
ないオリフィス６５，１６５，２６５，３６５を形成す
ることができる。
【００６０】なお、十分な加工精度が得られ、バラツキ
を少なくできるときにはオリフィス６５，１６５，２６
５，３６５を機械加工で形成してもよい。このとき、オ
リフィスブッシュ６０，１６０，２６０，３６０の材料
はＳＵＳや真鍮等の金属材料であっても、セラミクスで
あってもよい。
を少なくできるときにはオリフィス６５，１６５，２６
５，３６５を機械加工で形成してもよい。このとき、オ
リフィスブッシュ６０，１６０，２６０，３６０の材料
はＳＵＳや真鍮等の金属材料であっても、セラミクスで
あってもよい。
【００６１】なお、オリフィスを図６に示す形状として
もよい。
もよい。
【００６２】図６はオリフィスの他の形状を示すオリフ
ィスブッシュの断面図である。
ィスブッシュの断面図である。
【００６３】図６に示すオリフィスブッシュ４６０はオ
リフィス４６５の出口４６６の近傍で断面積を若干大き
くした（開口角度６°程度）点で図４に示すオリフィス
ブッシュ６０，１６０，２６０，３６０と相違する。
リフィス４６５の出口４６６の近傍で断面積を若干大き
くした（開口角度６°程度）点で図４に示すオリフィス
ブッシュ６０，１６０，２６０，３６０と相違する。
【００６４】次に、ＸＹステージ１０を備える露光装置
について説明する。
について説明する。
【００６５】図７は露光装置を示す概念図である。
【００６６】この露光装置１００は、いわゆるステップ
・アンド・スキャン露光方式の走査型露光装置である。
・アンド・スキャン露光方式の走査型露光装置である。
【００６７】この露光装置１００は、照明系１１０と、
ステージ可動部１２１と、投影光学系ＰＬと、ウエハＷ
をＸ−Ｙ平面内でＸ方向及びＹ方向の２次元方向に駆動
するＸＹステージ１０と、これらを制御する主制御装置
（図示せず）とを備えている。
ステージ可動部１２１と、投影光学系ＰＬと、ウエハＷ
をＸ−Ｙ平面内でＸ方向及びＹ方向の２次元方向に駆動
するＸＹステージ１０と、これらを制御する主制御装置
（図示せず）とを備えている。
【００６８】照明系１１０は光源ユニットから出射され
た露光光をミラーＭで反射させ、レチクルＲ上の矩形
（又は円弧状）の照明領域ＩＡＲを均一な照度で照射す
る。
た露光光をミラーＭで反射させ、レチクルＲ上の矩形
（又は円弧状）の照明領域ＩＡＲを均一な照度で照射す
る。
【００６９】ステージ可動部１２１の上面にはレチクル
Ｒが、例えば真空吸着によって固定される。
Ｒが、例えば真空吸着によって固定される。
【００７０】投影光学系ＰＬは縮小光学系であり、レチ
クルステージ１２０の下方に配置され、その光軸（照明
光学系の光軸ＡＸに一致）の方向がＺ軸方向とされてい
る。
クルステージ１２０の下方に配置され、その光軸（照明
光学系の光軸ＡＸに一致）の方向がＺ軸方向とされてい
る。
【００７１】ウエハＷ上の露光領域ＩＡは照明領域ＩＡ
Ｒと共役な位置にある。
Ｒと共役な位置にある。
【００７２】ウエハＷはエアスライド要素部材４０の上
部に設けられたテーブル１５０上に載置されている。
部に設けられたテーブル１５０上に載置されている。
【００７３】上記露光装置では以下の手順で露光処理が
行われる。
行われる。
【００７４】まず、レチクルＲ、ウエハＷをそれぞれレ
チクルステージ１２０、ＸＹステージ１０に載置する。
チクルステージ１２０、ＸＹステージ１０に載置する。
【００７５】次に、アライメント等を行った後、露光を
行う。
行う。
【００７６】１つのショット領域に対するレチクルパタ
ーンの転写が終了すると、エアスライド要素部材４０を
駆動してテーブル１５０を１ショット分だけ移動させ、
露光を行う。
ーンの転写が終了すると、エアスライド要素部材４０を
駆動してテーブル１５０を１ショット分だけ移動させ、
露光を行う。
【００７７】上記動作を繰返してウエハＷ上に必要なシ
ョット数のパターンを転写する。
ョット数のパターンを転写する。
【００７８】
【発明の効果】以上に説明したようにこの発明によれ
ば、特性に優れ、しかも特性のバラツキが少ないエアパ
ッドを得ることができ、傾きや駆動時における微振動を
防止することができる。
ば、特性に優れ、しかも特性のバラツキが少ないエアパ
ッドを得ることができ、傾きや駆動時における微振動を
防止することができる。
【図１】図１はこの発明のエアパッドを備えるＸＹステ
ージの構成を示す斜視図である。
ージの構成を示す斜視図である。
【図２】図２は第２部材を斜め下方から見た斜視図であ
る。
る。
【図３】図３は図２のIII−III線に沿う断面図である。
【図４】図４（ａ）〜（ｄ）はこの発明のエアパッドの
一部を構成するオリフィスブッシュの断面図である。
一部を構成するオリフィスブッシュの断面図である。
【図５】図５（ａ）はこの発明のエアパッドと従来のエ
アパッドとの特性の比較を示す図、図５（ｂ）はこの発
明のエアパッドと従来のエアパッドとの特性のバラツキ
を示す図である。
アパッドとの特性の比較を示す図、図５（ｂ）はこの発
明のエアパッドと従来のエアパッドとの特性のバラツキ
を示す図である。
【図６】図６はオリフィスの他の形状を示すオリフィス
ブッシュの断面図である。
ブッシュの断面図である。
【図７】図７は露光装置を示す概念図である。
【図８】図８（ａ）〜（ｃ）は従来のエアパッドの一部
を構成するオリフィスブッシュの断面図である。
を構成するオリフィスブッシュの断面図である。
１０ ＸＹステージ（ステージ装置）
５０ エアパッド
５１ エアパッド本体
５３ 孔
６０，１６０，２６０，３６０ オリフィスブッシュ
６５，１６５，２６５，３６５ オリフィス
１００ 露光装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3J102 AA02 BA07 BA09 CA02 EA02
EA07 EA10 EA13 FA06 GA20
3J104 AA52 AA67 AA69 AA73 AA74
AA76 AA77 CA11 DA02 EA07
5F046 AA23 CC03 CC13
Claims (5)
- 【請求項１】 エアパッド本体と、このエアパッド本体
に形成され、圧縮流体を吐出させるオリフィスとを備え
ているエアパッドにおいて、 前記オリフィスの断面積は出口に向かって緩やかに絞ら
れることを特徴とするエアパッド。 - 【請求項２】 前記オリフィスは前記パッド本体と別体
のブッシュに形成され、このブッシュは前記パッド本体
に形成された孔に固定されることを特徴とする請求項１
記載のエアパッド。 - 【請求項３】 前記ブッシュは射出成形で製造されるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載のエアパッド。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３記載のエアパッドを
用いたことを特徴とするステージ装置。 - 【請求項５】 請求項４記載のステージ装置を備えてい
ることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002029011A JP2003232352A (ja) | 2002-02-06 | 2002-02-06 | エアパッド、このエアパッドを用いたステージ装置及びこのステージ装置を備える露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002029011A JP2003232352A (ja) | 2002-02-06 | 2002-02-06 | エアパッド、このエアパッドを用いたステージ装置及びこのステージ装置を備える露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003232352A true JP2003232352A (ja) | 2003-08-22 |
| JP2003232352A5 JP2003232352A5 (ja) | 2005-08-11 |
Family
ID=27773543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002029011A Pending JP2003232352A (ja) | 2002-02-06 | 2002-02-06 | エアパッド、このエアパッドを用いたステージ装置及びこのステージ装置を備える露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003232352A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005027206A1 (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-24 | Nikon Corporation | 定盤、ステージ装置及び露光装置 |
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| JP2009209962A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Nikon Corp | 流体軸受、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
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| JP2010155342A (ja) * | 2009-01-05 | 2010-07-15 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | エアガイド |
| CN110939655A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-03-31 | 天津航天机电设备研究所 | V型节流式重载静压气浮轴承 |
| WO2024090442A1 (ja) * | 2022-10-26 | 2024-05-02 | 京セラ株式会社 | 静圧気体軸受装置 |
-
2002
- 2002-02-06 JP JP2002029011A patent/JP2003232352A/ja active Pending
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| WO2024090442A1 (ja) * | 2022-10-26 | 2024-05-02 | 京セラ株式会社 | 静圧気体軸受装置 |
| JPWO2024090442A1 (ja) * | 2022-10-26 | 2024-05-02 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071106 |
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