JP2003240131A - 密封装置 - Google Patents

密封装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空状態を密封するのに良好な密封性を発揮
する密封装置を提供する。 【解決手段】 密封に必要な量の油膜の切れ難い潤滑剤
としての磁性流体１４を常に一対の磁石１２，１３の先
端間にわたって磁石１２，１３の磁気力によって保持す
ることができ、常にＯリング１１とシャフト２との間に
磁性流体１４による一定の油膜を形成し、真空状態を密
封するのに良好な密封性を発揮することができる。ま
た、往復運動に伴う摩耗粉やゴミの発生に対してこれら
の摩耗粉やゴミを磁性流体１４に捕捉することができ、
摩耗粉やゴミを除去できる機能をも発揮することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体等の真空業
界で使用される例えば真空シール等の真空状態を密封す
るための往復運動用の密封装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空領域にて使用されるチャンバ
に設けられた貫通孔と、この貫通孔を通って外部に延び
る往復運動シャフトと、の間に設けられる往復運動シャ
フト用の密封装置としては、簡易的には、図３に示すＯ
リングに潤滑剤としてグリースを塗布する形式や図４に
示すパッキン（形状は代表的なもの）等が用いられる。
【０００３】図３に示す密封装置３０１は、往復運動す
るシャフト３０２に摺動自在に密接するＯリング３１０
がハウジング３０３の環状溝に配置されている。そし
て、Ｏリング３１０とシャフト３０２との間を潤滑する
ようにシャフト３０２表面にグリース３１１が塗布され
ている。
【０００４】図４に示す密封装置４０１は、往復運動す
るシャフト４０２に摺動自在に密接するパッキン４１０
がハウジング４０３の環状溝に配置されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術の密封装置では、以下のような問題が生じてい
た。
【０００６】図３に示す密封装置３０１では、オイル潤
滑ではなく、グリース潤滑であるために油膜が切れ易
く、微少なリークが生じ易いものであり、またグリース
を使用して摺動するために摩耗粉やゴミが発生するとい
った問題があった。
【０００７】これを解消するため、オイル潤滑を行うに
しても、常に一定の油膜を維持するためにオイルを供給
することは不経済となってしまう。
【０００８】図４に示す密封装置４０１では、パッキン
４１０単体でのシール性では微少なリークが生じやす
く、真空シールとしては不向きであった。
【０００９】本発明は、上記した従来技術の課題を解決
するものであり、その目的とするところは、真空状態を
密封するのに良好な密封性を発揮する密封装置を提供す
ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明にあっては、往復運動する２部材間の環状隙間
を密封する密封装置であって、２部材のうちの一方に摺
動接触するシール部材と、該シール部材の軸方向両側に
配置されると共に２部材のうちの一方に先端を向けた一
対の磁力発生手段と、該一対の磁力発生手段の先端間に
わたって前記磁力発生手段の磁気力によって保持される
と共に前記シール部材と２部材のうちの一方との間に潤
滑剤として介在する磁性流体と、を備えたことを特徴と
する。
【００１１】したがって、密封に必要な量の油膜の切れ
難い潤滑剤としての磁性流体を常に一対の磁力発生手段
の先端間にわたって磁力発生手段の磁気力によって保持
することができ、常にシール部材と２部材のうちの一方
との間に磁性流体による一定の油膜を形成し、真空状態
を密封するのに良好な密封性を発揮することができる。
【００１２】また、摩耗粉やゴミの発生に対してこれら
の摩耗粉やゴミを磁性流体に捕捉することができ、摩耗
粉やゴミを除去できる機能をも発揮することができる。
【００１３】前記磁力発生手段は、先端を２部材のうち
の一方に摺動接触するリップ形状であることが好適であ
る。
【００１４】これにより、一対の磁力発生手段の先端間
にわたって磁力発生手段の磁気力によって保持された磁
性流体の流出を防止することができると共に、漏れた磁
性流体を一対の磁力発生手段の先端間に掻き寄せること
ができ、常にシール部材と２部材のうちの一方との間に
磁性流体による一定の油膜を形成することができる。
【００１５】前記磁力発生手段の先端のリップ形状は、
前記一対の磁力発生手段の対向する内向き側の傾斜角を
軸方向に対して大きな角に設けると共に前記一対の磁力
発生手段が互いに背く外向き側の傾斜角を軸方向に対し
て小さな角に設けたことが好適である。
【００１６】これにより、磁性流体が一対の磁力発生手
段の先端間にわたって磁力発生手段の磁気力によってよ
り保持し易くなり、一対の磁力発生手段の先端間からは
み出る磁性流体が微量となり、磁性流体の漏れを防止す
ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、この発明
の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、
材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載が
ない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣
旨のものではない。
【００１８】（第１の実施の形態）図１を用いて第１の
実施の形態を説明する。図１は第１の実施の形態に係る
密封装置を示す半断面図である。
【００１９】図１を用いて密封装置１０１の構成につい
て説明する。密封装置１０１は、往復運動するシャフト
２とハウジング３の間の環状隙間を密封するものであ
り、密封側が真空状態となっているものである。密封装
置１０１は、真空領域にて使用されるチャンバに設けら
れた貫通孔と、この貫通孔を通って外部に延びる往復運
動シャフト２と、の間に設けられる往復運動シャフト２
用のものである。
【００２０】密封装置１０１は、概略、シール部材とし
てのゴム状弾性体製のＯリング１１と、そのＯリング１
１の軸方向両側に配置された一対の磁力発生手段として
の磁石１２，１３と、一対の磁石１２，１３間にわたっ
てＯリング１１とシャフト２との間に潤滑剤として保持
された磁性流体１４と、を備える構成である。
【００２１】Ｏリング１１は、磁石１２，１３に軸方向
に挟まれてハウジング３の環状溝３ａに嵌め込まれたリ
ング部材１５の内周溝１５ａに装着されている。そし
て、Ｏリング１１の内周側がシャフト２表面に摺動接触
する。
【００２２】一対の磁石１２，１３は、Ｏリング１１が
装着されたリング部材１５を軸方向に挟んでハウジング
３の環状溝３ａに嵌め込まれている。この磁石１２，１
３は、ゴム状弾性体製であり、いわゆるゴム磁石であ
る。
【００２３】一対の磁石１２，１３は、Ｏリング１１が
摺動接触するシャフト２に向かっている。そして、一対
の磁石１２，１３の先端がシャフト２に摺動接触するリ
ップ形状となっている。
【００２４】磁石１２，１３の先端のリップ形状は、一
対の磁石１２，１３の対向する内向き側の傾斜角を軸方
向に対して大きな角に設けると共に一対の磁石１２，１
３が互いに背く外向き側の傾斜角を軸方向に対して小さ
な角に設けている。
【００２５】そして、磁性流体１４が一対の磁石１２，
１３の先端間にわたってＯリング１１とシャフト２表面
との間を潤滑するように介在している。そして、磁石１
２，１３の磁気力によって一対の磁石１２，１３の先端
間にわたって保持されている。
【００２６】磁性流体１４は、一般的には、Ｆｅ3Ｏ4等
の微粒子を油，水，有機溶媒等の中にコロイド状に分散
させたものを用いる。なお、本実施の形態の磁性流体１
４ではオイル潤滑を行うため、Ｆｅ3Ｏ4等の微粒子を油
の中にコロイド状に分散させたものを用いる。
【００２７】以上の構成の密封装置１０１では、密封に
必要な量の油膜の切れ難い潤滑剤としての磁性流体１４
を常に一対の磁石１２，１３の先端間にわたって磁石１
２，１３の磁気力によって保持することができ、常にＯ
リング１１とシャフト２との間に磁性流体１４による一
定の油膜を形成し、真空状態を密封するのに良好な密封
性を発揮することができる。
【００２８】また、往復運動に伴う摩耗粉やゴミの発生
に対してこれらの摩耗粉やゴミを磁性流体１４に捕捉す
ることができ、摩耗粉やゴミを除去できる機能をも発揮
することができる。
【００２９】ここで、磁石１２，１３は、先端をシャフ
ト２に摺動接触するリップ形状であることで、一対の磁
石１２，１３の先端間にわたって磁石１２，１３の磁気
力によって保持された磁性流体１４の流出を防止するこ
とができると共に、漏れた磁性流体１４を一対の磁石１
２，１３の先端間に掻き寄せることができ、常にＯリン
グ１１とシャフト２との間に磁性流体１４による一定の
油膜を形成することができる。
【００３０】さらに、磁石１２，１３の先端のリップ形
状は、一対の磁石１２，１３の対向する内向き側の傾斜
角を軸方向に対して大きな角に設けると共に一対の磁石
１２，１３が互いに背く外向き側の傾斜角を軸方向に対
して小さな角に設けたことで、磁性流体１４が一対の磁
石１２，１３の先端間にわたって磁石１２，１３の磁気
力によってより保持し易くなり、一対の磁石１２，１３
の先端間からはみ出る磁性流体１４が微量となり、磁性
流体１４の漏れを防止することができる。
【００３１】（第２の実施の形態）図２は第２の実施の
形態に係る密封装置を示す半断面図である。
【００３２】本実施の形態の密封装置２０１では、第１
の実施の形態での構成をより簡略化した構成であり、リ
ング部材はなく、一対の磁石１２，１３間にＯリング１
１を配置しただけの構成である。
【００３３】このような構成であっても、第１の実施の
形態と同様に本発明の効果を得ることができる。
【００３４】なお、上記実施の形態では、シャフト２が
往復運動する場合について説明したが、逆にハウジング
３側が往復運動する場合にも本発明を適用できる。ま
た、上記実施の形態では、ハウジング３側に密封装置が
固定配置される構成であったが、シャフト２側に密封装
置が固定配置され、ハウジング３表面に摺動接触するよ
うな構成も本発明の範囲に含まれる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、密封に必
要な量の油膜の切れ難い潤滑剤としての磁性流体を常に
一対の磁力発生手段の先端間にわたって磁力発生手段の
磁気力によって保持することができ、常にシール部材と
２部材のうちの一方との間に磁性流体による一定の油膜
を形成し、真空状態を密封するのに良好な密封性を発揮
することができる。
【００３６】また、摩耗粉やゴミの発生に対してこれら
の摩耗粉やゴミを磁性流体に捕捉することができ、摩耗
粉やゴミを除去できる機能をも発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る密封装置を示す半断面
図である。
【図２】第２の実施の形態に係る密封装置を示す半断面
図である。
【図３】従来技術の密封装置を示す半断面図である。
【図４】従来技術の密封装置を示す半断面図である。
【符号の説明】
２ シャフト ３ ハウジング ３ａ 環状溝 １１ Ｏリング １２，１３ 磁石 １４ 磁性流体 １５ リング部材 １５ａ 内周溝 １０１ 密封装置 ２０１ 密封装置

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】往復運動する２部材間の環状隙間を密封す
    る密封装置であって、 ２部材のうちの一方に摺動接触するシール部材と、 該シール部材の軸方向両側に配置されると共に２部材の
    うちの一方に先端を向けた一対の磁力発生手段と、 該一対の磁力発生手段の先端間にわたって前記磁力発生
    手段の磁気力によって保持されると共に前記シール部材
    と２部材のうちの一方との間に潤滑剤として介在する磁
    性流体と、を備えたことを特徴とする密封装置。
  2. 【請求項２】前記磁力発生手段は、先端を２部材のうち
    の一方に摺動接触するリップ形状であることを特徴とす
    る請求項１に記載の密封装置。
  3. 【請求項３】前記磁力発生手段の先端のリップ形状は、
    前記一対の磁力発生手段の対向する内向き側の傾斜角を
    軸方向に対して大きな角に設けると共に前記一対の磁力
    発生手段が互いに背く外向き側の傾斜角を軸方向に対し
    て小さな角に設けたことを特徴とする請求項２に記載の
    密封装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005106206A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Kuroda Precision Ind Ltd 真空用油圧ショックアブソーバ
WO2010004935A1 (ja) * 2008-07-07 2010-01-14 イーグル工業株式会社 シール装置
WO2011036920A1 (ja) * 2009-09-24 2011-03-31 イーグル工業株式会社 シール装置
WO2012086320A1 (ja) * 2010-12-23 2012-06-28 イーグル工業株式会社 磁性流体を利用したシール装置
GB2500873A (en) * 2012-03-22 2013-10-09 Corac Energy Technologies Ltd Pipeline compression system
CN112682514A (zh) * 2021-03-22 2021-04-20 上海鑫蓝海自动化科技有限公司 轴向磁流体动密封结构

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005106206A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Kuroda Precision Ind Ltd 真空用油圧ショックアブソーバ
WO2010004935A1 (ja) * 2008-07-07 2010-01-14 イーグル工業株式会社 シール装置
JPWO2010004935A1 (ja) * 2008-07-07 2012-01-05 イーグル工業株式会社 シール装置
US8328199B2 (en) 2009-09-24 2012-12-11 Eagle Industry Co., Ltd. Seal device
WO2011036920A1 (ja) * 2009-09-24 2011-03-31 イーグル工業株式会社 シール装置
CN103180643A (zh) * 2010-12-23 2013-06-26 伊格尔工业股份有限公司 利用了磁性流体的密封装置
WO2012086320A1 (ja) * 2010-12-23 2012-06-28 イーグル工業株式会社 磁性流体を利用したシール装置
CN103180643B (zh) * 2010-12-23 2015-03-25 伊格尔工业股份有限公司 利用了磁性流体的密封装置
JP5748155B2 (ja) * 2010-12-23 2015-07-15 イーグル工業株式会社 磁性流体を利用したシール装置
US9845889B2 (en) 2010-12-23 2017-12-19 Eagle Industry Co., Ltd. Magnetic fluid seal device
GB2500873A (en) * 2012-03-22 2013-10-09 Corac Energy Technologies Ltd Pipeline compression system
CN112682514A (zh) * 2021-03-22 2021-04-20 上海鑫蓝海自动化科技有限公司 轴向磁流体动密封结构
CN112682514B (zh) * 2021-03-22 2021-06-22 上海鑫蓝海自动化科技有限公司 轴向磁流体动密封结构

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