JP2003249088A - チャージポンプ回路 - Google Patents

チャージポンプ回路

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JP2003249088A JP2002339892A JP2002339892A JP2003249088A JP 2003249088 A JP2003249088 A JP 2003249088A JP 2002339892 A JP2002339892 A JP 2002339892A JP 2002339892 A JP2002339892 A JP 2002339892A JP 2003249088 A JP2003249088 A JP 2003249088A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボディエフェクトの影響を防ぐチャージポン
プ回路を提供する。 【解決手段】 カスケードの形式で互いに接続する複数
の駆動素子は、入力端と、出力端と、第一ノードと、第
二ノードと、第一ノードに接続される第一キャパシター
と、出力端に接続される第二キャパシターと、第一トラ
ンジスターと、第二トランジスターと、第三トランジス
ターとを含んでなり、第一トランジスターは第二ノード
に接続される基板と、出力端に接続されるゲートと、入
力端に接続されるドレインと、第一ノードに接続される
ソースとを具え、第二トランジスターは第二ノードに接
続される基板と、第一ノードに接続されるゲートと、入
力端に接続されるドレインと、出力端に接続されるソー
スとを具え、第三トランジスターは第二ノードに接続さ
れる基板と、第一ノードに接続されるゲートと、第二ノ
ードに接続されるソースと、出力端に接続されるドレイ
ンとを具える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、チャージポンプ
回路に関し、特にボディエフェクトの影響を除くチャー
ジポンプ回路に関する。
【0002】
【従来の技術】図1に従来のイーピーロム(erasable a
nd programmable read-only memory:EPROMと称す
る)10の構造を開示する。図1によれば、イーピーロ
ム10は基板12と、ソース14と、ドレイン16と、
フローティングゲート18と、及びコントロールゲート
20とを含んでなる。フローティングゲート18と基板
12は酸化層24によって隔離され、基板12が参考電
圧Vbbに接続される(一般には該参考電圧を接地電圧
にする)。例えば、イーピーロム10はN型金属酸化膜
半導体(NMOS)構造であれば、基板12がP型ドー
ピング領域となり、ソース14とドレイン16がN型ド
ーピング領域となる。逆に、もしイーピーロム10はP
型金属酸化膜半導体(PMOS)構造であれば、基板1
2がN型ドーピング領域となり、ソース14とドレイン
16がP型ドーピング領域となる。
【0003】イーピーロム10の原理を以下に詳述す
る。コントロールゲート20に入力される制御電圧Vc
gはフローティングゲート18に貯蔵された電子の数を
変更でき、よって、チャネル22を生成することに必要
な閾値電圧を変更できる。したがって、読み取る場合
に、イーピーロム10はフローティングゲート18に貯
蔵された電子の数によって二種類の状態に分けられる。
即ち、チャネル22にある電子が、駆動されて酸化層2
4を介してフローティングゲート18に至り、フローテ
ィングゲート18に貯蔵された電子の数を変更する。よ
って、イーピーロム10のソース14とドレイン16と
を導通させるために、コントロールゲート20に制御電
圧Vcgを入力してフローティングゲート18のチャネ
ル22に与える影響を修正し、そしてソース14とドレ
イン16との間に流れる電流を検出して、制御電圧Vc
gの印加においてイーピーロム10が表わす状態が、
“1”か“0”かを判定する。
【0004】イーピーロム10に対してプログラムを行
うために、コントロールゲート20に10Vの制御電圧
Vcgを入力し、ドレイン16に5Vの電圧Vdを入力
し、かつソース14に接地電圧Vsを入力する。電子が
チャネル22を経由してソース14からドレイン16へ
移動する時、コントロールゲート20とソース14との
間に生成する電場と、ソース14とドレイン16との間
に生成する電場により電子がフローティングゲート18
に引きよせられる。逆に、イーピーロム10に対してデ
ータの消去を行うために、コントロールゲート20に−
10Vの制御電圧Vcgを入力し、ソース14に5Vの
電圧Vsを入力し、かつドレイン16をフローティング
する。コントロールゲート20がマイナス電圧であっ
て、ソース14がプラス電圧であるので、コントロール
ゲート20とソース14との間に生成する電場はフロー
ティングゲート18にある電子を駆動させてソース14
へ引き寄せ、データの消去の効果を達成する。
【0005】近年、ポータブル電子製品のニーズの増加
に従って、イーピーロム10の技術が進歩し、マーケッ
トでの需要も増加しつつある。フラッシュメモリは、そ
の例の一つである。ポータブル電子製品は使用時間を延
長するために、一般的に低操作電圧によって(例えば
3.3V、もしくは5V)作動する。なお、上述のよう
に、データの消去とプログラムの過程にそれぞれコント
ロールゲート20に−10Vと10Vの制御電圧Vcg
を入力するために、イーピーロム10にはチャージポン
プ回路が使用され、該低操作電圧を用いてデータの消去
とプログラムに必要な制御電圧Vcgを生成する。
【0006】図2に、図1によるイーピーロム10の駆
動回路30を開示する。図2によれば、駆動回路30が
メモリアレイ32と、クロックジェネレーター34と、
プラスチャージポンプ回路36と、マイナスチャージポ
ンプ回路38と、アドレスデコーダー40とを含んでな
る。メモリアレイ32は、メモリアレイ32内に配列さ
れた複数のメモリセル42を具え、アドレスデコーダー
40によってメモリアレイ32のそれぞれのメモリセル
42を処理する。駆動回路30は、電源供給手段43に
よって必要な操作電圧Vddを提供するため、もし操作
電圧Vddは低電圧レベル(例えば3.3V)であれ
ば、操作電圧Vddによってメモリセル42に対してデ
ータの消去とプログラムを行うことができなくなる。従
って、プラスチャージポンプ回路36によってメモリセ
ル42をプログラムする必要なプラス電圧(例えば10
V)を提供し、マイナスチャージポンプ回路38によっ
てメモリセル42内のデータを消去するために必要なマ
イナス電圧(例えば−10V)を提供することにする。
また、プラスチャージポンプ回路36とマイナスチャー
ジポンプ回路38との操作を制御するために、クロック
ジェネレーター34によって非重合(non-overlappin
g)クロック信号が生成され、プラスチャージポンプ回
路36とマイナスチャージポンプ回路38とが駆動され
る。その原理を以下に詳述する。
【0007】図3に、図2によるプラスチャージポンプ
回路36を開示する。図4に、図2によるクロックジェ
ネレーター34のクロック信号を開示する。図3、4に
よれば、プラスチャージポンプ回路36は複数のトラン
ジスター44、46、48、50、52と、複数のキャ
パシター54、56、58、60、62とを含んでな
り、トランジスター44、46、48、50、52が金
属酸化膜半導体(MOSと称する)トランジスターであ
る。クロックジェネレーター34はキャパシター54、
58に入力される第一クロック64と、キャパシター5
6、60に入力される第二クロック66とを生成し、か
つ第一クロック64の高低電圧レベルの電圧差および第
二クロック66の高低電圧レベルの電圧差が、プラスチ
ャージポンプ回路36の操作電圧Vddと同じ大きさを
持つ。図4に開示するように、時刻t0において、トラ
ンジスター44が導通して操作電圧Vddによってキャ
パシター54に対して充電する。トランジスター44が
出力電圧で電圧降下Vtを発生するため、エンドポイン
トAの電圧は(Vdd−Vt)となる。
【0008】時刻t1において、第一クロック64は振
幅がVddであるパルスを発生し、第二クロック66は
低電圧レベルであるため、エンドポイントAの電圧は
(2Vdd−Vt)となる。よって、トランジスター4
6が導通してエンドポイントAの電圧(2Vdd−V
t)によってキャパシター56に対して充電すると、エ
ンドポイントBの電圧は(2Vdd−2Vt)となる。
このように、最後にエンドポイントCの電圧は(5Vd
d−5Vt)となり、操作電圧Vddより大きい電圧
(5Vdd−5Vt)を得ることができる。
【0009】但し、一般的には、トランジスター44、
46、48、50、52の基板(substrate)(即ちボ
ディである)は接地電圧に接続され、トランジスター4
4、46、48、50、52のボディとソースとの間に
電圧差によってボディエフェクトが起こる。よって、ト
ランジスター44、46、48、50、52が導通する
時に出力電圧の電圧降下が(Vt+dV)に増加する。
ここにdVは、ボディエフェクトによるVtの増加量で
ある。このため、キャパシター54、56、58、6
0、62の両端を跨ぐ電圧差が徐々に上昇する時に、ボ
ディとソースとの間の電圧差もそれに従って増加する。
よって、トランジスター44、46、48、50、52
が導通する時の出力電圧で発生する有効電圧上昇が減
り、ボディエフェクトによって出力電圧に対して悪い影
響を与える。即ち、電圧を上昇させる過程に、ボディエ
フェクトによって実際に電圧上昇の効率が低い。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は、上
記の問題点を解決し、ボディエフェクトの影響を防ぎ、
電圧上昇の効率を改善できるチャージポンプ回路を提供
することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は従来
の技術に見られる欠点に鑑み鋭意研究を重ねた結果、カ
スケードの形式で互いに接続する複数の駆動素子を含む
チャージポンプ回路であって、前記駆動素子は、入力端
と、出力端と、第一ノードと、第二ノードと、前記第一
ノードに接続される第一キャパシターと、前記出力端に
接続される第二キャパシターと、第一トランジスター
と、第二トランジスターと、第三トランジスターとを含
んでなり、前記第一トランジスターは、前記第二ノード
に接続される基板と、前記出力端に接続されるゲート
と、前記入力端に接続されるドレインと、前記第一ノー
ドに接続されるソースとを具え、前記第二トランジスタ
ーは、前記第二ノードに接続される基板と、前記第一ノ
ードに接続されるゲートと、前記入力端に接続されるド
レインと、前記出力端に接続されるソースとを具え、前
記第三トランジスターは、前記第二ノードに接続される
基板と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記第
二ノードに接続されるソースと、前記出力端に接続され
るドレインとを具える構造によって課題を解決できる点
に着眼し、かかる知見に基づいて本発明を完成させた。
【0012】また、前記駆動素子は、第一期間におい
て、前記第一トランジスターがターンオンして前記第一
ノードの電圧レベルを前記入力端の電圧レベルに近づ
け、第二期間において、前記第一トランジスターがター
ンオフとなり、第三期間において、前記第二トランジス
ターがターンオンして前記出力端の電圧レベルを前記入
力端の電圧レベルに近づけ、かつ前記第三トランジスタ
ーがターンオンして前記第二ノードと前記出力端との電
圧レベルを同じレベルに近づけ、そして第四期間におい
て、前記第二トランジスターと前記第三トランジスター
がターンオフとなることによって、この発明の課題であ
るボディエフェクトの影響を防ぐチャージポンプ回路が
得られる。
【0013】以下、本発明について具体的に説明する。
【0014】請求項1に記載のチャージポンプ回路は、
カスケードの形式で互いに接続する複数の駆動素子を含
むチャージポンプ回路であって、前記駆動素子は、入力
端と、出力端と、第一ノードと、第二ノードと、前記第
一ノードに接続される第一キャパシターと、前記出力端
に接続される第二キャパシターと、第一トランジスター
と、第二トランジスターと、第三トランジスターとを含
んでなり、前記第一トランジスターは、前記第二ノード
に接続される基板と、前記出力端に接続されるゲート
と、前記入力端に接続されるドレインと、前記第一ノー
ドに接続されるソースとを具え、前記第二トランジスタ
ーは、前記第二ノードに接続される基板と、前記第一ノ
ードに接続されるゲートと、前記入力端に接続されるド
レインと、前記出力端に接続されるソースとを具え、前
記第三トランジスターは、前記第二ノードに接続される
基板と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記第
二ノードに接続されるソースと、前記出力端に接続され
るドレインとを具える。
【0015】請求項2に記載のチャージポンプ回路は、
請求項1におけるチャージポンプ回路が、クロックジェ
ネレーターを更に含み、前記クロックジェネレーター
は、前記第一及び第二キャパシターに接続し、クロック
信号を発生して前記第一と第二キャパシターに入力する
ことによって、次第に前記駆動素子を駆動する。
【0016】請求項3に記載のチャージポンプ回路は、
請求項1における駆動素子が、第一期間において、前記
第一トランジスターがターンオンして前記第一ノードの
電圧レベルを前記入力端の電圧レベルに近づける。
【0017】請求項4に記載のチャージポンプ回路は、
請求項3における駆動素子が、前記第一期間の後の第二
期間において、前記第一トランジスターがターンオフと
なる。
【0018】請求項5に記載のチャージポンプ回路は、
請求項4における駆動素子が、前記第二期間の後の第三
期間において、前記第二トランジスターがターンオンし
て前記出力端の電圧レベルを前記入力端の電圧レベルに
近づけ、かつ前記第三トランジスターがターンオンして
前記第二ノードと前記出力端との電圧レベルを同じレベ
ルに近づける。
【0019】請求項6に記載のチャージポンプ回路は、
請求項5における駆動素子が、前記第三期間の後の第四
期間において、前記第二トランジスターと前記第三トラ
ンジスターがターンオフとなる。
【0020】請求項7に記載のチャージポンプ回路は、
請求項6における第一、第二、第三、及び第四期間にお
いて、前記駆動素子に接続する隣接の駆動素子の第二ト
ランジスターがターンオフとなる。
【0021】請求項8に記載のチャージポンプ回路は、
請求項1におけるトランジスターが、P型金属酸化膜半
導体トランジスターである。
【0022】請求項9に記載のチャージポンプ回路は、
請求項1におけるトランジスターが、N型金属酸化膜半
導体トランジスターである。
【0023】請求項10に記載のチャージポンプ回路
は、請求項1におけるトランジスターが、三重ウェルの
構造を具える。
【0024】請求項11に記載のチャージポンプ回路
は、請求項1におけるチャージポンプ回路が、前記複数
の駆動素子の前端に接続する入力素子を更に具え、前記
入力素子は、入力端と、前記駆動素子の入力端に接続さ
れる出力端と、第一ノードと、第二ノードと、前記第一
ノードに接続される第一キャパシターと、前記出力端に
接続される第二キャパシターと、第一トランジスター
と、第二トランジスターと、第三トランジスターとを含
んでなり、前記第一トランジスターは、電圧レベルに接
続される基板と、前記出力端に接続されるゲートと、前
記入力端に接続されるドレインと、前記第一ノードに接
続されるソースとを具え、前記第二トランジスターは、
前記第二ノードに接続される基板と、前記第一ノードに
接続されるゲートと、前記入力端に接続されるドレイン
と、前記出力端に接続されるソースとを具え、前記第三
トランジスターは、前記第二ノードに接続される基板
と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記第二ノ
ードに接続されるソースと、前記出力端に接続されるド
レインとを具える。
【0025】請求項12に記載のチャージポンプ回路
は、請求項1におけるチャージポンプ回路が、前記複数
の駆動素子の後端に接続する出力素子を更に具え、前記
出力素子は、前記駆動素子の出力端に接続される入力端
と、出力端と、前記入力端に接続される第一キャパシタ
ーと、前記出力端に接続される第二キャパシターと、第
一トランジスターと、第二トランジスターとを含んでな
り、前記第一トランジスターは、基板と、前記入力端に
接続されるゲートと、前記入力端に接続されるドレイン
と、前記出力端に接続されるソースとを具え、前記第二
トランジスターは、前記第一トランジスターの基板に接
続される基板と、前記第一トランジスターのゲートに接
続されるゲートと、前記第一トランジスターの基板に接
続されるソースと、前記出力端に接続されるドレインと
を具える。
【0026】請求項13に記載のチャージポンプ回路
は、カスケードの形式で互いに接続する複数の駆動素子
を含むチャージポンプ回路であって、前記駆動素子は入
力端と、出力端と、第一ノードと、第二ノードと、前記
第一ノードに接続される第一キャパシターと、前記出力
端に接続される第二キャパシターと、第一トランジスタ
ーと、第二トランジスターと、第三トランジスターとを
含んでなり、前記第一トランジスターは、前記第二ノー
ドに接続される基板と、前記出力端に接続されるゲート
と、前記入力端に接続されるドレインと、前記第一ノー
ドに接続されるソースとを具え、前記第二トランジスタ
ーは、前記第二ノードに接続される基板と、前記第一ノ
ードに接続されるゲートと、前記入力端に接続されるド
レインと、前記出力端に接続されるソースとを具え、前
記第三トランジスターは、前記第二ノードに接続される
基板と、前記入力端に接続されるゲートと、前記第二ノ
ードに接続されるソースと、前記出力端に接続されるド
レインとを具える。
【0027】請求項14に記載のチャージポンプ回路
は、請求項13におけるチャージポンプ回路が、クロッ
クジェネレーターを更に含み、前記クロックジェネレー
ターは、前記第一及び第二キャパシターに接続し、クロ
ック信号を発生して前記第一と第二キャパシターに入力
することによって、次第に前記駆動素子を駆動する。
【0028】請求項15に記載のチャージポンプ回路
は、請求項13における駆動素子が、第一期間におい
て、前記駆動素子の第一トランジスターがターンオンし
て前記第一ノードの電圧レベルを前記入力端の電圧レベ
ルに近づける。
【0029】請求項16に記載のチャージポンプ回路
は、請求項15における駆動素子が、前記第一期間の後
の第二期間において、前記第一トランジスターがターン
オフとなる。
【0030】請求項17に記載のチャージポンプ回路
は、請求項16における駆動素子が、前記第二期間の後
の第三期間において、前記第二トランジスターがターン
オンして前記出力端の電圧レベルを前記入力端の電圧レ
ベルに近づけ、かつ前記第三トランジスターがターンオ
ンして前記第二ノードと前記出力端との電圧レベルを同
じレベルに近づける。
【0031】請求項18に記載のチャージポンプ回路
は、請求項17における駆動素子が、前記第三期間の後
の第四期間において、前記第二トランジスターと前記第
三トランジスターがターンオフとなる。
【0032】請求項19に記載のチャージポンプ回路
は、請求項18における第一、第二、第三、及び第四期
間において、前記駆動素子に接続する隣接の駆動素子の
第二トランジスターがターンオフとなる。
【0033】請求項20に記載のチャージポンプ回路
は、請求項13におけるトランジスターが、P型金属酸
化膜半導体トランジスターである。
【0034】請求項21に記載のチャージポンプ回路
は、請求項13におけるトランジスターが、N型金属酸
化膜半導体トランジスターである。
【0035】請求項22に記載のチャージポンプ回路
は、請求項13におけるトランジスターが、三重ウェル
の構造を具える。
【0036】請求項23に記載のチャージポンプ回路
は、請求項13におけるチャージポンプ回路が、前記複
数の駆動素子の前端に接続する入力素子を更に具え、前
記入力素子は、入力端と、前記駆動素子の入力端に接続
される出力端と、第一ノードと、第二ノードと、前記第
一ノードに接続される第一キャパシターと、前記出力端
に接続される第二キャパシターと、第一トランジスター
と、第二トランジスターと、第三トランジスターとを含
んでなり、前記第一トランジスターは、電圧レベルに接
続される基板と、前記出力端に接続されるゲートと、前
記入力端に接続されるドレインと、前記第一ノードに接
続されるソースとを具え、前記第二トランジスターは、
前記第二ノードに接続される基板と、前記第一ノードに
接続されるゲートと、前記入力端に接続されるドレイン
と、前記出力端に接続されるソースとを具え、前記第三
トランジスターは、前記第二ノードに接続される基板
と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記第二ノ
ードに接続されるソースと、前記出力端に接続されるド
レインとを具える。
【0037】請求項24に記載のチャージポンプ回路
は、請求項13におけるチャージポンプ回路が、前記複
数の駆動素子の後端に接続する出力素子を更に具え、前
記出力素子は前記駆動素子の一の出力端に接続される入
力端と、出力端と、前記入力端に接続される第一キャパ
シターと、前記出力端に接続される第二キャパシター
と、第一トランジスターと、第二トランジスターとを含
んでなり、前記第一トランジスターは、基板と、前記入
力端に接続されるゲートと、前記入力端に接続されるド
レインと、前記出力端に接続されるソースとを具え、前
記第二トランジスターは、前記第一トランジスターの基
板に接続される基板と、前記第一トランジスターのゲー
トに接続されるゲートと、前記第一トランジスターの基
板に接続されるソースと、前記出力端に接続されるドレ
インとを具える。
【0038】
【発明の実施の形態】この発明は、ボディエフェクトの
影響を除くチャージポンプ回路を提供するものであっ
て、前記駆動素子は、入力端と、出力端と、第一ノード
と、第二ノードと、前記第一ノードに接続される第一キ
ャパシターと、前記出力端に接続される第二キャパシタ
ーと、第一トランジスターと、第二トランジスターと、
第三トランジスターとを含んでなる。
【0039】かかるチャージポンプ回路の構造と特徴を
詳述するために、具体的な実施例を挙げ、図示を参照に
して以下に説明する。
【0040】(第1の実施例)図5に本発明による第1
実施例のチャージポンプ回路80を開示する。図6に、
図5におけるチャージポンプ回路80のタイムシーケン
スを開示する。チャージポンプ回路80は、より高いマ
イナス電圧を提供することに用いられ、入力回路81
と、複数の駆動素子82a、82bと、および出力回路
83とを含んでなる。駆動素子82a、82bはカスケ
ードの方式で互いに接続され、かつ駆動素子82a、8
2bは同様の回路である。即ち、駆動素子82a、82
bは同様のデバイスを含むだけでなく、そのデバイスも
同様な形式で接続される。以下、関連技術の開示に影響
を与えないことを前提として説明するために、二つの駆
動素子82a、82bのみ開示する。
【0041】駆動素子82aは、複数のキャパシター9
0、92と、複数のトランジスター94、96、98と
を含んでなる。駆動素子82bは、複数のキャパシター
91、93と、複数のトランジスター95、97、99
とを含んでなる。駆動素子82aにあるトランジスター
94、96、98はP型金属酸化膜半導体(PMOS)
トランジスターであり、トランジスター94のボディが
エンドポイントYに、ゲートがエンドポイントZに、ド
レインがエンドポイントWに、そしてソースがエンドポ
イントXに接続される。トランジスター96のボディが
エンドポイントYに、ゲートがエンドポイントXに、ド
レインがエンドポイントWに、そしてソースがエンドポ
イントZに接続される。トランジスター98のボディが
エンドポイントYに、ゲートがエンドポイントXに、ソ
ースがエンドポイントYに、そしてドレインがエンドポ
イントZに接続される。
【0042】更に、クロックジェネレーター84は第一
クロック85と、第二クロック86と、第三クロック8
7と、および第四クロック88とを発生し、それぞれ駆
動素子82a、82bに入力させる。図6に開示するよ
うに、第一クロック85と、第二クロック86と、第三
クロック87と、および第四クロック88は同一の時刻
点で一つだけ電圧レベルの変化が発生する。例えば、こ
の実施例において、クロックジェネレーター84の発生
するクロック信号の振幅は操作電圧Vddと同じ大きさ
を持つ。時刻t0において、第一クロック85だけ電圧
レベル大きさVddの変化が発生する。時刻t1におい
て、第三クロック87だけ電圧レベル大きさVddの変
化が発生する。よって、クロックジェネレーター84は
同一の時刻点で複数のクロック信号に電圧レベルの変化
を発生させない。
【0043】ここで注意すべき点は、チャージポンプ回
路80が動作し始める前に、チャージポンプ回路80の
トランジスターが自身の構造によるP型ドーピング領域
とN型ドーピング領域との間の順バイアスによって導通
することを防ぐために、各々のトランジスターのボディ
に操作電圧Vddを入力して上述の現象を避ける点であ
る。更に、この実施例において、駆動素子82a、82
bのトランジスター94、95、96、97、98、9
9は三重ウェル(triple well)の形式で構成する。チ
ャージポンプ回路80に関する作動を以下に詳述する。
【0044】仮に入力回路81によって駆動素子82a
のエンドポイントWに発生する電圧レベルがV0であ
り、かつクロックジェネレーター84が出力した高電圧
レベルと低電圧レベルとの間の電圧差は操作電圧Vdd
と同じ大きさを持つ。時刻t0において、第一クロック
85は高電圧レベルから降下し、よってエンドポイント
Wの電圧レベルが操作電圧Vddの大きさで降下して
(V0−Vdd)となる。この時に第三クロック87は
低電圧レベルであって、第四クロック88は高電圧レベ
ルである。よって、トランジスター96がターンオフし
て、トランジスター94がターンオンする。トランジス
ター94のターンオンに従って、エンドポイントXの電
圧レベルを降下させキャパシター90により多いマイナ
ス電荷を貯蔵させる。かつトランジスター94のボディ
がエンドポイントYに接続するため、トランジスター9
4がボディエフェクトにほとんど影響されることはな
い。
【0045】時刻t1において、第三クロック87が低
電圧レベルから高電圧レベルに上昇し、よってトランジ
スター94がターンオフしてかつエンドポイントZの電
圧レベルがVddを増加する。そして時刻t2におい
て、第四クロック88が高電圧レベルから低電圧レベル
に降下する。キャパシター90がより多いマイナス電荷
を貯蔵するため、エンドポイントXの電圧レベルがVd
dを降下した後、その電圧レベルの降下によってトラン
ジスター98がターンオンとなる。トランジスター98
がターンオンとなると、エンドポイントYの電圧レベル
はエンドポイントZの電圧レベルに従って変動する。例
えば、エンドポイントZの電圧レベルが上昇すると、エ
ンドポイントYの電圧レベルもトランジスター98のタ
ーンオンによってエンドポイントZの電圧レベルに従っ
て更に上昇する。このため、トランジスター96にとっ
て、トランジスター98のターンオンがトランジスター
96のボディとソースを同じ電圧レベルに近づき、更に
ボディエフェクトによるトランジスター96の閾値電圧
に対する影響を減らすことができる。
【0046】よって、時刻t2から時刻t3までの時間
に、トランジスター96がターンオンするのみならず、
トランジスター96のゲートとソースとの間の電圧差が
増加してより大きい電流を伝送できる。よって、プラス
電荷はトランジスター96を介してエンドポイントZか
らエンドポイントへ移動し、そしてキャパシター92は
より多いマイナス電荷を貯蔵する。更に、エンドポイン
トXの電圧レベルは時刻t2から時刻t3までの時間に
おいて、少なくともVtの電圧差でエンドポイントW、
Zの電圧レベルより低いため、エンドポイントWの電圧
レベルに閾値電圧Vtの影響が消去され、エンドポイン
トWの電圧レベルが(V0−Vdd)に近づく。そして
時刻t3において、第四クロック88は低電圧レベルか
ら高電圧レベルに上昇し、よってエンドポイントXの電
圧レベルがVddを増加してトランジスター96をター
ンオフさせる。
【0047】上述のとおり、駆動素子82a、82bは
カスケードの形式で互いに接続され、駆動素子82aは
第一段(first stage)回路であって、駆動素子82b
は第二段(second stage)回路である。駆動素子82b
は駆動素子82aのエンドポイントZで出力する信号に
対して次段階の処理を行って用いられる。時刻t4にお
いて、第三クロック87は高電圧レベルから低電圧レベ
ルに降下し、エンドポイントZの電圧レベルが(V0−
2Vdd)に近づく。この時、第一クロック85は低電
圧レベルであって第二クロック86は高電圧レベルであ
り、よってトランジスター97がターンオフしてトラン
ジスター95がターンオンする。トランジスター95が
ターンオンするため、エンドポイントSの電圧レベルが
降下してキャパシター91により多いマイナス電荷を貯
蔵させる。そしてトランジスター95のボディはエンド
ポイントTに接続するので、トランジスター95に対す
るボディエフェクトの影響が低い。時刻t5において、
第一クロック85は低電圧レベルから高電圧レベルに上
昇するため、トランジスター95がターンオフしてエン
ドポイントRの電圧レベルはVddを増加する。時刻t
6において、第二クロック86は高電圧レベルから低電
圧レベルに降下し、キャパシター91がより多い電荷を
貯蔵するため、エンドポイントSの電圧レベルがVdd
を降下することによってトランジスター99がターンオ
ンする。トランジスター99がターンオンすると、エン
ドポイントTの電圧レベルがエンドポイントRの電圧レ
ベルに従って変動する。このため、トランジスター97
において、トランジスター99のターンオンにより、ト
ランジスター97のボディとソースとを同じ電圧レベル
に近づけると、更にトランジスター97の閾値電圧Vt
に対するボディエフェクトの影響が減少する。よって、
トランジスター97がターンオンするのみならず、トラ
ンジスター97のゲートとソースとの間の電圧差の増加
に基づいてトランジスター97がより大きい電流を伝送
でき、かつキャパシター92に貯蔵するマイナス電荷が
トランジスター97を介して、エンドポイントZからエ
ンドポイントRに移り、キャパシター93がより多いマ
イナス電荷を貯蔵する。上述のとおり、エンドポイント
Zの電圧レベルは(V0−2Vdd)に近づく。時刻t
7において、第二クロック86は低電圧レベルから高電
圧レベルに上昇し、よってエンドポイントSの電圧レベ
ルはVddを増加してトランジスター97にターンオフ
させる。
【0048】ここで、時刻t4から時刻t7までの時間
に、駆動素子82a中のトランジスター96は、常にタ
ーンオフ状態であり、よって駆動素子82bが動作する
時、エンドポイントZの電圧レベルは駆動素子82aの
影響を受けなくなる点である。上述のとおり、時刻t0
から時刻t7までの時間を経って、駆動素子82bのエ
ンドポイントRの電圧レベルを(V0−2Vdd)に変
更し、最後に出力回路83を介して出力する。
【0049】上述のとおり、もしチャージポンプ回路8
0はより数多くの駆動素子82a、82bを具えれば、
より低いマイナス電圧を出力することができる。この実
施例において、トランジスター98、99のターンオン
によってエンドポイントY、Tの電圧レベルがエンドポ
イントZ、Rの電圧レベルに従って変更するため、チャ
ージポンプ回路80の作動過程中に、実際の出力電圧に
対するボディエフェクトの影響を大幅に避けることがで
きる。従って、電圧上昇の効率を高めることができる。
更に、駆動素子82a、82bは次第に作動し、即ち駆
動素子82bが作動する時、駆動素子82aのトランジ
スター96はターンオフとなって駆動素子82bに影響
を与えない。よって一つの駆動素子が作動する時、その
隣の駆動素子は作動しないため作動する駆動素子に影響
を与えない。
【0050】(第2の実施例)図7に本発明による第2
実施例のチャージポンプ回路100を開示する。図8
に、図7におけるチャージポンプ回路100のタイムシ
ーケンスを開示する。図7によれば、チャージポンプ回
路100はより高いプラス電圧を提供するに用いられ、
入力回路101と、複数の駆動素子102と、出力回路
103とを含んでなる。チャージポンプ回路100はチ
ャージポンプ回路80に使用されるトランジスターをN
型金属酸化膜半導体(NMOS)トランジスターに取替
え、そして駆動素子102は複数のキャパシター10
4、106と、複数のトランジスター108、110、
112とを具える。
【0051】ここで、上述の現象を避けるために、チャ
ージポンプ回路100は作動し始める前に、チャージポ
ンプ回路100のトランジスター自身の構造によるP型
ドーピング領域とN型ドーピング領域との間の順バイア
スによって導通することを防ぐために、各々のトランジ
スターのボディに接地電圧を入力する。更に、クロック
ジェネレーター114は第一クロック115と、第二ク
ロック116と、第三クロック117と、および第四ク
ロック118とを発生して、それぞれ駆動素子102に
入力する。チャージポンプ回路100に関する動作を以
下に詳述する。
【0052】仮に入力回路101によって駆動素子10
2のエンドポイントWに発生する電圧レベルがV0であ
り、かつクロックジェネレーター114が出力した高電
圧レベルと低電圧レベルとの間の電圧差は操作電圧Vd
dと同じ大きさを持つ。時刻t0において、第一クロッ
ク115は低電圧レベルから高電圧レベルに上昇し、よ
ってエンドポイントWの電圧レベルが操作電圧Vddの
大きさを増加して(V0+Vdd)となる。この時に第
三クロック117は高電圧レベルであって、第四クロッ
ク118は低電圧レベルである。よって、トランジスタ
ー110がターンオフして、トランジスター108がタ
ーンオンする。トランジスター108のターンオンに従
って、エンドポイントXの電圧レベルを上昇させキャパ
シター104により多いプラス電荷を貯蔵させる。かつ
エンドポイントXの電圧レベルの上昇によってトランジ
スター112がターンオンするため、エンドポイントY
の電圧レベルがエンドポイントZの電圧レベルに従って
変動する。よって、トランジスター110において、ト
ランジスター112のターンオンについでトランジスタ
ー110のボディとソースを同じ電圧レベルに近づき、
トランジスター110の閾値電圧に対するボディエフェ
クトの影響を更に減少させることができる。
【0053】時刻t1において、第三クロック117が
高電圧レベルから低電圧レベルに降下し、よってトラン
ジスター108がターンオフし、かつエンドポイントZ
の電圧レベルがVddに降下する。そして時刻t2にお
いて、第四クロック118が低電圧レベルから高電圧レ
ベルに上昇する。キャパシター104がより多いプラス
電荷を貯蔵するため、エンドポイントXの電圧レベルが
Vddに上昇した後、トランジスター110がターンオ
ンするだけでなく、トランジスター110のゲートとソ
ースとの間の電圧差をキャパシター104の影響で増加
して、トランジスター110がより大きい電流を伝送で
きる。よって、プラス電荷がトランジスター110を介
してエンドポイントWからエンドポイントZに移り、キ
ャパシター106により多いプラス電荷を貯蔵させる。
更に、トランジスター112がターンオンしてトランジ
スター110のボディエフェクトによる影響が減少する
ため、エンドポイントZの電圧レベルが容易に(V0+
2Vdd)に近づく。時刻t3において、第四クロック
118は高電圧レベルから低電圧レベルに降下するた
め、エンドポイントXの電圧レベルがVddに降下して
トランジスター110にターンオフさせる。そして次段
階の駆動素子102によってエンドポイントZでの出力
信号を処理する。時刻t4において、第三クロック11
7は低電圧レベルから高電圧レベルに上昇するため、エ
ンドポイントZの電圧レベルがVddに増加して(V0
+2Vdd)となる。最後に、上述のチャージポンプ回
路80の作動過程のように、時刻t0から時刻t7まで
の時間を経って、チャージポンプ回路100では、エン
ドポイントRの電圧レベルが(V0+2Vdd)に近づ
き、かつ出力回路103を介して出力される。
【0054】上述のとおり、例えばチャージポンプ回路
100はより数多くの駆動素子102を具えれば、より
高いプラス電圧を出力することができる。この実施例に
おいて、トランジスター112のターンオンによってエ
ンドポイントYの電圧レベルがエンドポイントZの電圧
レベルに従って変更するため、チャージポンプ回路10
0の作動過程中に、実際の出力電圧に対するボディエフ
ェクトの影響を大幅に避けることができる。従って、電
圧上昇の効率を高めることができる。かつ一つの駆動素
子が作動する時、その隣の駆動素子は作動しないため作
動する駆動素子に影響を与えない。
【0055】(第3の実施例)図9に本発明による第3
実施例のチャージポンプ回路130を開示する。図9に
よれば、チャージポンプ回路130はチャージポンプ回
路80中の駆動素子82のトランジスター98の接続方
式を変更し、より高いマイナス電圧を提供するために用
いられる。図5に開示するように、チャージポンプ回路
80において、トランジスター98のゲートがエンドポ
イントXに接続され、もしそのゲートがエンドポイント
Wに接続された場合、チャージポンプ回路130とな
る。図9に開示するように、チャージポンプ回路130
の作動方式はチャージポンプ回路80の作動方式と同じ
であり、図6に開示するタイムシーケンスで駆動され
る。同様に、チャージポンプ回路130も出力電圧に対
するボディエフェクトの影響を減らすことができる。
【0056】(第4の実施例)図10に本発明による第
4実施例のチャージポンプ回路140を開示する。図
7、図8、及び図10によれば、チャージポンプ回路1
40はチャージポンプ回路100中の駆動素子102の
トランジスター112の接続方式を変更し、より高いプ
ラス電圧を提供するために用いられる。図7に開示する
ように、チャージポンプ回路100において、トランジ
スター112のゲートがエンドポイントXに接続され、
例えば、そのゲートがエンドポイントWに接続された場
合、チャージポンプ回路140となる。図10に開示す
るように、チャージポンプ回路140の作動方式はチャ
ージポンプ回路100の作動方式と同じであり、図8に
開示するタイムシーケンスで駆動される。同様に、チャ
ージポンプ回路140も出力電圧に対するボディエフェ
クトの影響を減らすことができる。
【0057】尚、上記チャージポンプ回路は、上記の構
成に限定されることなく、当業者のなし得る修正、もし
くは変更されたチャージポンプ回路に対しても適応可能
であり、また、本発明に対して同等の効果を有するもの
は、いずれもこの発明の特許請求の範囲の範囲に属する
ものとする。
【0058】
【発明の効果】本発明によるチャージポンプ回路の駆動
素子には、各々のトランジスターのボディが互いに接続
して、該ボディの電圧レベルは電圧上昇の過程において
それぞれの駆動素子の出力電圧に従って変動する。プラ
ス電圧のチャージポンプ回路にとって、この発明による
チャージポンプ回路は出力電圧を毎段階の駆動素子に従
って上昇すると同時に、駆動素子中のトランジスターの
ボディの電圧も出力電圧に従って上昇する。よって、ト
ランジスターのボディとソースとの間の電圧差を減らし
てボディエフェクトを避け、最後に出力電圧がボディエ
フェクトの影響を受けて大幅に減ることはない。同様
に、マイナス電圧のチャージポンプ回路にとって、この
発明によるチャージポンプ回路は出力電圧を毎段階の駆
動素子に従って降下する同時に、駆動素子中のトランジ
スターのボディの電圧も出力電圧に従って降下する。よ
って、トランジスターのボディとソースとの間の電圧差
を減らして出力電圧に対するボディエフェクトの影響を
減らすことができる。このため、この発明によるチャー
ジポンプ回路はトランジスターに対するボディエフェク
トの影響を減らすことができ、出力電圧がボディエフェ
クトの影響を受けて減ることをしないで、更に電圧上昇
の効率を高める効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のイーピーロムの構造を表わす説明図であ
る。
【図2】図1に開示するイーピーロムの駆動回路を表わ
す説明図である。
【図3】図2に開示するプラスチャージポンプ回路を表
わす説明図である。
【図4】図2に開示するクロックジェネレーターのタイ
ムシーケンスを表わす説明図である。
【図5】本発明による第1実施例のチャージポンプ回路
を表わす説明図である。
【図6】図5に開示するチャージポンプ回路のタイムシ
ーケンスを表わす説明図である。
【図7】本発明による第2実施例のチャージポンプ回路
を表わす説明図である。
【図8】図7に開示するチャージポンプ回路のタイムシ
ーケンスを表わす説明図である。
【図9】本発明による第3実施例のチャージポンプ回路
を表わす説明図である。
【図10】本発明による第4実施例のチャージポンプ回
路を表わす説明図である。
【符号の説明】
10 イーピーロム 12 基板 14 ソース 16 ドレイン 18 フローティングゲート 20 コントロールゲート 22 チャネル 24 酸化層 30 駆動回路 32 メモリアレイ 34、38、114 クロックジェネレーター 36 プラスチャージポンプ回路 38 マイナスチャージポンプ回路 40 アドレスデコーダー 42 メモリセル 43 電源供給手段 44、46、48、50、52、94、95、96、9
7、98、99、108、110、112
トランジスター 54、56、58、60、62、90、91、92、9
3、104、106キャパシター 64、85、115 第一クロック 66、86、116 第二クロック 80、100、130、140 チャージポンプ回
路 81、101 入力回路 82a、82b、102 駆動素子 83、103 出力回路 87、117 第三クロック 88、118 第四クロック 42 N型金属酸化膜半導体トラン
ジスター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 何 建 宏 台湾新竹市東區關東路187巷59號 Fターム(参考) 5B025 AA01 AD09 AD10 AE00 5F038 BG02 BG03 BG05 BG06 BG08 CD16 DF01 DF05 EZ12 EZ20 5H730 AA14 AS01 BB01 BB86 BB88 DD04 DD32 5J055 AX43 BX16 CX12 CX27 DX13 DX14 DX22 DX48 EX07 EY10 EY21 EZ18 EZ20 FX05 FX13 FX27 GX01

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 カスケードの形式で互いに接続する複数
    の駆動素子を含むチャージポンプ回路であって、 前記駆動素子は、入力端と、出力端と、第一ノードと、
    第二ノードと、前記第一ノードに接続される第一キャパ
    シターと、前記出力端に接続される第二キャパシター
    と、第一トランジスターと、第二トランジスターと、第
    三トランジスターとを含んでなり、 前記第一トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記出力端に接続されるゲートと、前記入力
    端に接続されるドレインと、前記第一ノードに接続され
    るソースとを具え、 前記第二トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記
    入力端に接続されるドレインと、前記出力端に接続され
    るソースとを具え、 前記第三トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記
    第二ノードに接続されるソースと、前記出力端に接続さ
    れるドレインとを具えることを特徴とするチャージポン
    プ回路。
  2. 【請求項2】 前記チャージポンプ回路は、クロックジ
    ェネレーターを更に含み、 前記クロックジェネレーターは、前記第一及び第二キャ
    パシターに接続し、クロック信号を発生して前記第一と
    第二キャパシターに入力することによって、次第に前記
    駆動素子を駆動することを特徴とする請求項1記載のチ
    ャージポンプ回路。
  3. 【請求項3】 前記駆動素子は、第一期間において、前
    記第一トランジスターがターンオンして前記第一ノード
    の電圧レベルを前記入力端の電圧レベルに近づけること
    を特徴とする請求項1記載のチャージポンプ回路。
  4. 【請求項4】 前記駆動素子は、前記第一期間の後の第
    二期間において、前記第一トランジスターがターンオフ
    となることを特徴とする請求項3記載のチャージポンプ
    回路。
  5. 【請求項5】 前記駆動素子は、前記第二期間の後の第
    三期間において、前記第二トランジスターがターンオン
    して前記出力端の電圧レベルを前記入力端の電圧レベル
    に近づけ、かつ前記第三トランジスターがターンオンし
    て前記第二ノードと前記出力端との電圧レベルを同じレ
    ベルに近づけることを特徴とする請求項4記載のチャー
    ジポンプ回路。
  6. 【請求項6】 前記駆動素子は、前記第三期間の後の第
    四期間において、前記第二トランジスターと前記第三ト
    ランジスターがターンオフとなることを特徴とする請求
    項5記載のチャージポンプ回路。
  7. 【請求項7】 前記第一、第二、第三、及び第四期間に
    おいて、前記駆動素子に接続する隣接の駆動素子の第二
    トランジスターがターンオフとなることを特徴とする請
    求項6記載のチャージポンプ回路。
  8. 【請求項8】 前記トランジスターが、P型金属酸化膜
    半導体トランジスターであることを特徴とする請求項1
    記載のチャージポンプ回路。
  9. 【請求項9】 前記トランジスターが、N型金属酸化膜
    半導体トランジスターであることを特徴とする請求項1
    記載のチャージポンプ回路。
  10. 【請求項10】 前記トランジスターが、三重ウェルの
    構造を具えることを特徴とする請求項1記載のチャージ
    ポンプ回路。
  11. 【請求項11】 前記チャージポンプ回路は、前記複数
    の駆動素子の前端に接続する入力素子を更に具え、 前記入力素子は、入力端と、前記駆動素子の入力端に接
    続される出力端と、第一ノードと、第二ノードと、前記
    第一ノードに接続される第一キャパシターと、前記出力
    端に接続される第二キャパシターと、第一トランジスタ
    ーと、第二トランジスターと、第三トランジスターとを
    含んでなり、 前記第一トランジスターは、電圧レベルに接続される基
    板と、前記出力端に接続されるゲートと、前記入力端に
    接続されるドレインと、前記第一ノードに接続されるソ
    ースとを具え、 前記第二トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記
    入力端に接続されるドレインと、前記出力端に接続され
    るソースとを具え、 前記第三トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記
    第二ノードに接続されるソースと、前記出力端に接続さ
    れるドレインとを具えることを特徴とする請求項1記載
    のチャージポンプ回路。
  12. 【請求項12】 前記チャージポンプ回路は、前記複数
    の駆動素子の後端に接続する出力素子を更に具え、 前記出力素子は、前記駆動素子の出力端に接続される入
    力端と、出力端と、前記入力端に接続される第一キャパ
    シターと、前記出力端に接続される第二キャパシター
    と、第一トランジスターと、第二トランジスターとを含
    んでなり、 前記第一トランジスターは、基板と、前記入力端に接続
    されるゲートと、前記入力端に接続されるドレインと、
    前記出力端に接続されるソースとを具え、 前記第二トランジスターは、前記第一トランジスターの
    基板に接続される基板と、前記第一トランジスターのゲ
    ートに接続されるゲートと、前記第一トランジスターの
    基板に接続されるソースと、前記出力端に接続されるド
    レインとを具えることを特徴とする請求項1記載のチャ
    ージポンプ回路。
  13. 【請求項13】 カスケードの形式で互いに接続する複
    数の駆動素子を含むチャージポンプ回路であって、前記
    駆動素子は入力端と、出力端と、第一ノードと、第二ノ
    ードと、前記第一ノードに接続される第一キャパシター
    と、前記出力端に接続される第二キャパシターと、第一
    トランジスターと、第二トランジスターと、第三トラン
    ジスターとを含んでなり、 前記第一トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記出力端に接続されるゲートと、前記入力
    端に接続されるドレインと、前記第一ノードに接続され
    るソースとを具え、 前記第二トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記
    入力端に接続されるドレインと、前記出力端に接続され
    るソースとを具え、 前記第三トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記入力端に接続されるゲートと、前記第二
    ノードに接続されるソースと、前記出力端に接続される
    ドレインとを具えることを特徴とするチャージポンプ回
    路。
  14. 【請求項14】 前記チャージポンプ回路は、クロック
    ジェネレーターを更に含み、 前記クロックジェネレーターは、前記第一及び第二キャ
    パシターに接続し、クロック信号を発生して前記第一と
    第二キャパシターに入力することによって、次第に前記
    駆動素子を駆動することを特徴とする請求項13記載の
    チャージポンプ回路。
  15. 【請求項15】 前記駆動素子は、第一期間において、
    前記駆動素子の第一トランジスターがターンオンして前
    記第一ノードの電圧レベルを前記入力端の電圧レベルに
    近づけることを特徴とする請求項13記載のチャージポ
    ンプ回路。
  16. 【請求項16】 前記駆動素子は、前記第一期間の後の
    第二期間において、前記第一トランジスターがターンオ
    フとなることを特徴とする請求項15記載のチャージポ
    ンプ回路。
  17. 【請求項17】 前記駆動素子は、前記第二期間の後の
    第三期間において、前記第二トランジスターがターンオ
    ンして前記出力端の電圧レベルを前記入力端の電圧レベ
    ルに近づけ、かつ前記第三トランジスターがターンオン
    して前記第二ノードと前記出力端との電圧レベルを同じ
    レベルに近づけることを特徴とする請求項16記載のチ
    ャージポンプ回路。
  18. 【請求項18】 前記駆動素子は、前記第三期間の後の
    第四期間において、前記第二トランジスターと前記第三
    トランジスターがターンオフとなることを特徴とする請
    求項17記載のチャージポンプ回路。
  19. 【請求項19】 前記第一、第二、第三、及び第四期間
    において、前記駆動素子に接続する隣接の駆動素子の第
    二トランジスターがターンオフとなることを特徴とする
    請求項18記載のチャージポンプ回路。
  20. 【請求項20】 前記トランジスターが、P型金属酸化
    膜半導体トランジスターであることを特徴とする請求項
    13記載のチャージポンプ回路。
  21. 【請求項21】 前記トランジスターが、N型金属酸化
    膜半導体トランジスターであることを特徴とする請求項
    13記載のチャージポンプ回路。
  22. 【請求項22】 前記トランジスターが、三重ウェルの
    構造を具えることを特徴とする請求項13記載のチャー
    ジポンプ回路。
  23. 【請求項23】 前記チャージポンプ回路は、前記複数
    の駆動素子の前端に接続する入力素子を更に具え、 前記入力素子は、入力端と、前記駆動素子の入力端に接
    続される出力端と、第一ノードと、第二ノードと、前記
    第一ノードに接続される第一キャパシターと、前記出力
    端に接続される第二キャパシターと、第一トランジスタ
    ーと、第二トランジスターと、第三トランジスターとを
    含んでなり、 前記第一トランジスターは、電圧レベルに接続される基
    板と、前記出力端に接続されるゲートと、前記入力端に
    接続されるドレインと、前記第一ノードに接続されるソ
    ースとを具え、 前記第二トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記
    入力端に接続されるドレインと、前記出力端に接続され
    るソースとを具え、 前記第三トランジスターは、前記第二ノードに接続され
    る基板と、前記第一ノードに接続されるゲートと、前記
    第二ノードに接続されるソースと、前記出力端に接続さ
    れるドレインとを具えることを特徴とする請求項13記
    載のチャージポンプ回路。
  24. 【請求項24】 前記チャージポンプ回路は、前記複数
    の駆動素子の後端に接続する出力素子を更に具え、 前記出力素子は前記駆動素子の一の出力端に接続される
    入力端と、出力端と、前記入力端に接続される第一キャ
    パシターと、前記出力端に接続される第二キャパシター
    と、第一トランジスターと、第二トランジスターとを含
    んでなり、 前記第一トランジスターは、基板と、前記入力端に接続
    されるゲートと、前記入力端に接続されるドレインと、
    前記出力端に接続されるソースとを具え、 前記第二トランジスターは、前記第一トランジスターの
    基板に接続される基板と、前記第一トランジスターのゲ
    ートに接続されるゲートと、前記第一トランジスターの
    基板に接続されるソースと、前記出力端に接続されるド
    レインとを具えることを特徴とする請求項13記載のチ
    ャージポンプ回路。
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