JP2003258079A - ウェハ収納容器 - Google Patents
ウェハ収納容器Info
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Landscapes
- Buffer Packaging (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェハボックスの耐衝撃、耐振動性能を向上
させる。 【解決手段】 ウェハボックス本体１を、内ボックス２
および外ボックス３からなる２重構造とするとともに、
ボックス蓋１１を、内蓋１２および外蓋１３からなる２
重構造とする。
させる。 【解決手段】 ウェハボックス本体１を、内ボックス２
および外ボックス３からなる２重構造とするとともに、
ボックス蓋１１を、内蓋１２および外蓋１３からなる２
重構造とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェハ収納容器に関
し、特に、半導体ウェハを収納する場合に適用して好適
なものである。
し、特に、半導体ウェハを収納する場合に適用して好適
なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウェハの保管や輸送を行な
うため、半導体ウェハを収納するウェハボックスが用い
られていた。図３は、従来のウェハボックスの概略構成
を分解して示す斜視図、図４（ａ）は、従来のウェハボ
ックスの概略構成を切り欠いて示す上面図、図４（ｂ）
は、図４（ａ）のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
うため、半導体ウェハを収納するウェハボックスが用い
られていた。図３は、従来のウェハボックスの概略構成
を分解して示す斜視図、図４（ａ）は、従来のウェハボ
ックスの概略構成を切り欠いて示す上面図、図４（ｂ）
は、図４（ａ）のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
【０００３】図３、４において、ウェハボックスには、
半導体ウェハＷを収容するウェハボックス本体２１およ
びウェハボックス本体２１の蓋をするボックス蓋３１が
設けられている。そして、ウェハボックス本体２１内の
対向面および底面には、ウェハホルダ２２ａ、２２ｂ、
２２ｃがそれぞれ設けられ、これらのウェハホルダ２２
ａ、２２ｂ、２２ｃには、半導体ウェハＷの周縁部を差
し込み可能な切り込み２２ａ’、２２ｂ’、２２ｃ’が
並列して形成されている。
半導体ウェハＷを収容するウェハボックス本体２１およ
びウェハボックス本体２１の蓋をするボックス蓋３１が
設けられている。そして、ウェハボックス本体２１内の
対向面および底面には、ウェハホルダ２２ａ、２２ｂ、
２２ｃがそれぞれ設けられ、これらのウェハホルダ２２
ａ、２２ｂ、２２ｃには、半導体ウェハＷの周縁部を差
し込み可能な切り込み２２ａ’、２２ｂ’、２２ｃ’が
並列して形成されている。
【０００４】そして、ウェハホルダ２２ａ、２２ｂ、２
２ｃに形成された各切り込み２２ａ’、２２ｂ’、２２
ｃ’位置に、半導体ウェハＷを１枚ずつ挿入することに
より、複数（例えば、最大で２５枚）の半導体ウェハＷ
をウェハボックス本体２１内で縦列させて、ウェハボッ
クス本体２１内に互いに隔離して収容することができ
る。
２ｃに形成された各切り込み２２ａ’、２２ｂ’、２２
ｃ’位置に、半導体ウェハＷを１枚ずつ挿入することに
より、複数（例えば、最大で２５枚）の半導体ウェハＷ
をウェハボックス本体２１内で縦列させて、ウェハボッ
クス本体２１内に互いに隔離して収容することができ
る。
【０００５】また、ボックス蓋３１内には、ウェハ押え
３２ａ、３２ｂが設けられ、このウェハ押え３２ａ、３
２ｂには、ウェハホルダ２２ａ、２２ｂ、２２ｃに形成
された切り込み位置に対応した切り込み３２ａ’、３２
ｂ’が設けられている。そして、ウェハボックス本体２
１内に半導体ウェハＷを収容した後、ウェハ押え３２
ａ、３２ｂが設けられた面を下にして、ボックス蓋３１
をウェハボックス本体２１上に被せる。
３２ａ、３２ｂが設けられ、このウェハ押え３２ａ、３
２ｂには、ウェハホルダ２２ａ、２２ｂ、２２ｃに形成
された切り込み位置に対応した切り込み３２ａ’、３２
ｂ’が設けられている。そして、ウェハボックス本体２
１内に半導体ウェハＷを収容した後、ウェハ押え３２
ａ、３２ｂが設けられた面を下にして、ボックス蓋３１
をウェハボックス本体２１上に被せる。
【０００６】これにより、半導体ウェハＷの周縁部が、
ウェハ押え３２ａ、３２ｂに設けられた切り込み３２
ａ’、３２ｂ’に差し込まれ、ウェハボックス内で半導
体ウェハＷが動かないように固定することができる。
ウェハ押え３２ａ、３２ｂに設けられた切り込み３２
ａ’、３２ｂ’に差し込まれ、ウェハボックス内で半導
体ウェハＷが動かないように固定することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウェハボックスでは、ウェハボックスが落下すると、半
導体ウェハＷに強い衝撃がかかり、径が大きく、厚さの
薄い（例えば、８インチ径、２００μｍ厚の）半導体ウ
ェハＷを収容した場合には、半導体ウェハＷが割れるこ
とがあるという問題があった。
ウェハボックスでは、ウェハボックスが落下すると、半
導体ウェハＷに強い衝撃がかかり、径が大きく、厚さの
薄い（例えば、８インチ径、２００μｍ厚の）半導体ウ
ェハＷを収容した場合には、半導体ウェハＷが割れるこ
とがあるという問題があった。
【０００８】このため、径が大きく、厚さの薄い半導体
ウェハＷは、タッパを用いて輸送が行われていたが、タ
ッパでは、複数枚の半導体ウェハＷを出し入れするのに
手間がかかるという問題があった。そこで、本発明の目
的は、ウェハの出し入れが容易で、耐衝撃、耐振動性能
を向上させることが可能なウェハ収納容器を提供するこ
とである。
ウェハＷは、タッパを用いて輸送が行われていたが、タ
ッパでは、複数枚の半導体ウェハＷを出し入れするのに
手間がかかるという問題があった。そこで、本発明の目
的は、ウェハの出し入れが容易で、耐衝撃、耐振動性能
を向上させることが可能なウェハ収納容器を提供するこ
とである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項１記載のウェハ収納容器によれば、２重
壁で構成され、上下に分離可能なウェハボックスと、前
記ウェハボックス内に挿入されたウェハを縦列させて保
持するウェハ保持部とを備えることを特徴とする。
ために、請求項１記載のウェハ収納容器によれば、２重
壁で構成され、上下に分離可能なウェハボックスと、前
記ウェハボックス内に挿入されたウェハを縦列させて保
持するウェハ保持部とを備えることを特徴とする。
【００１０】これにより、ウェハ収納容器にかかる衝撃
を外側のウェハボックスで吸収することが可能となり、
内側のウェハボックスに衝撃がかかることを抑制するこ
とが可能となることから、ウェハ収納容器内に収容され
たウェハを衝撃から保護することができる。このため、
ウェハの出し入れにかかる手間を増加させることなく、
ウェハ収納容器の耐衝撃、耐振動性能を向上させること
が可能となり、ウェハ収納容器が落下した場合において
も、ウェハが割れることを防止することが可能となるこ
とから、径が大きく、厚さの薄いウェハをウェハボック
スに容易に収容して、安全に保管・運搬することが可能
となる。
を外側のウェハボックスで吸収することが可能となり、
内側のウェハボックスに衝撃がかかることを抑制するこ
とが可能となることから、ウェハ収納容器内に収容され
たウェハを衝撃から保護することができる。このため、
ウェハの出し入れにかかる手間を増加させることなく、
ウェハ収納容器の耐衝撃、耐振動性能を向上させること
が可能となり、ウェハ収納容器が落下した場合において
も、ウェハが割れることを防止することが可能となるこ
とから、径が大きく、厚さの薄いウェハをウェハボック
スに容易に収容して、安全に保管・運搬することが可能
となる。
【００１１】また、請求項２記載のウェハ収納容器によ
れば、前記ウェハボックスを構成する内壁と外壁とを所
定間隔に保持する緩衝部材をさらに備えることを特徴と
する。これにより、ウェハ収納容器にかかる衝撃を緩衝
部材で効率よく吸収して、ウェハボックス内壁に衝撃が
かかることを抑制することができ、ウェハ収納容器内に
収容されたウェハを衝撃から保護することができる。
れば、前記ウェハボックスを構成する内壁と外壁とを所
定間隔に保持する緩衝部材をさらに備えることを特徴と
する。これにより、ウェハ収納容器にかかる衝撃を緩衝
部材で効率よく吸収して、ウェハボックス内壁に衝撃が
かかることを抑制することができ、ウェハ収納容器内に
収容されたウェハを衝撃から保護することができる。
【００１２】また、請求項３記載のウェハ収納容器によ
れば、前記緩衝部材は、発泡ポリエチレンまたは発泡ポ
リプロピレンであることを特徴とする。これにより、ウ
ェハ収納容器に緩衝部材を設けた場合においても、ウェ
ハ収納容器の重量増加を抑制することができ、運搬時の
負担増を抑制しつつ、ウェハ収納容器内に収容されたウ
ェハを衝撃から効率よく保護することができる。
れば、前記緩衝部材は、発泡ポリエチレンまたは発泡ポ
リプロピレンであることを特徴とする。これにより、ウ
ェハ収納容器に緩衝部材を設けた場合においても、ウェ
ハ収納容器の重量増加を抑制することができ、運搬時の
負担増を抑制しつつ、ウェハ収納容器内に収容されたウ
ェハを衝撃から効率よく保護することができる。
【００１３】また、請求項４記載のウェハ収納容器によ
れば、前記ウェハボックスを構成する内壁は、前記ウェ
ハボックスを構成する外壁よりも剛性が高いことを特徴
とする。これにより、ウェハ収納容器に衝撃が加わった
場合においても、ウェハボック内壁が潰れることを防止
しつつ、ウェハボック外壁が潰れることを可能として、
ウェハが変形することを防止しつつ、ウェハ収納容器に
加わった衝撃を効率よく吸収することが可能となる。
れば、前記ウェハボックスを構成する内壁は、前記ウェ
ハボックスを構成する外壁よりも剛性が高いことを特徴
とする。これにより、ウェハ収納容器に衝撃が加わった
場合においても、ウェハボック内壁が潰れることを防止
しつつ、ウェハボック外壁が潰れることを可能として、
ウェハが変形することを防止しつつ、ウェハ収納容器に
加わった衝撃を効率よく吸収することが可能となる。
【００１４】このため、ウェハ収納容器が落下した場合
においても、ウェハが割れることを確実に防止すること
が可能となることから、径が大きく、厚さの薄いウェハ
をウェハボックスに収容して、安全に保管・運搬するこ
とが可能となる。また、請求項５記載のウェハ収納容器
によれば、前記ウェハボックスを構成する内壁は金属系
部材で構成され、前記ウェハボックスを構成する外壁は
樹脂系部材で構成されていることを特徴とする。
においても、ウェハが割れることを確実に防止すること
が可能となることから、径が大きく、厚さの薄いウェハ
をウェハボックスに収容して、安全に保管・運搬するこ
とが可能となる。また、請求項５記載のウェハ収納容器
によれば、前記ウェハボックスを構成する内壁は金属系
部材で構成され、前記ウェハボックスを構成する外壁は
樹脂系部材で構成されていることを特徴とする。
【００１５】これにより、ウェハボックスを構成する内
壁を高剛性、ウェハボックスを構成する外壁を低剛性に
することができ、ウェハボック内壁が潰れることを防止
しつつ、ウェハボック外壁で衝撃を効率よく吸収するこ
とが可能となり、ウェハ収納容器に収容されたウェハを
衝撃から保護することが可能となる。また、請求項６記
載のウェハ収納容器によれば、前記ウェハ保持部は、下
ボックス内の互いに対向する面に設けられ、前記ウェハ
の周縁部に係合する切り込みが前記ウェハの縦列方向に
並列して形成されたウェハホルダと、上ボックス内に設
けられ、前記ウェハホルダに形成された切り込み位置に
対応する切り込みを有するウェハ押えとを備えることを
特徴とする。
壁を高剛性、ウェハボックスを構成する外壁を低剛性に
することができ、ウェハボック内壁が潰れることを防止
しつつ、ウェハボック外壁で衝撃を効率よく吸収するこ
とが可能となり、ウェハ収納容器に収容されたウェハを
衝撃から保護することが可能となる。また、請求項６記
載のウェハ収納容器によれば、前記ウェハ保持部は、下
ボックス内の互いに対向する面に設けられ、前記ウェハ
の周縁部に係合する切り込みが前記ウェハの縦列方向に
並列して形成されたウェハホルダと、上ボックス内に設
けられ、前記ウェハホルダに形成された切り込み位置に
対応する切り込みを有するウェハ押えとを備えることを
特徴とする。
【００１６】これにより、ウェハホルダに形成された切
り込みに沿ってウェハを挿入するだけで、ウェハを互い
に傷つけることなく、複数枚のウェハを下ボックス内に
収容することが可能となるとともに、上ボックスで蓋を
するだけで、下ボックス内に収容されたウェハを固定す
るとが可能となり、ウェハ収納容器へのウェハの出し入
れを容易に行なうことができる。
り込みに沿ってウェハを挿入するだけで、ウェハを互い
に傷つけることなく、複数枚のウェハを下ボックス内に
収容することが可能となるとともに、上ボックスで蓋を
するだけで、下ボックス内に収容されたウェハを固定す
るとが可能となり、ウェハ収納容器へのウェハの出し入
れを容易に行なうことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係るウ
ェハ収納容器について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るウェハボックスの概
略構成を示す斜視図、図２（ａ）は、本発明の一実施形
態に係るウェハボックスの概略構成を切り欠いて示す上
面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線で切断した
断面図である。
ェハ収納容器について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るウェハボックスの概
略構成を示す斜視図、図２（ａ）は、本発明の一実施形
態に係るウェハボックスの概略構成を切り欠いて示す上
面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線で切断した
断面図である。
【００１８】図１、２において、ウェハボックスには、
半導体ウェハＷを収容するウェハボックス本体１および
ウェハボックス本体１の蓋をするボックス蓋１１が設け
られ、ウェハボックス本体１およびボックス蓋１１は２
重壁で構成されている。すなわち、ウェハボックス本体
１は、半導体ウェハＷを収容するための内ボックス２お
よび内ボックス２の外側に設けられた外ボックス３を備
え、ボックス蓋１１は、内ボックス２内に収容された半
導体ウェハＷを上から押さえる内蓋１２および内蓋１２
の外側に設けられた外蓋１３を備えている。
半導体ウェハＷを収容するウェハボックス本体１および
ウェハボックス本体１の蓋をするボックス蓋１１が設け
られ、ウェハボックス本体１およびボックス蓋１１は２
重壁で構成されている。すなわち、ウェハボックス本体
１は、半導体ウェハＷを収容するための内ボックス２お
よび内ボックス２の外側に設けられた外ボックス３を備
え、ボックス蓋１１は、内ボックス２内に収容された半
導体ウェハＷを上から押さえる内蓋１２および内蓋１２
の外側に設けられた外蓋１３を備えている。
【００１９】そして、内ボックス２と外ボックス３の間
には、内ボックス２と外ボックス３とを所定間隔に維持
するとともに、外ボックス３に加わった衝撃が内ボック
ス２に伝わることを抑制する緩衝材５が設けられるとと
もに、内蓋１２と外蓋１３との間には、内蓋１２と外蓋
１３とを所定間隔に維持するとともに、外蓋１３に加わ
った衝撃が内蓋１２に伝わることを抑制する緩衝材１５
が設けられている。
には、内ボックス２と外ボックス３とを所定間隔に維持
するとともに、外ボックス３に加わった衝撃が内ボック
ス２に伝わることを抑制する緩衝材５が設けられるとと
もに、内蓋１２と外蓋１３との間には、内蓋１２と外蓋
１３とを所定間隔に維持するとともに、外蓋１３に加わ
った衝撃が内蓋１２に伝わることを抑制する緩衝材１５
が設けられている。
【００２０】ここで、内ボックス２と外ボックス３との
間隔および内蓋１２と外蓋１３との間隔はそれぞれ、１
０〜２０ｍｍ程度が好ましい。これにより、ウェハボッ
クスに衝撃が加わった場合においても、内ボックス２お
よび内蓋１２が変形することを抑制しつつ、外ボックス
３および外蓋１３のみを変形させて、ウェハボックス内
に収容された半導体ウェハＷを保護することが可能とな
るとともに、ウェハボックスの大型化・大重量化を抑制
して、運搬時の負担を抑制することが可能となる。
間隔および内蓋１２と外蓋１３との間隔はそれぞれ、１
０〜２０ｍｍ程度が好ましい。これにより、ウェハボッ
クスに衝撃が加わった場合においても、内ボックス２お
よび内蓋１２が変形することを抑制しつつ、外ボックス
３および外蓋１３のみを変形させて、ウェハボックス内
に収容された半導体ウェハＷを保護することが可能とな
るとともに、ウェハボックスの大型化・大重量化を抑制
して、運搬時の負担を抑制することが可能となる。
【００２１】また、緩衝材１５としては、バネ、ゴム、
樹脂などの弾性材が好ましく、特に、軽量化という観点
からは、発泡スチロールが好ましい。さらに、内ボック
ス２および内蓋１２は、外ボックス３および外蓋１３に
比べて剛性が高いことが好ましく、例えば、内ボックス
２および内蓋１２はジュラルミンなどのアルミニウム合
金、外ボックス３および外蓋１３はプラスチックなどを
用いることが好ましい。
樹脂などの弾性材が好ましく、特に、軽量化という観点
からは、発泡スチロールが好ましい。さらに、内ボック
ス２および内蓋１２は、外ボックス３および外蓋１３に
比べて剛性が高いことが好ましく、例えば、内ボックス
２および内蓋１２はジュラルミンなどのアルミニウム合
金、外ボックス３および外蓋１３はプラスチックなどを
用いることが好ましい。
【００２２】これにより、ウェハボックスに衝撃が加わ
った場合においても、内ボックス２および内蓋１２が潰
れることを防止しつつ、外ボックス３および外蓋１３が
潰れることを可能として、ウェハボックスに収容された
半導体ウェハＷが変形することを防止しつつ、ウェハボ
ックスに加わった衝撃を効率よく吸収することが可能と
なることから、半導体ウェハＷを衝撃から効率よく保護
することが可能となる。
った場合においても、内ボックス２および内蓋１２が潰
れることを防止しつつ、外ボックス３および外蓋１３が
潰れることを可能として、ウェハボックスに収容された
半導体ウェハＷが変形することを防止しつつ、ウェハボ
ックスに加わった衝撃を効率よく吸収することが可能と
なることから、半導体ウェハＷを衝撃から効率よく保護
することが可能となる。
【００２３】また、内ボックス２内の対向面および底面
には、ウェハホルダ４ａ、４ｂ、４ｃがそれぞれ設けら
れ、これらのウェハホルダ４ａ、４ｂ、４ｃには、半導
体ウェハＷの周縁部を差し込み可能な切り込み４ａ’、
４ｂ’、４ｃ’が並列して形成されている。そして、ウ
ェハホルダ４ａ、４ｂ、４ｃに形成された各切り込み４
ａ’、４ｂ’、４ｃ’位置に、半導体ウェハＷを１枚ず
つ挿入することにより、複数（例えば、最大で２５枚）
の半導体ウェハＷを内ボックス２内で縦列させて、ウェ
ハボックス本体１内に互いに隔離して収容することがで
きる。
には、ウェハホルダ４ａ、４ｂ、４ｃがそれぞれ設けら
れ、これらのウェハホルダ４ａ、４ｂ、４ｃには、半導
体ウェハＷの周縁部を差し込み可能な切り込み４ａ’、
４ｂ’、４ｃ’が並列して形成されている。そして、ウ
ェハホルダ４ａ、４ｂ、４ｃに形成された各切り込み４
ａ’、４ｂ’、４ｃ’位置に、半導体ウェハＷを１枚ず
つ挿入することにより、複数（例えば、最大で２５枚）
の半導体ウェハＷを内ボックス２内で縦列させて、ウェ
ハボックス本体１内に互いに隔離して収容することがで
きる。
【００２４】これにより、ウェハホルダ４ａ、４ｂ、４
ｃに形成された切り込みに沿って、半導体ウェハＷを挿
入するだけで、半導体ウェハＷを互いに傷つけることな
く、複数枚の半導体ウェハＷをウェハボックス本体１内
に収容することが可能となる。また、内蓋１２内には、
ウェハ押え１４ａ、１４ｂが設けられ、このウェハ押え
１４ａ、１４ｂには、ウェハホルダ４ａ、４ｂ、４ｃに
形成された切り込み位置に対応した切り込み１４ａ’、
１４ｂ’が設けられている。
ｃに形成された切り込みに沿って、半導体ウェハＷを挿
入するだけで、半導体ウェハＷを互いに傷つけることな
く、複数枚の半導体ウェハＷをウェハボックス本体１内
に収容することが可能となる。また、内蓋１２内には、
ウェハ押え１４ａ、１４ｂが設けられ、このウェハ押え
１４ａ、１４ｂには、ウェハホルダ４ａ、４ｂ、４ｃに
形成された切り込み位置に対応した切り込み１４ａ’、
１４ｂ’が設けられている。
【００２５】そして、ウェハボックス本体１内に半導体
ウェハＷを収容した後、ウェハ押え１４ａ、１４ｂが設
けられた面を下にして、ボックス蓋１１をウェハボック
ス本体１上に被せる。これにより、半導体ウェハＷの周
縁部が、ウェハ押え１４ａ、１４ｂに設けられた切り込
み１４ａ’、１４ｂ’に差し込まれ、ウェハボックス内
で半導体ウェハＷが動かないように固定することができ
る。
ウェハＷを収容した後、ウェハ押え１４ａ、１４ｂが設
けられた面を下にして、ボックス蓋１１をウェハボック
ス本体１上に被せる。これにより、半導体ウェハＷの周
縁部が、ウェハ押え１４ａ、１４ｂに設けられた切り込
み１４ａ’、１４ｂ’に差し込まれ、ウェハボックス内
で半導体ウェハＷが動かないように固定することができ
る。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ウェハ収納容器にかかる衝撃を外側のウェハボックスで
吸収することが可能となり、ウェハの出し入れにかかる
手間を増加させることなく、ウェハ収納容器の耐衝撃、
耐振動性能を向上させることが可能となることから、径
が大きく、厚さの薄いウェハをウェハボックスに収容し
た場合においても、安全に保管・運搬することが可能と
なる。
ウェハ収納容器にかかる衝撃を外側のウェハボックスで
吸収することが可能となり、ウェハの出し入れにかかる
手間を増加させることなく、ウェハ収納容器の耐衝撃、
耐振動性能を向上させることが可能となることから、径
が大きく、厚さの薄いウェハをウェハボックスに収容し
た場合においても、安全に保管・運搬することが可能と
なる。
【図１】本発明の一実施形態に係るウェハボックスの概
略構成を分解して示す斜視図である。
略構成を分解して示す斜視図である。
【図２】図２（ａ）は、本発明の一実施形態に係るウェ
ハボックスの概略構成を切り欠いて示す上面図、図２
（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線で切断した断面図であ
る。
ハボックスの概略構成を切り欠いて示す上面図、図２
（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線で切断した断面図であ
る。
【図３】従来のウェハボックスの概略構成を分解して示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図４】図４（ａ）は、従来のウェハボックスの概略構
成を切り欠いて示す上面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）
のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
成を切り欠いて示す上面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）
のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
１ ウェハボックス本体
２ 内ボックス
３ 外ボックス
４ａ、４ｂ ウェハホルダ
４ａ’、４ｂ’、４ｃ’、１４ａ’、１４ｂ’ 切り込
み ５ 緩衝材 １１ ボックス蓋 １２ 内蓋 １３ 外蓋 １４ａ、１４ｂ ウェハ押え Ｗ 半導体ウェハ
み ５ 緩衝材 １１ ボックス蓋 １２ 内蓋 １３ 外蓋 １４ａ、１４ｂ ウェハ押え Ｗ 半導体ウェハ
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Ｆターム(参考） 3E066 AA03 AA71 BA01 CA01 DA01
FA13 HA04 JA04 KA02 MA01
NA43
3E096 AA06 BA16 BB04 CB03 DA01
DA03 DA05 DA17 DB06 DC01
EA02X EA03X EA06X FA26
FA27 FA40 GA01 GA11
5F031 CA02 DA08 EA02 EA11 EA14
EA18 FA09 PA18 PA30
Claims (6)
- 【請求項１】 ２重壁で構成され、上下に分離可能なウ
ェハボックスと、 前記ウェハボックス内に挿入されたウェハを縦列させて
保持するウェハ保持部とを備えることを特徴とするウェ
ハ収納容器。 - 【請求項２】 前記ウェハボックスを構成する内壁と外
壁とを所定間隔に保持する緩衝部材をさらに備えること
を特徴とする請求項１記載のウェハ収納容器。 - 【請求項３】 前記緩衝部材は、発泡ポリエチレンまた
は発泡ポリプロピレンであることを特徴とする請求項２
記載のウェハ収納容器。 - 【請求項４】 前記ウェハボックスを構成する内壁は、
前記ウェハボックスを構成する外壁よりも剛性が高いこ
とを特徴とする請求項２記載のウェハ収納容器。 - 【請求項５】 前記ウェハボックスを構成する内壁は金
属系部材で構成され、前記ウェハボックスを構成する外
壁は樹脂系部材で構成されていることを特徴とする請求
項４記載のウェハ収納容器。 - 【請求項６】 前記ウェハ保持部は、 下ボックス内の互いに対向する面に設けられ、前記ウェ
ハの周縁部に係合する切り込みが前記ウェハの縦列方向
に並列して形成されたウェハホルダと、 上ボックス内に設けられ、前記ウェハホルダに形成され
た切り込み位置に対応する切り込みを有するウェハ押え
とを備えることを特徴とする請求項３記載のウェハ収納
容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002051770A JP2003258079A (ja) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | ウェハ収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002051770A JP2003258079A (ja) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | ウェハ収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003258079A true JP2003258079A (ja) | 2003-09-12 |
Family
ID=28663661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002051770A Pending JP2003258079A (ja) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | ウェハ収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003258079A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173265A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 耐衝撃性クリーン容器 |
| WO2008056549A1 (en) | 2006-11-07 | 2008-05-15 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate container |
| CN113289995A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-08-24 | 无锡亚电智能装备有限公司 | 晶圆容纳盒清洗设备及晶圆容纳盒清洗方法 |
| JP2021190694A (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-13 | 台灣電鏡儀器股▲ふん▼有限公司 | 密封搬送装置 |
| CN116552972A (zh) * | 2023-05-05 | 2023-08-08 | 北京鑫跃微半导体技术有限公司 | 晶圆承载装置 |
-
2002
- 2002-02-27 JP JP2002051770A patent/JP2003258079A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173265A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 耐衝撃性クリーン容器 |
| WO2008056549A1 (en) | 2006-11-07 | 2008-05-15 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate container |
| US7967147B2 (en) | 2006-11-07 | 2011-06-28 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate storage container |
| JP2021190694A (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-13 | 台灣電鏡儀器股▲ふん▼有限公司 | 密封搬送装置 |
| JP7187747B2 (ja) | 2020-05-26 | 2022-12-13 | 台灣電鏡儀器股▲ふん▼有限公司 | 密封搬送装置 |
| CN113289995A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-08-24 | 无锡亚电智能装备有限公司 | 晶圆容纳盒清洗设备及晶圆容纳盒清洗方法 |
| CN113289995B (zh) * | 2021-05-14 | 2022-04-22 | 无锡亚电智能装备有限公司 | 晶圆容纳盒清洗设备及晶圆容纳盒清洗方法 |
| CN116552972A (zh) * | 2023-05-05 | 2023-08-08 | 北京鑫跃微半导体技术有限公司 | 晶圆承载装置 |
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