JP2003287133A - ガスケット保持具 - Google Patents
ガスケット保持具Info
- Publication number
- JP2003287133A JP2003287133A JP2002092946A JP2002092946A JP2003287133A JP 2003287133 A JP2003287133 A JP 2003287133A JP 2002092946 A JP2002092946 A JP 2002092946A JP 2002092946 A JP2002092946 A JP 2002092946A JP 2003287133 A JP2003287133 A JP 2003287133A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gasket
- plate body
- plate
- gasket holder
- supporting leg
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 板体にガスケットを装着してなるガスケット
保持具を作業台に置いてもガスケットのシール面にパー
ティクルが付着しないようにする。 【解決手段】 板体１にガスケット２を装着して保持す
るガスケット保持具において、板体１の一部に切り目を
入れ、その切り目から板体１の両面側に向けて曲げ起こ
した支脚４を設けて構成する。 【効果】 ガスケット保持具を作業台に置いた場合、板
体１は支脚４によって作業台から浮き上がった状態に保
持されるため、板体に装着されているガスケット２のシ
ール面にパーティクルが付着するのを防止できる。
保持具を作業台に置いてもガスケットのシール面にパー
ティクルが付着しないようにする。 【解決手段】 板体１にガスケット２を装着して保持す
るガスケット保持具において、板体１の一部に切り目を
入れ、その切り目から板体１の両面側に向けて曲げ起こ
した支脚４を設けて構成する。 【効果】 ガスケット保持具を作業台に置いた場合、板
体１は支脚４によって作業台から浮き上がった状態に保
持されるため、板体に装着されているガスケット２のシ
ール面にパーティクルが付着するのを防止できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
原子力装置などで使われる超高真空機器において、流体
の漏れを防止する金属ガスケットを保持して配置するた
めに用いられるガスケット保持具の改良に関する。
原子力装置などで使われる超高真空機器において、流体
の漏れを防止する金属ガスケットを保持して配置するた
めに用いられるガスケット保持具の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置では、フランジ等
の接合部に外周面に溝を有する金属製の環状ガスケット
が多く用いられている。このように外周面に溝を有する
金属製の環状ガスケット（以下、単にガスケットと呼称
する）は半導体製造装置の構成部品の小型化に対応して
外径の大きさが１０ｍｍ程度の小型のものが多く、フラ
ンジ接合面に形成した凹部にガスケットを装着するとき
に位置がずれて、ガスケットの締め付けが不均一にな
り、漏れが発生したり、ガスケットの取り付け時にガス
ケットに不純物が付着したり、微少な傷が入るなどの不
具合が生じることがある。そこで、ガスケットに直接触
れることなく、装置からガスケットを脱着するためにガ
スケット保持具を用いるようになってきている。
の接合部に外周面に溝を有する金属製の環状ガスケット
が多く用いられている。このように外周面に溝を有する
金属製の環状ガスケット（以下、単にガスケットと呼称
する）は半導体製造装置の構成部品の小型化に対応して
外径の大きさが１０ｍｍ程度の小型のものが多く、フラ
ンジ接合面に形成した凹部にガスケットを装着するとき
に位置がずれて、ガスケットの締め付けが不均一にな
り、漏れが発生したり、ガスケットの取り付け時にガス
ケットに不純物が付着したり、微少な傷が入るなどの不
具合が生じることがある。そこで、ガスケットに直接触
れることなく、装置からガスケットを脱着するためにガ
スケット保持具を用いるようになってきている。
【０００３】上記ガスケット保持具は主に弾性変形可能
な薄い金属板体（厚さ０．１ｍｍ）より成り、その板体
にガスケットの取り込み穴と、その穴の中心に向けて張
り出す腕状をした複数本の保持部分より構成されたもの
（特開平１０−２０９３１２号）や、ガスケットの取り
込み穴と、その穴に連絡する支持穴があり、ガスケット
を取り込み穴から支持穴側にスライドして支持穴に挟み
込ませることができる構成のものが知られている（特開
２００１−１４１０６２）。また、１つのガスケット保
持具に複数のガスケットを支持（最大３個）できるもの
も知られている。
な薄い金属板体（厚さ０．１ｍｍ）より成り、その板体
にガスケットの取り込み穴と、その穴の中心に向けて張
り出す腕状をした複数本の保持部分より構成されたもの
（特開平１０−２０９３１２号）や、ガスケットの取り
込み穴と、その穴に連絡する支持穴があり、ガスケット
を取り込み穴から支持穴側にスライドして支持穴に挟み
込ませることができる構成のものが知られている（特開
２００１−１４１０６２）。また、１つのガスケット保
持具に複数のガスケットを支持（最大３個）できるもの
も知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述した装置・機器等
に用いられる前記ガスケットは、一般にガスケット保持
具に装着された状態でパーティクル（微細な粒子状物
質）が少ない梱包材で梱包された状態で取り扱われてい
る。そして、ガスケットを装着した数種類のガスケット
保持具が数多く使用されている。
に用いられる前記ガスケットは、一般にガスケット保持
具に装着された状態でパーティクル（微細な粒子状物
質）が少ない梱包材で梱包された状態で取り扱われてい
る。そして、ガスケットを装着した数種類のガスケット
保持具が数多く使用されている。
【０００５】ガスケット保持具を梱包材から取り出し
て、装置・機器の部品に取り付ける作業において、必要
とするものと違うガスケット保持具（ガスケットの種
類）を開封した場合や、必要数以上に開封した場合、ガ
スケット保持具を作業台等に置くと、保持具に装着され
ているガスケットのシール面にパーティクルが付着する
おそれがある。
て、装置・機器の部品に取り付ける作業において、必要
とするものと違うガスケット保持具（ガスケットの種
類）を開封した場合や、必要数以上に開封した場合、ガ
スケット保持具を作業台等に置くと、保持具に装着され
ているガスケットのシール面にパーティクルが付着する
おそれがある。
【０００６】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、例えば一時的に作業台に置いてもガスケッ
トのシール面にパーティクルが付着するおそれのないガ
スケット保持具を提供することを主たる目的とする。
れたもので、例えば一時的に作業台に置いてもガスケッ
トのシール面にパーティクルが付着するおそれのないガ
スケット保持具を提供することを主たる目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によるガスケット保持具は、ガスケットが装
着される板体に、ガスケットのシール面を保護するため
の空間を作るための支脚が設けられている構成を要旨と
する。
に、本発明によるガスケット保持具は、ガスケットが装
着される板体に、ガスケットのシール面を保護するため
の空間を作るための支脚が設けられている構成を要旨と
する。
【０００８】前記板体に設けられる支脚は、板体の一部
に切り目を入れ、その切り目から板体の片面側または両
面側に向けて曲げ起こすことで形成される。
に切り目を入れ、その切り目から板体の片面側または両
面側に向けて曲げ起こすことで形成される。
【０００９】また、前記支脚は、板体の縁辺の一部から
板体と一体に突き出した突出片を板体の片面側または両
面側に向けて曲げ起こすことで形成される。
板体と一体に突き出した突出片を板体の片面側または両
面側に向けて曲げ起こすことで形成される。
【００１０】上記板体に設けられる支脚の高さは、板体
に装着されたガスケットの高さ（板体から突出する高
さ）の半分以上とするのが好ましい。
に装着されたガスケットの高さ（板体から突出する高
さ）の半分以上とするのが好ましい。
【００１１】上記のように構成されたガスケット保持具
は、例えば、これを一時的に作業台に置いた場合、板体
は支脚によって作業台から浮き上がった状態に保持され
るため、板体に装着されているガスケットのシール面に
パーティクルが付着するのを防止することができる。
は、例えば、これを一時的に作業台に置いた場合、板体
は支脚によって作業台から浮き上がった状態に保持され
るため、板体に装着されているガスケットのシール面に
パーティクルが付着するのを防止することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態とし
ては、図１〜図２に示すように、正方形板体１に３個の
ガスケット２を装着してなるガスケット保持具におい
て、板体１の３個所にそれぞれ切り目を入れ、各切り目
から板体の両側面に向けて曲げ起こされた支脚４が設け
られた構成とする。
ては、図１〜図２に示すように、正方形板体１に３個の
ガスケット２を装着してなるガスケット保持具におい
て、板体１の３個所にそれぞれ切り目を入れ、各切り目
から板体の両側面に向けて曲げ起こされた支脚４が設け
られた構成とする。
【００１３】
【実施例】図１〜図２に、本発明の一実施例を示す。図
１〜図２において、１はガスケット保持具を構成するＳ
ＵＳ３０４製金属からなる厚さ０．１ｍｍの正方形板
体、２は板体１に装着された３個のガスケット、３はボ
ルト穴であり、板体１には、３個所に切り目を入れ、そ
の切り目から板体の両面側に向けて曲げ起こされた支脚
４が設けられている。
１〜図２において、１はガスケット保持具を構成するＳ
ＵＳ３０４製金属からなる厚さ０．１ｍｍの正方形板
体、２は板体１に装着された３個のガスケット、３はボ
ルト穴であり、板体１には、３個所に切り目を入れ、そ
の切り目から板体の両面側に向けて曲げ起こされた支脚
４が設けられている。
【００１４】前記支脚４は、接地部となる先端が板体と
平行する方向に折り曲げられている。これはガスケット
保持具を作業台に置く場合の安定性をよくするためのも
のである。前記支脚４は、図３（イ）に示すように、単
に直状形でもよく、また（ロ）に示すように先端を折り
返す形状としたり、（ハ）に示すように先端にＲをもた
せた形状としてもよい。
平行する方向に折り曲げられている。これはガスケット
保持具を作業台に置く場合の安定性をよくするためのも
のである。前記支脚４は、図３（イ）に示すように、単
に直状形でもよく、また（ロ）に示すように先端を折り
返す形状としたり、（ハ）に示すように先端にＲをもた
せた形状としてもよい。
【００１５】図４〜図５に、本発明の他の実施例を示
す。なお、図１〜図２と同一または類似する部材には同
じ符号が付されている。図４〜図５において、板体１に
は、直列に配置した３個のガスケット２の列と並行する
両側にあたる縁辺で、各ガスケット２とそれぞれ対応す
る部位から板体１と一体なる支脚５がそれぞれ突き出し
状に設けられ、これらの突き出し状の支脚５のうち、一
方の縁辺の３個の支脚５は上向き−下向き−上向きとな
るように曲げられ、また反対側縁辺の３個の支脚５は前
記辺縁の支脚と反対に、下向き−上向き−下向きとなる
ように曲げられている。
す。なお、図１〜図２と同一または類似する部材には同
じ符号が付されている。図４〜図５において、板体１に
は、直列に配置した３個のガスケット２の列と並行する
両側にあたる縁辺で、各ガスケット２とそれぞれ対応す
る部位から板体１と一体なる支脚５がそれぞれ突き出し
状に設けられ、これらの突き出し状の支脚５のうち、一
方の縁辺の３個の支脚５は上向き−下向き−上向きとな
るように曲げられ、また反対側縁辺の３個の支脚５は前
記辺縁の支脚と反対に、下向き−上向き−下向きとなる
ように曲げられている。
【００１６】図６に、本発明の他の実施例を示す。なお
図１〜図２と同一または類似する部材には同じ符号が付
されている。本実施例は、図１と図４の構造を組み合せ
たもので、板体１の接着部位に切り目による支脚４を設
けると共に板体１の縁辺から支脚５を一体に突出させた
構造である
図１〜図２と同一または類似する部材には同じ符号が付
されている。本実施例は、図１と図４の構造を組み合せ
たもので、板体１の接着部位に切り目による支脚４を設
けると共に板体１の縁辺から支脚５を一体に突出させた
構造である
【００１７】上記各実施例のガスケット保持具は、これ
を一時的に作業台に置いた場合、板体１は支脚４，５に
よって作業台から浮き上がった状態に保持されるため、
ガスケット２のシール面を保護するための空間が形成さ
れる。したがって、これにより板体に装着されているガ
スケット２のシール面にパーティクルが付着するのを防
止することができる。
を一時的に作業台に置いた場合、板体１は支脚４，５に
よって作業台から浮き上がった状態に保持されるため、
ガスケット２のシール面を保護するための空間が形成さ
れる。したがって、これにより板体に装着されているガ
スケット２のシール面にパーティクルが付着するのを防
止することができる。
【００１８】また、前記支脚４，５の先端を板体と平行
する方向に折り曲げてあるガスケット保持具は倒れにく
くなり、安定性が良い。また、支脚の先端にＲをもたせ
たものは、ガスケット保持具を入れる梱包材やガスケッ
ト保持具が取り付けられる部品に傷が付きにくくなる。
する方向に折り曲げてあるガスケット保持具は倒れにく
くなり、安定性が良い。また、支脚の先端にＲをもたせ
たものは、ガスケット保持具を入れる梱包材やガスケッ
ト保持具が取り付けられる部品に傷が付きにくくなる。
【００１９】さらにまた、図４〜図５のガスケット保持
具の構成では、ガスケット保持具が取り付けられる部品
の外方に支脚５がとび出ることで、取り付け後にどの位
置に何個のガスケットを入れたかを確認できる。
具の構成では、ガスケット保持具が取り付けられる部品
の外方に支脚５がとび出ることで、取り付け後にどの位
置に何個のガスケットを入れたかを確認できる。
【００２０】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
一時的に作業台に置いてもガスケットのシール面にパー
ティクルが付着するおそれのないガスケット保持具が得
られる。
一時的に作業台に置いてもガスケットのシール面にパー
ティクルが付着するおそれのないガスケット保持具が得
られる。
【図１】本発明の一実施例を示すガスケット保持具の平
面図である。
面図である。
【図２】図１の（Ｘ−Ｘ）線の断面図である。
【図３】（イ），（ロ），（ハ）は支脚部分の形状を示
す側面図である。
す側面図である。
【図４】本発明の他の実施例を示すガスケット保持具の
平面図である。
平面図である。
【図５】ガスケット保持具の側面図である。
【図６】本発明の他の実施例を示すガスケット保持具の
平面図である。
平面図である。
１ ガスケット保持具の板体
２ ガスケット
３ ボルト穴
４ 支脚
５ 支脚
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 森 英明
静岡県浜松市上島５−５−７
Ｆターム(参考） 3J040 BA01 EA17 FA01 HA03 HA04
HA15
Claims (6)
- 【請求項１】 ガスケットが装着される板体に、ガスケ
ットのシール面を保護するための空間を作るための支脚
が設けられていることを特徴とするガスケット保持具。 - 【請求項２】 板体に設けられる支脚は、板体に複数の
切り目を入れ、その切り目から板体の片面側または両面
側に向けて曲げ起こしたものである請求項１に記載のガ
スケット保持具。 - 【請求項３】 板体は正方形または長方形とされ、板体
に設けられる支脚は、板体の対向縁辺からそれぞれ一体
に突き出し状に設けられたものである請求項１に記載の
ガスケット保持具。 - 【請求項４】 板体は正方形または長方形であり、板体
に装着された複数個のガスケットの列と並行する板体の
両側にあたる縁辺で、各ガスケットとそれぞれ対向する
部位から板体と一体なる支脚が突き出し状に設けられて
いる請求項１に記載のガスケット保持具。 - 【請求項５】 板体に設けられる支脚の高さは、板体に
装着されたガスケットの高さの半分以上とされている請
求項１〜４記載のガスケット保持具。 - 【請求項６】 板体に設けられる支脚は、その先端を板
体と平行に折り曲げたもの、または先端にＲをもたせた
ものである請求項１〜５記載のガスケット保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002092946A JP2003287133A (ja) | 2002-03-28 | 2002-03-28 | ガスケット保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002092946A JP2003287133A (ja) | 2002-03-28 | 2002-03-28 | ガスケット保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003287133A true JP2003287133A (ja) | 2003-10-10 |
Family
ID=29237624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002092946A Pending JP2003287133A (ja) | 2002-03-28 | 2002-03-28 | ガスケット保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003287133A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106662247A (zh) * | 2013-01-15 | 2017-05-10 | 游金恩国 | 用于表面安装流体组件的垫圈固定件 |
-
2002
- 2002-03-28 JP JP2002092946A patent/JP2003287133A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106662247A (zh) * | 2013-01-15 | 2017-05-10 | 游金恩国 | 用于表面安装流体组件的垫圈固定件 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4767984A (en) | Protective fixture for chip carrier | |
| EP3605597B1 (en) | Silicon chip holding device, silicon chip conveying device, silicon chip delivery system and conveying method | |
| JP4268091B2 (ja) | 部品保持具 | |
| TW201903878A (zh) | 工作夾台 | |
| JP2003287133A (ja) | ガスケット保持具 | |
| JP2000077438A (ja) | チップ吸着用のダイコレットおよびチップ吸着方法ならびにチップのボンディング装置およびボンディング方法 | |
| TWI637461B (zh) | 柔性工件的支撑件 | |
| JP2014203967A (ja) | チャックテーブル | |
| JPH02130103A (ja) | ダイシング用治具 | |
| KR102334121B1 (ko) | 척 테이블 | |
| JP4863350B2 (ja) | 粘着性シート及び保持治具 | |
| KR102170518B1 (ko) | 반송구, 반송 방법 및 반송구 유닛 | |
| JP5553062B2 (ja) | 位置決め装置と位置決め方法 | |
| CN211614566U (zh) | 真空吸附盘 | |
| JP2002144270A (ja) | 吸着ジグ及び被搬送物の搬送方法 | |
| CN222927463U (zh) | 吸嘴结构和芯片吸附设备 | |
| KR102939074B1 (ko) | 모바일 모듈 고정용 보호커버의 양면테이프 부착지그 | |
| JP2003287131A (ja) | ガスケット保持具 | |
| JP7569950B1 (ja) | 塗工装置 | |
| CN220094166U (zh) | 一种用于金属拉丝工艺的紧固件 | |
| CN221159464U (zh) | 一种真空吸附工装 | |
| JPH0738305Y2 (ja) | 真空吸着プレート | |
| CN215316655U (zh) | 谐振器翻转组件和谐振器封焊设备 | |
| JP2005538563A (ja) | 部品の支持プレート、支持プレートを備えたパッケージング・ユニット並びにパッケージング・ユニットの作成及び使用 | |
| JPH0758190A (ja) | 基板固定治具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20041228 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20070830 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070904 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071023 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20080422 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |