JP2003288596A - 画像処理検査方法および画像検査装置 - Google Patents

画像処理検査方法および画像検査装置

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JP2003288596A
JP2003288596A JP2002092906A JP2002092906A JP2003288596A JP 2003288596 A JP2003288596 A JP 2003288596A JP 2002092906 A JP2002092906 A JP 2002092906A JP 2002092906 A JP2002092906 A JP 2002092906A JP 2003288596 A JP2003288596 A JP 2003288596A
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JP2002092906A
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English (en)
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Masaaki Komiya
雅明 小宮
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Toshiba Lighting and Technology Corp
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Toshiba Lighting and Technology Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、量産品の検査が容易に行えるととも
に、検査精度も高くすることができる画像検査方法およ
び画像検査装置を提供する。 【解決手段】照明装置１で照射された蛍光ランプ７の口
金ピン部７０をＣＣＤカメラ２で撮像し（１）、基準領
域２１と口金ピン部７０の基準領域２１に該当する位置
補正対象領域８１とが一致するように位置補正が行われ
（２）、位置補正された口金ピン７３の形状を口金ピン
７３の色を検出することによって明確化する
（（３））。そして、口金ピン７３と第一検査範囲２２
および第二検査範囲２３とを比較装置３２により比較
し、比較された結果、良品／不良品の判断がなされ、こ
の検査結果が画像演算処理装置３から演算処理装置５へ
出力されることで画像処理検査が終了する（５）、
（６）、（７）、（８）、（９）。本実施形態によれ
ば、保持機構を簡素化でき、設備のコストを抑えること
ができるとともに、測定の精度も容易に向上させること
ができる。また、複雑な演算処理を行うことなく、容易
に不良品を検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は画像処理によって検
査する画像検査方法および画像検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に生産者が量産品である製品を製造
する際には、製品の信頼性を確認するために製品検査が
行われている。このような量産品として例えば、白熱電
球、蛍光ランプ等の管球製品がある。そして、この管球
製品の製品検査を行う部位として例えば、管端部設けら
れ、かつ、内部にリード線が挿通している口金ピン部が
ある。
【０００３】上述の口金ピン部において、口金ピンの先
端からリード線が突出していたり、口金ピン自体が変形
していると外観状好ましくないとともにソケットへの装
着において電気的接続が確保できず、商品性に問題が生
ずる場合がある。
【０００４】したがって、このような問題を解消するた
めには口金ピン部の検査を行うことであるが、口金ピン
部を検査する方法として考えられるのが人の目視による
目視検査で行う方法（以下、検査態様１）や、センサを
用いて口金ピン部の変形形状を検知する方法（以下、検
査態様２）であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら検査態様
１は、人による目視のために、検査の正確性には限界が
ある。
【０００６】また、検査態様２は、一つの口金ピン部に
対して複数のセンサが必要であるので装置のコストが増
加してしまうとともに、口金ピン部の検査ポジションを
センサに対して常に一定にしておくための機構が必要で
あったので、装置および設備上かなり手間のかかるもの
であった。また、仮に、口金ピン部の検査ポジションを
センサに対して常に一定にしておくための機構が実現で
きたとしても、口金ピンは個々の製品によって若干ばら
つきが生じてしまうので、口金ピンから突出するリード
線までも検出するのは非常に困難である。
【０００７】したがって、従来は口金ピン部を検査する
ための最適な検査方法を見出すことができなかった。
【０００８】本発明は、上記に鑑みなされたものであ
り、量産品の検査が容易に行えるとともに、検査精度も
高くすることができる画像検査方法および画像検査装置
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の画像処理検査
方法は、測定基準物を照明装置で照射するステップと；
照明装置により照射された測定基準物を撮像手段で撮像
して基準画像データを出力するステップと；撮像手段か
ら基準画像データが入力されて測定基準物の基準領域を
記憶手段で記憶するとともに、測定基準物の検査基準部
の外郭に沿うように設定される第一検査範囲を記憶手段
で記憶するステップと；測定対象物を照明装置で照射す
るステップと；照明装置により照射された測定対象物を
撮像手段で撮像して対象画像データを出力するステップ
と；入力された対象画像データと記憶手段に予め記憶さ
れている基準領域とを比較することにより測定対象物を
測定基準物と一致するように位置補正して記憶手段で記
憶するステップと；予め記憶手段に記憶されている第一
検査範囲と位置補正された測定対象物の検査比較部とを
照合させて比較手段で比較するステップと；を具備する
ことを特徴とする。
【００１０】測定基準物は、画像処理検査を行うにあた
って基準となるデータを得るために用いられる物であ
り、測定対象物は、検査の対象物であり、測定基準物か
ら得られた基準データと比較されるものを意味する。
【００１１】撮像手段は、撮像機能を有する撮像部を有
し、撮像された画像データを出力できる構成を有してい
れば特に限定しない。
【００１２】なお撮像手段で読み取られた画像データ
は、通信ケーブルやフロッピィディスクなどの記憶媒体
を介して撮像手段とは別の記憶手段および比較手段が設
けられているパーソナルコンピュータ等の画像処理演算
装置に入力されることを許容する。また、必要に応じて
画像処理演算装置は複数用いることもできる。
【００１３】請求項１の発明は、測定基準物を照明装置
で照射するステップと；照明装置により照射された測定
基準物を撮像手段で撮像して基準画像データを出力する
ステップと；撮像手段から基準画像データが入力されて
測定基準物の基準領域を記憶手段で記憶するとともに、
測定基準物の検査基準部の外郭に沿うように設定される
第一検査範囲を記憶手段で記憶するステップと；測定対
象物を照明装置で照射するステップと；照明装置により
照射された測定対象物を撮像手段で撮像して対象画像デ
ータを出力するステップと；入力された対象画像データ
と記憶手段に予め記憶されている基準領域とを比較する
ことにより測定対象物を測定基準物と一致するように位
置補正して記憶手段で記憶するステップと；予め記憶手
段に記憶されている第一検査範囲と位置補正された測定
対象物の検査比較部とを照合させて比較手段で比較する
ステップと；を具備することにより、画像処理を用いる
検査方法において、測定対象物を検査する毎に記憶手段
意に予め記憶されている測定基準物と一致するように測
定対象物が記憶手段で位置補正されることにより、測定
対象物を保持する機構を簡素化できるので設備のコスト
を抑えることができるとともに、測定の精度も容易に向
上させることができる。
【００１４】また、画像処理を用いる検査方法におい
て、測定対象物の検査を記憶手段に予め記憶されている
第一検査範囲と測定対象物の検査比較部とを照合させる
ことにより、検査比較部が基準となる形状にないことに
加えて、検査比較部から突出する不具合要因も複雑な演
算処理を行うことなく容易に検出することができる。
【００１５】請求項２の画像検査方法は、請求項１記載
の画像検査方法において、記憶手段では、第一検査範囲
を記憶するステップにおいて、検査基準部と重合し、か
つ、検査基準部の外郭内に位置するような第二検査範囲
を記憶するステップも含まれており、比較手段では、第
一検査範囲と検査比較部とを照合させるステップととも
に、第二検査範囲と検査比較部とを照合させるステップ
とを具備することを特徴とする。
【００１６】請求項２の発明は、請求１の効果に加え
て、記憶手段では、第一検査範囲を記憶するステップに
おいて、検査基準部と重合し、かつ、検査基準部の外郭
内に位置するような第二検査範囲を記憶するステップも
含まれており、比較手段では、第一検査範囲と検査比較
部とを照合させるステップとともに、第二検査範囲と検
査比較部とを照合させるステップとを具備することによ
り、第一検査範囲では検出できない方向の検査比較部の
形状を検出することができるので、不良判断となる検査
対象物の検出精度をより向上させることができる。
【００１７】請求項３の画像処理検査装置は、測定基準
物または測定対象物を照射する照明装置と；照明装置に
より照射された測定基準物または測定対象物を撮像して
基準画像データまたは対象画像データを出力する撮像手
段と；撮像手段から基準画像データが入力され、この基
準画像データから測定基準物の基準領域を記憶するとと
もに、測定基準物の検査基準部の外郭に沿うように設定
される第一検査範囲を記憶し、かつ、撮像手段から対象
画像データが入力されると予め記憶されている基準領域
と比較することにより測定対象物を測定基準物と一致す
るように位置補正して記憶する記憶手段と；記憶手段に
記憶されてている第一検査範囲と位置補正された測定対
象物の検査比較部とを照合させて比較する比較手段と；
を具備することを特徴とする。
【００１８】請求項３の発明は、測定基準物または測定
対象物を照射する照明装置と；照明装置により照射され
た測定基準物または測定対象物を撮像して基準画像デー
タまたは対象画像データを出力する撮像手段と；撮像手
段から基準画像データが入力され、この基準画像データ
から測定基準物の基準領域を記憶するとともに、測定基
準物の検査基準部の外郭に沿うように設定される第一検
査範囲を記憶し、かつ、撮像手段から対象画像データが
入力されると予め記憶されている基準領域と比較するこ
とにより測定対象物を測定基準物と一致するように位置
補正して記憶する記憶手段と；記憶手段に記憶されてて
いる第一検査範囲と位置補正された測定対象物の検査比
較部とを照合させて比較する比較手段と；を具備するこ
とにより、測定対象物を検査する毎に記憶手段意に予め
記憶されている測定基準物と一致するように測定対象物
が記憶手段で位置補正されることにより、測定対象物を
保持する機構が簡素化できるので設備のコストを抑える
ことができるとともに、測定の精度も容易に向上させる
ことができる画像検査装置を提供できる。
【００１９】また、測定対象物の検査を記憶手段に予め
記憶されている第一検査範囲と測定対象物の検査比較部
とを照合させることにより、検査比較部が基準となる形
状にないことに加えて、検査比較部から突出する不具合
要因も複雑な演算処理を行うことなく容易に検出するこ
とができる画像検査装置を提供できる。
【００２０】請求項４の画像検査装置は、請求項３記載
の画像処理装置において、記憶手段は、第一検査範囲に
加えて、検査基準部と重合し、かつ、検査基準部の外郭
内に位置するような第二検査範囲が記憶されており、比
較手段は、第一検査範囲と検査比較部とを照合させると
ともに、第二検査範囲と検査比較部とを照合させること
を特徴とする。
【００２１】請求項４の発明によれば、記憶手段は、第
一検査範囲に加えて、検査基準部と重合し、かつ、検査
基準部の外郭内に位置するような第二検査範囲が記憶さ
れており、比較手段は、第一検査範囲と検査比較部とを
照合させるとともに、第二検査範囲と検査比較部とを照
合させることにより、第一検査範囲では検出できない方
向の検査比較部の形状を検出することができるので、不
良判断となる検査対象物の検出精度をより向上させるこ
とができる画像処理装置を提供できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態について図面
を参照して説明する。
【００２３】図１は、本実施形態の画像検査装置の概略
構成図、図２は直管形蛍光ランプの口金ピン部を示した
説明図である。
【００２４】本実施形態の画像検査装置１０は、照明装
置１、撮像手段であるＣＣＤカメラ２、画像処理演算装
置３、およびモニタ４で構成されている。
【００２５】なお本実施形態は直管形蛍光ランプを検査
対象としているものであり、測定基準物を蛍光ランプ６
の口金ピン部６０、測定対象物を蛍光ランプ７の口金ピ
ン部７０とするものである。
【００２６】照明装置１は、光源が指向性の高いＬＥＤ
を用いており、この照明装置１とＣＣＤカメラ２とは蛍
光ランプ６，７の口金ピン部６０，７０を介して対向す
るように設けられている。なお、この照明装置１の光源
は本実施形態のＬＥＤ以外にも白熱電球、蛍光ランプ等
を適宜用いることができる。
【００２７】またＣＣＤカメラ２は、画像データがケー
ブル２１を介して画像処理演算装置３に入力されるよう
に構成されている。
【００２８】画像処理演算装置３は、記憶手段である記
憶装置３１および比較手段である比較装置３２が内臓さ
れており、後述する種々のデータを記憶、呼び出し、出
力および演算等が行えるように構成されている。
【００２９】また画像処理演算装置３は、演算処理され
た得られた検査結果を演算処理装置５へ出力が行えるよ
うに構成されている。
【００３０】モニタ４は、画像処理演算装置３に接続さ
れており、画像処理演算装置３で演算処理されたデータ
が画像として作業者が確認できるように構成されてい
る。
【００３１】なお演算処理装置５は、画像処理演算装置
３から検査結果が入力されて、検査が行われた蛍光ラン
プ７が不良品である場合に製造工程から排除するように
制御されているものである。
【００３２】蛍光ランプ６は、直管形に形成されたガラ
スバルブ６１からなり、このバルブ６１の両端部にはそ
れぞれ図示しないステムが封着され、フィラメントが接
続されている。また、バルブ６１の両端部にはアルミニ
ウム製の口金ピン部６０が装着されており、この口金ピ
ン部６０から口金ピン６３が突出形成されている。ま
た、この口金ピン６３内にはガラスバルブ６１の両端部
から導出されたリード線（図示しない）がそれぞれ挿通
されている。
【００３３】次に本実施形態の検査方法について図面を
参照して説明する。
【００３４】図３は測定基準物である口金ピン部６０を
用いて基準データを得る状態を示す説明図、図４は同じ
く口金ピン部６０の口金ピン６３を用いて第一検査範囲
を設定する状態を示す説明図、図５は同じく口金ピン部
６０の口金ピン６３を用いて第二検査範囲を設定する状
態を示す説明図である。
【００３５】まず、蛍光ランプ６を用いて基準データを
設定する方法について説明する。
【００３６】図３に示すように、蛍光ランプ６の測定対
象物である口金ピン部６０を含むようにＣＣＤカメラ２
で測定領域２０を撮像する。
【００３７】そして、図３に示すように口金ピン部６０
における基準領域２１を記憶装置３１に記憶させる。次
に、図４に示すように、口金ピン部６０の検査基準部で
ある口金ピン６３の外郭に沿うようなコ字状の第一検査
範囲２２を設定するとともに第一検査範囲２２を記憶装
置３１に記憶させる。
【００３８】さらに、図５に示すように、口金ピン６３
と重合し、かつ、口金ピン６３の外郭よりも内側に位置
するような矩形形状の第二検査範囲２３を設定するとと
もに記憶装置３１に第二検査範囲２３を記憶させる。こ
のような設定が行われることによって蛍光ランプ７の画
像処理検査を行う際の基準となるデータの設定が終了す
る。
【００３９】次に、測定対象である蛍光ランプ７の測定
対象物である口金ピン部７０の検査方法について説明す
る。
【００４０】図６は検査方法を説明する説明図、図７は
測定対象物である口金ピン部７０を用いて測定対象デー
タを得る状態を示す説明図、図８は図７で得られた測定
対象データを位置補正する状態を示す説明図である。
【００４１】まず、照明装置１で照射された蛍光ランプ
７の測定対象物である口金ピン部７０を含むようにＣＣ
Ｄカメラ２で測定対象領域８０を撮像する（（１）、図
７参照）。
【００４２】次に、記憶装置３１に記憶されている基準
領域２１を呼び出すとともに、この基準領域２１と口金
ピン部７０の基準領域２１に該当する位置補正対象領域
８１とが一致するように位置補正が行われ、口金ピン部
６０の口金ピン６３を用いて設定した第一検査範囲２２
と第二検査範囲２３とを用いて比較検査できるような状
態に口金ピン部７０の口金ピン７３を検査比較部として
設定する（（２）、図７、図８参照（なお、図８におい
て点線は、図口金ピン部６０を用いて得られた基準デー
タ示し、実線は口金ピン部７０を用いて得られた測定対
象データを示している））。
【００４３】次に、位置補正された口金ピン７３の形状
を口金ピン７３の色を検出することによって明確化する
（（３））。そして、記憶装置３１に記憶されている第
一検査範囲２２と第二検査範囲２３とを呼び出すととも
に、明確化された口金ピン７３と第一検査範囲２２およ
び第二検査範囲２３とを比較装置３２により比較する
（（４））。そして、比較された結果、良品／不良品の
判断がなされるとともに、一対の口金ピン７３，７３の
うち一方でも検査が終了していない場合は、検査が行わ
れていない一方の口金ピン７３について（３）から検査
が行われ、一対の口金ピン７３，７３の両方検査が行わ
れた場合には口金ピン７３，７３について全て良品であ
ったかどうかの結果が画像演算処理装置３でなされ、こ
の検査結果が画像演算処理装置３から演算処理装置５へ
出力されることで画像処理検査が終了する（（５）、
（６）、（７）、（８）、（９））。
【００４４】ここで、本実施形態の口金ピン６３，７３
の検出方法および第一検査範囲２２、第二検査範囲２３
の検出方法について図９を用いて説明する。なお、図９
は本実施形態の検出方法を示す説明図である。
【００４５】本検査方法は口金ピン６３，７３の色を検
出することによって行っている。すなわち、図９を用い
て説明すると、照明装置１から照射される第一色（例え
ば青色）の領域９０（図中の斜線部分）と口金ピン６
３、７３の第二色（例えば黄土色）の領域６５とを検出
することによって形状の検出が行われているのである。
例えば、口金ピン６３，７３の形状を検出する際には、
画像領域内で第二色の領域６５のみを検出することで設
定することができる。また、第一検査範囲２２を設定す
る際には、まず口金ピン６３の第二色の領域６５（形状
および外郭）を検出し、その外郭に沿うような形状を領
域９０に設けることで設定を行うことできる。また、第
二検査領域２３を設定する際には、口金ピン６３の第二
色の領域６５を検出し、この領域６５内であり、かつ、
領域９０には至らないように設けることで設定を行うこ
とができる。
【００４６】なお、本実施形態においては、図１０の
（ａ）に示したように第一検査範囲２２内に口金ピン７
３の先端から突出するリード線７４の色が検出された場
合にリード線７４が残存しているので不良品として、
（ｂ）に示したように第一検査範囲２２内に口金ピン７
３の色が検出された場合に口金ピン７４の形状が左右方
向にずれているので不良品として、（ｃ）に示したよう
に第二検査範囲２３内に領域９０の色が検出された場合
には（ｄ）に示したように上下方向にずれているので不
良品として夫々検出される。
【００４７】本実施形態によれば、口金ピン部７０を検
査する毎に記憶装置３１に予め記憶されている口金ピン
部６０の基準領域２１と、口金ピン７０の基準領域２１
に該当する位置補正対象領域８１とが一致するように位
置補正が行われることにより、測定対象物である口金ピ
ン７３を保持する機構側で位置補正を行う必要がないの
で、保持機構を簡素化でき、設備のコストを抑えること
ができるとともに、測定の精度も容易に向上させること
ができる。
【００４８】また、記憶装置３１に予め記憶されている
第一検査範囲２２および第二検査範囲２３と口金ピン部
７０の検査比較部である口金ピン７３とを照合させるこ
とにより、口金ピン７３が基準となる形状にないことに
加えて、口金ピン７３から突出するリード線７４も複雑
な演算処理を行うことなく、容易に検出することができ
る。
【００４９】本実施形態のように画像処理を用いて不良
品の検査を行えることは、目視またはセンサーを用いて
検査を行うことに比べて検査の精度、設備のコスト、検
査の容易性等の面で大変有効である。また、仮に画像処
理検査方法として、「基準パターンとして口金ピン６３
の形状を記憶させて、この記憶された口金ピン６３の基
本形状と口金ピン７３自体の形状とを直接比較する」よ
うな方法も考えられるが、このような方法よりも本実施
形態の方が格段と演算の処理速度が速く、かつ、検出の
精度は製品の信頼性を十分確保し得るものであるので、
特に検査対象が量産品であるような場合に大変有効であ
る。
【００５０】
【発明の効果】請求項１の発明は、測定基準物を照明装
置で照射するステップと；照明装置により照射された測
定基準物を撮像手段で撮像して基準画像データを出力す
るステップと；撮像手段から基準画像データが入力され
て測定基準物の基準領域を記憶手段で記憶するととも
に、測定基準物の検査基準部の外郭に沿うように設定さ
れる第一検査範囲を記憶手段で記憶するステップと；測
定対象物を照明装置で照射するステップと；照明装置に
より照射された測定対象物を撮像手段で撮像して対象画
像データを出力するステップと；入力された対象画像デ
ータと記憶手段に予め記憶されている基準領域とを比較
することにより測定対象物を測定基準物と一致するよう
に位置補正して記憶手段で記憶するステップと；予め記
憶手段に記憶されている第一検査範囲と位置補正された
測定対象物の検査比較部とを照合させて比較手段で比較
するステップと；を具備することにより、画像処理を用
いる検査方法において、測定対象物を検査する毎に記憶
手段意に予め記憶されている測定基準物と一致するよう
に測定対象物が記憶手段で位置補正されることにより、
測定対象物を保持する機構を簡素化できるので設備のコ
ストを抑えることができるとともに、測定の精度も容易
に向上させることができる。
【００５１】また、画像処理を用いる検査方法におい
て、測定対象物の検査を記憶手段に予め記憶されている
第一検査範囲と測定対象物の検査比較部とを照合させる
ことにより、検査比較部が基準となる形状にないことに
加えて、検査比較部から突出する不具合要因も複雑な演
算処理を行うことなく容易に検出することができる。
【００５２】請求項２の発明は、請求１の効果に加え
て、記憶手段では、第一検査範囲を記憶するステップに
おいて、検査基準部と重合し、かつ、検査基準部の外郭
内に位置するような第二検査範囲を記憶するステップも
含まれており、比較手段では、第一検査範囲と検査比較
部とを照合させるステップとともに、第二検査範囲と検
査比較部とを照合させるステップとを具備することによ
り、第一検査範囲では検出できない方向の検査比較部の
形状を検出することができるので、不良判断となる検査
対象物の検出精度をより向上させることができる。
【００５３】請求項３の発明は、測定基準物または測定
対象物を照射する照明装置と；照明装置により照射され
た測定基準物または測定対象物を撮像して基準画像デー
タまたは対象画像データを出力する撮像手段と；撮像手
段から基準画像データが入力され、この基準画像データ
から測定基準物の基準領域を記憶するとともに、測定基
準物の検査基準部の外郭に沿うように設定される第一検
査範囲を記憶し、かつ、撮像手段から対象画像データが
入力されると予め記憶されている基準領域と比較するこ
とにより測定対象物を測定基準物と一致するように位置
補正して記憶する記憶手段と；記憶手段に記憶されてて
いる第一検査範囲と位置補正された測定対象物の検査比
較部とを照合させて比較する比較手段と；を具備するこ
とにより、測定対象物を検査する毎に記憶手段意に予め
記憶されている測定基準物と一致するように測定対象物
が記憶手段で位置補正されることにより、測定対象物を
保持する機構が簡素化できるので設備のコストを抑える
ことができるとともに、測定の精度も容易に向上させる
ことができる画像検査装置を提供できる。
【００５４】また、測定対象物の検査を記憶手段に予め
記憶されている第一検査範囲と測定対象物の検査比較部
とを照合させることにより、検査比較部が基準となる形
状にないことに加えて、検査比較部から突出する不具合
要因も複雑な演算処理を行うことなく容易に検出するこ
とができる画像検査装置を提供できる。
【００５５】請求項４の発明によれば、記憶手段は、第
一検査範囲に加えて、検査基準部と重合し、かつ、検査
基準部の外郭内に位置するような第二検査範囲が記憶さ
れており、比較手段は、第一検査範囲と検査比較部とを
照合させるとともに、第二検査範囲と検査比較部とを照
合させることにより、第一検査範囲では検出できない方
向の検査比較部の形状を検出することができるので、不
良判断となる検査対象物の検出精度をより向上させるこ
とができる画像処理装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の画像検査装置の概略構成図
【図２】同上直管形蛍光ランプの口金ピン部を示した説
明図
【図３】同上測定基準物である口金ピン部を用いて基準
データを得る状態を示す説明図
【図４】同上口金ピン部の口金ピンを用いて第一検査範
囲を設定する状態を示す説明図
【図５】同上口金ピン部の口金ピンを用いて第二検査範
囲を設定する状態を示す説明図
【図６】同上検査方法を説明する説明図
【図７】同上測定対象物である口金ピン部を用いて測定
対象データを得る状態を示す説明図
【図８】図７で得られた測定対象データを位置補正する
状態を示す説明図
【図９】本実施形態の検出方法を示す説明図
【図１０】同上不良品と判断される口金ピンの検査状態
を示す説明図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｈ０１Ｊ 9/42 Ｇ０１Ｂ 11/24 Ｋ Ｆターム(参考） 2F065 AA51 CC21 DD02 DD06 FF04 GG02 GG03 GG07 JJ26 QQ08 QQ24 QQ25 QQ31 QQ38 RR08 SS02 TT03 2G051 AA90 AB20 AC21 CA04 EA14 EA17 EB09 5B057 AA04 CE08 DA03 DA16 DC09 DC33 5C012 UU06 5L096 BA03 CA02 CA24 DA02 FA69 HA07

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】測定基準物を照明装置で照射するステップ
    と；照明装置により照射された測定基準物を撮像手段で
    撮像して基準画像データを出力するステップと；撮像手
    段から基準画像データが入力されて測定基準物の基準領
    域を記憶手段で記憶するとともに、測定基準物の検査基
    準部の外郭に沿うように設定される第一検査範囲を記憶
    手段で記憶するステップと；測定対象物を照明装置で照
    射するステップと；照明装置により照射された測定対象
    物を撮像手段で撮像して対象画像データを出力するステ
    ップと；入力された対象画像データと記憶手段に予め記
    憶されている基準領域とを比較することにより測定対象
    物を測定基準物と一致するように位置補正して記憶手段
    で記憶するステップと；予め記憶手段に記憶されている
    第一検査範囲と位置補正された測定対象物の検査比較部
    とを照合させて比較手段で比較するステップと；を具備
    することを特徴とする画像処理検査方法。
  2. 【請求項２】記憶手段では、第一検査範囲を記憶するス
    テップにおいて、検査基準部と重合し、かつ、検査基準
    部の外郭より内側に位置するような第二検査範囲を記憶
    するステップも含まれており、比較手段では、第一検査
    範囲と検査比較部とを照合させるステップとともに、第
    二検査範囲と検査比較部とを照合させるステップとを具
    備することを特徴とする請求項１記載の画像検査方法。
  3. 【請求項３】測定基準物または測定対象物を照射する照
    明装置と；照明装置により照射された測定基準物または
    測定対象物を撮像して基準画像データまたは対象画像デ
    ータを出力する撮像手段と；撮像手段から基準画像デー
    タが入力され、この基準画像データから測定基準物の基
    準領域を記憶するとともに、測定基準物の検査基準部の
    外郭に沿うように設定される第一検査範囲を記憶し、か
    つ、撮像手段から対象画像データが入力されると予め記
    憶されている基準領域と比較することにより測定対象物
    を測定基準物と一致するように位置補正して記憶する記
    憶手段と；記憶手段に記憶されてている第一検査範囲と
    位置補正された測定対象物の検査比較部とを照合させて
    比較する比較手段と；を具備することを特徴とする画像
    処理検査装置。
  4. 【請求項４】記憶手段は、第一検査範囲に加えて、検査
    基準部と重合し、かつ、検査基準部の外郭内に位置する
    ような第二検査範囲が記憶されており、比較手段は、第
    一検査範囲と検査比較部とを照合させるとともに、第二
    検査範囲と検査比較部とを照合させることを特徴とする
    請求項３記載の画像検査装置。
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