JP2003291333A

JP2003291333A - インクジェットヘッド及びそれを用いた記録装置

Info

Publication number: JP2003291333A
Application number: JP2002094667A
Authority: JP
Inventors: Satoru Hida; 悟飛田; Shinya Tomita; 真也富田; Toshitaka Ogawa; 俊孝小川
Original assignee: Hitachi Printing Solutions Inc
Current assignee: Ricoh Printing Systems Ltd
Priority date: 2002-03-29
Filing date: 2002-03-29
Publication date: 2003-10-14
Anticipated expiration: 2022-03-29
Also published as: JP3821221B2

Abstract

(57)【要約】【課題】インクを高周波で吐出する際、インク滴の飛
翔速度が大きく変動するという課題を有する。これは、
前のインク滴の吐出後のメニスカスの残留振動が大きい
為であり、場合によっては吐出不能となることもある。
本発明はこの様な課題に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは高周波で吐出可能なインクジェットヘ
ッドを提供することである。【解決手段】本発明のインクジェットヘッドは、イン
クを吐出するノズルと、インクを供給する共通インク室
とに連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の一壁面を
成す振動板と、振動板を動かす圧電振動子とを有し、前
記圧力発生室と前記共通インク室との壁間に複数の微細
穴を設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ノズルからインク
滴を吐出して記録媒体に文字等の記録像を書き込むイン
クジェット式記録ヘッドおよびこれを用いた記録装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット式記録装置は、ノズル開
口部からインク滴を吐出させて紙などの記録媒体に文字
や画像を印刷するものである。近年、より高速、高品質
な印字を行うインクジェット式印刷装置が求められてい
る。そのような印刷装置を実現するには、実装密度の向
上や高周波駆動可能なインクジェットヘッドを必要とす
る。高周波駆動可能なヘッドを構成する技術は種々提案
されている。例えば、ヘッド寸法等によって定義される
ヘルムホルツ周波数を大きくして、ヘッドを構成する技
術などが提案されている。

【０００３】また、特開平０８−２９０５７１号公報
に、ノズル開口部とインクが供給されるリストリクタ
部、其々のイナータンスの関係を規定することで高周波
駆動可能な方法が提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、単にイナータ
ンスのみの関係を維持するだけでは、例えば、インク室
を膨張収縮させてインク滴を吐出させる場合の駆動波形
において、膨張或いは収縮させる工程の時間が短い場合
などにインク室の膨張工程後の慣性によるインクの流入
が遅れたりして、最悪の場合、吐出不良を引き起こす。
また、インクの流入を確保するために膨張保持する時間
を長くすると、駆動波形全体が長くなり、周波数応答時
間に限界が生じてしまう。

【０００５】また、インクを高周波で吐出する際に、イ
ンク滴の飛翔速度が大きく変動してしまっていた。これ
は、直前に吐出されたインク滴のメニスカスの残留振動
が大きいことによるものであり、場合によっては吐出不
能となることもあった。

【０００６】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは高周波でも吐出可能
なインクジェットヘッドを提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明では、インクを吐出するノズルと、そのノズ
ルに連通する圧力発生室と、その圧力発生室へインクタ
ンクからのインクを供給する共通インク室と、前記圧力
発生室と前記共通インク室との間に複数の微細穴からな
るインク供給口となるリストリクタと、前記圧力発生室
の一壁面を成す振動板と、その振動板に当接して前記圧
力発生室を加圧する圧電素子とを有するインクジェット
ヘッドにおいて、前記リストリクタは前記振動板と対向
する位置に設置されることを特徴とする。

【０００８】また、前記リストリクタは板状であって、
前記振動板とほぼ平行に配置されていることを特徴とす
る。

【０００９】また、其々の振動板と対向する位置に配設
された前記微細穴の開けられている一面の平面積が、前
記振動板の平面積に対し、３０％以上であることを特徴
とする。

【００１０】また、前記ノズルにおけるイナータンスを
Ｍｎ、流体抵抗をＲｎ、リストリクタ部におけるイナー
タンスをＭｒ、流体抵抗Ｒｒをとした場合において、ａ
＝Ｍｒ／Ｍｎ、ｂ＝Ｒｒ／Ｒｎ、とした場合に、ａを：
０．５＜ａ＜２．０、ｂを：４．０＜ｂ＜１６．０の範
囲とするリストリクタの個数Ｎ、の最大値をｎ、最小値
をｎ'とした場合に、ｎ／ｎ'＝２〜３とすることを特徴
とする。

【００１１】また、前記リストリクタを構成する部材
が、共通インク室と、圧力発生室の一面とを兼ねること
を特徴とする。

【００１２】また、前記ノズル、圧力発生室、リストリ
クタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、
フィルム状の感光性樹脂を積層して構成したことを特徴
とする。

【００１３】また、前記ノズル、圧力発生室、リストリ
クタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、
金属製の薄板を積層して構成したことを特徴とする。

【００１４】また、前記ノズル、圧力発生室、リストリ
クタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、
シリコンや水晶などの単結晶材料をエッチングして一体
形成したことを特徴とする。

【００１５】更に、上記のインクジェットヘッドを適用
した記録装置であることを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】図９に、一般的なシリアル方式イ
ンクジェット記録装置について説明する。

【００１７】図９は、インクジェット記録装置の正面図
であり、斜線部は断面を表す。

【００１８】後に詳述するインクジェットヘッド１０１
と、そのインクジェットヘッド１０１にインクを供給す
るインクカートリッジ１０２を搭載した記録ユニット１
０３は、ガイドシャフト１０４に対して摺動自在に支持
されると共に、動力伝達部材１０５に連結されており、
駆動源６によりガイドシャフト１０４に沿って往復運動
する。

【００１９】一方、被記録物１０７はインクジェットヘ
ッド１０１のノズル面１０８と対向し、記録ユニット１
０３の移動方向に直交する方向に搬送ローラ１０９によ
って搬送される。被記録物１０７にはインクジェットヘ
ッド１０１のノズル１１０より記録信号に応じてインク
が噴射され、画像が形成される。

【００２０】記録領域外に設けられた１１１は、複数の
ノズル１を有するノズル面１０８をキャッピングするゴ
ムなどの弾性体からなるキャップ部材である。非記録時
には、記録ユニット１０３がキャップ部材１１１の上方
まで移動し、キャップ部材１１１が図示していない動力
源によりノズル面１０８をキャッピングする。多くの場
合、キャップ内にはインク吸引の際の吸引容易化、キャ
ップ内雰囲気湿潤化等のため、インク吸収シート１１２
が備えられている。

【００２１】また、キャップ部材１１１には底面に２本
のチューブ１１３，１１４が連結しており、チューブ１
１３は大気開放弁１１５と繋がっている。チューブ１１
４は吸引ポンプ１１６を介してキャップ内に負圧を供給
でき、大気開放弁１１５を閉じることでインクジェット
ヘッド１０１内のインクを吸引し、大気開放弁１１５を
開放することでキャップ内の空間１１７に溜まったイン
クを吸引する。吸引されたインクは、チューブ１１４の
先端に設けられた排インク室１１８に排出される。

【００２２】このような記録装置に搭載されるインクジ
ェットヘッドについて、以下に、本発明の一例を図面に
基づいて詳細に説明する。また、本例では、シリアル方
式記録装置について記載しているが、ヘッドが固定され
たラインヘッド方式の記録装置であっても同様に適用可
能である。

【００２３】次に、本発明の実施の形態について説明す
る。

【００２４】図１は本発明の一例となるインクジェット
ヘッドを示す断面図であり、図２は従来技術によるイン
クジェットヘッドを示す断面図である。

【００２５】図１および図２に、インクを吐出するノズ
ル１と、インクを供給する共通インク室２とに連通する
圧力発生室３と、圧力発生室３の一壁面を成す振動板４
と、振動板を動かす圧電振動子５とを有し、圧力発生室
３と共通インク室２との間にインク滴吐出後のメニスカ
スの残留振動を減衰させる為の抵抗を発生させるリスト
リクタ６が配設されている。なお、共通インク室へのイ
ンク流路は図示していないが、従来と同様、共通インク
室の一部にインクタンクからのインクを注入可能な穴を
設け、インクを充填する。

【００２６】前記共通インク室２は、図１０中の破線で
示すように、圧力発生室３のほぼ直下の領域にまで存在
している。図２において、共通インク室２内にラストチ
ャンスフィルタ７が配設され、リストリクタ６とは独立
して構成されている。

【００２７】本発明の一例の圧力発生室３は、従来技術
と比較し、イナータンスＭを大きくすることなく、流体
抵抗Ｒを大きく出来る特徴を有する。このような特徴が
必要となる理由は次のようにして分かる。

【００２８】高い動作周波数を達成する為には、下記式
で定義されるヘルムホルツ共振周波数ｆを高くする必要
がある。ｆ＝１／２π×√｛（Ｍｎ＋Ｍｒ）／（（Ｃｃ＋Ｃｄ）（ＭｎｘＭｒ））｝…（１）ここで、Ｃｃは圧力発生室内のインクに関するコンプラ
イアンス、Ｃｄは圧力発生室の各壁に関するコンプライ
アンス、Ｍｎはノズルのイナータンス、Ｍｒはリストリ
クタのイナータンスである。この式から、Ｍｎ、Ｍｒが
大きくなると、ｆは小さくなることが分かる。

【００２９】一方、リストリクタの流体抵抗Ｒｎの大き
い方が、インク滴吐出後のメニスカスの残留振動が小さ
い。これは、音響モデルにおける集中定数回路より算出
される振動の時定数（≒減衰時間）は、τ＝２ｘ（Ｍ／
Ｒ）で表されることからも容易に分かる。メニスカスの
残留振動が大きいと、その次に吐出されるインク滴の飛
翔速度等の特性が変動し、場合によっては吐出不能とな
る。特性変動をおさえ、吐出不能を防ぐ為には、メニス
カスの残留振動が十分に減衰するまで待って、次発を吐
出する必要がある。従って、高周波数駆動の為には、イ
ンク滴吐出後のメニスカスの残留振動を小さくする、ひ
いてはリストリクタの流体抵抗Ｒｎを大きくすることが
必要となる。

【００３０】しかし、従来技術では、流体抵抗Ｒを大き
くすると、イナータンスＭも大きくなる、例えば、円筒
流路の場合、直径ｄ、単位長さあたり流路のイナータン
スＭと流体抵抗Ｒは次の式で表される。Ｍ＝ρ／（π×ｄ＾２）×４／３…（２）Ｒ＝１２８×μ／（π×ｄ＾４）…（３） ρはインクの密度、μはインクの粘度である。式
（２）、（３）から半径を小さくして流体抵抗Ｒを大き
くすると、イナータンスＭも大きくなることが分かる。
本発明のヘッドによれば、イナータンスＭをあまり大き
くすることなく、流体抵抗Ｒを大きくすることが出来
る。

【００３１】ノズル部のイナータンスＭｎとリストリク
タ部のイナータンスＭｒを、ａ＝Ｍｒ／Ｍｎ…（４）とし、また、ノズル部の流体抵抗Ｒｎとリストリクタ部
の流体抵抗Ｒｒにおいても同様に、ｂ＝Ｒｒ／Ｒｎ…（５）とした場合に、実験的にａ、ｂはそれぞれ、０．５＜ａ＜２．０…（６）４．０＜ｂ＜１６．０…（７）が望ましいことが分かっている。

【００３２】ここで、定数成分をそれぞれＡ，Ｂとおけ
ば式（２）、（３）はそれぞれ、Ｍ＝Ａ×（１／ｄ）＾２…（８）Ｒ＝Ｂ×（１／ｄ）＾４…（９）と表されるから、ノズルの直径をｄｎ、リストリクタ部
の直径をｄｒとすると、ノズルのイナータンスＭｎ、流
体抵抗Ｒｎ、リストリクタのイナータンスＭｒ、流体抵
抗Ｒｒはそれぞれ、Ｍｎ＝Ａ×（１／ｄｎ）＾２…（１０）Ｍｒ＝Ａ×（１／ｄｒ）＾２…（１１）Ｒｎ＝Ｂ×（１／ｄｎ）＾４…（１２）Ｒｒ＝Ｂ×（１／ｄｒ）＾４…（１３）となり、（１）、（１０）、（１２）式、（２）、（１
１）、（１３）式より、それぞれ、ａ＝（ｄｎ／ｄｒ）＾２…（１４）ｂ＝（ｄｎ／ｄｒ）＾４…（１５）の関係式が導かれる。

【００３３】図３に、Ｘ軸にｄｒ、左Ｙ軸にａ、右Ｙ軸
にｂをとり、一例としてｄｎを３０μｍとした場合の
ａ、ｂを示す。この範囲を図から（４）、（５）式の範
囲を読みとると、０．５＜ａ＜２．０の範囲は２１＜ｄ
ｒ＜３０、４．０＜ｂ＜１６．０の範囲は１５＜ｄｒ＜
２１となり、（４）、（５）式を両立させるｄｒは存在
しない。

【００３４】ここで、リストリクタ数を並列に増加させ
た場合を図７、８に示すような等価回路に置き換えて考
えると、合成抵抗Ｒは、１／Ｒ＝１／Ｒ１＋１／Ｒ２＋１／Ｒ３＋…＋１／Ｒｎ…（１６）で表され、Ｒ１＝Ｒ２＝Ｒ３＝…＝Ｒｎ…（１７）とすると、式（１６）（１７）から、Ｒ＝Ｒｎ／ｎ…（１８）となるから、リストリクタ数を並列に増加させた場合の
Ｍｒ'、Ｒｒ'は、個数をＮとするとそれぞれ、Ｍｒ'＝Ｍｒ／Ｎ…（１９）Ｒｒ'＝Ｒｒ／Ｎ…（２０）で表される。（１），（１０），（１９）式、（２），
（１１），（２０）式からａ，ｂは、それぞれ、ａ＝（ｄｎ／ｄｒ）＾２／Ｎ…（２１）ｂ＝（ｄｎ／ｄｒ）＾４／Ｎ…（２２）の関係式が導かれる。

【００３５】図４に、リストリクタ数を増加させた場合
のａ，ｂを示す。下表１に図４から読みとった（４），
（５）の成立するｄｒ範囲及び共有範囲を示す。

【００３６】

【表１】

【００３７】表からも読み取れる様に、リストリクタ数
Ｎを変化させることによって任意の共有範囲を採ること
が出来ることが分かる。

【００３８】一方、インクジェットヘッドにおいては、
従来から異物混入による詰まりの発生が報告されてお
り、インク供給部のフィルタは重要視されてきた。この
為、インクジェットヘッド内部にラストチャンスフィル
タを設けることなどが提案されていると共に、 κ＝ｄｒ／ｄｎ…（２３）とした場合のκは１／２以下、望ましくは１／３以下が
理想とされている。

【００３９】図５にＸ軸に個数Ｎ、左Ｙ軸にａ、右Ｙ軸
にｂをとり、ｄｒをそれぞれ、１５μｍ，１０μｍ，
７．５μｍとした場合のａ，ｂを示す。この場合の
（４），（５）の成立する本数Ｎ範囲及び共有範囲を下
表２に示す。

【００４０】

【表２】

【００４１】以上のことから、仮に本例におけるｄｎが
３０μｍとした場合、ｄｒ＝７．５μｍ、Ｎ＝３０本と
することによって、式（４），（５）を共に満たすこと
が出来ることが分かる。更には、Ｎ＝１６でも式
（４），（５）を共に満たすことが出来ることから、式
（４），（５）共にを満たすことが出来るＮの最大値を
ｎ、最小値をｎ'とした場合、リストリクタをラストチ
ャンスフィルタとして兼用した場合でも、Ｎ'＝ｎ−ｎ'
＝３０−１６＝１４に相当するまでの範囲でのリストリ
クタの詰まりを許容することが出来ることが分かる。

【００４２】つまり、リストリクタの径ｄｒを小さくす
ることで、共有可能なリストリクタ本数を増やすことが
可能となり、フィルター機能としてより効果を発揮する
ことが可能となる。

【００４３】ここで、従来技術として、特許公報第２７
２７１９６号では、インク加圧室の直前部分（上流側）
に複数の通路口を有するインクジェット記録装置のヘッ
ド構成が開示されているが、複数の通路口を設けられる
領域は、加圧室の順方向の流路幅に限られ、その本数も
４〜９本と少ない。また、インク吐出口であるノズルと
の流体抵抗のバランスを考えているので、前記通路口に
異物が付着するとそのバランスが早い段階で崩れてしま
い、吐出不良を起こす原因となってしまう。また、加圧
室を形成する流路に対し、フィルターを兼ねた通路口を
配置することは容易でなく、流路形成部材と一体で形成
することができないため、製造コストが大幅に増加して
しまう。

【００４４】図６に、Ｘ軸にｄｒ、Ｙ軸にリストリクタ
の個数Ｎをとり、ｄｎを３０μｍとした場合の、式
（４），（５）を満たすａ，ｂの範囲及び共有範囲を示
す。図６からも分かる様に、ａ，ｂは２乗曲線、４乗曲
線となる為、ある点で交差し、ｎ／ｎ'は極大値を採
り、実用範囲としてはｎ／ｎ'＝２〜３が望ましい。

【００４５】また、本例においてはノズル、リストリク
タ共に円筒流路として論じているが、矩形流路やその他
の形状においても、相当直径を考えた場合は本例と同様
に考えることが出来る。

【００４６】また、本例においては、単位長さあたりの
流路について論じているが、ノズルに対して、リストリ
クタの長さを小さくした場合も同様で、その為Ｎ、ひい
てはＮ'を大きくすることが出来、より優位となる。

【００４７】また、本例においては、リストリクタ部を
薄膜構造とし、振動板と対向し圧力発生室のほぼ直下の
従来デットスペースであった部分を共通インク室として
利用することが出来、ヘッドの小型化が可能となると共
に、ノズルの高密度実装に対しても有利である。

【００４８】さらに、其々の振動板に対向する範囲に配
設されたリストリクタの微細穴の開けられている範囲
は、振動板に対向する部分に対し、全面であっても、一
部であっても構わない。そして、微細穴の加工性を考え
ると、その微細穴の範囲は振動板に対向する範囲の３０
％以上であることが望ましい。また、３０％付近から急
激にリストリクタの本数に対するフィルタ機能として発
揮するリストリクタの本数を増やすことができ、リスト
リクタの目詰まり等による不吐出に対する信頼性が向上
する。

【００４９】また、本例においては、ノズル、圧力発生
室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流
路形成部を、薄板を積層して形成し、その部材としてシ
リコンや水晶などの単結晶材料を用いて、エッチングし
て一体形成することで安価なヘッドを提供することがで
きる。また、単結晶材料に替えて、フィルム状の感光性
樹脂や、金属製の薄板を用いて積層して流路形成部を形
成しても良い。形成方法はさまざまであるが、一例とし
て、図に示すように複数のノズルを有するノズルプレー
トと、共通インク室の大部分及び圧力発生室の一部を構
成する第１チャンバープレートと、リストリクタプレー
トと、圧力発生室の大部分および共通インク室の一部を
形成する第２チャンバープレートと、振動板を形成する
ダイアフラムプレートと、振動板の範囲を定義するサポ
ートプレートとを順に積層することで流路形成部が形成
される。ここで、より安価に製作するために、フィルム
状の感光性樹脂や、金属製の薄板、或いはシリコンや水
晶などの単結晶材料を用いて、其々を組わせて形成して
も良いことは、当然のことである。

【００５０】また、本例においては、リストリクタは振
動板とほぼ平行に設置したが、振動板に対し斜めであっ
ても構わない。振動板と平行に設置することで、リスト
リクタの微細穴は同一の大きさで良く、更に平行である
場合、積層状の板に微細穴を設ければよく、加工性及び
設置性に優れる。そして、従来の振動板と垂直に設ける
構成に比べ、より表面積を広くすることが可能となる。

【００５１】また、斜めに設置した場合は、それぞれの
微細穴がリストリクタのどの部分に相当するかにより、
微細穴の開口大きさを段階的に変更する必要があるもの
の、より表面積を稼ぐことが可能となる。

【００５２】また、図１ではリストリクタがある部分は
一平面としたが、圧力発生室と共通インク室とを隔てる
壁全体に微細穴を適宜設けてもよい。この場合、微細穴
の大きさについて別途検討する必要があるものの、振動
板と平行な面のみに微細穴を設ける場合よりも、より大
きくリストリクタの表面積をとることが可能となる。

【００５３】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、振動板と
対向する位置に複数の微細穴からなるインク供給口なる
リストリクタと、そのリストリクタを介して、複数のノ
ズルへインクを供給する共通インク室を設け、複数のノ
ズルを有するノズルプレートにより封止されている構成
とすることで、従来の振動板と垂直に設ける構成に比
べ、より表面積を広くでき、共通インク室から圧力発生
室へのインクの流入が円滑になる。

【００５４】また、リストリクタを振動板と平行に設置
することにより、積層板への微細穴加工で済み、また、
従来の振動板と垂直に設ける構成に比べ、より表面積を
広くすることが可能となる。

【００５５】また、微細穴の設けられている面積は、リ
ストリクタの全面積の３０％以上とすることにより、リ
ストリクタ及びフィルタ機能としての性能が向上する。

【００５６】また、リストリクタが共通インク室と圧力
発生室との間の一面となることにより、新たに別部材を
設ける必要がなく、安価に製造可能となる。

【００５７】また、シリコンウェハーなどの単結晶材料
をエッチングにより一体で加工することで、高精度な加
工を実現できるので吐出特性の安定化及び製作コストが
少なくて済み安価で信頼性の高いインクジェット記録ヘ
ッド及び記録装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一例のインクジェットヘッドを示す
断面図である。

【図２】従来技術によるインクジェットヘッドを示す
断面図である。

【図３】ｄｎを３０μｍとした場合のａ、ｂのグラフ
である。

【図４】リストリクタ数Ｎを増加させた場合のａ、ｂ
のグラフである。

【図５】ｄｒを１５μｍ、１０μｍ、７．５μｍとし
た場合のａ、ｂのグラフである。

【図６】ｄｒを変化させた場合のリストリクタ数Ｎの
グラフである。

【図７】抵抗を並列に配置した回路図である。

【図８】図７の等価回路図である。

【図９】本発明となるインクジェット記録装置の一例
を示す。

【図１０】図１のＡ−Ａから見た平面図である。

【符号の説明】

１はノズル、２は共通インク室、３は圧力発生室、４は
振動板、５は圧電振動子、６はリストリクタ、７はラス
トチャンスフィルタである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小川俊孝茨城県ひたちなか市武田1060番地日立工機株式会社内Ｆターム(参考） 2C057 AF01 AF06 AF08 AG75 AP02 AP31 AQ02 AQ04 AQ06 BA04 BA14

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐出するノズルと、そのノズルに
連通する圧力発生室と、その圧力発生室へインクタンク
からのインクを供給する共通インク室と、前記圧力発生
室と前記共通インク室との間に複数の微細穴からなるイ
ンク供給口となるリストリクタと、前記圧力発生室の一
壁面を成す振動板と、その振動板に当接して前記圧力発
生室を加圧する圧電素子とを有するインクジェットヘッ
ドにおいて、前記リストリクタは前記振動板と対向する
位置に設置されることを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項２】前記リストリクタは、前記振動板とほぼ平
行に配置されていることを特徴とする請求項１記載のイ
ンクジェットヘッド。
【請求項３】其々の振動板に対向する位置に配設され
た、前記微細穴の開けられている一面の平面積が、前記
振動板の平面積に対し、３０％以上であることを特徴と
する請求項１または２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】前記ノズルにおけるイナータンスをＭｎ、
流体抵抗をＲｎ、リストリクタ部におけるイナータンス
をＭｒ、流体抵抗Ｒｒをとした場合において、ａ＝Ｍｒ
／Ｍｎ、ｂ＝Ｒｒ／Ｒｎ、とした場合に、ａを：０．５
＜ａ＜２．０、ｂを：４．０＜ｂ＜１６．０の範囲とす
るリストリクタの個数Ｎ、の最大値をｎ、最小値をｎ'
とした場合に、ｎ／ｎ'＝２〜３とすることを特徴とす
る請求項１乃至３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記リストリクタを構成する部材が、共通
インク室と、圧力発生室の一面とを兼ねることを特徴と
する請求項１乃至３記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、
共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、フィル
ム状の感光性樹脂を積層して構成したことを特徴とする
請求項１乃至３記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、
共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、金属製
の薄板を積層して構成したことを特徴とする請求項６記
載のインクジェットヘッド。
【請求項８】前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、
共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、シリコ
ンや水晶などの単結晶材料をエッチングして一体形成し
たことを特徴とする請求項１乃至３記載のインクジェッ
トヘッド。
【請求項９】インクを吐出するノズルと、そのノズルに
連通する圧力発生室と、その圧力発生室へインクタンク
からのインクを供給する共通インク室と、前記圧力発生
室と前記共通インク室との間に複数の微細穴からなるイ
ンク供給口となるリストリクタと、前記圧力発生室の一
壁面を成す振動板と、その振動板に当接して前記圧力発
生室を加圧する圧電素子とを有するインクジェットヘッ
ドにおいて、前記リストリクタは前記振動板と対向する
位置に設置されることを特徴とするインクジェットヘッ
ドを用いたインクジェット記録装置。
【請求項１０】前記リストリクタは、前記振動板とほぼ
平行に配置されていることを特徴とする請求項９記載の
インクジェットヘッドを用いたインクジェット記録装
置。
【請求項１１】其々の振動板に対向する位置に配設され
た、前記微細穴の開けられている一面の平面積が、前記
振動板の平面積に対し、３０％以上であることを特徴と
する請求項９または１０記載のインクジェットヘッドを
用いたインクジェット記録装置。
【請求項１２】前記ノズルにおけるイナータンスをＭ
ｎ、流体抵抗をＲｎ、リストリクタ部におけるイナータ
ンスをＭｒ、流体抵抗Ｒｒをとした場合において、ａ＝
Ｍｒ／Ｍｎ、ｂ＝Ｒｒ／Ｒｎ、とした場合に、ａを：
０．５＜ａ＜２．０、ｂを：４．０＜ｂ＜１６．０の範
囲とするリストリクタの個数Ｎ、の最大値をｎ、最小値
をｎ'とした場合に、ｎ／ｎ'＝２〜３とすることを特徴
とする請求項９乃至１１記載のインクジェットヘッドを
用いたインクジェット記録装置。
【請求項１３】前記リストリクタを構成する部材が、共
通インク室と、圧力発生室の一面とを兼ねることを特徴
とする請求項９乃至１１記載のインクジェットヘッドを
用いたインクジェット記録装置。
【請求項１４】前記ノズル、圧力発生室、リストリク
タ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、フ
ィルム状の感光性樹脂を積層して構成したことを特徴と
する請求項９乃至１１記載のインクジェットヘッドを用
いたインクジェット記録装置。
【請求項１５】前記ノズル、圧力発生室、リストリク
タ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、金
属製の薄板を積層して構成したことを特徴とする請求項
１４記載のインクジェットヘッドを用いたインクジェッ
ト記録装置。
【請求項１６】前記ノズル、圧力発生室、リストリク
タ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、シ
リコンや水晶などの単結晶材料をエッチングして一体形
成したことを特徴とする請求項９乃至１１記載のインク
ジェットヘッドを用いたインクジェット記録装置。