JP2003294937A

JP2003294937A - 光共振器および波長管理モジュール

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Publication number: JP2003294937A
Application number: JP2002096853A
Authority: JP
Inventors: Hitoshi Oguri; 均小栗; Takeshi Sakai; 猛坂井; Yuuki Kanehara; 勇貴金原; Hironori Tokita; 宏典時田; Junichi Kaneko; 純一金子; Norio Otani; 礼雄大谷
Original assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd; Oyokoden Lab Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd; Oyokoden Lab Co Ltd
Priority date: 2002-03-29
Filing date: 2002-03-29
Publication date: 2003-10-15

Abstract

(57)【要約】【課題】温度依存性が小さくて、波長管理モジュールに
よる波長管理の精度向上を達成できる光共振器および波
長管理モジュールを提供する。【解決手段】ブロック状で厚さ方向に貫通する中空部３
２を有するスペーサ３３の、厚さ方向の両端面に、２枚
の基板３１，３１’の内側面がオプティカルコンタクト
によりそれぞれ接合されており、基板３１，３１’の内
側面の、少なくとも中空部３２内部に接する領域には反
射膜３８が設けられ、基板３１，３１’とスペーサ３３
との接合面の周縁の少なくとも一部に、基板３１，３
１’およびスペーサ３３の両方に接する接着剤３６から
なる接着部が設けられている光共振器。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光共振器およびこれ
を用いた波長管理モジュールに関し、特にその温度特性
を改善したものである。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】波長分
割多重方式（以下、ＷＤＭ方式という）においては、複
数の波長の光信号を使用するが、用いる光信号の波長間
隔が高密度になると隣接波長の間隔が小さくなる。ＷＤ
Ｍ方式における光源としては、一般的に半導体レーザ
（ＬＤ）が用いられるが、ＬＤは経時変化や環境により
出射光の中心波長の変動が発生し、これによって隣接波
長とのクロストークが発生して混信が生じることがあ
る。そこで、ＬＤの発振波長を一定に保つために、光共
振器を用いた波長管理モジュールを使用した波長管理シ
ステムが用いられる。

【０００３】図５は、従来の光共振器の一例を示した断
面図である。この例の光共振器２４は、一面上に所定の
反射率を有する反射膜２８が設けられた２枚の基板２
１，２１’が、反射膜２８が媒体２２を挟んで対向する
ように平行に配されるとともに、２枚の基板２１，２
１’の間にスペーサ２３が配されて基板２１，２１’間
の長さ（以下、キャビティ長ということもある）ｄが所
定の長さとなるように構成されている。この例において
媒体２２は空気層である。スペーサ２３と基板２１，２
１’とは接着剤層２６を介して接合されている。図中符
号１２は光共振器２４に光を入射させるための入射手段
を示している。

【０００４】光共振器２４における光の透過率は波長依
存性を有しており、例えば図６に示すような正弦波に近
い波長−透過率特性を有する。この図の例において、波
長がλ（ｎｍ）であるときの透過率Ｔ（λ）（単位は
％）は次の数式（１）で表される。下記数式（１）にお
いて、Ｔ₀は最大の透過率（透過率のピーク値）、ｎは
媒体２２の屈折率、ｄはキャビティ長、θは基板２１に
対する入射角度である。また、２つの反射面（反射膜２
８）の反射率をそれぞれＲ₁、Ｒ₂とするとき、Ｆは下記
数式（２）で表され、数式（２）中のＲは下記数式
（３）で表される。

【０００５】

【数１】

【０００６】したがって、光源光を分岐したモニター用
光信号を光共振器２４の一方の基板２１に入射させ、他
方の基板２１’から出射される透過光の強度をモニター
するとき、モニター用光信号の波長が一定であれば、透
過光強度は一定であり、モニター用光信号の波長に変化
が生じた場合には、透過光強度の変化として現れるの
で、これを用いて光源光の発振波長を管理して一定に保
つことが可能である。

【０００７】ところで、近年では、ＷＤＭ方式における
波長間隔の高密度化に対応するために、光源の発振波長
の変動幅をより小さく抑えることが要求されるようにな
ってきている。しかしながら、光共振器の特性には温度
依存性があり、このことが光源の発振波長をより高精度
に制御して発振波長の変動幅を小さくしようとする際の
障害の一つとなっていた。

【０００８】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、温度依存性が小さくて、波長管理モジュールによる
波長管理の精度向上を達成できる光共振器および波長管
理モジュールを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、従来の光
共振器２４における温度特性について検討した結果、基
板２１，２１’とスペーサ２３との接合面に接着剤層２
６が介在している場合、雰囲気温度の変化に伴ってこの
接着剤層２６の熱膨張が生じ、これによって光共振器２
４の透過特性が不安定になり得ることを見出した。すな
わち、一般に、接着剤の線膨張係数はガラス基板等に比
べて大きく、しかも基板２１，２１’とスペーサ２３と
の間に介在する接着剤層２６の厚さは制御が難しく、１
〜１５μｍ程度のばらつきが生じてしまう。そして、光
共振器２４の雰囲気温度が変化すると、基板２１，２
１’とスペーサ２３との間に介在する接着剤層２６に熱
膨張が生じてキャビティ長ｄが変化する。前記数式
（１）によれば、波長が一定であってもキャビティ長ｄ
が変化すると透過率が変化し、その結果、光共振器２４
の透過特性における中心波長が変動する。しかも接着剤
層の厚さは均一ではないので、中心波長の変動幅にはば
らつきがある。また、基板２１，２１’とスペーサ２３
との間に介在する接着剤層２６の厚さが不均一である
と、接着剤層２６に熱膨張が生じたときに、接着面内に
おいて接着剤層の厚さのばらつきが顕著になり、これに
よって基板２１へ入射角度に変動が生じ、その結果、光
共振器２４の透過特性に変動が生じる。

【００１０】かかる課題を解決するために、本発明の光
共振器は、ブロック状で厚さ方向に貫通する中空部を有
するスペーサの、厚さ方向の両端面に、２枚の基板の内
側面がオプティカルコンタクトによりそれぞれ接合され
ており、前記基板の内側面の、少なくとも前記中空部内
部に接する領域には反射膜が設けられ、前記基板と前記
スペーサとの接合面の周縁の少なくとも一部に、前記基
板および前記スペーサの両方に接する接着剤からなる接
着部が設けられていることを特徴とする。かかる接着部
は、前記基板の内側面および前記スペーサの厚さ方向の
端面の一方または両方に切欠き部を形成し、該切欠き部
からなる内壁を有する凹部内に前記接着剤を充填するこ
とによって好ましく形成される。

【００１１】本発明によれば、基板とスペーサとをオプ
ティカルコンタクトにより接合させることによって、基
板とスペーサとの間に接着剤層が介在しない構成が得ら
れる。また、基板とスペーサとの接合面の周縁の少なく
とも一部に、基板およびスペーサの両方に接する接着剤
からなる接着部を設けることにより、基板とスペーサと
の接合強度を向上させることができる。したがって、接
着剤の熱膨張によって、光共振器におけるキャビティ長
や入射角度が変動するのを防止できるので、これにより
光共振器の特性の温度依存性を低減させることができ
る。ここで、オプティカルコンタクトとは、接着される
平面度を充分に高くすることによって、接着剤層を介さ
ずに平面どうしを直接接触させて接着させる方法であ
り、両平面はファンデルワールス力により接着されると
考えられている。

【００１２】本発明において、前記オプティカルコンタ
クトを実現するには、基板とスペーサとの接合面におけ
る基板の平面度およびスペーサの平面度をそれぞれλ／
４以下にすることが好ましい。また、本発明において、
反射膜は基板の内側面の全面に設けてもよく、その場合
は、基板とスペーサとの接合面において両者の間に反射
膜が介在することになるが、反射膜の厚さは１〜７μｍ
程度と薄いものであるので、接合面にける基板およびス
ペーサの平面度をそれぞれλ／４以下とすることによっ
て、反射膜を挟んで基板とスペーサとをオプティカルコ
ンタクトにより接合させることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の光共振器の一実施形態を示したもの
で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿
う断面図である。本実施形態の光共振器１４は、ブロッ
ク状のスペーサ３３の厚さ方向（図中Ｘ方向）の両端面
上に、２枚の基板３１、３１’がそれぞれ積層され、オ
プティカルコンタクトにより接合されている。スペーサ
３３には厚さ方向に貫通する円柱状の中空部３２が形成
されており、該中空部３２は貫通孔３５によって外部と
同一気圧に保たれている。基板３１，３１’の内側面、
すなわちスペーサ３３と接合されている側の面、および
スペーサ３３の厚さ方向の両端面は平滑に研磨されてお
り、オプティカルコンタクトが可能な程度の高い平面度
となっている。これらの面の平面度は好ましくはλ／４
以下、より好ましくはλ／１０以下とされる。基板３
１，３１’の内側面、およびスペーサ３３の両端面の研
磨は、例えばオスカー法を用いて行うことができる。

【００１４】２枚の基板の内側面上には反射膜３８が設
けられている。反射膜３８は、基板３１，３１’の内側
面上であって、少なくとも中空部３２に面する部分に設
ければよく、基板３１，３１’の一部に設けても、ある
いは内側面全面に設けてもよい。２枚の基板３１、３
１’の反射膜３８が設けられている部分における反射率
は、例えば４０〜９０％の範囲内で好ましく設定され
る。また、基板３１，３１’に反りが生じるとオプティ
カルコンタクトによる接合ができなくなるおそれがある
ので、これを防止するために基板３１，３１’の厚さを
２〜５ｍｍ程度に厚くしておくことが好ましい。

【００１５】スペーサ３３は、好ましくは、ゼロデュア
（Zerodur；商標）、ＵＬＥ（商標）等の線膨張係数が
ゼロに近い材料で構成される。本実施形態では、スペー
サ３３は四角柱状に形成されており、厚さ方向の両端面
の周縁に沿って切欠き部３３ａが形成されている。この
切欠き部３３ａは、スペーサの周縁の角を斜めに面取り
して形成されており、切欠き部３３ａは傾斜面からなっ
ている。したがって、スペーサ３３の厚さ方向の両端面
の周縁部に、該端面に対して傾斜角θで傾斜する傾斜面
からなる切欠き部３３ａが形成されている。そして基板
３１，３１’の内側面（反射面）とスペーサ３３の両端
面とが接合している接合面の周縁に沿って、内壁が、基
板３１，３１’の内側面と切欠き部３３ａの傾斜面とか
らなる断面略Ｖ字状の凹部が形成されており、該凹部内
に接着剤３６が充填されて接着部が形成されている。凹
部内に充填される接着剤３６としては、熱硬化型樹脂系
接着剤や紫外線硬化型樹脂系接着剤が好適であり、例え
ば熱硬化型エポキシ樹脂系接着剤が好ましく用いられ
る。

【００１６】基板３１，３１’とスペーサ３３との接合
面の周縁に形成される前記凹部が小さ過ぎると、この凹
部内に充填された接着剤３６と基板３１（３１’）との
接着面積、および該接着剤３６とスペーサ３３との接着
面積が小さすぎて接着強度が不足するおそれがある。一
方、前記接着剤３６が充填される前記凹部が大きすぎる
と接着剤が厚くなって硬化収縮等の悪影響が生じるおそ
れがある。したがって、基板３１，３１’の内側面の周
縁部において、前記凹部内に充填された接着剤３６と接
触する帯状の部分の帯幅Ｗ１が０．１５〜０．２５ｍｍ
程度で、スペーサ３３の両端面の周縁部において、前記
凹部内に充填された接着剤３６と接触する帯状の傾斜面
の帯幅Ｗ２が０．２〜０．４ｍｍ程度であることが好ま
しい。

【００１７】本実施形態の光共振器１４にあっては、厚
さ方向（積層方向）に垂直な両端面１４ａ、１４ｂが光
の入射面および出射面となり、中空部３２の内部が媒体
となり、図１（ｂ）中破線で示すように厚さ方向（積層
方向）が光の進行方向となる。本実施形態において媒体
は空気層である。

【００１８】図２に、本実施形態の光共振器１４を用い
た波長管理モジュールの一実施形態を示す。この図は、
該波長管理モジュールを用いて構成した波長管理システ
ムの概略構成図である。図中符号１はＬＤ光源、１１は
波長管理モジュールを示し、１４は上記実施形態の光共
振器を示す。ＬＤ光源１はチップの温度またはＬＤ導入
電流値を制御することによって発振波長が制御できるよ
うに構成されており、前者の場合はチップの温度を制御
する手段（図示略）が設けられている。ＬＤ光源１から
の出射光は光カプラ２によって２つに分岐される。この
光カプラ２により、例えば出射光の９５％は信号光とし
てＬＮ変調器３を介して伝送用の光ファイバに入射さ
れ、残りの５％はモニター用光信号として波長管理モジ
ュール１１へ入射される。波長管理モジュール１１で
は、まずコリメータ１２でモニター用光信号を平行光と
してハーフミラー１３に入射させる。ハーフミラー１３
の透過光は光共振器１４に入射され、光共振器１４の透
過光強度が第１の光ダイオード１５で測定される。一
方、ハーフミラー１３の反射光は反射ミラー１６を介し
て第２の光ダイオード１７に導かれ、その光強度が測定
される。

【００１９】光共振器１４における光の透過率は波長依
存性を有しており、光共振器１４に入射されるモニター
用光信号の波長が一定であれば、第１の光ダイオード１
５で測定される透過光強度は一定であり、モニター用光
信号の波長に変化が生じた場合には、第１の光ダイオー
ド１５で測定される透過光強度の変化として現れる。

【００２０】また、ＬＤ光源１の出射光は強度が経時的
に変化する場合があり、この場合には出射光波長が一定
であっても、第１の光ダイオード１５で測定される透過
光強度が変化してしまう。これについては、ハーフミラ
ー１３の反射光強度を第２の光ダイオードで測定した値
が、ＬＤ光源１の出射光強度の変化に応じて変化するの
で、第１の光ダイオードで測定される光強度の値と、第
２の光ダイオードで測定される光強度の値とを用いて、
出射光強度の変化による透過光強度の変化量が相殺され
るように演算処理することによって、出射光の波長変化
による透過光強度の変化量がわかる。そして、この演算
処理後の透過光強度の変化量に基づいて、出射光の波長
を元にもどすように、すなわち演算処理後の透過光強度
の変化量が略ゼロになるように、ＬＤ光源１の温度コン
トローラ又はＬＤ導入電流値を制御する。図中符号５は
演算装置、６は制御装置をそれぞれ示す。

【００２１】コリメータ１２から光共振器１４を透過し
て第１の光ダイオード１５に至るまでの光路は密閉され
た筐体（図示略）内に収容されてなることが好ましい。
また、この筐体内をドライ窒素またはドライ空気で置換
することが好ましい。

【００２２】本実施形態によれば、光共振器１４におい
て、基板３１，３１’とスペーサ３３との間に接着剤層
が介在しておらず、これらがオプティカルコンタクトお
よび接合面の周縁に沿って設けられた接着部（接着剤３
６）によって一体化されているので、光共振器１４の温
度変化による寸法変動が小さい。したがって、光共振器
１４の温度依存性が低減され、環境温度変化に対する透
過特性の安定性が向上する。したがって、この光共振器
１４を備えた波長管理モジュールにあっては、温度依存
性が低減され、光源の発振波長をより高精度に制御する
ことができる。

【００２３】また、本実施形態では、スペーサ３３が線
膨張係数がゼロに近い材料で構成されているので温度変
化によるスペーサ３３自身の寸法変動が小さく、温度特
性に優れている。さらに、本実施形態の光共振器１４
は、スペーサ３３の中空部３２が貫通孔３５を介して外
部と連通しているので、温度変化等によって中空部３２
内の体積が膨張しても内圧は増加せず、スペーサ３３と
基板３１，３１’との接着部に応力がかかるのが防止さ
れる。

【００２４】また、本実施形態の波長管理モジュール１
１においては、光共振器１４の中空部３２が外部と連通
されており、かつ光共振器１４は密閉された筐体内に収
容されているので、環境温度が変化しても中空部３２内
の密度は一定であり、屈折率が一定に保たれるので、よ
り優れた温度特性が得られる。さらに、筐体内をドライ
窒素またはドライ空気で置換することにより、スペーサ
３３と基板３１，３１’とを接合している接着剤３６が
水分によって劣化するのを防止することができる。

【００２５】なお、本実施形態においては、中空部３２
と外部とにそれぞれ開口する貫通孔３５が形成されてい
るが、中空部３２は少なくとも１箇所で外部と連通して
いることが好ましく、中空部３２と外部とを連通させる
ための任意の構造を用いることができる。また、本実施
形態においては、接着部を形成するのに、スペーサ３３
の厚さ方向の両端面の周縁に沿って切欠き部３３ａを形
成することによって、内壁が、基板３１，３１’の内側
面と切欠き部３３ａの傾斜面とからなる断面略Ｖ字状の
凹部を形成したが、基板３１，３１’の内側面の周縁に
沿って切欠き部を形成することによって、内壁が、基板
３１，３１’の切欠き部の傾斜面とスペーサ３３の厚さ
方向の端面からなる凹部を形成してもよい。一方の基板
３１とスペーサ３３との接合面、および他方の基板３
１’とスペーサ３３との接合面ののいずれか一方の接合
面においては、基板の内側面の周縁に切欠き部を設ける
とともに、他方の接合面においては、スペーサ３３の厚
さ方向の端面の周縁に切欠き部を設けてもよい。

【００２６】

【実施例】以下、具体的な実施例を示して本発明の効果
を明らかにする。

【００２７】（実施例１）図１に示す構成の光共振器１
４を作製した。光共振器１４のスペーサ３３は、ゼロデ
ュア（商標、線膨張係数＝０．０２×１０^-6／Ｋ）を用
いて形成し、縦４ｍｍ、横５ｍｍ、厚さ３ｍｍの四角柱
状で、厚さ方向の両端面の中央部に、厚さ方向に貫通す
る円柱状の中空部３２を有する形状とした。スペーサ３
３の中空部３２の内径は２ｍｍとし、スペーサ３３の側
面に、中空部３２と外部とを連通する内径１ｍｍの貫通
孔３５を設けた。また、スペーサ３３の厚さ方向の両端
面の周縁を帯状の傾斜面で面取りして、切欠き部３３ａ
を形成した。切欠き部３３ａの傾斜面のスペーサ３３の
端面に対する傾斜角θは４５°とし、該傾斜面の帯幅Ｗ
２は０．３とした。スペーサ３３の厚さ方向の両端面
は、オスカー法により研磨して平面度をλ／１０とし
た。

【００２８】一方、ガラスからなる基板３１，３１’を
２枚用意し、内側となる面をオスカー法により研磨して
平面度をλ／１０とした後、該内側面上に反射膜３８を
形成した。基板３１，３１の寸法は、縦４ｍｍ、横５ｍ
ｍ、厚さ２ｍｍとした。また反射膜３８の厚さは約１μ
ｍとし、その反射率は５０％とした。

【００２９】そして、図１に示すように、２枚の基板３
１，３１’を、反射膜３８が内側となるように対向させ
て、これらの間にスペーサ３３を挟んで積層させ、これ
らをオプティカルコンタクトにより接合するとともに、
基板３１，３１’の内側面とスペーサ３３周縁の切欠き
部３３ａとで形成される凹部内に接着剤３６を充填し、
硬化させることによって光共振器１４を得た。得られた
光共振器１４を用いて、図２に示す構成の波長管理モジ
ュール１１を構成し、これを用いた波長管理システムを
構築した。

【００３０】（試験例１）上記実施例１において作製し
た波長管理モジュールを用いて、光共振器１４の波長−
透過率特性を測定し、透過率がピークとなる中心波長を
求めた。そして環境温度を０℃〜７０℃の範囲で変化さ
せたときの中心波長の変動を調べた。なお、基板に対す
る入射角度は一定とした。２０個の波長管理モジュール
について測定した結果、０〜７０℃の温度変化に対し
て、中心波長の変動幅は約１９ｐｍであり、温度変化に
対する特性の安定性に優れていることが認められた。図
３のグラフは本試験例における測定結果の例を示したも
のである。この図のグラフにおいて横軸は環境温度、縦
軸は中心波長をそれぞれ示す。（以下、同様）。

【００３１】（比較試験例１）上記実施例１において、
スペーサ３３の周縁に切欠き部３３ａを形成せず、基板
３１，３１’の内側面の全面に接着剤層を形成し、該接
着剤層を介して基板３１，３１’とスペーサ３３とを接
合した他は同様にして光共振器を作製した。得られた光
共振器を用いて波長管理モジュール１１を構成し、上記
試験例１と同様にして光共振器の波長−透過率特性を測
定し、環境温度変化に伴う中心波長の変動を調べた。図
４は本比較試験例における測定結果の例を示したもので
ある。０〜７０℃の温度変化に対して、中心波長の変動
幅は約７４ｐｍであった。

【００３２】図３および図４の結果より、スペーサ３３
と基板３１，３１’とを接着剤層を介して接合した光共
振器を用いた比較試験例１に比べて、スペーサ３３と基
板３１，３１’とをオプティカルコンタクトにより接合
するとともに、基板３１，３１’の内側面の周縁に沿っ
て接着剤３６からなる接着部を形成した光共振器を用い
た試験例１では、温度変化による中心波長の変動が低減
されており、温度特性が改善されたことが認められた。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光共振器の温度特性を改善し、波長管理モジュールの温
度特性を改善することができる。したがって、本発明の
波長管理モジュールをＬＤ光源の波長管理システムに用
いると、ＬＤ光源の発振波長をより高精度に制御するこ
とができる。これによりＬＤ光源の発振波長の変動幅を
小さく抑えることが可能となり、ＷＤＭ方式における波
長間隔の高密度化に対応することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光共振器の一実施形態を示したもの
で（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿う
断面図である。

【図２】本発明に係る波長管理システムの一実施形態
を示した概略構成図であ

【図３】波長管理モジュールの温度特性に関する試験
例の結果を示したグラフである。

【図４】波長管理モジュールの温度特性に関する比較
試験例の結果を示したグラフである。

【図５】従来の光共振器の例を示した概略構成図であ
る。

【図６】光共振器における透過特性の例を示したグラ
フである。

【符号の説明】

１１…波長管理モジュール、１２…コリメータ（入射手
段）、１４…光共振器、１５…第１の光ダイオード（検
知手段）、２１、２１’、３１、３１’…基板、２２，
３２…中空部、２３、３３…スペーサ、３３ａ…切欠き
部、３６…接着剤、２８、３８…反射膜。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者坂井猛東京都千代田区六番町６番地28 住友大阪セメント株式会社内 (72)発明者金原勇貴東京都千代田区六番町６番地28 住友大阪セメント株式会社内 (72)発明者時田宏典埼玉県戸田市新曽南３−１−23 株式会社応用光電研究室内 (72)発明者金子純一埼玉県戸田市新曽南３−１−23 株式会社応用光電研究室内 (72)発明者大谷礼雄埼玉県戸田市新曽南３−１−23 株式会社応用光電研究室内Ｆターム(参考） 2G020 BA20 CC23 CD03 CD11 CD24 2H043 AE02 AE09 AE23 2H048 GA13 GA21 GA26 GA51 GA62

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ブロック状で厚さ方向に貫通する中空部を
有するスペーサの、厚さ方向の両端面に、２枚の基板の
内側面がオプティカルコンタクトによりそれぞれ接合さ
れており、前記基板の内側面の、少なくとも前記中空部
内部に接する領域には反射膜が設けられ、前記基板と前
記スペーサとの接合面の周縁の少なくとも一部に、前記
基板および前記スペーサの両方に接する接着剤からなる
接着部が設けられていることを特徴とする光共振器。
【請求項２】前記接着部において、前記基板の内側面お
よび前記スペーサの厚さ方向の端面の一方または両方に
切欠き部が形成されており、該切欠き部からなる内壁を
有する凹部内に前記接着剤が充填されていることを特徴
とする請求項１記載の光共振器。
【請求項３】前記基板と前記スペーサとの接合面におけ
る前記基板の平面度および前記スペーサの平面度がいず
れもλ／４以下であることを特徴とする請求項１または
２のいずれかに記載の光共振器。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の光共振器
と、該光共振器の一方の基板にモニター用光信号を平行
光として入射させる手段と、前記光共振器の他方の基板
から出射される透過光強度の変化を検知する手段と、少
なくとも前記光共振器を収容する密閉可能な筐体とを備
えてなることを特徴とする波長管理モジュール。